JP2004527900A - 均一に基板を加熱するためのチャンバー - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
本出願は、参考としてここに援用する2000年12月29日出願の米国仮特許出願第60/259,035号の利益を請求するものである。
【発明の背景】
【0002】
発明の分野
本発明の態様は、一般に、基板を熱処理する装置及び方法に係る。
【0003】
関連技術の背景
フラットパネルディスプレイ(FPD)の製造においては、導体、半導体及び誘電体材料の多数の層をガラス基板に付着したりそこから除去したりすることにより、薄膜トランジスタ(TFT)及び液晶セル、金属相互接続部並びに他の特徴部が形成される。形成された種々の特徴部は、例えば、FPDの個々のピクセルで表示状態が電気的に作られるアクティブマトリクス表示スクリーンを形成するように集合的に使用されるシステムへと集積される。FPDの形成に使用される処理技術は、プラズマ・エンハンスト化学蒸着(PECVD)、物理的蒸着(PVD)、エッチング等を含む。プラズマ処理は、膜の付着に必要な処理温度が比較的低いと共に、プラズマプロセスから得られる膜の品質が良好であるために、フラットパネルディスプレイの製造に特に良く適している。
【0004】
FPDの処理中に、基板の全面にわたって膜を適切に熱処理することが、FPDを適切に機能させる上で重要である。必要な加熱温度は、処理される膜の形式及び実行されるプロセスに基づいて変化する。例えば、FPDの製造に使用されるFPD膜の形式の一例は、低温ポリシリコン(LTPS)である。LTPS膜処理の一部分として、膜から水素を除去するためにLTPS膜を約600℃まで加熱する必要があり、一方、アモルファスシリコン(α−Si)膜に対する同様の熱処理では、450℃までの相当に低い温度しか必要とされない。
【0005】
一般に、膜加熱プロセスは、非常に温度に敏感である。というのは、温度が不均一であると、不必要な汚染物が充分に除去されず、膜の剥離や摩滅を招くからである。温度の不均一さを補償するには、加熱プロセスの時間を延長するしかない。不都合なことに、加熱プロセスの時間を延長すると、製造コストが増加し、プロセスが完了しない場合にはしばしば膜が使用できないものになってしまう。
【0006】
従来の加熱チャンバーは、気体伝導及び熱放射の組み合せで1つ以上の基板を加熱することにより熱処理を行う。不都合なことに、チャンバーの壁や、その他のチャンバー内部部品が、チャンバー内に熱伝導路を形成し、伝導熱損失を生じさせる。この伝導熱損失は、常時変化する基板加熱環境を生成する。温度が上昇するにつれて、伝導熱損失は、益々顕著になり、基板加熱環境内の熱の非均一さを悪化させる。更に、従来の加熱チャンバーは、基板の周辺を受け入れるためにしばしば非常に大きなものとなり、加熱される面積及び体積を増大することにより加熱の問題を一層悪化させる。例えば、大型のコンピュータディスプレイ、モニタ、フラットスクリーンテレビジョン等の需要が増すにつれて、典型的な基板は、620mmx750mm又はそれ以上になる。例えば、1mx1mの基板が予想される。通常、大きな基板、大きなチャンバー体積、及びそれに伴う熱損失の増加を補償するために、より多くの発熱素子が使用され、従って、装置のコスト、エネルギー使用量及び温度の非均一性を高めることになる。温度が上昇するに伴い、エネルギーのコストを相殺し、効率的な加熱を与えるために、銅の発熱素子がしばしば使用される。銅のヒーターは、一般に、他の形式の発熱素子よりもエネルギー効率が高い。不都合なことに、温度が上昇するにつれて、銅ヒーターからの銅の原子がしばしば加熱チャンバーへと脱出して、膜を汚染する。従って、従来の加熱チャンバー及び加熱プロセスは、効率的で且つコスト効率の良い基板加熱プロセスとして受け入れられるほど均一で且つ汚染のない基板加熱を与えるものではない。
【0007】
そこで、汚染のない効率的な熱処理システムにおいて複数の基板を均一に熱処理する方法及び装置が要望される。
【0008】
発明の概要
本発明の実施形態では、一般に、基板処理システムに使用するための加熱チャンバー内で基板の均一加熱を行う。本発明の1つの態様においては、基板が、本体と底部と蓋とを有する絶縁チャンバー内で均一に加熱される。又、チャンバーは、チャンバー内に配置された熱反射板と、この熱反射板に隣接してチャンバー内に配置されたヒーターと、少なくとも2枚の基板をチャンバー内に支持するためにチャンバー内に可動に配置された複数の加熱支持体を備えている。
【0009】
本発明の別の態様においては、基板を均一に加熱する方法であって、基板支持体より若干大きく且つ基板支持体の形状に適合する形状のチャンバー内で複数の加熱支持体に複数の基板を支持させるステップと、約450℃と約600℃の間の処理温度を与えるステップと、チャンバー内を真空にするステップと、基板を均一温度に均一加熱するステップとを備えた方法が提供される。
【0010】
本発明をいかに実施するかを詳細に理解するために、上記で簡単に要約した本発明の更に特定の説明を、添付図面に示されたその実施形態を参照して行う。
【0011】
しかしながら、添付図面は、本発明の典型的な実施形態を例示するものに過ぎず、それ故、本発明の範囲を何ら限定するものではなく、本発明は、他の等しく効果的な実施形態も受け入れることに注意されたい。
【0012】
好ましい実施形態の詳細な説明
本発明の実施形態は、半導体業界で一般に使用され且つここに述べる基板加熱チャンバーをサポートするのに良く適したクラスターツールとしても知られているマルチチャンバー処理システムに特に効果的である。クラスターツールとは、基板を加熱し、中心を見出し、更に、配向、アニール、付着及び/又はエッチングを行うことを含む種々の機能を遂行する多数のチャンバーを備えたモジュラーシステムである。多数のチャンバーは、それらのチャンバー間で基板をシャトル運搬するためのロボットを収容する中央移送チャンバーに取り付けられる。この移送チャンバーは、通常、真空状態に維持され、基板をあるチャンバーから別のチャンバーへ、及び/又はクラスターツールの前端に配置されたロードロックチャンバーへシャトル運搬するための中間段を形成する。
【0013】
図1は、本発明を使用して効果を得るように半導体を処理する典型的な処理システム100の平面図である。この処理システム100は、一般に、複数のチャンバー及びロボットを備え、この処理システム100で行われる種々の処理方法を遂行するようにプログラムされたプロセスシステムコントローラ102が設けられるのが好ましい。前端環境104は、一対のロードロックチャンバー106と選択的に連通するように配置されて示されている。前端環境104に配置されたポッドローダ108A−Bは、ロードロック106と、前端環境104に取り付けられた複数のポッド105との間で基板をシャトル運搬するために、直線運動、回転運動及び垂直運動することができる。
【0014】
ロードロック106は、前端環境104と移送チャンバー110との間の第1真空インターフェイスを形成する。2つのロードロック106は、移送チャンバー110及び前端環境104と交互に連通することでスループットを高めるために設けられている。従って、一方のロードロック106が移送チャンバー110と連通する間に、第2のロードロック106は、前端環境104と連通する。
【0015】
ロボット113は、移送チャンバー110の中央に配置されて、ロードロック106から、種々の処理チャンバー114又は保持チャンバー116の1つへ基板を移送する。処理チャンバー114は、膜の付着、アニール、エッチング等の任意の数のプロセスを実行し、一方、保持チャンバー116は、配向、冷却等を実行する。水素除去やアニールのような熱処理中に基板を加熱するのに使用される加熱チャンバー140が処理システム100内に配置される。この加熱チャンバー140は、通常、処理システム100内で最も効率の良い処理位置に配置されるが、処理システム100内のどこに配置されてもよい。例えば、加熱プロセスステップは、付着プロセスステップの後に行われてもよい。それ故、ロボット113の運動を最小にするために、加熱チャンバー140は、付着プロセスステップに使用される処理チャンバー114の1つに隣接して配置される。
【0016】
図2は、上部区分215(例えば、上部ベルジャ)及び下部区分217(例えば、下部ベルジャ)を備え、上部区分215が、ロード窓235を有する結合本体230により下部区分217から分離された加熱チャンバー140の斜視図である。上部及び下部区分215、217は、結合本体230に密封式に取り付けられ、結合本体230に対してほぼ対称的で且つ同軸的である。上部区分215及び下部区分217は、摩擦嵌合を使用するか、高温に耐えるガスケット又はパテのようなシール剤を使用するか、或いはプロセスに耐え且つ銅のような汚染物のない感圧接着剤、セラミックボンディング、のり等の接着剤を使用して、結合本体230に密封することができる。上部区分215及び下部区分217は、溶接のような従来の手段によるか、或いはボルト、クランプ又はこの技術でよく知られた他の固定具を使用することにより結合本体230に結合することができる。
【0017】
加熱チャンバー140は、上部区分215及び下部区分217を支持するために取り付けフレーム255に取り付けられる。1つの態様において、この取り付けフレーム255は、加熱チャンバー140を移動するために下端に回転取り付けキャスター245、246及び247を含む。取り付けフレーム255は、ボルト、クランプ又はこの技術でよく知られた他の固定具を使用することにより加熱チャンバー140及び結合本体230に取り付けることができる。加熱チャンバー140は、フレーム255に取り付けられるのが好ましいが、スクリュー、ボルト、クリップ等の固定具を使用して移送チャンバー110に取り付けられ支持されてもよい。
【0018】
加熱チャンバー140内で基板を搬送するのに使用されるモーター285は、スクリュー、ボルト、クリップ等の固定具を使用して加熱チャンバー140に取り付けることができる。モーター285は、リードスクリュー288に回転可能に結合される。リードスクリュー288は、フレーム255にスライド可能に結合された架台287に回転可能に結合される。リードスクリュー288がモーター285によって回転されると、架台287が垂直方向に上下される。
【0019】
一実施形態では、加熱チャンバー140からの熱損失を最小にするために、熱絶縁層(図示せず)を使用して加熱チャンバー140が包囲又は包装される。この熱絶縁層は、ガラスファイバー、セラミックファイバー、アスベスト、又は熱損失からの絶縁を与える他の材料のような絶縁材より構成される。一実施形態では、この絶縁層は、熱伝導率が約0.035ワット/m°K未満の柔軟な絶縁セラミックファイバーブランケットより構成され、これは、約30℃の表面温度で安定する。
【0020】
図3は、基板を熱処理するための本発明の加熱チャンバー140の一実施形態の断面図である。加熱チャンバー140は、本体305と、蓋335と、本体305に対して配置されて複数の基板328を加熱するための空洞307を画成する底部316とを備えている。1つの態様において、本体305は、処理温度に耐えるアルミニウム、スチール、ニッケル等の耐プロセス材料で形成され、銅のような汚染物はほぼ存在しない。本体305は、空洞307へと延びるガス導入口360を備え、これは、加熱チャンバー140をプロセスガス供給源(図示せず)に接続し、プロセスガスを送給する。別の態様において、空洞307内に真空を維持するために、真空ポンプ390が真空ポート392を経て空洞307に結合される。
【0021】
基板カセット310が空洞307内に移動可能に配置され、可動部材330の上端に結合される。この可動部材330は、処理温度に耐えるアルミニウム、スチール、ニッケル等の耐プロセス材料で形成され、銅のような汚染物はほぼ存在しない。可動部材330は、底部316を経て空洞307に入る。可動部材330は、底部316を貫通してスライド可能及び密封可能に配置され、架台287により上下される。架台287は、可動部材330の下端を支持し、架台287を上下するのに伴い可動部材330が垂直方向に上下される。可動部材330は、空洞307内でカセット310を垂直方向に上下し、窓235を経て延びる基板移送平面332を横切って基板328を移動させる。基板移送平面332は、それに沿って基板をロボット113によりカセット310に入れたり出したりする経路である。
【0022】
カセット310は、フレーム325により支持された複数の基板加熱棚336を備えている。1つの態様において、図3はカセット310内に12の基板加熱棚336を示しているが、いかなる数の棚を使用してもよいことが意図される。各基板加熱棚336は、ブラケット317によりフレーム325に結合された加熱基板支持体340(例えば、加熱プレート)を備えている。ブラケット317は、加熱基板支持体340の縁をフレーム325に結合するためのもので、感圧接着剤、セラミックボンディング、のり等の接着剤を使用するか、或いはプロセスに耐えるもので銅のような汚染物のないスクリュー、ボルト、クリップ等の固定具を使用して、フレーム325及び加熱基板支持体340の両方に取り付けられる。フレーム325及びブラケット317は、プロセスに耐え且つ銅のような汚染物がほぼ存在しないセラミック、アルミニウム、スチール、ニッケル等の耐プロセス材料で形成される。フレーム325及びブラケット317は、個別の品目であるが、ブラケット317をフレーム325と一体にして、加熱基板支持体340の支持部材を形成することも意図される。1つの態様において、大半の熱を基板328に当てることにより加熱効率を最大にするために、加熱基板支持体340は、基板328に適合し且つそれより若干大きいものであるが、加熱支持体340は、希望の基板加熱を与えるいかなる形状のものでもよいことが意図される。例えば、一実施形態では、加熱支持体340は、基板328が支持体340からの熱に完全に露出されるよう確保するために、基板328より相当大きくてもよい。或いは又、加熱支持体340は、種々のサイズの基板328を受け入れるように形成されてもよい。
【0023】
