JP2001051437A

JP2001051437A - 電子写真感光体の製造方法

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Publication number: JP2001051437A
Application number: JP11337468A
Authority: JP
Inventors: Yoichi Kawamorita; 陽一川守田; Tomohiro Kimura; 知裕木村; Yoshihiko Hyozu; 善彦兵主; Shigeto Tanaka; 成人田中; Hideaki Nagasaka; 秀昭長坂; Koichi Suzuki; 幸一鈴木
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1998-11-27
Filing date: 1999-11-29
Publication date: 2001-02-23
Anticipated expiration: 2019-11-29
Also published as: CN1258023A; JP4143238B2; CN1248060C; DE69932993T2; US6432603B1; EP1004939B1; US20020110749A1; EP1004939A1; DE69932993D1

Abstract

(57)【要約】【課題】いかなる環境においても画像欠陥が発生せ
ず、また電位変動の少ない良好な電子写真特性を有する
電子写真感光体を容易にかつ安価に安定して製造できる
方法を提供する。【解決手段】アルミニウム基体を酸及びアルカリの少
なくとも一方を用いてエッチング処理する工程またはア
ルミニウム基体を累積百分率の５０％径が５〜６０μｍ
である球状研磨剤を５体積％以上含有する研磨液を用い
て研磨する工程、該エッチングまたは研磨処理されたア
ルミニウム基体をチタニウムの塩またはジルコニウムの
塩を含有する酸性水溶液で化成処理する工程、及び感光
層を形成する工程を有することを特徴とする電子写真感
光体の製造方法である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は電子写真感光体の製
造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】電子写真感光体は、基本的には帯電及び
光を用いた露光により潜像を形成する感光層と、その感
光層を設ける基体からなっている。

【０００３】一方、電子写真感光体は、適用される電子
写真プロセスに応じた感度、電気特性及び光学的特性を
備えていることが要求される。

【０００４】更に、低温低湿から高温高湿のいずれの環
境においても、その特性が十分に発揮されるような環境
安定性を有していることが要求される。

【０００５】画像欠陥の代表的なものとしては、画像ス
ジ、白地部分の黒点、黒地部分の白点、白地部分の地カ
ブリ、更には、デジタル複写機やレーザービームプリン
ター等の単一波長を有する光源を使用して露光を行う装
置の場合には、基体の表面形状や感光体の膜厚ムラ等の
要因によって発生する干渉縞等がある。

【０００６】従って、感光体を作製する場合、これらの
画像欠陥が発生しないようにあらかじめ何らかの対策を
施しておく必要がある。

【０００７】上記のような画像欠陥が発生する場合に大
きな影響を与える要因として、基体の表面の状態が挙げ
られる。

【０００８】成形後何らかの処理が施されていない基体
は、通常そのままでは必ずしも感光体として最適な表面
状態を有していない。そのため表面状態に起因する問題
が発生することも多い。

【０００９】この問題を解決するため従来より、例えば
特開平１−１２３２４６号公報及び特開昭６４−８６１
５３号公報においては、アルミニウム基体の表面を旋盤
により切削加工した後に、感光層を形成することが行わ
れている。特に、デジタル用の感光体は基体の表面を適
度な凹凸状に切削することにより干渉縞を防止すること
が提案されている。

【００１０】しかしながら、アルミニウム基体を切削し
た場合、周方向に連続した加工跡が残るため、中間調の
画像にスジ状の画像欠陥が現れたり、また、特に、デジ
タル画像とレーザーの走査線との関係からモアレが生じ
易かった。

【００１１】また、特開平７−４３９２２号公報及び特
開平８−１５１０号公報においては、基体の外周面をロ
ーラーバニッシング加工を行うことが記載されている。
この方法は規則性のない凹凸面が得られるが、硬い砥石
を高速で回転させて円筒表面を削るため、砥粒の脱落
や、切粉の影響により、円筒表面の所々に深い傷が付き
易く、その傷が感光体を製造したときに、画像欠陥の原
因となることがあった。

【００１２】また、特開平６−３５２１６号公報、特許
第２６６８９８５号、特公平７−１５５８９号公報及び
特開平９−１７９３２２号公報においては、アルミニウ
ム基体の表面を湿式ホーニングにより研磨する方法が記
載されている。この方法は規則性のない凹凸面を得る方
法としては有効な方法であるが、基体からの電荷の注入
を防ぐものではない。

【００１３】一方、例えば特開昭５４−１２７３３号公
報及び特開昭５７−６２０５６号公報等に示されている
ような、アルミニウム基体の表面にクロメート処理を行
い、クロメート化成皮膜を生成させる方法や特開昭５８
−１４８４１号公報及び特開昭６４−２９８５２号公報
等に示されているような、アルミニウム基体の表面にベ
ーマイト皮膜を形成する方法、あるいは特開昭５７−２
９０５１号公報に示されているような、アルミニウム基
体の表面を高温により強制的に酸化し、酸化皮膜を形成
する方法等の方法が考えられてきた。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例えば
クロメート処理法に関してはある程度の性能の基体は得
られるが、処理液がクロムを含有するため廃液の処理が
非常に困難であり、また環境安全上好ましくない。

【００１５】ベーマイト処理に関しては、表面の結晶状
態が必ずしも電子写真感光体の基体に適しているとはい
えず、電子写真特性に関してはある程度の効果が得られ
るが、画像に関しては表面構造や形状が不適切なため十
分な画質が得られない等、全ての特性を満足するような
ものは得られていないのが現状である。

【００１６】これらの表面処理は、基体表面に形成され
た皮膜が、基体から感光層へ部分的に注入した電荷によ
って、電子写真特性や画像にムラを生じるのを防ぐこと
を目的としている。

【００１７】この部分的な注入を防止して画像欠陥をな
くす方法として、アルミニウム基体の表面を陽極酸化処
理して酸化アルミニウムの層を設ける方法がある（特開
平２−７０７０号公報及び特開平５−３４９６４号公報
等）。

【００１８】この方法は、上記目的を解決するためには
良い方法であるが、基体表面に膜厚ムラを生じないよう
に均一に形成するためには、膜厚を一定以上、通常の形
成条件においては５〜６μｍ程度以上にする必要があ
る。従って、実際に電荷注入防止層として必要な膜厚よ
りもはるかに厚く形成しなければならず、コストアップ
につながっていた。

【００１９】従って、本発明の目的は、低温低湿から高
温高湿のいかなる環境においても画像欠陥が発生せず、
また電位変動の少ない良好な電子写真特性を有する電子
写真感光体を容易に、かつ安価に安定して製造すること
ができる方法を提供することにある。

