JPS61283646A - 活性エネルギ−線硬化型樹脂組成物 - Google Patents

活性エネルギ−線硬化型樹脂組成物

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JPS61283646A
JPS61283646A JP12571885A JP12571885A JPS61283646A JP S61283646 A JPS61283646 A JP S61283646A JP 12571885 A JP12571885 A JP 12571885A JP 12571885 A JP12571885 A JP 12571885A JP S61283646 A JPS61283646 A JP S61283646A
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    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F285/00Macromolecular compounds obtained by polymerising monomers on to preformed graft polymers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
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    • C08F299/02Macromolecular compounds obtained by interreacting polymers involving only carbon-to-carbon unsaturated bond reactions, in the absence of non-macromolecular monomers from unsaturated polycondensates
    • C08F299/026Macromolecular compounds obtained by interreacting polymers involving only carbon-to-carbon unsaturated bond reactions, in the absence of non-macromolecular monomers from unsaturated polycondensates from the reaction products of polyepoxides and unsaturated monocarboxylic acids, their anhydrides, halogenides or esters with low molecular weight
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/032Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、紫外線、電子線等の活性エネルギー線の照射
により硬化する樹脂組成物、とりわけガラス、セラミク
ス、プラスチックフィルム等の支持体への密着性と耐薬
品性および機械的強度に優れ、パターン形成の可能な活
性エネルギー線硬化型樹脂組成物に関する。この活性エ
ネルギー線硬化型樹脂組成物は、固体状の感光体シート
(ドライフィルム)に賦形することが可能な樹脂組成物
である。
〔従来の技術〕
近年、活性エネルギー線硬化型樹脂は、塗料、インキ、
封止材料、レジスト材料、パターン形成材料として多用
されている。また、パターン形成材料としての活性エネ
ルギー線硬化型樹脂は、初期には印刷版の作成などに用
いられてきたが、最近ではプリント配線、集積回路等の
電子産業分野での利用に加え、特開昭57−43876
号に開示されたようにインクジェット記録ヘッドのよう
な精2機器の構造材料としても利用もされつつある。
しかし、これまでに知られているパターン形成用に用い
られでいる活性エネルギー線硬化型樹脂、殊にドライフ
ィルムタイプのものには、ガラス、セラミックスあるい
はプラスチックフィルム等の支持体に対する上着性に優
れたものはなかった。一方、ガラス、金属、セラミック
ス等に対しで用いられる光硬化型の塗料や接着剤として
知られるものは、硬化物のと着性には優れているものの
、強い活性エネルギー線の照射あるいは長時間の照射を
必要とし、しかも一般にパターン形成に適した性状を有
しでいない。すなわち、これらを用いてパターン状に活
