JP2011222829A - 抵抗変化メモリ - Google Patents
抵抗変化メモリ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011222829A JP2011222829A JP2010091551A JP2010091551A JP2011222829A JP 2011222829 A JP2011222829 A JP 2011222829A JP 2010091551 A JP2010091551 A JP 2010091551A JP 2010091551 A JP2010091551 A JP 2010091551A JP 2011222829 A JP2011222829 A JP 2011222829A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- memory cell
- variable resistance
- word line
- selection transistor
- column
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/16—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect
- G11C11/165—Auxiliary circuits
- G11C11/1675—Writing or programming circuits or methods
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/16—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect
- G11C11/161—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect details concerning the memory cell structure, e.g. the layers of the ferromagnetic memory cell
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/16—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect
- G11C11/165—Auxiliary circuits
- G11C11/1659—Cell access
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/16—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect
- G11C11/165—Auxiliary circuits
- G11C11/1673—Reading or sensing circuits or methods
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Mram Or Spin Memory Techniques (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
【解決手段】抵抗変化メモリ10は、第1の方向に延在する複数のビット線BLと、第2の方向に延在する複数のワード線WLと、複数のメモリセルMCを備えたメモリセルアレイ11とを含む。各メモリセルMCは、可変抵抗素子21と選択トランジスタ22とを有し、可変抵抗素子21の第1の端子は第1のビット線に接続され、可変抵抗素子21の第2の端子は選択トランジスタ22のドレインに接続され、選択トランジスタ22のソースは第2のビット線に接続され、選択トランジスタ22のゲートはワード線に接続される。第1の方向に順に並んだ第1乃至第4の可変抵抗素子のレイアウトにおいて、第1及び第2の可変抵抗素子は1本のワード線を挟み、第2及び第3の可変抵抗素子は2本のワード線を挟み、第3及び第4の可変抵抗素子は1本のワード線を挟む。
【選択図】 図3
Description
抵抗変化メモリとしては、磁気ランダムアクセスメモリ(MRAM:Magnetic Random Access Memory)、抵抗ランダムアクセスメモリ(ReRAM:Resistive Random Access Memory)、相変化ランダムアクセスメモリ(PCRAM:Phase-Change Random Access Memory)など様々な種類のメモリを使用することが可能である。本実施形態では、抵抗変化メモリとしてMRAMを一例に挙げて説明する。MRAMは、磁気抵抗(magnetoresistive)効果を利用するMTJ(Magnetic Tunnel Junction)素子を記憶素子として備え、このMTJ素子の磁化配列により情報を記憶する。
次に、上記のように構成されたMRAM10の動作について説明する。なお、ここでは、データ“0”を書き込む時の書き込み電流の向きを選択トランジスタ22からMTJ素子21へ、一方、データ“1”を書き込む時の書き込み電流の向きをMTJ素子21から選択トランジスタ22へと定義する。また、読み出し時に生じるディスターブを軽減する目的で、ここでは、読み出し時には、選択トランジスタ22からMTJ素子21へ向かう読み出し電流をメモリセルMCに流すこととする。
以上詳述したように第1の実施形態では、MTJ素子21と選択トランジスタ22とからなるメモリセルMCが複数個配置されてメモリセルアレイ11が構成される。X方向に順に並んだ4個のMTJ素子(第1乃至第4のMTJ素子)のレイアウトにおいて、1本のワード線を挟んで配置された第1及び第2のMTJ素子からなる第1のペアと、1本のワード線を挟んで配置される第3及び第4のMTJ素子からなる第2のペアとが、2本のワード線を挟んで配置される。そして、上記レイアウトがX方向に繰り返されて1カラムが構成される。また、第1のカラムのY方向に隣接する第2のカラムは、第1のカラムをX方向にワード線1本ずらしたレイアウトを有する。
第2の実施形態は、素子領域AAの形成工程を容易にするために、複数の素子領域AAをストライプ状に形成している。すなわち、第2の実施形態は、第1の実施形態で素子領域が存在せずにワード線WLが通過していた領域にも素子領域が存在する構成例である。
第3の実施形態は、素子領域AAを斜めに形成し、この素子領域AAにソース領域を共有した2個の選択トランジスタ22を配置する。また、素子領域AAの両端に配置されたドレイン領域の上方にMTJ素子21を配置する。そして、MTJ素子21を所定の規則に従ってレイアウトすることで、6F2のサイズを有するメモリセルMCを実現するようにしている。