【００２０】

【課題を解決するための手段】上記の問題を解決するた
めに検討を行った結果、電子写真感光体に用いられるア
ルミニウム基体の表面に特定の化成処理を施す、即ち、
電気的外力を用いることなく、基体と特定の金属元素を
含有する酸性水溶液との化学反応によって基体上に特定
の組成を有する不溶性の皮膜を形成することが、優れた
特性を有する電子写真感光体を得ることができる、コス
ト及び環境への悪影響を極めて小さくすることができ
る、陽極酸化処理に比べ生産装置を簡便にすることがで
きるという点で、非常に有効な手段であることを見い出
だした。

【００２１】そして、更に、この化成処理の前工程とし
て、酸及びアルカリの少なくとも一方を使用してアルミ
ニウム基体のエッチングを行うことによって、あるいは
研磨剤を含有する研磨液を使用してアルミニウム基体の
研磨を行うことによって、より優れた性能の電子写真感
光体の基体を得ることが可能となった。

【００２２】即ち、本発明は、以下のａ及びｂの少なく
とも一方、ｃ及びｄの工程を有することを特徴とする電
子写真感光体の製造方法である。

【００２３】ａ．アルミニウム基体を酸及びアルカリの
少なくとも一方を用いてエッチング処理する工程。

【００２４】ｂ．アルミニウム基体を、累積百分率の５
０％径が５〜６０μｍである球状研磨剤を５体積％以上
含有する研磨液を用いて研磨する工程。

【００２５】ｃ．上記ａ及びｂの少なくとも一方の工程
により処理されたアルミニウム基体をチタニウムの塩ま
たはジルコニウムの塩を含有する酸性水溶液で化成処理
する工程。

【００２６】ｄ．化成処理されたアルミニウム基体上に
感光層を形成する工程。

【００２７】

【発明の実施の形態】本発明におけるエッチング処理
は、単に基体の表面に存在する汚れや油分取り除くだけ
ではなく、基体の表面に存在している酸化皮膜を一旦取
り除き、エッチング後の化成処理による化成皮膜の生成
を容易にし、その性能を更に向上させることができる。

【００２８】加えて、エッチング処理の他の効果として
は、次のことが考えられる。

【００２９】即ち、アルミニウム中には、通常添加物と
して、あるいは不純物として種々の金属が含有されてお
り、これがアルミニウムと金属間化合物として共晶体を
作り、その微小な固まりが島状に点在している。この金
属間化合物は当然のことながら基体表面にも存在してお
り、化成処理を行っても金属間化合物が存在する部分に
おいては化成皮膜が十分に生成されず、皮膜の欠陥とな
り、画像特性に影響を与える可能性がある。

【００３０】従って、化成処理を行う前に、エッチング
処理によりこの金属間化合物の晶出物を除去しておくこ
とによって、非常に均一な欠陥のない化成処理皮膜を基
体表面に形成することができ、化成処理の効果を一層顕
著なものにでき、極めて優れた特性を有する電子写真感
光体を得ることができるのである。

【００３１】本発明におけるエッチング処理に用いる酸
としては、硫酸、硝酸、フッ酸及び塩酸等が挙げられ
る。これらの中では、酸化皮膜や金属間化合物を選択的
に良く溶解し、アルミニウムはあまり溶解しない性質を
持つ硫酸が特に好ましい。硫酸の場合、溶液の濃度は１
０〜３０質量％であることが好ましい。

【００３２】また、アルカリとしては、水酸化ナトリウ
ム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、重炭酸ナトリウ
ム、珪酸ナトリウム及びリン酸ナトリウム等が挙げられ
る。これらの中では、最もエッチング力が強い水酸化ナ
トリウムが特に好ましい。

【００３３】なお、アルカリでエッチングを行った場合
には、基体に使用するアルミニウムの種類によってはス
マットと呼ばれる粉状の残渣を発生することがあるた
め、この場合は更に酸に浸漬することによってこれを除
去する必要がある。このスマット除去には硝酸及び硫酸
等が使用される。

【００３４】エッチング処理は、上記の溶液にアルミニ
ウム基体を浸漬する、あるいは上記の溶液をアルミニウ
ム基体にスプレー等を用いて塗布することにより行われ
る。処理時間は、浸漬法の場合、用いる溶液の濃度にも
よるが、３０秒〜５分程度であることが好ましい。ま
た、溶液温度は、室温〜７０℃程度であることが好まし
い。

【００３５】以下、工程ｂの研磨剤を含有する研磨液に
よりアルミニウム基体を研磨する工程、所謂湿式ホーニ
ング処理について説明する。

【００３６】湿式ホーニングにおいて用いられる研磨剤
は、通常主として多角形状のものである。かかる多角形
状のものは鋭く尖った先端によりアルミニウム基体を効
率よく削ることできるため、所望の表面粗さが比較的に
短い吹き付け時間により得られるが、その表面形状は鋭
い山、谷の形状をしている。一般にかかる研磨剤は粒度
分布があり、大きい研磨剤はそれなりに大きな山、谷を
形成し、小さい研磨剤は小さな山、谷を形成し易く、粗
さの均一性が得られ難い。

【００３７】しかしながら、本発明の化成皮膜（化成処
理によって得られる皮膜）は、薄膜であり、鋭利な突起
は感光層の不整や絶縁破壊の原因となるため、本発明に
おいては、実質上球形である研磨剤を使用する。この場
合には、鋭く尖った角が無いか、もしくは比較的少ない
ため、アルミニウム基体を削る作用は比較的に少なく、
どちらかといえば、塑性加工による変形の方が多い。そ
のために表面形状はなだらかな凹凸形状を示し、かつ、
研磨剤の粒度分布による山、谷の形成の差異が少なく、
より均一で滑らかな粗さが得られるものである。

【００３８】また、研磨剤の突き刺さりという問題もあ
る。一般に多角形状の研磨剤は削れ性を効率良く得るた
めに、微少粉砕を起こし順次切刃を自生する作用を有す
るものが有り、その結果アルミニウム基体の表面に突き
刺さるという現象が生じる場合がある。特に、粒度の細
かいものを高い吹き付け圧力で吹き付けた場合に発生し
易い。かかる突き刺さりが生じたところは、化成皮膜が
形成されにくく、画像欠陥となり易い。

【００３９】しかしながら、本発明に用いられる実質上
球状形である研磨剤を使用した場合には、形状から突き
刺さり難く、また、塑性加工による変形であることによ
っても突き刺さり難いものである。

【００４０】また、表面粗さという問題もある。後述の
ように、化成皮膜は総膜厚１μｍ以下が好ましく、かか
る膜厚においては、表面粗さが直接的に影響を及ぼすた
めに、最大高さ（Ｒｍａｘ）は０．５〜３．０μｍであ
ることが好ましく、十点平均粗さ（Ｒｚ）は０．５〜
１．８μｍであることが好ましい。最大高さが０．５μ
ｍ未満では粗さが小さく干渉縞が発生する可能性があ
る。また、３．０μｍを超えると地かぶりが発生する可
能性がある。十点平均粗さが０．５μｍ未満では粗さが
小さく干渉縞が発生する可能性がある。また、１．８μ
ｍを超えると粗過ぎるために画質が悪くなる可能性があ
る。