基板加熱棚336は、カセット310内で垂直方向に平行に離間されて、複数の基板加熱スペース322を画成する。各基板加熱スペース322は、複数の支持ピン342に支持された少なくとも1つの基板328を加熱するように構成される。各基板328の上下の基板加熱棚336は、基板加熱スペース322の上下の境界を確立し、基板328の上面及び下面が熱に曝されるようにする。一実施形態では、基板328の両面を確実に均一加熱するために、上下の境界は、基板328から等距離にある。カセット310の最も上の基板328を確実に加熱するために、最も上の加熱スペース322の上部境界は、空の加熱基板支持体340により確立される。別の実施形態では、アニール、水素除去等の異なるプロセスに対する異なる加熱要件を受け入れるように、間隔及び基板位置が調整される。加熱スペース322の上下境界の間隔は、加熱の速度及び各基板面に当てられる熱の量を増減するように調整される。例えば、加熱スペース322の上下境界の間隔は、加熱基板支持体340からの放射エネルギーを増加して温度及び加熱速度を上げるように狭い間隔にすることもできるし、又は入射する放射エネルギーを減少して基板温度を下げ、基板328の加熱速度を下げるように広い間隔にすることもできる。更に、基板328の各面に異なる量の熱を与えるように、基板328を上下のいずれかの境界に接近して配置することもできる。1つの態様において、生産効率を高めるために、カセット310ができるだけ多数の基板加熱棚336を保持するのを許しながら、基板328を希望の速度及び温度で加熱するように、加熱スペース322の上下の境界の間隔を調整することができる。1つの態様において、上下境界の間隔は、約45mmである。本発明者は、上下境界の間隔が約45mmあれば、基板328を受け入れて、均一に基板を加熱するに充分なスペースがあり、且つ基板加熱棚336の数を最大にするようにチャンバー307内の空間を効率的に利用できると考える。
【0024】
図4は、加熱チャンバー140及び移送チャンバー110の断面図である。加熱チャンバー140は、移送チャンバー110の側壁に形成された開口109に窓235が整列するように配置される。このような位置では、移送チャンバーの開口109と窓235が基板移送アパーチャー372を画成し、これを通して基板328をロボット113で移送することができる。基板移送アパーチャー372は、ゲートバルブやスリットバルブ(図示せず)のような密封装置により選択的に密封される。運転中に、ロボット113は、アーム111に支持されたブレード118に基板328を載せて、処理システム100から基板移送アパーチャー372を通り移送チャンバー110を経て受け取る。ブレード118は、基板移送アパーチャー372を経て加熱チャンバー140へ基板328を送給するように配置される。カセット310は、垂直に上下に移動されて、空の加熱スペース322を基板移送平面332と一線に配置し、基板328を受け取る。アーム111は、基板移送アパーチャー372を経て伸ばされて、基板328を加熱チャンバー140内に配置し、その後、基板328をカセット310内に配置する。アーム111は、基板328を加熱スペース322へ伸ばし、基板328をピン342の上に配置する。一実施形態では、カセット310は、ピン342が基板面に接触して基板328をブレード118から持ち上げるまで垂直方向に移動する。その後、アーム111及びブレード118は、移送チャンバー110へと引っ込められる。別の実施形態では、アーム111及びピン118は、基板328がピン342に接触するまで垂直方向下方に移動する。アーム111及びピン118は、基板328がピン342によって完全に支持されるまで下方に移動し続ける。
【0025】
図5は、加熱チャンバー140の断面上面図で、本発明の一実施形態を示す図である。空洞307は複数の基板328を保持するので、空洞307は、通常1枚の基板328しか保持しない処理チャンバー114及び保持チャンバー116のようなチャンバーより体積が大きい。空洞307の体積が大きいために、真空状態のチャンバー140にかかる外部大気圧は、かなりのものとなる。構造強度を与えると共に、空洞の体積を最小にするために、空洞307は、半円形の形状で、カセット310に合致し、それより若干大きいのが好ましい。他の実施形態では、空洞307の形状が、丸いか、方形か、或いは基板328を受け入れ且つ外部大気圧に耐えるに充分な構造完全性をもつ任意の形状でよいことが意図される。
【0026】
図6は、加熱チャンバー140の部分断面図である。熱反射板320が空洞307内に配置されて、本体305の内面311に間隔をあけて隣接し、空洞307内に反射面を形成する。熱反射板320は、空洞307と内面311との間に放射熱絶縁を与えることにより、本体305による伝導熱損失を最小にする。熱反射板320は、空洞307内の放射熱を、内面311から離れて空洞307の中心へ向うように反射する。熱反射板320は、単一の層である。或いは又、熱反射板320は、多数の層であってもよいし、多数の部片を合成して単一本体を形成するようにしてもよい。熱反射板320は、通常、プロセスに耐えるものであって銅のような汚染物がほぼ存在しないアルミニウム、ニッケル、スチール等の熱伝導体より構成される。空洞307と内面311との間に付加的な絶縁が望まれる場合には、熱反射板320は、プロセスに耐えるものであって銅のような汚染物がほぼ存在しない金属メッキのセラミック、ガラス等の絶縁材より構成される。熱反射板320は、プロセスに耐えるものであって銅のような汚染物がほぼ存在しないアルミニウム、ニッケル、金でメッキされた熱反射内面327又は熱を反射する他の面を含む。熱反射板320は、感圧接着剤、セラミックボンディング、のり等を使用するか或いはプロセスに耐えるものであって銅のような汚染物がほぼ存在しないスクリュー、ボルト、クリップ等の固定具を使用することにより内面311へ接合する等の多数の方法を用いて内面311に取り付けることができる。更に、熱反射板320は、電気メッキ、スパッタリング、陽極酸化等の技術を使用して内面311に付着することができる。一実施形態では、熱反射板320は、絶縁されたスクリュー、ボルト、クリップ等の絶縁された固定具を使用して内面311から離間され、内面311と熱反射板320との間にギャップが形成される。
【0027】
空洞307内には熱反射板320とカセット310との間にヒーター315が配置される。このヒーター315は、カセット310に合致しそれを取り巻く加熱部材を形成する。ヒーター315は、抵抗性ヒーター、加熱ランプ等の1つ以上の発熱素子が、熱を放射するニッケル、スチール、アルミニウム等の熱伝導性材料の1つ又は複数の層内に配置されたものより構成される。ヒーター315の内面331は、高い熱放射率を与えて空洞307内の放射熱の伝達を改善するためにビードブラスト又は陽極酸化処理されるのが好ましいが、大きな表面放射率を与えるための他の形式の表面コンディショニングを使用してもよい。ヒーター315の外面333は、低い放射率を与えるように研磨され、チャンバー本体305への放射熱の伝達が最小にされる。その後の熱処理中に、ヒーター315は、電源(図示せず)により作動され、所望の温度に加熱される。1つの態様では、伝導による熱反射板320への熱伝達を最小にするためにヒーター315と熱反射板320との間にギャップが形成されるが、ヒーター315を熱反射板320に直接接触してもよい。
【0028】
図7及び図8は、効果的に使用できるヒーター315の一実施形態を示す。ヒーター315は、プロセスに耐えるものであって銅のような汚染物がほぼ存在せず且つ空洞307内に均一に熱を放射するアルミニウム、ニッケル、スチール等の熱伝導性材料より構成されるジャケット319を備えている。ジャケット319内に形成されたスロット314内には、連続的な発熱素子317が配置される。この連続的な発熱素子317は、ジャケット319内に熱を放射する。連続的な発熱素子317は、摩擦嵌合によるか、溶接によるか、銅及び/又は銀のような汚染物がほぼ存在しない充填剤313を使用するか、又は感圧接着剤、セラミックボンディング、のり等の接着剤を使用するか、或いはプロセスに耐えるものであって銅のような汚染物がほぼ存在しないスクリュー、ボルト、クリップ等の固定具を使用することにより、スロット314内に固定される。一実施形態では、ジャケット319と連続的な発熱素子317をぴったり嵌合させるために、連続的な発熱素子317は、その膨張係数がジャケット319より高いものとされる。1つの態様では、連続的な発熱素子317の熱膨張係数は、約α=17であり、一方、ジャケット319の熱膨張係数は、約α=13であるが、他の熱膨張係数も効果的に使用できる。
【0029】
一対のカップリング318が外部電源のような電源(図示せず)に接続されて、連続的な発熱素子317へ電力を供給する。連続的な発熱素子317は、一体的な均質な発熱部材として形成されて、ジャケット319全体にわたって均一な発熱を与えるのが好ましいが、抵抗性ヒーター、ランプ等の複数の個々の発熱素子を一緒に接続して連続的な発熱素子317を形成してもよい。更に、ジャケット319は、ジャケット319全体にわたって分散されて別々に接続された複数の個々のヒーターにより加熱されてもよい。
【0030】
ヒーター315は、多数の方法のいずれかを使用することにより空洞307内に固定される。例えば、ヒーター315は、感圧接着剤、セラミックボンディング、のり等の接着剤、或いはプロセスに耐えるものであって銅のような汚染物がほぼ存在しないスクリュー、ボルト、クリップ等の固定具を使用して接合するといった取り付け方法を用いて内面311に取り付けられる。特定の実施形態では、ヒーター315は、これを本体305に取り付けるための取り付けフランジ312を有する上部を含む。この取り付けフランジ312は、ヒーター315と一体であるのが好ましいが、個別部品であってもよい。取り付けフランジ312は、感圧接着剤、セラミックボンディング、のり等の接着剤、或いはプロセスに耐えるものであって銅のような汚染物がほぼ存在しないスクリュー、ボルト、クリップ等の固定具を使用して本体305に取り付けられる。
【0031】
図9は、加熱基板支持体340及び支持ピン342が基板328を離間支持して加熱スペース322の下部を形成する本発明の一実施形態を示す。1つの態様では、支持ピン342の数が少なくとも6本であり、図5に示すように、そのうちの4本の支持ピン342は、基板の外周においてほぼ均一に離間されて縁を完全に支持し、更に、2本の支持ピン342は、基板328の中央付近にある。或いは又、基板328を支持するための任意の構成においていかなる数の支持ピン342が使用されてもよい。支持ピン342は、ポリマー、セラミック等の絶縁材より成り、その断面は基板328との接触を最小にし、且つ加熱基板支持体340と基板328との間の伝導を防止するものであるのが好ましい。付加的な支持強度を得るために、支持ピン342は、伝導を最小にするに充分なほど表面積が小さく且つプロセスに耐えるものであって銅のような汚染物がほぼ存在しないスチール、アルミニウム、ニッケル等の導体より成ってもよい。1つの態様では、支持ピン324は、基板328との接触を最小にするためにとがった尖端を含むが、基板328を支持するための任意の尖端断面及びプロフィール、例えば、加熱基板支持体340への熱伝導を最小にするための丸い尖端、方形の尖端、フラットな尖端等を有してもよい。
【0032】
図10は、ガラスファイバー、ガラス、セラミック、アスベスト等の熱及び電気絶縁材料の層内に複数のプレートヒーター347が配置された加熱基板支持体340の上面図である。プレートヒーター347は、抵抗性ヒーター、放射ランプ等である。プレートヒーター347は、コネクタ345を経て接続された外部電源のような電源(図示せず)により供給される電力により作動される。通常、基板表面の温度は、チャンバー140内の対流及び伝導による基板本体の熱移動と、加熱基板支持体340、支持ピン342及びヒーター315への接近度と、空洞307内の全体的な熱プロフィールとに基づいて変化する。一実施形態では、プレートヒーター347は、基板の熱損失、即ち基板の熱損失プロフィールに適合し且つそれを補償する放射加熱プロフィールを与えるようにパターン化される。例えば、図10に示したプレートヒーター347は、相当量の伝導及び/又は放射熱損失が生じる基板328の角及び縁に熱をより集中的に与えるように、加熱基板支持体340の中央部よりもその角付近の方が互いの間隔がより狭くなっている。熱は、通常、基板の縁から放射する傾向があるが、パターン化された加熱プロフィールは、基板の熱損失プロフィールの変化を包含することも意図される。例えば、プレートヒーター347は、基板の熱損失プロフィールに厳密に適合するようにそのサイズ、間隔、抵抗率、照射、入力電力等を変化することにより可変量の熱出力を発生することができる。更に、加熱基板支持体340は、図3、4及び6に示すように、支持ピン342によって基板328から離間されて、基板328の下面と加熱支持体の上面との間の放射熱を混合することができる。1つの態様において、加熱基板支持体340と基板328との間隔は、約20mmであるが、他の間隔も意図される。加熱基板支持体340からの放射熱は、基板328を加熱する前に混合されて、プレートヒーター構成により形成されるホットスポットを最小にすると考えられるが、プレートヒーターを基板熱損失プロフィールに実質的に合致させた状態で基板328を加熱基板支持体340上に直接配置することも意図される。
【0033】
運転中に、ロボット113が窓235を経て空洞307内の加熱基板支持体340に基板328を載せることにより、加熱チャンバー140の加熱プロセスが開始される。窒素のような不活性プロセスガスがガス導入口360を経て空洞307に流入され、真空ポンプ390により所要のチャンバー圧力に維持される。或いは又、プロセスガスは、特定プロセスのためのフッ素のような活性プロセスガスでもよい。空洞307は、ヒーター315及び加熱基板支持体340によるか又はヒーター315のみによる放射熱で、熱反射板320と協働して、均一基板加熱プロフィールを与えるに充分な所要周囲レベルまで加熱される。個々の基板328は、約350℃ないし約600℃の基板本体温度まで均一に加熱される。基板本体の温度を基準とする温度変動(即ち正規化された温度変動)は、約±5℃から約±10℃である。
