JP2012523649A - 垂直ビット線および片側ワード線アーキテクチャを有する再プログラミング可能な不揮発性メモリ素子の3次元アレイ - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の一態様に従って、3Dメモリは、x、yおよびz方向を有する直交座標により、z方向に積み重ねられた複数の平行なプレーンを用いて画定された3次元パターンを成して配置されたメモリ素子を含む。各プレーン内のメモリ素子は、複数のワード線および複数のグローバルビット線と直列に並んでいるローカルビット線によりアクセスされる。その複数のローカルビット線は、複数のプレーンを通ってz方向に存在し、x方向の行およびy方向の列の2次元矩形アレイを成して配列されている。各プレーン内の複数のワード線は、x方向に延び、それぞれのプレーンにおいて複数のローカルビット線の間で複数のローカルビット線から離され、y方向に間隔を置いている。不揮発性の再プログラミングメモリ素子がワード線およびローカルビット線の交差箇所の近くに置かれてワード線およびビット線によりアクセス可能であり、メモリ素子の1つのグループは1つの共通ワード線と1行のローカルビット線とにより並行してアクセスされ得る。3Dメモリは、y方向のその列の中の偶数ローカルビット線および奇数ローカルビット線のそれぞれの機能を果たす2つのグローバルビット線を有する二重グローバルビット線アーキテクチャをさらに含む。このアーキテクチャは、選択されたローカルビット線にアクセスするために1つのグローバルビット線がセンスアンプにより使用され、y方向においてその選択されたローカルビット線に隣接する選択されていないローカルビット線にアクセスするために他方のグローバルビット線が使用されることを可能にする。このようにして、隣接するビット線間のリーク電流をなくすために、隣接する選択されていないローカル線は選択されたローカルビット線のものと同じ基準電圧に正確にセットされることができる。
本発明の他の1つの実施形態に従って、3Dメモリは、x、yおよびz方向を有する直交座標により、z方向に積み重ねられた複数の平行なプレーンを用いて画定された3次元パターンを成して配置されたメモリ素子を含む。各プレーン内のメモリ素子は、複数のワード線および複数のグローバルビット線と直列に並んでいるローカルビット線によりアクセスされる。その複数のローカルビット線は、複数のプレーンを通ってz方向に存在し、x方向の行およびy方向の列の2次元矩形アレイを成して配列されている。各プレーン内の複数のワード線は、x方向に延び、それぞれのプレーンにおいて複数のローカルビット線の間で複数のローカルビット線から離され、y方向に間隔を置いている。不揮発性の再プログラミングメモリ素子がワード線およびローカルビット線の交差箇所の近くに置かれてワード線およびビット線によりアクセス可能であり、メモリ素子の1つのグループは1つの共通ワード線と1行のローカルビット線とにより並行してアクセスされ得る。3Dメモリは、各ワード線が一行のメモリ素子に排他的に接続される片側ワード線アーキテクチャを有する。これは、2行のメモリ素子の間で1つのワード線を共有してアレイ中のメモリ素子をワード線を横断させてつなぐ代わりにメモリ素子の各行のために1つのワード線を設けることによって成し遂げられる。片側ワード線アーキテクチャは、2行のメモリ素子の間で1つのワード線を共有する代わりにメモリ素子の各行のために唯1つのワード線を設け、これによりアレイ中のメモリ素子をワード線を横断させてつなぐことを回避する。メモリ素子の行は同様にローカルビット線の対応する行によりアクセスされるけれども、ローカルビット線の隣接する行間での結合の拡張はなく、従ってワード線を越えるリーク電流はない。
片側ワード線アーキテクチャは、y方向における複数のワード線を横断するローカルビット線間の結合を切り離すという利点を有する。従って、ローカルビット線間のリーク電流がなくされる。
本願明細書において挙げられた全ての特許、特許出願、論文、他の刊行物、文書および事物は、あらゆる目的のためにその全体が本願明細書において参照により援用されている。その援用された刊行物、文書または事物のいずれかと本願との間での用語の定義または使用法における不一致または矛盾の外延まで、本願のものが優越するものとする。
1.グローバルビット線の全て(図1および3のアレイにおいてGBL1 、GBL2 およびGBL3 )を、図2の回路21により、ゼロボルトにセットする。
