WO2014136701A1 - 透明導電性フィルムおよびタッチパネル - Google Patents

Abstract

　本発明の透明導電性フィルムは、環状オレフィン樹脂を含む透明樹脂フィルムと、その上に形成された導電層を含み、１００℃熱水中６０秒の熱寸法変化率が０．０１～０．２％である。この透明導電性フィルムは、導電層と透明樹脂フィルムの密着性に優れている。

Description

透明導電性フィルムおよびタッチパネル

　本発明は、透明導電性フィルムおよびタッチパネルに関する。具体的には、高温高湿度条件下で測定した熱寸法変化率が特定の範囲内である透明導電性フィルムおよびその透明導電性フィルムを用いたタッチパネルに関する。

　従来、透明樹脂フィルム等の支持体上に透明導電層が形成された透明導電性フィルムは、様々な電子機器に用いられている。特に最近では、タッチパネルを搭載した電子機器の普及が目覚ましく、静電容量方式のタッチパネルに使用する透明導電性フィルムの開発が進められている。

　従来、透明導電性フィルムの透明導電層には、インジウム系酸化物であるＩＴＯ膜が主に用いられている。透明導電層としてのＩＴＯ膜は、主にスパッタリング法により形成されているが、スパッタリング法は、製膜速度が遅いことに加え、装置が大型化するという問題点を有していた。このため近年は、スパッタリング法を利用せずに、銀等の導電性物質から透明導電層を形成することが行われている。このような透明導電層は、層状に形成された透明導電層に露光・現像処理を施し、導電層の一部を除去することによりパターン状に形成される（例えば、特許文献１）。

　特許文献２には、透明樹脂フィルム基材の上に銀と水溶性バインダーを含む導電性メッシュを形成した透明導電性フィルムが開示されている。特許文献２では、透明樹脂フィルム基材としては、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）フィルムを用いているが、透明樹脂フィルム基材として環状オレフィン（ＣＯＣ、ＣＯＰ）を用いることができる旨の記載がある。ここでは、このような透明導電性フィルムを用いることによって、有機薄膜太陽電池の発電効率を高めることが提案されている。

　また、特許文献３には、環状オレフィンを含む透明樹脂フィルム基材の上に銀系の導電性材料を用いたメッシュ状導電層を形成した透明導電性フィルムが開示されている。ここでは、透明導電性フィルムは、プラズマディスプレイパネル用フィルタや表示装置に用いることができるとされている。

特開２０１２－４０４２号公報 国際公開２０１２／０３３１０３号パンフレット 特開２００３－２０２８１０号公報

　上述したように、銀等の導電性物質から形成された導電層が設けられた透明導電性フィルムは各種電子機器に用いられている。また、透明導電性フィルムの透明樹脂フィルム基材には、環状オレフィンを用いることができることが知られている。
　しかしながら、透明樹脂フィルムに環状オレフィンを用いた透明導電性フィルムをタッチパネルに使用した場合、導電層が透明樹脂フィルム基材から剥離しやすくなるという問題があった。導電層が透明樹脂フィルムから剥離した場合、タッチパネルとして機能しなくなるため重大な欠陥を生ずることとなる。

　そこで本発明者らは、このような従来技術の課題を解決するために、透明樹脂フィルムに環状オレフィンを用いた透明導電性フィルムであって、導電層と透明樹脂フィルム基材の密着性に優れた透明導電性フィルムを提供することを目的として検討を進めた。

　上記の課題を解決するために鋭意検討を行った結果、本発明者らは、透明樹脂フィルムに環状オレフィンを用いた透明導電性フィルムにおいて、透明導電性フィルムの熱寸法変化を所定の範囲内とすることにより、透明導電層と透明樹脂フィルム基材の密着性を高めることができることを見出した。これにより、高感度であり、かつ耐久性に優れたタッチパネルを得ることができることを見出し、本発明を完成するに至った。
　具体的に、本発明は、以下の構成を有する。

［１］透明樹脂フィルムと、上記透明樹脂フィルムの上に形成された導電層を含む透明導電性フィルムであって、上記透明樹脂フィルムは、環状オレフィン樹脂を含み、上記透明導電性フィルムの１００℃熱水中６０秒の熱寸法変化率が０．０１～０．２％であることを特徴とする透明導電性フィルム。
［２］上記導電層は、間欠部を有するように形成されることを特徴とする［１］に記載の透明導電性フィルム。
［３］上記導電層が水溶性樹脂と銀を含むことを特徴とする［１］または［２］に記載の透明導電性フィルム。
［４］－２０～３０℃の誘電率の変化率が０．１～１０％であることを特徴とする［１］～［３］のいずれかに記載の透明導電性フィルム。
［５］面内複屈折（Ｒｅ）が１～２０ｎｍであり、厚み方向複屈折（Ｒｔｈ）が１～２０ｎｍであることを特徴とする［１］～［４］のいずれかに記載の透明導電性フィルム。
［６］１００℃熱水中６０秒の熱寸法変化率の面内変動が１～１０％であることを特徴とする［１］～［５］のいずれかに記載の透明導電性フィルム。
［７］－２０～３０℃の誘電率の変化率の面内変動が１～１０％であることを特徴とする［１］～［６］のいずれかに記載の透明導電性フィルム。
［８］面内複屈折（Ｒｅ）の面内変動が１～１０％であり、厚み方向複屈折（Ｒｔｈ）の面内変動が１～１０％であることを特徴とする［１］～［７］のいずれかに記載の透明導電性フィルム。
［９］上記透明樹脂フィルムの厚みが２０～６０μｍであることを特徴とする［１］～［８］のいずれかに記載の透明導電性フィルム。
［１０］環状オレフィン樹脂を含む透明樹脂フィルムを形成する工程と、上記透明樹脂フィルムの上に導電層を形成する工程とを含み、上記透明樹脂フィルムを形成する工程は、環状オレフィン樹脂を含む溶融樹脂をシート状にする押出工程を含み、上記押出工程は、上記シート状の溶融樹脂に厚みムラを付与する工程を含むことを特徴する透明導電性フィルムの製造方法。
［１１］上記透明樹脂フィルムを形成する工程は、上記押出工程の前に、環状オレフィン樹脂を含む溶融樹脂をダイに送る工程を有し、上記溶融樹脂をダイに送る工程では、溶融樹脂をダイに送るメルト配管に１～１０℃の温度分布を付与することを特徴とする［１０］に記載の透明導電性フィルムの製造方法。
［１２］上記透明樹脂フィルムを形成する工程は、上記押出工程の前に、環状オレフィン樹脂を含む組成物を押出機に投入する工程を含み、上記投入する工程では、上記組成物を（Ｔｇ－８０）～Ｔｇ℃に加熱することを特徴とする［１０］または［１１］に記載の透明導電性フィルムの製造方法。
［１３］上記投入する工程は、上記押出機に不活性ガスを投入する工程を含み、上記不活性ガスを投入する工程では、上記不活性ガスの供給量に０．５～１０％の変動を付与することを特徴とする［１２］に記載の透明導電性フィルムの製造方法。
［１４］上記押出工程は、溶融樹脂に１０～３００回／分の振動を与える工程を含むことを特徴とする［１０］～［１３］のいずれかに記載の透明導電性フィルムの製造方法。
［１５］上記押出工程は、溶融樹脂をキャストドラムに押し出す工程を含み、上記キャストドラムには、０．５～１０℃の温度分布が付与されることを特徴とする［１０］～［１４］のいずれかに記載の透明導電性フィルムの製造方法。
［１６］上記透明樹脂フィルムを形成する工程は、上記キャストドラムに押し出す工程の後に、シート状の樹脂シートを熱ロールに接触させる工程を含み、上記熱ロールに接触させる工程では、熱ロールの回転数に０．１～５％の変動を与えることを特徴とする［１５］に記載の透明導電性フィルムの製造方法。
［１７］上記導電層を形成する工程は、ハロゲン化銀乳剤層を形成する工程と、上記ハロゲン化銀乳剤層に露光処理をし、現像処理をする工程を含む［１０］～［１６］のいずれかに記載の透明導電性フィルムの製造方法。
［１８］［１０］～［１７］のいずれかに記載の製造方法により製造した透明導電性フィルム。
［１９］［１］～［９］および［１８］のいずれか１項に記載の透明導電性フィルムを用いたタッチパネル。

　本発明によれば、透明樹脂フィルムに環状オレフィンを用いた透明導電性フィルムであって、導電層と透明樹脂フィルム基材の密着性が高い透明導電性フィルムを得ることができる。このため、本発明の透明導電性フィルムを用いることにより、高感度であり、かつ耐久性に優れたタッチパネルを得ることできる。

図１は、本発明の透明導電性フィルムの一態様を示す概略断面図と概略平面図である。

　以下において、本発明について詳細に説明する。以下に記載する構成要件の説明は、代表的な実施形態や具体例に基づいてなされることがあるが、本発明はそのような実施形態に限定されるものではない。なお、本明細書において「～」を用いて表される数値範囲は「～」前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。

（１．透明導電性フィルム）
　本発明は、透明樹脂フィルムと、透明樹脂フィルムの上に形成された導電層を含む透明導電性フィルムに関する、透明樹脂フィルムは、環状オレフィン樹脂を含む。また、透明導電性フィルムの１００℃熱水中６０秒の熱寸法変化率は０．０１～０．２％である。ここで、導電層には透明導電層が含まれるものとする。また、導電層は層状に形成されてもよく、パターン状もしくはメッシュ状に形成されてもよいものとする。

　従来、透明樹脂フィルムに環状オレフィンを含有した場合、透明樹脂フィルムと導電層との密着性が悪くなるという課題があった。また、透明樹脂フィルム自体の層間剥離が生じやすく、透明樹脂フィルムが脆化しやすくなるため問題となっていた。これは、環状オレフィン支持体は、環状構造が嵩高いため分子間の隙間（自由体積）が大きいことに加え、極性基が少なく分子間相互作用が小さいため、分子間をすり抜け易い性質を有するためであると考えられる。このため、環状オレフィン樹脂を含む透明樹脂フィルムに、製膜過程でストレス（例えば、張力が掛かることによるストレス）が掛かった際に残留歪が発生すると、熱などの刺激で容易に分子がすり抜け、環状オレフィン樹脂は安定（ランダム）な構造に戻ろうとする。これにより、透明樹脂フィルムの上層に位置する導電層との寸法変化が発生し、導電層との剥離が発生する。特に、導電層が親水性樹脂からなる場合、親水性樹脂も湿度により伸縮するため、透明樹脂フィルムと導電層の層間の剥離による密着不良がより発生し易くなる。

　本発明では、このような密着不良は、透明樹脂フィルムの１００℃熱水中６０秒の熱寸法変化率を０．０１～０．２％することにより解消されることが見出された。１００℃熱水中６０秒の熱寸法変化率は、０．０１％以上であればよく、０．０２％以上であることが好ましく、０．０３％以上であることがより好ましい。また、１００℃熱水中６０秒の熱寸法変化率は、０．２％以下であればよく、０．１５％以下であることが好ましく、０．１％以下であることがより好ましい。１００℃熱水中６０秒の熱寸法変化率を上記範囲内とすることにより、環状オレフィンの残留歪みを低減することができる。これにより、導電層と透明樹脂フィルムの密着性を高めることができる。さらに、透明樹脂フィルム自体の層間剥離を抑制することができる。なお、１００℃熱水中６０秒の熱寸法変化率が０．０１％を下回ると、残留歪が小さすぎ、環状オレフィン分子が丸まった構造で存在することになるため、分子間相互作用が弱くなりすぎ、透明樹脂フィルム自体の層間剥離や劈開が発生しやすくなり好ましくない。

