JP5565704B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
偶数行のメモリセルCijでは、まず、MTJ素子13は、一方の端子をリードビット線RBLjに接続されている。第1トランジスタ11は、ゲートをワード線WLiに、ソース/ドレインの一方をライトビット線WBLjに、他方を(書き込み線15を介して;後述)MTJ素子13の他方の端子にそれぞれ接続されている。第2トランジスタ12は、ゲートをワード線WLiに、ソース/ドレインの一方をライトビット線/WBLjに、他方を(書き込み線15を介して;後述)MTJ素子13の他方の端子にそれぞれ接続されている。
ロウデコーダ3は、ロウアドレスXAに基づいて、選択ワード線としてワード線WL0を選択して活性化し、メモリセルC00の第1及び第2トランジスタ11、12をオンにする。同様に、ロウデコーダ3は、ロウアドレスXAに基づいて、選択参照ワード線として参照ワード線WLR1を選択して活性化し、参照セルR10の第1及び第2トランジスタ11、12をオンにする。次に、カラムデコーダ4は、カラムアドレスYAに基づいて、信号RY0を活性化して、第1スイッチ部6のトランジスタM0、M1をオンにする。これにより、選択リードビット線としてリードビット線RBL0、リードビット線/RBL0が選択される。その結果、ワード線WL0とリードビット線RBL0とにより、メモリセルC00が選択されたことになる。同様に、参照ワード線WLR1とリードビット線/RBL0とにより、参照セルR10が選択されたことになる。そして、リードビット線RBL0は、トランジスタM0を介して、センスアンプ5への入力用配線SAIN0に接続される。リードビット線/RBL0は、トランジスタM1を介して、センスアンプ5への入力用配線/SAIN0に接続される。
ロウデコーダ3は、ロウアドレスXAに基づいて、選択ワード線としてワード線WL0を選択して活性化し、選択参照ワード線として参照ワード線WLR1を選択して活性化している。従って、メモリセルC01の第1及び第2トランジスタ11、12、及び参照セルR11の第1及び第2トランジスタ11、12はオンになっている。次に、カラムデコーダ4は、カラムアドレスYAに基づいて、信号RY1を活性化して、第1スイッチ部6のトランジスタM2、M3をオンにする。これにより、選択リードビット線としてリードビット線RBL1、リードビット線/RBL1が選択される。その結果、ワード線WL0とリードビット線RBL1とにより、メモリセルC01が選択されたことになる。同様に、参照ワード線WLR1とリードビット線/RBL1とにより、参照セルR11が選択されたことになる。そして、リードビット線RBL1は、トランジスタM2を介して、センスアンプ5への入力用配線SAIN1に接続される。リードビット線/RBL1は、トランジスタM3を介して、センスアンプ5への入力用配線/SAIN1に接続される。
まず、ロウデコーダ3は、ロウアドレスXAに基づいて、選択ワード線としてワード線WL1を選択して活性化し、メモリセルC10の第1及び第2トランジスタ11、12をオンにする。同様に、ロウデコーダ3は、ロウアドレスXAに基づいて、選択参照ワード線として参照ワード線WLR0を選択して活性化し、参照セルR00の第1及び第2トランジスタ11、12をオンにする。次に、カラムデコーダ4は、カラムアドレスYAに基づいて、信号RY0を活性化して、第1スイッチ部6のトランジスタM0、M1をオンにする。これにより、選択リードビット線としてリードビット線RBL0、リードビット線/RBL0が選択される。その結果、ワード線WL1とリードビット/線RBL0とにより、メモリセルC10が選択されたことになる。同様に、参照ワード線WLR0とリードビット線RBL0とにより、参照セルR00が選択されたことになる。そして、リードビット線RBL0は、トランジスタM0を介して、センスアンプ5への入力用配線SAIN0に接続される。リードビット線/RBL0は、トランジスタM1を介して、センスアンプ5への入力用配線/SAIN0に接続される。