2.y方向におけるワード線の各側のローカルビット線がそれらの選択デバイスを通してそれぞれのグローバルビット線に接続され、従ってゼロボルトにされるように、ブロックのその1つのワード線の両側の少なくとも2つの選択ゲート線をH’ボルトにセットする。電圧H’は、1〜3ボルトの範囲内の適切なもの、通例2ボルトのように、選択デバイスQxyをオンにするために充分高くされる。図3に示されているブロックはワード線WL12を含むので、選択デバイスQ12、Q22、Q32、Q13、Q23およびQ33をオンにするために図2の回路29によってそのワード線の両側の選択ゲート線SG2 およびSG3 (図1)がH’ボルトにセットされる。これにより、x方向に延びる2つの隣接する行の中のローカルビット線LBL12、LBL22、LBL32、LBL13、LBL23およびLBL33の各々がグローバルビット線GBL1、GBL2およびGBL3のうちのそれぞれの1つに接続される。y方向において互いに隣接するローカルビット線のうちの2つが単一のグローバルビット線に接続される。すると、これらのローカルビット線はグローバルビット線のゼロボルトにセットされる。残りのローカルビット線は好ましくは接続されないままであり、それらの電圧は浮いている。
3.リセットされるブロックのワード線をHボルトにセットする。このリセット電圧値は、メモリ素子内のスイッチング材料に依存し、数分の一ボルトから数ボルトの間になり得る。選択されたプレーン1の他のワード線と他の選択されていないプレーン上の全ワード線とを含む、アレイの他の全てのワード線はゼロボルトにセットされる。図1および3のアレイでは、全て図2の回路27により、ワード線WL12はHボルトにされ、アレイ中の他の全てのワード線はゼロボルトにされる。
1.グローバルビット線に掛けられる電圧は、プログラミングのためにメモリシステムにより受け取られるデータのパターンに従う。図4の例では、GBL1 は論理データビット「1」を伝達し、GBL2 は論理ビット「0」を伝達し、GBL3 は論理ビット「1」を伝達する。ビット線は、示されているように対応する電圧M、HおよびMにそれぞれセットされ、Mレベル電圧は高いけれどもメモリ素子をプログラムするのには不十分であり、Hレベルはメモリ素子を強制的にプログラムされた状態にするのに充分に高い。Mレベル電圧は、ゼロボルトとHとの間で、Hレベル電圧の約二分の一であり得る。例えば、Mレベルは0.7ボルトで、Hレベルは1.5ボルトであり得る。プログラミングに使用されるHレベルは、リセットまたは読み出しに使用されるHレベルと同じであるとは限らない。この場合、受け取られたデータに従って、メモリ素子M114 およびM134 をそのリセット状態に留めるべきであるが、メモリ素子M124 はプログラムされる。従って、プログラミング電圧は、次に続くステップによって、このページのメモリ素子M124 にだけ印加される。
2.プログラムされるページのワード線、この場合には選択されたワード線WL12をゼロボルトにセットする。これは、ページのメモリ素子が接続されている唯一のワード線である。全てのプレーン上の他のワード線の各々はMレベルにセットされる。これらのワード線電圧は図2の回路27により印加される。
3.プログラムされるべき1つのページを選択するために、選択されたワード線の下の両側の選択ゲート線のうちの1つをH’電圧レベルにセットする。図3および4に示されているページについて、H’電圧は、選択デバイスQ12、Q22およびQ32をオンにするために選択ゲート線SG2 に掛けられる(図1)。他の全ての選択ゲート線、すなわちこの例では線SG1 およびSG3 は、それらの選択デバイスをオフに保つためにゼロボルトにセットされる。選択ゲート線電圧は、図2の回路29によって印加される。これは、1行のローカルビット線をグローバルビット線に接続し、他の全てのローカルビット線を浮いたままにしておく。この例では、行のローカルビット線LBL12、LBL22およびLBL32が、オンにされた選択デバイスを通してそれぞれのグローバルビット線GBL1 、GBL2 およびGBL3 に接続され、アレイの他の全てのローカルビット線(LBLs )は浮いたままにされる。