性エネルギー線を照射し、現像によって非露光fJ3ヲ
除去してパターンを得ようとしても、精とで高解像度の
パターンを得ることはできなかった。
このように従来技術においては、各種の支持体上にと着
性に優れた精密なパターンが形成でき、しかもそのパタ
ーンが構造材料としての高い耐久さ 性を持つようなものは存在しなかった。
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明の目的は、このような従来の活性エネルギー線硬
化型樹脂では達成することができなかった、支持体に対
する密着性に優れ、精密で高解像度のパターンを形成し
得る活性エネルギー線硬化型の樹脂組成物を提供するこ
とにある。
本発明の他の目的は、パターンの形成に便宜なドライフ
ィルム状に賦形することができ、活性エネルギー線の照
射により硬化形成されたパターンが耐薬品性および機械
的強度に優れ、構造材料としての高い耐久性を持つよう
な活性エネルギー線硬化型の樹脂組成物を提供すること
にある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物は(i)ア
ルキルメタアクリレート、アクリロニトリルおよびスチ
レンからなる群より選ばれた一種以上のモノマーに由来
する構造単位を主体とする幹鎖に、(A)水酸基含有ア
クリルモノマー、CB)アミノもしくはアルキルアミノ
基含有アクリルモノマー、(C)カルボキシル基含有ア
クリルもしくはビニルモノマー、(D) N−ビニルと
ロリドンもしくはその誘導体、(E)ビニルとリジンも
しくはその誘導体および(F)下記一般式1で表わされ
るアクリルアミド誘導体からなる群より選ばれた一種以
上のモノマーに由来する構造単位を主体とする枝鎖が付
加されてなるグラフト共重合高分子と、I CH2=C−−−(I) 0=CN)I  CH20−R’ (ただし、甲は水素または炭素原子数が1〜3のアルキ
ルもしくはヒドロキシアルキル基、R2は水素または炭
素原子数が1〜4のヒドロキシ基を有してもよいアルキ
ルもしくはアシル基を表わす、) (ii)エチレン性不飽和結合を有する単量体、とを必
須成分として含有するものである。
〔発明を実施するための好適な態様〕
本発明の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の必須成分
である(i)グラフト共重合高分子は、構造材料として
の適性を有する比較的剛直な性状を有する幹鎖に、親木
′l!i有する上記(A)〜(F)のモノマーを主体に
し、支持体への優れた密着性を発揮する枝鎖を付加しで
成るものである。
上記グラフト共重合高分子を構成するに際しで、その枝
mt構成すべく用いる上記(A)〜(F)のモノマーを
具体的に示せば、(A)の水酸基含有アクリルモノマー
としては、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート
(以下、(メタ)アクリレートと記す場合、アクリレー
トおよびメタアクリレートの双方を含むこと意味するも
のとする。)、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリ
レート、3−クロロ−2−ヒドロキシ70ビル(メタ)
アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレ
ート、3−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、5
−ヒドロキシペンチル(メタ)アクリレート、6−ヒド
ロキシヘキシル(メタ)アクリレート、あるいは1.4
−シクロヘキサンジメタツールとアクリル酸またはメタ
アクリル酸とのモノエステルなどが挙げられ、商品名ア
ロニツクスM5700(東亜合成化学■製) 、TUN
EM+Oo  (カプロラクトンアクリレート、ユニオ
ンカーバイド■製)、ライトエステルHO−mpp (
共栄社油脂化学工業■製)、ライトエステルM−60O
A(2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレ
ートの商品名、共栄社油脂化学工業■製)としで知られ
でいるものや、二価アルコール類1例えば1.10−デ
カンジオール、ネオペンチルグリコール、ビス(2−ヒ
ドロキシエチル)テレフタレート、ビスフェノールAと
エチレンオキシドまたはプロどレンオキシドとの付加反
応物等と(メタ)アクリル酸とのモノエステル等を使用
することができる。