　通常、環状オレフィン樹脂は疎水性であり湿度の影響を受け難いと予想される。しかし、本発明では、高温かつ高湿度環境下で短時間熱処理を行うことにより、環状オレフィン樹脂に与える湿度の影響を測ることを可能とした。電極層には親水性樹脂を用いる場合が多く、このような場合においては、１００℃の熱水中において６０秒間熱処理は、電極層と組み合わせた際に、電極層から与えられる湿度の影響を再現することができる。すなわち、本発明では、１００℃の熱水中における６０秒間熱処理は、電極層と組合せた際の電極層に含まれる樹脂層中の水分が与える密着不良への寄与を再現しているものと考えられる。なお、本発明の熱処理は、高湿雰囲気下における熱処理であるため６０秒という短時間処理でよい。高湿雰囲気では、熱容量が大きくなり、乾燥雰囲気より環状オレフィンフィルムに与える熱量が大きくなり易く、短時間の熱処理で十分である。

　１００℃熱水中６０秒の熱寸法変化率とは、透明導電性フィルムを１００℃の熱水に６０秒間浸漬した際の寸法の変化率を表すものである。寸法の変化率Ｒは、下記式で算出することができる。
Ｒ＝｛｜Ｌ１－Ｌ２｜／Ｌ１｝×１００
　ここで、Ｌ１は、１００℃の熱水中で６０秒間熱処理を行う前の透明導電フィルムの寸法を表し、Ｌ２は１００℃の熱水中で６０秒間熱処理を行った後の透明導電フィルムの寸法を表す。透明導電フィルムの寸法は、例えば、１０ｃｍ間隔のピン孔を開け、ピン間の間隔を、ピンゲージを用いて測長することによって求めることができる。

　上記のような１００℃熱水中６０秒の熱寸法変化率は、透明樹脂フィルムを形成する溶融樹脂を固化する前に、溶融樹脂に若干の厚みムラを付与することで達成することができる。溶融樹脂に厚みムラを付与する方法としては、例えば、ダイリップのリップ間隔（隙間）に１～２０％、より好ましくは２～１５％、さらに好ましくは３～１０％の分布を与える方法を挙げることができる。このようにダイリップ間隔に分布があると、そこから出てくる溶融樹脂（メルト）に厚みムラが発生する。この結果、溶融樹脂がキャストドラム上で冷却固化する際に、冷却速度が異なる箇所が生じることとなる。すなわち、厚い箇所の冷却速度が遅くなり、薄い箇所では冷却速度が速くなる。キャストドラム上で急冷される際に体積収縮するが、メルトが一部柔らかい箇所が存在することで冷却収縮を吸収し、残留歪を減少させることができる。
　通常、溶融樹脂は厚みムラが生じないように押し出されるため、ダイリップの間隔は一定である。このように一定間隔のダイリップから吐出された透明樹脂フィルムの１００℃熱水中６０秒の熱寸法変化率は少なくとも０．３％以上であり、１％以上であることが多い。

　上記のようなダイリップの間隔の変動は、ダイリップ上に一定間隔（例えば、１０～２０等分した点）にボルトを設置し、これらを締めこんだり緩めたりすることにより達成できる。ダイリップの間隔は、フィルムの両端部が厚くなるように端部側に位置するボルトを締めこんでもよく、フィルムの中央部が厚くなるように、中央部側に位置するボルトを締めこんでもよい。また、一方の端部側のボルトから、一つ置きにボルトを締めこみ、溶融樹脂に、複数の凹凸形状が形成されるようにしてもよい。

　なお、溶融樹脂に付与された厚みムラは、製膜後、キャストドラムの後に熱ロールに接触させることで解消できる。厚みムラはキャストドラムと接触している面の反対面の凹凸として発生するため、この凹凸面を熱ロールにより接触させることで平滑化できる。この時の熱ロールの温度は、フィルムのＴｇ～Ｔｇ－３０℃、より好ましくはＴｇ－１～Ｔｇ－２８℃、さらに好ましくはＴｇ－２～Ｔｇ－２５℃である。また、搬送張力が５０～２００Ｎ／ｍ、より好ましくは６０～１８０Ｎ／ｍ、さらに好ましくはで７０～１６０Ｎ／ｍである。さらに、搬送は、ラップ角６０～１８０度であることが好ましく、６５～１７５度であることがより好ましく、７０～１７０度であることがさらに好ましい。巻取り張力は、５０～２００Ｎ／ｍであることが好ましく、５０～２００Ｎ／ｍであることがより好ましく、５０～２００Ｎ／ｍであることがさらに好ましい。なお、巻き取った後、室温で３０日以上放置することによっても厚み矯正できる。このような熱処理はいずれもＴｇ以下で実施するため、溶融樹脂が溶融することによる自由体積の増加は起らず、厚みだけが矯正されることとなる。
　上述したような条件で、熱ロールに接触させることにより、溶融樹脂に付与された厚みムラを解消することができる。これにより透明樹脂フィルムの厚みムラは低減され、導電層との密着性を高めることができる。

　また、１００℃熱水中６０秒の熱寸法変化率は、透明樹脂フィルムを形成する溶融樹脂を固化する前に、溶融樹脂に濃度ムラを付与することで達成することができる。このような濃度ムラ、すなわち樹脂の密度ムラは、ダイから出てくる溶融樹脂に厚みムラを付与することで達成できる。これは以下の機構によると推定される。溶融樹脂はキャストドラム上で固化されるが、急冷されると溶融樹脂は低い密度のまま固化され、生成したフィルムの濃度は低くなる。すなわち、溶融樹脂の厚みが薄い箇所では、密度が低くなる。一方、溶融樹脂の厚みが厚い箇所では、溶融樹脂が徐々に冷却され、この間に密度が徐々に増加し、密度が高い箇所が生じることとなる。なお、このような溶融樹脂の厚みムラは１～２０％が好ましく、より好ましくは２～１５％、さらに好ましくは３～１０％である。このような厚みムラの付与は、上述のようなダイリップ間隔の調整により達成できる。

　１００℃熱水中６０秒の熱寸法変化率を上述したような範囲とすることにより、残留歪を解消するだけでなく、溶融樹脂中の環状オレフィン樹脂の自由体積を低減することもできる。環状オレフィン樹脂の自由体積を低減することにより、透明樹脂フィルムの寸法変化を効果的に抑制することができる。
　通常、環状オレフィン樹脂は溶融状態では大きな自由体積を有する。これは、キャストドラム上で急冷固化する際、冷却速度に自由体積の収縮が追随できず、大きな自由体積のまま固化するためである。このように大きな自由体積を持った環状オレフィン樹脂により、透明樹脂フィルムでは残留歪が発生しやすくなる。しかし、本発明では、溶融樹脂の厚みムラを付与することにより、自由体積を小さく抑えることができる。これは、溶融樹脂が厚い箇所では、自由体積が小さくなり、厚みが薄い箇所では、自由体積が増大しやすい傾向となるが、厚い箇所が存在することによって、薄い箇所における自由体積の増大を抑制することができるためである。これにより、透明樹脂フィルム全体の自由体積を小さく抑えることができる。このように自由体積を小さく抑えることによって、環状オレフィン分子の動きを抑えることができ、残留歪を少なくすることができ、透明樹脂フィルムと導電層の密着性を高めることができる。
　さらに、自由体積を小さくすることで、水分子の浸入を抑止する効果がある。これは、１００℃熱水中６０秒の熱寸法変化の抑制に有効である。

　本発明では、１００℃熱水中６０秒の熱寸法変化率の面内変動が１～１０％であることが好ましい。１００℃熱水中６０秒の熱寸法変化率の面内変動は、１％以上であることが好ましく、１．５％以上であることがより好ましく、２％以上であることがさらに好ましい。また、面内変動は、１０％以下であることが好ましく、９％以下であることがより好ましく、８％以下であることがさらに好ましい。
　ここで、面内変動とは、フィルムの表面に沿って、面方向に熱寸法変化率が分布を有していることをいう。すなわち、フィルムの長手方向、幅方向の両方向で等分した場合に分割された単位領域の１００℃熱水中６０秒の熱寸法変化率が異なっていることを意味する。例えば、長手方向が３ｍ未満のフィルムであれば、長手方向の中央の２／３の領域を長手方向に１０等分し、幅方向の中央の２／３の領域を幅方向に１０等分することでフィルムを１００分割し、これらの１分割片の中央部の１００℃熱水中６０秒の熱寸法変化率を測定し、その最大値と最小値の差を平均値で割り百分率で表したものを熱寸法変化率の面内変動という。また、長手方向が３ｍ以上のフィルムであれば、長手方向の任意の点を中心点とし、その中心点から長手方向の上流方向および下流方向に各々５点ずつ、計１０点で長手方向を１０等分し、幅方向の中央の２／３の領域を幅方向に１０等分することでフィルムを１００分割し、これらの１分割片の中央部の１００℃熱水中６０秒の熱寸法変化率を測定し、その最大値と最小値の差を平均値で割り百分率で表したものを熱寸法変化率の面内変動という。

　このように熱寸法変化率の面内変動を付与することにより、透明樹脂フィルムと導電層の密着性を高めることができる。これは、熱収縮が小さな箇所、すなわち密着力の高いところが所々に存在することで、そこが密着強化点として働き、全面的な剥がれを抑制するためである。本発明では、１００℃熱水中６０秒の熱寸法変化率の面内変動を上記範囲内とすることにより、透明樹脂フィルムと導電層の密着性を効果的に高めることができる。

　上述したような熱寸法変化率の面内変動は、溶融樹脂をダイに送る工程で、ダイにメルトを送るメルト配管に１～１０℃の温度分布を付与することで達成できる。このように、メルト配管に温度分布を付与することで溶融樹脂に同様の温度分布を付与することができる。このような温度分布を付与することにより、メルトの流速が不均一となり、ダイから出て冷却固化する際の冷却速度に分布が発生するためである。このようにして、熱寸法変化率の面内変動が付与される。
　熱寸法変化率の面内変動の付与は、具体的には、溶融樹脂をダイに送るメルト配管に温度変調を付与することで達成できる。メルト配管の温度変調は、例えば、メルト配管の初流部分（溶融樹脂が押出機から流入してくる側からメルト配管の全長の１／３の長さまでの箇所）と終流部分（溶融樹脂が出口方向へ流出していく側からメルト配管の全長１／３の長さまでの箇所）に２つのヒーターを設置し、押出機側の初流部分の温度と出口側の終流部分の温度を異なるようにすることで付与することができる。このようなメルト配管の温度分布は１～１０℃であることが好ましく、１．５～９℃であることがより好ましく、２～８℃であることがさらに好ましい。なお、このような温度差は押出機からダイの間の溶融樹脂の最高温度と最低温度の差とすることができる。
　なお、上記のようなメルト配管の温度分布により長手方向にも熱寸法変化率の分布を付与することができる。ダイのリップ間隔を調整することによって幅方向に熱寸法変化率の分布を付与することができるため、上述したような方法を組み合わせることによって、長手方向と幅方向の両方に熱寸法変化率の変動を付与することができ、透明樹脂フィルムと導電層の密着性をより効果的に高めることができる。

