JPH06161109A - 光重合性組成物 - Google Patents

光重合性組成物

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JPH06161109A
JPH06161109A JP8291491A JP8291491A JPH06161109A JP H06161109 A JPH06161109 A JP H06161109A JP 8291491 A JP8291491 A JP 8291491A JP 8291491 A JP8291491 A JP 8291491A JP H06161109 A JPH06161109 A JP H06161109A
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JP
Japan
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methacrylate
group
monomer
acrylate
ethyl
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Application number
JP8291491A
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English (en)
Inventor
Hiromichi Noguchi
弘道 野口
Kichihei Narita
吉平 成田
Shinichi Uehara
真一 上原
Shigeru Hagio
滋 萩尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SANNOPUKO KK
Canon Inc
San Nopco Ltd
Original Assignee
SANNOPUKO KK
Canon Inc
San Nopco Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 従来の光重合性組成物では達成することがで
きなかった、可視光に高感度を示し、支持体に対する密
着性に優れ、かつ精密で高解像度のパターンを形成し得
る光重合性組成物を提供すること。 【構成】 下記組成分(1)〜(4)を含有する光重合
性組成物。 (1)アルキルメタアクリレート、アクリロニトリルお
よびスチレンからなる群より選ばれた一種以上のモノマ
ーに由来する構造単位を主体とする幹鎖に、親水性モノ
マーから得られる構造単位を主体とする枝鎖を付加した
グラフト共重合高分子、(2)線状高分子、(3)エチ
レン性不飽和結合を有するモノマー及び(4)有機過酸
化物、s−トリアジン誘導体、ベンゾフェノン及びその
誘導体、キノン類、N−フェニルグリシン及びアルキル
アリールケトンからなる群から選ばれた化合物の少なく
とも1種からなるラジカル発生剤と、クマリン系色素、
ケトクマリン系色素、シアニン系色素、メロシアニン系
色素及びキサンテン系色素からなる群から選ばれた化合
物の少なくとも1種からなる増感剤。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、紫外線、電子線および
可視光等の活性光線の照射により硬化する光重合性組成
物、とりわけ、ガラス、セラミックス、プラスチックフ
ィルム等の支持体への密着性と耐薬品性及び機械的強度
に優れ、かつパターン形成材料としての高感度及び高解
像度を有し、高精度の硬化膜からなるパターンを形成す
るのに好適な光重合性組成物に関し、特に可視領域の活
性光線に対し極めて高い感度を示す光重合性組成物に関
する。
【0002】
【従来の技術】近年、光重合性組成物は、塗料、イン
キ、封止材料、レジスト材料、パターン形成用材料とし
て多用されている。
【0003】しかし、これまでに知られているパターン
形成用の光重合性組成物は、紫外線に対して比較的高感
度に感応するが、可視光に対して高感度に感応するもの
は少ない。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】例えば、特開平2−8
4424号公報、特開平2−97516号公報には、グ
ラフト共重合高分子を用いた活性エネルギー線硬化型樹
脂組成物が開示されている。
【0005】これら公報に開示された発明では、超高圧
水銀灯、高圧水銀灯などの紫外線を用いたマスクパター
ン露光を主要な実施態様としている。また、これらの発
明を、使用される光重合開始剤の面から見ると、遊離ラ
ジカルを発生させる光重合開始剤に、必要に応じてアミ
ノ化合物を組合せて用いることが特徴になっている。
【0006】アミノ化合物は芳香族ケトンのような水素
引き抜き型の開始剤との併用において長波長側へのスペ
クトル感度の増感作用があり、可視光に対する感度を高
める上で有効である。
【0007】しかしながら、これらによって得られるス
ペクトル感度は実用的には400nm付近の光線までで
あり、420nmの光線では長時間の露光を必要とし、
450nmでは実質的に感度を持たない。
【0008】ところが、近年プリント配線版加工に代表
されるエレクトロニクス部品のリソグラフィー技術にお
いて、レーザーを用いた精密かつ高密度パターン形成技
術が試みられており、それに適するレジスト材料の開発
が望まれている。
【0009】言うまでもなく、レーザーは光学的な制御
技術によって配線パターン画像をレジスト上にスキャニ
ングして描画するものであり、その精密さはレーザーそ
のものに依存する。しかし、実用的には、レーザーの持
つ波長とエネルギー強度に見あった感度を有するレジス
ト材料が必要である。従って、スペクトル感度、解像
度、現像安定性、密着性等のパターニング特性に優れた
レジスト材料の開発が強く望まれている。特に、安価で
小型化し易く制御が容易な可視光レーザーで描画できる
材料に対する要望が高い。
【0010】本発明はこうした要求に鑑みなされたもの
であり、その目的は、従来の光重合性組成物では達成す
ることができなかった、可視光に高感度を示し、支持体
に対する密着性に優れ、かつ精密で高解像度のパターン
を形成し得る光重合性組成物を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は、 (1)アルキルメタクリレート、アクリロニトリルおよ
