JP5502635B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
m access memory)、抵抗ランダムアクセスメモリ(ReRAM:resistance random acc
ess memory)、相変化ランダムアクセスメモリ(PRAM:phase-change random access
memory)など様々な種類のメモリを使用することが可能である。本実施形態では、抵抗
変化型メモリとしてMRAMを一例に挙げて説明する。MRAMは、トンネル磁気抵抗(
TMR:tunneling magnetoresistive)効果を利用するMTJ(magnetic tunnel junctio
n)素子を記憶素子として備え、このMTJ素子の磁化状態により情報を記憶する。
図1は第1の実施形態の半導体記憶装置のメモリセルアレイを示す等価回路図である。
図12は第2の実施形態の半導体記憶装置のメモリセルアレイを示す等価回路図である。
シリコン基板1上に活性領域を覆うマスク(AAマスク)30を形成する。図18において、破線の左側は図13の矢視15−15の沿った断面に相当する断面図であり、破線の右側は図13の矢視16−16の沿った断面に相当する断面図である(他の破線のある断面図も同様)。AAマスク30の材料は、例えば、フォトレジストまたはシリコン窒化物である。図19に、AAマスクのパターンレイアウトを示す。AAマスクは活性領域に対応するパターン(長方形)を有する。
AAマスク30を用いたRIE(Reactive Ion Etching)プロセスにより、シリコン基板1をエッチングすることにより、シリコン基板1の表面に素子分離31を形成する。その後、AAマスク30を除去する。AAマスク30の材料がフォトレジストの場合、AAマスク30は、例えば、アッシングにより除去する。AAマスク30がシリコン窒化物の場合、AAマスク30は、例えば、ウェットエッチングにより除去する。
シリコン酸化膜等の絶縁膜をCVDプロセスにより堆積し、その後、CMPプロセスにより表面を平坦化することにより、素子分離31内を素子分離絶縁膜32で埋め込む。
基板(素子分離絶縁膜32が形成されたシリコン基板1)上にゲート絶縁膜33を形成する。ゲート絶縁膜33は、例えば、シリコン酸化膜またはハフニウム酸化膜である。ゲート絶縁膜33上にゲート電極34となる導電性膜を形成し、続いて、該導電性膜上にゲート電極34の上面を覆うキャップ絶縁膜35となる絶縁膜を形成する。
キャップ絶縁膜35をマスクにしてシリコン基板1の表面にイオンをイオン注入プロセスにより導入し、続いて、アニールを行うことにより、シリコン基板1の表面にソース/ドレイン領域37(不純物拡散層)を形成する。n型のソース/ドレイン領域37を形成する場合、上記イオンは、例えば、リンまたは砒素である。
ゲート電極34およびキャップ絶縁膜35の側壁にスペーサ38を形成する。スペーサ38を形成するためには、CVDプロセスにより絶縁膜(例えばシリコン窒化膜)を堆積し、その後、RIEプロセスにより上記絶縁膜をエッチバックする。スペーサ38は、ゲート電極34と後述するコンタクト(バリアメタル膜、プラグ)との電気的絶縁を得るために設ける。
CVDプロセスにより層間絶縁膜39を堆積し、その後、CMPプロセスにより表面を平坦化する。層間絶縁膜39は、例えば、シリコン酸化膜である。
フォトリソグラフィプロセスおよびエッチングプロセスを用いて、層間絶縁膜39に貫通孔40を形成する。貫通孔40はコンタクトMC,SCのためのものである。
ダマシンプロセスを用いて、貫通孔40内にバリアメタル膜およびプラグを形成することにより、コンタクトMC,SCを形成する。
MTJ素子となる多層膜(固定層、トンネルバリア層、記録層)8をスパッタリングプロセスにより形成する。
フォトリソグラフィプロセスおよびエッチングプロセスを用いて、多層膜8をマトリクス状に加工する。図31には、42個のマトリクス状に配置され、中心間隔がFのパターンレイアウトが示されている。上記エッチングプロセスは、例えば、RIEプロセスである。
第1のマスク42を用いたエッチングプロセスにより、多層膜8のうち、MTJ素子として不要な第1の部分8Aを除去する。上記エッチングプロセスは、例えば、RIEプロセスである。第1のマスク42は、例えば、タンタル(Ta)または窒化チタン(TiN)で構成される。第1のマスク42は周知のマスクプロセスにより容易に形成できるパターンレイアウトを有する。
第2のマスク43を用いたエッチングプロセスにより、多層膜8のうち、MTJ素子として不要な第2の部分8Bを除去する。上記エッチングプロセスは、例えば、RIEプロセスである。第2のマスク43は、例えば、タンタル(Ta)または窒化チタン(TiN)で構成される。第2のマスク43は周知のマスクプロセスにより容易に形成できるパターンレイアウトを有する。
多層膜8上に水平方向に延びたライン状の炭素からなる心材50を形成し、側壁残しのプロセスにより、心材50の側壁にシリコン窒化物からなるスペーサ51を形成する。多層膜8は複数の正方形(一辺の寸法はF)で示してある。スペーサ51の幅はリソグラフィプロセスの限界で決まる寸法よりも小さくできる。多層膜8には砂ハッチングを付してある。多層膜8はこの段階では分割されていないが、多層膜8は複数の矩形で区分された形で示してある。上記矩形は破線で示されている。上記矩形の一辺の寸法はFである。
アッシングにより心材50を除去し、スペーサ51をマスクにして多層膜8をエッチングする。この段階で残っている多層膜8には砂ハッチングを付してある。この段階で残っている多層膜8の幅はスペーサ51の幅で決まるので、多層膜8の幅はリソグラフィプロセスの限界で決まる寸法よりも小さくできる。その後、エッチングによりスペーサ51を除去する。
全面上に斜め向に延びたライン状の炭素からなる心材52を形成し、側壁残しのプロセスにより、心材52の側壁にシリコン窒化物からなるスペーサ53を形成する。隣接する心材52間の多層膜8はスペーサ53で覆われる。スペーサ53の幅はリソグラフィプロセスの限界で決まる寸法よりも小さくできる。
アッシングにより心材52を除去し、スペーサ53をマスクにして多層膜8をエッチングする。その結果、平面形状がひし形の多層膜8からなるMTJ素子が得られる。多層膜8は微細なスペーサ51,53をマスクにして加工することが可能となるので、微細なMTJ素子を制御性良く形成することが可能となる。