【００４１】本発明に用いられる実質上球状の研磨剤を
示す。球状研磨剤としては、アルミナ質粒子、ジルコニ
ア質粒子、炭化けい素質粒子、鉄質粒子及びガラス粒子
等を用いることができる。アルミナ質粒子としてはアル
ミナ、またはアルミナ・シリカ、ジルコン・アルミナが
あるが、これらに限定されるものではない。

【００４２】吹き付けによる研磨剤の破砕性を考慮する
と、ビッカース硬度で５００ｋｇ／ｍｍ²以上のものが
好ましく、１０００ｋｇ／ｍｍ²以上のものがより好ま
しい。

【００４３】研磨剤の大きさは、１００μｍアパーチャ
ーまたは２００μｍアパーチャーを用いたコールターカ
ウンター法による体積平均粒径の累積百分率の５０％径
が５〜６０μｍのものが用いられる。好ましい範囲は１
０〜５０μｍであり、特に好ましくは１０〜４０μｍで
ある。５μｍ未満では所望の表面粗さが得られにくく、
また、６０μｍを超えると表面粗さが大きくなり易い。

【００４４】粒度分布の狭さ、及び購入の容易さからア
ルミナ粒子が好適に用いられ、かかるアルミナ粒子の場
合、かさ密度は１．６〜２．３ｇ／ｃｍ³のものが好ま
しい。特に、かさ密度が１．６ｇ／ｃｍ³ｃ未満のもの
は多角形状のものが多く、使用に適さなくなる可能性が
ある。

【００４５】吹き付け速度は２０〜８０ｍ／ｓｅｃの範
囲が好ましく、所望の粗さ、及び使用する研磨剤の粒径
により適宜選択される。

【００４６】更に、表面粗さの均一性、よりなだらかな
凹凸表面を得ることが必要なときは、噴射角度を噴射の
中心軸とアルミニウム基体の中心軸のなす角で、９０°
以下にすることが好ましい。かかる理由は角度を９０°
以下にすることにより、研磨剤の円筒管への衝突圧力が
小さくできるとともに、衝突の圧力の分布がより均一と
なることによるものである。より好ましい角度としては
６０°〜３０°の範囲であり、特に好ましくは６０°〜
４５°である。アルミニウム基体の円筒管に対して、上
角度、下角度のどちらでもよい。

【００４７】研磨剤を分散させる分散媒は、研磨剤を凝
集させないことを条件に選定される。その中で水はさま
ざま要因から好適であった。分散媒に分散させる研磨剤
は、研磨液の体積の５体積％以上であり、５〜２５体積
％以下、特には５〜１５体積％が好ましい。５体積％未
満では研磨時間が長くなり過ぎる。また、１５体積％、
更には２５体積％を超えると吹き付け時の研磨剤の分散
性が悪くなる可能性がある。

【００４８】更に、研磨に使用されるアルミニウム基体
の円筒管の粗さは、Ｒｍａｘで２μｍ以下、Ｒｚで０．
７μｍ以下が好ましい。実質上球形の研磨剤は塑性変形
による加工が主であり、元の粗さ、特にＲｍａｘを低減
する作用が少ないことによるものである。より好ましく
は、Ｒｍａｘで１．５μｍ以下、Ｒｚで０．５μｍ以下
である。

【００４９】かかるアルミニウム基体の円筒管として、
無切削引き抜き管、または切削した管が適宜用いられ
る。特に、切削した管を用いる場合には、切削の加工跡
を影響の無い範囲にするためにＲｚを０．７μｍ以下に
することが好ましい。

【００５０】本発明における研磨を行った後の基体を洗
浄する際には、ジェット水流を用いた水洗方式が適当で
ある。水洗方式には適当な界面活性剤や超音波を併用す
れば更に効果的である。

【００５１】表面粗さの測定は、表面粗さ測定機（小坂
研究所製サーフコーダーＳＥ−３３００）を使用し、カ
ットオフ値０．８ｍｍ、基準長さ０．８ｍｍ、評価長さ
８．０ｍｍ、ガウシャンフィルターの条件にて行った。

【００５２】本発明における化成処理とは、陽極酸化の
ように電気的外力を加えることなく、基体を特定の溶液
に接触させることにより、基体上に特定組成の皮膜を形
成する処理である。

【００５３】本発明に用いる金属塩の金属は、チタニウ
ム及びジルコニウムであり、これらとアルミニウム及び
酸素が共存した本発明の化成皮膜を有するアルミニウム
基体は、電子写真感光体用の基体として、極めて優れた
特性を有する。

【００５４】添加するチタニウムの塩及びジルコニウム
の塩はフッ素化合物であることが好ましい。チタニウム
の塩としてはチタニウムフッ化水素酸及びそのナトリウ
ム塩、カリウム塩、アンモニウム塩及び硫酸チタニウム
等が挙げられ、ジルコニウムの塩としてはジルコンフッ
化カリウム及びジルコニウム硫酸塩等が挙げられる。

【００５５】酸性水溶液中の金属塩の濃度は、金属の量
で０．０１ｇ〜２ｇ／リットルの範囲であることが好ま
しい。

【００５６】また、酸性水溶液中のフッ素イオンの濃度
は、０〜１０ｇ／リットルの範囲であることが好まし
い。この範囲では基体表面のエッチング反応が適度に起
こり、均一な皮膜が生成し易い。

【００５７】本発明の酸性水溶液のｐＨは、アンモニア
や水酸化ナトリウム等により、１．０〜５．５の範囲に
調整することが好ましい。

【００５８】ｐＨ１．０未満ではエッチング反応が激し
く起こり、良好な皮膜を得にくく、ｐＨ５．５を超える
と皮膜の生成速度が低く、薄い皮膜しか得られにくいた
めに、本発明の顕著な効果が得られにくい。

【００５９】本発明においては、反応が安定に行われる
という点で、酸性水溶液を３０〜９０℃に加温して用い
ることが好ましい。

【００６０】基体を酸性水溶液に接触させる方法は、浸
漬法及びスプレーによる噴霧法等いずれの方法でも良い
が、生産効率の点で浸漬法であることが好ましい。

【００６１】化成処理後の基体は洗浄され、乾燥されて
から使用される。

【００６２】本発明における基体表面の組成は、オージ
ェ電子線分光法によって測定し、基体の最表面から深さ
５×１０^-3μｍ（５０Å）の範囲におけるものとする。

【００６３】本発明においては、チタニウム元素または
ジルコニウム元素の含有量が、アルミニウムの含有量に
対して４〜１００ａｔｍ％の範囲であることが好まし
い。

【００６４】基体表面に形成するチタニウム元素または
ジルコニウム元素を含有する化成皮膜の総膜厚は１μｍ
以下であることが好ましく、更には５×１０^-3μｍ（５
０Å）以上であることが好ましい。膜厚が１μｍを超え
ると電荷が逃げにくくなり過ぎ、残留電位が上昇した
り、ゴーストが発生し易くなる。一方、５×１０^-3μｍ
（５０Å）に満たないと本発明の顕著な効果を得にくく
なる。