【0034】
例えば、本発明による1つの運転方法では、ロボット113が窓235を経て空洞307内の加熱基板支持体340に基板328を載せることにより、加熱チャンバー140の加熱プロセスが開始される。空洞307内には、真空ポンプ390により約0から約0.5Torrの真空が形成される。窒素のようなプロセスガスがガス導入口360を経て空洞307に流入され、真空ポンプ390により約0.0Torrから約0.5Torrのチャンバー圧力に維持される。ヒーター315及び加熱支持体340により基板に熱を付与して、各基板を約450℃から約600℃の温度まで均一に加熱する。各基板は、約450℃の基板本体温度で約±5℃から、約600℃の基板本体温度で約±10℃までの正規化された加熱プロフィールを維持する。例えば、図11は、基板328の温度輪郭マップを例示するもので、約500℃の熱処理中に、正規化値として周辺温度を使用して、基板328の本体にわたる正規化された温度変動を示している。領域350Aは、基準領域であるから、温度変動は0である。領域350Bは、約±1℃の正規化された温度変動を有する。領域350Cは、約±2℃の正規化された温度変動を有する。領域350Dは、約±3℃の正規化された温度変動を有する。領域350Eは、約±5℃の正規化された温度変動を有する。従って、基板328にわたる正規化された温度変動は、約±5℃である。
【0035】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の基本的な範囲を逸脱せずに本発明の他の及び更に別の実施形態も案出できるから、その範囲は、特許請求の範囲によって限定されるものとする。
【図面の簡単な説明】
【0036】
【図1】本発明の加熱チャンバーを含む処理システムの平面図である。
【図2】図1の加熱チャンバーの一実施形態の斜視図である。
【図3】図1の加熱チャンバーの部分断面図で、上部及び下部ベルジャ構成を示す図である。
【図4】図1の加熱チャンバー及び移送チャンバーの部分断面図である。
【図5】図1の加熱チャンバーの部分断面図で、本体、熱反射板及びヒーターを示す図である。
【図6】図5の加熱チャンバーの上部断面図である。
【図7】図5の加熱チャンバーに使用されるヒーターの側面図である。
【図8】図5の加熱チャンバーに使用されるヒーターの部分断面図である。
【図9】図5の加熱チャンバーに使用される加熱基板支持体の斜視図である。
【図10】図5の加熱チャンバーに使用される加熱基板支持体の上面図である。
【図11】図5の加熱チャンバー内で熱処理を受ける基板の温度輪郭を示す図である。
【符号の説明】
【0037】
100・・・処理システム、102・・・プロセスシステムコントローラ、105・・・ポッド、106・・・ロードロックチャンバー、108A、B・・・ポッドローダ、110・・・移送チャンバー、111・・・アーム、113・・・ロボット、114・・・処理チャンバー、116・・・保持チャンバー、118・・・ブレード、140・・・加熱チャンバー、215・・・上部区分(上部ベルジャ)、217・・・下部区分(下部ベルジャ)、230・・・結合本体、235・・・ロード窓、255・・・取り付けフレーム、285・・・モーター、287・・・架台、288・・・リードスクリュー、305・・・本体、307・・・空洞、310・・・基板カセット、315・・・ヒーター、316・・・底部、317・・・発熱素子、319・・・ジャケット、320・・・熱反射板、322・・・基板加熱スペース、325・・・フレーム、328・・・基板、330・・・可動部材、332・・・基板移送平面、335・・・蓋、336・・・基板加熱棚、340・・・加熱基板支持体、342・・・支持ピン、345・・・コネクタ、347・・・プレートヒーター、360・・・ガス導入口、372・・・基板移送アパーチャー、390・・・真空ポンプ
Claims (36)
- 基板を加熱する装置であって、
本体、底部及び蓋を有する絶縁チャンバーと、
上記チャンバー内に配置された熱反射板と、
上記チャンバー内で上記熱反射板に隣接して配置されたヒーターと、
上記チャンバー内に可動に配置されて、少なくとも2枚の基板を支持する複数の加熱支持体と、
を備えた前記装置。 - 上記チャンバー、上記熱反射板及び上記加熱支持体は、ニッケルより構成される、請求項1に記載の装置。
- 上記チャンバーの壁は、上記加熱支持体より若干大きく且つそれに適合する、請求項1に記載の装置。
- 上記ヒーターは、上記加熱支持体を実質的に取り巻く、請求項1に記載の装置。
- 真空を維持するためのポンプを更に備えた、請求項1に記載の装置。
- 上記ヒーターは、内面及び外面を備え、上記内面の熱放射率の値は、上記外面の熱放射率の値より大きい、請求項1に記載の装置。
- 上記ヒーター内に配置された複数の発熱素子を更に備えた、請求項1に記載の装置。
- 上記発熱素子は、抵抗性ヒーター、放射ランプ及びその組合せのグループから選択される、請求項7に記載の装置。
- 上記熱反射板は、熱反射面を備えている、請求項1に記載の装置。
- 上記熱反射板は、ガラス、セラミック及びその組合せのグループから選択された材料より構成される、請求項9に記載の装置。
- 上記熱反射板は、アルミニウム、ニッケル、スチール及びその組合せのグループから選択された材料より構成される、請求項9に記載の装置。
- 上記熱反射面は、アルミニウム、ニッケル、金及びその組合せのグループから選択される、請求項9に記載の装置。
- 上記チャンバーの周りに配置された少なくとも1つの絶縁層を更に備えた、請求項1に記載の装置。
- 上記絶縁層は、熱伝導率が約0.053ワット/m°K未満の柔軟なセラミックファイバーブランケットである、請求項13に記載の装置。
- 上記加熱支持体は、複数の発熱素子を備えている、請求項1に記載の装置。
- 上記発熱素子は、抵抗性ヒーター、放射ランプ及びその組合せのグループから選択される、請求項15に記載の装置。
- 基板を均一に加熱する方法であって、
基板支持体より若干大きく且つその形状に適合する形状とされたチャンバー内で複数の加熱支持体に複数の基板を支持させるステップと、
約450℃から約600℃の処理温度を与えるステップと、
上記チャンバー内に真空を形成するステップと、
上記基板を均一に加熱するステップと、
を備えた前記方法。 - 上記加熱支持体及び上記チャンバーにニッケル面を設けるステップを更に備えた、請求項17に記載の方法。
- 上記基板を均一に加熱する上記ステップは、上記基板の熱損失プロフィールに一致する加熱パターンで上記基板を加熱する段階を含む、請求項17に記載の方法。
- 上記チャンバー内の温度プロフィールを、約450℃より高い処理温度において約±5℃に維持するステップを更に備えた、請求項17に記載の方法。
- 上記チャンバー内の温度プロフィールを、約450℃ないし約600℃の処理温度において約±10℃に維持するステップを更に備えた、請求項17に記載の方法。
- 上記チャンバー内で放射熱を反射するように放射熱反射面を設けるステップを更に備えた、請求項17に記載の方法。
- 上記チャンバーを実質的に取り巻くヒーターを上記チャンバーに設けるステップを更に備えた、請求項17に記載の方法。
- 約450℃より高い基板処理温度において約±5℃未満の正規化された基板温度輪郭を与えるステップを更に備えた、請求項17に記載の方法。
- 約450℃から約600℃の基板処理温度において約±10℃未満の正規化された基板温度輪郭を与えるステップを更に備えた、請求項17に記載の方法。
- 圧力が約0から約0.5Torrのプロセスガスを上記チャンバー内に与えるステップを更に備えた、請求項17に記載の方法。
- 上記プロセスガスは窒素である、請求項26に記載の方法。
- 基板を加熱する装置であって、
複数の基板を保持するための空洞を有するチャンバーと、
上記複数の基板を支持するように上記空洞内に可動に配置された複数の加熱支持体を有する少なくとも1つのカセットと、
上記空洞内に配置され且つ上記少なくとも1つのカセットに放射熱を与えるように位置された加熱層と、
上記空洞内に配置されて、上記加熱支持体の少なくとも一部分を取り巻き、上記空洞を向いた反射面を形成する熱反射板と、
を備えた前記装置。 - 上記加熱チャンバー、上記加熱支持体、上記熱反射板及び上記加熱層は、ほぼ銅が存在しない、請求項28に記載の装置。
- 上記空洞は、上記加熱支持体にほぼ適合する、請求項28に記載の装置。
- 上記加熱層は、上記加熱支持体を実質的に取り巻く、請求項28に記載の装置。
- 上記熱反射板は、熱反射面を含む、請求項28に記載の装置。
- 上記加熱層は、内面及び外面を備え、該内面の熱放射率の値は、該外面の熱放射率の値より大きい、請求項28に記載の装置。
- 真空を維持するためのポンプを更に備えた、請求項28に記載の装置。
- 上記加熱支持体は、上記基板にほぼ均一な加熱を与える、請求項28に記載の装置。
- 上記加熱支持体は、加熱される上記複数の基板のうちの1つ以上の基板の熱損失プロフィールにほぼ一致する加熱プロフィールを形成するように配置された複数の発熱素子を備えた、請求項35に記載の装置。
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Cited By (1)
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JP2006515433A (ja) * | 2002-12-17 | 2006-05-25 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 基板を均等に加熱するためのチャンバ |
US20040226513A1 (en) * | 2003-05-12 | 2004-11-18 | Applied Materials, Inc. | Chamber for uniform heating of large area substrates |
US7727588B2 (en) * | 2003-09-05 | 2010-06-01 | Yield Engineering Systems, Inc. | Apparatus for the efficient coating of substrates |
US20070275570A1 (en) * | 2004-01-20 | 2007-11-29 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Heat Treatment Apparatus |
US20050223986A1 (en) * | 2004-04-12 | 2005-10-13 | Choi Soo Y | Gas diffusion shower head design for large area plasma enhanced chemical vapor deposition |
US8119210B2 (en) | 2004-05-21 | 2012-02-21 | Applied Materials, Inc. | Formation of a silicon oxynitride layer on a high-k dielectric material |
US7666323B2 (en) * | 2004-06-09 | 2010-02-23 | Veeco Instruments Inc. | System and method for increasing the emissivity of a material |
US20060105114A1 (en) * | 2004-11-16 | 2006-05-18 | White John M | Multi-layer high quality gate dielectric for low-temperature poly-silicon TFTs |
US20060182530A1 (en) * | 2005-01-05 | 2006-08-17 | Min-Hsu Wang | Wafer loadlock chamber and wafer holder |
JP2006229040A (ja) * | 2005-02-18 | 2006-08-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 熱処理方法および熱処理装置 |
DE102005040741B4 (de) * | 2005-08-26 | 2007-06-14 | Asys Automatic Systems Gmbh & Co. Kg | Bearbeitungsanlage modularen Aufbaus für flächige Substrate |
US7901662B2 (en) * | 2005-11-01 | 2011-03-08 | Celanese International Corporation | Steam generation apparatus and method |
KR100748176B1 (ko) * | 2005-11-02 | 2007-08-10 | 아프로시스템 주식회사 | 열처리 장치 |
US7678710B2 (en) | 2006-03-09 | 2010-03-16 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for fabricating a high dielectric constant transistor gate using a low energy plasma system |
US7645710B2 (en) | 2006-03-09 | 2010-01-12 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for fabricating a high dielectric constant transistor gate using a low energy plasma system |
US7837838B2 (en) | 2006-03-09 | 2010-11-23 | Applied Materials, Inc. | Method of fabricating a high dielectric constant transistor gate using a low energy plasma apparatus |
