KR102073765B1 - 디스플레이 제조방법 및 이에 사용될 수 있는 증착장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 복수개의 디스플레이들을 동시에 제조하면서도 증착 불균일성을 낮출 수 있는 디스플레이 제조방법 및 이에 사용될 수 있는 증착장치를 위하여, 복수개의 디스플레이부들이 형성될 수 있는 매트릭스 패턴의 복수개의 영역들을 갖는 마더기판을 준비하는 단계와, 일 방향 및 상기 일 방향의 반대방향으로 움직일 수 있는 증착원을 내부에 갖는 증착챔버에 상기 마더기판을 투입하는 단계와, 상호 평행한 복수개의 스트라이프 형상의 마스킹시트들이 상기 일 방향으로 연장되도록 배치된 마스크를 이용하여 상기 마더기판 상에 물질을 증착하는 단계와, 상기 복수개의 디스플레이부들 각각의 주변을 따라 상기 마더기판을 절단하여 복수개의 디스플레이들을 획득하는 단계를 포함하는, 디스플레이 제조방법 및 이에 사용될 수 있는 증착장치를 제공한다.

Description

디스플레이 제조방법 및 이에 사용될 수 있는 증착장치{Method for manufacturing display and deposition apparatus for the same}

본 발명은 디스플레이 제조방법 및 이에 사용될 수 있는 증착장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 복수개의 디스플레이들을 동시에 제조하면서도 증착 불균일성을 낮출 수 있는 디스플레이 제조방법 및 이에 사용될 수 있는 증착장치에 관한 것이다.

일반적으로 디스플레이 제조과정에는 기판 상에 특정 막을 형성하기 위한 증착공정이 포함된다. 증착공정에서는, 기판 상의 막이 형성될 부분에 대응하는 개구를 갖는 마스크를 기판에 밀착하여 또는 기판의 근방에 위치시킨 후, 소스로부터 방출된 물질이 상기 개구를 통과해 기판의 사전설정된 영역에 안착하도록 한다.

그러나 이러한 종래의 마스크나 이러한 마스크를 이용하는 디스플레이 제조방법에는 균일한 막 증착이 용이하지 않다는 문제점이 있었다. 예컨대 복수개의 디스플레이들을 동시에 제조하기 위해 증착을 할 경우, 복수개의 디스플레이들에 있어서 증착된 막의 균일도가 상이하다는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 복수개의 디스플레이들을 동시에 제조하면서도 증착 불균일성을 낮출 수 있는 디스플레이 제조방법 및 이에 사용될 수 있는 증착장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.

본 발명의 일 관점에 따르면, 복수개의 디스플레이부들이 형성될 수 있는 매트릭스 패턴의 복수개의 영역들을 갖는 마더기판을 준비하는 단계와, 일 방향 및 상기 일 방향의 반대방향으로 움직일 수 있는 증착원을 내부에 갖는 증착챔버에 상기 마더기판을 투입하는 단계와, 상호 평행한 복수개의 스트라이프 형상의 마스킹시트들이 상기 일 방향으로 연장되도록 배치된 마스크를 이용하여 상기 마더기판 상에 물질을 증착하는 단계와, 상기 복수개의 디스플레이부들 각각의 주변을 따라 상기 마더기판을 절단하여 복수개의 디스플레이들을 획득하는 단계를 포함하는, 디스플레이 제조방법이 제공된다.

본 발명의 다른 일 관점에 따르면, 복수개의 디스플레이부들이 형성될 수 있는 매트릭스 패턴의 복수개의 영역들을 갖는 마더기판을 준비하는 단계와, 증착원을 내부에 갖는 증착챔버에 상기 마더기판을 투입하는 단계와, 상호 평행한 복수개의 스트라이프 형상의 마스킹시트들이 일 방향으로 연장되도록 배치된 마스크를 이용하여 상기 마더기판을 상기 일 방향과 상기 일 방향의 반대방향 중 적어도 어느 한 방향으로 움직이며 상기 마더기판 상에 물질을 증착하는 단계와, 상기 복수개의 디스플레이부들 각각의 주변을 따라 상기 마더기판을 절단하여 복수개의 디스플레이들을 획득하는 단계를 포함하는, 디스플레이 제조방법이 제공된다.

