JP6253233B2 - 透過型x線ターゲットおよび、該透過型x線ターゲットを備えた放射線発生管、並びに、該放射線発生管を備えた放射線発生装置、並びに、該放射線発生装置を備えた放射線撮影装置 - Google Patents
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Description
図2(b)には、放射線束11を放射線透過窓121からX線を放出する放射線発生装置101の実施形態が示されている。本実施形態の放射線発生装置101は、放射線透過窓121を有する収納容器120内に、放射線源である放射線発生管102、および、放射線発生管102の駆動するための駆動回路103を有している。
図2(a)には、電子放出源3と電子放出源3に対向する透過型X線ターゲット115(以降、本願明細書においては、透過型X線ターゲットをターゲットと称す)とを備えた透過型の放射線発生管102の実施形態が示されている。
次に、図1を用いて本発明のターゲット115(透過型X線ターゲット)の特徴を備えた実施形態ついて具体的に説明する。
次に、図3を用いて、本発明のターゲットを備える放射線撮影装置の構成例について説明する。
図1(a)、(c)に図示されたターゲット構造体114を以下のような手順にて作成した。
従来は、ダイアモンド基材端部の残留応力を同定せずに、ターゲット層をダイアモンド基材上に形成していたため、残留応力の大きい面にターゲット層を形成していたことがあった。そこで、本発明と従来方法の比較を行うために、本比較例において、ダイアモンド基材の端部の残留応力が大きい方の面にターゲット層を形成し、実験を行った。
図1(b)、(d)に示したターゲット構造体114を以下のような手順にて作成した。
ダイアモンド基材は実施例2と同様の形状とし、複屈折測定装置で残留応力の大きい方の面を特定した。補足的に電子顕微鏡と光学顕微鏡にて、マイクロクラックの有無を観察した結果、残留応力の大きい方の面ではマイクロクラックが3ヶ見つかった。マイクロクラックのカウント条件は、実施例1と共通とした。
116 ターゲット層
117 ダイアモンド基材
117a 一方の面(小残留応力面)
117b 他方の面(大残留応力面)
Claims (16)
- 一方の面と、それに対向する他方の面を有する平板状のダイアモンド基材と、
前記一方の面の上に位置するターゲット層と、
を備えた透過型X線ターゲットにおいて、
前記一方の面は、前記他方の面に比べ残留応力が小さいことを特徴とする透過型X線ターゲット。 - 前記一方の面及び前記他方の面の夫々の面上に残留応力の分布が存在する場合、前記残留応力が小さいとは、前記夫々の面において最大である残留応力の比較において小さいことであることを特徴とする請求項1に記載の透過型X線ターゲット。
- 前記ダイアモンド基材は側面を有し、
前記一方の面と前記側面との成す角は、前記他方の面と前記側面との成す角より大きいことを特徴とする請求項1または2に記載の透過型X線ターゲット。 - 前記一方の面と前記側面との成す角が、鈍角であることを特徴とする請求項3に記載の透過型X線ターゲット。
- 前記ダイアモンド基材は、単結晶ダイアモンドであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の透過型X線ターゲット。
- 前記ダイアモンド基材は、単結晶ダイアモンドから構成された母材から、部分的に取り出されたものであることを特徴とする請求項5に記載の透過型X線ターゲット。
- 前記ターゲット層の層厚は、1μm以上20μm以下であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の透過型X線ターゲット。
- 前記ターゲット層は、その周縁が、前記ダイアモンド基材の周縁から離間し、前記ダイアモンド基材上において、前記ターゲット層の周縁から前記ダイアモンド基材の周縁にかけて位置する電極をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の透過型X線ターゲット。
- 前記電極は、炭化物標準生成自由エネルギーが負の金属元素を含有することを特徴とする請求項8に記載の透過型X線ターゲット。
- 前記電極は、チタンまたは、ジルコニウム、クロムを含有することを特徴とする請求項8または9に記載の透過型X線ターゲット。
- 前記電極の層厚は、100nm以上10μm以下であることを特徴とする請求項8または10に記載の透過型X線ターゲット。
- 請求項3または4に記載の透過型X線ターゲットと、
前記一方の面の周縁部または前記側面の少なくともいずれか一方に沿って位置し、前記ターゲット層に電気的に接続された陽極部材と、を備えることを特徴とするターゲット構造体。 - 前記ターゲット層と前記陽極部材とは、ろう材を介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項12に記載のターゲット構造体。
- 請求項12または13に記載のターゲット構造体と、
前記ターゲット層と対向して位置する電子放出部を備える電子放出源と、
前記ターゲット層と前記電子放出源とを電気的に絶縁する絶縁管と、
を備えることを特徴とする放射線発生管。 - 請求項14に記載の放射線発生管と、
前記ターゲット層と前記電子放出部とのそれぞれに電気的に接続され、前記ターゲット層と前記電子放出部との間に印加される管電圧を出力する駆動回路と、
を備える放射線発生装置。 - 請求項15に記載の放射線発生装置と、
前記放射線発生装置から発生した放射線を検出する放射線検出器と、
前記放射線発生装置と、前記放射線検出器とを統合して制御する制御ユニットと、
を備えた放射線撮影装置。
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