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2019-01-17 |
2023-10-21 |
荷蘭商Ａｓｍ 智慧財產控股公司 |
藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法
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JP7190915B2
(ja)
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2019-01-18 |
2022-12-16 |
東京エレクトロン株式会社 |
基板処理装置の洗浄方法、および基板処理装置
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(ja)
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東京エレクトロン株式会社 |
成膜方法、成膜処理用の処理容器のクリーニング方法及び成膜装置
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TWI845607B
(zh)
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2019-02-20 |
2024-06-21 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用來填充形成於基材表面內之凹部的循環沉積方法及設備
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TWI873122B
(zh)
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2019-02-20 |
2025-02-21 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
填充一基板之一表面內所形成的一凹槽的方法、根據其所形成之半導體結構、及半導體處理設備
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TWI838458B
(zh)
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2019-02-20 |
2024-04-11 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於3d nand應用中之插塞填充沉積之設備及方法
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TWI842826B
(zh)
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2019-02-22 |
2024-05-21 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
基材處理設備及處理基材之方法
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(ko)
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KR102858005B1
(ko)
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2019-03-08 |
2025-09-09 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체
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JP2020167398A
(ja)
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2019-03-28 |
2020-10-08 |
エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
ドアオープナーおよびドアオープナーが提供される基材処理装置
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東京エレクトロン株式会社 |
基板処理装置
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기상 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
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(ko)
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2019-05-07 |
2020-11-18 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
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표면 상에 재료를 증착하는 방법 및 본 방법에 따라 형성된 구조
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エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
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Susceptor shaft
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Susceptor shaft
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半導體裝置的製造方法，基板處理裝置及程式
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
가스 감지기를 포함하는 기상 반응기 시스템
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(ko)
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
석영 에피택셜 챔버를 세정하는 방법
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(ko)
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2019-06-11 |
2020-12-23 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조
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KR102648925B1
(ko)
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2024-03-18 |
와틀로 일렉트릭 매뉴팩츄어링 컴파니 |
가스 라인 성능을 예측하고 제어하는 시스템 및 방법
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KR20210005515A
(ko)
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2021-01-14 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 장치용 온도 제어 조립체 및 이를 사용하는 방법
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同軸導波管を用いたプラズマ装置、基板処理方法
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Asm Ip私人控股有限公司 |
基板支撑组件及包括其的基板处理装置
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Asm Ip私人控股有限公司 |
基板处理装置
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법
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(ko)
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2019-07-17 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
라디칼 보조 점화 플라즈마 시스템 및 방법
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形成拓扑受控的无定形碳聚合物膜的方法
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於利用n型摻雜物及/或替代摻雜物選擇性沉積以達成高摻雜物併入之方法
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CN112309899B
(zh)
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基板处理设备
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 장치 및 방법
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Asmip私人控股有限公司 |
基板处理设备
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Vertical batch furnace assembly
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Vertical batch furnace assembly
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包括冷却装置的加热器组件及其使用方法
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Susceptor shaft
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2019-09-04 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
희생 캡핑 층을 이용한 선택적 증착 방법
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2019-09-05 |
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通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法
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활성 종을 이용하기 위한 가스 분배 어셈블리를 포함한 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
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기판 표면 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
가스 공급 어셈블리, 이의 구성 요소, 및 이를 포함하는 반응기 시스템
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수광 장치를 포함하는 기판 처리 장치 및 수광 장치의 교정 방법
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氣體分配總成、噴淋板總成、及調整至反應室之氣體的傳導率之方法
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(zh)
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於生長磷摻雜矽層之方法
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Lockout tagout assembly and system and method of using same
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
불소계 라디칼을 이용하여 반응 챔버의 인시츄 식각을 수행하기 위한 장치 및 방법
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