US7312422B2 (en) * | 2006-03-17 | 2007-12-25 | Momentive Performance Materials Inc. | Semiconductor batch heating assembly |
DE112007000703B4 (de) * | 2006-03-23 | 2015-09-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Wärmebehandlungsofen |
JP5105396B2 (ja) * | 2006-04-12 | 2012-12-26 | 東京応化工業株式会社 | 加熱処理装置 |
US8741096B2 (en) * | 2006-06-29 | 2014-06-03 | Wonik Ips Co., Ltd. | Apparatus for semiconductor processing |
US7901509B2 (en) * | 2006-09-19 | 2011-03-08 | Momentive Performance Materials Inc. | Heating apparatus with enhanced thermal uniformity and method for making thereof |
US7902018B2 (en) | 2006-09-26 | 2011-03-08 | Applied Materials, Inc. | Fluorine plasma treatment of high-k gate stack for defect passivation |
US20080220150A1 (en) * | 2007-03-05 | 2008-09-11 | Applied Materials, Inc. | Microbatch deposition chamber with radiant heating |
US8317449B2 (en) * | 2007-03-05 | 2012-11-27 | Applied Materials, Inc. | Multiple substrate transfer robot |
US20090004405A1 (en) * | 2007-06-29 | 2009-01-01 | Applied Materials, Inc. | Thermal Batch Reactor with Removable Susceptors |
US8709160B2 (en) * | 2008-08-22 | 2014-04-29 | United Technologies Corporation | Deposition apparatus having thermal hood |
JP5620090B2 (ja) * | 2008-12-15 | 2014-11-05 | キヤノンアネルバ株式会社 | 基板処理装置、熱処理基板の製造方法及び半導体デバイスの製造方法 |
CN102869608A (zh) * | 2010-04-12 | 2013-01-09 | Memc电子材料有限公司 | 包括热辐射屏蔽的用于西门子反应器的钟罩 |
CN102222598B (zh) * | 2010-04-19 | 2015-04-08 | 圆益Ips股份有限公司 | 衬底处理装置 |
CN102300342A (zh) * | 2010-06-24 | 2011-12-28 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种载板加热装置及应用该装置的等离子体处理设备 |
KR101234358B1 (ko) * | 2010-11-02 | 2013-02-28 | 에이피시스템 주식회사 | 지지 유닛 및 이를 구비하는 기판 처리 장치 |
CN103094149A (zh) * | 2011-10-27 | 2013-05-08 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 一种防止晶片翘曲的烘烤装置及其烘烤方法 |
EP2815426B1 (de) | 2012-02-16 | 2020-10-07 | (CNBM) Bengbu Design & Research Institute for Glass Industry Co., Ltd. | Prozessbox, anordnungen und verfahren zum prozessieren beschichteter substrate |
US9581042B2 (en) | 2012-10-30 | 2017-02-28 | United Technologies Corporation | Composite article having metal-containing layer with phase-specific seed particles and method therefor |
KR101391304B1 (ko) * | 2012-11-06 | 2014-05-02 | 주식회사 제우스 | 고온용 케이블과 이것을 이용한 열처리 장치 |
CN104599999A (zh) * | 2013-10-30 | 2015-05-06 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种加热腔室 |
US9915001B2 (en) | 2014-09-03 | 2018-03-13 | Silcotek Corp. | Chemical vapor deposition process and coated article |
CN105624633B (zh) * | 2014-10-28 | 2018-08-24 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种加热腔室及物理气相沉积设备 |
TW201639063A (zh) * | 2015-01-22 | 2016-11-01 | 應用材料股份有限公司 | 批量加熱和冷卻腔室或負載鎖定裝置 |
CN204434500U (zh) * | 2015-03-05 | 2015-07-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种蒸镀载板及蒸镀装置 |
WO2017040623A1 (en) | 2015-09-01 | 2017-03-09 | Silcotek Corp. | Thermal chemical vapor deposition coating |
CN106555159B (zh) * | 2015-09-28 | 2018-12-11 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种基片的加热设备及加热方法 |
US20180240684A1 (en) * | 2015-09-30 | 2018-08-23 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
JP6748491B2 (ja) * | 2016-06-27 | 2020-09-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板に形成された凹部に銅配線を形成するための前処理を行う方法、及び、処理装置 |
KR101910801B1 (ko) * | 2016-10-26 | 2019-01-07 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 방법 |
US11621180B2 (en) | 2016-10-31 | 2023-04-04 | Nissin Ion Equipment Co., Ltd. | Heating device |
JP6296189B1 (ja) * | 2016-10-31 | 2018-03-20 | 日新イオン機器株式会社 | 加熱装置、半導体製造装置 |
CN206157224U (zh) * | 2016-11-24 | 2017-05-10 | 合肥京东方显示技术有限公司 | 一种真空加热装置 |
US10840086B2 (en) * | 2018-04-27 | 2020-11-17 | Applied Materials, Inc. | Plasma enhanced CVD with periodic high voltage bias |
CN108660301A (zh) * | 2018-06-28 | 2018-10-16 | 浙江俊荣五金工业有限公司 | 一种螺钉智能除氢装置 |
WO2020252306A1 (en) | 2019-06-14 | 2020-12-17 | Silcotek Corp. | Nano-wire growth |
KR20210018762A (ko) * | 2019-08-09 | 2021-02-18 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 온도 제어된 화학물질 전달 시스템 및 이를 포함하는 반응기 시스템 |
US20240027295A1 (en) * | 2022-07-19 | 2024-01-25 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for lamp housing crack detection |
Family Cites Families (227)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FI117944B (fi) | 1999-10-15 | 2007-04-30 | Asm Int | Menetelmä siirtymämetallinitridiohutkalvojen kasvattamiseksi |
FI118158B (sv) | 1999-10-15 | 2007-07-31 | Asm Int | Förfarande för modifiering av utgångsämneskemikalierna i en ALD-prosess |
US3862397A (en) * | 1972-03-24 | 1975-01-21 | Applied Materials Tech | Cool wall radiantly heated reactor |
SE393967B (sv) | 1974-11-29 | 1977-05-31 | Sateko Oy | Forfarande och for utforande av stroleggning mellan lagren i ett virkespaket |
FI57975C (fi) | 1979-02-28 | 1980-11-10 | Lohja Ab Oy | Foerfarande och anordning vid uppbyggande av tunna foereningshinnor |
US4389973A (en) | 1980-03-18 | 1983-06-28 | Oy Lohja Ab | Apparatus for performing growth of compound thin films |
FI64878C (fi) | 1982-05-10 | 1984-01-10 | Lohja Ab Oy | Kombinationsfilm foer isynnerhet tunnfilmelektroluminensstrukturer |
JPS6065712A (ja) | 1983-09-20 | 1985-04-15 | Toshiba Corp | 酸化けい素被膜の形成方法 |
US5259881A (en) | 1991-05-17 | 1993-11-09 | Materials Research Corporation | Wafer processing cluster tool batch preheating and degassing apparatus |
US5294286A (en) | 1984-07-26 | 1994-03-15 | Research Development Corporation Of Japan | Process for forming a thin film of silicon |
JPH0766910B2 (ja) | 1984-07-26 | 1995-07-19 | 新技術事業団 | 半導体単結晶成長装置 |
US5693139A (en) | 1984-07-26 | 1997-12-02 | Research Development Corporation Of Japan | Growth of doped semiconductor monolayers |
GB2162207B (en) | 1984-07-26 | 1989-05-10 | Japan Res Dev Corp | Semiconductor crystal growth apparatus |
US5250148A (en) | 1985-05-15 | 1993-10-05 | Research Development Corporation | Process for growing GaAs monocrystal film |
JPS6291495A (ja) | 1985-10-15 | 1987-04-25 | Nec Corp | 半導体薄膜気相成長法 |
EP0250603B1 (en) | 1985-12-09 | 1994-07-06 | Nippon Telegraph and Telephone Corporation | Process for forming thin film of compound semiconductor |
US4917556A (en) | 1986-04-28 | 1990-04-17 | Varian Associates, Inc. | Modular wafer transport and processing system |