びスチレンからなる群より選ばれた一種以上のモノマー
に由来する構造単位を主体とする幹鎖に、(A)水酸基
含有アクリルモノマー、(B)アミノもしくはアルキル
アミノ基含有アクリルモノマー、(C)カルボキシル基
含有アクリルもしくはビニルモノマー、(D)N−ビニ
ルピロリドン、(E)ビニルピリジンもしくはその誘導
体および(F)下記一般式(I)で表わされるアクリル
アミド誘導体からなる群より選ばれた1種以上のモノマ
ーに由来する構造単位を主体とする枝鎖が付加されてな
るグラフト共重合高分子と、
【0012】
【化2】 [ただし、R1 は水素または炭素原子数が1〜3のアル
キルもしくはヒドロキシアルキル基、R2 は水素または
炭素原子数が1〜4のヒドロキシ基を有していてもよい
アルキルもしくはアシル基を表わす] (2)メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、
イソブチルメタクリレート、t−ブチルメタクリレー
ト、ベンジルメタクリレート、アクリロニトリル、イソ
ボルニルメタクリレート、イソボルニルアクリレート、
トリシクロデカンアクリレート、トリシクロデカンオキ
シエチルメタクリレート、スチレン、ジメチルアミノエ
チルメタクリレート、シクロヘキシルメタクリレートか
らなる群より選ばれた一種以上のモノマーに由来する構
造単位を有し、かつ前記(A)〜(F)のモノマーのう
ちの少なくとも一種のモノマーに由来する構造単位を有
する線状高分子と、 (3)エチレン性不飽和結合を有するモノマーと、 (4)有機過酸化物、s−トリアジン誘導体、ベンゾフ
ェノン及びその誘導体、キノン類、N−フェニルグリシ
ン及びアルキルアリールケトンからなる群から選ばれた
化合物の少なくとも1種からなるラジカル発生剤と、ク
マリン系色素、ケトクマリン系色素、シアニン系色素、
メロシアニン系色素及びキサンテン系色素からなる群か
ら選ばれた化合物の少なくとも1種からなる増感剤とを
含む光重合開始剤とを含むことを特徴とする光重合性組
成物により達成することができる。
【0013】以下、本発明の光重合性組成物を構成する
各成分(1)〜(4)について説明する。
【0014】(1)のグラフト共重合高分子は、構造材
料としての適性を有する比較的剛直な性状を有する幹鎖
に、親水性を有する上記(A)〜(F)から選ばれた少
なくとも一種のモノマーを主体とし、支持体への優れた
密着性を発揮する枝鎖を付加してなるものである。
【0015】上記グラフト共重合高分子を構成するに際
して、その枝鎖を構成すべく用いる上記(A)〜(F)
のモノマーを具体的に示せば、(A)の水酸基含有アク
リルモノマーとしては、2−ヒドロキシエチル(メタ)
アクリレート(以下、(メタ)アクリレートと記す場
合、アクリレート及びメタアクリレートの双方を含むこ
とを意味するものとする)、2−ヒドロキシプロピル
(メタ)アクリレート、3−クロロ−2−ヒドロキシブ
チル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メ
タ)アクリレート、3−ヒドロキシブチル(メタ)アク
リレート、5−ヒドロキシペンチル(メタ)アクリレー
ト及び6−ヒドロキシヘキシル(メタ)アクリレート、
ならびに1,4−シクロヘキサンジメタノールと(メ
タ)アクリル酸とのモノエステルなどが挙げられ、商品
名アロニックスM5700(東亜合成化学株式会社
製)、TONEM100(カプロラクトンアクリレー
ト、ユニオンカーバイド株式会社製)、ライトエステル
HO−mpp(共栄社油脂化学工業株式会社製)、ライ
トエステルM600A(2−ヒドロキシ−3−フェノキ
シプロピルアクリレートの商品名、共栄社油脂化学工業
株式会社製)として知られているものなどが使用でき
る。
【0016】これらに加えてさらに、二価アルコール類
と(メタ)アクリル酸とのモノエステルなども使用でき
る。この二価アルコール類としては、例えば、ビスフェ
ノールAとエチレンオキシドもしくはプロピレンオキシ
ドの付加反応物、1,10−デカンジオール、ネオペン
チルグリコール、ビス(2−ヒドロキシエチル)テレフ
タレートなどを挙げることができる。
【0017】(B)のアミノもしくはアルキルアミノ基
含有アクリルモノマーとしては、(メタ)アクリルアミ
ド、N,N−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリルア
ミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、N,
N−ジメチルアミノプロピル(メタ)アクリルアミド、
N,N−ジt−ブチルアミノエチル(メタ)アクリルア
ミドなどが挙げられる。
【0018】(C)のカルボキシル基含有アクリルもし
くはビニルモノマーとしては、(メタ)アクリル酸、フ
マール酸、イタコン酸あるいは東亜合成化学株式会社の
製品の商品名アロニックスM−5400、アロニックス
M−5500などとして知られるものが挙げられる。
【0019】(E)のビニルピリジンもしくはその誘導
体としては、2−ビニルピリジン、4−ビニルピリジ
ン、2−ビニル−6−メチルピリジン、4−ビニル−1
−メチルピリジン、2−ビニル−5−エチルピリジン、
(4−ピペニリノエチル)ピリジン等が挙げられる。
【0020】上記(A)〜(E)のモノマーは、その何
れもが親水性を有するものであり、本発明の光重合性組
成物がガラス、セラミック、プラスチック等の支持体に
接着する際に、強固な密着性を付与するものである。
【0021】(F)の上記一般式(I)で表わされるア
クリルアミド誘導体としては、N−メチロール(メタ)
アクリルアミド、N−プロポキシメチル(メタ)アクリ
ルアミド、N−n−ブトキシメチル(メタ)アクリルア
ミド、β−ヒドロキシエトキシメチル(メタ)アクリル
アミド、N−エトキシメチル(メタ)アクリルアミド、
N−メトキシメチル(メタ)アクリルアミド、α−ヒド
ロキシメチル−N−メチロールアクリルアミド、α−ヒ
ドロキシエチル−N−ブトキシメチルアクリルアミド、
α−ヒドロキシプロピル−N−プロポキシメチルアクリ
ルアミド、α−エチル−N−メチロールアクリルアミ
ド、α−プロピル−N−メチロールアクリルアミド等の
親水性でかつ熱架橋性を有するモノマーが挙げられる。
【0022】これらモノマー(F)は、親水性はもとよ
り加熱による縮合架橋性を有しており、一般には100