【００６５】本発明においては、耐食性や塗膜の密着性
の点で、酸性水溶液が更にリン酸、リン酸塩、タンニン
またはタンニン酸を含有することが好ましい。

【００６６】リン酸及びリン酸塩としては、リン酸また
はそのナトリウム、カリウム及びアンモニウム塩やピロ
リン酸、トリポリリン酸、ヘキサメタリン酸及びそれら
のナトリウム塩やカリウム塩といったアルカリ金属塩の
縮合リン酸塩等が挙げられる。また、フィチン酸、ニト
ロジエタノールエチレンホスホン酸、２−ヒドロキシエ
チルメタクリル−１−アシッドホスホン酸、２−エチル
ヘキシルアシッドホスホン酸及びエタン−１−ヒドロキ
シ−１，１−ジホスホン酸等の有機リン酸化合物を使用
することもできる。

【００６７】酸性水溶液中のリン酸またはリン酸塩の濃
度は、リン酸イオンに換算して０．０５〜５０ｇ／リッ
トルの範囲であることが好ましい。この範囲において
は、特に均一で良好な化成皮膜が得られ、また、処理液
の安定性も特に良好である。

【００６８】タンニンまたはタンニン酸としては、ケプ
ラチョ、デプジト、支那産タンニン酸、トルコ産タンニ
ン酸、ハマメリタンニン酸、ケプリン酸、スマックタン
ニン、五倍子タンニン及びエラーグ酸タンニン等が挙げ
られる。

【００６９】酸性水溶液中のタンニンまたはタンニン酸
の濃度は、０．１〜１０ｇ／リットルの範囲であること
が好ましい。

【００７０】また、本発明においては、酸性水溶液が、
フッ酸、ホウフッ酸、ケイフッ酸及びそれらの塩を含有
することが好ましい。これらはアルミニウム基体の化成
処理を行う際に、基体表面をエッチングする機能を有す
るので、非常に均一な化成皮膜を得ることができる。

【００７１】以上のことから、本発明の化成皮膜中には
リン元素及びフッ素元素が含有されていることが好まし
い。

【００７２】アルミニウム基体は、アルミニウムであれ
ば特に限定されるものではなく、純アルミニウム及びＡ
ｌ−Ｍｎ系、Ａｌ−Ｍｇ系、Ａｌ−Ｃｕ系、Ａｌ−Ｓｉ
系、Ａｌ−Ｍｇ−Ｓｉ系及びＡｌ−Ｃｕ−Ｓｉ系等のア
ルミニウム合金が挙げられる。より具体的には、ＪＩＳ
Ａ６０６３等の６０００系アルミニウム合金やＪＩ
ＳＡ３００３等の３０００系アルミニウム合金等を
用いることができる。形状も特に限定されないが、ドラ
ム状であることが好ましい。また、熱間押し出し成形加
工により製造された素管、熱間圧延板を圧接溶接加工し
た電縫管もしくは熱間圧延板をＴＩＧ溶接加工した電弧
管であることが好ましく、特には、熱間押し出し成形加
工により製造された素管であることが好ましい。

【００７３】また、本発明においては、湿式ホーニング
処理の更に前工程として、アルミニウム基体をダイヤモ
ンドバイトで切削処理してもよい。前処理として切削加
工しておくと、表面粗さの点から従来の条件よりもゆる
いエア圧力や短い時間で湿式ホーニング処理を行うこと
ができるのである。

【００７４】本発明においては、アルミニウム素管をダ
イヤモンドバイトを用いて旋盤により切削するが、バイ
トとしてダイヤモンドバイトを複数個配列したものを用
いると、非常に短時間で切削することが可能になるので
好ましい。

【００７５】つまり、従来、切削旋盤のバイトの刃先は
一本であり、刃先の送りピッチは切削する山の形状の関
係から０．０１〜０．０５ｍｍであり、ワークの回転数
は、２０００〜３０００ｒｐｍであるので、例えば２５
０ｍｍの素管を１本切削するのに必要な時間は、最速で
も１００秒程度かかっていた。

【００７６】本発明における切削加工用のダイヤモンド
バイトとしては、例えば、ダイヤモンドミラクルバイト
を複数個（好ましくは３〜５個）等間隔１列に配列した
ものを使用することが好ましい。

【００７７】これにより１回転ピッチでなく３〜５ピッ
チ送ることができるようになった。そうすると従来の３
〜５倍の速さで切削できるようになり、加工時間も１本
あたり２０〜３０秒と非常に短縮される。

【００７８】次に、本発明に用いる電子写真感光体の感
光層について説明する。

【００７９】本発明の感光層の構成は、電荷発生物質と
電荷輸送物質の両方を同一の層に含有する単層型、及び
電荷発生物質を含有する電荷発生層と電荷輸送物質を含
有する電荷輸送層を有する積層型に大別される。

【００８０】以下、積層型の感光層を有する電子写真感
光体について説明する。

【００８１】感光体の構成としては、基体上に電荷発生
層及び電荷輸送層をこの順に積層したものと、逆に電荷
輸送層及び電荷発生層の順に積層したものがある。

【００８２】電荷輸送層は、主鎖または側鎖にビフェニ
レン、アントラセン、ピレン及びフェナントレン等の構
造を有する多環芳香族化合物；インドール、カルバゾー
ル、オキサジアゾール及びピラゾリン等の含窒素環化合
物；ヒドラゾン化合物及びスチリル化合物等の電荷輸送
物質を成膜性を有する樹脂に溶解した溶液を塗布し、乾
燥することによって形成する。

【００８３】成膜性を有する樹脂としては、ポリエステ
ル、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリメタクリル
酸エステル及びポリアリレート等が挙げられる。

【００８４】電荷輸送層の膜厚は、好ましくは５〜４０
μｍ、より好ましくは１０〜３０μｍである。

【００８５】電荷発生層は、スーダンレッド及びダイア
ンブルー等のアゾ顔料；ピレン、キノン及びアントアン
トロン等のキノン顔料；キノシアニン顔料；ペリレン顔
料；インディゴ及びチオインディゴ等のインディゴ顔料
及びフタロシアニン顔料等の電荷発生物質をポリビニル
ブチラール、ポリスチレン及びポリ酢酸ビニル及びアク
リル樹脂等の樹脂に分散した分散液を塗布し、乾燥する
か、前記顔料を真空蒸着することによって形成する。