상기 마더기판 상에 물질을 증착하는 단계는, 상기 마스크의 상기 증착원에 대한 위치는 고정된 채, 상기 마더기판을 움직이며 상기 마더기판 상에 물질을 증착하는 단계일 수 있다.

상기 마더기판 상에 물질을 증착하는 단계는, 상기 마스크의 상기 마더기판에 대한 위치는 고정된 채 상기 마더기판 상에 물질을 증착하는 단계일 수 있다.

상기 마스크의 상기 마스킹시트들은, 상기 마더기판의 상기 복수개의 영역들의 상기 일 방향으로 배열된 행(row)들 사이에 대응할 수 있다.

상기 마스크는 상기 일 방향과 교차하는 타 방향으로 연장된 마스킹시트들을 갖지 않을 수 있다.

상기 복수개의 디스플레이부들 각각은 유기발광소자를 가질 수 있다.

본 발명의 또 다른 일 관점에 따르면, 일 방향 및 상기 일 방향의 반대방향으로 움직일 수 있는 증착원을 내부에 갖는 증착챔버와, 상호 평행한 복수개의 스트라이프 형상의 마스킹시트들을 가지며 상기 마스킹시트들이 상기 일 방향으로 연장되도록 배치된 마스크를 구비하는, 증착장치가 제공된다.

본 발명의 또 다른 일 관점에 따르면, 증착원을 내부에 갖는 증착챔버와, 상호 평행한 복수개의 스트라이프 형상의 마스킹시트들을 가지며 상기 마스킹시트들이 일 방향으로 연장되도록 배치된 마스크와, 투입된 마더기판에 물질을 증착할 시 증착 중 마더기판을 상기 일 방향과 상기 일 방향의 반대방향 중 적어도 어느 한 방향으로 이송할 수 있는 상기 증착챔버 내에 위치한 이송부를 구비하는, 증착장치가 제공된다.

투입된 마더기판에 물질을 증착할 시, 상기 마스크의 상기 증착원에 대한 위치가 고정될 수 있다.

투입된 마더기판에 물질을 증착할 시, 상기 마스크의 마더기판에 대한 위치가 고정될 수 있다.

마더기판은, 복수개의 디스플레이부들이 형성될 수 있는, 매트릭스 패턴의 복수개의 영역들을 가지며, 상기 마스크의 상기 마스킹시트들은, 마더기판의 복수개의 영역들의 상기 일 방향으로 배열된 행(row)들 사이에 대응할 수 있다.

상기 마스크는 상기 일 방향과 교차하는 타 방향으로 연장된 마스킹시트들을 갖지 않을 수 있다.

상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 복수개의 디스플레이들을 동시에 제조하면서도 증착 불균일성을 낮출 수 있는 디스플레이 제조방법 및 이에 사용될 수 있는 증착장치를 구현할 수 있다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 제조방법에 사용될 수 있는 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 제조방법의 일 공정을 개략적으로 도시하는 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 제조방법에 따라 제조되는 과정의 디스플레이를 개략적으로 도시하는 평면도이다.
도 4는 비교예에 따른 디스플레이 제조방법에 사용될 수 있는 마스크를 개략적으로 도시하는 사시도이다.
도 5는 비교예에 따른 디스플레이 제조방법에 따라 제조되는 과정의 디스플레이를 개략적으로 도시하는 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 제조방법의 일 공정을 개략적으로 도시하는 측단면 개념도이다.
도 7은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 디스플레이 제조방법의 일 공정을 개략적으로 도시하는 측단면 개념도이다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있는 것으로, 이하의 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 또한 설명의 편의를 위하여 도면에서는 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.

이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.

한편, 층, 막, 영역, 판 등의 각종 구성요소가 다른 구성요소 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 구성요소 "바로 상에" 있는 경우뿐 아니라 그 사이에 다른 구성요소가 개재된 경우도 포함한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 제조방법에 사용될 수 있는 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도이다.

본 실시예에 따른 디스플레이 제조방법에 사용될 수 있는 마스크(100)는, 증착물질이 통과할 수 있도록 하는 개구가 형성된 프레임(110)과, 이 프레임(110)에 결합된 마스킹시트들(121, 122)을 갖는다. 도면에서는 마스크(100)가 두 개의 마스킹시트들(121, 122)을 갖는 것으로 도시하고 있으나, 편의상 그와 같이 도시한 것일 뿐이며 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 마스크(100)가 일 방향(+x 방향)으로 연장된 상호 평행한 복수개의 스트라이프 형상의 마스킹시트들(121, 122)을 가지면 족하다.