(B)のアミノもしくはアルキルアミノ基含有アクリル
モノマーとしては、(メタ)アクリルアミド、ff、N
−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリルアミド、I(
、N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、N、N−ジメ
チルアミノエチル(メタ)アクリルアミド、K N−ジ
ャーブチルアミノエチル(メタ)アクリルアミドなどが
挙げられる。
(C)のカルボキシル基含有アクリルもしくはどニルモ
ノマーとしては、(メタ)アクリル酸、フマール酸、イ
タコン酸あるいは東亜合成化学■製品の商品名アロニツ
クスM−5400、アロニツクスM−5500等で知ら
れるものが挙げられる。
(E)のビニルピリジンもしくはその誘導体としては、
2−ビニルピリジン、4−ビニルピリジン、2−ビニル
−6−メチルビリジン、4−ビニル−1−メチルビリジ
ン、2−ビニル−5−エチルピリジン、4−(4−ビペ
ニリノエチル)ピリジン等が挙げられる。
上記(A)〜(E)のモノマーは、その何れもが親水性
を有するものであり、本発明の組成物がガラス、セラミ
ックス、プラスチ・ンクなどの支持体に接着する際に、
強固なと着性を付与するものである。
(F)の一般式1で表わされるアクリルアミド誘導体と
しては、N−メチロール(メタ)アクリルアミド、N−
プロポキシメチル(メタ)アクリルアミド、N−n−ブ
トキシメチル(メタ)アクリルアミド、β−ヒドロキシ
エトキシメチル(メタ)アクリルアミド、N−エトキシ
メチル(メタ)アクリルアミド、N−メトキシメチル(
メタ)アクリルアミド、α−ヒドロ主ジメチル−N−メ
チロールアクリルアミド、α−ヒドロキシエチル−N−
ブトキシメチルアクリルアミド、α−ヒドロキシブロビ
ルーN−プロポキシメチルアクリルアミド、α−エチル
−N−メチロールアクリルアミド、α−プロピル−N−
メチロールアクリルアミド等の親水性で且つ熱架橋性を
有するモノマーが挙げられる。これらモノマー(F)は
、親木性はもとより加熱による縮合架橋゛iを有してお
り、一般には100℃以上の温度で水分子あるいはアル
コールが脱離し架橋結合を形成してグラフト共重合高分
子自体にも硬化後に網目構造を形成させ、硬化して得ら
れるパターンの耐薬品性および機械的強度等をより一層
向上させ、本発明をより効果的なものとするものである
また、上記(A)〜(F)のモノマー(こ、熱によって
開環し、架橋するモノマー、例えばグリシジル(メタ)
アクリレートを一部添加し枝鎖を構成することによって
、上記(F)におけると同様の効果が得られるものCあ
る。
上記熱架橋の他、同様の目的C本発明にあけるグラフト
共重合体の枝鎖の一部に光重合性モノマーを導入し、活
嘗エネルギー線によってグラフト共重合高分子を架橋さ
せることも有効である。
このような、枝鎖に光重合性を付与させるための方法と
しでは、例えば、 ■(メタ)アクリル酸等に代表されるカルボキシル基含
有モノマー、またはアミノ基もしくは三級アミノ基含有
モノマーを共重合させ、しかる債にグリシジル(メタ)
アクリレート等と反応させる方法、 ■1分子内に1個のイソシアネート基と1個以上のアク
リルエステル基を持つポリイソシアネートの部分ウレタ
ン化合物と、枝′鎖の水酸基、アミノ基あるいはカルボ
キシル基とを反応させる方法、 ■枝鎖の水酸基にアクリル酸クロライドを反応させる方
法、 ■枝鎖の水酸基に酸無水物を反応させ、しかる後にグリ
シジル(メタ)アクリレートを反応させる方法、 [相]枝鎖の本酸基と(F)に例示した縮合架橋性モノ
マーとを縮合させ、側鎖にアクリルアミド基を残す方法
、 ■枝鎖の水酸基にグリシジル(メタ)アクリレートを反
応させる方法、 等の方法を用いることができる。
本発明におけるグラフト共重合高分子の枝鎖が熱架橋性
である場合には、活性エネルギー線の照射によりパター
ンを形成した後に加熱を行なうことが好ましい、一方、
上記枝鎖が光重合性である場合にも、支持体の耐熱性の
面で許容され得る範囲内で加熱を行なうことは何ら問題
はなく、むしろより好ましい結果を与える。
尚、枝鎖は前記(A)〜(F)に例示したような親水性
モノマーのみに由来するものの他、その他のf!々の機
能を発揮させる各種の疎水性モノマー等       
□を0〜約25重量%までの範囲内で共重合の成分とし
で用いて成る枝鎖であってもよい。
本発明におけるグラフト共重合高分子の幹鎖を構成する
モノマーは、メチルメタアクリレート、エチルメタアク