【００８６】電荷発生層の膜厚は、好ましくは５μｍ以
下、より好ましくは０．０１〜３μｍである。

【００８７】単層型の感光層は、上記電荷発生物質及び
電荷輸送物質を上記樹脂に分散及び溶解した溶液を塗布
し、乾燥することによって形成する。

【００８８】感光層の膜厚は、好ましくは５〜４０μ
ｍ、より好ましくは１０〜３０μｍである。

【００８９】本発明においては、基体と感光層の間に、
バリヤー機能と接着機能を有する下引層を設けることが
できる。下引層はカゼイン、ポリビニルアルコール、ニ
トロセルロース、エチレン−アクリル酸コポリマー、ア
ルコール可溶ポリアミド、ポリウレタン及びゼラチン等
を溶解した溶液を塗布し、乾燥することによって形成す
る。

【００９０】下引層の膜厚は、０．１〜３μｍであるこ
とが好ましい。

【００９１】また、本発明においては、感光層上に保護
層を設けても良い。

【００９２】保護層を構成する材料としては、ポリエス
テル、ポリアクリレート、ポリエチレン、ポリスチレ
ン、ポリブタジエン、ポリカーボネート、ポリアミド、
ポリプロピレン、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリ
サルホン、ポリアクリルエーテル、ポリアセタール、フ
ェノール、アクリル、シリコーン、エポキシ、ユリア、
アリル、アルキッド、ブチラール、フェノキシ、ホスフ
ァゼン、アクリル変性エポキシ、アクリル変性ウレタン
及びアクリル変性ポリエステル樹脂等が挙げられる。

【００９３】保護層の膜厚は、０．２〜１０μｍである
ことが好ましい。

【００９４】以上の各層には、クリーニング性や耐摩耗
性等の改善のために、ポリ四フッ化エチレン、ポリフッ
化ビニリデン、フッ素系グラフトポリマー、シリコーン
系グラフトポリマー、フッ素系ブロックポリマー、シリ
コーン系ブロックポリマー及びシリコーン系オイル等の
潤滑剤を含有させても良い。

【００９５】更に、耐候性を向上させる目的で、酸化防
止剤等の添加物を加えても良い。

【００９６】また、保護層には、抵抗制御の目的で、導
電性酸化スズ及び導電性酸化チタニウム等の導電性粉体
を分散しても良い。

【００９７】図１に本発明の電子写真感光体を有するプ
ロセスカートリッジを有する電子写真装置の概略構成を
示す。

【００９８】図において、１はドラム状の本発明の電子
写真感光体であり、軸２を中心に矢印方向に所定の周速
度で回転駆動される。感光体１は、回転過程において、
一次帯電手段３によりその周面に正または負の所定電位
の均一帯電を受け、次いで、スリット露光やレーザービ
ーム走査露光等の露光手段（不図示）からの露光光４を
受ける。こうして感光体１の周面に静電潜像が順次形成
されていく。

【００９９】形成された静電潜像は、次いで現像手段５
によりトナー現像され、現像されたトナー現像像は、不
図示の給紙部から感光体１と転写手段６との間に感光体
１の回転と同期取り出されて給紙された転写材７に、転
写手段６により順次転写されていく。

【０１００】像転写を受けた転写材７は、感光体面から
分離されて像定着手段８へ導入されて像定着を受けるこ
とにより複写物（コピー）として装置外へプリントアウ
トされる。

【０１０１】像転写後の感光体１の表面は、クリーニン
グ手段９によって転写残りトナーの除去を受けて清浄面
化され、更に前露光手段（不図示）からの前露光光１０
により除電処理された後、繰り返し画像形成に使用され
る。なお、一次帯電手段３が帯電ローラー等を用いた接
触帯電手段である場合は、前露光は必ずしも必要ではな
い。

【０１０２】本発明においては、上述の電子写真感光体
１、一次帯電手段３、現像手段５及びクリーニング手段
９等の構成要素のうち、複数のものをプロセスカートリ
ッジとして一体に結合して構成し、このプロセスカート
リッジを複写機やレーザービームプリンター等の電子写
真装置本体に対して着脱自在に構成しても良い。例え
ば、一次帯電手段３、現像手段５及びクリーニング手段
９の少なくとも１つを感光体１と共に一体に支持してカ
ートリッジ化して、装置本体のレール１２等の案内手段
を用いて装置本体に着脱自在なプロセスカートリッジ１
１とすることができる。

【０１０３】また、露光光４は、電子写真装置が複写機
やプリンターである場合には、原稿からの反射光や透過
光、あるいは、センサーで原稿を読取り、信号化し、こ
の信号に従って行われるレーザービームの走査、ＬＥＤ
アレイの駆動及び液晶シャッターアレイの駆動等により
照射される光である。

【０１０４】本発明の電子写真感光体は電子写真複写機
に利用するのみならず、レーザービームプリンター、Ｃ
ＲＴプリンター、ＬＥＤプリンター、液晶プリンター及
びレーザー製版等電子写真応用分野にも広く用いること
ができる。

【０１０５】

【実施例】実施例１外径２９．９２ｍｍ、内径２８．５ｍｍ、長さ２５４ｍ
ｍの円筒状アルミニウムシリンダーを用意する。

【０１０６】このアルミニウムシリンダーを界面活性剤
で脱脂洗浄した後、６０℃に加熱した２０％硫酸溶液に
３分間揺動しながら浸漬することによってエッチング処
理を行った。

【０１０７】次に、有機リン酸としてフィチン酸及び金
属の塩としてチタニウムフッ化水素酸及びチタンフッ化
アンモニウムを含有する酸性水溶液（商品名：パルコー
ト３７５３、日本パーカライジング（株）製、ｐＨ３．
８）を４０℃の温度に保ち、この水溶液中に上記のアル
ミニウムシリンダーを浸漬し、１分間化成処理を行った
後、純水で洗浄し、自然乾燥させた。化成皮膜の膜厚は
２×１０^-2μｍ（２００Å）であった。

【０１０８】次に、オキシチタニウムフタロシアニン顔
料４重量部、ポリビニルブチラール樹脂（商品名：ＢＸ
−１、積水化学工業（株）製）２重量部及びシクロヘキ
サノン３４重量部をサンドミルで８時間分散した後、テ
トラヒドロフラン６０重量部を加えて電荷発生層用の分
散液を調合した。

【０１０９】この分散液を先に化成処理したアルミニウ
ムシリンダー上に浸漬塗布し、９０℃で１０分間加熱乾
燥して膜厚０．２μｍの電荷発生層を形成した。

【０１１０】次に、下記式で示されるトリアリールアミ
ン化合物５０重量部及びビスフェノールＺ型ポリカーボ
ネート樹脂５０重量部をモノクロルベンゼン４００重量
部に溶解した溶液を前記電荷発生層上に浸漬塗布し、１
１０℃で１時間加熱乾燥して膜厚２０μｍの電荷輸送層
を形成した。

【０１１１】

【外１】

【０１１２】（評価）化成処理、洗浄及び乾燥後の基体
の表面を最表面から基体の深さ方向にアルゴンイオンエ
ッチングを行いながら走査型オージェ電子分光分析装置
を用いて元素分析を行った。その結果、主な構成元素と
してアルミニウム、チタニウム及び酸素が検出された。
得られたグラフを図２に示す。本実施例においては、深
さとスパッタ時間との関係がＳｉＯ₂ 換算で、１．１×
１０^-2μｍ／分（１１０Å／分）であるが、この値は適
宜変更することができる。