US4838983A (en) | 1986-07-03 | 1989-06-13 | Emcore, Inc. | Gas treatment apparatus and method |
US4767494A (en) | 1986-07-04 | 1988-08-30 | Nippon Telegraph & Telephone Corporation | Preparation process of compound semiconductor |
JPH0834180B2 (ja) | 1986-08-26 | 1996-03-29 | セイコー電子工業株式会社 | 化合物半導体薄膜の成長方法 |
JPH0810211B2 (ja) | 1986-09-05 | 1996-01-31 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ及びその製造法 |
JPH0639357B2 (ja) | 1986-09-08 | 1994-05-25 | 新技術開発事業団 | 元素半導体単結晶薄膜の成長方法 |
US5246536A (en) | 1986-09-08 | 1993-09-21 | Research Development Corporation Of Japan | Method for growing single crystal thin films of element semiconductor |
JP2587623B2 (ja) | 1986-11-22 | 1997-03-05 | 新技術事業団 | 化合物半導体のエピタキシヤル結晶成長方法 |
JP2929291B2 (ja) | 1986-12-04 | 1999-08-03 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 絶縁ゲート電界効果トランジスタの製造方法 |
US5882165A (en) | 1986-12-19 | 1999-03-16 | Applied Materials, Inc. | Multiple chamber integrated process system |
US4951601A (en) | 1986-12-19 | 1990-08-28 | Applied Materials, Inc. | Multi-chamber integrated process system |
US5000113A (en) | 1986-12-19 | 1991-03-19 | Applied Materials, Inc. | Thermal CVD/PECVD reactor and use for thermal chemical vapor deposition of silicon dioxide and in-situ multi-step planarized process |
US5923985A (en) | 1987-01-05 | 1999-07-13 | Seiko Instruments Inc. | MOS field effect transistor and its manufacturing method |
DE3704505A1 (de) | 1987-02-13 | 1988-08-25 | Leybold Ag | Einlegegeraet fuer vakuumanlagen |
JPH0812844B2 (ja) | 1987-03-27 | 1996-02-07 | 日本電気株式会社 | ▲iii▼−v族化合物半導体およびその形成方法 |
JPH0727861B2 (ja) | 1987-03-27 | 1995-03-29 | 富士通株式会社 | ▲iii▼−▲v▼族化合物半導体結晶の成長方法 |
DE3721637A1 (de) | 1987-06-30 | 1989-01-12 | Aixtron Gmbh | Gaseinlass fuer eine mehrzahl verschiedener reaktionsgase in reaktionsgefaesse |
US5348911A (en) | 1987-06-30 | 1994-09-20 | Aixtron Gmbh | Material-saving process for fabricating mixed crystals |
JPH0666274B2 (ja) | 1987-07-01 | 1994-08-24 | 日本電気株式会社 | ▲iii▼−v族化合物半導体の形成方法 |
US4840921A (en) | 1987-07-01 | 1989-06-20 | Nec Corporation | Process for the growth of III-V group compound semiconductor crystal on a Si substrate |
FI81926C (fi) | 1987-09-29 | 1990-12-10 | Nokia Oy Ab | Foerfarande foer uppbyggning av gaas-filmer pao si- och gaas-substrater. |
DE3743938C2 (de) | 1987-12-23 | 1995-08-31 | Cs Halbleiter Solartech | Verfahren zum Atomschicht-Epitaxie-Aufwachsen einer III/V-Verbindungshalbleiter-Dünnschicht |
FR2626110A1 (fr) | 1988-01-19 | 1989-07-21 | Thomson Csf | Procede de realisation par epitaxie d'une couche d'un materiau supraconducteur |
US5166092A (en) | 1988-01-28 | 1992-11-24 | Fujitsu Limited | Method of growing compound semiconductor epitaxial layer by atomic layer epitaxy |
US5130269A (en) | 1988-04-27 | 1992-07-14 | Fujitsu Limited | Hetero-epitaxially grown compound semiconductor substrate and a method of growing the same |
ES2060622T3 (es) | 1988-06-03 | 1994-12-01 | Ibm | Metodo para la fabricacion de superconductores de elevada tc, que tienen estructura estratificada. |
US4927670A (en) | 1988-06-22 | 1990-05-22 | Georgia Tech Research Corporation | Chemical vapor deposition of mixed metal oxide coatings |
US5234561A (en) | 1988-08-25 | 1993-08-10 | Hauzer Industries Bv | Physical vapor deposition dual coating process |
US4931132A (en) | 1988-10-07 | 1990-06-05 | Bell Communications Research, Inc. | Optical control of deposition of crystal monolayers |
US5013683A (en) | 1989-01-23 | 1991-05-07 | The Regents Of The University Of California | Method for growing tilted superlattices |
JPH0824191B2 (ja) | 1989-03-17 | 1996-03-06 | 富士通株式会社 | 薄膜トランジスタ |
US5186718A (en) | 1989-05-19 | 1993-02-16 | Applied Materials, Inc. | Staged-vacuum wafer processing system and method |
AU5977190A (en) | 1989-07-27 | 1991-01-31 | Nishizawa, Junichi | Impurity doping method with adsorbed diffusion source |
US5028565A (en) | 1989-08-25 | 1991-07-02 | Applied Materials, Inc. | Process for CVD deposition of tungsten layer on semiconductor wafer |
JP2926798B2 (ja) | 1989-11-20 | 1999-07-28 | 国際電気株式会社 | 連続処理エッチング方法及びその装置 |
CA2031253A1 (en) | 1989-12-01 | 1991-06-02 | Kenji Aoki | Method of producing bipolar transistor |
FI87892C (fi) | 1991-07-16 | 1993-03-10 | Neste Oy | Foerfarande foer framstaellning av heterogena katalysatorer med oenskad metallhalt |
FI84562C (fi) | 1990-01-16 | 1991-12-27 | Neste Oy | Foerfarande och anordning foer framstaellning av heterogena katalysatorer. |
US5290748A (en) | 1990-01-16 | 1994-03-01 | Neste Oy | Polymerization catalyst for olefines |
US5338389A (en) | 1990-01-19 | 1994-08-16 | Research Development Corporation Of Japan | Method of epitaxially growing compound crystal and doping method therein |
JPH07105497B2 (ja) | 1990-01-31 | 1995-11-13 | 新技術事業団 | 半導体デバイス及びその製造方法 |
JP2822536B2 (ja) | 1990-02-14 | 1998-11-11 | 住友電気工業株式会社 | 立方晶窒化ホウ素薄膜の形成方法 |
US5316615A (en) | 1990-03-23 | 1994-05-31 | International Business Machines Corporation | Surfactant-enhanced epitaxy |
JPH042699A (ja) | 1990-04-18 | 1992-01-07 | Mitsubishi Electric Corp | 結晶成長方法 |
US5173474A (en) | 1990-04-18 | 1992-12-22 | Xerox Corporation | Silicon substrate having an epitaxial superconducting layer thereon and method of making same |
US5091320A (en) | 1990-06-15 | 1992-02-25 | Bell Communications Research, Inc. | Ellipsometric control of material growth |
US5225366A (en) | 1990-06-22 | 1993-07-06 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Apparatus for and a method of growing thin films of elemental semiconductors |
US5483919A (en) | 1990-08-31 | 1996-01-16 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Atomic layer epitaxy method and apparatus |
DE4027628A1 (de) | 1990-08-31 | 1992-03-05 | Wolters Peter Fa | Vorrichtung zur steuerung oder regelung von laepp-, hon- oder poliermaschinen |
US5085885A (en) | 1990-09-10 | 1992-02-04 | University Of Delaware | Plasma-induced, in-situ generation, transport and use or collection of reactive precursors |
US5286296A (en) | 1991-01-10 | 1994-02-15 | Sony Corporation | Multi-chamber wafer process equipment having plural, physically communicating transfer means |
US5705224A (en) | 1991-03-20 | 1998-01-06 | Kokusai Electric Co., Ltd. | Vapor depositing method |
