JP4987386B2 - 抵抗変化素子を有する半導体メモリ - Google Patents
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Description
本発明の例では、抵抗変化素子に電流又は電圧を与えてその状態(抵抗値)を変化させるセルユニット(メモリセル)を有する半導体メモリを対象とする。セルユニットに与える書き込み電流/電圧の向きを制御するために、2本のビット線(書き込み線)が必要になるが、本発明の例では、そのうちの1本を、互いに隣接する2つのカラムで共有する。
以下では、本発明の例を、書き込み電流の向きにより抵抗変化素子の状態(抵抗値)を変化させる半導体メモリの代表例である磁気ランダムアクセスメモリについて説明する。
まず、一般的な磁気ランダムアクセスメモリのメモリセルアレイのレイアウトがどのようになっているかを検討する。
本発明の例に関わる半導体メモリの基本レイアウトについて説明する。
A. 回路
図5は、磁気ランダムアクセスメモリの主要部を示している。
図10は、図5の磁気ランダムアクセスメモリのメモリセルアレイのレイアウトを示している。
読み出し回路の変形例を説明する。
メモリセルアレイの変形例を説明する。
図26は、図5の半導体メモリの変形例を示している。
動作についても、図5の半導体メモリと同じであるため、ここでは、その説明については、省略する。
以上、説明したように、第1実施の形態によれば、メモリセルアレイ上の書き込み線の数を減らし、製造工程を容易化できる。
A. 回路
図16は、磁気ランダムアクセスメモリの主要部を示している。
メモリセルアレイのレイアウトは、図10と同じである。
第2実施の形態では、2本の共通線13,15のうちの1つに読み出し回路を接続すれば、上述の動作の説明から明らかなように、磁気抵抗効果素子に与える読み出し電流は、常に同じ向きとなる。
図18は、磁気ランダムアクセスメモリの主要部を示している。
また、メモリセルアレイのレイアウトについては、図15と同じである。
以上、説明したように、第2実施の形態によれば、メモリセルアレイ上の書き込み線の数を減らし、製造工程を容易化できる。
第3実施の形態は、ダブルゲート構造のスピン注入磁気ランダムアクセスメモリに関する。
第4実施の形態は、ワード線レイアウトに関する。
第5実施の形態は、書き込み電流ソース/シンクの位置に関する。
図24は、磁気ランダムアクセスメモリの主要部を示している。
図25は、図24の半導体メモリの変形例を示している。
以上、説明したように、第5実施の形態においても、メモリセルアレイ上の書き込み線の数を減らし、製造工程を容易化できる。
本発明の例は、磁気ランダムアクセスメモリの他、抵抗変化素子をメモリセルとする半導体メモリ全般、例えば、PRAM(phase change random access memory)、RRAM(resistance random access memory)などに適用可能である。この場合には、各実施の形態で説明した磁気抵抗効果素子を、それぞれのメモリが対象とする素子に置き換えればよい。
本発明の例によれば、メモリセルアレイ上の書き込み線の数を減らし、製造工程を容易化できる。
Claims (5)
- 第1方向に延びるワード線と、
前記第1方向に交差する第2方向に延びる第1、第2及び第3ビット線と、
前記第1及び第2ビット線の間に直列接続される第1抵抗変化素子及び第1スイッチ素子から構成され、前記第1スイッチ素子の制御端子が前記ワード線に接続される第1セルユニットと、
前記第1及び第3ビット線の間に直列接続される第2抵抗変化素子及び第2スイッチ素子から構成され、前記第2スイッチ素子の制御端子が前記ワード線に接続される第2セルユニットと、
前記ワード線をアクティブにし、前記第1及び第3ビット線の電位を等しくした状態で、前記第2ビット線の電位を前記第1ビット線の電位よりも高い電位又は低い電位に制御することにより、前記第1抵抗変化素子に対して書き込みデータの値に応じた書き込みを実行し、前記ワード線をアクティブにし、前記第1及び第2ビット線の電位を等しくした状態で、前記第3ビット線の電位を前記第1ビット線の電位よりも高い電位又は低い電位に制御することにより、前記第2抵抗変化素子に対して書き込みデータの値に応じた書き込みを実行するためのコントローラとを具備することを特徴とする半導体メモリ。 - さらに、
第1及び第2共通線と、
前記第1ビット線及び前記第1共通線間に接続される第1カラムスイッチと、
前記第1ビット線及び前記第2共通線間に接続される第2カラムスイッチと、
前記第2ビット線及び前記第1共通線間に接続される第3カラムスイッチと、
前記第3ビット線及び前記第2共通線間に接続される第4カラムスイッチとを具備し、
前記コントローラは、前記第1抵抗変化素子に対する書き込み時に、前記第2、第3及び第4カラムスイッチをオンにし、前記第2抵抗変化素子に対する書き込み時に、前記第1、第3及び第4カラムスイッチをオンにすることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ。 - さらに、
第1及び第2共通線と、
前記第1ビット線及び前記第1共通線間に接続される第1カラムスイッチと、
前記第2ビット線及び前記第2共通線間に接続される第2カラムスイッチと、
前記第3ビット線及び前記第2共通線間に接続される第3カラムスイッチと、
前記第1及び第2ビット線間に接続される第4カラムスイッチと、
前記第1及び第3ビット線間に接続される第5カラムスイッチとを具備し、
前記コントローラは、前記第1抵抗変化素子に対する書き込み時に、前記第1、第2及び第5カラムスイッチをオンにし、前記第2抵抗変化素子に対する書き込み時に、前記第1、第3及び第4カラムスイッチをオンにすることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ。 - さらに、
第1及び第2共通線と、
前記第2ビット線及び前記第1共通線間に接続される第1カラムスイッチと、
前記第3ビット線及び前記第2共通線間に接続される第2カラムスイッチと、
前記第1及び第2ビット線間に接続される第3カラムスイッチと、
前記第1及び第3ビット線間に接続される第4カラムスイッチとを具備し、
前記コントローラは、前記第1抵抗変化素子に対する書き込み時に、前記第1、第2及び第4カラムスイッチをオンにし、前記第2抵抗変化素子に対する書き込み時に、前記第1、第2及び第3カラムスイッチをオンにすることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ。 - 前記第1及び第2抵抗変化素子に対する書き込みデータを電流により制御する場合、前記第1及び第2共通線には、それぞれ、書き込み電流ソース/シンクが接続され、前記第1及び第2抵抗変化素子に対する書き込みデータを電圧により制御する場合、前記第1及び第2共通線には、それぞれ、書き込み電位発生回路が接続されることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項に記載の半導体メモリ。
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