JP2006514393A - プログラマブル抵抗メモリ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[産業上の利用可能性]
この発明によると、プログラマブル抵抗素子とアクセス素子の積層構造からなるメモリセルを配列したセルアレイと、そのデータ読み出し及び書き込みを行う読み出し/書き込み回路を重ねて配置した高集積化プログラマブル抵抗メモリ装置を提供することができる。
図2は、実施の形態による基本セルアレイとそのセル選択の一つの電圧印加モードを示す図である。
図3は、同基本セルアレイのセル選択の他の電圧印加モードを示す図である。
図4は、単位セルについて読み出し/書き込みの電圧関係を示す図である。
図5は、書き込み動作原理を説明するためのセル特性図である。
図6は、読み出し動作原理を説明するためのセル特性図である。
図7は、実施の形態の三次元セルアレイのレイアウトを示す図である。
図8は、図7の三次元セルアレイのI−I’断面図である。
図9は、三次元セルアレイの他の断面構造を示す図である。
図10は、三次元セルアレイの三次元的等価回路である。
図11は、メモリセルの抵抗値分布を示す図である。
図12は、実施の形態の三次元セルアレイの抵抗値分布を示す図である。
図13は、実施の形態によるペアセル構成法を示す図である。
図14は、実施の形態のデータ読み出し動作波形を示す図である。
図15は、実施の形態のデータ書き込み動作波形を示す図である。
図16は、図10の隣接する二つのセルアレイの2ペアセルに対するデータ書き込み動作波形を示す図である。
図17は、他のペアセル構成法を示す図である。
図18は、実施の形態による三次元セルアレイと読み出し/書き込み回路の積層構造を示す斜視図である。
図19は、セルアレイのビット線の読み出し/書き込み回路への接続状態を示す断面図である。
図20は、セルアレイのワード線の読み出し/書き込み回路への接続状態を示す断面図である。
図21は、読み出し/書き込み回路のレイアウトを示す図である。
図22は、読み出し/書き込み回路のワード線選択部の回路構成を示す図である。
図23は、読み出し/書き込み回路のビット線選択部の回路構成を示す図である。
図24は、図22及び図23の要部のトランジスタ回路レイアウトを示す図である。
図25は、セルアレイのビット線が形成された状態を示す斜視図である。
図26は、ビット線上にメモリセルが形成された状態を示す斜視図である。
図27は、セルアレイのワード線が形成された状態を示す斜視図である。
図28A〜28Cは、ワード線形成工程を説明するための断面図である。
Claims (23)
- 半導体基板と、
前記半導体基板上に形成されて、印加電圧の極性に応じて決まる高抵抗状態又は低抵抗状態を不揮発に記憶するプログラマブル抵抗素子とある電圧範囲でのオフ抵抗値が選択状態のそれの10倍以上であるアクセス素子の積層構造からなるメモリセルが配列された少なくとも一つのセルアレイと、
前記半導体基板に前記セルアレイの下に位置するように形成された、前記セルアレイのデータ読み出し及び書き込みを行うための読み出し/書き込み回路と
を有することを特徴とするプログラマブル抵抗メモリ装置。 - 前記プログラマブル抵抗素子は、アノード及びカソード電極により挟まれた、メタルイオンを含むイオン伝導体を有する
ことを特徴とする請求項1記載のプログラマブル抵抗メモリ装置。 - 前記プログラマブル抵抗素子は、アノード及びカソード電極により挟まれた、導電性粒子を分散させたポリマーを有する
ことを特徴とする請求項1記載のプログラマブル抵抗メモリ装置。 - 前記アクセス素子は、ツェナーダイオード、PN接合ダイオード、ショットキーダイオードのなかから選択されたダイオードである
ことを特徴とする請求項1記載のプログラマブル抵抗メモリ装置。 - 前記セルアレイは、互いに平行に配列された複数のビット線、前記ビット線上に所定ピッチで配列されたメモリセル及び、前記メモリセルの上端を前記ビット線と交差する方向に共通接続する複数のワード線を有する
ことを特徴とする請求項4記載のプログラマブル抵抗メモリ装置。 - 前記各メモリセルのプログラマブル抵抗素子とアクセス素子であるダイオードは、プログラマブル抵抗素子のアノードが前記ビット線に接続され、ダイオードのアノードがワード線に接続されて積層されている
ことを特徴とする請求項5記載のプログラマブル抵抗メモリ装置。 - 複数層のセルアレイが、隣接する2セルアレイの間で前記ビット線又はワード線を共有して積層されている
ことを特徴とする請求項6記載のプログラマブル抵抗メモリ装置。 - 前記セルアレイが積層されるセル配置領域を区画する前記ビット線方向の第1及び第2の境界に沿ってそれぞれ配置されて、隣接する2セルアレイのビット線をそれぞれ前記読み出し/書き込み回路に接続する第1及び第2の垂直配線と、
前記セル配置領域を区画する前記ワード線方向の第3及び第4の境界の一方に沿って配置されて、前記各セルアレイのワード線を前記読み出し/書き込み回路に接続する第3の垂直配線とを有する
ことを特徴とする請求項7記載のプログラマブル抵抗メモリ装置。 - 前記第1乃至第3の垂直配線は、前記セルアレイを取り囲む絶縁膜に埋め込まれたコンタクトプラグである
ことを特徴とする請求項8記載のプログラマブル抵抗メモリ装置。 - 前記読み出し/書き込み回路は、選択されたメモリセルに、そのアクセス素子であるダイオードを順バイアスする第1の書き込み電圧を印加して、プログラマブル抵抗素子を低抵抗状態に書き込み、ダイオードをブレークダウンさせる前記第1の書き込み電圧と逆極性の第2の書き込み電圧を印加して、プログラマブル抵抗素子を高抵抗状態に書き込むように構成されている