　本発明では、透明導電性フィルムの－２０～３０℃における誘電率の変化率は、０．１～１０％であることが好ましい。透明導電性フィルムの誘電率の変化率は、０．１％以上であることが好ましく、０．３％以上であることがより好ましく、０．５％以上であることがさらに好ましい。また、透明導電性フィルムの誘電変化率は、１０％以下であることが好ましく、８％以下であることがより好ましく、７％以下であることがさらに好ましい。なお、誘電率の変化率は、－２０～３０℃における誘電率の変化率であり、本発明では、－２０～３０℃の全温度範囲において、誘電率の変化率が上記範囲内であることが好ましい。すなわち、誘電率の変化の温度依存性は小さいこととなる。
　誘電率変化が大きいことは、フィルム表面においても分子の運動性の差が大きくなることを意味する。したがって、高温と低温の間のサイクルテストにおいて、密着状態が大きく変化することとなり、これにより密着不良が発生することとなる。本発明では、誘電率の温度依存性を小さくすることで、サイクルテスト後であっても、透明樹脂フィルムと導電層間の密着不良を低減することができる。すなわち、本発明の誘電率の変化率を上記範囲内とすることで、サイクルサーモ（過酷条件下）においても密着不良の発生を抑制することができる。

　誘電率の変化率を上記範囲内とするためには、温度に伴う運動性の変化を低下させることが必要であり、これには押出機に投入する樹脂（ペレット）の温度をＴｇ－８０～Ｔｇにすることが有効である。なお、押出機に投入する樹脂（ペレット）の温度は、Ｔｇ－７０～Ｔｇ－５℃であることがより好ましく、Ｔｇ－６０～Ｔｇ－１０℃であることがさらに好ましい。押出機に投入する樹脂（ペレット）の温度を上記範囲内とすることにより、－２０～３０℃における誘電率の変化率を上記範囲内とすることができる。
　押出機に投入する樹脂（ペレット）の温度を上記範囲内とすると、樹脂（ペレット）をある程度柔らかい状態で押出機に供給することができる。これにより、押出機入口で未溶融のペレット同士が擦れあい、それに伴う剪断力、摩擦熱で樹脂が分解し低分子化することを防ぐことができる。低分子成分が混在すると溶融樹脂の運動性が増大し、誘電率の変化率を上昇させるため、この低分子成分の発生を防ぐことにより、本発明では、上記範囲の誘電率の変化率を達成することができる。

　本発明では、－２０～３０℃の誘電率の変化率の面内変動は１～１０％であることが好ましい。誘電変化率の面内変動は１％以上であることが好ましく、１．５％以上であることがより好ましく、２％以上であることがさらに好ましい。また、面内変動は、１０％以下であることが好ましく、９％以下であることがより好ましく、８％以下であることがさらに好ましい。誘電率の変化率の面内変動を上記範囲内とすることにより、透明樹脂フィルムと導電層の密着性をより一層高めることができる。これは、誘電率の変化率が全面均一であるより、誘電率の変化率が小さく密着性が高い箇所が局所的に存在するほうが、そこを密着拠点として密着力が向上し易いためであると考えられる。

　このような誘電率の変化率の分布は、熱分解した低分子成分に面内分布を付与させれば良く、押出機に投入する不活性ガスに変動を加えることで達成される。好ましい変動量は０．５～１０％であり、より好ましくは１～８％、さらに好ましくは１．５～７％である。活性ガスに変動を上記範囲内とすることにより、－２０～３０℃の誘電率の変化率の面内変動を所望の範囲内とすることができる。
　不活性ガスは、樹脂の熱分解を抑制することができる。このため、この流入量に変動を付与することで、熱分解物（低分子成分）の生成量に変動を与えることができる。不活性ガスとしては、例えば窒素、希ガス（Ａｒ、Ｈｅ、Ｎｅ等）を挙げることができる。なお、このような不活性ガスの流量の変動は、例えば、ガス供給するバルブにモーターを取りつけ、バルブの開閉を行うことで達成される。不活性ガスの変動量とは、流量を１０分間モニターし、最大流量と最小流量の差を平均流量で割り百分率で表した値である。なお、不活性ガスの平均流量は、押出機への樹脂の単位時間あたりの供給体積をＶと、Ｖ×０．１～Ｖ×１０が好ましい。

　本発明では、面内複屈折（Ｒｅ）は１～２０ｎｍであり、厚み方向複屈折（Ｒｔｈ）は１～２０ｎｍであることが好ましい。面内複屈折（Ｒｅ）および厚み方向複屈折（Ｒｔｈ）は、それぞれ、１ｎｍ以上であることが好ましく、２ｎｍ以上であることがより好ましく、３ｎｍ以上であることがさらに好ましい。また、面内複屈折（Ｒｅ）および厚み方向複屈折（Ｒｔｈ）は、それぞれ、２０ｎｍ以下であることが好ましく、１８ｎｍ以下であることがより好ましく、１５ｎｍ以下であることがさらに好ましい。
　ここで、面内複屈折（Ｒｅ）は、面内の配向を示し、Ｒｅを小さくすることで樹脂分子の伸長（緊張）を減らし、脆性を向上させることができる。この結果、密着評価時にフィルム内の樹脂の破壊を抑制し密着を改良する効果を得ることができる。一方、小さくしすぎると、一分子で糸まり状に丸まり、分子間の相互作用が発生し難く、脆性が発生し易い傾向となるため好ましくない。
　厚み方向複屈折（Ｒｔｈ）は、厚み方向の配向を示し、Ｒｔｈを小さくすることで分子が層状に配向することを抑制し、密着評価時に、層状に劈開し密着不良が発生することを抑制することができる。一方、小さくしすぎると、一分子で糸まり状に丸まり、分子間の相互作用が発生し難く、脆性が発生し易い傾向となるため好ましくない。

　本発明では、自由体積を小さく保ったまま、このような低Ｒｅ、Ｒｔｈを達成することで、透明樹脂フィルムと導電層の密着性を高めることができ、さらに、透明樹脂フィルム自体の層間剥離や劈開を抑制することができる。
　Ｒｅ、Ｒｔｈを小さくするためには、溶融状態（配向の無いランダムな状態）から急冷し無配向のまま固化するのが一般的である。しかし、この方法では自由体積の大きな融体の状態で固まるため、上記のような自由体積の小さな膜を作れない。このため、自由体積が小さく、Ｒｅ、Ｒｔｈが小さい膜を作る方法としては、溶融状態（メルト）をダイから押出した後、ダイからキャストドラム上（エアギャップ）の間で振動を与える方法を挙げることができる。これにより分子に振動を付与し分子のパッキングを上げ自由体積を低減することができる。さらに振動により分子配向は乱れ、Ｒｅ、Ｒｔｈは低減する。このような振動は、分子が固化する前後（Ｔｇ±２０℃）が有効である。なお高温すぎると分子の熱運動が大きすぎ自由体積を低減できず、低温すぎると分子の運動性が低すぎ、自由体積が低減できない。このような温度はキャストドラムにメルトが接触する前後であり、この領域で振動を与えるのが有効である。

　エアギャップ上でのメルトの振動はいかなる手段で実施しても良く、例えばメルトに風速変動を与えて風を当てても良く、キャストドラムの回転速度に変動を与えても良い。回転速度の変動は、１分間あたりのキャストドラムの回転数に変動を与えることで達成でき、回転数の変動は、１０～３００回／分であることが好ましく、２０～２５０回／分であることがより好ましく、３０～２００回／分であることがさらに好ましい。回転数の変動を上記範囲内とすることにより、Ｒｅ、Ｒｔｈを所望の範囲内とすることができる。
　なお、キャストドラム直上でメルトを固化するには、キャストドラムの温度はＴｇ－６０～Ｔｇ＋２０℃であることが好ましく、Ｔｇ－５０～Ｔｇ＋１０℃であることがより好ましく、Ｔｇ－４５～Ｔｇ℃であることがさらに好ましい。このような温度制御は、キャストドラム中の熱媒体（オイルや水等）を流すことで達成できる。キャストドラムの温度を上記範囲内とすることにより、Ｒｅ、Ｒｔｈを所望の範囲内とすることができる。

　本発明では、面内複屈折（Ｒｅ）の面内変動が１～１０％であり、厚み方向複屈折（Ｒｔｈ）の面内変動が１～１０％であることが好ましい。面内複屈折（Ｒｅ）の面内変動および厚み方向複屈折（Ｒｔｈ）の面内変動は、それぞれ、１％以上であることが好ましく、１．５％以上であることがより好ましく、２％以上であることがさらに好ましい。また、面内複屈折（Ｒｅ）の面内変動および厚み方向複屈折（Ｒｔｈ）の面内変動は、それぞれ、１０％以下であることが好ましく、９％以下であることがより好ましく、８％以下であることがさらに好ましい。面内複屈折（Ｒｅ）の面内変動および厚み方向複屈折（Ｒｔｈ）の面内変動を上記範囲内とすることにより、透明樹脂フィルムと導電層の密着性を高めることができ、さらに、透明樹脂フィルム自体の層間剥離や劈開を抑制することができる。これはＲｅ、Ｒｔｈが小さく密着性が高い箇所が局所的に存在する方が、そこを密着拠点として密着力が向上し易いためである。
　なお、Ｒｅ、Ｒｔｈ分布はキャストドラムに温度分布を与え、溶融樹脂の冷却固化速度を変えることで達成できる。キャストドラムの好ましい温度分布は０．５～１０℃、より好ましくは１～８℃、さらに好ましくは１．５～７℃である。このような温度分布は、キャストドラムの熱媒の流れにムラを発生することで達成でき、例えば冷却ロール内に邪魔板を設け、流路を乱すことで達成できる。

　本発明では、透明樹脂フィルムの厚みは２０～６０μｍであることが好ましい。透明樹脂フィルムの厚みは、２０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であることがより好ましく、３０μｍ以上であることがさらに好ましい。また、透明樹脂フィルムの厚みは６０μｍ以下であることが好ましく、５５μｍ以下であることがより好ましく、５０μｍ以下であることがさらに好ましい。透明樹脂フィルムの厚みを上記範囲内とすることにより、溶融樹脂に付与された厚みムラを矯正し易くすることができる。これにより、透明樹脂フィルムと導電層の密着性を高めることができる。
　なお、通常、透明樹脂フィルムの厚さを上記範囲となるように薄くすることにより、Ｒｅ、Ｒｔｈが大きくなる傾向となる。これに対し、キャストロールの後に設置した熱ロールの回転速度に０．１～５％以下、より好ましくは０．２～４％、さらに好ましくは０．３～３％の変動を与えることでＲｅ、Ｒｔｈの増加を抑制することができる。これは、ロールの回転速度を上記範囲に制御することにより剥ぎ取り中のフィルムに働く張力が変化し、フィルム面に垂直な方向にも張力がかかりフィルムをロールから剥ぎ取り易くすることで、剥ぎ取り時の張力に因るＲｅ、Ｒｔｈの増加を抑制できるためである。つまり、熱ロールの回転速度の変動を上記範囲とすることによりＲｅ、Ｒｔｈの増大を抑制することができる。なお、ここでいう回転速度の変動とは、１分間計測した回転速度の最大値と最小値の差を平均値で割り百分率で示したものである。

