JP6581552B2 - クリーニング方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、及びプログラム - Google Patents
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Description
処理容器内で基板上に膜を形成する処理を行った後、前記処理容器内へクリーニングガスを供給して前記処理容器内に付着した堆積物を除去する工程を有し、
前記堆積物を除去する工程は、
前記処理容器内を排気する排気管と前記処理容器とを接続する接続部の温度が第1の温度より低い時、第1の流量で前記クリーニングガスを前記処理容器内へ供給する第1の工程と、
前記接続部の温度が第1の温度に達したら、前記第1の流量から前記第1の流量より小さい第2の流量へ前記クリーニングガスの流量を漸次減少させながら前記クリーニングガスを前記処理容器内へ供給する第2の工程と、を有する技術が提供される。
複数枚のウエハWがボート26に装填(ウエハチャージ)されると、ボート26は、ボートエレベータ32によって処理室14内に搬入(ボートロード)され、反応管10の下部開口は蓋部22によって気密にシールされた状態となる。
処理室14内が所定の圧力(真空度)となるように、真空ポンプ52によって真空排気(減圧排気)される。処理室14内の圧力は、圧力センサ48で測定され、この測定された圧力情報に基づきAPCバルブ50が、フィードバック制御される。また、処理室14内のウエハWが所定の温度となるように、ヒータ12によって加熱される。この際、処理室14が所定の温度分布となるように、温度検出部16が検出した温度情報に基づきヒータ12への通電具合がフィードバック制御される。また、回転機構30によるボート26およびウエハWの回転を開始する。また、排気配管46の温度が、処理室14内の温度より低く、後述する耐性温度より高い所定の温度となるように、配管加熱ヒータ47へ通電し、配管加熱ヒータ47によって排気接続部45を加熱する。このように配管加熱ヒータ47によって排気接続部45を加熱することにより、成膜処理において排気接続部45内部に堆積物が付着することを抑制することができる。
[原料ガス供給工程]
処理室14内の温度が予め設定された処理温度に安定し、また、排気接続部45が所定の温度に達すると、処理室14内のウエハWに対してDCSガスを供給する。DCSガスは、MFC38aにて所望の流量となるように制御され、ガス供給管36aおよびノズル44aを介して処理室14内に供給される。
次に、DCSガスの供給を停止し、真空ポンプ52により処理室14内を真空排気する。この時、不活性ガス供給部から不活性ガスとしてN2ガスを処理室14内に供給しても良い(不活性ガスパージ)。
次に、処理室14内のウエハWに対してNH3ガスを供給する。NH3ガスは、MFC38bにて所望の流量となるように制御され、ガス供給管36bおよびノズル44bを介して処理室14内に供給される。
次に、NH3ガスの供給を停止し、真空ポンプ52により処理室14内を真空排気する。この時、不活性ガス供給部からN2ガスを処理室14内に供給しても良い(不活性ガスパージ)。
所定膜厚の膜を形成した後、不活性ガス供給部からN2ガスが供給され、処理室14内がN2ガスに置換されると共に、処理室14の圧力が常圧に復帰される。その後、ボートエレベータ32により蓋部22が降下されて、ボート26が反応管10から搬出(ボートアンロード)される。その後、処理済ウエハWはボート26より取出される(ウエハディスチャージ)。
処理温度(ウエハ温度):300℃〜700℃、
処理圧力(処理室内圧力)1Pa〜4000Pa、
DCSガス:100sccm〜10000sccm、
NH3ガス:100sccm〜10000sccm、
N2ガス:100sccm〜10000sccm、
それぞれの処理条件を、それぞれの範囲内の値に設定することで、成膜処理を適正に進行させることが可能となる。
成膜処理を行うと、処理容器内(処理室内)、排気接続部内および排気配管内に薄膜を含む堆積物が付着することがある。これらの堆積物除去のためにクリーニング処理を行うと、処理室内、排気接続部内および排気配管内で堆積物とクリーニングガスとが反応する時に発熱(反応熱)が発生することがある。排気接続部や排気配管は金属製であり、耐性温度より高い温度でクリーニングガスと接触すると、腐食してしまい、パーティクルが発生してしまうことがある。そのため、排気接続部や排気配管が耐性温度以下の温度を維持しつつクリーニングを行う必要がある。ここで、耐性温度とは、クリーニングガスとの接触により排気接続部や排気配管といった金属部材に腐食が生じない上限温度である。耐性温度を超えると、クリーニングガスとの接触により金属部材に腐食が発生する。