이러한 마스크(100)는 하나의 큰 마더기판 상에 복수개의 디스플레이들을 동시에 형성할 때 사용되는 것으로, 예컨대 마스크(100)의 프레임(110) 중 +y 방향의 +x 방향으로 연장된 부분과 -y 방향으로의 첫 번째 마스킹시트(121) 사이의 거리는 제조될 각 디스플레이의 일 변의 길이에 대략 대응할 수 있다. 물론 마스킹시트(121)와 마스킹시트(122) 사이의 거리 역시 제조될 각 디스플레이의 일 변의 길이에 대략 대응할 수 있으며, 마스크(100)의 프레임(110) 중 -y 방향의 +x 방향으로 연장된 부분과 두 번째 마스킹시트(122) 사이의 거리 역시 제조될 각 디스플레이의 일 변의 길이에 대략 대응할 수 있다. 이때 마스킹시트들(121, 122) 각각의 상기 일 방향(+x 방향)으로 연장된 길이는 동시에 제조될 복수개의 디스플레이들 각각의 타 변의 길이의 합에 대략 대응할 수 있다. 이에 대해서는 후술한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 제조방법의 일 공정을 개략적으로 도시하는 분해 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 제조방법에 따라 제조되는 과정의 디스플레이를 개략적으로 도시하는 평면도이다.

먼저, 복수개의 디스플레이부들이 형성될 수 있는, 매트릭스 패턴의 복수개의 영역들(11a, 11b, 11c, 11d, 11e, 11f, 11g, 12a, 12b, 12c, 12d, 12e, 12f, 12g, 13a, 13b, 13c, 13d, 13e, 13f, 13g)을 갖는 마더기판(10)을 준비한다. 이후 마더기판(10)을 증착챔버 내에 투입한다. 마더기판(10)은 글라스재 또는 플라스틱재 등과 같은 다양한 재료로 형성된 것일 수 있다.

여기서 증착챔버는 매트릭스 패턴의 복수개의 영역들(11a, 11b, 11c, 11d, 11e, 11f, 11g, 12a, 12b, 12c, 12d, 12e, 12f, 12g, 13a, 13b, 13c, 13d, 13e, 13f, 13g) 각각에 있어서 해당 영역의 전면(全面)에 물질을 증착할 수 있는 증착챔버를 의미한다. 그러한 전면에 증착되는 막으로는, 예컨대 유기발광 디스플레이의 경우에는 화소전극 하부의 TFT를 보호하는 보호막, 유기발광소자를 보호하기 위한 유기발광소자 상부의 유무기 복합막 등을 들 수 있다. 물론 최종 디스플레이에서는 전면에 형성된 막이나 층이 아니라 하더라도, 제조 과정에서 전면에 막이나 층을 형성하고 이를 패터닝하는 경우라면, 그러한 막이나 층을 전면에 형성할 시 이러한 증착챔버를 사용할 수 있다. 참고로 여기서 유기발광소자라고 함은, 화소전극, 화소전극에 대향된 대향전극, 그리고 이들 사이에 개재되며 발광층을 포함하는 중간층을 갖는 것으로서, 각 (부)화소에 형성될 수 있는 것을 의미한다. 이때 중간층의 적어도 일 층은 유기물을 포함할 수 있다.

마더기판(10)은 이와 같은 증착챔버에 투입되기에 앞서 다양한 처리를 거친 것일 수 있다. 증착챔버에 투입되기에 앞서 예컨대 매트릭스 패턴의 복수개의 영역들(11a, 11b, 11c, 11d, 11e, 11f, 11g, 12a, 12b, 12c, 12d, 12e, 12f, 12g, 13a, 13b, 13c, 13d, 13e, 13f, 13g) 각각 내의 각 화소영역에 배치되는 박막트랜지스터가 형성될 수도 있고, 유기발광 디스플레이의 경우 각 화소영역에 발광층이 형성될 수도 있다.

증착챔버 내에는 증착원(200)이 배치되어 있는데, 이 증착원(200)은 일 방향(+x 방향) 및 그 반대방향(-x 방향)으로 움직일 수 있다. 즉, 증착원(200)은 일 방향(+x 방향)과 그 반대방향(-x 방향)으로 반복하여 움직이며 증착될 물질을 방출할 수 있다.

