JPWO2013168468A1 - X線発生装置及びx線発生方法 - Google Patents
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Abstract
Description
1.1≦D1/D2≦2.5
を満たすように、コイル部7を制御する。コイル部7は、電子銃部3から出射された電子ビームEBを、上記関係を満たすように収束させる。
Claims (8)
- X線発生装置であって、
電子ビームを出射する電子銃部と、
ダイヤモンドからなる基板と、前記電子ビームの入射によりX線を発生する材料からなり且つ前記基板に密着して埋設されたターゲット体と、を有するターゲット部と、を備えており、
前記ターゲット体の外径は、0.05〜1μmの範囲であり、
前記電子ビームの前記ターゲット部での照射野の外径が前記ターゲット体の外径の1.1〜2.5倍の範囲であり、
前記ターゲット体が前記照射野に内包されるように前記電子ビームを前記ターゲット体に照射することにより、前記ターゲット体からX線を発生させる。 - 請求項1に記載のX線発生装置であって、
前記基板における前記電子ビームの入射面側には、遷移元素を含む保護層が形成されている。 - 請求項1又は2に記載のX線発生装置であって、
前記電子ビームを収束させる第一コイル部と、
前記電子ビームを偏向させる第二コイル部と、
前記電子ビームの前記ターゲット部での照射野の外径が前記ターゲット体の外径の1.1〜2.5倍の範囲となるように前記第一コイル部を制御し、前記電子ビームの前記照射野が前記ターゲット体を内包するように前記第二コイル部を制御する制御部と、を更に備える。 - 請求項3に記載のX線発生装置であって、
前記ターゲット体からの二次電子又は前記ターゲット体から発生したX線又はターゲット電流を検出する検出部を更に備え、
前記制御部は、前記検出部の検出信号に基づいて前記第二コイル部を制御する。 - ダイヤモンドからなる基板と、電子ビームの入射によりX線を発生する材料からなり且つ前記基板に密着して埋設されたターゲット体と、を有するターゲット部に電子ビームを照射して、前記ターゲット体からX線を発生させるX線発生方法であって、
前記ターゲット体の外径を、0.05〜1μmの範囲とし、
前記電子ビームの前記ターゲット部での照射野の外径を、前記ターゲット体の外径の1.1〜2.5倍の範囲とし、
前記照射野が前記ターゲット体を内包するように、前記電子ビームを前記ターゲット体に照射する。 - 請求項5に記載のX線発生方法であって、
前記基板における前記電子ビームの入射面側には、遷移元素を含む保護層が形成されている。 - 請求項5又は6に記載のX線発生方法であって、
前記電子ビームを収束させる第一コイル部と、前記電子ビームを偏向させる第二コイル部と、を用い、
前記第一コイル部により、前記電子ビームの前記ターゲット部での照射野の外径が前記ターゲット体の外径の1.1〜2.5倍の範囲となるように、前記電子ビームを収束させ、
前記第二コイル部により、前記電子ビームの前記照射野が前記ターゲット体を内包するように、前記電子ビームを偏向させる。 - 請求項7に記載のX線発生方法であって、
前記ターゲット体からの二次電子又は前記ターゲット体から発生したX線又はターゲット電流を検出する検出部を用い、
前記検出部の検出信号に基づいて、前記二次コイルを制御して、前記電子ビームを偏向させる。
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