成膜処理が終了したら、処理容器内、すなわち、処理室14内、排気接続部45内および排気配管46内のクリーニングを実施する。クリーニングに際しては、例えば、F2(フッ素)ガスとNO(一酸化窒素)ガスを使用する。先ず、ボート26が、ボートエレベータ32によって処理室14内に搬入され、反応管10の下部開口は蓋部22によって気密にシールされる。次に、配管加熱ヒータ47への通電を停止し、配管加熱ヒータ47による排気接続部45の加熱を停止する。排気接続部45の温度が耐性温度より低い所定の温度(例えば、120℃)以下まで降下すると、クリーニング工程が開始される。なお、排気接続部45の温度は温度検出器49により検出される。クリーニング工程においては配管加熱ヒータ47をOFFとしているため、配管加熱ヒータ47に設置される温度検出器49が検出する温度は、排気接続部45の温度と略同一と考えることができる。
第1の流量aでクリーニングガスを処理室14内へ供給する。処理室14内への第1の流量aでのクリーニングガスの供給は、排気接続部45の温度が第1の温度dに達するまで継続される。ここで、第1の流量aは、処理室14内へ供給することができるクリーニングガスの最大流量である。最大流量でクリーニングガスを処理室14内へ供給することにより、処理室14内の堆積物の大部分を一気に除去することができる。第1の流量aでクリーニングガスを供給する時、処理室14内の堆積物とクリーニングガスとの反応量が大きいため、処理室14内の温度が上昇し、排気接続部45を通過するガスの温度が高くなる。これに伴い、排気接続部45の温度が急激に上昇する。すなわち、第1のステップにおいては、排気接続部45の温度は、処理室14内の反応による発熱の影響が大きい。ここで、第1の温度dは、クリーニングガスの供給流量を第1の流量aから減少させることによって、排気接続部45の温度が後述する第2の温度c(耐性温度)に収束させることができる上限温度である。例えば、第1の温度dよりも高い温度の時に、クリーニングガスの供給流量を第1の流量aから減少させると、排気接続部45の温度の収束が間に合わず、結果として耐性温度を超過してしまう。
排気接続部45の温度が第1の温度dに達すると、第1の流量aより低い流量の第2の流量bへクリーニングガスの流量を漸次減少させながら前記クリーニングガスを前記処理室14内へ供給する。この時、クリーニングガスの流量を指数的に減少させるようにすると良い。第2のステップにおいては、排気接続部45の温度は、処理室14内の反応による発熱と排気接続部45内の反応による発熱とに影響される。クリーニングガスの流量を指数的に減少させることにより、排気接続部45の温度を耐性温度へ収束させることができる。
排気接続部45の温度が第1の温度dより高い第2の温度cに達すると、排気接続部45の温度が第2の温度cに収束し、さらに、第2の温度cを維持するように、第2の流量bより小さい流量で、流量の増減を繰り返しつつ漸次減少させながらクリーニングガスを処理室14内へ供給する。ここで、排気接続部45の温度は第2の温度cへは完全に達していなくても良い。例えば、第2の温度cに近い温度であって、クリーニングガスの流量を第2の流量bより小さい流量にしたとしても、緩やかに第2の温度cへ到達(収束)する温度であれば、実質的に第2の温度cと同等とみなすことができる。第3のステップにおいては、排気接続部45の温度は排気接続部45内の反応による発熱の影響が大きい。排気接続部45内の反応は緩やかに進行するため、クリーニングガスの供給流量と排気接続部45の温度上昇とに時間差が生じる。よって、クリーニングガスの流量が増減を繰り返しつつ漸次減少するように制御することで、排気接続部45内の反応熱により、排気接続部45が耐性温度を超えないように制御することが可能となる。また、クリーニングガスの流量を増減させながら処理室14内にクリーニングガスを供給することにより、処理室14内の圧力も増減させることができるため、処理室14内のすみずみまでクリーニングガスを行き渡らせることができる。さらに、処理室14内の排気をスムーズにすることができるため、クリーニング性を向上させることができる。
本実施形態によれば、以下に示す1つ又は複数の効果が得られる。
(2)排気接続部の温度に基づいてクリーニング処理を行うことにより、金属部材の腐食を防止し、パーティクルの発生を抑制することができる。これにより、製品の歩留まりを向上させることができる。また、排気接続部は反応管に一番近い位置に設置されており、反応管内の影響を一番大きく受ける。そのため、排気接続部のみを監視することにより、それより後段の排気配管部分の腐食も同時に抑制することができる。
(3)排気接続部の温度を、排気接続部を加熱するヒータの温度検出器により検出することにより、装置構成を簡略化することができ、コストを低減させることができる。