（２．透明樹脂フィルム）
（２－１）透明樹脂フィルムに含まれる樹脂
　本発明の透明導電性フィルムは透明樹脂フィルムを含み、透明樹脂フィルムは、環状オレフィン樹脂を含む。環状オレフィン樹脂のとしては、例えば、付加重合型シクロオレフィン樹脂（ＣＯＣ）や開環重合型シクロオレフィン樹脂（ＣＯＰ）等が挙げられる。これらは単独で使用しても良く、混合して使用しても良い。また、これらの環状オレフィン樹脂のＴｇは１００～２００℃が好ましく、１２０～１９０℃であることがより好ましく、１２５～１８５℃であることがさらに好ましい。なお、環状オレフィン樹脂は重合した後、ペレット化して使用することが好ましい。

　開環重合型シクロオレフィン樹脂（ＣＯＰ）としては、例えば、特開２０１０－１６４５３８号公報の段落［００３２］～［００６９］に記載のものや、特許４４９２１１６号公報の段落［００１６］～［００２２］に記載のものを使用することができる。

　付加重合型シクロオレフィン樹脂（ＣＯＣ）としては、例えば、特許３７２３６１６号公報の段落［００１４］～［００６０］に記載のものや、特許３６８３６３１号公報の段落［００１５］～［００６２］に記載のもの、特許３３７７８３３号公報の段落［０００８］～［００９３］に記載のものを使用することができる。

（２－２）透明樹脂フィルムに含まれる添加剤
　上記のＣＯＣ、ＣＯＰには熱安定剤（酸化防止剤）、紫外線吸収剤、染料等を添加することも好ましい。これらの添加剤は、ＣＯＣ、ＣＯＰペレットと一緒に押出機に入れて製膜しても良く、ＣＯＣ、ＣＯＰペレットと予め混練、ペレット化しマスターペレットにした後、押出機に投入し製膜しても良い。
　熱安定剤としては、例えば、特開２０１２－２２９４０５号公報の段落［００４５］および［００４６］に記載のものや、特許３３７２３６１６号公報の段落［００７１］および［００７２］に記載のものを使用することができる。
　また、紫外線吸収剤としては、特許４７２９８０２号公報の段落［００３４］に記載のものや、特許３３７７８３３号公報の段落［０１０１］に記載のものを使用することができる。なお、その他添加剤としては、特許４４９２１１６号公報の段落［００２５］および［００２６］に記載のものを例示することができる。

（３．導電層）
　本発明の透明導電性フィルムは、導電層を含む。導電層は層状に形成されてもよいが、間欠部を有するように形成されることが好ましい。間欠部とは、導電層が設けられていない部分をいい、間欠部の外周は導電層により囲まれていることが好ましい。本発明では、間欠部を有するように導電層が形成されることを、パターン状やメッシュ状に導電層が形成されるともいう。
　図１（ａ）は、本発明の透明導電性フィルム１０の一態様を示す概略断面図である。図１（ａ）に示されているように、本発明の透明導電性フィルム１０は、透明樹脂フィルム１２と導電層１４を有する。なお、導電層１４は図１（ａ）に示されているように、部分的に形成されてもよく、透明樹脂フィルムの全面を覆うように層状に形成されてもよい。
　図１（ｂ）は、本発明の透明導電性フィルム１０の一態様を示す概略平面図である。図１（ｂ）に示されているように、透明導電性フィルム１０は、間欠部２０を有することが好ましい。間欠部２０は導電層１４が設けられていない箇所であり、透明樹脂フィルム１２と導電層１４が隣接して積層されている場合は、透明樹脂フィルム１２が露出することとなる。

　本発明では、導電層は、パターン状やメッシュ状に形成されることが好ましい。導電層としては、例えば、特開２０１３－１００９号公報、特開２０１２－２１６５５０号公報、特開２０１２－１５１０９５号公報、特開２０１２－２５１５８号公報、特開２０１１－２５３５４６号公報、特開２０１１－１９７７５４号公報、特開２０１１－３４８０６号公報、特開２０１０－１９８７９９号公報、特開２００９－２７７４６６号公報、特開２０１２－２１６５５０号公報、特開２０１２－１５１０９５号公報、国際公開２０１０／１４０２７５号パンフレット、国際公開２０１０／１１４０５６号パンフレットに記載された導電層を例示することができる。

（３－１．銀を含む導電層の形成）
　本発明で用いる導電層は、銀と親水性樹脂を含むことがより好ましい。水溶性樹脂としては、例えば、ゼラチン、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリビニルピロリドン（ＰＶＰ）、澱粉等の多糖類、セルロース及びその誘導体、ポリエチレンオキサイド、ポリビニルアミン、キトサン、ポリリジン、ポリアクリル酸、ポリアルギン酸、ポリヒアルロン酸、カルボキシセルロース等が挙げられる。これらは、官能基のイオン性によって中性、陰イオン性、陽イオン性の性質を有する。これらの中で特に好ましいのが、ゼラチンである。

　本発明で用いる導電層には、ハロゲン化銀写真感光材料を用いることが特に好ましい。ハロゲン化銀写真感光材料を用いる場合、導電層の製造方法には、感光材料と現像処理の形態によって、次の３通りの形態が含まれる。
（１）　物理現像核を含まない感光性ハロゲン化銀黒白感光材料を化学現像又は熱現像して金属銀部を上記感光材料上に形成させる態様。
（２）　物理現像核をハロゲン化銀乳剤層中に含む感光性ハロゲン化銀黒白感光材料を溶解物理現像して金属銀部を上記感光材料上に形成させる態様。
（３）　物理現像核を含まない感光性ハロゲン化銀黒白感光材料と、物理現像核を含む非感光性層を有する受像シートを重ね合わせて拡散転写現像して金属銀部を非感光性受像シート上に形成させる態様。

　上記（１）の態様は、一体型黒白現像タイプであり、感光材料上に光透過性導電膜等の透光性導電性膜が形成される。得られる現像銀は化学現像銀又は熱現像銀であり、高比表面のフィラメントである点で後続するめっき又は物理現像過程で活性が高い。
　上記（２）の態様は、露光部では、物理現像核近縁のハロゲン化銀粒子が溶解されて現像核上に沈積することによって感光材料上に光透過性導電性膜等の透光性導電性膜が形成される。これも一体型黒白現像タイプである。現像作用が、物理現像核上への析出であるので高活性であるが、現像銀は比表面の小さい球形である。
　上記（３）の態様は、未露光部においてハロゲン化銀粒子が溶解されて拡散して受像シート上の現像核上に沈積することによって受像シート上に光透過性導電性膜等の透光性導電性膜が形成される。いわゆるセパレートタイプであって、受像シートを感光材料から剥離して用いる態様である。

　いずれの態様もネガ型現像処理及び反転現像処理のいずれの現像を選択することができる、なお、拡散転写方式の場合は、感光材料としてオートポジ型感光材料を用いることによってネガ型現像処理が可能となる。

　ここでいう化学現像、熱現像、溶解物理現像、拡散転写現像は、当業界で通常用いられている用語どおりの意味であり、写真化学の一般教科書、例えば菊地真一著「写真化学」（共立出版社、１９５５年刊行）、Ｃ．Ｅ．Ｋ．Ｍｅｅｓ編「Ｔｈｅ　Ｔｈｅｏｒｙ　ｏｆ　Ｐｈｏｔｏｇｒａｐｈｉｃ　Ｐｒｏｃｅｓｓｅｓ，　４ｔｈ　ｅｄ．」（Ｍｃｍｉｌｌａｎ社、１９７７年刊行）に解説されている。本件は液処理に係る発明であるが、その他の現像方式として熱現像方式を適用する技術も参考にすることができる。例えば、特開２００４－１８４６９３号、同２００４－３３４０７７号、同２００５－０１０７５２号の各公報、 HYPERLINK "http://pat333.miya.fujifilm.co.jp/SR-C/Main/View/ZenbunText.aspx?KohoNo=PP04820451&SyutuganNo=P2010-120331&FamilyNo=SFG0040786872&DocIssueDate=20111124&ONFlag=0&USERID=10082109&HighlightRirekiID=S684&HighlightUserID=10082109&HighlightON=1" \l "###" 特願２００４－２４４０８０号、同２００４－０８５６５５号の各明細書に記載された技術を適用することができる。

　次いで、本実施の形態に係る導電層の各層の構成について、以下に詳細に説明する。

（３－２．銀塩乳剤層）
　本発明において導電層となる銀塩乳剤層は、銀塩とバインダーの他、溶媒や染料等の添加剤を含有してもよい。銀塩としては、ハロゲン化銀等の無機銀塩及び酢酸銀等の有機銀塩が挙げられる。本発明では、光センサーとしての特性に優れるハロゲン化銀を用いることが好ましい。

　銀塩乳剤層の形成に用いられる溶媒は、特に限定されるものではないが、例えば、水、有機溶媒（例えば、メタノール等のアルコール類、アセトン等のケトン類、ホルムアミド等のアミド類、ジメチルスルホキシド等のスルホキシド類、酢酸エチル等のエステル類、エーテル類等）、イオン性液体、及びこれらの混合溶媒を挙げることができる。

　本発明では、銀塩乳剤層に用いられる溶媒の含有量は、銀塩乳剤層に含まれる銀塩、バインダー等の合計の質量に対して３０～９０質量％の範囲であり、５０～８０質量％の範囲であることが好ましい。

　なお、バインダーや各種添加剤に関しては、特に制限は無く、公知のものを好ましく用いることができる。

　銀塩乳剤層の塗布銀量（銀塩の塗布量）は、銀に換算して１～３０ｇ／ｍ²が好ましく、１～２５ｇ／ｍ²がより好ましく、５～２０ｇ／ｍ²がさらに好ましい。この塗布銀量を上記範囲とすることで、所望の表面抵抗を得ることができる。

　銀塩乳剤層中に含有されるバインダーの含有量は、特に限定されず、分散性と密着性を発揮し得る範囲で適宜決定することができる。銀塩乳剤層中のバインダーの含有量は、銀：バインダー体積比で１：４以上が好ましく、１：２以上がより好ましい。銀：バインダー体積比は、１００：１以下が好ましく、５０：１以下がより好ましい。また、銀：バインダー体積比は１：１～４：１であることがさらに好ましく、１：１～３：１であることが最も好ましい。銀塩乳剤層中の銀：バインダー体積比をこの範囲にすることで、塗布銀量を調整した場合でも抵抗値のばらつきを抑制し、均一な表面抵抗を有する導電層ことができる。均一な表面抵抗を有する導電層はタッチパネル用途として好ましく用いられる。
　なお、銀：バインダー体積比は、原料のハロゲン化銀量：バインダー量（重量比）を銀量：バインダー量（重量比）に変換し、さらに、銀量：バインダー量（重量比）を銀量：バインダー量（体積比）に変換することで求めることができる。