次に、上記のように構成されたMRAM10の動作について説明する。第1の実施形態と同様に、第3の実施形態でも、アクセス対象である選択メモリセルに接続されたワード線WLを活性化した場合、この活性化されたワード線WLに接続されたアクセス対象でない非選択メモリセルに含まれる選択トランジスタがオンしてしまう。
第4の実施形態は、単層ビット線かつ6F2のサイズを有するメモリセルMCを実現するMRAM10の他の構成例である。
次に、上記のように構成されたMRAM10の動作について説明する。第1の実施形態と同様に、第4の実施形態でも、アクセス対象である選択メモリセルに接続されたワード線WLを活性化した場合、この活性化されたワード線WLに接続されたアクセス対象でない非選択メモリセルに含まれる選択トランジスタがオンしてしまう。
第5の実施形態は、単層ビット線かつ6F2のサイズを有するメモリセルMCを実現するMRAM10の他の構成例である。
次に、上記のように構成されたMRAM10の動作について説明する。図29に示すように、書き込み動作及び読み出し動作時、ダミートランジスタ41のゲートに接続されたワード線(図29では、ワード線WL0及びWL3)は、常時、ローレベルに設定され、ダミートランジスタ41は、ノーマリオフしている。
Claims (7)
- 第1の方向に延在する複数のビット線と、
前記第1の方向に交差する第2の方向に延在する複数のワード線と、
複数のメモリセルを備え、各メモリセルは、抵抗値の変化によりデータ“0”とデータ“1”とを記憶する可変抵抗素子と選択トランジスタとを有し、前記可変抵抗素子の第1の端子は第1のビット線に接続され、前記可変抵抗素子の第2の端子は前記選択トランジスタのドレインに接続され、前記選択トランジスタのソースは第2のビット線に接続され、前記選択トランジスタのゲートはワード線に接続された、メモリセルアレイと、
を具備し、
前記第1の方向に順に並んだ第1乃至第4の可変抵抗素子のレイアウトにおいて、前記第2の可変抵抗素子は、前記第1の可変抵抗素子と1本のワード線を挟んで配置され、前記第4の可変抵抗素子は、前記第3の可変抵抗素子と1本のワード線を挟んで配置され、前記第1及び第2の可変抵抗素子からなる第1のペアは、前記第3及び第4の可変抵抗素子からなる第2のペアと2本のワード線を挟んで配置され、前記レイアウトが前記第1の方向に繰り返されて1カラムが構成されることを特徴とする抵抗変化メモリ。 - 第1のカラムの前記第2の方向に隣接する第2のカラムは、前記第1のカラムをワード線1本ずらしたレイアウトを有することを特徴とする請求項1に記載の抵抗変化メモリ。
- 前記複数のビット線は、同一レベル層に配置されることを特徴とする請求項1又は2に記載の抵抗変化メモリ。
- アクセス対象である選択メモリセルに接続されたワード線を活性化するロウデコーダと、
前記選択メモリセルに接続された2本のビット線間に電位差を生成し、かつ前記活性化されたワード線に接続されたアクセス対象でない非選択メモリセルに接続された2本のビット線を同電位にする電圧制御回路をさらに具備することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の抵抗変化メモリ。 - 前記ペアの可変抵抗素子の第1の端子を接続する金属電極をさらに具備することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の抵抗変化メモリ。
- 前記ペアの可変抵抗素子に対して前記第2の方向に隣接する選択トランジスタのソース上に設けられたビアプラグをさらに具備し、
前記金属電極は、前記ペアの可変抵抗素子の第1の端子と前記ビアプラグとを接続することを特徴とする請求項5に記載の抵抗変化メモリ。 - 前記第2の可変抵抗素子に接続された第1の選択トランジスタと、前記第3の可変抵抗素子に接続された第2の選択トランジスタとは、ソースを共有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の抵抗変化メモリ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010091551A JP2011222829A (ja) | 2010-04-12 | 2010-04-12 | 抵抗変化メモリ |
US12/847,892 US8233310B2 (en) | 2010-04-12 | 2010-07-30 | Resistance-change memory |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010091551A JP2011222829A (ja) | 2010-04-12 | 2010-04-12 | 抵抗変化メモリ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011222829A true JP2011222829A (ja) | 2011-11-04 |
Family
ID=44760816
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010091551A Pending JP2011222829A (ja) | 2010-04-12 | 2010-04-12 | 抵抗変化メモリ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8233310B2 (ja) |
JP (1) | JP2011222829A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140058209A (ko) * | 2012-11-06 | 2014-05-14 | 삼성전자주식회사 | 반도체 기억 소자 |
US9324424B2 (en) | 2013-10-17 | 2016-04-26 | Sony Corporation | Memory device and access method |
US10388346B2 (en) | 2015-03-09 | 2019-08-20 | Sony Corporation | Memory cell and array having device, P-type transistor and N-type transistor |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012204399A (ja) * | 2011-03-23 | 2012-10-22 | Toshiba Corp | 抵抗変化メモリ |
JP2013097843A (ja) | 2011-11-02 | 2013-05-20 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
JP5283805B1 (ja) * | 2011-11-22 | 2013-09-04 | パナソニック株式会社 | 抵抗変化型不揮発性記憶装置、および抵抗変化型不揮発性記憶装置のアクセス方法 |
