JP2000314956A5 - - Google Patents
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【特許請求の範囲】
【請求項１】 （ａ）酸の作用により硬化する化合物又は酸の作用によりその可溶性が増加する化合物；及び
（ｂ）式Ｉ、II又はIII：
【化１】
〔式中、
Ｒ1は、水素、非置換Ｃ1−Ｃ12アルキル；Ｃ1−Ｃ12アルキル（これは、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキルにより置換されている）であるか；又はＲ1は、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ8ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ8シクロアルケニル、Ｃ6−Ｃ12ビシクロアルケニル、カンホリル；
フェニル（これは、非置換であるか、又は基Ｃ1−Ｃ12アルキル、Ｃ1−Ｃ4ハロアルキル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、ハロゲン、フェニル、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ7及び／若しくはＳＯ2Ｒ7の１個以上により置換されており、場合により置換基ＯＲ4、ＳＲ7及びＮＲ5Ｒ6は、基Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6及び／若しくはＲ7を介して、フェニル環の更なる置換基又はフェニル環の炭素原子の１個と５員若しくは６員環を形成する）であるか；或いは
Ｒ1は、ナフチル、アントラシル又はフェナントリル（ここで、基ナフチル、アントラシル及びフェナントリルは、非置換であるか、又はＣ1−Ｃ6アルキル、フェニル、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ7及び／又はＳＯ2Ｒ7により置換されており、場合により置換基ＯＲ4、ＳＲ7及びＮＲ5Ｒ6は、基Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6及び／若しくはＲ7を介して、ナフチル、アントラシル若しくはフェナントリル環の更なる置換基又はナフチル、アントラシル若しくはフェナントリル環の炭素原子の１個と５員若しくは６員環を形成する）であるか；或いは
Ｒ1は、ヘテロアリール基（これは、非置換であるか、又はＣ1−Ｃ6アルキル、フェニル、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ7及び／若しくはＳＯ2Ｒ7により置換されており、場合により置換基ＯＲ4、ＳＲ7及びＮＲ5Ｒ6は、基Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6及び／若しくはＲ7を介して、ヘテロアリール環の更なる置換基又はヘテロアリール環の炭素原子の１個と５員若しくは６員環を形成する）であり、
ここで、すべての基Ｒ1は、水素を除いて、酸の作用により開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓi−結合を有する基により更に置換されることができ；
Ｒ′1は、フェニレン、ナフチレン、下記式：
【化２】
の基、ジフェニレン又はオキシジフェニレン（ここで、これらの基は、非置換であるか、又はＣ1−Ｃ12アルキルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ′1は、Ｃ1−Ｃ12アルキレン又は下記式：
【化３】
の基であり；
Ａは、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ4−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ4(ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−又は−ＯＳＯ2−であり；
Ａ1は、Ｃ1−Ｃ12アルキレン又はＣ2−Ｃ12アルキレン（これは、−Ｏ−の１個以上により中断されている）であり；
Ｒ2は、ハロゲン又はＣ1−Ｃ10ハロアルキルであり；
Ｒ3は、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキルスルホニル、カンホリルスルホニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3アルキルスルホニル、Ｃ3−Ｃ12シクロアルキルスルホニル、フェニルスルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニル（ここで、基Ｃ3−Ｃ12シクロアルキルスルホニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル及びフェナントリルスルホニルの基シクロアルキル、フェニル、ナフチル、アントラシル及びフェナントリルは、非置換であるか、又はハロゲン、Ｃ1−Ｃ4ハロアルキル、ＣＮ、ＮＯ2、Ｃ1−Ｃ16アルキル、フェニル、Ｃ1−Ｃ4アルキルチオ、ＯＲ4、ＣＯＯＲ7、Ｃ1−Ｃ4アルキル−（ＯＣ）Ｏ−、Ｒ7ＯＳＯ2−及び／若しくは−ＮＲ5Ｒ6の１個以上により置換されている）であるか；或いは