（４．その他の層構成）
　銀塩乳剤層の上には、保護層を設けてもよい。本発明において保護層とは、ゼラチンや高分子ポリマーといったバインダーからなる層を意味し、擦り傷防止や力学特性を改良する効果を発現するために感光性を有する銀塩乳剤層上に形成される。その厚みは０．５μｍ以下が好ましい。保護層の塗布方法及び形成方法は特に限定されず、公知の塗布方法及び形成方法を適宜選択することができる。例えば、保護層に関しては、特開２００８－２５０２３３号公報等の記載を参照することができる。

　さらに、本発明では、下塗り層や帯電防止層といった他の機能層を設けてもよい。下塗り層としては、特開２００８－２５０２３３号公報の段落［００２１］～［００２３］のものを適用できる。また、帯電防止層としては、特開２００８－２５０２３３号公報の段落［００１２］、［００１４］～［００２０］のものを適用できる

（５．透明導電性フィルムの製造方法）
　本発明の透明導電性フィルムの製造方法は、環状オレフィン樹脂を含む透明樹脂フィルムを形成する工程と、透明樹脂フィルムの上に導電層を形成する工程とを含む。なお、透明樹脂フィルムを形成する工程は、環状オレフィン樹脂を含む溶融樹脂をシート状にする押出工程を含み、この押出工程は、シート状の溶融樹脂に厚みムラを付与する工程を含む。

（５－１．透明樹脂フィルムの製膜）
（５－１－１．押出し）
　本発明で用いる透明樹脂フィルムは、下記の方法により製膜することが好ましい。
　まず、上述した環状オレフィン樹脂のペレット（ＣＯＣ、ＣＯＰペレット）、マスターペレットを含水率１００ｐｐｍ以下になるまで乾燥する。次いで、このペレットを押出機に投入し混練する。ここで、押出機に投入する樹脂（ペレット）の温度はＴｇ－８０～Ｔｇにすることが好ましい。押出機に投入する樹脂（ペレット）の温度は、Ｔｇ－７０～Ｔｇ－５℃であることがより好ましく、Ｔｇ－６０～Ｔｇ－１０℃であることがさらに好ましい。押出機に投入する樹脂（ペレット）の温度を上記範囲内とすることにより、－２０～３０℃における誘電率の変化率を所望の範囲内とすることができる。

　ペレットを上記記載のように加熱した後、押出機のホッパーに投入する。押出機は１軸押出機、２軸押出機いずれを用いても良く、好ましい押出し温度は２５０～３３０℃、より好ましくは２６０～３１５℃である。
　押出機には不活性ガスを流し、その流量に変動を付与するのが好ましい。好ましい変動量は０．５～１０％であり、より好ましくは１～８％、さらに好ましくは１．５～７％である。活性ガスに変動を上記範囲内とすることにより、－２０～３０℃の誘電率の変化率の面内変動を所望の範囲内とすることができる。不活性ガスとしては、例えば窒素、希ガス（Ａｒ、Ｈｅ、Ｎｅ等）を挙げることができる。

　押出機で混練され溶融体となった溶融樹脂（メルト）は、メルト配管を通じてダイに導かれる。メルト配管には、１～１０℃の温度分布を付与ことが好ましい。このような温度分布を付与することにより、メルトの流速が不均一となり、ダイから出て冷却固化する際の冷却速度に分布が発生するためである。このようにして、熱寸法変化率の面内変動が付与される。メルト配管の温度変調は、例えば、メルト配管の初流部分（溶融樹脂が押出機から流入してくる側からメルト配管の全長の１／３の長さまでの箇所）と終流部分（溶融樹脂が出口方向へ流出していく側からメルト配管の全長の１／３の長さまでの箇所）に２つのヒーターを設置し、押出機側の初流部分の温度と出口側の終流部分の温度を異なるようにすることで付与することができる。このようなメルト配管の温度分布は１～１０℃であることが好ましく、１．５～９℃であることがより好ましく、２～８℃であることがさらに好ましい。なお、このような温度差は押出機からダイの間の溶融樹脂の最高温度と最低温度の差とすることができる。

　押出機には、ギアポンプやメルトフィルターを設置することも好ましい。メルトフィルターの孔径は１～３０μｍが好ましく、より好ましくは２～２０μｍ、さらに好ましくは３～１０μｍである。またダイはＴ－ダイ、ハンガーコートダイ、フィッシュテールダイ等を用いることができる。また共押出しすることも好ましく、マルチマニホールドダイやフィードブロックダイ等も用いることができる。

　押出す際、ダイリップのリップ間隔（隙間）には、１～２０％、より好ましくは２～１５％、さらに好ましくは３～１０％の分布を付与することが好ましい。このようにダイリップ間隔に分布があると、そこから出てくる溶融樹脂（メルト）に厚みムラを発生させることができる。

（５－１－２．キャスト）
　ダイから押出されたメルトは、キャストドラム（冷却ドラムあるいはチルロールともいう）上で固化される。ダイからキャストドラム上（エアギャップ）の間では、シート状の溶融樹脂に１０～３００回／分の振動を与える工程を含むことが好ましい。これにより分子に振動を付与し分子のパッキングを上げ自由体積を低減することができる。さらに振動により分子配向は乱れ、Ｒｅ、Ｒｔｈは低減する。エアギャップ上でのメルトの振動はいかなる手段で実施しても良く、例えばメルトに風速変動を与えて風を当てても良く、キャストドラムの回転速度に変動を与えても良い。回転速度の変動は、１分間あたりのキャストドラムの回転数に変動を与えることで達成でき、回転数の変動は、１０～３００回／分であることが好ましく、２０～２５０回／分であることがより好ましく、３０～２００回／分であることがさらに好ましい。回転数の変動を上記範囲内とすることにより、Ｒｅ、Ｒｔｈを所望の範囲内とすることができる。
　また、キャストドラムには温度分布が付与されることが好ましい。好ましい温度分布は０．５～１０℃、より好ましくは１～８℃、さらに好ましくは１．５～７℃である。このような温度分布は、キャストドラムの熱媒の流れにムラを発生することで達成でき、例えば冷却ロール内に邪魔板を設け、流路を乱すことで達成できる。

　キャストドラム上で固化した樹脂フィルムは、熱ロールに通すことが好ましい。キャストドラムの後に設置した熱ロールに接触させることで解消できる。この時の熱ロールの温度は、フィルムのＴｇ～Ｔｇ－３０℃、より好ましくはＴｇ－１～Ｔｇ－２８℃、さらに好ましくはＴｇ－２～Ｔｇ－２５℃である。また、搬送張力が５０～２００Ｎ／ｍ、より好ましくは６０～１８０Ｎ／ｍ、さらに好ましくはで７０～１６０Ｎ／ｍである。さらに、搬送は、ラップ角６０～１８０度であることが好ましく、６５～１７５度であることがより好ましく、７０～１７０度であることがさらに好ましい。巻取り張力は、５０～２００Ｎ／ｍであることが好ましく、５０～２００Ｎ／ｍであることがより好ましく、５０～２００Ｎ／ｍであることがさらに好ましい。また、熱ロールの回転速度には、０．１～５％以下、より好ましくは０．２～４％、さらに好ましくは０．３～３％の変動を与えることが好ましい。これによりＲｅ、Ｒｔｈの増加を抑制することができる。
　巻取り前に両端に厚みだし加工、トリミングすることも好ましい。またラミネートフィルムと貼り合せることも好ましく、ポリオレフィン、ポリエステル等の１０～１００μｍのものを用いることができる。巻取り幅は０．５～３ｍが好ましく、より好ましくは１～２．５ｍ、さらに好ましくは１．２～２．２ｍであり、巻取り長は１０００～１５０００ｍ、より好ましくは２０００～１２０００ｍ、さらに好ましくは３０００～１００００ｍである。

（５－２．導電層の形成）
（５－２－１．露光）
　本発明では、導電層としては、パターン状導電層を用いることが好ましく、印刷方式によって施す場合を含むが、印刷方式以外は、透明導電パターンを露光と現像等によって形成することが好ましい。すなわち、透明樹脂フィルム上に設けられた銀塩含有層を有する感光材料又はフォトリソグラフィ用フォトポリマーを塗工した感光材料への露光を行う。露光は、電磁波を用いて行うことができる。電磁波としては、例えば、可視光線、紫外線等の光、Ｘ線等の放射線等が挙げられる。さらに露光には波長分布を有する光源を利用してもよく、特定の波長の光源を用いてもよい。

（５－２－２．現像処理）
　銀塩含有層を露光した後、さらに現像処理が行われる。現像処理は、銀塩写真フイルムや印画紙、印刷製版用フイルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の現像処理の技術を用いることができる。現像液については特に限定はしないが、ＰＱ現像液、ＭＱ現像液、ＭＡＡ現像液等を用いることもでき、市販品では、例えば、富士フイルム社処方のＣＮ－１６、ＣＲ－５６、ＣＰ４５Ｘ、ＦＤ－３、パピトール、ＫＯＤＡＫ社処方のＣ－４１、Ｅ－６、ＲＡ－４、Ｄ－１９、Ｄ－７２等の現像液、又はそのキットに含まれる現像液を用いることができる。また、リス現像液を用いることもできる。

　本発明における現像処理は、未露光部分の銀塩を除去して安定化させる目的で行われる定着処理を含むことができる。本発明における定着処理は、銀塩写真フイルムや印画紙、印刷製版用フイルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる定着処理の技術を用いることができる。

　上記定着工程における定着温度は、約２０℃～約５０℃が好ましく、さらに好ましくは２５～４５℃である。また、定着時間は５秒～１分が好ましく、さらに好ましくは７秒～５０秒である。定着液の補充量は、感光材料の処理量に対して６００ｍｌ／ｍ²以下が好ましく、５００ｍｌ／ｍ²以下がさらに好ましく、３００ｍｌ／ｍ²以下が特に好ましい。

　現像、定着処理を施した感光材料は、水洗処理や安定化処理を施されるのが好ましい。上記水洗処理又は安定化処理においては、水洗水量は通常感光材料１ｍ²当り、２０リットル以下で行われ、３リットル以下の補充量（０も含む、すなわちため水水洗）で行うこともできる。

　現像処理後の露光部に含まれる金属銀の質量は、露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して５０質量％以上の含有率であることが好ましく、８０質量％以上であることがさらに好ましい。露光部に含まれる銀の質量が露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して５０質量％以上であれば、高い導電性を得ることができるため好ましい。

　本実施の形態における現像処理後の階調は、特に限定されるものではないが、４．０を超えることが好ましい。現像処理後の階調が４．０を超えると、光透過性部の透光性を高く保ったまま、導電性金属部の導電性を高めることができる。階調を４．０以上にする手段としては、例えば、ロジウムイオン、イリジウムイオンのドープが挙げられる。

　以上の工程を経て導電層は得られるが、得られた導電層の表面抵抗は０．１～１００オーム／ｓｑ．の範囲にあることが好ましく、１～１０オーム／ｓｑ．の範囲にあることがより好ましい。また、現像処理後の導電層に対しては、さらにカレンダー処理を行ってもよく、カレンダー処理により所望の表面抵抗に調整することができる。