【０１１３】表１に基体最表面及び表面から５×１０^-3
μｍ（５０Å）の深さにおける元素の組成比をアルミニ
ウム元素の量を１００としたときの元素比率として示
す。

【０１１４】この結果から、基体表面の化成皮膜は、ア
ルミニウムの酸化皮膜中にチタニウムが取り込まれてい
るものであることが分かる。また、分析の結果、その他
の含まれる元素として窒素、フッ素及びリン等が検出さ
れた。これらの元素は化成処理を行う際に用いた酸性水
溶液中のリン酸やフッ素化合物に含まれていた物が化成
皮膜の中に取り込まれたものと考えられる。

【０１１５】次に、得られた電子写真感光体を常温常湿
（２３℃、６０％Ｒｈ）、高温高湿（３２．５℃、８５
％Ｒｈ）及び低温低湿（１５℃、１０％Ｒｈ）の各環境
に４８時間放置した後、市販の反転現像方式のレーザー
ビームプリンターに設置し、各環境下でベタ白画像を出
力した。

【０１１６】このベタ白画像における地カブリの状態を
目視にて評価した。結果を表２に示す。

【０１１７】同時に、各環境における暗部電位及び明部
電位の値を測定した。結果を表２に示す。

【０１１８】実施例２エッチング処理を、４０℃に加熱した３％水酸化ナトリ
ウム溶液にアルミニウムシリンダーを２０秒間浸漬した
後水洗し、更に１５％硝酸溶液に１分秒間浸漬した後水
洗することによって行い、化成処理用酸性水溶液とし
て、タンニン酸、アンモニウム塩及び金属の塩としてジ
ルコニウムフッ化物及びジルコニウム硫酸塩を含有する
液（商品名：パルコート３７５６、日本パーカライジン
グ（株）製、ｐＨ３．２）を用いた以外は実施例１と同
様にして電子写真感光体を作製し、評価した。結果を表
１及び表２に示す。なお、化成皮膜の膜厚は１．５×１
０^-2μｍ（１５０Å）であった。

【０１１９】実施例３エッチングに用いる硫酸溶液の濃度を６０％とし、化成
処理用酸性水溶液として、フィチン酸を含有し、金属の
塩としてジルコンフッ化水素酸及びジルコンフッ化アン
モニウムを含有する液（商品名：パルコート３７５３
Ｔ、日本パーカライジング（株）製、ｐＨ３．５）を用
いた以外は実施例１と同様にして電子写真感光体を作製
し、評価した。結果を表１及び表２に示す。なお、化成
皮膜の膜厚は１．８×１０^-2μｍ（１８０Å）であっ
た。

【０１２０】比較例１エッチング処理及び化成処理を行わなかった以外は実施
例１と同様にして電子写真感光体を作製し、評価した。
結果を表２に示す。

【０１２１】比較例２濃度０．３％のアンモニア水を用意し、これを９５℃に
加熱した。

【０１２２】この熱したアンモニア水に実施例１で用い
た化成処理前のアルミニウムシリンダーを５分間浸漬し
て表面処理を行った後、乾燥してシリンダー表面にベー
マイト皮膜を形成した。

【０１２３】本発明の化成処理済アルミニウムシリンダ
ーに代えて、このアルミニウムシリンダーを用いた以外
は実施例１と同様にして電子写真感光体を作製し、評価
した。結果を表２に示す。

【０１２４】比較例３本発明の酸性水溶液に代えて、チタニウム及びジルコニ
ウムを含有しないリン酸クロム系の化成処理液（商品
名：アルクロム３７０１、日本パーカライジング（株）
製）の液温を３０℃に保った状態のものに１分間浸漬し
て化成処理を行い、シリンダー表面にクロメート系の化
成皮膜を形成した。

【０１２５】本発明の化成処理済アルミニウムシリンダ
ーに代えて、このアルミニウムシリンダーを用いた以外
は実施例１と同様にして電子写真感光体を作製し、評価
した。結果を表２に示す。

【０１２６】参考例エッチング処理を行わず、化成処理のみを行った以外は
実施例１と同様にして電子写真感光体を作製し、評価し
た。結果を表２に示す。

【０１２７】

【表１】

【０１２８】

【表２】

【０１２９】（加工例１）アルミニウム合金ＪＩＳ規格
Ａ３００３材をポートホール押し出し法により、外径
φ３０．０ｍｍ、内径２８．５ｍｍのパイプ状に連続押
し出しして、それを長さ２５４ｍｍに切断して円筒管と
した。Ｒｍａｘが１．５μｍ、Ｒｚが０．６μｍであっ
た。

【０１３０】液体ホーニング装置（不二精機製造所製）
にて以下の条件により研磨を行った。

【０１３１】研磨液濃度：水４０リットルに研磨剤４リ
ットルを入れる。研磨剤：球状アルミナ粒子（昭和タイタニウム製、アル
ミナビーズＣＢ−Ａ２０Ｓ）、累積百分率による５０％
径２０．１μｍ、かさ密度２．０ｇ／ｃｃ、顕微鏡観察
による形状はほぼ球状である。円筒管の回転速度：１００ｒｐｍガン距離：１５０ｍｍガン角度：下角度４５° ガンのノズル径：８ｍｍガン送り速度：８００ｍｍ／ｍｉｎエアー圧力：１０．１×１０^-2ＭＰａ（１．１ｋｇｆ／
ｃｍ²）

【０１３２】上記条件にて１往復の研磨加工を行い、ジ
ェット水流を用いた水洗装置にて洗浄した。その後、超
音波発振器を併用し、純水にて再洗浄した。

【０１３３】小坂研究所製、サーフコーダーＳＥ−３３
００装置にて、得られたアルミニウム基体の表面粗さを
測定した。Ｒｍａｘは１．７μｍ、Ｒｚは１．０μｍで
あった。一本の１２箇所のＲｚ範囲は０．９５〜１．０
５μｍで良好であった。顕微鏡観察にて、表面を観察し
たところなだらかな凹凸形状であった。また、顕微鏡観
察にて、研磨剤の突き刺さりを見たが、突き刺さりは無
かった。

【０１３４】（加工例２）アルミニウム合金ＪＩＳ規格
Ａ６０６３材をポートホール押し出し法により、外径
φ３０．１５ｍｍ、内径２８．５ｍｍのパイプ状に連続
押し出しして、それを長さ２５５ｍｍに切断して円筒管
とした。次に、切削加工を施し、外径φ３０．０ｍｍ、
長さ２５４ｍｍに加工した。Ｒｍａｘが１．１μｍ、Ｒ
ｚが０．４μｍであった。