Ｒ3は、Ｃ2−Ｃ6ハロアルカノイル、ハロベンゾイル又は下記式：
【化４】
の基であり；
Ｙ1、Ｙ2及びＹ3は、互いに独立して、Ｏ又はＳであり；
Ｒ′3は、フェニレンジスルホニル、ナフチレンジスルホニル、下記式：
【化５】
の基、ジフェニレンジスルホニル又はオキシジフェニレンジスルホニル（ここで、これらの基は、非置換であるか、又はＣ1−Ｃ12アルキルにより置換されている）であるか；或いはＲ′3は、Ｃ2−Ｃ12アルキレンジスルホニルであり；
Ｘは、ハロゲンであり；
Ｒ4は、水素、フェニル、
Ｃ1−Ｃ18アルキル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ4は、Ｃ2−Ｃ18アルキル（これは、−Ｏ−の１個以上により中断され、そしてこれは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ4は、Ｃ2−Ｃ18アルカノイル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ4は、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ4は、フェニルスルホニル又は（４−メチルフェニル）スルホニルであり；
Ｒ5及びＲ6は、互いに独立して、水素又は
Ｃ1−Ｃ18アルキル（これは、非置換であるか、又はＯＨ、Ｃ1−Ｃ4アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチル−フェニル）スルホニル及び／若しくはＣ1−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ5及びＲ6は、Ｃ2−Ｃ18アルキル（これは、−Ｏ−の１個以上により中断され、そしてこれは、非置換であるか、又はＯＨ、Ｃ1−Ｃ4アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ1−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ5及びＲ6は、Ｃ2−Ｃ18アルカノイル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ5及びＲ6は、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ5及びＲ6は、フェニル、ベンゾイル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであるか；或いは
Ｒ5及びＲ6は、それらが結合する窒素原子と一緒になって、−Ｏ−又は−ＮＲ4−により中断されてもよい５員、６員若しくは７員環を形成し；
Ｒ7は、水素、フェニル、
Ｃ1−Ｃ18アルキル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ7は、Ｃ2−Ｃ18アルキル（これは、−Ｏ−の１個以上で中断され、そしてこれは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ7は、Ｃ2−Ｃ18アルカノイル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ7は、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ7は、フェニルスルホニル又は（４−メチルフェニル）スルホニルであり；
Ｒ8、Ｒ9及びＲ10は、互いに独立して、Ｃ1−Ｃ6アルキル（これは、非置換であるか、又はハロゲンにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ8、Ｒ9及びＲ10は、フェニル（これは、非置換であるか、又はＣ1−Ｃ4アルキル若しくはハロゲンにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ9及びＲ10は、一緒になって、１，２−フェニレン又はＣ2−Ｃ6アルキレン（これは、非置換であるか、又はＣ1−Ｃ4アルキル若しくはハロゲンにより置換されている）である〕
の化合物の少なくとも１種を感光性酸ドナーとして含む、化学的に増幅されたフォトレジスト組成物。
【請求項２】 式Ｉ、II又はIIIの化合物において、
Ｒ1が、フェニル（これは、非置換であるか、又は基Ｃ1−Ｃ12アルキル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、ハロゲン、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ7及び／又はＳＯ2Ｒ7の１個以上により置換されているか、場合により置換基ＯＲ4は、基Ｒ4を介して６員環を形成する）であるか；或いはＲ1が、ナフチル又はチエニルであり；
Ｒ′1が、下記式：
【化６】
の基であり；
Ａが、−Ｏ−又は−Ｓ−であり；
Ａ1が、Ｃ1−Ｃ12アルキレンであり；
Ｒ2が、ハロゲン又はＣ1−Ｃ10ハロアルキルであり；
Ｒ3が、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル、カンホリルスルホニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、ナフチルスルホニル（ここで、基フェニルスルホニルの基フェニルは、非置換であるか、又はＣ1−Ｃ16アルキル若しくはＯＲ4により置換されている）であり；
