JP2012204399A - 抵抗変化メモリ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】抵抗変化メモリ10は、第1の方向に延在する複数のワード線と、第2の方向に延在する第1乃至第3のビット線と、第1及び第3のビット線に接続された複数の可変抵抗素子20と、半導体基板30内に設けられ、かつ斜め方向に延在する複数のアクティブ領域AAと、複数のアクティブ領域AAに設けられた、かつ可変抵抗素子20に接続された複数の選択トランジスタ21と、選択トランジスタと第3のビット線とを接続する複数のコンタクトプラグ37とを含む。複数の可変抵抗素子20は、第2の方向に並ぶようにして、第1のビット線の下方かつ複数のワード線間のそれぞれに配置された第1の可変抵抗素子群と、第2の方向に並ぶようにして、第3のビット線の下方かつ複数のワード線間のそれぞれに配置された第2の可変抵抗素子群とからなる。
【選択図】 図2
Description
本実施形態の抵抗変化メモリとしては、磁気ランダムアクセスメモリ(MRAM:Magnetic Random Access Memory)、抵抗ランダムアクセスメモリ(ReRAM:Resistive Random Access Memory)、相変化ランダムアクセスメモリ(PCRAM:Phase-Change Random Access Memory)など様々な種類のメモリを使用することが可能である。本実施形態では、抵抗変化メモリとしてMRAMを一例に挙げて説明する。MRAMは、磁気抵抗(magnetoresistive)効果を利用するMTJ(Magnetic Tunnel Junction)素子を記憶素子として備え、このMTJ素子の磁化配列により情報を記憶する。
次に、MRAM10の動作について説明する。図8は、MRAM10の書き込み動作を説明する図である。一例として、図8の破線丸印で示したMTJ素子20−3Aにデータを書き込むものとする。
次に、MRAM10の製造方法について説明する。
図9は、MRAM10の製造工程を示す平面図、図10は、図9に示したD−D´線に沿った断面図である。まず、例えばCVD(Chemical Vapor Deposition)法を用いて、半導体基板30上に、ハードマスク層となる絶縁層40を堆積する。絶縁層40としては、例えばシリコン酸化物が用いられる。
次に、本実施形態の変形例について説明する。図25は、本実施形態の変形例に係るメモリセルアレイ11の平面図である。図26は、図25に示したE−E´線に沿ったメモリセルアレイ11の断面図である。
以上詳述したように本実施形態では、半導体基板30上に第1方向に延在する複数のワード線WLを設け、また、半導体基板30の上方に第2の方向に延在する3本のビット線BL1〜BL3を設ける。そして、複数のワード線WL間にそれぞれ1つずつ配置するようにして、ビット線BL1の下方に第2方向に並んだ複数のMTJ素子を配置する。ビット線BL3の下方にも、ビット線BL1と同様に、複数のMTJ素子を配置する。また、複数のワード線WL間にそれぞれ1つずつ配置するようにして、ビット線BL2の下に選択トランジスタ21に接続される複数のコンタクトプラグ37を配置する。さらに、選択トランジスタ21が形成される素子領域AAは、第1方向に対して斜め方向に延在し、1つの素子領域AAに2つの選択トランジスタ21が1つの拡散領域を共有して形成される。
Claims (5)
- 第1の方向に延在する複数のワード線と、
前記第1の方向に交差する第2の方向に延在する第1乃至第3のビット線と、
前記第1及び第3のビット線に接続された第1の端子を有する複数の可変抵抗素子と、
半導体基板内に設けられ、かつ前記第1乃至第3のビット線に交差するようにして前記第1の方向に対して斜め方向に延在する複数のアクティブ領域と、
前記複数のアクティブ領域に設けられ、かつ前記ワード線に接続されたゲートを有し、かつ前記可変抵抗素子の第2の端子に電流経路の一端が接続された複数の選択トランジスタと、
前記選択トランジスタの電流経路の他端と前記第3のビット線とを接続する複数のコンタクトプラグと、
を具備し、
前記複数のアクティブ領域の各々には、拡散領域を共有するようにして2つ選択トランジスタが設けられ、
前記複数の可変抵抗素子は、前記第2の方向に並ぶようにして、前記第1のビット線の下方かつ前記複数のワード線間のそれぞれに配置された第1の可変抵抗素子群と、前記第2の方向に並ぶようにして、前記第3のビット線の下方かつ前記複数のワード線間のそれぞれに配置された第2の可変抵抗素子群とからなり、
前記複数のコンタクトは、前記第2の方向に並ぶようにして、前記第2のビット線の下かつ前記複数のワード線間のそれぞれに配置されることを特徴とする抵抗変化メモリ。 - 前記第1乃至第3のビット線は、同じレベルの配線層で構成されることを特徴とする請求項1に記載の抵抗変化メモリ。
- 前記第1のビット線に接続された可変抵抗素子にデータを書き込む場合に、前記第2及び第3のビット線を同電圧にする書き込み回路をさらに具備することを特徴とする請求項1又は2に記載の抵抗変化メモリ。
- 前記書き込み回路は、前記第3のビット線に電圧を印加するタイミングを、前記第2のビット線に電圧を印加するタイミングよりも遅くすることを特徴とする請求項3に記載の抵抗変化メモリ。
- 前記第1のビット線に接続された可変抵抗素子にデータを書き込む場合に、前記第3のビット線をフローティング状態にする書き込み回路をさらに具備することを特徴とする請求項1又は2に記載の抵抗変化メモリ。
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