ロウデコーダ3は、ロウアドレスXAに基づいて、選択ワード線としてワード線WL1を選択して活性化し、選択参照ワード線として参照ワード線WLR0を選択して活性化している。従って、メモリセルC11の第1及び第2トランジスタ11、12、及び参照セルR01の第1及び第2トランジスタ11、12はオンになっている。次に、カラムデコーダ4は、カラムアドレスYAに基づいて、信号RY1を活性化して、第1スイッチ部6のトランジスタM2、M3をオンにする。これにより、選択リードビット線としてリードビット線RBL1、リードビット線/RBL1が選択される。その結果、ワード線WL1とリードビット/線RBL1とにより、メモリセルC11が選択されたことになる。同様に、参照ワード線WLR0とリードビット線RBL1とにより、参照セルR01が選択されたことになる。そして、リードビット線RBL1は、トランジスタM2を介して、センスアンプ5への入力用配線SAIN1に接続される。リードビット線/RBL1は、トランジスタM3を介して、センスアンプ5への入力用配線/SAIN1に接続される。
図14及び図15は、比較対象の半導体記憶装置におけるメモリアレイのレイアウトの一部を示す平面図である。図16は、比較対象の半導体記憶装置におけるメモリアレイの一部を示す回路図である。ただし、図14は図10に対応し、図15は図11に対応し、図16は図12に対応している。また、図14〜図16における各構成の符号は、図9〜図12における対応する各構成の符号と同じにしている。
図10のレイアウトと図14のレイアウトとを比較すると、その両者でトランジスタ層(拡散層61−1、61−2、ゲート62、ワード線WL、コンタクトD1、D2)のレイアウトは同じである。しかし、その両者で書き込み線15の引き出し方が異なる。すなわち、図10では、(メモリセルCの)偶数列のライトビット線WBLと奇数列のライトビット線WBLとを共有することができる。それにより、メモリセルCを緻密に配置することができる。すなわち、図14のメモリセルアレイと比較して、メモリセルの面積を増加させることなく、図10のメモリアレイを形成することができる。それに対し、特開2002−197852号公報に記載のメモリアレイにおいては、メモリセルを千鳥配置することによって生じるデッドエリアにより、メモリセルの面積の増加は避けられない。
なお、図11、図13(後述)は、この要件を満たしている。
図17は、本発明の実施の形態に係る半導体記憶装置におけるメモリアレイの第1変形例の一部を示す断面図である。図18は、本発明の実施の形態に係る半導体記憶装置におけるメモリアレイの第1変形例のレイアウトの一部を示す平面図である。ただし、図17は、図18におけるBB’断面図である。図18は、図17におけるメタル層M2より上の層を示す。なお、メタル層M1以下は、図10と同様であるため、説明図は省略する。
図19は、本発明の実施の形態にかかる半導体記憶装置におけるメモリアレイの第2変形例の一部を示す断面図である。図20は、本発明の実施の形態に係る半導体記憶装置におけるメモリアレイの第2変形例のレイアウトの一部を示す平面図である。ただし、図19は、図20におけるCC’断面図である。図20は、図19における磁性層50より上の層を示す。なお、メタル層M1以下は、図10と同様であるため、説明図は省略する。
Claims (12)
- 複数のメモリセルを備えるメモリアレイを具備し、
前記複数のメモリセルは、
偶数行および奇数行のいずれか一方に沿って配置された第1メモリセル及び第3メモリセルと、
他方に沿って配置された第2メモリセルと
を備え、
前記複数のメモリセルの各々は、
MTJ素子と、
内部を流れる書き込み電流で誘起される磁界で前記MTJ素子にデータを書き込む書き込み線と
を含み、
前記複数のメモリセルの各々の前記書き込み線は、
前記MTJ素子が接続された凸部と、
前記凸部の両側に設けられ、前記メモリアレイの行方向に延在する枝部と
を含み、
前記書き込み線の前記凸部の前記行方向に垂直な列方向の幅は、前記書き込み線の前記枝部の前記列方向の幅よりも広く、
前記第2メモリセルの前記書き込み線の前記凸部は、前記第1メモリセルの前記書き込み線の前記凸部と前記第3メモリセルの前記書き込み線の前記凸部との間に形成される凹部に向いて配置される
半導体記憶装置。 - 請求項1に記載の半導体記憶装置において、
前記第2メモリセルの前記書き込み線のレイアウトは、前記第1メモリセルの前記書き込み線のレイアウトを、前記第1メモリセルと前記第2メモリセルとの境界を通る前記行方向の軸に対して、反転させ、所定の間隔だけ前記行方向に並進させて設けられている
半導体記憶装置。 - 請求項1に記載の半導体記憶装置において、
前記書き込み線は、前記行方向に前記書き込み線の中心を通り基板に略垂直な平面に対して面対称である
半導体記憶装置。 - 請求項1に記載の半導体記憶装置において、
前記MTJ素子は、前記書き込み線の前記凸部の領域の上部または下部に配置される
半導体記憶装置。 - 請求項1に記載の半導体記憶装置において、
