JP2005025914A - 不揮発性半導体記憶装置及びその制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 メモリアレイ101の内の書き込みまたは消去対象のメモリセルに接続されたビット線とソース線に電圧スイッチ回路110を介してビット線とソース線の夫々に対応した書き込み電圧または消去電圧Vppが印加されている状態で、そのメモリセルに接続された選択トランジスタのゲート電極に接続するワード線に書き込み用または消去用の電圧パルスを印加するパルス電圧印加回路108を備える。
【選択図】 図1
Description
Zhuang,H.H.ほか、"Novel Colossal Magnetoresistive Thin Film Nonvolatile Resistance Random Access Memory(RRAM)",IEDM,論文番号7.5,2002年12月 Hsu,S.T.ほか、"Charge Transport Property in Non−Volatile Resistor Random Access Memory(RRAM)",Non−Volatile Semiconductor Memory Workshop 2003,pp.97−98 2003年2月)
図1は、本発明装置100のブロック図を示すものである。本発明装置100は、メモリアレイ101内に情報が記憶され、メモリアレイ101はメモリアセルを複数配置した構成を用い、メモリアレイ101内のメモリセルに情報を記憶し、読み出すことができる。
Vr=Vpp×Rr/(Rr+Ron)
Vds=Vpp×Ron/(Rr+Ron)
上記第1実施形態の本発明装置及び本発明方法では、書き込み及び消去時において、メモリセル11の選択トランジスタ6のゲート電極5に印加するパルス電圧の電圧振幅VwpとVweを、夫々独立して調整することにより、書き込み及び消去動作が行えることを説明した。また、第1実施形態では、ゲート電極5に印加するパルス電圧のパルス幅で、メモリセル11が書き込みまたは消去動作状態となる期間が規定される。これに対し、第2実施形態の本発明装置及び本発明方法では、書き込みまたは消去対象のメモリセルに接続するビット線とソース線の何れか一方にパルス電圧を印加することで、第1実施形態においてビット線とソース線間に印加される書き込み電圧または消去電圧がパルス状に印加されるようにし、その間に書き込みまたは消去対象のメモリセルに接続するワード線に所定のワード線電圧が印加され、ビット線とソース線の何れか一方に印加されるパルス電圧のパルス幅で、メモリセル11が書き込みまたは消去動作状態となる期間が規定されるようにする。この場合、選択トランジスタ6のゲート電極5に最適な電圧(ワード線電圧)を印加した状態で、可変抵抗素子10の上部電極9または選択トランジスタ6のソース領域2にパルス電圧を印加することになる。このパルス電圧が印加されている期間中において、各部(ワード線、ビット線、ソース線)の電圧条件を第1実施形態におけるパルス電圧印加中の電圧条件と同じにできるため、第1実施形態と同様の結果が得られることになる。但し、電圧パルスの立ち上がり時間を重視するケースでは、ワード線にパルス電圧を印加する第1実施形態より、負荷容量の小さいビット線にパルス電圧を印加する第2実施形態が望ましいと言える。
上記各実施形態では、メモリセル11は図2及び図7に示すように構成されていたが、メモリセル11の構成において、選択トランジスタ6のソース領域2と可変抵抗素子10の下部電極7を電気的に接続し、上部電極9をソース線に、ドレイン領域3をビット線に接続して、選択トランジスタ6と可変抵抗素子10の配置を入れ替えた構成としても構わない。当該配置の入れ替えによって、上部電極9とドレイン領域3間の電圧差(Vpp−Vss)が可変抵抗素子10の両端にかかる電圧Vrとソース−ドレイン電圧Vdsに分圧される状況は、定常状態において図2及び図7に示すメモリセル構成と同じである。
2 ソース領域
3 ドレイン領域
4 ゲート酸化膜
5 ゲート電極
6 選択トランジスタ
7 下部電極
8 可変抵抗
9 上部電極
10 可変抵抗素子
11 メモリセル
12 金属配線(ビット線)
13 金属配線(ソース線)
17 抵抗素子
100 不揮発性半導体記憶装置
101 メモリアレイ
102 アドレス線
103 データ線
104 ワード線デコーダ
105 ビット線デコーダ
106 ソース線デコーダ
107 読み出し回路
108 パルス電圧印加回路
109 制御回路
110 電圧スイッチ回路
111 制御信号線
200 不揮発性半導体記憶装置
208 パルス電圧印加回路
Claims (29)
