JP2009146478A - 記憶装置および情報再記録方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 230000015654 memory Effects 0.000 claims description 51
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 10
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 claims 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 11
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 27
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 6
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 229910052798 chalcogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000001787 chalcogens Chemical class 0.000 description 3
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 2
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 2
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
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- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0007—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements comprising metal oxide memory material, e.g. perovskites
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- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0004—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements comprising amorphous/crystalline phase transition cells
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- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0021—Auxiliary circuits
- G11C13/0069—Writing or programming circuits or methods
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0021—Auxiliary circuits
- G11C13/0069—Writing or programming circuits or methods
- G11C2013/0071—Write using write potential applied to access device gate
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- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0021—Auxiliary circuits
- G11C13/0069—Writing or programming circuits or methods
- G11C2013/0073—Write using bi-directional cell biasing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0021—Auxiliary circuits
- G11C13/0069—Writing or programming circuits or methods
- G11C2013/009—Write using potential difference applied between cell electrodes
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C2213/00—Indexing scheme relating to G11C13/00 for features not covered by this group
- G11C2213/50—Resistive cell structure aspects
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- G11C2213/70—Resistive array aspects
- G11C2213/82—Array having, for accessing a cell, a word line, a bit line and a plate or source line receiving different potentials
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Abstract
【課題】制御を要する電圧を減らし、周辺回路規模を小さくすることのできる記憶装置を提供する。