℃以上の温度で水分子あるいはアルコールが脱離し架橋
結合を形成してグラフト共重合高分子自体にも硬化後に
編目構造を形成させ、硬化して得られるパターンの耐薬
品性および機械的強度などをより一層向上させ、本発明
の光重合性組成物をより効果的なものとする。
【0023】本発明におけるグラフト共重合高分子の枝
鎖が熱架橋性である場合には、活性光線の照射によりパ
ターンを形成した後に加熱を行なうことが好ましい。
【0024】なお、枝鎖は前記(A)〜(F)に例示し
たような親水性のモノマーのみに由来するものの他、そ
の他の種々の機能を発揮させる各種の疎水性モノマー等
を0〜約25重量%までの範囲内で共重合の成分として
用いてなる枝鎖であっても良い。
【0025】本発明におけるグラフト共重合高分子の幹
鎖は、アルキルメタクリレート、アクリロニトリルおよ
びスチレンからなる群より選ばれた一種以上のモノマー
に由来する構造単位を主体として構成される。
【0026】この幹鎖の構成に利用されるアルキルメタ
クリレートとしては、メチルメタクリレート、エチルメ
タクリレート、イソブチルメタクリレート、t−ブチル
メタクリレートなどのアルキル基の炭素数が1〜4のも
のをあげることができる。
【0027】なお、幹鎖は上記モノマーのみに由来する
ものの他、例えば上記モノマーに、メチルアクリレー
ト、エチルアクリレート、n−ブチルアクリレート、ラ
ウリルアクリレート、n−ブチルメタクリレート、2−
エチルヘキシルメタクリレート、グリシジルメタクリレ
ート、酢酸ビニルなどを0〜約50重量%までの範囲内
で共重合の成分として用いてなる幹鎖であってもよい。
【0028】本発明に用いられるグラフト共重合高分子
は、本発明の光重合性組成物が硬化する際、該組成物に
形態保持性を付与して精密なパターニングを可能にする
とともに、硬化して得られるパターンに対しては密着
性、耐薬品性ならびに高い機械強度を与えるものであ
る。
【0029】(2)の線状高分子は、先に挙げたモノマ
ーのうち少なくとも一種を主成分とし、かつ前記(A)
〜(F)のモノマーのうち少なくとも一種を用い、公知
の方法に従って重合することにより得ることができる高
分子である。なお、前記(A)〜(F)のモノマーは、
5〜30モル%の範囲で加えることが望ましい。30モ
ル%以上であると、硬化して得られた硬化物中の極性基
濃度が高くなり、支持体との密着性向上の効果が上昇せ
ず、これに加えて耐水性の低下が現われてくるので好ま
しくない。5モル%以下であると、支持体との密着性で
なく硬化物中における該成分の結合剤としての効果が不
十分となる。
【0030】(3)のエチレン性不飽和結合を有するモ
ノマーは、本発明の光重合性組成物に活性光線による硬
化性を発揮させ、とりわけ本発明の光重合性組成物に活
性光線に対する優れた感度を付与するための成分であ
り、好ましくは大気圧下で100℃以上の沸点を有し、
また好ましくはエチレン性不飽和結合を2個以上有する
ものであって、光線の照射で硬化する公知の種々のモノ
マーを用いることができる。
【0031】そのような2個以上のエチレン性不飽和結
合を有するモノマーを具体的に示せば、例えば(イ)1
分子中に2個以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ
樹脂のアクリル酸エステルまたはメタクリル酸エステ
ル、(ロ)多価アルコールのアルキレンオキシド付加物
のアクリル酸エステルまたはメタクリル酸エステル、
(ハ)二塩基酸と二価アルコールから成る分子量 500〜
3000のポリエステルの分子鎖末端にアクリル酸エステル
基を持つポリエステルアクリレート、(ニ)多価イソシ
アネートと水酸基を有するアクリル酸モノマーとの反応
物が挙げられる。上記(イ)〜(ニ)のモノマーは、分
子内にウレタン結合を有するウレタン変性物であっても
よい。
【0032】(イ)に属するモノマーとしては、ビスフ
ェノールA型、ノボラック型、脂環型に代表されるエポ
キシ樹脂、あるいは、ビスフェノールS、ビスフェノー
ルF、テトラヒドロキシフェニルメタンテトラグリシジ
ルエーテル、レゾルシノールジグリシジルエーテル、グ
リセリントリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトー
ルトリグリシジルエーテル、イソシアヌール酸トリグリ
シジルエーテルおよび下記一般式II
【0033】
【化3】 で表わされるエポキシウレタン樹脂の(メタ)アクリル
酸エステルなどが挙げられる。
【0034】(ロ)に属するモノマーとしては、エチレ
ングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリ
コールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコー
ルジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオール
ジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ
(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メ
タ)アクリレートなどが挙げられ、商品名KAYARAD HX-
220 、HX-620、D-310 、D-320 、D-330 、DPHA、R-604
、 DPCA-20、DPCA-30 、DPCA-60 、DPCA-120 (以上、
日本化薬株式会社製) 、商品名NKエステルBPE-200 、BP
E-500 、BPE-1300、A-BPE-4(以上、新中村化学株式会社
製) 等で知られるものを使用できる。
【0035】(ハ)に属するモノマーとしては、商品名
アロニックスM-6100、M-6200、M-6250、M-6300、M-640
0、M-7100、M-8030、M-8060、M-8100 (以上、東亜合成
化学株式会社製)などが挙げられる。(ハ)に属し、ポ
リエステルのウレタン結合を含有するものとしては、商
品名アロニックスM-1100、アロニックスM-1200 (以上、
東亜合成化学株式会社製)等として知られるものが挙げ
られる。
【0036】(ニ)に属するモノマーとしては、トリレ
ンジイソシアナート、イソホロンジイソシアナート、ヘ
キサメチレンジイソシアナート、トリメチルヘキサメチ