- 半導体基板上に電気的ストレスによる電気抵抗の変化により情報を記憶する可変抵抗素子の一方端と選択トランジスタのドレインを接続して形成されたメモリセルを行方向及び列方向に夫々複数配列したメモリアレイと、同一行にある複数の前記メモリセルの前記選択トランジスタのゲートと接続するワード線と、同一行または同一列にある複数の前記メモリセルの前記選択トランジスタのソースと接続するソース線と、同一列にある複数の前記メモリセルの前記可変抵抗素子の他方端と接続するビット線と、前記メモリセルに情報の書き込み、消去、及び、読み出しの制御を行う制御回路と、前記ソース線と前記ビット線に印加する書き込み電圧、消去電圧、及び、読み出し電圧を切り替える電圧スイッチ回路と、前記メモリセルから情報の読み出しを行う読み出し回路とを少なくとも備えてなる不揮発性半導体記憶装置において、
前記メモリアレイの内の書き込みまたは消去対象の前記メモリセルに接続された前記ビット線と前記ソース線に前記電圧スイッチ回路を介して前記ビット線と前記ソース線の夫々に対応した前記書き込み電圧または消去電圧が印加されている状態で、そのメモリセルに接続された前記ワード線に書き込み用または消去用の電圧パルスを印加するパルス電圧印加回路を備えたことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 前記パルス電圧印加回路は、書き込み時は、書き込み用に調整された電圧値の電圧パルスを発生し、消去時は、消去用に調整された電圧値の電圧パルスを発生することを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記パルス電圧印加回路が発生する前記電圧パルスの電圧値は、前記書き込みまたは消去対象の前記メモリセルの前記選択トランジスタのゲートに印加された場合に、当該選択トランジスタのドレイン−ソース間電圧を前記ビット線と前記ソース線に印加された前記書き込み電圧または前記消去電圧の電圧差の絶対値から差し引いた電圧値が、前記可変抵抗素子を書き込むのに必要な書き込み閾値電圧または消去するのに必要な消去閾値電圧より大きくなるように設定されていることを特徴とする請求項2に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記電圧パルスの電圧値は、前記書き込みまたは消去対象の前記メモリセルの前記選択トランジスタのゲートに印加された場合に、当該選択トランジスタが、前記電圧パルス印加期間中の少なくとも一時期において飽和領域で動作するように設定されていることを特徴とする請求項2または3に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記パルス電圧印加回路が、前記電圧パルスを1本以上の前記ワード線に同時に印加できる機能を有すること特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記パルス電圧印加回路が、書き込み時において、少なくとも2本の前記ワード線に夫々異なる電圧値の前記パルス電圧を同時に印加できる機能を有すること特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 半導体基板上に電気的ストレスによる電気抵抗の変化により情報を記憶する可変抵抗素子の一方端と選択トランジスタのドレインを接続して形成されたメモリセルを行方向及び列方向に夫々複数配列したメモリアレイと、同一行にある複数の前記メモリセルの前記選択トランジスタのゲートと接続するワード線と、同一行または同一列にある複数の前記メモリセルの前記選択トランジスタのソースと接続するソース線と、同一列にある複数の前記メモリセルの前記可変抵抗素子の他方端と接続するビット線と、前記メモリセルに情報の書き込み、消去、及び、読み出しの制御を行う制御回路と、前記ワード線と前記ソース線と前記ビット線に印加する書き込み電圧、消去電圧、及び、読み出し電圧を切り替える電圧スイッチ回路と、前記メモリセルから情報の読み出しを行う読み出し回路とを少なくとも備えてなる不揮発性半導体記憶装置において、
前記メモリアレイの内の書き込みまたは消去対象の前記メモリセルに接続された前記ビット線及び前記ソース線の何れか一方と前記ワード線に前記電圧スイッチ回路を介して前記書き込み電圧または消去電圧が印加されている状態で、そのメモリセルに接続された前記書き込み電圧または消去電圧が印加されない前記ビット線または前記ソース線に書き込み用または消去用の電圧パルスを印加するパルス電圧印加回路を備えたことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 