【解決手段】可変抵抗素子10の電極11にはビット線BLRを介して第1電源21より第1パルス電圧(VBLR)、トランジスタ20の制御端子20cにはワード線WLを介して第2電源22よりセル選択用の第2パルス電圧(VWL)、トランジスタ20の第2入出力端子20bにはビット線BLTを介して第3電源23より第3パルス電圧(VBLT)がそれぞれ供給される。情報の再書き込み時において、調整回路24により第3電源23の電圧値(VBLT)を調整することにより、セル電圧およびセル電流を変更(減少または増加)する。
【選択図】図3
【解決手段】可変抵抗素子10の電極11にはビット線BLRを介して第1電源21より第1パルス電圧(VBLR)、トランジスタ20の制御端子20cにはワード線WLを介して第2電源22よりセル選択用の第2パルス電圧(VWL)、トランジスタ20の第2入出力端子20bにはビット線BLTを介して第3電源23より第3パルス電圧(VBLT)がそれぞれ供給される。情報の再書き込み時において、調整回路24により第3電源23の電圧値(VBLT)を調整することにより、セル電圧およびセル電流を変更(減少または増加)する。
【選択図】図3
Description
本発明は、記憶素子およびスイチッング素子を有するメモリセルを備えた記憶装置に係り、特にベリファイ制御により再記録を行うための駆動源を有する記憶装置および情報再記録方法に関する。
コンピュータ等の情報機器においては、高速動作の可能な高密度のDRAM(Dynamic Random Access Memory)が広く用いられている。しかし、DRAMにおいては、電子機器に用いられる一般的な論理回路や信号処理回路などと比較して製造プロセスが複雑なため、製造コストが高いという問題がある。また、DRAMは、電源を切ると情報が消えてしまう揮発性メモリであり、頻繁にリフレッシュ動作を行う必要がある。
そこで、電源を切っても情報の消えない不揮発性メモリとして、例えば、FeRAM(Ferroelectric Random Access Memory;強誘電体メモリ)や、MRAM(Magnetoresistive Random Access Memory ;磁気記憶素子)などが提案されている。これらのメモリでは、電力を供給しなくても書き込んだ情報を長時間保持し続けることが可能であり、また、リフレッシュ動作を行う必要がないので、その分だけ消費電力を低減させることができる。しかし、FeRAMにおいては微細化が容易でないという問題があり、MRAMにおいては書込み電流が大きいという問題があった(例えば、非特許文献1)。
そこで、データの書込み速度の高速化に適したメモリとして、例えば、図9および図10に示したような新しいタイプの記憶装置が提案されている。
図9は、この記憶装置のメモリセル100を表したものである。このメモリセル100は、図10に断面構造を表した可変抵抗素子110と、MOSトランジスタ120(スイッチング素子)とを備えている。可変抵抗素子110は、電極111、イオン源層112、高抵抗層113および電極114を積層して形成されたものである。電極111はビット線BLR、電極114はMOSトランジスタ120の一方の端子にそれぞれ電気的に接続されている。MOSトランジスタ120の他方の端子はビット線BLT、MOSトランジスタ120のゲートはワード線WLにそれぞれ電気的に接続されている。
この記憶装置では、イオン源層112から高抵抗層113に向かって電流が流れるように電極114および電極111に電圧を印加すると、高抵抗層113が低抵抗に変化してデータが書き込まれる。逆に、高抵抗層113からイオン源層112に向かって電流が流れるように電極114および電極111に電圧を印加すると、高抵抗層113が高抵抗に変化してデータが消去される。
この記憶装置では、従来の不揮発性メモリ等と比較して、単純な構造でメモリセルを構成することができるため素子のサイズ依存性がなく、かつ、大きい信号を得ることができるためスケーリングに強いという特長を有する。また、抵抗変化によるデータ書込み速度を例えば5ナノ秒程度と速くすることができ、しかも低電圧(例えば1V程度)かつ低電流(例えば20μA程度)で動作させることができるという利点を有する。
日経エレクトロニクス,2007.7.16号,p.98
しかしながら、上記記憶装置では、従来方法で書き込みを行うようにすると、次のような問題が生じていた。すなわち、この種の記憶装置に最適な書き込みを行うためには、可変抵抗素子110に対して印加する電圧および電流を所定の範囲に制御する必要がある。図11はその書き込み時の等価回路を表したものである。電圧の制御は主にVBLR調整回路121によりビット線BLRの電圧(VBLR)、電流の制御は主にVWL調整回路122によりワード線WLの電圧(VWL)をそれぞれ調整することによってなされる。このように、従来方法によって最適な書き込みを行うためには、2つの電圧を制御するための調整回路が必要であり、これが周辺回路規模の増大を招く要因となっていた。
また、上記VBLやVWLの制御はセル毎や、ある程度のセルを集合にしたブロック単位毎に、出荷前の初期設定として行う場合もあるが、セル毎に、書き込み動作毎に毎回調整する場合がある。後者の一般的な技術としてベリファイ読み出しと再書き込みを組み合わせる方法がある(以下,合わせて単にベリファイと呼ぶ)。すなわち、書き込み動作後にベリファイ読み出しを行い、低抵抗であったら書き込み成功として書き込み動作を終了し、高抵抗であったら書き込み失敗として再書き込みを行うものであり、このサイクルをある上限回数まで繰り返す。