1.全てのグローバルビット線GBLおよび全てのワード線WLを電圧VR にセットする。電圧VR は単に都合の良い基準電圧であって、任意の数の値であり得るけれども通例0と1ボルトとの間にある。一般的に、繰り返し読み出しが行われる動作モードについては、全ワード線を充電することを必要とするけれども、寄生読み出し電流を減らすためにアレイ中の全ワード線をVR にセットするのが好都合である。しかし、1つの代案では、選択されたワード線(図5ではWL12)、その他の各プレーン内の、その選択されたワード線と同じ位置にあるワード線、および全プレーン内の直ぐ隣のワード線をVR に高めることが必要であるに過ぎない。
2.読み出されるべきページを明示するために、選択されたワード線に隣接する制御線に電圧をかけることによって1行の選択デバイスをオンにする。図1および5の例では、選択デバイスQ12、Q22およびQ32をオンにするために制御線SG2 に電圧が印加される。これは、1行のローカルビット線LBL12、LBL22およびLBL32をそれらのそれぞれのグローバルビット線GBL1 、GBL2 およびGBL3 に接続する。これらのローカルビット線は、そのとき図2の回路21の中に存在する個々のセンスアンプ(SA)に接続され、それらが接続されているグローバルビット線の電位VR を帯びる。他の全てのローカルビット線LBLは、浮くことを許される。
3.選択されたワード線(WL12)をVR ±Vsenseの電圧にセットする。Vsenseの符号は、センスアンプに基づいて選択され、約0.5ボルトの大きさを有する。他の全てのワード線の電圧は同じままである。
4.時間Tの間、各センスアンプに流入(VR +Vsense)または流出(VR −Vsense)する電流を感知する。これらは、図5の例のアドレス指定されたメモリ素子を通って流れるように示されている電流IR1、IR2およびIR3であり、これらは、それぞれのメモリ素子M114 、M124 およびM134 のプログラミング済み状態に比例する。メモリ素子M114 、M124 およびM134 の状態は、このとき、それぞれのグローバルビット線GBL1 、GBL2 およびGBL3 に接続されている回路21内のセンスアンプのバイナリ出力により与えられる。これらのセンスアンプ出力は線23(図2)を介してコントローラ25に送られ、読み出されたデータをホスト31に提供する。
5.ローカルビット線をグローバルビット線から切り離すために選択ゲート線(SG2 )から電圧を除去することによって選択デバイス(Q12、Q22およびQ32)をオフに転換させ、選択されたワード線(WL12)を電圧VR に戻す。
図1のアレイの不揮発性メモリ記憶素子Mzxy のために使用される材料は、カルコゲナイド、金属酸化物、あるいはその材料に印加された外部電圧またはその材料に通された電流に応答して安定した可逆抵抗シフトを示す多くの材料のうちのいずれか1つであり得る。
図1の3次元メモリ素子アレイを実現するための3つの代替の半導体構造が次に記載される。
図7に示されている第1の例は、初めて堆積されたときに非伝導性であるメモリ素子(NVM)の使用のために構成されている。前に論じられたタイプの金属酸化物はこの特性を有する。図6に関して説明したように、材料の両側の電極の間に、これらの電極に掛けられた適切な電圧に応答して伝導性フィラメントが形成される。これらの電極は、アレイ内のビット線およびワード線である。材料は、さもなければ非伝導性であるので、ワード線およびビット線のクロスポイントにおいてメモリ素子を互いに絶縁させる必要はない。材料の単一の連続層によって数個のメモリ素子を実現することができ、それらは、図7の場合には、y方向において垂直ビット線の両側に沿って垂直に向けられて全プレーンを通って上方に延びるNVM材料のストリップである。図7の構造の著しい利点は、1つのグループのプレーン内の全ワード線およびそれらの下の絶縁ストリップを単一のマスクを用いて同時に画定し、従って製造プロセスを非常に簡単化できることである。
1.選択デバイスQ、グローバルビット線GBL、選択ゲート線SGおよびアレイの周辺の他の回路を含む支援回路が在来の仕方でシリコン基板内に形成され、この回路の上面は、回路の上に置かれたエッチストップ材料の層を用いるエッチングによるなどして平坦化される。
2.誘電体(絶縁物)および金属の交互の層が、少なくとも基板の選択デバイスQが形成される領域の上で、互いの上にシートとして形成される。図7の例では、そのようなシートが4つ形成される。