US5316793A (en) | 1992-07-27 | 1994-05-31 | Texas Instruments Incorporated | Directed effusive beam atomic layer epitaxy system and method |
US5270247A (en) | 1991-07-12 | 1993-12-14 | Fujitsu Limited | Atomic layer epitaxy of compound semiconductor |
JP2964713B2 (ja) | 1991-07-24 | 1999-10-18 | 松下電器産業株式会社 | 磁気式位置検出装置 |
US6001669A (en) | 1991-09-09 | 1999-12-14 | Philips Electronics North America Corporation | Method for producing II-VI compound semiconductor epitaxial layers having low defects |
US5311055A (en) | 1991-11-22 | 1994-05-10 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Trenched bipolar transistor structures |
JP2987379B2 (ja) | 1991-11-30 | 1999-12-06 | 科学技術振興事業団 | 半導体結晶のエピタキシャル成長方法 |
US5336324A (en) | 1991-12-04 | 1994-08-09 | Emcore Corporation | Apparatus for depositing a coating on a substrate |
US5397428A (en) | 1991-12-20 | 1995-03-14 | The University Of North Carolina At Chapel Hill | Nucleation enhancement for chemical vapor deposition of diamond |
US5256244A (en) | 1992-02-10 | 1993-10-26 | General Electric Company | Production of diffuse reflective coatings by atomic layer epitaxy |
US5480818A (en) | 1992-02-10 | 1996-01-02 | Fujitsu Limited | Method for forming a film and method for manufacturing a thin film transistor |
US5458084A (en) | 1992-04-16 | 1995-10-17 | Moxtek, Inc. | X-ray wave diffraction optics constructed by atomic layer epitaxy |
EP0641493B1 (en) | 1992-05-22 | 2000-06-28 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Ii-vi laser diodes with quantum wells grown by atomic layer epitaxy and migration enhanced epitaxy |
US5278435A (en) | 1992-06-08 | 1994-01-11 | Apa Optics, Inc. | High responsivity ultraviolet gallium nitride detector |
FI91422C (fi) | 1992-06-18 | 1994-06-27 | Mikrokemia Oy | Menetelmä ja laitteisto nestemäisten reagenssien syöttämiseksi kemialliseen reaktoriin |
JPH0750690B2 (ja) | 1992-08-21 | 1995-05-31 | 日本電気株式会社 | ハロゲン化物を用いる半導体結晶のエピタキシャル成長方法とその装置 |
JP3405466B2 (ja) | 1992-09-17 | 2003-05-12 | 富士通株式会社 | 流体切替弁および半導体装置の製造装置 |
US5532511A (en) | 1992-10-23 | 1996-07-02 | Research Development Corp. Of Japan | Semiconductor device comprising a highspeed static induction transistor |
US5455072A (en) | 1992-11-18 | 1995-10-03 | Bension; Rouvain M. | Initiation and bonding of diamond and other thin films |
JPH06177349A (ja) | 1992-12-02 | 1994-06-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高密度dramの製造方法および高密度dram |
US5444217A (en) | 1993-01-21 | 1995-08-22 | Moore Epitaxial Inc. | Rapid thermal processing apparatus for processing semiconductor wafers |
US5607009A (en) | 1993-01-28 | 1997-03-04 | Applied Materials, Inc. | Method of heating and cooling large area substrates and apparatus therefor |
JP3265042B2 (ja) | 1993-03-18 | 2002-03-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜方法 |
JP3124861B2 (ja) | 1993-03-24 | 2001-01-15 | 富士通株式会社 | 薄膜成長方法および半導体装置の製造方法 |
US5443647A (en) | 1993-04-28 | 1995-08-22 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Method and apparatus for depositing a refractory thin film by chemical vapor deposition |
US5330610A (en) | 1993-05-28 | 1994-07-19 | Martin Marietta Energy Systems, Inc. | Method of digital epilaxy by externally controlled closed-loop feedback |
JPH0729897A (ja) | 1993-06-25 | 1995-01-31 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
US6130147A (en) | 1994-04-07 | 2000-10-10 | Sdl, Inc. | Methods for forming group III-V arsenide-nitride semiconductor materials |
JP3474258B2 (ja) * | 1994-04-12 | 2003-12-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置及び熱処理方法 |
JP3181171B2 (ja) | 1994-05-20 | 2001-07-03 | シャープ株式会社 | 気相成長装置および気相成長方法 |
US5665640A (en) | 1994-06-03 | 1997-09-09 | Sony Corporation | Method for producing titanium-containing thin films by low temperature plasma-enhanced chemical vapor deposition using a rotating susceptor reactor |
JP3008782B2 (ja) | 1994-07-15 | 2000-02-14 | 信越半導体株式会社 | 気相成長方法およびその装置 |
US5796116A (en) | 1994-07-27 | 1998-08-18 | Sharp Kabushiki Kaisha | Thin-film semiconductor device including a semiconductor film with high field-effect mobility |
GB2298314A (en) | 1994-08-12 | 1996-08-28 | Samsung Electronics Co Ltd | Apparatus for rapid thermal processing |
TW295677B (ja) | 1994-08-19 | 1997-01-11 | Tokyo Electron Co Ltd | |
US5641984A (en) | 1994-08-19 | 1997-06-24 | General Electric Company | Hermetically sealed radiation imager |
US5730801A (en) | 1994-08-23 | 1998-03-24 | Applied Materials, Inc. | Compartnetalized substrate processing chamber |
US5644128A (en) | 1994-08-25 | 1997-07-01 | Ionwerks | Fast timing position sensitive detector |
US5561735A (en) | 1994-08-30 | 1996-10-01 | Vortek Industries Ltd. | Rapid thermal processing apparatus and method |
US6158446A (en) | 1994-11-14 | 2000-12-12 | Fsi International | Ultra-low particle semiconductor cleaner |
JPH08148431A (ja) | 1994-11-24 | 1996-06-07 | Mitsubishi Electric Corp | Mbe装置、及びガス分岐配管装置 |
FI97730C (fi) | 1994-11-28 | 1997-02-10 | Mikrokemia Oy | Laitteisto ohutkalvojen valmistamiseksi |
FI97731C (fi) | 1994-11-28 | 1997-02-10 | Mikrokemia Oy | Menetelmä ja laite ohutkalvojen valmistamiseksi |
FI100409B (fi) | 1994-11-28 | 1997-11-28 | Asm Int | Menetelmä ja laitteisto ohutkalvojen valmistamiseksi |
WO1996018756A1 (en) | 1994-12-16 | 1996-06-20 | Nkt Research Center A/S | A PA-CVD PROCESS FOR DEPOSITION OF A SOLID METAL-CONTAINING FILM ONTO A SUBSTRATE CONTAINING AT LEAST 50 % of Fe or WC |
JP3288200B2 (ja) | 1995-06-09 | 2002-06-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空処理装置 |
JPH0922896A (ja) | 1995-07-07 | 1997-01-21 | Toshiba Corp | 金属膜の選択的形成方法 |
KR100310249B1 (ko) | 1995-08-05 | 2001-12-17 | 엔도 마코토 | 기판처리장치 |
US5672054A (en) | 1995-12-07 | 1997-09-30 | Carrier Corporation | Rotary compressor with reduced lubrication sensitivity |
US6084302A (en) | 1995-12-26 | 2000-07-04 | Micron Technologies, Inc. | Barrier layer cladding around copper interconnect lines |
US5850071A (en) * | 1996-02-16 | 1998-12-15 | Kokusai Electric Co., Ltd. | Substrate heating equipment for use in a semiconductor fabricating apparatus |
FI107533B (fi) | 1996-04-03 | 2001-08-31 | Fortum Oil & Gas Oy | Kemiallisten reaktioiden suorittamiseen tarkoitetut funktionaaliset pinnat ja menetelmä niiden valmistamiseksi |