【０１３５】液体ホーニング装置（不二精機製造所製）
にて以下の条件により研磨を行った。

【０１３６】研磨液濃度：水４０リットルに研磨剤４リ
ットルを入れる。研磨剤：球状アルミナ粒子（昭和タイタニウム製、アル
ミナビーズＣＢ−Ａ２０Ｓ）、累積百分率による５０％
径２０．１μｍ、かさ密度２．０ｇ／ｃｃ、顕微鏡観察
による形状はほぼ球状である。円筒管の回転速度：１００ｒｐｍガン距離：２００ｍｍガン角度：下角度６０° ガンのノズル径：８ｍｍガン送り速度：８００ｍｍ／ｍｉｎエアー圧力：１０．１×１０^-2ＭＰａ（１．１ｋｇｆ／
ｃｍ²）

【０１３７】上記条件にて１往復の研磨加工を行い、ジ
ェット水流を用いた水洗装置にて洗浄した。その後、超
音波発振器を併用し、純水にて再洗浄した。

【０１３８】小坂研究所製、サーフコーダーＳＥ−３３
００装置にて、得られたアルミニウム基体の表面粗さを
測定した。Ｒｍａｘは１．５μｍ、Ｒｚは１．２μｍで
あった。一本の１２箇所のＲｚ範囲は１．１〜１．３μ
ｍで良好であった。顕微鏡観察にて、表面を観察したと
ころなだらかな凹凸形状であった。また、顕微鏡観察に
て、研磨剤の突き刺さりを見たが、突き刺さりは無かっ
た。

【０１３９】（加工例３）加工例１の研磨剤をＣＢ−Ａ
２０ＳからＣＢ−Ａ３０Ｓ（昭和タイタニウム製）に変
更して、その他は同じ条件にて研磨を行った。累積百分
率による５０％径は３０．２μｍであり、かさ密度は
２．１ｇ／ｃｃ、形状もほぼ球状であった。

【０１４０】その結果、Ｒｍａｘは２．０μｍ、Ｒｚは
１．５μｍであった。一本の１２箇所のＲｚ範囲は１．
４〜１．６μｍで良好であった。なだらかな凹凸形状で
あり、研磨剤の突き刺さりも無かった。

【０１４１】（加工例４）加工例２のガン角度を４５°
に変更して、その他は同じ条件にて研磨を行った。

【０１４２】その結果、Ｒｍａｘは１．４μｍ、Ｒｚは
０．９μｍであった。一本の１２箇所のＲｚ範囲は０．
８５〜０．９７μｍで良好であった。なだらかな凹凸形
状であり、研磨剤の突き刺さりも無かった。

【０１４３】（参考加工例１）加工例１の研磨剤をＣＢ
−Ａ２０ＳからトサエメリーＡ１２００（宇治電化学工
業製）に変更した。累積百分率による５０％径は６．７
μｍであり、顕微鏡観察では多角形状であった。更に、
エアー圧力を１０．１×１０^-2ＭＰａ（１．１ｋｇｆ／
ｃｍ²）から２９．４×１０^-2ＭＰａ（３．０ｋｇｆ／
ｃｍ²）に変更して、その他は同じ条件にて研磨を行っ
た。

【０１４４】その結果、Ｒｍａｘは３．５μｍ、Ｒｚは
０．７μｍであった。一本の１２箇所のＲｚ範囲は０．
５〜０．９μｍで均一性は劣っていた。形状は鋭い山、
谷の形状であった。研磨剤の突き刺さりが観察された。

【０１４５】実施例４アルミニウムシリンダーとして、加工例１で得られたア
ルミニウム基体を用い、２０％硫酸水溶液の温度を４０
℃とし、電荷発生層の乾燥温度を９５℃とし、評価項目
として目視による干渉縞の有無の観察を追加した以外は
実施例１と同様にして電子写真感光体を作製し、評価し
た。

【０１４６】その結果、実施例１と同等の結果に加え、
干渉縞も生じていない優れた画像が得られた。なお、化
成処理後の基体表面の構成元素は実施例１と同様であっ
た。

【０１４７】実施例５加工例２のアルミニウムシリンダーを用い、化成処理用
酸性水溶液として、タンニン酸、アンモニウム塩及び金
属の塩としてジルコニウムフッ化物及びジルコニウム硫
酸塩を含有する液（商品名：パルコート３７５６、日本
パーカライジング（株）製、ｐＨ３．２）を用いた以外
は実施例４と同様にして電子写真感光体を作製し、評価
した。

【０１４８】その結果、実施例２と同等の結果に加え、
干渉縞も生じていない優れた画像が得られた。なお、化
成処理後の基体表面の構成元素は実施例２と同様であっ
た。

【０１４９】実施例６加工例３のアルミニウムシリンダーを用い、化成処理用
酸性水溶液として、フィチン酸を含有し、金属の塩とし
てジルコンフッ化水素酸及びジルコンフッ化アンモニウ
ムを含有する液（商品名：パルコート３７５３Ｔ、日本
パーカライジング（株）製、ｐＨ３．５）を用いた以外
は実施例４と同様にして電子写真感光体を作製し、評価
した。

【０１５０】その結果、実施例３と同等の結果に加え、
干渉縞も生じていない優れた画像が得られた。なお、化
成処理後の基体表面の構成元素は実施例３と同様であっ
た。

【０１５１】実施例７加工例４のアルミニウムシリンダーを用い、化成処理用
酸性水溶液として、リン酸及び金属の塩としてフッ化ジ
ルコニウム及びジルコンフッ化水素酸ナトリウムを含有
する液（商品名：アルサーフ３０１Ｎ−１、日本ペイ
ント（株）製、ｐＨ４．０）を用いた以外は実施例４と
同様にして電子写真感光体を作製し、評価した。結果を
表３及び表４に示す。なお、化成皮膜の膜厚は３×１０
^-2μｍ（３００Å）であった。

【０１５２】

【表３】

【０１５３】

【表４】

【０１５４】実施例８エッチング処理を行わなかった以外は実施例４と同様に
して電子写真感光体を作製し、評価した。

【０１５５】その結果、干渉縞は発生せず、その他の特
性は参考例と同様であった。

【０１５６】実施例９参考加工例１のアルミニウムシリンダーを用いた以外
は、実施例４と同様にして電子写真感光体を作製し、評
価したところ、わずかに黒点が生じていた。

【０１５７】比較例４化成処理を行わなかった以外は実施例４と同様にして電
子写真感光体を作製し、評価した。

【０１５８】その結果、干渉縞は発生しなかったもの
の、その他の特性は比較例１程度であった。

【０１５９】実施例１０熱間押し出しにより得たＪＩＳＡ６０６３の外径φ
３０．５ｍｍ、内径φ２８．５ｍｍ、長さ２５０ｍｍ、
振れ精度１００μｍ、表面粗さＲｚ１０μｍのアルミニ
ウム素管２を準備した。