3.これらのシートは、x方向に延びy方向に間隔を置いている複数のスリットを有する、これらの上に形成されたマスクを用いることによってエッチング(絶縁)される。ローカルビット線(LBL)柱およびNVM材料が後に形成される図7に示されているトレンチを形成するために、材料の全てがエッチストップまで下って除去される。後に形成される柱の位置にある選択デバイスQのドレインへのアクセスを許すために、トレンチの底でエッチストップ材料層を通る接点穴もエッチングされる。トレンチの形成により、ワード線(WL)のy方向における幅も定められる。
4.不揮発性メモリ(NVM)材料が、これらのトレンチの側壁に沿ってトレンチの上の構造を横断して薄い層を成して堆積される。これにより、NVM材料は、トレンチの各々の対向する側壁に沿って、トレンチの中に露出されているワード線(WL)表面と接触する状態で残される。
5.その後、金属が不揮発性メモリ(NVM)材料と接触するようにこれらのトレンチ内に堆積される。属は、y方向に複数のスリットのあるマスクを用いてパターニングされる。このマスクを通してエッチングすることによる金属材料の除去により、ローカルビット線(LBL)柱が残る。柱間でx方向の不揮発性メモリ(NVM)材料も除去され得る。x方向における柱間のスペースは、その後に誘電体材料で満たされ、構造の頂部まで戻って平坦化される。
a.連続的な誘電体(絶縁物)層の上に、底部電極、スイッチング材料および(随意に)障壁金属のストリップを含むスタックの平行なセットを形成し、ここでスタックはy方向に延びてx方向において間隔を置いている。この中間構造は図9に示されている。この構造を形成するプロセスは、底部絶縁物の層(デバイスを層111においては基板から絶縁させ、層113および115においては下のプレーンから絶縁させる)、電気伝導性材料(例えば、チタン)の底部電極、スイッチングNVM材料層、頂部電極障壁金属(例えば、白金)、次にフォトレジスト材料の第1の層を順に堆積させることを含む。フォトレジストを、y方向に延びる水平な線およびスペースのセットとしてパターニングする。スタック間のスペースが線の幅より大きくなるように、マスク材料の線の幅を減少させるためにフォトレジスト線の幅が減少させられる(フォトレジストが「細くされる」)。これは、異なるプレーン間に後に生じる可能性のあるスイッチング素子の行の位置ずれを補償すると共に共通の垂直ローカルビット線が全プレーンで同時に底部電極に接触できるようにするためである。これにより、スイッチング素子のサイズ(従って、電流)も減少する。フォトレジストをマスクとして用いて、スタックがエッチングされ、底部絶縁物層で止まる。その後、フォトレジストが除去され、行間のギャップが他の絶縁物(図9には示されていない)で満たされ、生じた構造が平坦化される。
b.図10〜12を参照すると、y方向において2つの隣接するメモリ素子を結合させる底部電極を各々包含する個々のメモリ素子のx−yアレイを形成するためにスタックが分離される。
1.誘電体(絶縁物)の層を構造の上に堆積させる。
2.x方向に延びるフォトレジストの平行な線をパターニングし、頂部の絶縁物層を、この層から図10に示されている平行な絶縁ストリップI1を形成するために、エッチングする。このエッチングは、障壁金属(または、障壁金属が存在しなければ、メモリ材料)と、スタック間のギャップを埋めている絶縁物(図示せず)との上で止められる。
3.このようにして形成されたアレイの露出している領域は絶縁物I1と異なるエッチング特性を有する第2の絶縁物I2で埋められ、その後平坦化される。その結果は図11に示されている。
4.その後、残っている絶縁物I1の全てが、露出しているI2をマスクとして使用する選択的エッチングによって除去される。その後、図12に示されているように、I2のエッジに沿ってスペーサが形成される。
5.スペーサおよびI2ストリップをマスクとして用いて、底部電極ストリップを含む平行なスタックを貫くエッチングが行われ、これにより、各ストリップが2つの隣接するメモリ素子Mzxy だけと連絡するように底部電極ストリップ同士をそれらの間のトレンチにより絶縁させる。エッチマスクの一部として用いられるスペーサを形成する代わりに、フォトレジストマスクが形成されてもよい。しかし、そのようなフォトレジストマスクの位置ずれの可能性があり、そのピッチはスペーサの使用で得られるほど小さくはないかもしれない。