Ｒ′3が、フェニレンジスルホニルであり；
Ｘが、フルオロであり；
Ｒ4が、フェニル、Ｃ1−Ｃ18アルキル（これは、非置換であるか、又はＣ2−Ｃ12アルコキシカルボニルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ4が、Ｃ2−Ｃ18アルキル（これは、−Ｏ−の１個以上により中断され、フェニルにより置換されている）であり；
Ｒ5及びＲ6が、Ｃ1−Ｃ18アルキルであり；
Ｒ7が、フェニル又はＣ1−Ｃ18アルキルである、請求項１記載の化学的に増幅されたフォトレジスト。
【請求項３】 （ａ１）酸−不安定基（これは、酸の存在下に分解して水性アルカリ現像溶液における可溶性を増加させる）を有するポリマーの少なくとも１種；及び／又は
（ａ２）酸−不安定基（これは、酸の存在下に分解して水性アルカリ現像溶液における可溶性を増加させる）を有するモノマー又はオリゴマー溶解阻害剤の少なくとも１種；及び／又は
（ａ３）アルカリ−可溶性モノマー、オリゴマー又はポリマー化合物の少なくとも１種；及び
（ｂ）感光性酸ドナーとして、式Ｉ、II又はIIIの化合物の少なくとも１種を含む、請求項１記載の化学的に増幅されたポジ型フォトレジスト組成物。
【請求項４】 （ａ４）結合剤として、アルカリ−可溶性樹脂；
（ａ５）酸により触媒されるとき、それ自体及び／又は結合剤と共に架橋反応を起こす成分；及び
（ｂ）感光性酸ドナーとして、式Ｉ、II又はIIIの化合物の少なくとも１種を含む、請求項１記載の化学的に増幅されたネガ型フォトレジスト組成物。
【請求項５】 成分（ａ）及び（ｂ）、又は成分（ａ１）、（ａ２）、（ａ３）及び（ｂ）、又は成分（ａ４）、（ａ５）及び（ｂ）に加えて、更なる添加剤（ｃ）、更なる感光性酸ドナー化合物（ｂ１）、他の光開始剤（ｄ）及び／又は増感剤（ｅ）を含む、請求項１記載の化学的に増幅されたフォトレジスト組成物。
【請求項６】 （１）請求項１〜５のいずれか１項記載の組成物を基板に塗布し；
（２）塗布後、組成物を６０℃〜１６０℃の温度で焼付け；
（３）波長１５０nm〜１５００nmの光により像様に照射し；
（４）露光後、場合により組成物を６０℃〜１６０℃の温度で焼付け；そして
（５）溶媒又は水性アルカリ現像液により現像する；ことによるフォトレジストの調製方法。
【請求項７】 式Ｉｂ、IIｂ又はIIIｂ：
【化７】
〔式中、
Ｒ″1は、フェニル（これは、非置換であるか、又はＣ1−Ｃ12アルキル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、Ｃ1−Ｃ4ハロアルキル、ハロゲン、フェニル、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ7及び／若しくはＳＯ2Ｒ7の１個以上により置換されており、場合により置換基ＯＲ4、ＳＲ7及びＮＲ5Ｒ6は、基Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6及び／若しくはＲ7を介して、フェニル環の更なる置換基又はフェニル環の炭素原子の１個と５員若しくは６員環を形成する）であるか；或いは
Ｒ″1は、ナフチル、アントラシル又はフェナントリル（これらは、それぞれ非置換であるか、又はＣ1−Ｃ6アルキル、フェニル、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ7及び／若しくはＳＯ2Ｒ7により置換されており、場合により置換基ＯＲ4、ＳＲ7及びＮＲ5Ｒ6は、基Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6及び／若しくはＲ7を介して、フェニル環の更なる置換基又はナフチル、アントラシル若しくはフェナントリル環の炭素原子の１個と５員若しくは６員環を形成する）であるか；或いは
Ｒ″1は、ヘテロアリール基（これは、非置換であるか、又はＣ1−Ｃ6アルキル、フェニル、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ7及び／若しくはＳＯ2Ｒ7により置換されており、場合により置換基ＯＲ4、ＳＲ7及びＮＲ5Ｒ6は、基Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6及び／若しくはＲ7を介して、ヘテロアリール環の更なる置換基又はヘテロアリール環の炭素原子の１個と５員若しくは６員環を形成する）であり；
Ｒ″′1は、フェニレン、ナフチレン、下記式：
【化８】
の基、ジフェニレン又はオキシジフェニレン（ここで、これらの基は、非置換であるか、又はＣ1−Ｃ12アルキルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ″′1は、下記式：
【化９】
の基であり；
Ａは、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ4−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ4(ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−又は−ＯＳＯ2−であり；
Ａ1は、Ｃ1−Ｃ12アルキレン又はＣ2−Ｃ12アルキレン（これは、−Ｏ−の１個以上により中断されている）であり；