이러한 증착원(200)에서 방출된 물질은 마스크(100)를 통과한 후 마더기판(10) 상에 증착될 수 있다. 이때, 마스크(100)는 상호 평행한 복수개의 스트라이프 형상의 마스킹시트들(121, 122)이, 증착원(200)이 움직이는 상기 일 방향(+x 방향)으로 연장되도록 배치된다. 따라서 마더기판(10)의 마스킹시트들(121, 122)에 대응하는 부분 근방에 있어서, 증착되는 막이 마스킹시트들(121, 122)에 의해 영향을 받지 않게 되어, 매트릭스 패턴의 복수개의 영역들(11a, 11b, 11c, 11d, 11e, 11f, 11g, 12a, 12b, 12c, 12d, 12e, 12f, 12g, 13a, 13b, 13c, 13d, 13e, 13f, 13g) 각각에 있어서 균일한 두께의 막이 형성되도록 할 수 있다.

즉, 도 2에 도시된 것과 같이 마스크(100)의 상호 평행한 복수개의 스트라이 프 형상의 마스킹시트들(121, 122)이 상기 일 방향(+x 방향)으로 연장되도록 마스크(100)가 배치된 상태에서, 증착원(200)이 상기 일 방향(+x 방향) 및 그 반대방향(-x 방향)으로 반복하여 움직이며 증착될 물질을 방출하면, 도 3에 도시된 것과 같이 마더기판(10) 상에 제1영역증착층(11)이 형성됨에 있어서, 제1영역증착층(11)의 제2영역증착층(12) 방향 가장자리 부분에서의 두께와, 제1영역증착층(11)의 다른 부분에서의 두께가 대략 균일하게 된다. 물론 제3영역증착층(13)의 제2영역증착층(12) 방향 가장자리 부분에서의 두께 역시 제3영역증착층(13)의 다른 부분에서의 두께와 대략 균일하게 되며, 제2영역증착층(12)에 있어서도 전체적인 두께가 균일하도록 할 수 있다. 이는 증착원(200)이 움직이는 방향(+x 방향 또는 -x 방향)과 교차하는 방향으로 연장된 마스킹시트가 존재하지 않고, 증착원(200)이 움직이는 방향(+x 방향 또는 -x 방향)으로 연장된 마스킹시트들(121, 122)만 존재하기 때문이다.

만일 비교예에 따른 디스플레이 제조방법에 사용될 수 있는 마스크를 개략적으로 도시하는 사시도인 도 4에 도시된 것과 같은 마스크(100')를 이용하여 마더기판에 물질을 증착하면, 균일한 두께의 증착막을 형성할 수 없게 된다. 구체적으로, 도 4에 도시된 것과 같이 마스크(100')가 증착원이 움직이는 방향(+x 방향 또는 -x 방향)으로 연장된 마스킹시트들(121', 122') 외에 그 방향과 교차하는 방향(+y 방향)으로 연장된 마스킹시트들(131', 132', 133', 134', 135', 136')도 가진다면, 이러한 마스크(100')를 이용할 경우에는 균일한 막을 증착할 수 없게 된다.

이러한 마스크(100')를 이용하여 마더기판(10') 상에 증착할 경우, 비교예에 따른 디스플레이 제조방법에 따라 제조되는 과정의 디스플레이를 개략적으로 도시하는 평면도인 도 5에 도시된 것과 같이, 마더기판(10')의 매트릭스 패턴의 복수개의 영역들 각각에 대응하는 증착층들이 형성되는바, 예컨대 복수개의 제1영역증착층(11')들, 복수개의 제2영역증착층(12')들 및 복수개의 제3영역증착층(13')들이 형성된다. 이 경우 복수개의 제1영역증착층(11')들에 있어서 상호 인접한 부분에서의 두께는 복수개의 제1영역증착층(11')들 각각의 중앙부분에서의 두께보다 얇게 되는 등, 두께 균일도가 저하될 수밖에 없다. 이는 증착원이 움직이는 방향(+x 방향 또는 -x 방향)과 교차하는 방향(+y 방향)으로 연장된 마스킹시트들(131', 132', 133', 134', 135', 136')에 의해 그 마스킹시트들(131', 132', 133', 134', 135', 136') 주변에 있어서 섀도우 이펙트가 발생하기 때문이다.

