JP5830655B2 - 不揮発性記憶素子の駆動方法 - Google Patents
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Description
第1実施形態の不揮発性記憶素子の駆動方法は、第1電極と、第2電極と、第1電極と第2電極との間に設けられ、第1電極と第2電極との間に印加される電圧パルスに応じて、低抵抗状態と低抵抗状態よりも抵抗値が高い高抵抗状態との間を可逆的に変化する抵抗変化層と、を有する抵抗変化型素子と、第1電極に接続された第1入出力端子と、第2入出力端子と、第1入出力端子と第2入出力端子との間の導通を制御するゲート端子と、を有する電界効果トランジスタと、を備える、不揮発性記憶素子の駆動方法であって、抵抗変化層を低抵抗状態から高抵抗状態へと変化させる際に、第2電極と第2入出力端子との間に第1の極性の消去電圧パルスを印加し、抵抗変化層を高抵抗状態から低抵抗状態へと変化させる際に、第2電極と第2入出力端子との間に第1の極性とは異なる第2の極性の書き込み電圧パルスを印加し、第2の極性は、電界効果トランジスタの第2入出力端子がソース端子となる極性であり、高抵抗状態にある抵抗変化層を低抵抗状態にするために、第2電極と第2入出力端子との間に第1書き込み電圧パルスを印可する場合に、電界効果トランジスタのゲート端子に、第1ゲート電圧を印加し、過抵抗状態にある抵抗変化型層を低抵抗状態にするために、第2電極と第2入出力端子との間に電圧の絶対値が第1書き込み電圧パルスよりも大きい第2書き込み電圧パルスを印可する場合に、電界効果トランジスタのゲート端子に、電圧の絶対値が第1ゲート電圧よりも小さい第2ゲート電圧を印加する。
<抵抗変化型素子の構成>
図1は、第1実施形態にかかる不揮発性記憶素子が備える抵抗変化型素子の概略構成の一例を示す断面図である。
次に、抵抗変化型素子10の製造方法の一例について説明する。
図2Aは、第1実施形態にかかる不揮発性記憶素子の一例を示す等価回路図である。図2Aに示す例において、第1実施形態にかかる不揮発性記憶素子は、1つのトランジスタと1つの抵抗変化型素子とで構成される、いわゆる1T1R型の不揮発性記憶素子である。
次に、上述したように構成された不揮発性記憶素子30の駆動方法について説明する。
以下では、抵抗変化型素子10の抵抗値が、所定の高い値(例えば、500000Ω)にある場合を高抵抗状態といい、所定の低い値(例えば、10000Ω)にある場合を低抵抗状態という。また、本明細書中では、抵抗変化型素子10(抵抗変化層3)が高抵抗状態から低抵抗状態へ変化することを低抵抗化と呼び、低抵抗状態から高抵抗状態へ変化することを高抵抗化と呼ぶことがある。
本実施形態に係る不揮発性記憶素子30は、書き込みステップ(低抵抗化)において、第2入出力端子22がソース端子となるように、抵抗変化型素子10と電界効果トランジスタ20とが接続されている。言い換えると、書き込みステップにおいて、電界効果トランジスタ20の端子のうち、抵抗変化型素子10と接続されている側の端子が、ドレイン端子となっている。
以下に、本実施形態の不揮発性記憶素子30の書き込み動作と基板バイアス効果(body effect)との関連について、図2A及び図3を参照しつつ説明する。以下で説明する基板バイアス効果の影響は、電界効果トランジスタ20がN型MISFET20である場合を例として説明するが、後述するように、電界効果トランジスタ20がN型MISFET20である場合に限らない。
一方、消去ステップにおいて、不揮発性記憶素子30に消去電圧パルスが印加されると、抵抗変化型素子10の第1端子11には相対的に低い電位が与えられ、N型MISFET20の第2入出力端子22に相対的に高い電位が与えられる。このとき、N型MISFET20のソース電位(第1入出力端子21の電位)の絶対値は、半導体基板24の電位よりも相対的に高くなる。そのため、基板バイアス効果の影響が大きくなり、N型MISFET20の負荷曲線は図9に模式的に示したようになる。言い換えると、消去ステップにおいて、N型MISFET20はソースフォロワで動作する。また、第1端子11と第2端子12との間に印加される電圧は、ゲート端子23に与えられる電圧よりも小さくしてもよい。
本実施形態における不揮発性記憶素子の駆動方法は、以下のような特徴を有する。