書き込みが失敗した場合には、電圧および電流の最適条件が大きくなる方に変動していることが予想されるので、再書き込みを行う場合には、VBL,VWLともに前回の書き込みよりも電圧を増加させて、書き込みの成功率を向上させる。このような複雑な制御を実現するには周辺回路の増大が不可避であるが、上記のように従来手法では2つの電圧を制御する必要があり、これが周辺回路規模の増大をさらに招くという問題があった。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、制御を要する電圧を減らし、周辺回路規模を小さくすることのできる記憶装置および情報再記録方法を提供することにある。
本発明の記憶装置は、一対の電極を有し、前記電極への電圧印加により情報が記録される記憶素子と、第1,第2入出力端子および制御端子を有し、第1入出力端子が可変抵抗素子の一方の電極に接続されたスイッチング素子と、記憶素子の他方の電極に第1電圧を供給する第1電源と、スイッチング素子の制御端子に選択用の第2電圧を供給する第2電源と、スイッチング素子の第2入出力端子に第3電圧を供給する第3電源を含み、記憶素子に対して情報を記録する際に第3電圧の電圧値を変更する調整手段とを備えたものである。前記記憶素子としては、具体的には、電極間に異なる極性のパルス電圧が印加されることによりその抵抗値が可逆的に変化する不揮発性の可変抵抗素子である。
本発明の記憶装置では、調整手段により、スイッチング素子の第2の入出力端子に印加する電圧の大きさが制御され、これにより記憶素子へ印加される電圧および電流がともに増加または減少する。
本発明の情報再記録方法は、一対の電極を有し、前記電極への電圧印加により情報が記録される記憶素子と、第1,第2入出力端子および制御端子を有し、前記第1入出力端子が前記可変抵抗素子の一方の電極に接続されたスイッチング素子とを有する記憶装置の、前記記憶素子に対して情報の記録が正しく実行されたか否かを確認するベリファイ動作を行い、その結果に応じて再記録を行う情報再記録方法であって、ベリファイ動作後の再記録の度に、前記スイッチング素子の第2の入出力端子に印加する電圧の大きさを変更するものである。
本発明の記憶装置および情報再記録方法によれば、記憶素子に印加する電圧および電流を変更する際に、スイッチング素子の第2の入出力端子に印加する電圧のみの大きさを制御するようにしたので、スイッチング素子の制御端子の電圧値は変更することなく、1つの電圧を制御するだけで記憶素子に印加する電圧および電流を同時に制御することができる。すなわち、制御する電圧を減らすことかでき、周辺回路規模を小さくすることが可能になる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
[第1の実施の形態]
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る記憶装置のメモリセル1を表したものである。メモリセル1は、記憶素子、例えば図2に示した可変抵抗素子10と、スイッチング素子としてのNチャネルMOS型のトランジスタ20とを備えている。記憶装置は、このメモリセル1を記憶単位として、複数個マトリクス状に配置したものである。図3は、メモリセル1の書き込み動作時の等価回路を表したものである。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る記憶装置のメモリセル1を表したものである。メモリセル1は、記憶素子、例えば図2に示した可変抵抗素子10と、スイッチング素子としてのNチャネルMOS型のトランジスタ20とを備えている。記憶装置は、このメモリセル1を記憶単位として、複数個マトリクス状に配置したものである。図3は、メモリセル1の書き込み動作時の等価回路を表したものである。
可変抵抗素子10は、例えば、電極11、イオン源層12、高抵抗層(可変抵抗層)および電極14を積層して形成されたものである。
電極11,14は、例えば、Al、Cu、Wなどの金属材料により構成されている。高抵抗層13は、例えば、金属材料、希土類元素、これらの混合物の酸化物あるいは窒化物、または半導体材料からなり、後述するように2つの電極11,14間に電圧を印加することにより、電極11,14の間に生じる電場の向きに応じて抵抗値が変化する機能を有している。
イオン源層12は、例えば、Cu、AgおよびAlのうち少なくとも一種類の金属元素と、Te、SおよびSeのうち少なくとも一種類のカルコゲン元素とを含んで構成されており、例えば、CuTeSi、GeSbTeSi、CuGeTeSi、AgGeTeSi、AgTeSi、AlTeSi、AlGeTeSi、ZrTeAl、CuZrTeAl、CuSSi、CuGeSSi、CuSeSi、CuGeSeSi等からなる。
上記Cu、Agは、陽イオンとなったときに、イオン源層12内や、高抵抗層13内を移動しやすい元素である。Teは、イオン源層12の抵抗値を、可変抵抗素子10がオンしたときの高抵抗層13の抵抗値よりも小さくすることの可能な元素である。そのため、イオン源層12において、カルコゲン元素としてTeを用いた場合には、抵抗値が大きく変化する部分を高抵抗層13に限定することができ、メモリ動作の安定性を向上させることができる。また、イオン源層12において、陽イオンとなる元素としてCuを用い、さらに、カルコゲン元素としてTeを用いた場合には、イオン源層12の抵抗値を、可変抵抗素子10がオンしたときの高抵抗層13の抵抗値よりも十分に小さくすることができるので、メモリ動作の安定性をより向上させることができる。
また、上記Alは可変抵抗素子10が低抵抗状態から高抵抗状態へ切り替わるときに化学的に安定な酸化物を形成するものであり、これにより消去状態(高抵抗状態)の保持特性が改善される。Siは、イオン源層12を非晶質化し、イオン源層12の結晶化温度を上昇させることの可能な元素である。そのため、イオン源層12にSiを適当量含有させた場合には、プロセス時に受ける熱などによる結晶化等の状態変化が抑制され、メモリ動作の安定性を向上させることができる。
イオン源層12には、例えばTeAlZrOxのように、更にO(酸素)を含めるようにしてもよく、これによりデータの書き込み時の保持特性および抵抗値の制御性が向上する。