6.その後、第3の絶縁物層が構造の上に、さらにエッチングされたばかりのトレンチの中に堆積され、第3の絶縁物層は露出しているスイッチング材料の高さより少し上までエッチバックされ、これにより第3の絶縁物I3が残る。その結果が、1つの底部電極線に沿ってy方向に描かれた断面図である図12に示されている。
c.その後、2つの隣接するメモリ素子にオーム接触するワード線が、露出している領域に形成される(これはダマシンプロセスである)。
1.スペーサが始めに除去される。その結果は図13に(上向きの柱のような)メモリスタックの矩形x−yアレイとして示され、y方向において隣接する各2つのスタックは1つの共通の底部電極により接続されている。柱間の底部電極の上の領域を埋める絶縁物I2と、底部電極および隣接する柱同士を隔てるギャップの間のトレンチを埋める絶縁物I3とは、明瞭性を目的として図に示されていない。
2.その後、伝導性ワード線材料が堆積され、露出しているトレンチをそれが埋めるように、絶縁物I3および障壁金属(存在するならば)またはメモリ材料で止まるCMPによって除去される。絶縁物I2は伝導性ワード線材料が画定されるトレンチを形成する(ダマシンプロセスとして)ということに留意するべきである。ワード線(WL)は絶縁物I3および2つの隣接するメモリスタックの上に位置する(ここでは障壁金属と共に示 されている)。生じた構造は図14に示されている。
d.前述した処理ステップは、プレーンのグループの中の各プレーンのために反復される。フォトリソグラフィの位置ずれのために1つのプレーン内のメモリ素子は他のプレーン内のメモリ素子と正確には整列しないであろうということに留意するべきである。
e.全プレーンの回路素子が形成された後、垂直なローカルビット線が形成される。
1.頂部絶縁物が上のプレーンのワード線の上に堆積される。
2.フォトレジストマスクを用いて、個々のローカルビット線のためにx−y「接点」パターンが開けられ、はるばる基板までプレーンのグループを貫いてエッチングが行われる。これらの開口部の行は、x方向に沿ってワード線に並行に整列させられているけれどもy方向においてはワード線間のギャップの中ほどにあって間隔を置いている。これらの開口部のサイズはワード線間の間隔より小さくて各プレーンにおいて底部電極を突っ切るようにx方向に整列している。エッチングは、数個のプレーンの底部電極の各層を通って進行すると、底部電極を、各セグメントが唯一のメモリ素子とだけ連絡するように2つのセグメントに分ける。エッチングは、基板まで進み続け、ここで選択デバイスQxyへの接点を露出させる。
3.これらの穴は、その後、ローカルビット線を形成するために金属で埋められ、各ローカルビット線が他のどのローカルビット線からも独立する(電気的に分離される)ように上面が平坦化される。このプロセスの一部として随意に障壁金属が堆積されてもよい。結果として生じる構造が図8の垂直断面図に示されている。
4.あるいは、ローカルビット線のためにx−y「接点」パターンをエッチングする代わりに、x方向に延びy方向に間隔を置いているスリットがI2酸化物領域にエッチングされる。エッチングがプレーンのグループを貫いてはるばる基板まで行われて、ローカルビット線柱が後に中に形成されるトレンチを形成する。
5.これらのトレンチを埋めるために、その後、金属が堆積される。堆積された金属は、全プレーン内のメモリ素子の底部電極と接触する。金属は、その後、x方向のスリットを有するマスクを用いてパターニングされる。このマスクを通してのエッチングによって金属材料を除去すると、ローカルビット線柱が残る。x方向の柱間のスペースは誘電体材料で埋められて構造の頂部まで戻って平坦化される。
従来、メモリアレイの可変抵抗性素子と直列に、それらを通って流れ得るリーク電流を減らすために、ダイオードが良く接続される。本発明において記述される非常にコンパクトな3D再プログラミング可能なメモリは、各メモリ素子と直列のダイオードを必要としないがリーク電流を少なく保つことのできるアーキテクチャを有する。これは、グローバルビット線のセットに選択的に結合される短いローカル垂直ビット線で可能となっている。このようにして、3Dメモリの構造は必然的に分割され、メッシュ内の個々の経路間の結合は低減される。