本実施形態が第1および第2の実施形態と異なる点は、図39に示すように、プラグ7の中心に対し磁気トンネル素子8の中心がずれていることにある。なお、図39は、図4または図15に相当する4−4方向または15−15方向の断面図であり、MTJ素子8は第1の方向である4−4方向または15−15方向(ソース線の長手方向)にずれている。プラグ7の中心とMTJ素子8の中心とのずれ量はF/2以上F未満である。F以上のずれ量だと、ソース線の長手方向に隣接するコンタクト14とショートする可能性があり、好ましくない。
SL1,SL1…ソース線(第1および第2の配線)、BL…ビット線(第3の配線)、UE…上部電極、AA…活性領域、MC,SC,BC…コンタクト、1…シリコン基板、2…素子分離領域、3a,3b…ゲート電極(ワード線)、4…層間絶縁膜、5…絶縁膜、6…バリアメタル膜、7…プラグ、8…抵抗変化素子、9…絶縁膜、10…層間絶縁膜、11…上部電極、12…層間絶縁膜、13…バリアメタル膜、14…プラグ、15,16…層間絶縁膜、17…バリアメタル膜、18…絶縁膜、19…絶縁膜、30…マスク、31…素子分離、32…素子分離絶縁膜、33…ゲート絶縁膜、34…ゲート電極、35…キャップ絶縁膜、36…マスク、37…ソース/ドレイン領域、38…スペーサ、39…層間絶縁膜、40…貫通孔、41,42,43…マスク、50…心材、51…スペーサ、52…心材、53…スペーサ。
Claims (9)
- 半導体基板上に第1の方向に並んで設けられた第1のMOSFETおよび第2のMOSFETと、
前記第1および第2のMOSFETの上方に設けられ、下端が前記第1および第2のMOSFETのドレインに接続された第1の抵抗変化素子と、
前記半導体基板上に第1の方向に並んで設けられた第3のMOSFETおよび第4のMOSFETと、
前記第3および第4のMOSFETの上方に設けられ、下端が前記第3および第4のMOSFETのドレインに接続された第2の抵抗変化素子と、
前記第1および第2のMOSFETのソースに接続され第1の方向に延びる第1の配線と、
前記第3および第4のMOSFETのソースに接続され第1の方向に延びる第2の配線と、
前記第1の抵抗変化素子の上端と前記第2の抵抗変化素子の上端とを接続する上部電極と、
前記上部電極に接続され第1の方向に延びる第3の配線と
を具備し、
前記第1の配線と前記第2の配線と前記第3の配線とは、同じ層に設けられ、
前記第1の配線と前記第2の配線と前記第3の配線とは、前記上部電極よりも高く配置され、
前記第1の配線と前記第2の配線と前記第3の配線とはそれぞれ、その側面および底面にバリアメタル膜が設けられることを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記第1の抵抗変化素子と前記第2の抵抗変化素子は、前記第1の方向に直交する第2の方向に並んで設けられていることを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 前記上部電極はプラグを介して前記第3の配線に接続されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体記憶装置。
- 前記第1−第2のMOSFETおよび第1の抵抗変化素子は第1のメモリセルを構成し、前記第3−第4のMOSFETおよび第2の抵抗変化素子は第2のメモリセルを構成し、前記第1のメモリセルと前記第2のメモリセルはセルユニットを構成し、このセルユニットが複数形成されて市松模様状に配置されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の半導体記憶装置。
- 前記市松模様状に配置された複数のセルユニットを構成する複数の前記第1および第2のMOSFETのソースと前記第1の配線とを接続するための複数のプラグと、前記市松模様状に配置された複数のセルユニットを構成する複数の前記第3および第4のMOSFETのソースと前記第2の配線とを接続するための複数のプラグと、前記市松模様状に配置された複数のセルユニットを構成する複数の前記第1および第2の抵抗可変素子と前記上部電極とを接続するための複数のプラグとで構成された複数のプラグのパターンレイアウトは、一つのプラグに隣接する最も近いプラグの数が四つになるレイアウトを含み、前記一つのプラグを正方形の中心に配置した場合、前記四つのプラグは前記正方形の四つの頂点に配置されることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。
- 前記第1および第2の配線層はソース線、前記第3の配線層はビット線であり、前記第1の配線と前記第2の配線の間に前記第3の配線が形成されていることを特徴する請求項1ないし5のいずれか1項に記載の半導体記憶装置。
- 前記抵抗変化素子はプラグを介して前記MOSFETの前記ドレインに接続されており、前記抵抗変化素子の中心と前記プラグの中心とはずれていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載の半導体記憶装置。
- 前記抵抗変化素子の平面形状がひし形であることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項に記載の半導体記憶装置。
- 前記第1および第2の抵抗変化素子は、MTJ(magnetic tunnel junction)素子であることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1項に記載の半導体記憶装置。
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US10410720B2 (en) | 2017-03-23 | 2019-09-10 | Toshiba Memory Corporation | Multi-layer resistive memory device with variable resistance elements |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8902644B2 (en) * | 2010-12-14 | 2014-12-02 | Nec Corporation | Semiconductor storage device and its manufacturing method |