Ｒ″3は、Ｃ1−Ｃ16アルキルスルホニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3アルキルスルホニル、カンホリルスルホニル、ナフチルスルホニル、トリメチルフェニルスルホニル；又はフェニルスルホニル（これは、Ｃ2−Ｃ16アルキル、Ｃ1−Ｃ4アルコキシ、Ｃ1−Ｃ4ハロアルキル及び／若しくはハロゲンの１個以上により置換されている）であり；
Ｒ′3は、フェニレンジスルホニル、ナフチレンジスルホニル、下記式：
【化１０】
の基、ジフェニレンジスルホニル又はオキシジフェニレンジスルホニル（ここで、これらの基は、非置換であるか、又はＣ1−Ｃ12アルキルにより置換されている）であるか；或いはＲ′3は、Ｃ2−Ｃ12アルキレンジスルホニルであり；
Ｒ4は、水素、フェニル、
Ｃ1−Ｃ12アルキル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ4は、Ｃ2−Ｃ12アルキル（これは、−Ｏ−の１個以上により中断され、そしてこれは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ4は、Ｃ2−Ｃ12アルカノイル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ4は、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ4は、フェニルスルホニル又は（４−メチルフェニル）スルホニルであり；
Ｒ5及びＲ6は、互いに独立して、水素又は
Ｃ1−Ｃ12アルキル（これは、非置換であるか、又はＯＨ、Ｃ1−Ｃ4アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチル−フェニル）スルホニル及び／若しくはＣ1−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ5及びＲ6は、Ｃ2−Ｃ12アルキル（これは、−Ｏ−の１個以上により中断され、そしてこれは、非置換であるか、又はＯＨ、Ｃ1−Ｃ4アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ1−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ5及びＲ6は、Ｃ2−Ｃ12アルカノイル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ5及びＲ6は、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか、或いはＲ5及びＲ6は、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニルであるか；或いは
Ｒ5及びＲ6は、フェニル、ベンゾイル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであるか；或いは
Ｒ5及びＲ6は、それらが結合する窒素原子と一緒になって、５員、６員又は７員環（それは、場合により−Ｏ−若しくは−ＮＲ4−により中断されている）を形成し；
Ｒ7は、水素、フェニル、
Ｃ1−Ｃ12アルキル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか、或いは
Ｒ7は、Ｃ2−Ｃ12アルキル（これは、−Ｏ−の１個以上により中断され、そしてこれは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ7は、Ｃ2−Ｃ12アルカノイル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ7は、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ7は、フェニルスルホニル又は（４−メチルフェニル）スルホニルであり；ここで、Ｒ″1が４−メチルフェニル又は４−オクチルフェニルの場合、Ｒ″3はメタンスルホニルではない〕
の化合物。
【請求項８】 （１）従来の方法で得た、式Ｘ又はXI：
【化１１】
（式中、
Ｒ1、Ｒ2及びＸは、請求項１と同義である）の対応するオキシム化合物の異性体混合物を酸により処理し；そして
（２）このように調製した単一異性オキシム化合物を、式XV、XVI又はXVII：
【化１２】
（式中、
Ｒ3及びＲ′3は、請求項１と同義であり、そして
Ｒ″3は、請求項７と同義である）の対応する酸ハロゲン化物と反応させる；ことによる、請求項１記載の式Ｉ、II又はIIIのオキシムエステル化合物或いは請求項７記載の式Ｉｂ、IIｂ又はIIIｂのオキシムエステル化合物の熱安定異性体の特定の調製方法。
【請求項９】 （ａ）酸の作用により硬化する化合物又は酸の作用によりその可溶性が増加する化合物；及び
（ｂ）請求項７記載の式Ｉｂ、IIｂ又はIIIｂの化合物の少なくとも１種を感光性酸ドナーとして含むことを特徴とする組成物。
【請求項１０】 酸の作用により架橋できる化合物の架橋方法であり、請求項７記載の式Ｉｂ、IIｂ及び／又はIIIｂの化合物を上記の化合物に加え、波長１５０〜１５００nmを有する光により像様に、又は全面に照射することを特徴とする方法。
【請求項１１】 表面塗膜、印刷インク、印刷版面、歯科用組成物、カラーフィルター、レジスト又は像記録材料若しくはホログラフ像を記録する像記録材料の調製のための、請求項１０記載の方法。