図3に示したように、可変抵抗素子10の一方の電極11はビット線BLR、他方の電極14はトランジスタ20の第1入出力端子(ドレイン/ソース)20aにそれぞれ電気的に接続されている。トランジスタ20の第2入出力端子(ソース/ドレイン)20bはビット線BLT、トランジスタ20の制御端子20c(ゲート端子)はワード線WLにそれぞれ電気的に接続されている。
可変抵抗素子10の電極11にはビット線BLRを介して第1電源21より第1パルス電圧(VBLR)、トランジスタ20の制御端子20cにはワード線WLを介して第2電源22よりセル選択用の第2パルス電圧(VWL)、また、トランジスタ20の第2入出力端子20bにはビット線BLTを介して第3電源23より第3パルス電圧(VBLT)がそれぞれ供給されるようになっている。
ここで、本実施の形態では、第1電源21および第2電源22はそれぞれその書き込みの電圧値(パルス高さ)が一定の固定電圧源であるのに対し、第3電源23はその電圧値を調整回路24(調整手段)により変更できるものである。すなわち、情報の書き込み時において、トランジスタ20の第2入出力端子20bがソースとして作用する範囲内で、電圧値を任意に減少または増加させることが可能となっている。具体的には、例えば第3電源23では電圧値(パルス高)の異なる複数の書き込み用DC電源を含む構成を有しており、その選択が調整回路24によりなされる。なお、パルス電圧には、文字通りのパルス波形に限らず、例えばランプ状波形の電圧も含まれる。
次に、本実施の形態の記憶装置(メモリセル1)の動作について説明する。
(書き込み)
第1電源21および第3電源23により、電極14に負電位(−電位)、電極11に正電位(+電位)をそれぞれ印加して、イオン源層12から高抵抗層13に向かって電流を流すと、イオン源層12から、Cu、AgおよびAlのうち少なくとも一種類の金属元素がイオン化して高抵抗層13内を拡散していき、電極14側で電子と結合して析出したり、あるいは、高抵抗層13の内部に拡散した状態で留まる。その結果、高抵抗層13の内部に上記金属元素を多量に含む電流パスが形成されたり、若しくは、高抵抗層13の内部に上記金属元素による欠陥が多数形成され、高抵抗層13の抵抗値が低くなる。このとき、イオン源層12の抵抗値は、高抵抗層13の書き込み前の抵抗値に比べて元々低いので、高抵抗層13の抵抗値が低くなることにより、可変抵抗素子10全体の抵抗値も低くなる(つまり、可変抵抗素子10がオンする)。なお、このときの可変抵抗素子10全体の抵抗が書込抵抗となる。その後、電極11,14に印加されている電位を零にして可変抵抗素子10にかかる電圧を零にすると、可変抵抗素子10の抵抗値が低くなった状態で保持される。このようにして情報の書き込みが行われる。
第1電源21および第3電源23により、電極14に負電位(−電位)、電極11に正電位(+電位)をそれぞれ印加して、イオン源層12から高抵抗層13に向かって電流を流すと、イオン源層12から、Cu、AgおよびAlのうち少なくとも一種類の金属元素がイオン化して高抵抗層13内を拡散していき、電極14側で電子と結合して析出したり、あるいは、高抵抗層13の内部に拡散した状態で留まる。その結果、高抵抗層13の内部に上記金属元素を多量に含む電流パスが形成されたり、若しくは、高抵抗層13の内部に上記金属元素による欠陥が多数形成され、高抵抗層13の抵抗値が低くなる。このとき、イオン源層12の抵抗値は、高抵抗層13の書き込み前の抵抗値に比べて元々低いので、高抵抗層13の抵抗値が低くなることにより、可変抵抗素子10全体の抵抗値も低くなる(つまり、可変抵抗素子10がオンする)。なお、このときの可変抵抗素子10全体の抵抗が書込抵抗となる。その後、電極11,14に印加されている電位を零にして可変抵抗素子10にかかる電圧を零にすると、可変抵抗素子10の抵抗値が低くなった状態で保持される。このようにして情報の書き込みが行われる。
(消去)
次に、第1電源21および第3電源23により、電極14に正電位(+電位)、電極11に負電位(−電位)をそれぞれ印加して、高抵抗層13からイオン源層12に向かって電流を流すと、高抵抗層13内に形成されていた電流パス、あるいは不純物準位を構成する、上記金属元素がイオン化して、高抵抗層13内を移動してイオン源層12側に戻る。その結果、高抵抗層13内から、電流パス若しくは欠陥が消滅して、高抵抗層13の抵抗値が高くなる。このときイオン源層12の抵抗値は元々低いので、高抵抗層13の抵抗値が高くなることにより、可変抵抗素子10全体の抵抗値も高くなる(つまり、可変抵抗素子10がオフする)。なお、このときの可変抵抗素子10全体の抵抗が消去抵抗となる。その後、電極11,14に印加されている電位を零にして可変抵抗素子10にかかる電圧を零にすると、可変抵抗素子10の抵抗値が高くなった状態で保持される。このようにして、書き込まれた情報の消去が行われる。
次に、第1電源21および第3電源23により、電極14に正電位(+電位)、電極11に負電位(−電位)をそれぞれ印加して、高抵抗層13からイオン源層12に向かって電流を流すと、高抵抗層13内に形成されていた電流パス、あるいは不純物準位を構成する、上記金属元素がイオン化して、高抵抗層13内を移動してイオン源層12側に戻る。その結果、高抵抗層13内から、電流パス若しくは欠陥が消滅して、高抵抗層13の抵抗値が高くなる。このときイオン源層12の抵抗値は元々低いので、高抵抗層13の抵抗値が高くなることにより、可変抵抗素子10全体の抵抗値も高くなる(つまり、可変抵抗素子10がオフする)。なお、このときの可変抵抗素子10全体の抵抗が消去抵抗となる。その後、電極11,14に印加されている電位を零にして可変抵抗素子10にかかる電圧を零にすると、可変抵抗素子10の抵抗値が高くなった状態で保持される。このようにして、書き込まれた情報の消去が行われる。