US5667592A (en) | 1996-04-16 | 1997-09-16 | Gasonics International | Process chamber sleeve with ring seals for isolating individual process modules in a common cluster |
US5788799A (en) | 1996-06-11 | 1998-08-04 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for cleaning of semiconductor process chamber surfaces |
US6062798A (en) | 1996-06-13 | 2000-05-16 | Brooks Automation, Inc. | Multi-level substrate processing apparatus |
US6046439A (en) | 1996-06-17 | 2000-04-04 | Mattson Technology, Inc. | System and method for thermal processing of a semiconductor substrate |
US5747113A (en) | 1996-07-29 | 1998-05-05 | Tsai; Charles Su-Chang | Method of chemical vapor deposition for producing layer variation by planetary susceptor rotation |
US5830270A (en) | 1996-08-05 | 1998-11-03 | Lockheed Martin Energy Systems, Inc. | CaTiO3 Interfacial template structure on semiconductor-based material and the growth of electroceramic thin-films in the perovskite class |
US5916365A (en) | 1996-08-16 | 1999-06-29 | Sherman; Arthur | Sequential chemical vapor deposition |
JP2923753B2 (ja) | 1996-08-21 | 1999-07-26 | 工業技術院長 | Iii族原子層の形成方法 |
KR100216542B1 (ko) | 1996-08-27 | 1999-08-16 | 정선종 | 펄스 레이저 증착장치용 멀티 타겟 구동장치 |
FI100758B (fi) | 1996-09-11 | 1998-02-13 | Planar Internat Oy Ltd | Menetelmä ZnS:Mn-loisteainekerroksen kasvattamiseksi ohutkalvoelektrol uminenssikomponentteja varten |
US5835677A (en) | 1996-10-03 | 1998-11-10 | Emcore Corporation | Liquid vaporizer system and method |
US5923056A (en) | 1996-10-10 | 1999-07-13 | Lucent Technologies Inc. | Electronic components with doped metal oxide dielectric materials and a process for making electronic components with doped metal oxide dielectric materials |
US5928389A (en) | 1996-10-21 | 1999-07-27 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for priority based scheduling of wafer processing within a multiple chamber semiconductor wafer processing tool |
US5807792A (en) | 1996-12-18 | 1998-09-15 | Siemens Aktiengesellschaft | Uniform distribution of reactants in a device layer |
US6043177A (en) | 1997-01-21 | 2000-03-28 | University Technology Corporation | Modification of zeolite or molecular sieve membranes using atomic layer controlled chemical vapor deposition |
US6051286A (en) | 1997-02-12 | 2000-04-18 | Applied Materials, Inc. | High temperature, high deposition rate process and apparatus for depositing titanium layers |
US5879459A (en) | 1997-08-29 | 1999-03-09 | Genus, Inc. | Vertically-stacked process reactor and cluster tool system for atomic layer deposition |
US6174377B1 (en) | 1997-03-03 | 2001-01-16 | Genus, Inc. | Processing chamber for atomic layer deposition processes |
US5855675A (en) | 1997-03-03 | 1999-01-05 | Genus, Inc. | Multipurpose processing chamber for chemical vapor deposition processes |
JPH10308283A (ja) | 1997-03-04 | 1998-11-17 | Denso Corp | El素子およびその製造方法 |
US5866795A (en) | 1997-03-17 | 1999-02-02 | Applied Materials, Inc. | Liquid flow rate estimation and verification by direct liquid measurement |
US6026762A (en) | 1997-04-23 | 2000-02-22 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for improved remote microwave plasma source for use with substrate processing systems |
US5851849A (en) | 1997-05-22 | 1998-12-22 | Lucent Technologies Inc. | Process for passivating semiconductor laser structures with severe steps in surface topography |
US6140237A (en) | 1997-06-16 | 2000-10-31 | Chartered Semiconductor Manufacturing Ltd. | Damascene process for forming coplanar top surface of copper connector isolated by barrier layers in an insulating layer |
US5882413A (en) | 1997-07-11 | 1999-03-16 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing apparatus having a substrate transport with a front end extension and an internal substrate buffer |
US5904565A (en) | 1997-07-17 | 1999-05-18 | Sharp Microelectronics Technology, Inc. | Low resistance contact between integrated circuit metal levels and method for same |
KR100385946B1 (ko) | 1999-12-08 | 2003-06-02 | 삼성전자주식회사 | 원자층 증착법을 이용한 금속층 형성방법 및 그 금속층을장벽금속층, 커패시터의 상부전극, 또는 하부전극으로구비한 반도체 소자 |
US6287965B1 (en) | 1997-07-28 | 2001-09-11 | Samsung Electronics Co, Ltd. | Method of forming metal layer using atomic layer deposition and semiconductor device having the metal layer as barrier metal layer or upper or lower electrode of capacitor |
KR100269306B1 (ko) | 1997-07-31 | 2000-10-16 | 윤종용 | 저온처리로안정화되는금속산화막으로구성된완충막을구비하는집적회로장치및그제조방법 |
US5904569A (en) | 1997-09-03 | 1999-05-18 | National Semiconductor Corporation | Method for forming self-aligned vias in multi-metal integrated circuits |
US5801634A (en) | 1997-09-08 | 1998-09-01 | Sony Corporation | Signal tower controller |
KR100274603B1 (ko) | 1997-10-01 | 2001-01-15 | 윤종용 | 반도체장치의제조방법및그의제조장치 |
US6110556A (en) | 1997-10-17 | 2000-08-29 | Applied Materials, Inc. | Lid assembly for a process chamber employing asymmetric flow geometries |
KR100252049B1 (ko) | 1997-11-18 | 2000-04-15 | 윤종용 | 원자층 증착법에 의한 알루미늄층의 제조방법 |
US5972430A (en) | 1997-11-26 | 1999-10-26 | Advanced Technology Materials, Inc. | Digital chemical vapor deposition (CVD) method for forming a multi-component oxide layer |
US6099904A (en) | 1997-12-02 | 2000-08-08 | Applied Materials, Inc. | Low resistivity W using B2 H6 nucleation step |
FI104383B (fi) | 1997-12-09 | 2000-01-14 | Fortum Oil & Gas Oy | Menetelmä laitteistojen sisäpintojen päällystämiseksi |
KR100269328B1 (ko) | 1997-12-31 | 2000-10-16 | 윤종용 | 원자층 증착 공정을 이용하는 도전층 형성방법 |
TW439151B (en) | 1997-12-31 | 2001-06-07 | Samsung Electronics Co Ltd | Method for forming conductive layer using atomic layer deposition process |
US6303523B2 (en) | 1998-02-11 | 2001-10-16 | Applied Materials, Inc. | Plasma processes for depositing low dielectric constant films |
US6117244A (en) | 1998-03-24 | 2000-09-12 | Applied Materials, Inc. | Deposition resistant lining for CVD chamber |
US6316098B1 (en) | 1998-03-27 | 2001-11-13 | Yissum Research Development Company Of The Hebrew University Of Jerusalem | Molecular layer epitaxy method and compositions |
KR100282853B1 (ko) | 1998-05-18 | 2001-04-02 | 서성기 | 연속기체분사에의한반도체박막증착장치 |
KR100267885B1 (ko) | 1998-05-18 | 2000-11-01 | 서성기 | 반도체 박막증착장치 |
US6025627A (en) | 1998-05-29 | 2000-02-15 | Micron Technology, Inc. | Alternate method and structure for improved floating gate tunneling devices |