【０１６０】切削工程の概略図を図３及び４に示す。

【０１６１】上記素管１４を旋盤にチャックし、ダイヤ
モンドバイト１８を５個１列０．５ｍｍ間隔に配列した
バイト１３にて、外径３０．０±０．０２ｍｍ、振れ精
度１５μｍ、表面粗さＲｚ＝０．９μｍになるように切
削加工した。この時の主軸回転数（回転方向１６）は３
０００ｒｐｍ、バイトの送り速度３（送り方向１５）
は、０．３ｍｍ／ｒｅｖで加工時間は１６．７秒であっ
た。１７は切削加工跡である。

【０１６２】得られたアルミニウム切削管に対して、図
５に示す湿式ホーニング装置を用いて、下記条件にて湿
式ホーニング処理を行った。図中、１９はガン、２０は
エア供給管、２１は研磨液循環管、２２はアルミニウム
基体、２３は置き台、２４は回転モーター、２５は研磨
液、２６は撹拌モーター、２７は撹拌プロペラ、２８は
研磨液回収管、２９は研磨液循環ポンプ、３０はガン移
動方向を示す。

【０１６３】（湿式ホーニング条件）研磨剤＝アルミナビーズＣＢ−Ａ２０Ｓ（昭和タイタニ
ウム社製）分散媒＝水、研磨剤／分散媒＝１／１０（体積比）アルミニウム切削管の回転数＝１００ｒｐｍエア吹き付け圧力＝０．１ＭＰａ、ガン移動速度＝０．
８ｍ／ｍｉｎ．ホーニング処理時間＝１９ｓｅｃ．ホーニング後のシリンダー表面粗さはＲｍａｘ１．５
μｍ、Ｒｚ１．０μｍ、Ｒａ０．１５μｍ、Ｓｍ４０μ
ｍであった。

【０１６４】アルミニウムシリンダーとして、上記のよ
うにして得られたアルミニウム基体を用いた以外は実施
例４と同様にして電子写真感光体を作成し、評価した。

【０１６５】その結果、カブリ特性、電位特性及び干渉
縞特性のいずれも非常に優れたものであった。

【０１６６】実施例１１ダイヤモンドバイトを３個１列に配列したバイトを用
い、バイトの送り速度を０．２５ｍｍ／ｒｅｖとし、加
工時間を２０秒とした以外は実施例１０と同様にして電
子写真感光体を作製し、評価した。

【０１６７】その結果、カブリ特性、電位特性及び干渉
縞特性のいずれも非常に優れたものであった。

【０１６８】実施例１２ダイヤモンドバイトを５個１列に配列したバイトを用
い、主軸回転数を４０００ｒｐｍとし、バイトの送り速
度を０．２５ｍｍ／ｒｅｖとし、加工時間を２０秒とし
た以外は実施例１０と同様にして電子写真感光体を作製
し、評価した。

【０１６９】その結果、カブリ特性、電位特性及び干渉
縞特性のいずれも非常に優れたものであった。

【０１７０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
いかなる環境においても画像欠陥が発生せず、また電位
変動の少ない良好な電子写真特性を有する電子写真感光
体を容易にかつ安価に安定して製造できる方法を提供す
ることができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の電子写真感光体を有するプロセスカー
トリッジを有する電子写真装置の概略構成の例を示す図
である。

【図２】本発明の電子写真感光体が有するアルミニウム
基体表面を構成する元素の組成比を示す図である。

【図３】本発明の切削工程の概略を示す図である。

【図４】本発明の切削工程に用いられるバイトの概略を
示す図である。

【図５】本発明の湿式ホーニング処理を行う装置の概略
を示す図である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者兵主善彦東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者田中成人東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者長坂秀昭東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者鈴木幸一東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内Ｆターム(参考） 2H068 AA52 AA54 AA59 CA01 CA29 CA32 CA33 CA51 CA60 EA00 EA05 EA07 FA17 FA19

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】以下のａ及びｂの少なくとも一方、ｃ及
びｄの工程を有することを特徴とする電子写真感光体の
製造方法。ａ．アルミニウム基体を酸及びアルカリの少なくとも一
方を用いてエッチング処理する工程。ｂ．アルミニウム基体を、累積百分率の５０％径が５〜
６０μｍである球状研磨剤を５体積％以上含有する研磨
液を用いて研磨する工程。ｃ．上記ａ及びｂの少なくとも一方の工程により処理さ
れたアルミニウム基体をチタニウムの塩またはジルコニ
ウムの塩を含有する酸性水溶液で化成処理する工程。ｄ．化成処理されたアルミニウム基体上に感光層を形成
する工程。
【請求項２】工程ａ、ｂ及びｄを有する請求項１記載
の電子写真感光体の製造方法。
【請求項３】工程ｂ、ｃ及びｄを有する請求項１記載
の電子写真感光体の製造方法。
【請求項４】工程ａ、ｂ、ｃ及びｄを有する請求項１
記載の電子写真感光体の製造方法。
【請求項５】チタニウムの塩及びジルコニウムの塩が
フッ素化合物である請求項１乃至４のいずれかに記載の
電子写真感光体の製造方法。
【請求項６】酸性水溶液のｐＨが１．０〜５．５であ
る請求項１乃至５のいずれかに記載の電子写真感光体の
製造方法。
【請求項７】酸性水溶液の温度が３０〜９０℃である
請求項１乃至６のいずれかに記載の電子写真感光体の製
造方法。
【請求項８】酸性水溶液が更にリン酸、リン酸塩、タ
ンニン及びタンニン酸からなる群より選択される少なく
ともひとつの化合物を含有する請求項１乃至７のいずれ
かに記載の電子写真感光体の製造方法。
【請求項９】酸性水溶液が更にフッ酸、ホウフッ酸、
ケイフッ酸及びこれらの塩からなる群より選択される少
なくともひとつの化合物を含有する請求項１乃至８のい
ずれかに記載の電子写真感光体の製造方法。
【請求項１０】エッチング処理に酸を用いる請求項
１、２、４乃至８のいずれかに記載の電子写真感光体の
製造方法。
【請求項１１】エッチング処理に硫酸を用いる請求項
１または１０に記載の電子写真感光体の製造方法。
【請求項１２】エッチング処理にアルカリを用いる請
求項１、２、４乃至８のいずれかに記載の電子写真感光
体の製造方法。
【請求項１３】エッチング処理に水酸化ナトリウムを
用いる請求項１または１２に記載の電子写真感光体の製
造方法。
【請求項１４】研磨剤がアルミナ粒子である請求項
１、３乃至１３のいずれかに記載の電子写真感光体の製
造方法。
【請求項１５】アルミナ粒子が１．６〜２．３ｇ／ｃ
ｍ³のかさ密度を有する請求項１４に記載の電子写真感
光体の製造方法。
【請求項１６】工程ｂの前にダイヤモンドバイトによ
ってアルミニウム基体を切削する工程を有する請求項
１、３乃至１５のいずれかに記載の電子写真感光体の製
造方法。