US9035402B2 (en) | 2013-03-22 | 2015-05-19 | Yoshiaki Asao | Semiconductor memory device |
KR102374642B1 (ko) * | 2015-01-22 | 2022-03-17 | 삼성전자주식회사 | 자기 메모리 소자 및 그 제조 방법 |
US9659646B1 (en) | 2016-01-11 | 2017-05-23 | Crossbar, Inc. | Programmable logic applications for an array of high on/off ratio and high speed non-volatile memory cells |
WO2019049244A1 (ja) * | 2017-09-06 | 2019-03-14 | Tdk株式会社 | トンネル磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ |
US10510392B1 (en) * | 2018-07-27 | 2019-12-17 | GlobalFoundries, Inc. | Integrated circuits having memory cells with shared bit lines and shared source lines |
CN109857342B (zh) * | 2019-01-16 | 2021-07-13 | 盛科网络(苏州)有限公司 | 一种数据读写方法及装置、交换芯片及存储介质 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1098168A (ja) * | 1996-07-30 | 1998-04-14 | Nec Corp | 半導体記憶装置 |
JP2004349504A (ja) * | 2003-05-22 | 2004-12-09 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置 |
JP2007317948A (ja) * | 2006-05-26 | 2007-12-06 | Renesas Technology Corp | 不揮発性記憶装置 |
JP2008047220A (ja) * | 2006-08-16 | 2008-02-28 | Toshiba Corp | 抵抗変化素子を有する半導体メモリ |
JP2008192990A (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
JP2009151835A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-09 | Toshiba Corp | 磁気ランダムアクセスメモリ及びその書き込み方法 |
JP2009253036A (ja) * | 2008-04-07 | 2009-10-29 | Toshiba Corp | 半導体メモリ |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6205073B1 (en) * | 2000-03-31 | 2001-03-20 | Motorola, Inc. | Current conveyor and method for readout of MTJ memories |
JP2002298572A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-11 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
US6829158B2 (en) * | 2001-08-22 | 2004-12-07 | Motorola, Inc. | Magnetoresistive level generator and method |
JP2003151260A (ja) * | 2001-11-13 | 2003-05-23 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜磁性体記憶装置 |
WO2003065377A1 (fr) | 2002-02-01 | 2003-08-07 | Hitachi, Ltd. | Memoire |
JP2004133990A (ja) * | 2002-10-09 | 2004-04-30 | Renesas Technology Corp | 薄膜磁性体記憶装置 |
US6888743B2 (en) * | 2002-12-27 | 2005-05-03 | Freescale Semiconductor, Inc. | MRAM architecture |
JP2006031795A (ja) * | 2004-07-14 | 2006-02-02 | Renesas Technology Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2006185477A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Fujitsu Ltd | 磁気メモリ装置並びにその読み出し方法及び書き込み方法 |
US7376006B2 (en) * | 2005-05-13 | 2008-05-20 | International Business Machines Corporation | Enhanced programming performance in a nonvolatile memory device having a bipolar programmable storage element |
JP4883982B2 (ja) * | 2005-10-19 | 2012-02-22 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 不揮発性記憶装置 |
US7324366B2 (en) * | 2006-04-21 | 2008-01-29 | International Business Machines Corporation | Non-volatile memory architecture employing bipolar programmable resistance storage elements |
JP4538067B2 (ja) * | 2008-10-23 | 2010-09-08 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置 |
-
2010
- 2010-04-12 JP JP2010091551A patent/JP2011222829A/ja active Pending