本発明の1つの態様に従って、1つの3Dメモリは、x、yおよびz方向を有する直交座標により、z方向に積み重ねられた複数の平行なプレーンを用いて画定された3次元パターンを成して配置されたメモリ素子を備える。各プレーン内のメモリ素子は複数のワード線と、複数のグローバルビット線と直列のローカルビット線とによりアクセスされる。複数のローカルビット線は、複数のプレーンを通ってz方向に存在して、x方向の行とy方向の列との2次元矩形アレイを成して配置されている。各プレーン内の複数のワード線は、x方向に延び、個々のプレーンにおいて複数のローカルビット線の間でy方向に間隔を置いて複数のローカルビット線から離されている。不揮発性の再プログラミング可能なメモリ素子はワード線とローカルビット線との交差箇所の近くに置かれてワード線およびビット線によりアクセス可能であり、1つの共通のワード線と1行のローカルビット線とによって1グループのメモリ素子が並行してアクセス可能である。3Dメモリは、y方向の1つの列の中の偶数ローカルビット線と奇数ローカルビット線とのためにそれぞれ働く2つのグローバルビット線を有する二重グローバルビット線アーキテクチャをさらに含む。このアーキテクチャにより、一方のグローバルビット線を1つの選択されたローカルビット線にアクセスするために1つのセンスアンプにより使用することができ、他方のグローバルビット線をy方向において選択されたローカルビット線に隣接する1つの選択されていない複数のローカルビット線にアクセスするために使用することができる。このようにして、それらの隣接する選択されていないローカル線は、隣接するビット線間のリーク電流をなくすために、選択されたローカルビット線のものと同じ基準電圧に正確にセットされることができる。
本質的に、図17に示されている3次元メモリ10’は、二重のグローバルビット線を有するグローバルビット線の構造を除いて、図1に示されている3Dメモリ10と同様である。
図16と関連して論じられたように、隣接する行に起因するリーク電流は、電流リークを除去するために隣接するビット線が別々に基準電圧にセットされ得ないときには、充分に制御されない。
二重グローバルビット線アーキテクチャは、図1に示されているアーキテクチャに比べてメモリアレイ内のグローバルビット線の数を2倍にする。しかし、この不利な点は、メモリ素子間のリーク電流がより少ないメモリアレイを提供することにより相殺される。
本発明の他の1つの実施形態に従って、1つの3Dメモリは、x、yおよびz方向を有する直交座標により、z方向に積み重ねられた複数の平行なプレーンを用いて画定された3次元パターンを成して配置されたメモリ素子を備える。各プレーン内のメモリ素子は、複数のワード線と、複数のグローバルビット線と直列のローカルビット線とによってアクセスされる。複数のローカルビット線は、複数のプレーンを通ってz方向に存在して、x方向の行とy方向の列との2次元矩形アレイを成して配置されている。各プレーン内の複数のワード線は、x方向に延び、個々のプレーンにおいて複数のローカルビット線の間でy方向に間隔を置いて複数のローカルビット線から離されている。不揮発性の再プログラミングメモリ素子はワード線とローカルビット線との交差箇所の近くに置かれてワード線およびビット線によりアクセス可能であり、1つの共通のワード線と1行のローカルビット線とによって1グループのメモリ素子が並行してアクセス可能である。3Dメモリは、各ワード線が唯1つの行のメモリ素子に接続される片側ワード線アーキテクチャを有する。これは、2行のメモリ素子の間で1つのワード線を共有してアレイ中のメモリ素子をワード線を横断させてつなぐ代わりにメモリ素子の各行のために1つのワード線を設けることによって成し遂げられる。メモリ素子の行は同様にローカルビット線の対応する行によりアクセスされるけれども、ローカルビット線の行についてはワード線を越える結合の拡張はない。
図1に示されている両側ワード線アーキテクチャを有する3Dメモリアレイは、アレイのエッジにあるものを除いて各々のワード線が1対のワード線に取って代わられる片側ワード線アーキテクチャに改変され得る。このようにして、各ワード線は、唯1つの行のメモリ素子に接続する。従って、図1に示されているワード線W12は、図19において、ワード線WL13およびWL14の対に取って代わられている。WL13は1行のメモリ素子(M114 ,M124 ,M134 ・・・)に接続され、WL14は1行のメモリ素子(M115 ,M125 ,M135・・・)に接続されていることが分かる。前に記載したように、1行のメモリ素子は、並行して読み出されるかまたは書き込まれる1つのページを構成する。