FI105313B (fi) | 1998-06-03 | 2000-07-14 | Planar Systems Oy | Menetelmä ohutkalvo-elektroluminesenssirakenteiden kasvattamiseksi |
NL1009327C2 (nl) | 1998-06-05 | 1999-12-10 | Asm Int | Werkwijze en inrichting voor het overbrengen van wafers. |
US6086677A (en) | 1998-06-16 | 2000-07-11 | Applied Materials, Inc. | Dual gas faceplate for a showerhead in a semiconductor wafer processing system |
US6147334A (en) | 1998-06-30 | 2000-11-14 | Marchi Associates, Inc. | Laminated paddle heater and brazing process |
JP2000031387A (ja) | 1998-07-14 | 2000-01-28 | Fuji Electric Co Ltd | 誘電体薄膜コンデンサの製造方法 |
KR100275738B1 (ko) | 1998-08-07 | 2000-12-15 | 윤종용 | 원자층 증착법을 이용한 박막 제조방법 |
KR20000013654A (ko) | 1998-08-12 | 2000-03-06 | 윤종용 | 원자층 증착 방법으로 형성한 알루미나/알루미늄나이트라이드복합 유전체막을 갖는 캐패시터와 그제조 방법 |
KR100327105B1 (ko) | 1998-08-14 | 2002-03-09 | 오길록 | 고휘도 형광체 및 그 제조방법 |
US6291876B1 (en) | 1998-08-20 | 2001-09-18 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Electronic devices with composite atomic barrier film and process for making same |
FI105643B (fi) | 1998-08-21 | 2000-09-15 | Planar Systems Oy | Ohutkalvo-elektroluminesenssilaite ja menetelmä sen valmistamiseksi |
KR20000022003A (ko) | 1998-09-10 | 2000-04-25 | 이경수 | 금속과규소를포함한3성분질화물막의형성방법 |
FI108375B (fi) | 1998-09-11 | 2002-01-15 | Asm Microchemistry Oy | Menetelmõ eristõvien oksidiohutkalvojen valmistamiseksi |
KR100273474B1 (ko) | 1998-09-14 | 2000-12-15 | 이경수 | 화학기상 증착장치의 가스 공급장치와 그 제어방법 |
KR100331544B1 (ko) | 1999-01-18 | 2002-04-06 | 윤종용 | 반응챔버에 가스를 유입하는 방법 및 이에 사용되는 샤워헤드 |
JP2995300B1 (ja) | 1999-02-03 | 1999-12-27 | 工業技術院長 | 機械要素部品の表面改善方法 |
US6305314B1 (en) | 1999-03-11 | 2001-10-23 | Genvs, Inc. | Apparatus and concept for minimizing parasitic chemical vapor deposition during atomic layer deposition |
US6200893B1 (en) | 1999-03-11 | 2001-03-13 | Genus, Inc | Radical-assisted sequential CVD |
KR100273473B1 (ko) | 1999-04-06 | 2000-11-15 | 이경수 | 박막 형성 방법 |
KR100347379B1 (ko) | 1999-05-01 | 2002-08-07 | 주식회사 피케이엘 | 복수매 기판의 박막 증착 공정이 가능한 원자층 증착장치 |
FI118342B (fi) | 1999-05-10 | 2007-10-15 | Asm Int | Laite ohutkalvojen valmistamiseksi |
JP2000340883A (ja) | 1999-05-27 | 2000-12-08 | Fujitsu Ltd | 多波長発振光半導体装置 |
US6124158A (en) | 1999-06-08 | 2000-09-26 | Lucent Technologies Inc. | Method of reducing carbon contamination of a thin dielectric film by using gaseous organic precursors, inert gas, and ozone to react with carbon contaminants |
JP2000353666A (ja) | 1999-06-11 | 2000-12-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体薄膜およびその製造方法 |
JP4726369B2 (ja) | 1999-06-19 | 2011-07-20 | エー・エス・エムジニテックコリア株式会社 | 化学蒸着反応炉及びこれを利用した薄膜形成方法 |
US6071808A (en) | 1999-06-23 | 2000-06-06 | Lucent Technologies Inc. | Method of passivating copper interconnects in a semiconductor |
WO2000079019A1 (en) | 1999-06-24 | 2000-12-28 | Prasad Narhar Gadgil | Apparatus for atomic layer chemical vapor deposition |
KR100319494B1 (ko) | 1999-07-15 | 2002-01-09 | 김용일 | 원자층 에피택시 공정을 위한 반도체 박막 증착장치 |
US6391785B1 (en) | 1999-08-24 | 2002-05-21 | Interuniversitair Microelektronica Centrum (Imec) | Method for bottomless deposition of barrier layers in integrated circuit metallization schemes |
US6511539B1 (en) | 1999-09-08 | 2003-01-28 | Asm America, Inc. | Apparatus and method for growth of a thin film |
TW515032B (en) | 1999-10-06 | 2002-12-21 | Samsung Electronics Co Ltd | Method of forming thin film using atomic layer deposition method |
FI117942B (fi) | 1999-10-14 | 2007-04-30 | Asm Int | Menetelmä oksidiohutkalvojen kasvattamiseksi |
AU1088401A (en) | 1999-10-15 | 2001-04-30 | Asm Microchemistry Oy | Deposition of transition metal carbides |
DE60028394T2 (de) | 1999-10-15 | 2007-03-29 | Asm International N.V. | Konforme auskleidungsschichten für damaszenmetallisierungen |
EP1221178A1 (en) | 1999-10-15 | 2002-07-10 | ASM America, Inc. | Method for depositing nanolaminate thin films on sensitive surfaces |
US6203613B1 (en) | 1999-10-19 | 2001-03-20 | International Business Machines Corporation | Atomic layer deposition with nitrate containing precursors |
SG99871A1 (en) | 1999-10-25 | 2003-11-27 | Motorola Inc | Method for fabricating a semiconductor structure including a metal oxide interface with silicon |
KR20010047128A (ko) | 1999-11-18 | 2001-06-15 | 이경수 | 액체원료 기화방법 및 그에 사용되는 장치 |
FI118804B (fi) | 1999-12-03 | 2008-03-31 | Asm Int | Menetelmä oksidikalvojen kasvattamiseksi |
KR100330749B1 (ko) | 1999-12-17 | 2002-04-03 | 서성기 | 반도체 박막증착장치 |
FI118474B (fi) | 1999-12-28 | 2007-11-30 | Asm Int | Laite ohutkalvojen valmistamiseksi |
FI118343B (fi) | 1999-12-28 | 2007-10-15 | Asm Int | Laite ohutkalvojen valmistamiseksi |
JP4817210B2 (ja) | 2000-01-06 | 2011-11-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置および成膜方法 |
JP3479020B2 (ja) * | 2000-01-28 | 2003-12-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置 |
JP4362919B2 (ja) | 2000-02-04 | 2009-11-11 | 株式会社デンソー | 原子層エピタキシャル成長法による成膜方法 |
JP4776054B2 (ja) | 2000-02-04 | 2011-09-21 | 株式会社デンソー | 原子層成長による薄膜形成方法 |
KR100378871B1 (ko) | 2000-02-16 | 2003-04-07 | 주식회사 아펙스 | 라디칼 증착을 위한 샤워헤드장치 |
US6492283B2 (en) | 2000-02-22 | 2002-12-10 | Asm Microchemistry Oy | Method of forming ultrathin oxide layer |
JP4211185B2 (ja) | 2000-02-29 | 2009-01-21 | 株式会社デンソー | Cvd,ale装置用ガラス基板収納治具 |
DE60125338T2 (de) | 2000-03-07 | 2007-07-05 | Asm International N.V. | Gradierte dünne schichten |
JP4556282B2 (ja) | 2000-03-31 | 2010-10-06 | 株式会社デンソー | 有機el素子およびその製造方法 |
FI117980B (fi) | 2000-04-14 | 2007-05-15 | Asm Int | Menetelmä ohutkalvon kasvattamiseksi alustalle |
TW496907B (en) | 2000-04-14 | 2002-08-01 | Asm Microchemistry Oy | Method and apparatus of growing a thin film onto a substrate |
KR100363088B1 (ko) | 2000-04-20 | 2002-12-02 | 삼성전자 주식회사 | 원자층 증착방법을 이용한 장벽 금속막의 제조방법 |
FI118805B (fi) | 2000-05-15 | 2008-03-31 | Asm Int | Menetelmä ja kokoonpano kaasufaasireaktantin syöttämiseksi reaktiokammioon |
JP2001328900A (ja) | 2000-05-15 | 2001-11-27 | Denso Corp | 薄膜の形成方法 |
KR100332314B1 (ko) | 2000-06-24 | 2002-04-12 | 서성기 | 박막증착용 반응용기 |
KR100332313B1 (ko) | 2000-06-24 | 2002-04-12 | 서성기 | Ald 박막증착장치 및 증착방법 |
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2004
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Cited By (4)
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