JP2014011230A (ja) * | 2012-06-28 | 2014-01-20 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置およびその製造方法 |
US8670264B1 (en) * | 2012-08-14 | 2014-03-11 | Avalanche Technology, Inc. | Multi-port magnetic random access memory (MRAM) |
JP6229982B2 (ja) * | 2012-11-20 | 2017-11-15 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 不揮発性半導体記憶装置 |
US9406522B2 (en) | 2014-07-24 | 2016-08-02 | Applied Materials, Inc. | Single platform, multiple cycle spacer deposition and etch |
US9406720B2 (en) | 2014-08-11 | 2016-08-02 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor storage device |
KR20160137148A (ko) * | 2015-05-22 | 2016-11-30 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 전자 장치 |
JP6462902B2 (ja) * | 2015-06-10 | 2019-01-30 | 東芝メモリ株式会社 | 抵抗変化メモリ |
CN113823656A (zh) * | 2020-06-19 | 2021-12-21 | 长鑫存储技术有限公司 | 存储器及其形成方法、控制方法 |
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Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002298572A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-11 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
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KR100536592B1 (ko) * | 2002-11-01 | 2005-12-14 | 삼성전자주식회사 | 자기 메모리 및 그 제조 방법 |
FR2867300B1 (fr) * | 2004-03-05 | 2006-04-28 | Commissariat Energie Atomique | Memoire vive magnetoresistive a haute densite de courant |
JP2006185477A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Fujitsu Ltd | 磁気メモリ装置並びにその読み出し方法及び書き込み方法 |
US7376006B2 (en) * | 2005-05-13 | 2008-05-20 | International Business Machines Corporation | Enhanced programming performance in a nonvolatile memory device having a bipolar programmable storage element |
JP2006339286A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Tdk Corp | 磁気メモリ及びその製造方法 |
JP4744532B2 (ja) * | 2005-12-09 | 2011-08-10 | 富士通株式会社 | 磁気メモリ装置及びその書き込み方法 |
JP2007201081A (ja) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Elpida Memory Inc | 半導体記憶装置 |
JP2008042090A (ja) * | 2006-08-09 | 2008-02-21 | Toshiba Corp | 磁気ランダムアクセスメモリ |
JP4987386B2 (ja) * | 2006-08-16 | 2012-07-25 | 株式会社東芝 | 抵抗変化素子を有する半導体メモリ |
JP2008123641A (ja) * | 2006-11-15 | 2008-05-29 | Renesas Technology Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP5159116B2 (ja) | 2007-02-07 | 2013-03-06 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置 |
WO2009031231A1 (ja) * | 2007-09-07 | 2009-03-12 | Renesas Technology Corp. | 半導体装置 |
WO2009122519A1 (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-08 | 株式会社 東芝 | 磁気ランダムアクセスメモリ |
JP4538067B2 (ja) * | 2008-10-23 | 2010-09-08 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置 |
-
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-
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10410720B2 (en) | 2017-03-23 | 2019-09-10 | Toshiba Memory Corporation | Multi-layer resistive memory device with variable resistance elements |
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