【請求項１】 （ａ）酸の作用により硬化する化合物又は酸の作用によりその可溶性が増加する化合物；及び
（ｂ）式Ｉ、II又はIII：
【化１】
〔式中、
Ｒ1は、水素、非置換Ｃ1−Ｃ12アルキル；Ｃ1−Ｃ12アルキル（これは、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキルにより置換されている）であるか；又はＲ1は、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ8ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ8シクロアルケニル、Ｃ6−Ｃ12ビシクロアルケニル、カンホリル；
フェニル（これは、非置換であるか、又は基Ｃ1−Ｃ12アルキル、Ｃ1−Ｃ4ハロアルキル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、ハロゲン、フェニル、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ7及び／若しくはＳＯ2Ｒ7の１個以上により置換されており、場合により置換基ＯＲ4、ＳＲ7及びＮＲ5Ｒ6は、基Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6及び／若しくはＲ7を介して、フェニル環の更なる置換基又はフェニル環の炭素原子の１個と５員若しくは６員環を形成する）であるか；或いは
Ｒ1は、ナフチル、アントラシル又はフェナントリル（ここで、基ナフチル、アントラシル及びフェナントリルは、非置換であるか、又はＣ1−Ｃ6アルキル、フェニル、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ7及び／又はＳＯ2Ｒ7により置換されており、場合により置換基ＯＲ4、ＳＲ7及びＮＲ5Ｒ6は、基Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6及び／若しくはＲ7を介して、ナフチル、アントラシル若しくはフェナントリル環の更なる置換基又はナフチル、アントラシル若しくはフェナントリル環の炭素原子の１個と５員若しくは６員環を形成する）であるか；或いは
Ｒ1は、ヘテロアリール基（これは、非置換であるか、又はＣ1−Ｃ6アルキル、フェニル、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ7及び／若しくはＳＯ2Ｒ7により置換されており、場合により置換基ＯＲ4、ＳＲ7及びＮＲ5Ｒ6は、基Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6及び／若しくはＲ7を介して、ヘテロアリール環の更なる置換基又はヘテロアリール環の炭素原子の１個と５員若しくは６員環を形成する）であり、
ここで、すべての基Ｒ1は、水素を除いて、酸の作用により開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓi−結合を有する基により更に置換されることができ；
Ｒ′1は、フェニレン、ナフチレン、下記式：
【化２】
の基、ジフェニレン又はオキシジフェニレン（ここで、これらの基は、非置換であるか、又はＣ1−Ｃ12アルキルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ′1は、Ｃ1−Ｃ12アルキレン又は下記式：
【化３】
の基であり；
Ａは、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ4−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ4(ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−又は−ＯＳＯ2−であり；
Ａ1は、Ｃ1−Ｃ12アルキレン又はＣ2−Ｃ12アルキレン（これは、−Ｏ−の１個以上により中断されている）であり；
Ｒ2は、ハロゲン又はＣ1−Ｃ10ハロアルキルであり；
Ｒ3は、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキルスルホニル、カンホリルスルホニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3アルキルスルホニル、Ｃ3−Ｃ12シクロアルキルスルホニル、フェニルスルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニル（ここで、基Ｃ3−Ｃ12シクロアルキルスルホニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル及びフェナントリルスルホニルの基シクロアルキル、フェニル、ナフチル、アントラシル及びフェナントリルは、非置換であるか、又はハロゲン、Ｃ1−Ｃ4ハロアルキル、ＣＮ、ＮＯ2、Ｃ1−Ｃ16アルキル、フェニル、Ｃ1−Ｃ4アルキルチオ、ＯＲ4、ＣＯＯＲ7、Ｃ1−Ｃ4アルキル−（ＯＣ）Ｏ−、Ｒ7ＯＳＯ2−及び／若しくは−ＮＲ5Ｒ6の１個以上により置換されている）であるか；或いは
Ｒ3は、Ｃ2−Ｃ6ハロアルカノイル、ハロベンゾイル又は下記式：
【化４】
の基であり；
Ｙ1、Ｙ2及びＹ3は、互いに独立して、Ｏ又はＳであり；
Ｒ′3は、フェニレンジスルホニル、ナフチレンジスルホニル、下記式：
【化５】