このような過程を繰返し行うことにより、可変抵抗素子10に情報の書き込みと、書き込まれた情報の消去を繰り返し行うことができる。
このとき、例えば、可変抵抗素子10全体の抵抗が書込抵抗となっている状態(低抵抗状態)を「1」の情報に、可変抵抗素子10全体の抵抗が消去抵抗となっている状態(高抵抗状態)を「0」の情報に、それぞれ対応させると、電極14に負電位を印加することによって、可変抵抗素子10の情報を「0」から「1」に変え、電極14に正電位を印加することによって、可変抵抗素子10の情報を「1」から「0」に変えることができる。
また、この可変抵抗素子10では、広範囲の抵抗値を保持できるものであり、例えば低抵抗から高抵抗へと変化させる際の消去電圧を制御して高抵抗状態と低抵抗状態との間の中間的な状態を作り出せば、その状態を安定して保持することができる。よって2値だけでなく多値記憶が可能となり、大容量化を実現することができる。
(読み出し)
上記のように記録された情報の読み出しを行う場合には、電極14に書き込み動作が起きない程度の負電位を印加すると共に電極11に正電位を印加、または逆に電極14に消去動作が起きない程度の正電位を印加すると共に電極11に負電位を印加して、イオン源層12および高抵抗層13に電流を流すと、書き込み状態の抵抗値,消去状態の抵抗値に対応した微小な電流が流れる。この電流値を、例えばメモリセルアレイの外部に設置したセンスアンプなどで検出することにより、可変抵抗素子10が低抵抗状態(「1」)か、高抵抗状態(「0」)かを判別することができる。
上記のように記録された情報の読み出しを行う場合には、電極14に書き込み動作が起きない程度の負電位を印加すると共に電極11に正電位を印加、または逆に電極14に消去動作が起きない程度の正電位を印加すると共に電極11に負電位を印加して、イオン源層12および高抵抗層13に電流を流すと、書き込み状態の抵抗値,消去状態の抵抗値に対応した微小な電流が流れる。この電流値を、例えばメモリセルアレイの外部に設置したセンスアンプなどで検出することにより、可変抵抗素子10が低抵抗状態(「1」)か、高抵抗状態(「0」)かを判別することができる。
このように、本実施の形態の可変抵抗素子10では、電極11、イオン源層12、高抵抗層13および電極14を積層しただけの簡易な構造であるので、微細化しても情報の書き込みおよび消去を行うことができると共に、電力の供給がなくても、高抵抗層13の抵抗値を保持することができるので、情報を長期に渡って保存することができる。また、読み出しによって高抵抗層13の抵抗値が変化することはなく、リフレッシュ動作を行う必要がないので、その分だけ消費電力を低減することが可能である。
加えて、従来、ベリファイのような複雑な制御を実現するには周辺回路の増大が不可避であったが、本実施の形態では、周辺回路規模を小さくすることができる。以下、その点について説明する。
(ベリファイ)
前述のようにベリファイ動作では、書き込み動作後に読み出し(ベリファイ読み出し)を行い、可変抵抗素子10が低抵抗であったら書き込み成功で書き込み動作を終了し、高抵抗であったら書き込み失敗として再書き込みを行う。そして、このサイクルをある上限回数まで繰り返す。
前述のようにベリファイ動作では、書き込み動作後に読み出し(ベリファイ読み出し)を行い、可変抵抗素子10が低抵抗であったら書き込み成功で書き込み動作を終了し、高抵抗であったら書き込み失敗として再書き込みを行う。そして、このサイクルをある上限回数まで繰り返す。
図4は、上記メモリセルの書き込み動作における、最適な印加電圧・電流の範囲を模式的に表わしたものである。ここで、セル印加電圧とは書き込み動作の初期でまだ抵抗値が高抵抗の状態におけるセル印加電圧であり、セル印加電流とは抵抗値が低抵抗に変化した後の状態におけるセル印加電流を意味する。最適な印加電圧・電流の範囲は各々の上限・下限で囲まれた四角形で模式的に表わせる。典型的なセルの範囲がaであり、上方にシフトした例がb、下方にシフトした例がcである。このようなシフトはセル特有のセル間のばらつきで発生する場合もあるし、同一のセルでも繰返し動作による特性の変動で発生する場合もある。本実施の形態のメモリセルでは、このようなシフトは、電圧と電流に相関がある場合が多く、領域Dや領域Eのように電圧と電流が互いに逆方向の領域にシフトする場合は殆どない。
最適な印加電圧・電流の範囲がbにシフトした場合には図の実線の矢印のように、セル印加電圧とセル印加電流をともにセンター条件より増加させて書き込みを行う必要があり、cにシフトした場合には図の破線の矢印のように、セル印加電圧とセル印加電流をともにセンター条件より減少させて再書き込みを行う必要がある。以下、本実施の形態での再書き込みの手法について、従来の手法と比較しつつ説明する。
まず、図9に示した従来のメモリセル100では、セル印加電圧・電流は各々、以下のように近似できる。
ここで、W:チャネル幅、L:チャネル長、μs :キャリアの表面移動度、Cox:単位面積当たりのゲート容量、Vg:ゲート電圧、Vs(=0V):ソース電圧、Vt:閾値電圧、である。セル印加電圧はVBLそのものであり、セル印加電流はVWLに依存する。
書き込みが失敗した場合には、図4のbの領域に変動していることが予想されるので、再書き込みを行う場合には、図12(A),(B)に示したようにVBL,VWLともに前回の書き込みよりも電圧を増加させて、書き込みの成功率を向上させる。VBLmin(VWLmin)を初期値とし、サイクル上限4回、電圧上限VBLmax(VWLmax)までベリファイを行う例である。電圧は毎回、ΔVBL(ΔVWL)だけ増加させる。図中でベリファイ読み出しは図示していないが、ベリファイ読み出しは電圧パルスの印加後に挿入される。
このような複雑な制御を実現するには周辺回路の増大が不可避であるが、従来手法ではVWLとVBLの2つの電圧を制御する必要があり、周辺回路規模の増大をさらに招くという問題があった。