섀도우 이펙트가 발생하는 정도를 줄이기 위해 증착원이 움직이는 방향(+x 방향 또는 -x 방향)과 교차하는 방향(+y 방향)으로 연장된 마스킹시트들(131', 132', 133', 134', 135', 136')의 폭을 줄이는 것을 고려할 수도 있다. 하지만, 이 경우 얇은 폭의 마스킹시트들(131', 132', 133', 134', 135', 136')의 수명이 낮기에 마스크(100') 자체의 수명이 낮아진다는 문제점이 발생할 수 있다.

그러나 본 실시예에 따른 디스플레이 제조방법의 경우, 증착원이 움직이는 방향(+x 방향 또는 -x 방향)과 교차하는 방향(+y 방향)으로 연장된 마스킹시트들을 마스크가 갖지 않는다. 따라서 그러한 섀도우 이펙트가 발생할 수 있는 조건을 원천적으로 배제할 수 있다.

특히 마더기판(10)의 매트릭스 패턴의 복수개의 영역들(11a, 11b, 11c, 11d, 11e, 11f, 11g, 12a, 12b, 12c, 12d, 12e, 12f, 12g, 13a, 13b, 13c, 13d, 13e, 13f, 13g) 각각에 유기발광소자를 화소로 갖는 디스플레이부를 형성한 후 봉지막을 형성할 경우, 이 봉지막은 그 두께가 균일할 필요가 있다. 유기발광소자는 수분이나 산소 등에 의해 쉽게 열화가 되는바, 봉지막은 외부로부터 수분이나 산소 등의 불순물이 내부의 유기발광소자들로 침투하는 것을 막는 역할을 한다.

하지만 도 3에 도시된 것과 같은 마스크(100')를 이용하여 도 4에 도시된 것과 같은 막이 증착되는 종래의 디스플레이 제조방법에 따라 유기발광 디스플레이들을 제조하게 되면, 그와 같이 형성된 봉지막은 각 유기발광 디스플레이에 있어서 증착원이 움직이는 방향(+x 방향 또는 -x 방향)으로의 가장자리 부분에서의 두께가 중앙부에서의 두께보다 얇아, 외부로부터의 수분이나 산소 등의 불순물의 침투를 효과적으로 막을 수 없게 된다. 이와 달리 본 실시예에 따른 디스플레이 제조방법에 따르면, 증착원이 움직이는 방향(+x 방향 또는 -x 방향)과 교차하는 방향(+y 방향)으로 연장된 마스킹시트들을 마스크가 갖지 않아, 균일한 두께의 봉지막이 형성되도록 할 수 있다.

아울러 이러한 마스크(100)의 경우 상기 일 방향(+x 방향)으로 연장된 마스킹시트들(121, 122)만을 구비하기에, 마스크(100) 제작공정을 단순화할 수 있고 마스크(100) 제작에 소요되는 원가를 절감할 수 있다.

한편, 마스크(100)의 마스킹시트들(121, 122)은, 마더기판(10)의 매트릭스 패턴의 복수개의 영역들(11a, 11b, 11c, 11d, 11e, 11f, 11g, 12a, 12b, 12c, 12d, 12e, 12f, 12g, 13a, 13b, 13c, 13d, 13e, 13f, 13g)의 상기 일 방향(+x 방향)으로 배열된 행(row)들 사이에 대응하는 것으로 이해될 수 있다. 이에 따라 도 3에 도시된 것과 같이 복수개의 영역들(11a, 11b, 11c, 11d, 11e, 11f, 11g)을 덮는 제1영역증착층(11), 복수개의 영역들(12a, 12b, 12c, 12d, 12e, 12f, 12g)을 덮는 제2영역증착층(12) 및 복수개의 영역들(13a, 13b, 13c, 13d, 13e, 13f, 13g)을 덮는 제3영역증착층(13) 사이는 마스킹시트들(121, 122)에 의해 차폐되어 물질이 증착되지 않는 것으로 이해될 수 있다.