レンジイソシアナート、リジンジイソシアナート、ジフ
ェニルメタンジイソシアナートなどのポリイソシアナー
トと水酸基含有アクリルモノマーとの反応物が挙げら
れ、商品名スミジュールN(ヘキサメチレンジイソシア
ナートのビュレット誘導体)、スミジュールL(トリレ
ンジイソシアナートのトリメチロールプロパン変性体)
(以上、住友バイエルウレタン株式会社製)等で知られ
るポリイソシアナート化合物に水酸基含有の(メタ) ア
クリル酸エステルを付加した反応物などを使用できる。
ここで言う水酸基含有アクリルモノマーとしては(メ
タ) アクリル酸エステルが代表的なもので、ヒドロキシ
エチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メ
タ)アクリレートが好ましい。また、先に挙げたグラフ
ト共重合高分子の枝鎖に用いられる水酸基含有の他のア
クリルモノマー、特に前記一般式(I)で表わされる化
合物も使用することができる。
【0037】上記したような2個以上のエチレン性不飽
和結合を有するモノマーの他、例えば以下に列挙するよ
うなエチレン性不飽和結合を1個だけ有するモノマーも
用いることができる。そのような1個のエチレン性不飽
和結合を有するモノマーを例示すれば、例えばアクリル
酸、メタクリル酸などのカルボキシル基含有不飽和モノ
マー;グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレ
ートなどのグリシジル基含有不飽和モノマー;ヒドロキ
シエチルアクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレー
ト、ヒドロキシプロピルアクリレート、ヒドロキシプロ
ピルメタクリレート等のアクリル酸またはメタクリル酸
のC2 〜C8 ヒドロキシアルキルエステル;ポリエチレ
ングリコールモノアクリレート、ポリエチレングリコー
ルモノメタクリレート、ポリプロピレングリコールモノ
アクリレート、ポリプロピレングリコールモノメタクリ
レート等のアクリル酸またはメタクリル酸とポリエチレ
ングリコールまたはポリプロピレングリコールとのモノ
エステル;アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アク
リル酸プロピル、アクリル酸イソプロピル、アクリル酸
ブチル、アクリル酸ヘキシル、アクリル酸オクチル、ア
クリル酸ラウリル、アクリル酸シクロヘキシル、メタク
リル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸プロ
ピル、メタクリル酸イソプロピル、メタクリル酸ブチ
ル、メタクリル酸ヘキシル、メタクリル酸オクチル、メ
タクリル酸ラウリル、メタクリル酸シクロヘキシル等の
アクリル酸またはメタクリル酸のC1 〜C12アルキルま
たはシクロアルキルエステル;その他のモノマ−とし
て、例えばスチレン、ビニルトルエン、メチルスチレ
ン、酢酸ビニル、塩化ビニル、ビニルイソブチルエーテ
ル、アクリロニトリル、アクリルアミド、メタクリルア
ミド、アルキルグリシジルエーテルのアクリル酸または
メタクリル酸付加物、ビニルピロリドン、ジシクロペン
テニルオキシエチル(メタ)アクリレート、ε−カプロ
ラクトン変性ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレー
ト、テトラヒドロフルフリルアクリレート、フェノキシ
エチルアクリレートなど;が挙げられる。
【0038】本発明の光重合性組成物は、従来公知の紫
外線硬化システムで利用している250nmから400
nmの紫外線のみならず、400nm以上の可視光線、
可視光レーザーによっても硬化反応し得るものである。
【0039】本発明の光重合性組成物に用いる光重合開
始剤は、高い重合活性を有するラジカル発生剤と、光を
効率的に吸収する増感剤の組合せからなる。
【0040】このラジカル発生剤としては、先にのべた
ように、有機過酸化物、s−トリアジン誘導体、ベンゾ
フェノン及びその誘導体、キノン類、N−フェニルグリ
シン及びアルキルアリールケトンからなる群から選ばれ
た化合物の1種または2種以上を組合せて用いる。
【0041】有機過酸化物の具体例としては、3,3,
5−トリメチルシクロヘキサノンパーオキサイド、アセ
チルアセトンパーオキサイド、シクロヘキサノンパーオ
キサイド、メチルイソブチルケトンパーオキサイド、メ
チルエチルケトンパーオキサイド、メチルシクロヘキサ
ノンパーオキサイドなどのケトンパーオキサイド類;
2,4−ジクロロベンゾイルパーオキサイド、3,3,
5−トリメチルヘキサノイルパーオキサイド、p−クロ
ロベンゾイルパーオキサイド、アセチルシクロヘキサン
スルホニルパーオキサイド、アセチルパーオキサイド、
イソブチリルパーオキサイド、オクタノイルパーオキサ
イド、コハク酸パーオキサイド、デカノイルパーオキサ
イド、プロピオニルパーオキサイド、ベンゾイルパーオ
キサイド、ラウロイルパーオキサイドなどのアシルパー
オキサイド類;1,1,3,3−テトラメチルブチルヒ
ドロパーオキサイド、2,5−ジメチルヘキサン−2,
5−ジヒドロパーオキサイド、p−メタンヒドロパーオ
キサイド、t−ブチルヒドロパーオキサイド、クメンヒ
ドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンヒドロパ
ーオキサイドなどのヒドロパーオキサイド類;1,3−
ビス(t−ブチルパーオキシイソプロピル)ベンゼン、
1,4−ビス(t−ブチルパーオキシイソプロピル)ベ
ンゼン、2,5−ジメチル−2,5−ジ(t−ブチルパ
ーオキシ)ヘキサン、2,5−ジメチル−2,5−ジ
(t−ブチルパーオキシ)ヘキシン−3、t−ブチルク
ミルパーオキシサイド、ジ−t−ブチルパーオキサイ
ド、ジイソプロピルベンゼンパーオキサイド、ジクミル
パーオキサイドなどのジアルキルパーオキサイド類;
1,1−ビス(t−ブチルパーオキシ)シクロヘキサ
ン、1,1−ビス−t−ブチルパーオキシ−3、3、5
−トリメチルシクロヘキサン、2,2−ビス(t−ブチ
ルパーオキシ)ブタン、n−ブチル4,4−ビス(t−
ブチルパーオキシ)バレレートなどのパーオキシケター
ル類;2,5−ジメチル−2,5−ジベンゾイルパーオ
キシヘキサン、3,3’,4,4’−テトラ(t−アミ
ルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3’,
4,4’−テトラ(t−イソプロピルクミルパーオキシ
カルボニル)ベンゾフェノン、3,3’,4,4’−テ
トラ(t−オクチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェ
ノン、3,3’,4,4’−テトラ(t−クミルパーオ
キシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3’,4,4’
−テトラ(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフ
ェノン、3,3’,4,4’−テトラ(t−ヘキシルパ
ーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、t−ブチルパー
オキシアセテート、t−ブチルパーオキシイソブチレー
ト、t−ブチルパーオキシ−3,5,5−トリメチルヘ
キサノエート、t−ブチルパーオキシオクタノエート、
t−ブチルパーオキシネオデカネート、t−ブチルパー
オキシピバレート、t−ブチルパーオキシベンゾエー
ト、t−ブチルパーオキシラウレート、t−ブチル過酸
化マレイン酸、ジ−t−ブチルパーオキシイソフタレー
ト、ジ−t−ブチルパーオキシフタレートなどのアルキ
ルパオキシエステル類;t−ブチルパーオキシイソプロ
ピルカーボネート、ジ−(3−メチル−3−メトキシブ
チル)パーオキシジカーボネート、ジ−(t−ブチルパ
ーオキシ二水素二フタレート)カーボネート、ジ−(t
−ヘキシルパーオキシ二水素二フタレート)カーボネー
ト、ジ−n−プロピルパーオキシジカーボネート、ジ−
sec−ブチルパーオキシカーボネート、ジイソプロピ
ルパーオキシジカーボネート、ジ−2−エトキシエチル
パーオキシジカーボネート、ジ−2−エチルヘキシルパ
ーオキシジカーボネート、ジ−3−メトキシブチルパー
オキシジカーボネート、ジメトキシイソプロピルパーオ
キシジカーボネート、ビス−(4−t−ブチルシクロヘ
キシル)パーオキシカーボネートなどのパーオキシカー
ボネート類;などが挙げられる。
【0042】s−トリアジン誘導体の具体例としては、
2,4,6−トリス(ジクロロメチル)−s−トリアジ
ン、2,4,6−トリス(ジブロモメチル)−s−トリ
アジン、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s
−トリアジン、2,4,6−トリス(トリブロモメチ
ル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(モノクロ
ロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(モ
ノブロモメチル)−s−トリアジン、2−(2,4−ジ
クロロフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)
−s−トリアジン、2−(4’−メトキシ−1’−ナフ
チル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリ
アジン、2−(p−クロロフェニル)−4,6−ビス
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−ト
リル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリ
アジン、2−(p−ブロモフェニル)−4,6−ビス
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メ
トキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)
−s−トリアジン、2−(p−メトキシフェニル)−
4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、
2−(α,α,β−トリクロロエチル)−4,6−ビス
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−n−プロ
ピル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリア
ジン、2−アミノ−4,6−ビス(トリブロモメチル)
−s−トリアジン、2−スチリル−4,6−ビス(トリ
クロロメチル)−s−トリアジン、2−ピペリジノ−
4,6−ビス(トリブロモメチル)−s−トリアジン、
2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s
−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリブロ
モメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビ
ス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル
−4,6−ビス(トリブロモメチル)−s−トリアジ
ン、2−メトキシ−4,6−ビス(トリブロモメチル)
−s−トリアジンなどが挙げられる。
【0043】ベンゾフェノン及びその誘導体の具体例と
しては、2−メチルベンゾフェノン、4−メチルベンゾ
フェノン、2,4,6−トリメチルベンゾフェノン、
3,3−ジメチル−4−メトキシベンゾフェノン、4,
4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,
4’−ビス(ジメトキシアミノ)ベンゾフェノン、4,
4’−ジクロロベンゾフェノン、4−p−トリルチオベ
ンゾフェノン、4−クロロベンゾフェノン、4−ジメト
キシアミノベンゾフェノン、4−(スルホメチル)ベン
ゾフェノンナトリウム、4−フェニルベンゾフェノン、
4−ベンゾイルベンジルトリメチルアンモニウムクロラ
イド、4−モルホリノベンゾフェノン、ベンゾフェノン
などが挙げられる。
【0044】キノン類の具体例としては、1,2,3,
4−テトラヒドロナフタセンキノン、1,2,3,4−
テトラヒドロベンズ(a)アントラセン−7,12−ジ
オン、1,2−ベンズアントラキノン、1,4−ジメチ
ルアントラキノン、1,4−ナフトキノン、1−クロロ
アントラキノン、2,3−ジクロロナフトキノン、2,