前記パルス電圧印加回路が、前記電圧パルスを1本以上の前記ビット線または前記ソース線に同時に印加できる機能を有すること特徴とする請求項7に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記ワード線に前記書き込み電圧を印加する手段が、書き込み時において、少なくとも2本の前記ワード線に夫々異なる電圧値の前記書き込み電圧を同時に印加できる機能を有すること特徴とする請求項7または8に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記可変抵抗素子が、マンガンを含有するペロブスカイト型結晶構造の酸化物で形成されていることを特徴とする請求項1〜9の何れか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記可変抵抗素子の電流−電圧特性が、プール−フレンケル型の非線形電導特性を有することを特徴とする請求項1〜10の何れか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記メモリセル内において、前記ソース線と前記ビット線が互いに平行に配置されていることを特徴とする請求項1〜11の何れか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記メモリセル内において、前記ソース線と前記ワード線が互いに平行に配置されていることを特徴とする請求項1〜12の何れか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記可変抵抗素子が、読み出し可能な2値以上の情報を記憶できることを特徴とする請求項1〜13の何れか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 半導体基板上に電気的ストレスによる電気抵抗の変化により情報を記憶する可変抵抗素子の一方端と選択トランジスタのドレインを接続して形成されたメモリセルを行方向及び列方向に夫々複数配列したメモリアレイと、同一行にある複数の前記メモリセルの前記選択トランジスタのゲートと接続するワード線と、同一行または同一列にある複数の前記メモリセルの前記選択トランジスタのソースと接続するソース線と、同一列にある複数の前記メモリセルの前記可変抵抗素子の他方端と接続するビット線と、前記メモリセルに情報の書き込み、消去、及び、読み出しの制御を行う制御回路と、前記ソース線と前記ビット線に印加する書き込み電圧、消去電圧、及び、読み出し電圧を切り替える電圧スイッチ回路と、前記メモリセルから情報の読み出しを行う読み出し回路とを少なくとも備えてなる不揮発性半導体記憶装置の制御方法において、
前記メモリアレイの内の書き込みまたは消去対象の前記メモリセルに接続された前記ビット線と前記ソース線に前記電圧スイッチ回路を介して前記ビット線と前記ソース線の夫々に対応した前記書き込み電圧または消去電圧が印加されている状態で、そのメモリセルに接続された前記ワード線に書き込み用または消去用の電圧パルスを印加して、書き込みまたは消去動作を行うことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置の制御方法。 - 前記メモリアレイの内の書き込みまたは消去対象の前記メモリセルに接続された前記ビット線と前記ソース線に前記電圧スイッチ回路を介して前記ビット線と前記ソース線の夫々に対応した前記書き込み電圧または消去電圧が印加されている状態で、そのメモリセルに接続された前記ワード線に書き込み用または消去用の電圧パルスを印加する第1工程と、前記メモリセル内の前記可変抵抗素子の電気抵抗が所定の範囲内に達しているかどうかを判定する第2工程と、前記電気抵抗が前記所定の範囲に達していない場合、再度、前記第1工程の電圧印加を前記第1工程と異なる電圧印加条件で行う第3工程と、前記電気抵抗が前記所定の範囲内に達するまで前記第2工程及び前記第3工程を繰り返す第4工程と、を有することを特徴とする請求項15に記載の不揮発性半導体記憶装置の制御方法。
- 前記第3工程における前記電圧パルスの電圧振幅が、前記第1工程より大きいことを特徴とする請求項16に記載の不揮発性半導体記憶装置の制御方法。
- 前記ワード線に書き込み用または消去用の電圧パルスを印加する場合に、書き込み時は、書き込み用に調整された電圧値の電圧パルスを発生し、消去時は、消去用に調整された電圧値の電圧パルスを発生することを特徴とする請求項15〜17の何れか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置の制御方法。
- 前記電圧パルスの電圧値は、前記書き込みまたは消去対象の前記メモリセルの前記選択トランジスタのゲートに印加された場合に、当該選択トランジスタのドレイン−ソース間電圧を前記ビット線と前記ソース線に印加された前記書き込み電圧または前記消去電圧の電圧差の絶対値から差し引いた電圧値が、前記可変抵抗素子を書き込むのに必要な書き込み閾値電圧または消去するのに必要な消去閾値電圧より大きくなるように設定されていることを特徴とする請求項18に記載の不揮発性半導体記憶装置の制御方法。