これに対して、本実施の形態では、VWL,VBLRの2つの電圧は固定値とし、VBLTのみを変更可能とするもので、これによりセル印加電圧、電流ともに変更可能としたものである。
前述の図3は書き込み動作時の等価回路を表したものであり、第3電源23の電圧値(VBLT)はトランジスタ20の第2入出力端子20bがソースとして作用する電圧範囲に設定されており、VWL,VBLR,VBLTの中で、VBLTが最低電位になるよう電圧範囲が設定されている。
図3の等価回路では、セル印加電圧・電流は各々、以下のように近似できる。
ここで、W:チャネル幅、L:チャネル長、μs :キャリアの表面移動度、Cox:単位面積当たりのゲート容量、Vg:ゲート電圧、Vs:ソース電圧、Vt:閾値電圧、である。
ここで、W:チャネル幅、L:チャネル長、μs :キャリアの表面移動度、Cox:単位面積当たりのゲート容量、Vg:ゲート電圧、Vs:ソース電圧、Vt:閾値電圧、である。
以上の近似式より明らかなように、VWL,VBLRの2つの電圧は固定値としてもVBLTのみを制御することで、セル印加電圧、電流ともに制御できることが分かる。
図4において、最適な印加電圧・電流の範囲がbにシフトした場合には、本実施の形態では、図の実線の矢印のように、VBLTのみを減少させることでセル印加電圧とセル印加電流を同時に増加させて書き込みを行い、cにシフトした場合には図の破線の矢印のように、VBLTのみを増加させてセル印加電圧とセル印加電流を同時にセンター条件より減少させて書き込みを行う。
図5は、本実施の形態におけるベリファイ制御の一例の模式図を表したものである。図5(A)はVBLT、図5(B)はVBLT−VBLT(セル印加電圧)、図5(C)はVWL−VBLT(=Vg−Vs)をそれぞれ表している。書き込み動作後にベリファイ読み出しを行い、低抵抗であったら書き込み成功として書き込み動作を終了し、高抵抗であったら書き込み失敗として再書き込みを行う。このサイクルをある上限回数まで繰り返す。
書き込みが失敗した場合は、図4のbの領域に変動していることが予想されるので、再書き込みを行う場合には、図5(A)に示したようにVBLTの電圧を前回の書き込みよりも減少させて、等価的に書き込み電圧と電流を同時に増大させ、書き込みの成功率を向上させる。ここでは、VBLTmaxを初期値とし、サイクル上限4回、電圧下限VBLmin=0Vまでベリファイを行う例としている。本実施の形態では、電圧は毎回ΔVBLTだけ増加させる。図中でベリファイ読み出しは図示していないが、ベリファイ読み出しは電圧パルスの印加後に挿入される。
このように本実施の形態では、VBLTのみを制御することでセル印加電圧と電流を同時に制御できることから、複雑な制御が不要となり、周辺回路の構成を簡素化することができる。
以下、本発明の他の実施の形態について説明する。なお、第1の実施の形態と同一の構成要素についてはその説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
[第2の実施の形態]
図6は図3の可変抵抗素子10の接続を逆向きにしたメモリセル2の消去動作時の等価回路を表すものである。この場合、可変抵抗素子10での電流の流れは書き込み時(図3)の場合とは逆向きになる。ここでは、セル印加電圧とは、抵抗値が高抵抗に変化した後の状態における電圧であり、セル印加電流とは消去動作の初期でまだ抵抗値が低抵抗の状態におけるセル印加電流に再定義される。その他は、第1の実施の形態(図3)と同様で、第3電源23(VBLT)のみを制御することでセル印加電圧と電流を同時に制御できる。
図6は図3の可変抵抗素子10の接続を逆向きにしたメモリセル2の消去動作時の等価回路を表すものである。この場合、可変抵抗素子10での電流の流れは書き込み時(図3)の場合とは逆向きになる。ここでは、セル印加電圧とは、抵抗値が高抵抗に変化した後の状態における電圧であり、セル印加電流とは消去動作の初期でまだ抵抗値が低抵抗の状態におけるセル印加電流に再定義される。その他は、第1の実施の形態(図3)と同様で、第3電源23(VBLT)のみを制御することでセル印加電圧と電流を同時に制御できる。
[変形例]
以上の説明したメモリセル1,2では、NMOS構成のトランジスタ20を用いたが、図7および図8に示したメモリセル3およびメモリセル4のように、PMOS構成のトランジスタ30を用いてもよい。
以上の説明したメモリセル1,2では、NMOS構成のトランジスタ20を用いたが、図7および図8に示したメモリセル3およびメモリセル4のように、PMOS構成のトランジスタ30を用いてもよい。
図7はメモリセル3の書き込み動作時の等価回路を表している。VBLTの電圧設定はトランジスタ30のビット線BLTがソース端子として作用する電圧範囲に設定されている。すなわち、VWL,VBLR,VBLTの中で、VBLTが最高電位になる電圧範囲である。本実施の形態においても、VWL,VBLRの2つの電圧は固定値で、VBLTのみを制御する。ここで、セル印加電圧は以下のように近似できる。
その他は図3と同様で、VBLTのみを制御することでセル印加電圧と電流を同時に制御できる。
図8はメモリセル4の消去動作時の等価回路を表すもので、可変抵抗素子10の電流の流れは図7の場合とは逆向きになる。ここでは、セル印加電圧とは、抵抗値が高抵抗に変化した後の状態における電圧であり、セル印加電流とは消去動作の初期でまだ抵抗値が低抵抗の状態におけるセル印加電流に再定義される。その他は図7と同様で、VBLTのみを制御することでセル印加電圧と電流を同時に制御できる。
以上、実施の形態および変形例を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態等に限定されるものではなく、種々変形可能である。例えば、上記実施の形態ではベリファイ制御について説明したが、本発明はベリファイ制御のみ限らず、個別に書き込み電圧を制御する場合にも適用可能である。
