JPH0756000A - マイクロx線ターゲット - Google Patents
マイクロx線ターゲットInfo
- Publication number
- JPH0756000A JPH0756000A JP20341293A JP20341293A JPH0756000A JP H0756000 A JPH0756000 A JP H0756000A JP 20341293 A JP20341293 A JP 20341293A JP 20341293 A JP20341293 A JP 20341293A JP H0756000 A JPH0756000 A JP H0756000A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal plate
- ray
- light
- electron beam
- rays
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 放出されるX線の広がりを押さえることが可
能なマイクロX線ターゲットを提供する。 【構成】 アルミニウムなどの軽金属板10の中心に極
細のタングステン棒13を埋め込んだことを特徴として
いる。
能なマイクロX線ターゲットを提供する。 【構成】 アルミニウムなどの軽金属板10の中心に極
細のタングステン棒13を埋め込んだことを特徴として
いる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、非破壊検査等に用いる
X線を発生させるためのマイクロX線ターゲットに関す
るものである。
X線を発生させるためのマイクロX線ターゲットに関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】非破壊検査等に用いるX線は、10mm
φのタングステンのターゲットに電子ビームを照射する
ことにより発生させる。
φのタングステンのターゲットに電子ビームを照射する
ことにより発生させる。
【0003】このX線発生装置においては、発生するX
線がターゲットを中心に円錐状に広がるため、非破壊検
査の精度をよくするためには、できるだけ広がりを押さ
えるようにするのが望ましい。
線がターゲットを中心に円錐状に広がるため、非破壊検
査の精度をよくするためには、できるだけ広がりを押さ
えるようにするのが望ましい。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ターゲ
ットに照射する電子ビームを絞るには限度があり、また
ターゲットから放出されるX線を絞ることも困難であ
る。
ットに照射する電子ビームを絞るには限度があり、また
ターゲットから放出されるX線を絞ることも困難であ
る。
【0005】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、放出されるX線の広がりを押さえることが可能なマ
イクロX線ターゲットを提供することにある。
し、放出されるX線の広がりを押さえることが可能なマ
イクロX線ターゲットを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、アルミニウムなどの軽金属板の中心に極細
のタングステン棒を埋め込んだものであり、タングステ
ン棒としては直径1〜10μmのものを用いる。
に本発明は、アルミニウムなどの軽金属板の中心に極細
のタングステン棒を埋め込んだものであり、タングステ
ン棒としては直径1〜10μmのものを用いる。
【0007】
【作用】上記構成によれば、軽金属板の中心に極細の1
〜10μmのタングステン棒を埋め込むことで、電子ビ
ームが照射されても極めて細いタングステン棒のみから
X線が放出されるため、点光源のX線が実現できると共
にX線の広がりも押さえることが可能となる。この場
合、直径10μm以上ではX線が拡がり過ぎ、1μm以
下では製作が難しいと共に充分なX線量が得られなく好
ましくない。
〜10μmのタングステン棒を埋め込むことで、電子ビ
ームが照射されても極めて細いタングステン棒のみから
X線が放出されるため、点光源のX線が実現できると共
にX線の広がりも押さえることが可能となる。この場
合、直径10μm以上ではX線が拡がり過ぎ、1μm以
下では製作が難しいと共に充分なX線量が得られなく好
ましくない。
【0008】
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。
て詳述する。
【0009】図1は本発明のマイクロX線ターゲットを
示したものである。
示したものである。
【0010】図において、10はアルミニウムなど厚さ
tを1〜2mmの軽金属板で、内部には図示していない
が冷却通路が形成され、その出入口に冷却水の導入・排
出管11,12が接続される。
tを1〜2mmの軽金属板で、内部には図示していない
が冷却通路が形成され、その出入口に冷却水の導入・排
出管11,12が接続される。
【0011】この軽金属板10の中心、すなわち電子ビ
ーム14の照射される位置に1〜10μmのタングステ
ン棒13が埋め込まれる。このタングステン棒13は、
軽金属板10の厚さと同じ長さに形成され、その両端面
が軽金属板10の面と一致するように形成される。この
タングステン棒13の埋め込みは、例えば中心にタング
ステン棒13となるタングステン線の周りにアルミニウ
ムを適宜の径に形成し、このアルミニウムの筒体を金属
板10の厚さと同じ長さに切断した後、軽金属板10に
埋め込むようにして形成することで、タングステン棒1
3を軽金属板10の中心に正確に位置させることができ
る。
ーム14の照射される位置に1〜10μmのタングステ
ン棒13が埋め込まれる。このタングステン棒13は、
軽金属板10の厚さと同じ長さに形成され、その両端面
が軽金属板10の面と一致するように形成される。この
タングステン棒13の埋め込みは、例えば中心にタング
ステン棒13となるタングステン線の周りにアルミニウ
ムを適宜の径に形成し、このアルミニウムの筒体を金属
板10の厚さと同じ長さに切断した後、軽金属板10に
埋め込むようにして形成することで、タングステン棒1
3を軽金属板10の中心に正確に位置させることができ