（５－２－３．物理現像及びめっき処理）
　本発明では、露光及び現像処理により形成された金属銀部の導電性を向上させる目的で、導電層に導電性金属粒子を担持させるための物理現像及び／又はめっき処理を行ってもよい。本発明では物理現像又はめっき処理のいずれか一方のみで導電性金属粒子を金属銀部に担持させてもよく、物理現像とめっき処理とを組み合わせて導電性金属粒子を金属銀部に担持させてもよい。なお、本明細書においては、金属銀部に物理現像及び／又はめっき処理を施したものを含めて「導電性金属部」と称することができる。また、「導電性金属部」が透明樹脂フィルムの上に形成されたものを「導電層」という。
　「物理現像」とは、金属や金属化合物の核上に、銀イオン等の金属イオンを還元剤で還元して金属粒子を析出させることをいう。この物理現象は、インスタントＢ＆Ｗフイルム、インスタントスライドフイルムや、印刷版製造等に利用されており、本発明ではその技術を用いることができる。また、物理現像は、露光後の現像処理と同時に行っても、現像処理後に別途行ってもよい。

　めっき処理は、無電解めっき（化学還元めっきや置換めっき）、電解めっき、又は無電解めっきと電解めっきの両方を用いることができる。本実施の形態における無電解めっきは、公知の無電解めっき技術を用いることができ、例えば、プリント配線板等で用いられている無電解めっき技術を用いることができ、無電解めっきは無電解銅めっきであることが好ましい。

（５－２－４．酸化処理）
　現像処理後の金属銀部、並びに、物理現像及び／又はめっき処理によって形成された導電性金属部には、酸化処理を施すことが好ましい。酸化処理を行うことにより、例えば、光透過性部に金属が僅かに沈着していた場合に、その金属を除去し、光透過性部の透過性をほぼ１００％にすることができる。

（５－２－５．導電性金属部）
　本発明では、導電性金属部は、間欠部を有するようにパターン状またはメッシュ状に形成されることが好ましい。このため、導電性金属部の線幅は、５～２００μｍ（０．２ｍｍ）から選択されることが好ましく、タッチパネルの材料としての用途である場合、５～５０μｍが好ましい。さらに好ましくは５～３０μｍ、最も好ましくは５～２０μｍである。線間隔は３０～５００μｍ以下であることが好ましく、さらに好ましくは５０～４００μｍ、最も好ましくは１００～３５０μｍである。なお、導電性金属部は、アース接続等の目的においては、線幅は２００μｍより広い部分を有していてもよい。

　本実施の形態における導電性金属部は、可視光透過率の点から開口率は８５％以上であることが好ましく、９０％以上であることがさらに好ましく、９５％以上であることが最も好ましい。開口率とは、導電性金属部が形成される総面積（透明樹脂フィルムの面積）に対する間欠部の面積の割合として表すこともできる。

（５－２－６．光透過性部）
　本実施の形態における「光透過性部」とは、透明導電性フィルムのうち導電性金属部以外の透光性を有する部分を意味する。光透過性部における透過率は、透明樹脂フィルムの光吸収及び反射の寄与を除いた３８０～７８０ｎｍの波長領域における透過率の最小値で示される透過率が９０％以上、好ましくは９５％以上、さらに好ましくは９７％以上であり、さらにより好ましくは９８％以上であり、最も好ましくは９９％以上である。

　露光方法に関しては、ガラスマスクを介した方法やレーザー描画によるパターン露光方式が好ましい。

　透明樹脂フィルム上に設けられる導電性金属部（導電層）の厚さは、透明導電性フィルム上に塗布される銀塩含有層用塗料の塗布厚みに応じて適宜決定することができる。導電性金属部（導電層）の厚さは、０．００１ｍｍ～０．２ｍｍから選択可能であるが、３０μｍ以下であることが好ましく、２０μｍ以下であることがより好ましく、０．０１～９μｍであることがさらに好ましく、０．０５～５μｍであることが最も好ましい。また、金属銀部はパターン状であることが好ましい。導電性金属部は１層でもよく、２層以上の重層構成であってもよい。導電性金属部がパターン状であり、且つ、２層以上の重層構成である場合、異なる波長に感光できるように、異なる感色性を付与することができる。これにより、露光波長を変えて露光すると、各層において異なるパターンを形成することができる。

　導電性金属部の厚さは、タッチパネルの用途としては、薄いほど表示パネルの視野角が広がるため好ましく、視認性の向上の点でも薄膜化が要求される。このような観点から、導電性金属部に担持された導電性金属からなる層の厚さは、９μｍ未満であることが好ましく、０．１～５μｍであることがより好ましく、０．１～３μｍであることがさらに好ましい。

　本実施の形態では、上述した銀塩含有層の塗布厚みをコントロールすることにより所望の厚さの金属銀部を形成し、さらに物理現像及び／又はめっき処理により導電性金属粒子からなる層の厚みを自在にコントロールできるため、５μｍ未満、好ましくは３μｍ未満の厚みを有する導電性金属部あっても容易に形成することができる。

　なお、本実施の形態に係る透明導電性フィルムの製造方法では、めっき等の工程は必ずしも行う必要はない。本実施の形態に係る透明導電性フィルムの製造方法では銀塩乳剤層の塗布銀量、銀：バインダー体積比を調整することで所望の表面抵抗を得ることができるからである。なお、必要に応じてカレンダー処理等を行ってもよい。

（５－２－７．現像処理後の硬膜処理）
　銀塩乳剤層に対して現像処理を行った後に、硬膜剤に浸漬して硬膜処理を行うことが好ましい。硬膜剤としては、例えば、グルタルアルデヒド、アジポアルデヒド、２，３－ジヒドロキシ－１，４－ジオキサン等のジアルデヒド類及びほう酸等の特開平２－１４１２７９号に記載のものを挙げることができる。

　なお、本発明は、下記表１及び表２に記載の公開公報及び国際公開パンフレットの技術と適宜組合せて使用することができる。「特開」、「号公報」、「号パンフレット」等の表記は省略する。

（６．タッチパネル）
　タッチパネルは、上述したような透明導電性フィルムを含むため、光透過性が高く、無色であり、耐久性、耐水性が高く、動作可能温度範囲が広い。このため、様々な表示装置に使用することができる。また、本発明のタッチパネルは、本発明の透明導電性フィルムを少なくとも有し、必要に応じて、さらにその他の部材を有する。例えば、偏光板、反射防止膜、ハードコート膜、帯電防止膜および防汚膜等の機能性層を有してもよい。

　タッチパネルにおけるタッチパネルセンサー電極部の層構成としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、２枚の上記導電膜を貼合する貼合方式、１枚の基材の両面に上記導電膜を具備する方式、片面ジャンパーあるいはスルーホール方式あるいは片面積層方式のいずれかであることが好ましい。

　本発明によれば、抵抗膜方式、表面弾性波方式、赤外線方式、電磁誘導方式、静電容量方式等、何れの方式のタッチパネルも製造することができる。タッチパネルとしては、光透過性、耐熱性および耐熱着色性等に優れる透明導電性フィルムを含むため、抵抗膜方式や静電容量方式のタッチパネルが好ましく、静電容量方式のタッチパネルがより好ましい。

（７．表示装置）
　表示装置は、上述したタッチパネルを含む。表示装置は、本発明のタッチパネルを含むため、携帯電話、スマートフォン、携帯情報端末、カーナビ、タブレットＰＣ、販売機器、ＡＴＭ、ＦＡ機器等に制限なく使用することができる

　以下に実施例と比較例を挙げて本発明の特徴をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができる。したがって、本発明の範囲は以下に示す具体例により限定的に解釈されるべきものではない。

（実施例１）
（透明樹脂フィルムの製膜）
　実施例および比較例では、透明樹脂フィルムは以下のものを用いた。
　・ＣＯＰ－１：特開２００８－２７３０２９の段落[００２１]に記載のもの：Ｔｇ＝１３９℃
　・ＣＯＰ－２：特開２００８－２７３０２９の段落［００２２］～［００２３］に記載のもの：Ｔｇ＝１１０℃
　・ＣＯＣ－１：トパス６０１５（ポリプラスチック社製）：Ｔｇ＝１５０℃
　・ＣＯＣ－２：トパス６０１７（ポリプラスチック社製）：Ｔｇ＝１７０℃

＜マスターバッチの調製＞
　上記樹脂を各々、１００℃で１０時間乾燥し、脱水した。次いで、乾燥した樹脂に安定剤（チバ・ジャパン株式会社製、イルガノックス１０１０）を３０ｗｔ％添加した。これを、２軸押出機を用い、窒素気流中２８０℃で混練し、ペレット化した。

＜製膜＞
イ）押出し
　上記樹脂および安定剤を添加したマスターバッチを、真空中で乾燥し水分を３０ｐｐｍとした後、表１に記載の温度（ペレット加熱温度）に加熱した後、押出機のホッパーに投入した。次いで、上記樹脂およびマスターバッチを混合し、単軸押出機にて窒素気流中２８０℃で混練する。この時、表１のように不活性ガス（Ｎ₂）流量に変動を与えた。なお、Ｎ₂の平均流量は投入ペレットの体積と同じ量になるように調整した。また、マスターバッチは全樹脂量の１／１００の重量になるように添加した。

ロ）メルト配管
　上記混練後、表１に記載の温度分布となるように、溶融樹脂をダイに送るメルト配管に温度分布を付与した。なお、溶融樹脂に付与した温度分布は、メルト配管の初流部分（溶融樹脂が押出機から流入してくる側からメルト配管の１／３の長さまでの箇所）と終流部分（溶融樹脂が出口方向へ流出していく側からメルト配管の１／３の長さまでの箇所）に２つのヒーターを設置し、押出機側の初流部分の温度を出口側の終流部分の温度より、表１記載の温度だけ高くすることで実施した。なお、２つのヒーターの平均温度はいずれも２８０℃とした。なお、３つ以上のヒーターを設置した実験も行ったが、温度分布が同じであれば、２つのヒーターの場合と同じ効果であった。

ハ）ダイ
　ダイリップのリップ間隔（隙間）に表１に示す分布を付与した。ダイリップ間隔はダイリップ上の２０等分した点に設置したボルトの締め込みにより調整した。すなわち、ボルトの締め込みをきつくした箇所では、ダイリップのリップ間隔が大きくなり、ボルトの締め込みを緩くした箇所では、ダイリップのリップ間隔は小さくなる。このように、ダイリップ上の２０等分した点に設置したボルトの締め込み具合を変動させることによって、ダイリップの間隔に凹凸を持たせることができる。本発明では、ダイリップの間隔は中央部を厚く、両端を薄くなるように設定したが、その逆の設定でも同様の効果が得られ、パターンによらず分布が支配要因であることがわかった。なお、ダイ、ダイリップの温度は２８０℃とした。

ニ）キャスト
　ダイからキャストドラムの間（エアギャップ）のメルトに表１に記載の振動を与えた。なお、この振動はキャストドラムの回転数に振動を与えることで達成した。なお、この時のキャストドラムの温度はＴｇ－３０℃で実施した。ここでいうキャストドラムの温度とは、幅方向に５等分した箇所×周長方向に６等分した箇所の計３０点の測定点の平均値である。なお、エアギャップは１００ｍｍとし、キャストロールにメルトが着地する地点に、メルトの両端に静電印加を行った。