また、上記実施の形態では、1つの選択トランジスタに対して1つの可変抵抗素子10を接続したメモリセル(所謂1T−1R型のメモリセル)を例に挙げて説明したが、本発明は1つの選択トランジスタに対して複数の可変抵抗素子10を接続した構成のメモリセルについて適用することも可能である。
更に、可変抵抗素子10の構造についても上記実施の形態のものに限らず、他の構成、例えば図2の断面構成において、イオン源層12と高抵抗層13との積層順序を逆にした構成としたもの、あるいはイオン源層12を設ける代わりにイオン源層12に用いられる金属元素を高抵抗層13に含有させた構成のもの、更にはイオン源層12に用いられる金属元素を電極に含有させて、電極がイオン源層12を兼ねるようにした構成のものなどでもよく、本発明はこのような可変抵抗素子を用いた記憶装置のいずれにも適用可能である。
更には、記憶素子としてはこのような可変抵抗素子10に限らず、その他の素子,例えば相変化メモリを用いることも可能であり、このようなメモリを用いた記憶装置としてもよい。
また、スイチッング素子としては、2つの入出力端子および制御端子を有するものであればよく、MOSトランジスタの他、バイポーラトランジスタを適用することも可能である。
1,2,3,4…メモリセル、10…可変抵抗素子、11,14…電極、12…イオン源層、13…高抵抗層、20,30…選択トランジスタ、21…第1電源、22…第1電源、23…第3電源(可変)、24…調整回路
Claims (10)
- 一対の電極を有し、前記電極への電圧印加により情報が記録される記憶素子と、
第1,第2入出力端子および制御端子を有し、前記第1入出力端子が前記可変抵抗素子の一方の電極に接続されたスイッチング素子と、
前記記憶素子の他方の電極に第1電圧を供給する第1電源と、
前記スイッチング素子の制御端子に選択用の第2電圧を供給する第2電源と、
前記スイッチング素子の第2入出力端子に第3電圧を供給する第3電源を含み、前記記憶素子に対して情報を記録する際に前記第3電圧の電圧値を変更する調整手段と
を備えたことを特徴とする記憶装置。 - 前記記憶素子は、前記電極間に異なる極性のパルス電圧が印加されることによりその抵抗値が可逆的に変化する不揮発性の可変抵抗素子である
ことを特徴とする請求項1記載の記憶装置。 - 前記スイッチング素子はMOSトランジスタであり、前記調整手段は、前記可変抵抗素子に対して情報を記録する際に、前記第3電圧の電圧値を、前記MOSトランジスタの第2入出力端子がソース端子として作用する範囲内で減少または増加させる
ことを特徴とする請求項2に記載の記憶装置。 - 前記調整手段は、前記記憶素子において情報の記録が正しく実行されたか否かを確認するベリファイ動作の結果に応じて再記録を行う度に、前記第3電圧の電圧値を変更する
ことを特徴とする請求項3に記載の記憶装置。 - 前記第1電圧および第2電圧の電圧値は変更しない
ことを特徴とする請求項4に記載の記憶装置。 - 前記可変抵抗素子は、前記電極間に高抵抗層を有し、前記高抵抗層に接する層内に、或いは前記高抵抗層内にイオン化が容易な金属元素を含有する
ことを特徴とする請求項2に記載の記憶装置。 - 前記金属元素は、Cu,AgおよびAlのうちの少なくとも1種類の元素である
ことを特徴とする請求項6に記載の記憶装置。 - 前記高抵抗層に接する層内、或いは前記高抵抗層内に前記金属元素のイオン化を促進材料として、S,Se,TeおよびOのうちの少なくとも1種類の元素を含む
ことを特徴とする請求項6に記載の記憶装置。 - 一対の電極を有し、前記電極への電圧印加により情報が記録される記憶素子と、第1,第2入出力端子および制御端子を有し、前記第1入出力端子が前記可変抵抗素子の一方の電極に接続されたスイッチング素子とを有する記憶装置の、前記記憶素子に対して情報の記録が正しく実行されたか否かを確認するベリファイ動作を行い、その結果に応じて再記録を行う情報再記録方法であって、
ベリファイ動作後の再記録の度に、前記スイッチング素子の第2の入出力端子に印加する電圧の大きさを変更する
ことを特徴とする情報再記録方法。 - 前記記憶素子は、前記電極間に異なる極性のパルス電圧が印加されることによりその抵抗値が可逆的に変化する不揮発性の可変抵抗素子である
ことを特徴とする請求項8記載の情報再記録方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007320578A JP2009146478A (ja) | 2007-12-12 | 2007-12-12 | 記憶装置および情報再記録方法 |
TW097146614A TWI400706B (zh) | 2007-12-12 | 2008-12-01 | Memory device and information re - recording method |
KR1020107012517A KR20100097678A (ko) | 2007-12-12 | 2008-12-11 | 기억 장치 및 정보 재기록 방법 |
CN200880119293.8A CN101889311B (zh) | 2007-12-12 | 2008-12-11 | 存储装置及信息再记录方法 |
US12/747,832 US8369128B2 (en) | 2007-12-12 | 2008-12-11 | Storage device and information rerecording method |
PCT/JP2008/072488 WO2009075315A1 (ja) | 2007-12-12 | 2008-12-11 | 記憶装置および情報再記録方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007320578A JP2009146478A (ja) | 2007-12-12 | 2007-12-12 | 記憶装置および情報再記録方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009146478A true JP2009146478A (ja) | 2009-07-02 |