の基、ジフェニレンジスルホニル又はオキシジフェニレンジスルホニル（ここで、これらの基は、非置換であるか、又はＣ1−Ｃ12アルキルにより置換されている）であるか；或いはＲ′3は、Ｃ2−Ｃ12アルキレンジスルホニルであり；
Ｘは、ハロゲンであり；
Ｒ4は、水素、フェニル、
Ｃ1−Ｃ18アルキル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ4は、Ｃ2−Ｃ18アルキル（これは、−Ｏ−の１個以上により中断され、そしてこれは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ4は、Ｃ2−Ｃ18アルカノイル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ4は、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ4は、フェニルスルホニル又は（４−メチルフェニル）スルホニルであり；
Ｒ5及びＲ6は、互いに独立して、水素又は
Ｃ1−Ｃ18アルキル（これは、非置換であるか、又はＯＨ、Ｃ1−Ｃ4アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチル−フェニル）スルホニル及び／若しくはＣ1−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ5及びＲ6は、Ｃ2−Ｃ18アルキル（これは、−Ｏ−の１個以上により中断され、そしてこれは、非置換であるか、又はＯＨ、Ｃ1−Ｃ4アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ1−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ5及びＲ6は、Ｃ2−Ｃ18アルカノイル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ5及びＲ6は、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ5及びＲ6は、フェニル、ベンゾイル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであるか；或いは
Ｒ5及びＲ6は、それらが結合する窒素原子と一緒になって、−Ｏ−又は−ＮＲ4−により中断されてもよい５員、６員若しくは７員環を形成し；
Ｒ7は、水素、フェニル、
Ｃ1−Ｃ18アルキル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ7は、Ｃ2−Ｃ18アルキル（これは、−Ｏ−の１個以上で中断され、そしてこれは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ7は、Ｃ2−Ｃ18アルカノイル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ7は、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ7は、フェニルスルホニル又は（４−メチルフェニル）スルホニルであり；
Ｒ8、Ｒ9及びＲ10は、互いに独立して、Ｃ1−Ｃ6アルキル（これは、非置換であるか、又はハロゲンにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ8、Ｒ9及びＲ10は、フェニル（これは、非置換であるか、又はＣ1−Ｃ4アルキル若しくはハロゲンにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ9及びＲ10は、一緒になって、１，２−フェニレン又はＣ2−Ｃ6アルキレン（これは、非置換であるか、又はＣ1−Ｃ4アルキル若しくはハロゲンにより置換されている）である〕
の化合物の少なくとも１種を感光性酸ドナーとして含む、化学的に増幅されたフォトレジスト組成物。
【請求項２】 式Ｉ、II又はIIIの化合物において、
Ｒ1が、フェニル（これは、非置換であるか、又は基Ｃ1−Ｃ12アルキル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、ハロゲン、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ7及び／又はＳＯ2Ｒ7の１個以上により置換されているか、場合により置換基ＯＲ4は、基Ｒ4を介して６員環を形成する）であるか；或いはＲ1が、ナフチル又はチエニルであり；
Ｒ′1が、下記式：
【化６】
の基であり；
Ａが、−Ｏ−又は−Ｓ−であり；
Ａ1が、Ｃ1−Ｃ12アルキレンであり；
Ｒ2が、ハロゲン又はＣ1−Ｃ10ハロアルキルであり；
Ｒ3が、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル、カンホリルスルホニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、ナフチルスルホニル（ここで、基フェニルスルホニルの基フェニルは、非置換であるか、又はＣ1−Ｃ16アルキル若しくはＯＲ4により置換されている）であり；
Ｒ′3が、フェニレンジスルホニルであり；
Ｘが、フルオロであり；