図20は、同じ行のローカルビット線(例えば、LBL12,LBL22,LBL32・・・)を共有する2行のメモリ素子(M113 ,M123 ,M133 ・・・)および(M114 ,M124 ,M134 ・・・)によって画定される1単位として消去可能なメモリ素子の1つの最小ブロックも示している。
片側ワード線アーキテクチャは、図1に示されているアーキテクチャに比べてメモリアレイ内のワード線の数を2倍にする。しかし、この不利な点は、メモリ素子間のリーク電流がより少ないメモリアレイを提供することにより相殺される。
本発明の種々の態様をその代表的な実施形態に関して記述したけれども、本発明が、添付の特許請求の範囲の全範囲内でその権利が保護されるということを理解するべきである。
Claims (18)
- x、yおよびz方向を有する直交座標により、z方向に積み重ねられた複数の平行なプレーンを用いて画定された3次元パターンを成して配置されたメモリ素子を備えるデータメモリであって、
複数のプレーンを通ってz方向に延びる、x方向の行およびy方向の列の2次元矩形アレイを成して配置された複数の第1の伝導線と、
個々のプレーンを横断してx方向に延びて個々のプレーン内で複数の第1の伝導線の間でy方向に間隔を置いて複数の第1の伝導線から離されている複数の第2の伝導線であって、前記第1および第2の伝導線が個々のプレーン内の複数の位置で互いに隣接して交差し、第2の伝導線の各隣接対がx方向の第1の伝導線の対応する行の周りに、もっぱらそれと協同するべく配置される複数の第2の伝導線と、
複数の位置において前記第1の伝導線および第2の伝導線の間にそれらの交差箇所に隣接してそれぞれ接続された複数の不揮発性の再プログラミング可能なメモリ素子と、
第1の伝導線の選択された行を複数の第3の伝導線にそれぞれ結合させるように配置された複数の選択デバイスと、
を備えるデータメモリ。 - 請求項1記載のデータメモリにおいて、
前記第3の伝導線は、y方向に延び、
前記選択デバイスは、前記第1の伝導線のうちのy方向に整列しているものを、複数の第3の伝導線のうちの選択されたものに接続可能にするように配置され、
複数の制御線が、x方向に整列している複数の第1の伝導線と前記第3の伝導線のうちの別々のものとの接続を可能にするためにx方向に延びて、x方向に整列している複数の選択デバイスにそれぞれ接続されているデータメモリ。 - 請求項1または2記載のデータメモリにおいて、
複数の選択デバイスおよび複数の第3の伝導線は半導体基板内に形成され、複数のプレーンは前記半導体基板の上にスタックとして形成されるデータメモリ。 - 請求項1または3記載のデータメモリにおいて、
個々のメモリ素子は、前記メモリ素子が間に接続されている前記第1および第2の伝導線を通して印加された電気的刺激に応答して自分の電気コンダクタンスのレベルを少なくとも第1および第2の安定したレベルの間で可逆的に変化させる材料を含むことにより特徴付けられるデータメモリ。 - 請求項1記載のデータメモリにおいて、
前記メモリ素子は、前記第1および第2の伝導線の交差箇所のうちのそれぞれのものに隣接するそれぞれの量の材料を含み、かつx、yおよびz方向の全てにおいて互いに分離されているデータメモリ。 - 請求項1記載のデータメモリにおいて、
前記メモリ素子は、y方向において前記第1の伝導線と連絡するようにさらに配置されているデータメモリ。 - 請求項1記載のデータメモリにおいて、
個々のメモリ素子は、自分に印加された電気的刺激に応答して変化する電気コンダクタンスのレベルにより特徴付けられるデータメモリ。 - 請求項1記載のデータメモリにおいて、
前記メモリ素子は、前記第1および第2の伝導線を通して自分に印加された電気的刺激により選択される少なくとも第1および第2の安定した電気的に検出可能な状態を有することにより特徴付けられるデータメモリ。 - 請求項1記載のデータメモリにおいて、
前記メモリ素子のうちの選択されたものに電気的刺激を印加するために前記第1および第2の伝導線に接続された回路をさらに備え、電気的刺激は、前記メモリ素子をその第2の安定状態から第1の安定状態に転換させるために印加される電気的刺激と実質的に同じ大きさであり、かつ異なる極性を持って選択されたメモリ素子をその第1の安定状態から第2の安定状態に転換させるために印加されるデータメモリ。 - 請求項1記載のデータメモリにおいて、
前記第3の複数の伝導線に接続されたデータ入出力回路をさらに備えるデータメモリ。 - 請求項10記載のデータメモリにおいて、