Family
ID=40755555
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007320578A Pending JP2009146478A (ja) | 2007-12-12 | 2007-12-12 | 記憶装置および情報再記録方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8369128B2 (ja) |
JP (1) | JP2009146478A (ja) |
KR (1) | KR20100097678A (ja) |
CN (1) | CN101889311B (ja) |
TW (1) | TWI400706B (ja) |
WO (1) | WO2009075315A1 (ja) |
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CN109271742A (zh) * | 2018-10-29 | 2019-01-25 | 成都师范学院 | 磁控忆阶元 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4846813B2 (ja) * | 2009-03-12 | 2011-12-28 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
WO2017150028A1 (ja) * | 2016-02-29 | 2017-09-08 | ソニー株式会社 | 半導体回路、半導体回路の駆動方法、および電子機器 |
CN108962313A (zh) * | 2017-05-23 | 2018-12-07 | 旺宏电子股份有限公司 | 存储器操作方法及存储器操作装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4187148B2 (ja) | 2002-12-03 | 2008-11-26 | シャープ株式会社 | 半導体記憶装置のデータ書き込み制御方法 |
JP2004185755A (ja) * | 2002-12-05 | 2004-07-02 | Sharp Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
US6909633B2 (en) | 2002-12-09 | 2005-06-21 | Applied Spintronics Technology, Inc. | MRAM architecture with a flux closed data storage layer |
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JP4546842B2 (ja) | 2005-01-20 | 2010-09-22 | シャープ株式会社 | 不揮発性半導体記憶装置及びその制御方法 |
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-
2007
- 2007-12-12 JP JP2007320578A patent/JP2009146478A/ja active Pending
-
2008
- 2008-12-01 TW TW097146614A patent/TWI400706B/zh not_active IP Right Cessation
- 2008-12-11 US US12/747,832 patent/US8369128B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-12-11 KR KR1020107012517A patent/KR20100097678A/ko not_active Application Discontinuation
- 2008-12-11 WO PCT/JP2008/072488 patent/WO2009075315A1/ja active Application Filing
- 2008-12-11 CN CN200880119293.8A patent/CN101889311B/zh not_active Expired - Fee Related
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CN109271742A (zh) * | 2018-10-29 | 2019-01-25 | 成都师范学院 | 磁控忆阶元 |
CN109271742B (zh) * | 2018-10-29 | 2022-11-08 | 成都师范学院 | 磁控忆阶元 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20110149635A1 (en) | 2011-06-23 |
WO2009075315A1 (ja) | 2009-06-18 |
KR20100097678A (ko) | 2010-09-03 |
TW200943297A (en) | 2009-10-16 |
CN101889311B (zh) | 2013-07-24 |
US8369128B2 (en) | 2013-02-05 |
CN101889311A (zh) | 2010-11-17 |
TWI400706B (zh) | 2013-07-01 |
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