Ｒ4が、フェニル、Ｃ1−Ｃ18アルキル（これは、非置換であるか、又はＣ2−Ｃ12アルコキシカルボニルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ4が、Ｃ2−Ｃ18アルキル（これは、−Ｏ−の１個以上により中断され、フェニルにより置換されている）であり；
Ｒ5及びＲ6が、Ｃ1−Ｃ18アルキルであり；
Ｒ7が、フェニル又はＣ1−Ｃ18アルキルである、請求項１記載の化学的に増幅されたフォトレジスト。
【請求項３】 （ａ１）酸−不安定基（これは、酸の存在下に分解して水性アルカリ現像溶液における可溶性を増加させる）を有するポリマーの少なくとも１種；及び／又は
（ａ２）酸−不安定基（これは、酸の存在下に分解して水性アルカリ現像溶液における可溶性を増加させる）を有するモノマー又はオリゴマー溶解阻害剤の少なくとも１種；及び／又は
（ａ３）アルカリ−可溶性モノマー、オリゴマー又はポリマー化合物の少なくとも１種；及び
（ｂ）感光性酸ドナーとして、式Ｉ、II又はIIIの化合物の少なくとも１種を含む、請求項１記載の化学的に増幅されたポジ型フォトレジスト組成物。
【請求項４】 （ａ４）結合剤として、アルカリ−可溶性樹脂；
（ａ５）酸により触媒されるとき、それ自体及び／又は結合剤と共に架橋反応を起こす成分；及び
（ｂ）感光性酸ドナーとして、式Ｉ、II又はIIIの化合物の少なくとも１種を含む、請求項１記載の化学的に増幅されたネガ型フォトレジスト組成物。
【請求項５】 成分（ａ）及び（ｂ）、又は成分（ａ１）、（ａ２）、（ａ３）及び（ｂ）、又は成分（ａ４）、（ａ５）及び（ｂ）に加えて、更なる添加剤（ｃ）、更なる感光性酸ドナー化合物（ｂ１）、他の光開始剤（ｄ）及び／又は増感剤（ｅ）を含む、請求項１記載の化学的に増幅されたフォトレジスト組成物。
【請求項６】 （１）請求項１〜５のいずれか１項記載の組成物を基板に塗布し；
（２）塗布後、組成物を６０℃〜１６０℃の温度で焼付け；
（３）波長１５０nm〜１５００nmの光により像様に照射し；
（４）露光後、場合により組成物を６０℃〜１６０℃の温度で焼付け；そして
（５）溶媒又は水性アルカリ現像液により現像する；ことによるフォトレジストの調製方法。
【請求項７】 式Ｉｂ、IIｂ又はIIIｂ：
【化７】
〔式中、
Ｒ″1は、フェニル（これは、非置換であるか、又はＣ1−Ｃ12アルキル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、Ｃ1−Ｃ4ハロアルキル、ハロゲン、フェニル、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ7及び／若しくはＳＯ2Ｒ7の１個以上により置換されており、場合により置換基ＯＲ4、ＳＲ7及びＮＲ5Ｒ6は、基Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6及び／若しくはＲ7を介して、フェニル環の更なる置換基又はフェニル環の炭素原子の１個と５員若しくは６員環を形成する）であるか；或いは
Ｒ″1は、ナフチル、アントラシル又はフェナントリル（これらは、それぞれ非置換であるか、又はＣ1−Ｃ6アルキル、フェニル、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ7及び／若しくはＳＯ2Ｒ7により置換されており、場合により置換基ＯＲ4、ＳＲ7及びＮＲ5Ｒ6は、基Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6及び／若しくはＲ7を介して、フェニル環の更なる置換基又はナフチル、アントラシル若しくはフェナントリル環の炭素原子の１個と５員若しくは６員環を形成する）であるか；或いは
Ｒ″1は、ヘテロアリール基（これは、非置換であるか、又はＣ1−Ｃ6アルキル、フェニル、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ7及び／若しくはＳＯ2Ｒ7により置換されており、場合により置換基ＯＲ4、ＳＲ7及びＮＲ5Ｒ6は、基Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6及び／若しくはＲ7を介して、ヘテロアリール環の更なる置換基又はヘテロアリール環の炭素原子の１個と５員若しくは６員環を形成する）であり；
Ｒ″′1は、フェニレン、ナフチレン、下記式：
【化８】
の基、ジフェニレン又はオキシジフェニレン（ここで、これらの基は、非置換であるか、又はＣ1−Ｃ12アルキルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ″′1は、下記式：
【化９】
の基であり；
Ａは、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ4−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ4(ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−又は−ＯＳＯ2−であり；
Ａ1は、Ｃ1−Ｃ12アルキレン又はＣ2−Ｃ12アルキレン（これは、−Ｏ−の１個以上により中断されている）であり；
Ｒ″3は、Ｃ1−Ｃ16アルキルスルホニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3アルキルスルホニル、カンホリルスルホニル、ナフチルスルホニル、トリメチルフェニルスルホニル；又はフェニルスルホニル（これは、Ｃ2−Ｃ16アルキル、Ｃ1−Ｃ4アルコキシ、Ｃ1−Ｃ4ハロアルキル及び／若しくはハロゲンの１個以上により置換されている）であり；