마더기판(10)의 매트릭스 패턴의 복수개의 영역들(11a, 11b, 11c, 11d, 11e, 11f, 11g, 12a, 12b, 12c, 12d, 12e, 12f, 12g, 13a, 13b, 13c, 13d, 13e, 13f, 13g) 각각에 유기발광소자를 화소로 갖는 디스플레이부를 형성하고 봉지막 등을 형성한 후, 복수개의 디스플레이부들 각각의 주변을 따라 마더기판(10)을 절단하여 복수개의 디스플레이들을 획득할 수 있다.

한편, 도 2에서는 마스크(100)와 마더기판(10)이 상호 이격된 것으로 도시하고 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 증착 중에는 마스크(100)와 마더기판(10)이 사전설정된 간격만큼 이격되어 있을 수도 있고, 도 6에 도시된 것과 같이 마스크(100)와 마더기판(10)이 상호 밀착되어 배치되도록 할 수도 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 제조방법의 일 공정을 개략적으로 도시하는 측단면 개념도인 도 6에 도시된 것과 같이, 마스크(100)의 마더기판(10)에 대한 위치는 고정된 채, 증착챔버(1) 내의 증착원(200)이 마스크(100)의 복수개의 마스킹시트들이 연장된 방향(+x 방향) 및 그 반대방향(-x 방향)으로 왕복운동을 하거나 일 방향으로 운동하며 물질을 방출할 수 있다. 물론 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 반대로 증착원(200)의 위치는 고정되어 있고, 상호 결착된 마더기판(10)과 마스크(100)가 증착챔버(1) 내에서 마스크(100)의 복수개의 마스킹시트들이 연장된 방향(+x 방향) 및 그 반대방향(-x 방향)으로 왕복운동을 하거나 일 방향으로 운동하며 증착원(200)에서 방출된 물질이 마더기판(10) 상에 증착되도록 할 수도 있다.

이와 달리, 마스크(100)의 증착원(200)에 대한 위치는 고정된 채, 마더기판(10)을 움직이며 마더기판(10) 상에 물질을 증착할 수도 있다. 예컨대 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 디스플레이 제조방법의 일 공정을 개략적으로 도시하는 측단면 개념도인 도 7에 도시된 것과 같이, 마스크(100)와 증착원(200)이 지지부(210)에 의해 상호간의 상대적인 위치가 고정되도록 하고, 마스크(100)의 복수개의 마스킹시트들이 연장된 방향(+x 방향) 및 그 반대방향(-x 방향)으로 마더기판(10)이 왕복운동 또는 일 방향으로 운동하며 마더기판(10) 상에 물질이 증착되도록 할 수 있다.

물론 도 7에 도시된 것과 같은 상황, 즉 마스크(100)와 증착원(200)이 지지부(210)에 의해 상호간의 상대적인 위치가 고정된 상황에서, 증착챔버(1) 내의 마더기판(10)의 위치는 고정된 상태에서 마스크(100)의 복수개의 마스킹시트들이 연장된 방향(+x 방향) 및 그 반대방향(-x 방향)으로 마스크(100)와 증착원(200)의 결합체가 왕복운동 또는 일 방향으로 운동하며 마더기판(10) 상에 물질이 증착되도록 할 수도 있다.

지금까지 디스플레이 제조방법에 대해서 설명하였으나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 증착장치 역시 본 발명의 범위에 포함될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 증착장치는, 도 2에 도시된 것과 같은 구성을 취할 수 있다. 구체적으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착장치는, 일 방향(+x 방향) 및 그 반대방향(-x 방향)으로 움직일 수 있는 증착원(200)을 내부에 갖는 증착챔버와, 상호 평행한 복수개의 스트라이프 형상의 마스킹시트들(121, 122)을 가지며 마스킹시트들(121, 122)이 상기 일 방향(+x 방향)으로 연장되도록 배치된 마스크(100)를 구비할 수 있다. 이러한 증착장치는, 투입된 마더기판(10)에 물질을 증착할 시, 도 6에 도시된 것과 같이 마스크(100)의 마더기판(10)에 대한 위치가 고정되고 증착원(200)이 일 방향(+x 방향) 및 그 반대방향(-x 방향) 중 어느 한 방향으로 운동하거나 왕복운동하도록 할 수 있다.

