JP6114122B2 - X線発生装置 - Google Patents
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Description
Claims (6)
- 電子ビームを出射する電子銃部と、
基板と、該基板に埋設されており前記電子ビームの入射によりX線を発生する材料からなるターゲット体と、を有するターゲット部と、
前記電子銃部から出射された前記電子ビームを、磁力によって前記基板の前記電子ビームの入射面に沿う第一方向と前記第一方向に直交する第二方向に偏向可能な電子ビーム偏向部と、
前記第一方向に前記電子ビームを偏向させるための第一の制御信号又は前記第二方向に前記電子ビームを偏向させるための第二の制御信号を前記電子ビーム偏向部に出力して、前記電子ビーム偏向部を制御する制御部と、
前記ターゲット部に入射した前記電子ビームに基づく入射信号を検出する検出部と、
前記検出部が検出した入射信号に基づいて、前記ターゲット部内のターゲット体の位置情報を取得するターゲット体位置情報取得部と、
を備え、
前記制御部は、前記第一の制御信号として、立下りと立ち上がりとを含み、且つ前記立下りから前記立下り後に立ち上がるまで、又は前記立ち上がりから前記立ち上がり後に立ち下がるまで所定期間有する波形である制御信号を出力することを特徴とするX線発生装置。 - 前記制御部は、前記第一の制御信号として、前記立ち上がり及び前記立下りの一方が他方と比して急峻な波形を有する制御信号を出力し、
前記所定期間は、急峻な波形の後に設けられた、波形の変化が無い期間である第一の休止期間であることを特徴とする請求項1に記載のX線発生装置。 - 前記制御部は、前記第二の制御信号として、前記第一の休止期間に同期した第二の休止期間を有する制御信号を出力することを特徴とする請求項2に記載のX線発生装置。
- 前記制御部は、前記第一の制御信号として、前記立下りから前記立下り後に立ち上がるまで、及び前記立ち上がりから前記立ち上がり後に立ち下がるまで所定期間有する波形である制御信号を出力することを特徴とする請求項1に記載のX線発生装置。
- 前記制御部は、前記第一の制御信号として、三角波の制御信号を出力することを特徴とする請求項4に記載のX線発生装置。
- 前記制御部は、前記第二の制御信号として、前記立下りから前記立下り後に立ち上がるまで、及び前記立ち上がりから前記立ち上がり後に立ち下がるまで所定期間有する波形である制御信号を出力することを特徴とする請求項4に記載のX線発生装置。
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