　さらに、キャストドラムには、表１に記載の温度分布を付与した。キャストドラムに温度分布を付与することで、Ｒｅ、Ｒｔｈの分布を形成することができる。このような分布は、キャストドラム内を流れる熱媒オイルの流路に変調を与えることで達成できる。例えば、熱媒オイルの流路に邪魔板等を設置することで達成することができる。

ホ）熱ロール
　キャストロールの直後の工程には熱ロールを設置した。熱ロールの温度は表１に記載したように調整した。また、この回転数の平均値は、キャストロールの周速度の９８％となるように設置し、かつ表１に記載の回転数変動を与えた。なお、熱ロール上では、ラップ角１２０度で搬送し、搬送張力は表１の通りとした。

ヘ）巻取り
　両端５％ずつをトリミングし、両端に厚み出し加工を行った後、室温において表１に記載の張力で巻き取った。なおトリミング後の幅は１．５ｍであった。

＜下塗り層塗布＞
　上記のように製膜した透明樹脂フィルムの片面に、コロナ処理を行った後、第一下塗り層、第ニ下塗り層を塗設した。一下塗り層、第ニ下塗り層の組成および塗布方法は、特開２０１０－２５６９０８の段落［０１１７］～［０１２０］に記載の通りとした。

（水溶性樹脂と銀を含む導電層の形成）
　上記下塗り層の上に、下記ハロゲン化銀感光材料を塗設し透明導電性フィルムを作成した。

＜ハロゲン化銀感光材料＞
　水媒体中のＡｇ１５０ｇに対してゼラチン１０．０ｇを含む、球相当径平均０．１μｍの沃臭塩化銀粒子（Ｉ＝０．２モル％、Ｂｒ＝４０モル％）を含有する乳剤を調製した。なお、この乳剤中にはＫ₃Ｒｈ₂Ｂｒ₉及びＫ₂ＩｒＣｌ₆を濃度が１０^-7（モル／モル銀）になるように添加し、臭化銀粒子にＲｈイオンとＩｒイオンをドープした。この乳剤にＮａ₂ＰｄＣｌ₄を添加し、さらに塩化金酸とチオ硫酸ナトリウムを用いて金硫黄増感を行った後、ゼラチン硬膜剤と共に、銀の塗布量が１０ｇ／ｍ²となるように、透明樹脂フィルムの上記下塗り層上に塗布した。この際、Ａｇ：ゼラチンの体積比は２：１とした。

　１．５ｍの幅で２０００ｍ分の塗布を行ない、塗布の中央部１．４ｍを残すように両端を切り落としてロール状のハロゲン化銀感光材料を得た。

＜露光＞
　露光のパターンは、特許４８２０４５１号の図１に示すパターンに準じて形成した。小格子１８の配列ピッチＰｓを２００μｍとし、中格子２０ａ～ｈの配列ピッチＰｍを２×Ｐｓとした。また、小格子１８の導電部の厚みを２μｍとし、幅を１０μｍとした。露光は上記パターンのフォトマスクを介して高圧水銀ランプを光源とした平行光を用いて露光した。
　また、特許４８２０４５１の図５に準じてもドウデンパターン形成したが、下記評価結果は図１の場合と同様の結果が得られた。

＜現像処理＞
　現像液１Ｌの処方は下記の通りである。
ハイドロキノン　　　　　　　　　　　　２０　ｇ
亜硫酸ナトリウム　　　　　　　　　　　５０　ｇ
炭酸カリウム　　　　　　　　　　　　　４０　ｇ
エチレンジアミン・四酢酸　　　　　　　２　ｇ
臭化カリウム　　　　　　　　　　　　　３　ｇ
ポリエチレングリコール２０００　　　　１　ｇ
水酸化カリウム　　　　　　　　　　　　４　ｇ
ｐＨは１０．３に調整した。

　定着液１Ｌの処方は下記の通りである。
チオ硫酸アンモニウム液（７５％）　　　３００　ｍｌ
亜硫酸アンモニウム・１水塩　　　　　　２５　ｇ
１，３－ジアミノプロパン・四酢酸　　　８　ｇ
酢酸　　　　　　　　　　　　　　　　　５　ｇ
アンモニア水（２７％）　　　　　　　　１　ｇ
ｐＨは６．２に調整した。

　上記処理剤を用いて露光済み感材を、富士フイルム社製自動現像機　ＦＧ－７１０ＰＴＳを用いて処理条件：現像３５℃、３０秒、定着３４℃、２３秒、水洗、流水（５Ｌ／分）の２０秒処理で行った。

（評価）
＜１００℃熱水中６０秒の熱寸法変化、および面内分布＞
　サンプルフィルムを短辺５ｃｍ、長辺１５ｃｍに裁断した。長辺をＭＤ方向に平行に裁断したものを「ＭＤ」、短辺をＭＤ方向に平行に裁断したものを「ＴＤ」とし、各々１０枚ずつ任意の箇所から裁断した。具体的には、幅方向、長手方向に各々５点ランダムに抽出した３０ｃｍ×３０ｃｍの正方形のサンプルを切り出した。
　次いで、上記フィルムを２５℃、相対湿度６０％で２時間調湿後、１０ｃｍ間隔のピン孔を開け、ピン間の間隔をピンゲージを用いて測長した。これをＬ１とした。次いで、１００℃の熱水中で６０秒熱処理を行った。
　熱処理後、２５℃、相対湿度６０％で２時間調湿後、１０ｃｍ間隔のピン孔を開け、ピン間の間隔をピンゲージを用いて測長した。これをＬ２とした。
　｛｜Ｌ１－Ｌ２｜／Ｌ１｝×１００を求め、ＭＤ、ＴＤ各１０点の全平均値を熱寸法変化率（％）とした。
　また、ＭＤの１０点について最大の熱寸法変化率と最小の熱寸法変化率の差を全１０点の平均値で割り百分率で表したものをＭＤの熱寸法変化の面内分布とした。同様にＴＤの熱寸法変化率の面内分布も求めた。　ＭＤ、ＴＤの熱寸法変化の面内分布の平均を、熱寸法変化の面内分布とした。

＜－２０～３０℃の誘電率変化、および面内分布＞
　サンプルフィルムを直径５０ｍｍに裁断したものを１０枚、任意の箇所から裁断した。　安藤電気株式会社製ＴＲ－１１００誘電体損自動測定装置を用い、直径３０ｍｍの主電極、直径５０ｍｍの裏面電極を用い、－２０℃、３０℃の恒温室内で、周波数１００ｋＨｚで誘電率を測定した。これを各々ε１、ε２とした。
　｛｜ε１－ε２｜／ε２｝×１００を求め誘電率変化（％）とする。
　また、上記１０枚の誘電率変化の最大値と最小値の差を、１０点の平均値で割り百分率で示したものを、誘電率変化の面内分布（％）とした。
　なお、透明導電性フィルムの場合、透明導電層を次亜塩素酸ソーダ水溶液に浸漬し剥離した後、測定することでも、透明導電性フィルムと同じ値が得られた。

＜Ｒｅ、Ｒｔｈ、および面内分布＞
　サンプルフィルムを１０ｃｍ角に裁断したものを１０枚、任意の箇所から裁断した。このサンプルフィルムのＲｅレターデーション値およびＲｔｈレターデーション値は、以下に基づき算出した。ここで、Ｒｅ（λ）、Ｒｔｈ（λ）は各々、波長λにおける面内のリターデーションおよび厚さ方向のリターデーションを表す。
　Ｒｅ（λ）はＫＯＢＲＡ　２１ＡＤＨ（王子計測機器（株）製）において波長λｎｍの光をフィルム法線方向に入射させて測定した。Ｒｔｈ（λ）はＲｅ（λ）、遅相軸（ＫＯＢＲＡ　２１ＡＤＨにより判断される）を傾斜軸（回転軸）としてフィルム法線方向に対して＋４０°傾斜した方向から波長λｎｍの光を入射させて測定した。レターデーション値、および遅相軸を傾斜軸（回転軸）としてフィルム法線方向に対して－４０°傾斜した方向から波長λｎｍの光を入射させて測定したレターデーション値の計３つの方向で測定したレターデーション値を基にＫＯＢＲＡ　２１ＡＤＨを用いて各値を算出した。さらに、平均屈折率の仮定値１．５１および膜厚を入力することで、ＫＯＢＲＡ　２１ＡＤＨはｎｘ、ｎｙ、ｎｚ、及びＲｔｈを算出する。本発明においては波長５９０ｎｍにて、２５℃、相対湿度６０％で測定を行った。
　また、Ｒｅ、Ｒｔｈについて、最大値と最小値の差を平均値で割り百分率で示したものを、Ｒｅ、Ｒｔｈの面内分布とした。
　なお、透明導電性フィルムの場合、透明導電層を次亜塩素酸ソーダ水溶液に浸漬し剥離した後、測定することでも、透明導電性フィルムと同じ値が得られた。

＜厚みおよび厚みムラ＞
　全幅に沿って連続的に厚みを測定した。この厚みの最大値と最小値の差を平均値で割り百分率で示したものをＴＤ厚みムラとする。また、幅中央部をＭＤに沿って１ｍ、連続的に厚みを測定し最大値と最小値の差を平均値で割り百分率で示したものをＭＤ厚みムラとする。ＭＤ厚みムラとＴＤ厚みムラの平均値を厚みムラ（％）とした。

＜密着性＞
　サンプルフィルムを１０ｃｍ角に裁断したものを１０枚、任意の箇所から裁断した。具体的には、幅方向、長手方向に各々５点ランダムに抽出した３０ｃｍ×３０ｃｍの正方形のサンプルを切り出した。このサンプルフィルムを１００℃熱水に６０秒浸漬した。
　次いで、－２０℃と３０℃にそれぞれ１０分ずつ交互に曝すサイクルサーモを１０回繰り返した。透明導電層に５ｍｍ間隔で、ＭＤ、ＴＤに沿って各１１本、カッターナイフで切り込みを入れ、１００の升目を形成した。これに粘着テープを貼り付け、一気に剥ぎ取り、透明導電層が剥離した升目の数を数え、これを剥離率（％）とした。
　なお、この方法は大きな温度変化、湿度変化を伴い、過酷な条件での密着評価である。

　実施例１～５では、熱寸法変化率が０．０１～０．２％である。これは、ダイリップの間隔分布の変動を１～２０％とし、透明樹脂フィルムに厚みの変動を付与することにより達成されている。これにより、実施例１～５では、剥離率が低くなっている。一方、比較例１および２は、熱寸法変化率が０．０１～０．２％の範囲外であり、剥離率が格段に高くなっていることがわかる。

　実施例６～１２では、透明樹脂フィルムの熱寸法変化率に面内分布を変えている。これは、メルト配管に温度分布を付与することにより達成されている。実施例６～１２では熱寸法変化率が０．０１～０．２％の範囲内であるため、剥離率が抑制されているが、実施例７～１１では、熱寸法変化率の面内分布が１～１０％であるため、剥離率がより効果的に抑制されていることがわかる。
　また、実施例１３～１９では、透明樹脂フィルムの誘電率の変化率を変えている。これは、押出し前のペレット加熱温度を特定の範囲内とすることにより達成されている。実施例１３～１９では熱寸法変化率が０．０１～０．２％の範囲内であるため、剥離率が抑制されているが、実施例１４～１８では、誘電率の変化率が０．１～１０％であるため、剥離率がより効果的に抑制されていることがわかる。