3−ジメチルアントラキノン、2,3−ベンズアントラ
キノン、2−t−ブチルアントラキノン、2−エチルア
ントラキノン、2−クロロアントラキノン、2−フェニ
ルアントラキノン、2−メチル−1,4−ナフトキノ
ン、2−メチルアントラキノン、3−クロロ−2−メチ
ルアントラキノン、4−(スルホメチル)ベンジルナト
リウム、4−(トリメチルアンモニウムメチル)ベンジ
ルブロマイド、7,8,9,10−テトラヒドロナフタ
センキノン、9,10−アントラキノン、9,10−フ
ェナントレンキノン、アントラキノンαスルホン酸ナト
リウム、オクタメチルアントラキノン、カンファーキノ
ン、ジベンゾスベロン、フルオレノン、ベンズアントロ
ン、ベンゾキノン、レテンキノンなどが挙げられる。
【0045】N−フェニルグリシンの具体例としては、
N,N−ジフェニルグリシン、N−(2−メトキシエチ
ル)−N−フェニルグリシン、N−(m−メチルフェニ
ル)グリシン、N−(n−ブチル)−N−(p−トリ
ル)グリシン、N−(n−ブチル)−N−(p−ブロモ
フェニル)グリシン、N−(n−ブチル)−N−フェニ
ルアラニン、N−(n−ブチル)−N−フェニルグリシ
ン、N−(n−プロピル)−N−(p−クロロフェニ
ル)グリシン、N−(n−プロピル)−N−(p−トリ
ル)グリシン、N−(n−プロピル)−N−フェニルア
ラニン、N−(n−プロピル)−N−フェニルグリシ
ン、N−(p−クロロ)−フェニルグリシン、N−(p
−トリル)−グリシン、N−(p−メトキシフェニル)
グリシン、N−エチル−N−(p−クロロフェニル)グ
リシン、N−エチル−N−(p−トリル)グリシン、N
−エチル−N−(p−ブロモフェニル)グリシン、N−
エチル−N−フェニルアラニン、N−エチル−N−フェ
ニルグリシン、N−フェニルグリシン、N−メチル−N
−(p−クロロフェニル)グリシン、N−メチル−N−
(p−トリル)グリシン、N−メチル−N−(p−ブロ
モフェニル)グリシン、N−メチル−N−(p−ヨード
フェニル)グリシン、N−メチル−N−フェニルアラニ
ン、N−メチル−N−フェニルグリシン、N−メチル−
N−フェニルバリン、N−メチル−N−フェニルロイシ
ンなどが挙げられる。
【0046】アルキルアリールケトンの具体例として
は、2,2−ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメ
トキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,3−ビス
(4−(2−ヒドロキシ−2−メチルプロパノイル)フ
ェニル)−2,3−ジメチルブタン、3,3’−ジメト
キシベンジル、4,4’−ジメトキシベンジル、4,
4’’−ジエチルイソフタロフェノン、1−フェニル−
1,2−プロパンジオン−2−o−ベンゾイルオキシ
ム、1−ベンゾイルシキロヘキサン−1−オール、2−
ヒドロキシ−2,2’−ジメチルアセトフェノン、o−
アセチルベンゾフェノン、α−アリルベンゾイン、α−
フェニルベンゾイン、α−メチルベンゾイン、ピバロイ
ン、ベンジル、ベンジルエチレングリコールケタール、
ベンジルジメチルケタール、ベンゾイルトシレート、ベ
ンゾイン、ベンゾイン−n−ブチルエーテル、ベンゾイ
ン−sec−ブチルエーテル、ベンゾイン−t−ブチル
エーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾイン
イソプロピルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベ
ンゾインフェニルエーテル、ベンゾインメチルエーテル
などが挙げられる。
【0047】本発明の光重合性組成物に用いる光重合開
始剤に含有させる増感剤は、クマリン系色素、ケトクマ
リン系色素、シアニン系色素、メロシアニン系色素及び
キサンテン系色素からなる群から選ばれた化合物の少な
くとも1種からなる。
【0048】クマリン類、ケトクマリン類の具体例とし
ては、3,3’−カルボニルビス(4−シアノ−7−ジ
エチルアミノ)クマリン、3,3’−カルボニルビス
(5,7−ジメトキシクマリン)、3,3’−カルボニ
ルビス(7−ジアリルアミノクマリン)、3,3’−カ
ルボニルビス(7−ジエチルアミノクマリン)、3,
3’−カルボニルビス(7−メトキシクマリン)、3,
3’−カルボニルビスクマリン、3−(2’−ベンズイ
ミダゾイル)−7−ジエチルアミノクマリン、3−
(2’−ベンズオキサゾイル)−7−ジエチルアミノク
マリン、3−(2’−ベンズチアゾイル)−7−ジエチ
ルアミノクマリン、3−(5’−フェニルチアジアゾイ
ル−2’)−7−ジエチルアミノクマリン、3−アセチ
ル−5,7−ジメトキシクマリン、3−アセチル−7−
ジエチルアミノクマリン、3−アセチル−7−ジメチル
アミノクマリン、3−アセチルクマリン、3−シンナモ
イル−7−ジエチルアミノクマリン、3−ベンゾイル−
5,7−ジメトキシクマリン、3−ベンゾイル−7−ジ
エチルアミノクマリン、3−ベンゾイル−7−ジメチル
アミノクマリン、3−ベンゾイル−7−メトキシクマリ
ン、3−ベンゾイルクマリン、7−ジエチルアミノ−3
−(4−ジメチルアミノシンナモイル)クマリン、7−
ジエチルアミノ−5,7’−ジメトキシ−3,3’−ビ
スクマリン、商品名Coumarine−2、Coum
arine−1、C1H、Coumarine−30、
Coumarine−7、Coumarine−6、N
K−1297(以上株式会社日本感光色素研究所製)、
商品名AR−100(日本化薬株式会社製)、商品名L
S−157、LS−120、LS−153、LS−15
8(以上三井東圧化学株式会社社製)などが挙げられ
る。
【0049】シアニン系色素、メロシアニン系色素の具
体例としては、1,1−ビス(3−エチル−2−α−ナ
フトチアゾール)メチンシアニン、1,1−ビス(3−
エチル−2−β−ナフトチアゾール)メチンシアニン、
1,1−ビス(3−エチル−3−ベンゾチアゾール)メ
チンシアニン、1,1−ビス(3−メチル−2−α−ナ
フトチアゾール)メチンシアニン、1,1−ビス(3−
メチル−2−β−ナフトチアゾール)メチンシアニン、
1,1−ビス(3−メチル−3ベンゾチアゾール)メチ
ンシアニン、1,3−ビス(3−メチル−2−β−ナフ
トチアゾール)トリメチンシアニン、1,3−ビス(3
−メチル−2−ベンゾチアゾール)トリメチンシアニ