(1)抵抗変化層3を低抵抗状態から高抵抗状態へと変化させる際に、第2電極4と第2入出力端子22との間に第1の極性の消去電圧パルスを印加する。
(2)抵抗変化層3を高抵抗状態から低抵抗状態へと変化させる際に、第2電極4と第2入出力端子22との間に第1の極性とは異なる第2の極性の書き込み電圧パルスを印加する。
(3)第2の極性は、電界効果トランジスタ20の第2入出力端子22がソース端子となる極性である。
(4)高抵抗状態にある抵抗変化層3を低抵抗状態にするために、第2電極4と第2入出力端子22との間に第1書き込み電圧パルスを印可する場合に、電界効果トランジスタ20のゲート端子23に、第1ゲート電圧を印加する。
(5)過抵抗状態にある抵抗変化層3を低抵抗状態にするために、第2電極4と第2入出力端子22との間に電圧の絶対値が第1書き込み電圧パルスよりも大きい第2書き込み電圧パルスを印可する場合に、電界効果トランジスタ20のゲート端子23に、電圧の絶対値が第1ゲート電圧よりも小さい第2ゲート電圧を印加する。
第1実施形態で説明したものと同様の構成の不揮発性記憶素子を作成し、抵抗変化動作をさせて、抵抗値のばらつきを検討した。具体的には、不揮発性記憶素子の構成は以下の通りとした。
上述の例では、電界効果トランジスタ20として、N型MISFETを用いたが、これに限られるわけではない。本変形例は、N型MISFET20の代わりに、P型MISFET20を用いる。
第2実施形態の不揮発性記憶装置は、第1実施形態およびその変形例にかかる不揮発性記憶素子を用いてメモリセルアレイを構成し、第1実施形態およびその変形例で述べた不揮発性記憶素子の駆動方法を実行するものである。
図12は、第2実施形態にかかる不揮発性記憶装置の構成を示すブロック図である。
図13A〜図13Dは、第2実施形態にかかる不揮発性記憶装置における電圧印加のパターンを示すタイミングチャートである。図13Aは、消去動作(低抵抗状態から高抵抗状態へ変化させる場合)における電圧印加のパターンである。図13Bは、通常の書込動作(高抵抗状態から低抵抗状態へ変化させる場合)における電圧印加のパターンである。図13Cは、過抵抗状態から低抵抗状態へ変化させる場合における電圧印加のパターンである。図13Dは、読出動作における電圧印加のパターンである。いずれの図でも、選択されたメモリセルが、ワード線WL0と、ビット線BL0と、ソース線SL0とに接続されている場合を例に説明する。
2 第1電極
3 抵抗変化層
3a 第1抵抗変化層
3b 第2抵抗変化層
4 第2電極
10 抵抗変化型素子
11 第1端子
12 第2端子
15 抵抗変化型素子
20 電界効果トランジスタ
21 第1入出力端子
22 第2入出力端子
23 ゲート端子
24 半導体基板
25a 第1拡散層
25b 第2拡散層
26 ゲート絶縁膜
27 ゲート電極
28 層間絶縁層
29 導電ビア
30 不揮発性記憶素子
31 不揮発性記憶素子
Claims (15)
- 第1電極と、第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に設けられ、前記第1電極と前記第2電極との間に印加される電圧パルスに応じて、低抵抗状態と前記低抵抗状態よりも抵抗値が高い高抵抗状態との間を可逆的に変化する抵抗変化層と、を有する抵抗変化型素子と、
前記第1電極に接続された第1入出力端子と、第2入出力端子と、前記第1入出力端子と前記第2入出力端子との間の導通を制御するゲート端子と、を有する電界効果トランジスタと、
を備える不揮発性記憶素子の駆動方法であって、
前記抵抗変化層を前記低抵抗状態から前記高抵抗状態へと変化させる際に、前記第2電極と前記第2入出力端子との間に第1の極性の消去電圧パルスを印加し、
前記抵抗変化層を前記高抵抗状態から前記低抵抗状態へと変化させる際に、前記第2電極と前記第2入出力端子との間に前記第1の極性とは異なる第2の極性の書き込み電圧パルスを印加し、
前記第2の極性は、前記電界効果トランジスタの前記第2入出力端子がソース端子となる極性であり、
前記高抵抗状態にある前記抵抗変化層を前記低抵抗状態にするために、前記第2電極と前記第2入出力端子との間に第1書き込み電圧パルスを印可する場合に、前記電界効果トランジスタのゲート端子に、第1ゲート電圧を印加し、
過抵抗状態にある前記抵抗変化層を前記低抵抗状態にするために、前記第2電極と前記第2入出力端子との間に電圧の絶対値が前記第1書き込み電圧パルスよりも大きい第2書き込み電圧パルスを印可する場合に、前記電界効果トランジスタのゲート端子に、電圧の絶対値が前記第1ゲート電圧よりも小さい第2ゲート電圧を印加する、
