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  1. 長手方向を有する蒸着源と、蒸着室とを有する蒸着装置を用いた成膜方法であって、
    基板を前記蒸着室に搬送し、
    前記蒸着源から材料を気化させながら、前記基板に対する前記蒸着源の位置を、前記蒸着源の長手方向と垂直な方向に移動させることにより、前記基板上に成膜することを特徴とする成膜方法。
  2. 長手方向を有する蒸着源と、蒸着室とを有する蒸着装置を用いた成膜方法であって、
    基板を前記蒸着室に搬送し、
    前記蒸着源に設置された複数の蒸着セルから材料を気化させながら、前記基板に対する前記蒸着源の位置を、前記蒸着源の長手方向と垂直な方向に移動させることにより、前記基板上に成膜することを特徴とする成膜方法。
  3. 長手方向を有する蒸着源と、蒸着室とを有する蒸着装置を用いた成膜方法であって、
    基板を前記蒸着室に搬送し、
    前記蒸着源に設置された長手方向を有する蒸着セルから材料を気化させながら、前記基板に対する前記蒸着源の位置を、前記蒸着源の長手方向と垂直な方向に移動させることにより、前記基板上に成膜することを特徴とする成膜方法。
  4. 請求項１乃至請求項３のいずれか一項において、
    前記材料が有機材料であることを特徴とする成膜方法。
  5. 請求項１乃至請求項４のいずれか一項において、
    前記蒸着源における長手方向の長さは、前記基板の一辺の長さよりも長いことを特徴とする成膜方法。
  6. 請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の成膜方法を用いる発光装置の作製方法。
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