ン、1−(3−エチル−2−α−ナフトチアゾール)−
1−(3−エチル−2−β−ナフトチアゾール)メチン
シアニン、1−(3−エチル−2−α−ナフトチアゾー
ル)−1−(3−エチル−2−ベンゾチアゾール)メチ
ンシアニン、1−(3−エチル−2−β−ナフトチアゾ
ール)−1−(3−エチル−2−ベンゾチアゾール)メ
チンシアニン、1−(3−エチル−2−β−ナフトチア
ゾール)−3−(3−メチル−2−ベンゾチアゾール)
メチンシアニン、1−(3−メチル−2−α−ナフトチ
アゾール)−1−(3−メチル−2−ベンゾチアゾー
ル)メチンシアニン、4−[(3’−エチル−2’−ベ
ンゾチアゾリリデン)エチリデン]−1−フェニル−3
−メチル−ピラゾロン、4−[(3’−エチル−2’−
ベンゾチアゾリリデン)エチリデン]−2−フェニル−
5(4)オキサゾロン、5−[(1’−エチル−2’−
ピリジリデン)エチリデン]−3−エチルローダニン、
5−[(3,3’−ジメチル−2’−インドリニリデ
ン)エチリデン]−3−エチル−4−オキソ−2−チオ
オキソオキサゾリジン、5−[(3’−エチル−2’−
ベンゾチアゾリリデン)エチリデン]−3−エチル−4
−オキソ−2−チオオキソオキサゾリジン、5−
[(3’−エチル−2’−ベンゾチアゾリリデン)エチ
リデン]−3−エチル−4−オキソ−2−チオオキソオ
キサゾリジン、5−[(3’−エチル−2’−ベンゾチ
アゾリリデン)エチリデン]−−3−エチル−4−オキ
ソ−2−チオキソオキサゾリジン、5−[(3’−エチ
ル−4’,5’−ジフェニル−2’−チアゾリリデン)
エチリデン]−3−エチルローダニン、商品名NK−8
5、NK−79、NK−76、NK−116、NK−2
841、NK−2825(以上株式会社日本感光色素研
究所製)などが挙げられる。
【0050】キサンテン系色素の具体例としては、2,
4−ジイソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチル
チオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2
−(3−スルホプロポキシ)チオキサントンナトリウ
ム、2−イソプロピルチオキサントン、2−エチルチオ
キサントン、2−カルボキシメトキシチオキサントン−
N−(2−ヒドロキシエチル)−N,N−ジメチルアン
モニウム、2−クロロチオキサントン、2−メチルチオ
キサントン、商品名Rhodamine−6G、Rho
damine−B、Kiton Red S (以上、
(以上株式会社日本感光色素研究所製)などが挙げられ
る。
【0051】次に、本発明の光重合性組成物の成分であ
るグラフト共重合高分子(1)、線状高分子(2)、エ
チレン性不飽和結合を有するモノマー(3)、光重合開
始剤(4)の組成比について説明する。
【0052】グラフト共重合高分子の重量をG、線状高
分子の重量をL、エチレン性不飽和結合を有するモノマ
ーの重量をMとすると、G:L= 80:20〜 50:50、M:
(G+L)=20:80〜80:20の範囲が望ましい。光重合
開始剤は、これら成分の合計量(G+L+M)100重
量部に対して0.2〜20重量部の範囲で用いるのが望
ましい。更に、本発明の光重合性組成物には必要に応じ
て、縮合架橋触媒、熱重合禁止剤、充填剤、染料や顔料
等の着色剤、熱安定剤、密着促進剤、可塑剤、シリカや
タルク等の体質顔料、塗工適性を与えるレベリング剤な
どを添加しても良い。
【0053】本発明の光重合性組成物を溶液状で用いる
際、あるいはドライフィルムとする際のフィルム基材で
あるプラスチックなどの上に塗布する場合などに用いる
溶剤としては、アルコール類、グリコールエーテル類、
グリコールエステル類等の親水性溶剤などが挙げられ
る。また、これら親水性溶剤を主体とし、それらに必要
に応じてメチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン
等のケトン類、酢酸エチル、酢酸イソブチル等のエステ
ル類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素及びその
ハロゲン置換体、塩化メチレン、1,1,1 −トリクロルエ
タン等の塩素含有の脂肪族溶剤等を適宜混合したものを
用いることもできる。尚、これら溶剤は、本発明の光重
合性組成物の現像液として用いることもできる。
【0054】本発明の光重合性組成物は、通常の方法に
従って使用することができ、例えば、基板に本発明の光
重合性組成物を塗布し、パターンのネガマスクを通して
露光し、未感光性部分を現像除去し、パターンを形成す
る。
【0055】本発明の光重合性組成物の硬化に用いる活
性光線としては、例えば、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、
メタルハライドランプ、キセノンランプ、蛍光灯、タン
グステンランプ、アルゴンレーザー、ヘリウムカドミウ
ムレーザー、クリプトンレーザーなど、波長が180n
m以上の紫外線、可視光線を含む光源が使用できる。ま
た、電子線も光源として利用することができる。
【0056】
【実施例】以下、実施例により本発明を更に詳細に説明
する。なお、本発明は以下の実施例により限定されるも
のではない。
【0057】実施例1 2−ヒドロキシエチルメタクリレート50重量部、N−
メチロールアクリルアミド50重量部を用い、チオグリ
コール酸を連鎖移動剤、アゾビスイソブチロニトリルを
重合開始剤として用い、ラジカル連鎖移動重合を行な
い、分子末端にカルボキシ基を持つオリゴマーを得た。
【0058】このオリゴマーに、グリシジルメタクリレ
ートを反応させることにより、分子鎖の片末端にメタク
リロイル基を持つマクロモノマーを得た。
【0059】このマクロモノマー20重量部とメチルメ
タクリレート80重量部とを、メチルセロソルブ溶液中
で溶液重合しグラフト共重合高分子(G−1とする)を
得た。
【0060】これとは別に、メチルメタクリレートとN
−メチロールアクリルアミドとを80:20のモル比で
重合することにより線状アクリル共重合体(L−1とす
る)を得た。
【0061】次に、G−1及びL−1を用い、下記組成
の光重合性組成物を得た。 成分 重量部 G−1 80 L−1 20 トリメチロールプロパンアクリレート 40 ラジカル発生剤 3.5 増感剤 3.5 ハイドロキノン 0.1 メチルセロソルブ 200 なお、ラジカル発生剤及び増感剤としては、表1に示す