또는, 투입된 마더기판(10)에 물질을 증착할 시, 도 7에 도시된 것과 같이 마스크(100)의 증착원(200)에 대한 위치가 지지부(210)에 의해 고정되도록 할 수 있다. 이 경우, 도 7에 도시된 것과 같이 마스크(100)와 증착원(200)의 결합체가 마더기판(10)에 대해 마스크(100)의 마스킹시트들이 연장된 방향(+x 방향)과 그 반대방향(-x 방향)으로 왕복운동을 하거나 일 방향으로 운동하도록 하며 증착이 이루어지도록 할 수 있다. 물론 그 반대로, 마더기판(10)이 마스크(100)와 증착원(200)의 결합체에 대해 마스크(100)의 마스킹시트들이 연장된 방향(+x 방향)과 그 반대방향(-x 방향)으로 왕복운동을 하거나 일 방향으로 운동하도록 하며 증착이 이루어지도록 할 수도 있다.

이러한 증착장치에 있어서, 마스크(100)는 상기 일 방향(+x 방향)으로 연장된 마스킹시트들(121, 122)과 교차하는 타 방향으로 연장된 마스킹시트들을 갖지 않음으로써, 마더기판(10) 상에 증착되는 막의 두께 균일도를 높게 유지할 수 있다.

한편, 본 실시예에 따른 증착장치에 의해 막이 증착되는 마더기판(10)은, 복수개의 디스플레이부들이 형성될 수 있는, 매트릭스 패턴의 복수개의 영역들(11a, 11b, 11c, 11d, 11e, 11f, 11g, 12a, 12b, 12c, 12d, 12e, 12f, 12g, 13a, 13b, 13c, 13d, 13e, 13f, 13g)을 가지며, 마스크(100)의 마스킹시트들(121, 122)은, 마더기판(10)의 복수개의 영역들(11a, 11b, 11c, 11d, 11e, 11f, 11g, 12a, 12b, 12c, 12d, 12e, 12f, 12g, 13a, 13b, 13c, 13d, 13e, 13f, 13g)의 상기 일 방향(+x 방향)으로 배열된 행(row)들 사이에 대응하도록 할 수 있다.

이와 같은 본 실시예에 따른 증착장치는 마더기판(10)의 매트릭스 패턴의 복수개의 영역들(11a, 11b, 11c, 11d, 11e, 11f, 11g, 12a, 12b, 12c, 12d, 12e, 12f, 12g, 13a, 13b, 13c, 13d, 13e, 13f, 13g) 각각에 있어서 해당 영역의 전면(全面)에 물질을 증착할 수 있다. 그러한 전면에 증착되는 막으로는, 예컨대 유기발광 디스플레이의 경우에는 화소전극 하부의 TFT를 보호하는 보호막, 유기발광소자를 보호하기 위한 유기발광소자 상부의 유무기 복합막 등을 들 수 있다. 물론 최종 디스플레이에서는 전면에 형성된 막이나 층이 아니라 하더라도, 제조 과정에서 전면에 막이나 층을 형성하고 이를 패터닝하는 경우라면, 그러한 막이나 층을 전면에 형성할 시 이러한 증착장치를 사용할 수 있다.

지금까지는 마더기판(10)의 매트릭스 패턴의 복수개의 영역들(11a, 11b, 11c, 11d, 11e, 11f, 11g, 12a, 12b, 12c, 12d, 12e, 12f, 12g, 13a, 13b, 13c, 13d, 13e, 13f, 13g) 각각에 디스플레이부를 형성함에 있어서 유기발광소자를 화소로 갖는 디스플레이부를 형성하는 것으로 설명하였으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 디스플레이부는 전계방출소자, 액정디스플레이소자 등을 포함할 수도 있다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

1: 증착챔버 10: 마더기판
11: 제1영역증착층 12: 제2영역증착층
13: 제3영역증착층 11a-11g,12a-12g,13a-13g: 복수개의 영역들
100: 마스크 110: 프레임
121, 122: 마스킹시트 200: 증착원
210: 지지부 121, 122: 마스킹시트

Claims (13)