前記第2メモリセルの前記書き込み線の凸部の先端部は、前記第1メモリセルの前記書き込み線の凸部の先端部と前記第3メモリセルの前記書き込み線の凸部の先端部とを結ぶ線よりも、前記第1メモリセル及び前記第3メモリセルに近い側にある
半導体記憶装置。 - 複数のメモリセルを備えるメモリアレイを具備し、
前記複数のメモリセルは、
偶数行および奇数行のいずれか一方に沿って配置された第1メモリセル及び第3メモリセルと、
他方に沿って配置された第2メモリセルと
を備え、
前記複数のメモリセルの各々は、
前記メモリアレイの行方向に延び、垂直磁化を有する磁性層と、
面内磁化を有するMTJ素子と、
前記行方向に略垂直な列方向に延び、前記MTJ素子を挟んで前記磁性層と反対側に設けられ、前記MTJ素子に流れる読み出し電流が経由する読み出し線と
を含み、
前記磁性層は、
磁化の向きが固定された2つの固定領域と、
前記2つの固定領域の間に設けられ、磁化の向きが変化するフリー領域と
を含み、
前記フリー領域の磁化は、前記2つの固定領域の一方から他方へ流れる書き込み電流の向きにより制御され、
前記MTJ素子は、前記フリー領域の垂直磁化の漏れ磁界に応答して、低抵抗状態又は高抵抗状態に変化し、
前記複数のメモリセルの各々の平面のレイアウトにおいて、前記読み出し線は、前記複数のメモリセルの各々の前記行方向に沿った辺の中央部において前記磁性層から前記列方向に突出する凸部を形成しており、
前記第2メモリセルの前記凸部は、前記第1メモリセルの前記磁性層の端部と前記第3メモリセルの前記磁性層の端部との間に形成される領域に向いて配置される
半導体記憶装置。 - 請求項6に記載の半導体記憶装置において、
前記第2メモリセルの前記凸部のレイアウトは、前記第1メモリセルの前記凸部のレイアウトを前記第1メモリセルと前記第2メモリセルとの境界を通る前記行方向の軸に対して、反転させ、所定の間隔だけ前記行方向に並進させて設けられている
半導体記憶装置。 - 請求項6に記載の半導体記憶装置において、
前記第2メモリセルの前記凸部の先端は、前記第1メモリセルの前記凸部の先端部と前記第3メモリセルの前記凸部の先端部とを結ぶ線よりも前記第1メモリセル及び前記第3メモリセルに近い側にある
半導体記憶装置。 - 複数のメモリセルを備えるメモリアレイを具備し、
前記複数のメモリセルは、
偶数行および奇数行のいずれか一方に沿って配置された第1メモリセル及び第3メモリセルと、
他方に沿って配置された第2メモリセルと
を備え、
前記複数のメモリセルの各々は、
前記メモリアレイの行方向に延伸する磁性層と、
前記磁性層の上に形成されたバリア層と、
前記バリア層の上に形成され、磁化方向が固定されたピン層と
を含み、
前記複数のメモリセルの各々の前記磁性層は、
磁化の向きが固定された2つの固定領域と、
前記2つの固定領域の間に設けられ、磁化の向きが変化するフリー領域と
を含み、
前記フリー領域の磁化は、前記2つの固定領域の一方から他方へ流れる書き込み電流の向きにより制御され、
前記複数のメモリセルの各々の前記磁性層の前記フリー領域は、前記行方向に垂直な列方向の幅が前記2つの固定領域よりも広く、前記磁性層の凸部を形成しており、
前記第2メモリセルの前記磁性層の前記凸部は、前記第1メモリセルの前記磁性層の端部と前記第3メモリセルの前記磁性層の端部との間の領域に向いて配置される
半導体記憶装置。 - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の半導体記憶装置において、
前記複数のメモリセルの各々は、
第1拡散層と第2拡散層とを含む第1トランジスタと、
第3拡散層と第4拡散層とを含む第2トランジスタと
を含み、
前記第2拡散層と第3拡散層とは、前記書き込み線を介して電気的に接続される
半導体記憶装置。 - 請求項6乃至9のいずれか1項に記載の半導体記憶装置において、
前記複数のメモリセルの各々は、
第1拡散層と第2拡散層とを含む第1トランジスタと、
第3拡散層と第4拡散層とを含む第2トランジスタと
を含み、
前記第2拡散層と前記第3拡散層とは、前記磁性層を介して電気的に接続される
半導体記憶装置。 - 請求項10又は11に記載の半導体記憶装置において、
前記第1メモリセルの前記第4拡散層と前記第2メモリセルの前記第1拡散層とが共用され、
前記第2メモリセルの前記第4拡散層と前記第3メモリセルの前記第1拡散層とが共用される
半導体記憶装置。
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