る。
【0012】次に実施例の作用を述べる。
【0013】本発明のマイクロX線ターゲットをX線発
生装置に組み込み、電子ビーム14を照射すると、電子
ビーム14は、タングステン棒13に当りそこでX線1
5を放出する。この場合、軽金属板10に当った電子ビ
ーム14は吸収され、1〜10μmのタングステン棒1
3がX線源となるため、常に点光源のX線を放出でき
る。
生装置に組み込み、電子ビーム14を照射すると、電子
ビーム14は、タングステン棒13に当りそこでX線1
5を放出する。この場合、軽金属板10に当った電子ビ
ーム14は吸収され、1〜10μmのタングステン棒1
3がX線源となるため、常に点光源のX線を放出でき
る。
【0014】また電子ビーム14の照射により発生した
熱は、軽金属板10内に形成した冷却通路に冷却水を流
すことで除去できる。
熱は、軽金属板10内に形成した冷却通路に冷却水を流
すことで除去できる。
【0015】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、軽金属板
の中心に極細のタングステン棒を埋め込むことで、電子
ビームが照射されても極めて細いタングステン棒のみか
らX線が放出されるため、点光源のX線が実現できると
共にX線の広がりも押さえることが可能となる。
の中心に極細のタングステン棒を埋め込むことで、電子
ビームが照射されても極めて細いタングステン棒のみか
らX線が放出されるため、点光源のX線が実現できると
共にX線の広がりも押さえることが可能となる。
【図1】本発明の一実施例を示す概略斜視図である。
10 軽金属板 13 タングステン棒 14 電子ビーム
Claims (2)
- 【請求項1】 アルミニウムなどの軽金属板の中心に極
細のタングステン棒を埋め込んだことを特徴とするマイ
クロX線ターゲット。 - 【請求項2】 タングステン棒の直径が1〜10μmで
ある請求項1に記載のマイクロX線ターゲット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20341293A JPH0756000A (ja) | 1993-08-17 | 1993-08-17 | マイクロx線ターゲット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20341293A JPH0756000A (ja) | 1993-08-17 | 1993-08-17 | マイクロx線ターゲット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0756000A true JPH0756000A (ja) | 1995-03-03 |
Family
ID=16473648
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20341293A Pending JPH0756000A (ja) | 1993-08-17 | 1993-08-17 | マイクロx線ターゲット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0756000A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US10295485B2 (en) | 2013-12-05 | 2019-05-21 | Sigray, Inc. | X-ray transmission spectrometer system |
US10304580B2 (en) | 2013-10-31 | 2019-05-28 | Sigray, Inc. | Talbot X-ray microscope |
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US10658145B2 (en) | 2018-07-26 | 2020-05-19 | Sigray, Inc. | High brightness x-ray reflection source |
US10656105B2 (en) | 2018-08-06 | 2020-05-19 | Sigray, Inc. | Talbot-lau x-ray source and interferometric system |
US10845491B2 (en) | 2018-06-04 | 2020-11-24 | Sigray, Inc. | Energy-resolving x-ray detection system |
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USRE48612E1 (en) | 2013-10-31 | 2021-06-29 | Sigray, Inc. | X-ray interferometric imaging system |
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US11152183B2 (en) | 2019-07-15 | 2021-10-19 | Sigray, Inc. | X-ray source with rotating anode at atmospheric pressure |
-
1993
- 1993-08-17 JP JP20341293A patent/JPH0756000A/ja active Pending
Cited By (33)
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US10989822B2 (en) | 2018-06-04 | 2021-04-27 | Sigray, Inc. | Wavelength dispersive x-ray spectrometer |
US10991538B2 (en) | 2018-07-26 | 2021-04-27 | Sigray, Inc. | High brightness x-ray reflection source |
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