前記データ入出力回路は、データが前記メモリから読み出されるときに前記第3の伝導線により伝えられるデータのバイナリ表示を提供する仕方で前記第3の伝導線と接続されている複数のセンスアンプを含むデータメモリ。 - 請求項10記載のデータメモリにおいて、
前記データ入出力回路は、前記第3の伝導線のうちの選択されたものに、複数の選択デバイスを通してそれらに接続されている前記メモリ素子のうちの少なくとも幾つかにデータをプログラムするために、電圧を印加するデータプログラミング回路をさらに備えるデータメモリ。 - 再プログラミング可能な不揮発性メモリシステムを操作する方法であって、
x、yおよびz方向を有する直交座標により画定されるメモリ素子の3次元パターンを包含し、かつ
半導体基板の上にz方向に積み重ねられた複数の平行なプレーンと、
複数のプレーンを通ってz方向に延び、x方向の行およびy方向の列の2次元矩形アレイを成して配置された複数の伝導性ローカルビット線と、
それぞれのプレーンを横断してx方向に延び、それぞれのプレーンにおいて複数のローカルビット線の間でy方向に間隔を置いて複数のローカルビット線から離されている複数のワード線であって、前記ローカルビット線およびワード線がそれぞれのプレーンにおいて複数の位置で互いに隣接して交差し、複数のワード線の各隣接対がx方向のローカルビット線の対応する行の周りに、もっぱらそれと協同するべく配置されている複数のワード線と、
複数の位置において前記ローカルビット線およびワード線の間にそれらの交差箇所に隣接してそれぞれ接続された複数の再プログラミング可能な不揮発性メモリ素子と、
選択制御信号に応答して、ローカルビット線の選択された行を複数のグローバルビット線にそれぞれ結合させるように配置された複数の選択デバイスと、を備える少なくとも1つの集積回路を利用するステップと、
ローカルビット線の選択された行を前記グローバルビット線のうちのそれぞれのものに接続するために複数の選択デバイスに選択制御信号を印加するステップと、
複数のメモリ素子のうちの選択された1つ以上のものを、複数のメモリ素子のうちの選択された1つ以上のものが間に作用可能に接続されている前記ワード線およびグローバルビット線を通して第1および第2の刺激のうちの1つを印加することによって、それらの少なくとも第1および第2の状態の間で同時に変化させるステップと、
を含む方法。 - 請求項13の方法において、
前記選択制御信号を印加するステップは、x方向に延びる前記ローカルビット線の行を前記グローバルビット線に接続するために前記選択制御信号を複数の選択デバイスに印加することを含む方法。 - 請求項14記載の方法において、
前記複数のメモリ素子のうちの選択された1つ以上のものを、それらの少なくとも第1および第2の状態の間で同時に変化させるステップは、ローカルビット線の選択された行に接続されていてy方向のその両側に沿う2行のメモリ素子を、複数のグローバルビット線と、ローカルビット線の選択された行に隣接するその両側のワード線のうちの2つとに第2の電気的刺激を印加することによって、第1の状態に同時にリセットすることを含む方法。 - 請求項14記載の方法において、
前記複数のメモリ素子のうちの選択された1つ以上のものを、それらの少なくとも第1および第2の状態の間で同時に変化させるステップは、リセットされたメモリ素子の2行のうちの1つに、第1の電気的刺激を複数のグローバルビット線と、ローカルビット線の選択された行に隣接する前記ワード線のうちの、プログラムされる1行のメモリ素子側の1つとに印加することによって、後にデータをプログラムすることをさらに含む方法。 - 請求項14記載の方法において、
ローカルビット線の選択された行のy方向の1つの側に沿う行のメモリ素子の状態を、前記グローバルビット線に現れる電気的量から前記メモリ素子の状態が読み出されるように読み出し電気的刺激を前記グローバルビット線およびワード線に印加することによって、読み出すステップをさらに含む方法。 - 請求項14記載の方法において、
前記複数のメモリ素子のうちの選択された1つ以上のものを、それらの少なくとも第1および第2の状態の間で同時に変化させるステップは、第1および第2の刺激のうちの1つの複数のパルスを印加すると共に、連続するパルス間で、複数のメモリ素子のうちの1つ以上のものの状態をベリファイすることをさらに含む方法。
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