上述の実施形態においては、排気接続部45の温度が耐性温度を超えないようにクリーニングガスの流量を制御したが、排気接続部45内の堆積物とクリーニングガスとの反応量が閾値を超えないようにクリーニングガスの流量を制御することも可能である。
12 ヒータ
14 処理室
49 温度検出器
100 コントローラ
Claims (5)
- 処理容器内で基板上に膜を形成する処理を行った後、前記処理容器内へクリーニングガスを供給して前記処理容器内に付着した堆積物を除去する工程を有し、
前記堆積物を除去する工程は、
前記処理容器内を排気する排気管と前記処理容器とを接続する接続部の温度が第1の温度より低い時、第1の流量で前記クリーニングガスを前記処理容器内へ供給する第1の工程と、
前記接続部の温度が第1の温度に達したら、前記第1の流量から前記第1の流量より小さい第2の流量へ前記クリーニングガスの流量を漸次減少させながら前記クリーニングガスを前記処理容器内へ供給する第2の工程と、
前記接続部の温度が前記第1の温度より高い第2の温度に達したら、前記第2の温度を維持するように、前記第2の流量より小さい流量で、前記クリーニングガスの流量の増減を繰り返しつつ漸次減少させながら前記クリーニングガスを前記処理容器内へ供給する第3の工程と、を有するクリーニング方法。 - 前記膜は、シリコン窒化膜であり、
前記クリーニングガスは、F 2 ガスとNOガスを含み、前記堆積物を除去する工程の間、F 2 ガスの流量とNOガスの流量の割合は一定となるように制御される請求項1に記載のクリーニング方法。 - 処理容器内の基板上に膜を形成する工程と、
前記処理容器内へクリーニングガスを供給して前記処理容器内に付着した堆積物を除去する工程と、を有し、
前記堆積物を除去する工程は、
前記処理容器内を排気する排気管と前記処理容器とを接続する接続部の温度が第1の温度より低い時、第1の流量で前記クリーニングガスを前記処理容器内へ供給する第1の工程と、
前記接続部の温度が第1の温度に達したら、前記第1の流量から前記第1の流量より小さい第2の流量へ前記クリーニングガスの流量を漸次減少させながら前記クリーニングガスを前記処理容器内へ供給する第2の工程と、
前記接続部の温度が前記第1の温度より高い第2の温度に達したら、前記第2の温度を維持するように、前記第2の流量より小さい流量で、前記クリーニングガスの流量の増減を繰り返しつつ漸次減少させながら前記クリーニングガスを前記処理容器内へ供給する第3の工程と、を有する半導体装置の製造方法。 - 基板を内部に収容する処理容器と、
前記処理容器内の基板に対して成膜ガスを供給する成膜ガス供給部と、
前記処理容器内へクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給部と、
前記処理容器内を排気する排気管と前記処理容器とを接続する接続部と、
前記処理容器内の前記基板に対して前記成膜ガスを供給することで膜を形成する処理と、前記処理容器内へ前記クリーニングガスを供給して前記処理容器内に付着した堆積物を除去する処理と、を行わせ、前記堆積物を除去する処理では、前記接続部の温度が第1の温度より低い時、第1の流量で前記クリーニングガスを前記処理容器内へ供給する第1の処理と、前記接続部の温度が第1の温度に達したら、前記第1の流量から前記第1の流量より小さい第2の流量へ前記クリーニングガスの流量を漸次減少させながら前記クリーニングガスを前記処理容器内へ供給する第2の処理と、前記接続部の温度が前記第1の温度より高い第2の温度に達したら、前記第2の温度を維持するように、前記第2の流量より小さい流量で、前記クリーニングガスの流量の増減を繰り返しつつ漸次減少させながら前記クリーニングガスを前記処理容器内へ供給する第3の処理と、を行わせるように、前記成膜ガス供給部および前記クリーニングガス供給部を制御する制御部と、
を有する基板処理装置。 - 基板処理装置の処理容器内の基板上に膜を形成する手順と、
前記処理容器内へクリーニングガスを供給して前記処理容器内に付着した堆積物を除去する手順と、を有し、
前記堆積物を除去する手順では、
前記処理容器内を排気する排気管と前記処理容器とを接続する接続部の温度が第1の温度より低い時、第1の流量で前記クリーニングガスを前記処理容器内へ供給する第1の手順と、
前記接続部の温度が第1の温度に達したら、前記第1の流量から前記第1の流量より小さい流量の第2の流量へ前記クリーニングガスの流量を漸次減少させながら前記クリーニングガスを前記処理容器内へ供給する第2の手順と、前記接続部の温度が前記第1の温度より高い第2の温度に達したら、前記第2の温度を維持するように、前記第2の流量より小さい流量で、前記クリーニングガスの流量の増減を繰り返しつつ漸次減少させながら前記クリーニングガスを前記処理容器内へ供給する第3の手順と、をコンピュータによって前記基板処理装置に実行させるプログラム。
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