- 2010-07-30 US US12/847,892 patent/US8233310B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1098168A (ja) * | 1996-07-30 | 1998-04-14 | Nec Corp | 半導体記憶装置 |
JP2004349504A (ja) * | 2003-05-22 | 2004-12-09 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置 |
JP2007317948A (ja) * | 2006-05-26 | 2007-12-06 | Renesas Technology Corp | 不揮発性記憶装置 |
JP2008047220A (ja) * | 2006-08-16 | 2008-02-28 | Toshiba Corp | 抵抗変化素子を有する半導体メモリ |
JP2008192990A (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
JP2009151835A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-09 | Toshiba Corp | 磁気ランダムアクセスメモリ及びその書き込み方法 |
JP2009253036A (ja) * | 2008-04-07 | 2009-10-29 | Toshiba Corp | 半導体メモリ |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140058209A (ko) * | 2012-11-06 | 2014-05-14 | 삼성전자주식회사 | 반도체 기억 소자 |
JP2014093530A (ja) * | 2012-11-06 | 2014-05-19 | Samsung Electronics Co Ltd | 半導体記憶素子 |
KR101952272B1 (ko) * | 2012-11-06 | 2019-02-26 | 삼성전자주식회사 | 반도체 기억 소자 |
US9324424B2 (en) | 2013-10-17 | 2016-04-26 | Sony Corporation | Memory device and access method |
US9627053B2 (en) | 2013-10-17 | 2017-04-18 | Sony Corporation | Memory device and access method |
US10388346B2 (en) | 2015-03-09 | 2019-08-20 | Sony Corporation | Memory cell and array having device, P-type transistor and N-type transistor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20110249485A1 (en) | 2011-10-13 |
US8233310B2 (en) | 2012-07-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5025702B2 (ja) | 半導体記憶装置 | |
US9165628B2 (en) | Semiconductor memory device | |
US8233310B2 (en) | Resistance-change memory | |
JP5159116B2 (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP5677187B2 (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP4846817B2 (ja) | 抵抗変化型メモリ | |
JP5100514B2 (ja) | 半導体メモリ | |
JP4987386B2 (ja) | 抵抗変化素子を有する半導体メモリ | |
JP4940260B2 (ja) | 抵抗変化型メモリ装置 | |
JP5518777B2 (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP2007115956A (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP5677186B2 (ja) | 半導体記憶装置 | |
WO2012081453A1 (ja) | 半導体記憶装置 | |
US20090067216A1 (en) | Resistive memory devices including selected reference memory cells | |
JP2009253036A (ja) | 半導体メモリ | |
US9627053B2 (en) | Memory device and access method | |
JP2012256690A (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP2010003391A (ja) | 抵抗変化型メモリ | |
US8861251B2 (en) | Semiconductor storage device | |
JP7291410B2 (ja) | 磁気メモリ装置 | |
JPWO2010047328A1 (ja) | 半導体記憶装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120809 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131108 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131119 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20131205 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20131212 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20131219 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20131226 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20140109 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20140116 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140708 |