ことを特徴とする請求項4記載のプログラマブル抵抗メモリ装置。 - 前記読み出し/書き込み回路は、選択されたメモリセルに、そのダイオードを順バイアスする、前記第1の書き込み電圧より低い読み出し電圧を印加して、プログラマブル抵抗素子のデータ状態を検出するように構成されている
ことを特徴とする請求項10記載のプログラマブル抵抗メモリ装置。 - 前記読み出し/書き込み回路は、選択されたビット線とワード線を介して、これにより選択されたメモリセルのダイオードを順バイアスする第1の書き込み電圧を印加して、プログラマブル抵抗素子を低抵抗状態に書き込み、ダイオードをブレークダウンさせる前記第1の書き込み電圧と逆極性の第2の書き込み電圧を印加して、プログラマブル抵抗素子を高抵抗状態に書き込むように構成されている
ことを特徴とする請求項6記載のプログラマブル抵抗メモリ装置。 - 前記読み出し/書き込み回路は、選択されたビット線とワード線を介して、選択されたメモリセルのダイオードを順バイアスする、前記第1の書き込み電圧より低い読み出し電圧を印加して、プログラマブル抵抗素子のデータ状態を検出するように構成されている
ことを特徴とする請求項12記載のプログラマブル抵抗メモリ装置。 - 前記読み出し/書き込み回路は、非選択状態で前記ビット線とワード線間に、メモリセルのダイオードを逆バイアスの高抵抗オフ状態に保持するための保持電圧を印加するように構成されている
ことを特徴とする請求項13記載のプログラマブル抵抗メモリ装置。 - 前記複数層のセルアレイ内で、近接する二つのメモリセルは、一方が高抵抗状態、他方が低抵抗状態である相補的データを記憶するペアセルを構成し、その相補的データがビット線対に1ビットデータとして読み出される
ことを特徴とする請求項7記載のプログラマブル抵抗メモリ装置。 - 前記ペアセルを構成する二つのメモリセルは、前記複数層のセルアレイの各セルアレイ内で、ダイオードのアノードが前記ワード線の一つに共通接続され、プログラマブル抵抗素子のアノードがビット線の対に接続されて、横方向に隣接する
ことを特徴とする請求項15記載のプログラマブル抵抗メモリ装置。 - 前記ペアセルは、その相補的データが出力される前記ビット線の対の間に他のビット線が配置されるように選択される
ことを特徴とする請求項16記載のプログラマブル抵抗メモリ装置。 - 前記ペアセルを構成する二つのメモリセルは、前記複数層のセルアレイの隣接する2セルアレイ内で、ダイオードのアノードが前記2セルアレイが共有する前記ワード線の一つに共通接続され、プログラマブル抵抗素子のアノードが前記2セルアレイにそれぞれ配置されたビット線に接続されて縦方向に隣接する
ことを特徴とする請求項15記載のプログラマブル抵抗メモリ装置。 - 前記読み出し/書き込み回路は、
前記セル配置領域の中央部を前記ビット線の方向に横切って配設された、読み出しデータが転送される複数のデータ線とビット線に書き込みパルス信号を転送する複数の書き込みパルス信号線を有するグローバルバス領域と、
前記セル配置領域の前記第1及び第2の境界に沿ってそれぞれ配置されて、隣接する2セルアレイのビット線がそれぞれ接続される第1及び第2のビット線選択回路と、
前記第1及び第2のビット線選択回路と前記グローバルバス領域の間にそれぞれ配置された、前記第1及び第2のビット線選択回路により選択されたビット線のデータをセンスする第1及び第2のセンスアンプ列と、
前記セル配置領域の前記第3及び第4の境界の一方に沿って配置されて、前記隣接する2セルアレイの共有ワード線が接続されるワード線選択回路と、
前記セル配置領域の前記第3及び第4の境界の他方に沿って配置されて、前記書き込みパルス信号線に供給される前記書き込みパルス信号を発生する書き込み回路とを有する
ことを特徴とする請求項8記載のプログラマブル抵抗メモリ装置。 - 前記共有ワード線は、前記ワード線選択回路により選択された所定範囲が同時に活性化され、前記隣接する2セルアレイの各ビット線は、前記第1及び第2のビット線選択回路よってそれぞれ所定範囲が同時に選択されて、前記隣接する2セルアレイの複数ずつのメモリセルが同時にアクセスされる
ことを特徴とする請求項19記載のプログラマブル抵抗メモリ装置。 - 前記第1及び第2のセンスアンプ列は、前記隣接する2セルアレイから同時に選択される複数ずつのメモリセルのデータを同時にセンスするセンスアンプを有し、それらのセンスデータは、前記グローバルバス領域の前記データ線に同時に転送される
ことを特徴とする請求項20記載のプログラマブル抵抗メモリ装置。 - 前記書き込み回路は、前記隣接する2セルアレイから同時に選択される複数ずつのビット線に供給されるべき書き込みパルス信号を、前記グローバルバス領域に配置された前記書き込みパルス信号線に同時に出力するように構成されている
ことを特徴とする請求項20記載のプログラマブル抵抗メモリ装置。 - 前記各セルアレイ内で近接する二つのメモリセルは、その一方が高抵抗状態、他方が低抵抗状態の相補的データを記憶するペアセルを構成し、
前記第1及び第2のセンスアンプ列は、前記ペアセルが接続されるビット線対に接続されて前記相補的データによるセル電流差を検出する差動型の電流検出アンプを配列して構成されている
ことを特徴とする請求項19記載のプログラマブル抵抗メモリ装置。
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