　実施例２０～２６では、透明樹脂フィルムの誘電率変化の面内分布を変えている。これは、不活性ガスの流量に変動を付与することにより達成されている。実施例２０～２６では熱寸法変化率が熱寸法変化率に面内分布０．０１～０．２％の範囲内であるため、剥離率が抑制されているが、実施例２１～２５では、誘電率変化の面内分布が１～１０％であるため、剥離率がより効果的に抑制されていることがわかる。
　また、実施例２７～３３では、透明樹脂フィルムのＲｅ、Ｒｔｈを変えている。これは、キャストドラムの回転数に振動を付与することにより達成されている。実施例２７～３３では熱寸法変化率が０．０１～０．２％の範囲内であるため、剥離率が抑制されているが、実施例２８～３２では、Ｒｅ、Ｒｔｈが１～２０ｎｍであるため、剥離率がより効果的に抑制されていることがわかる。

　実施例３４～４０では、透明樹脂フィルムのＲｅ、Ｒｔｈの面内分布を変えている。これは、キャストドラムの温度分布に変動を付与することにより達成されている。実施例３４～４０では熱寸法変化率が０．０１～０．２％の範囲内であるため、剥離率が抑制されているが、実施例３５～３９では、Ｒｅ、Ｒｔｈの面内分布が１～１０％であるため、剥離率がより効果的に抑制されていることがわかる。
　また、実施例４１～４７では、透明樹脂フィルムの厚みおよび厚みムラを変えている。実施例４１～４７では熱寸法変化率が０．０１～０．２％の範囲内であるため、剥離率が抑制されているが、実施例４２～４６では、透明樹脂フィルムの厚みおよび厚みムラが所定の範囲内であるため、剥離率がより効果的に抑制されていることがわかる。

　実施例４８～５４では、熱ロール回転変動と、これに伴うＲｅ、Ｒｔｈの効果を示している。実施例４８～５４では、熱ロールの回転数変動を特定の範囲とすることにより、Ｒｅ、Ｒｔｈが所望の範囲となっており、剥離率がより抑制される傾向となっている。
　また、実施例５５～６１では、熱ロール温度と、これに伴う厚みムラへの影響を示している。実施例５５～６１では、熱ロール温度を特定の範囲とすることにより、厚みムラが所望の範囲となっており、剥離率がより抑制されている。
　実施例６２～６８では、熱ロール搬送張力と、これに伴う厚みムラへの影響を示している。実施例６２～６８では、熱ロール搬送張力を特定の範囲とすることにより、厚みムラが所望の範囲となっており、剥離率がより抑制されている。

　比較例３は、特許文献２の実施例１を追試したものである。透明支持体としてＰＥＮを使用（Ｔｇ＝１２０℃）し、透明導電層は特許文献２の実施例１に従い銀ナノワイヤーからなるものを使用したものである。比較例３は、熱寸法変化率が０．０１～０．２％の範囲内にないため、剥離率が極めて高い。
　実施例６９は、比較例３に対し本発明を実施したものである。透明導電層は特許文献１に従い形成した。実施例６９では、熱寸法変化率が０．０１～０．２％の範囲内であるため、極めて低い剥離率を示している。

　比較例４は、特許文献１の実施例１を追試したものである。透明支持体としてＰＥＴを使用（Ｔｇ＝７８℃）し、透明導電層は特許文献２の実施例１に従いハロゲン化銀を現像した導電パターン銀からなるものを使用した。比較例３は、熱寸法変化率が０．０１～０．２％の範囲内にないため、剥離率が極めて高い。また、ペレットの加熱温度は本発明内で実施しているが（ＰＥＴのＴｇが低く、室温で投入しても本発明の範囲内である）、これに対応する誘電率変化は本発明の範囲から外れている。これは本発明の樹脂（環状オレフィン）と異なるため（環状オレフィンは脂環部が嵩高く運動性が小さいのに対し、ＰＥＴは芳香環で平面構造のため嵩が低く運動性が高いため、誘電率変化が大きいものと推定される。
　また、比較例５は、透明支持体としてＰＥＴを使用（Ｔｇ＝７８℃）し、実施例７０と同様の製膜方法を実施したものである。実施例７０では、剥離率が極めて低いのに対し、比較例５では、剥離率が高くなっている。これは、透明支持体としてＰＥＴを使用したことによる性能低下が現れている。すなわち、透明樹脂フィルムの脂環ポリマーの効果が示されている。
　なお、比較例６は、特許文献３の実施例２に従い、脂環ポリマー（アートン）上にスパッタ法によりＩＴＯを製膜したものである。実施例７１は、比較例６と同様にアートンを用いたが、製膜法において本発明を実施した。透明導電層は実施例１と同様にハロゲン化銀と水溶性樹脂からなるものを形成した。これにより、実施例７１では、熱寸法変化率が０．０１～０．２％の範囲内となり、剥離率が効果的に抑制されていることがわかる。
　実施例７２および７３は透明導電層の効果を比較したものである。実施例７２は上記の銀と水溶性樹脂から成る導電層を付与したものであり、実施例７３は特許文献１の実施例１に従い銀ナノワイヤーからなるものを使用したものである。また、実施例７４は特許文献３の実施例２に従いスパッタ法によりＩＴＯを製膜したものである。これらの中では、実施例７２が最も剥離率が低いことがわかる。

（タッチパネルの作成）
　特開２００９－１７６６０８の段落［００７３］～［００７５］の記載に従い、タッチパネルを作成した。熱寸法変化率が０．０１～０．２％の範囲内の透明導電性フィルムを用いたタッチパネルは、－２０℃～３０℃のサイクルサーモ後も良好な動作性能を示すことを確認した。

　本発明によれば、透明樹脂フィルム基材に環状オレフィンを用いた透明導電性フィルムであって、透明導電層と透明樹脂フィルム基材の密着性が高い透明導電性フィルムを得ることができる。このため、本発明の透明導電性フィルムを用いることにより、タッチパネル、ディスプレイ用帯電防止、電磁波シールド、有機ＥＬディスプレイ用電極、無機ＥＬディスプレイ用電極、電子ペーパー、フレキシブルディスプレイ用電極、フレキシブルディスプレイ用帯電防止膜、太陽電池、その他の各種デバイスなどに幅広く利用可能である。

１０　　透明導電性フィルム
１２　　透明樹脂フィルム
１４　　導電層
２０　　間欠部

Claims (19)

1. 　透明樹脂フィルムと、前記透明樹脂フィルムの上に形成された導電層を含む透明導電性フィルムであって、
   　前記透明樹脂フィルムは、環状オレフィン樹脂を含み、
   　前記透明導電性フィルムの１００℃熱水中６０秒の熱寸法変化率が０．０１～０．２％であることを特徴とする透明導電性フィルム。
2. 　前記導電層は、間欠部を有するように形成されることを特徴とする請求項１に記載の透明導電性フィルム。
3. 　前記導電層が水溶性樹脂と銀を含むことを特徴とする請求項１または２に記載の透明導電性フィルム。
4. 　－２０～３０℃の誘電率の変化率が０．１～１０％であることを特徴とする請求項１～３のいずれか１項に記載の透明導電性フィルム。
5. 　面内複屈折Ｒｅが１～２０ｎｍであり、厚み方向複屈折Ｒｔｈが１～２０ｎｍであることを特徴とする請求項１～４のいずれか１項に記載の透明導電性フィルム。
6. 　１００℃熱水中６０秒の熱寸法変化率の面内変動が１～１０％であることを特徴とする請求項１～５のいずれか１項に記載の透明導電性フィルム。
7. 　－２０～３０℃の誘電率の変化率の面内変動が１～１０％であることを特徴とする請求項１～６のいずれか１項に記載の透明導電性フィルム。
8. 　面内複屈折Ｒｅの面内変動が１～１０％であり、厚み方向複屈折Ｒｔｈの面内変動が１～１０％であることを特徴とする請求項１～７のいずれか１項に記載の透明導電性フィルム。
9. 　前記透明樹脂フィルムの厚みが２０～６０μｍであることを特徴とする請求項１～８のいずれか１項に記載の透明導電性フィルム。
10. 　環状オレフィン樹脂を含む透明樹脂フィルムを形成する工程と、
    　前記透明樹脂フィルムの上に導電層を形成する工程とを含み、
    　前記透明樹脂フィルムを形成する工程は、環状オレフィン樹脂を含む溶融樹脂をシート状にする押出工程を含み、
    　前記押出工程は、前記シート状の溶融樹脂に厚みムラを付与する工程を含むことを特徴する透明導電性フィルムの製造方法。
11. 　前記透明樹脂フィルムを形成する工程は、前記押出工程の前に、環状オレフィン樹脂を含む溶融樹脂をダイに送る工程を有し、前記溶融樹脂をダイに送る工程では、溶融樹脂をダイに送るメルト配管に１～１０℃の温度分布を付与することを特徴とする請求項１０に記載の透明導電性フィルムの製造方法。
12. 　前記透明樹脂フィルムを形成する工程は、前記押出工程の前に、環状オレフィン樹脂を含む組成物を押出機に投入する工程を含み、前記投入する工程では、前記組成物を（Ｔｇ－８０）～Ｔｇ℃に加熱することを特徴とする請求項１０または１１に記載の透明導電性フィルムの製造方法。
13. 　前記投入する工程は、前記押出機に不活性ガスを投入する工程を含み、前記不活性ガスを投入する工程では、前記不活性ガスの供給量に０．５～１０％の変動を付与することを特徴とする請求項１２に記載の透明導電性フィルムの製造方法。
14. 　前記押出工程は、溶融樹脂に１０～３００回／分の振動を与える工程を含むことを特徴とする請求項１０～１３のいずれか１項に記載の透明導電性フィルムの製造方法。
15. 　前記押出工程は、溶融樹脂をキャストドラムに押し出す工程を含み、前記キャストドラムには、０．５～１０℃の温度分布が付与されることを特徴とする請求項１０～１４のいずれか１項に記載の透明導電性フィルムの製造方法。
16. 　前記透明樹脂フィルムを形成する工程は、前記キャストドラムに押し出す工程の後に、シート状の樹脂シートを熱ロールに接触させる工程を含み、前記熱ロールに接触させる工程では、熱ロールの回転数に０．１～５％の変動を与えることを特徴とする請求項１５に記載の透明導電性フィルムの製造方法。
17. 　前記導電層を形成する工程は、ハロゲン化銀乳剤層を形成する工程と、前記ハロゲン化銀乳剤層に露光処理をし、現像処理をする工程を含む請求項１０～１６のいずれか１項に記載の透明導電性フィルムの製造方法。
18. 　請求項１０～１７のいずれか１項に記載の製造方法により製造した透明導電性フィルム。
19. 　請求項１～９および請求項１８のいずれか１項に記載の透明導電性フィルムを用いたタッチパネル。

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