各種組み合わせをそれぞれ個々に用いて、光重合性組成
物(試料番号1〜8)を得た。
【0062】次に、この液体状の組成物を、1.6mm
厚のガラスエポキシ銅張積層板上に乾燥後の厚みが10
μmとなるようにバーコーターで塗布し、次いで90
℃、5分間の熱風乾燥を行なった。更に、得られた塗膜
表面に25μm厚のポリエチレンテレフタレートフィル
ムを圧着し、試料を得た。
【0063】感度テストは、ポリエチレンテレフタレー
トフィルムを介した可視光及びアルゴンレーザー光の照
射によって行なった。可視光はハロゲンランプを光源と
し、熱線カットフィルター及びダイクロイックブルーフ
ィルターを通して得た。試料の上に光学濃度段差0.1
5のステップウェッジを重ね、20秒間露光し、グレー
スケール法により感度を測定した。アルゴンレーザー光
は波長488nmのシングルラインビーム(ビームスポ
ット0.65mm)を用い露光時間を変えて試料に照射
した。照射後、現像を行ない、スポットに応じた形状で
塗膜が残った部分に照射されたレーザーのエネルギー量
で感度を表わした。
【0064】現像は、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルムを除去してから、20℃の1,1,1 −トリクロルエタ
ンの1分間スプレー噴霧により行なった。現像処理した
試料は、80℃で加熱乾燥させてから、高圧水銀灯によ
る10J/cm2 の後露光を行ない、更に150℃で6
0分間加熱し、樹脂組成物を充分に硬化させた。
【0065】ラジカル発生剤及び増感剤の各試料におけ
る感度の測定結果を表1に示す。なお、ハロゲンランプ
での試験では、段数の多い方が、またアルゴンレーザー
での試験ではエネルギー量の少ない方が、感度が良い。
【0066】比較例1 G−1及びL−1の代わりに、ポリメタクリル酸メチル
を用い、かつ表2に示すラジカル発生剤及び増感剤の組
み合わせを用いる以外は実施例1と同様にして組成物
(使用番号9〜12)を調製し、その感度を測定した。
結果を表2に示す。
【0067】
【表1】
【0068】
【表2】 BTTB:3,3,4,4−テトラ(t−ブチルパーオ
キシカルボニル)ベンゾフェノン AR−100:ククマリン系色素(日本化薬株式会社
製) NPG:N−フェニルグリシン NK−1297:クマリン系色素(株式会社日本感光色
素研究所製) トリアジン:2,4,6−トリス(トリクロロメチル)
−s−トリアジン
【0069】
【発明の効果】本発明の光重合性組成物は、紫外線及び
可視光に対して高感度を有し、特に、アルゴンレーザー
などの可視光線を用いる分野に有用である。また、本発
明の光重合性組成物は、グラフト共重合高分子を構成成
分とするので、添加助剤などを添加しなくとも種々の支
持体に対して十分な密着性を有し、かつ線状高分子を構
成成分とするのでパターン形成時の現像特性に優れ、同
時に種々の用途に使用するに十分な耐薬品性、耐久性な
どを有する。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C09D 4/00 PDQ 7921−4J G03F 7/004 503 7/027 502 7/031 7/033 H01L 21/027 // C09D 5/00 PNW 6904−4J (72)発明者 上原 真一 京都府京都市東山区一橋野本町11−1 サ ンノプコ株式会社内 (72)発明者 萩尾 滋 京都府京都市東山区一橋野本町11−1 サ ンノプコ株式会社内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (1)アルキルメタクリレート、アクリ
    ロニトリルおよびスチレンからなる群より選ばれた一種
    以上のモノマーに由来する構造単位を主体とする幹鎖
    に、(A)水酸基含有アクリルモノマー、(B)アミノ
    もしくはアルキルアミノ基含有アクリルモノマー、
    (C)カルボキシル基含有アクリルもしくはビニルモノ
    マー、(D)N−ビニルピロリドン、(E)ビニルピリ
    ジンもしくはその誘導体および(F)下記一般式(I)
    で表わされるアクリルアミド誘導体からなる群より選ば
    れた1種以上のモノマーに由来する構造単位を主体とす
    る枝鎖が付加されてなるグラフト共重合高分子と、 【化1】 [ただし、R1 は水素または炭素原子数が1〜3のアル
    キルもしくはヒドロキシアルキル基、R2 は水素または
    炭素原子数が1〜4のヒドロキシ基を有していてもよい
    アルキルもしくはアシル基を表わす] (2)メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、
    イソブチルメタクリレート、t−ブチルメタクリレー
    ト、ベンジルメタクリレート、アクリロニトリル、イソ
    ボルニルメタクリレート、イソボルニルアクリレート、
    トリシクロデカンアクリレート、トリシクロデカンオキ
    シエチルメタクリレート、スチレン、ジメチルアミノエ
    チルメタクリレート、シクロヘキシルメタクリレートか
    らなる群より選ばれた一種以上のモノマーに由来する構
    造単位を有し、かつ前記(A)〜(F)のモノマーのう
    ちの少なくとも一種のモノマーに由来する構造単位を有
    する線状高分子と、 (3)エチレン性不飽和結合を有するモノマーと、 (4)有機過酸化物、s−トリアジン誘導体、ベンゾフ
    ェノン及びその誘導体、キノン類、N−フェニルグリシ
    ン及びアルキルアリールケトンからなる群から選ばれた
    化合物の少なくとも1種からなるラジカル発生剤と、ク
    マリン系色素、ケトクマリン系色素、シアニン系色素、
    メロシアニン系色素及びキサンテン系色素からなる群か
    ら選ばれた化合物の少なくとも1種からなる増感剤とを
    含む光重合開始剤とを含むことを特徴とする光重合性組
    成物。
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Cited By (8)

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