不揮発性記憶素子の駆動方法。 - 前記電界効果トランジスタが、N型FETであり、
前記第1の極性は、前記第2入出力端子の電位が前記第2電極の電位よりも高くなる極性であり、
前記第2の極性は、前記第2入出力端子の電位が前記第2電極の電位よりも低くなる極性である、
請求項1に記載の不揮発性記憶素子の駆動方法。 - 前記電界効果トランジスタが、P型FETであり、
前記第1の極性は、前記第2入出力端子の電位が前記第2電極の電位よりも低くなる極性であり、
前記第2の極性は、前記第2入出力端子の電位が前記第2電極の電位よりも高くなる極性である、
請求項1に記載の不揮発性記憶素子の駆動方法。 - 前記抵抗変化層は、
酸素不足型の金属酸化物を有する第1抵抗変化層と、
前記第1抵抗変化層よりも酸素不足度が小さい金属酸化物を有する第2抵抗変化層と、
を備え、
前記電界効果トランジスタが、N型FETであり、
前記第1抵抗変化層が前記第2電極に接し、
前記第2抵抗変化層が前記第1電極に接する、
請求項1に記載の不揮発性記憶素子の駆動方法。 - 前記抵抗変化層は、
酸素不足型の金属酸化物を有する第1抵抗変化層と、
前記第1抵抗変化層よりも酸素不足度が小さい金属酸化物を有する第2抵抗変化層と、
を備え、
前記電界効果トランジスタが、P型FETであり、
前記第1抵抗変化層が前記第1電極に接し、
前記第2抵抗変化層が前記第2電極に接する、
請求項1に記載の不揮発性記憶素子の駆動方法。 - 前記電界効果トランジスタが、N型FETであり、前記第1電極の標準電極電位をE1とし、前記第2電極の標準電極電位をE2とするとき、E1>E2を満足する、
請求項1に記載の不揮発性記憶素子の駆動方法。 - 前記電界効果トランジスタが、P型FETであり、前記第1電極の標準電極電位をE1とし、前記第2電極の標準電極電位をE2とするとき、E2>E1を満足する、
請求項1に記載の不揮発性記憶素子の駆動方法。 - 前記抵抗変化層は、
第1金属酸化物を有する第1抵抗変化層と、
第2金属酸化物を有する第2抵抗変化層と、
を備え、
前記第1金属酸化物と前記第2金属酸化物とが同じ金属の酸化物であり、
前記第1金属酸化物の組成をMOxと表し、前記第2金属酸化物の組成をMOyと表すとき、y>xを満足する、
請求項1から7の何れか1項に記載の不揮発性記憶素子の駆動方法。 - 前記第1金属酸化物と前記第2金属酸化物とがタンタル酸化物である、
請求項8に記載の不揮発性記憶素子の駆動方法。 - 前記第1金属酸化物と前記第2金属酸化物とがハフニウム酸化物である、
請求項8に記載の不揮発性記憶素子の駆動方法。 - 前記第1金属酸化物と前記第2金属酸化物とがジルコニウム酸化物である、
請求項8に記載の不揮発性記憶素子の駆動方法。 - 前記抵抗変化層は、
第1金属酸化物を有する第1抵抗変化層と、
第2金属酸化物を有する第2抵抗変化層と、
を備え、
前記第1金属酸化物と前記第2金属酸化物とが互いに異なる金属の酸化物であり、
前記第1金属酸化物を構成する金属の標準電極電位をENとし、前記第2金属酸化物を構成する金属の標準電極電位をEMとすると、EN<EMを満足する、
請求項1から7の何れか1項に記載の不揮発性記憶素子の駆動方法。 - 前記第1金属酸化物がタンタル酸化物であり、前記第2金属酸化物がアルミニウム酸化物である、
請求項12に記載の不揮発性記憶素子の駆動方法。 - 前記第1金属酸化物がタンタル酸化物であり、前記第2金属酸化物がハフニウム酸化物である、
請求項12に記載の不揮発性記憶素子の駆動方法。 - 請求項1に記載の不揮発性記憶素子の駆動方法であって、
前記駆動方法は、
前記抵抗変化層を前記低抵抗状態にする場合に、前記ゲート端子に第1ゲート電圧を与えると共に、前記第2電極と前記第2入出力端子との間に第1書き込み電圧パルスを印加するステップ(A)と、
前記ステップ(A)の後に、前記抵抗変化層が前記低抵抗状態に変化していない場合には、前記抵抗変化層が過抵抗状態にあると判定し、前記ゲート端子に第2ゲート電圧を与えると共に、前記第2電極と前記第2入出力端子との間に第2書き込み電圧パルスを印加するステップ(B)と、を含む、
不揮発性記憶素子の駆動方法。
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