Ｒ′3は、フェニレンジスルホニル、ナフチレンジスルホニル、下記式：
【化１０】
の基、ジフェニレンジスルホニル又はオキシジフェニレンジスルホニル（ここで、これらの基は、非置換であるか、又はＣ1−Ｃ12アルキルにより置換されている）であるか；或いはＲ′3は、Ｃ2−Ｃ12アルキレンジスルホニルであり；
Ｒ4は、水素、フェニル、
Ｃ1−Ｃ12アルキル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ4は、Ｃ2−Ｃ12アルキル（これは、−Ｏ−の１個以上により中断され、そしてこれは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ4は、Ｃ2−Ｃ12アルカノイル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ4は、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ4は、フェニルスルホニル又は（４−メチルフェニル）スルホニルであり；
Ｒ5及びＲ6は、互いに独立して、水素又は
Ｃ1−Ｃ12アルキル（これは、非置換であるか、又はＯＨ、Ｃ1−Ｃ4アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチル−フェニル）スルホニル及び／若しくはＣ1−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ5及びＲ6は、Ｃ2−Ｃ12アルキル（これは、−Ｏ−の１個以上により中断され、そしてこれは、非置換であるか、又はＯＨ、Ｃ1−Ｃ4アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ1−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ5及びＲ6は、Ｃ2−Ｃ12アルカノイル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ5及びＲ6は、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか、或いはＲ5及びＲ6は、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニルであるか；或いは
Ｒ5及びＲ6は、フェニル、ベンゾイル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであるか；或いは
Ｒ5及びＲ6は、それらが結合する窒素原子と一緒になって、５員、６員又は７員環（それは、場合により−Ｏ−若しくは−ＮＲ4−により中断されている）を形成し；
Ｒ7は、水素、フェニル、
Ｃ1−Ｃ12アルキル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか、或いは
Ｒ7は、Ｃ2−Ｃ12アルキル（これは、−Ｏ−の１個以上により中断され、そしてこれは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ7は、Ｃ2−Ｃ12アルカノイル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ7は、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル（これは、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルにより置換されている）であるか；或いは
Ｒ7は、フェニルスルホニル又は（４−メチルフェニル）スルホニルであり；ここで、Ｒ″1が４−メチルフェニル又は４−オクチルフェニルの場合、Ｒ″3はメタンスルホニルではない〕
の化合物。
【請求項８】 （１）従来の方法で得た、式Ｘ又はXI：
【化１１】
（式中、
Ｒ1、Ｒ2及びＸは、請求項１と同義である）の対応するオキシム化合物の異性体混合物を酸により処理し；そして
（２）このように調製した単一異性オキシム化合物を、式XV、XVI又はXVII：
【化１２】
（式中、
Ｒ3及びＲ′3は、請求項１と同義であり、そして
Ｒ″3は、請求項７と同義である）の対応する酸ハロゲン化物と反応させる；ことによる、請求項１記載の式Ｉ、II又はIIIのオキシムエステル化合物或いは請求項７記載の式Ｉｂ、IIｂ又はIIIｂのオキシムエステル化合物の熱安定異性体の特定の調製方法。
【請求項９】 （ａ）酸の作用により硬化する化合物又は酸の作用によりその可溶性が増加する化合物；及び
（ｂ）請求項７記載の式Ｉｂ、IIｂ又はIIIｂの化合物の少なくとも１種を感光性酸ドナーとして含むことを特徴とする組成物。
【請求項１０】 酸の作用により架橋できる化合物の架橋方法であり、請求項７記載の式Ｉｂ、IIｂ及び／又はIIIｂの化合物を上記の化合物に加え、波長１５０〜１５００nmを有する光により像様に、又は全面に照射することを特徴とする方法。
【請求項１１】 表面塗膜、印刷インク、印刷版面、歯科用組成物、カラーフィルター、レジスト又は像記録材料若しくはホログラフ像を記録する像記録材料の調製のための、請求項１０記載の方法。
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