1. 복수개의 디스플레이부들이 형성될 수 있는, 복수개의 행으로 일 방향으로 배치된 매트릭스 패턴의 복수개의 영역들을 갖는 마더기판을 준비하는 단계;
   상기 일 방향 또는 상기 일 방향의 반대방향으로 움직일 수 있는 증착원을 내부에 갖는 증착챔버에 상기 마더기판을 투입하는 단계;
   상기 일 방향으로 연장 배치된 상호 평행한 복수개의 스트라이프 형상의 마스킹시트들을 포함하고, 상기 일 방향과 교차하는 타 방향으로 연장 배치된 마스킹시트를 포함하지 않는 마스크를 이용하여, 상기 증착원이 상기 일 방향 또는 상기 일 방향의 반대 방향으로 움직이는 동안, 상기 마더기판 상에 물질을 증착하는 단계; 및
   상기 복수개의 디스플레이부들 각각의 주변을 따라 상기 마더기판을 절단하여 복수개의 디스플레이들을 획득하는 단계;를 포함하고,
   상기 마더기판은, 상기 일 방향으로 배치된 복수개의 디스플레이부를 포함하는 제1영역과, 상기 제1영역과 나란하게 배치된 복수개의 디스플레이부를 포함하는 제2영역을 포함하고,
   상기 마스킹시트들 중 하나는, 상기 제1영역과 상기 제2영역 사이에 위치하도록 배치되고,
   상기 마스킹시트의 상기 일 방향으로의 길이는, 상기 제1영역에 배치된 복수개의 디스플레이부들 전체를 커버할 수 있도록 상기 복수개의 디스플레이부들의 일 방향으로의 길이의 합보다 크고,
   상기 증착된 물질은 상기 제1영역에 포함된 복수개의 디스플레이부들과, 상기 디스플레이부들 사이의 영역에 전체적으로 균일한 두께로 형성되는, 디스플레이 제조방법.
2. 복수개의 디스플레이부들이 형성될 수 있는, 복수개의 행으로 일 방향으로 배치된 매트릭스 패턴의 복수개의 영역들을 갖는 마더기판을 준비하는 단계;
   증착원을 내부에 갖는 증착챔버에 상기 마더기판을 투입하는 단계;
   상기 일 방향으로 연장 배치된 상호 평행한 복수개의 스트라이프 형상의 마스킹시트들을 포함하고, 상기 일 방향과 교차하는 타 방향으로 연장 배치된 마스킹시트를 포함하지 않는 마스크를 이용하여, 상기 마더기판을 상기 일 방향 또는 상기 일 방향의 반대 방향으로 움직이는 동안, 상기 마더기판 상에 물질을 증착하는 단계; 및
   상기 복수개의 디스플레이부들 각각의 주변을 따라 상기 마더기판을 절단하여 복수개의 디스플레이들을 획득하는 단계;를 포함하고,
   상기 마더기판은, 상기 일 방향으로 배치된 복수개의 디스플레이부를 포함하는 제1영역과, 상기 제1영역과 나란하게 배치된 복수개의 디스플레이부를 포함하는 제2영역을 포함하고,
   상기 마스킹시트들 중 하나는, 상기 제1영역과 상기 제2영역 사이에 위치하도록 배치되고, 상기 마스킹시트의 상기 일 방향으로의 길이는, 상기 제1영역에 배치된 복수개의 디스플레이부들 전체를 커버할 수 있도록 상기 복수개의 디스플레이부들의 일 방향으로의 길이의 합보다 크고,
   상기 증착된 물질은 상기 제1영역에 포함된 복수개의 디스플레이부들과, 상기 디스플레이부들 사이의 영역에 전체적으로 균일한 두께로 형성되는, 디스플레이 제조방법.
3. 제2항에 있어서,
   상기 마더기판 상에 물질을 증착하는 단계는, 상기 마스크의 상기 증착원에 대한 위치는 고정된 채, 상기 마더기판을 움직이며 상기 마더기판 상에 물질을 증착하는 단계인, 디스플레이 제조방법.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 마더기판 상에 물질을 증착하는 단계는, 상기 마스크의 상기 마더기판에 대한 위치는 고정된 채 상기 마더기판 상에 물질을 증착하는 단계인, 디스플레이 제조방법.
5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 마스크의 상기 마스킹시트들은, 상기 마더기판의 상기 복수개의 영역들의 상기 일 방향으로 배열된 행(row)들 사이에 대응하는, 디스플레이 제조방법.
6. 삭제
7. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 복수개의 디스플레이부들 각각은 유기발광소자를 갖는, 디스플레이 제조방법.
8. 삭제
9. 삭제
10. 삭제
11. 삭제
12. 삭제
13. 삭제

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