- 前記電圧パルスの電圧値は、前記書き込みまたは消去対象の前記メモリセルの前記選択トランジスタのゲートに印加された場合に、当該選択トランジスタが、前記電圧パルス印加期間中の少なくとも一時期において飽和領域で動作するように設定されていることを特徴とする請求項18または19に記載の不揮発性半導体記憶装置の制御方法。
- 前記ワード線に前記電圧パルスを印加する手段が、前記電圧パルスを1本以上の前記ワード線に同時に印加することを特徴とする請求項15〜20の何れか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置の制御方法。
- 前記ワード線に前記電圧パルスを印加する手段が、書き込み時において、2本以上の前記ワード線に複数の電圧値の中から各別に選択された電圧値の前記パルス電圧を同時に印加することを特徴とする請求項15〜21の何れか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置の制御方法。
- 半導体基板上に電気的ストレスによる電気抵抗の変化により情報を記憶する可変抵抗素子の一方端と選択トランジスタのドレインを接続して形成されたメモリセルを行方向及び列方向に夫々複数配列したメモリアレイと、同一行にある複数の前記メモリセルの前記選択トランジスタのゲートと接続するワード線と、同一行または同一列にある複数の前記メモリセルの前記選択トランジスタのソースと接続するソース線と、同一列にある複数の前記メモリセルの前記可変抵抗素子の他方端と接続するビット線と、前記メモリセルに情報の書き込み、消去、及び、読み出しの制御を行う制御回路と、前記ワード線と前記ソース線と前記ビット線に印加する書き込み電圧、消去電圧、及び、読み出し電圧を切り替える電圧スイッチ回路と、前記メモリセルから情報の読み出しを行う読み出し回路とを少なくとも備えてなる不揮発性半導体記憶装置の制御方法において、
前記メモリアレイの内の書き込みまたは消去対象の前記メモリセルに接続された前記ビット線及び前記ソース線の何れか一方と前記ワード線に前記電圧スイッチ回路を介して夫々に対応した前記書き込み電圧または消去電圧が印加されている状態で、そのメモリセルに接続された前記書き込み電圧または消去電圧が印加されない前記ビット線または前記ソース線に書き込み用または消去用の電圧パルスを印加して、書き込みまたは消去動作を行うことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置の制御方法。 - 前記ビット線または前記ソース線に前記電圧パルスを印加する手段が、前記電圧パルスを1本以上のビット線またはソース線に同時に印加することを特徴とする請求項23に記載の不揮発性半導体記憶装置の制御方法。
- 前記ワード線に前記書き込み電圧を印加する手段が、書き込み時において、少なくとも2本の前記ワード線に複数の電圧値の中から各別に選択された電圧値の前記パルス電圧を同時に印加することを特徴とする請求項23または24に記載の不揮発性半導体記憶装置の制御方法。
- 前記メモリアレイの内の書き込みまたは消去対象の前記メモリセルに接続された前記ビット線及び前記ソース線の何れか一方と前記ワード線に前記電圧スイッチ回路を介して夫々に対応した前記書き込み電圧または消去電圧が印加されている状態で、そのメモリセルに接続された前記書き込み電圧または消去電圧が印加されない前記ビット線または前記ソース線に書き込み用または消去用の電圧パルスを印加する第1工程と、前記メモリセル内の前記可変抵抗素子の電気抵抗が所定の範囲内に達しているかどうかを判定する第2工程と、前記電気抵抗が前記所定の範囲に達していない場合、再度、前記第1工程の電圧印加を前記第1工程と異なる電圧印加条件で行う第3工程と、前記電気抵抗が前記所定の範囲内に達するまで前記第2工程及び前記第3工程を繰り返す第4工程と、を有することを特徴とする請求項23〜25の何れか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置の制御方法。
- 前記第3工程における前記ワード線に印加される電圧が、前記第1工程より大きいことを特徴とする請求項26に記載の不揮発性半導体記憶装置の制御方法。
- 前記可変抵抗素子が、読み出し可能な2値以上の情報を記憶できることを特徴とする請求項15〜27の何れか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置の制御方法。
- 前記パルス電圧のパルス時間幅が、100マイクロ秒以下、10ナノ秒以上であることを特徴とする請求項15〜28の何れか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置の制御方法。
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