リレート、イソブチルメタアクリレート、t−ブチルメ
タアクリレートなどのアルキル基の炭素数が1〜4のア
ルキルメタアクリレート、アクリロニトリルおよびスチ
レンである。
幹鎖は上記モノマーのみに由来するものの他、例えば上
記モノマーに、メチルアクリレート、エチルアクリレー
ト、n−ブチルアクリレート、ラウリルアクリレート、
n−ブチルメタアクリレート、2−エチルへキシルメタ
アクリレート、グリシジルメタアクリレート、酢酸ビニ
ル等を0〜約50重量%までの範囲内で共重合の成分と
して用いて成る幹鎖であってもよい。
本発明の組成物において、上記幹鎖は該組成物に高い凝
集強度を与える。本発明の組成物は、溶液状あるいは固
形のフィルム状等、使用目的に応じた種々の形状で提供
することができるが、ドライフィルムとして実用に供す
るのであれば、該組成物をフィルム状で維持するために
、約50℃以上のガラス転移温度を有する比較的剛Mな
幹鎖を用いることが好ましい。この際、用いる幹鎖はガ
ラス転移温度の異なる二種以上のものから構成されたも
のでもよい。また、本発明の組成物を溶液状にて用いる
のであれば、該組成物に柔軟性を与えるようなガラス転
移温度の低い幹鎖を用いることも可能である。しかしな
がら、この場合にも、優れた耐薬品性と高い機械的強度
を有するパターンを得るためには、幹鎖をガラス転移温
度の高いものとすることが好ましい。
本発明に用いられるグラフト共重合高分子は、硬化性を
有しないもの、光架橋性のもの、および熱架橋性のもの
に大別されるが、何れにしでも本発明の組成物の硬化工
程(すなわち、活性エネルギー線照射および必要に応じ
ての熱硬化)において、該組成物に形態保持性を付与し
て精密なバターニングを可能にするとともに、硬化しで
得られるパターンに対しては優れたと着性、耐薬品性な
らびに高い機械的強度を与えるものである。
本発明の組成物に用いる上記グラフト共重合高分子は、
公知の方法によって製造することが可能であり、具体的
には例えば「ポリマーアロイ基礎と応用J 10〜35
頁(高分子学会編集、東京化学同人■発行、1981年
)に記載されでいるような種々の方法によって製造する
ことができる。それらの方法を例示すれば、■連鎖移動
法、■故肘線を用いる方法、■酸化重合法、■イオング
ラフト重合法、■マクロモノマー法が挙げられる。本発
明に用いるグラフト共重合体は、枝鎖の長さがそろって
いる方が界面活性効果が顕著となるので、■、■の方法
を用いるのが好ましく、中でも■のマクロモノマー法が
材料設計上有利であり、特に好ましい、グラフト共重合
体の重量平均分子量は、約5000〜30万の範囲が好
ましく、ドライフィルムとして用いる場合には、約3万
〜30万の範囲が好ましい。
本発明の組成物に用いるもう一つの成分であるエチレン
゛比不飽和結合M!する単量体(11)とは、本発明の
組成物に活性エネルギー線による硬化性を発揮させるた
めの成分であり、好ましくは大気圧下で100°C以上
の沸点を有し、エチレン性不飽和結合を2個以上有する
ものであって、活性エネルギー線の照射で硬化する公知
の種々の単量体を用いることかできる。
そのような2個以上のエチレン性不飽和結合を有する単
量体を具体的に示せば、例えば■1分子中に2個以上の
エポキシ基を有する多官能エポキシ樹脂のアクリル酸エ
ステルまたはメタアクリル酸エステル、■多価アルコー
ルのアルキレンオキシド付加物のアクリル酸エステルま
たはメタアクリル酸エステル、■二塩基酸と二価アルコ
ールから成る分子量500〜3000のポリエステルの
分子鎖末端にアクリル酸エステル基を持つポリエステル
アクリレート、■多価イソシアネートと水酸基を有する
アクリル酸モノマーとの反応物が挙げられる。上記■〜
■の単量体は、分子内にウレタン結合を有するウレタン
変性物であってもよい。
■に属する単量体としでは、ビスフェノールA型、ノボ
ラック型、脂環型に代表されるエポキシ樹脂、あるいは
ビスフェノールS、ヒスフェノールF、テトラヒドロキ
シフェニルメタンテトラグリシジルエーテル、レゾルシ
ノールジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジ
ルエーテル、ペンタエリストールトリグリシジルエーテ
ル、イソシアヌール酸トリグリシジルエーテルおよび下
記一般式II (ただし、Rはアルキル基またはオキシアルキルキル基
を表わす) で表わされるエポキシウレタン樹脂のアクリル酸または
メタアクリル酸エステルなどが挙げられる。
■に属する単量体としては、エチレングリコールジ(メ
タ)アクリレート、ジエチレングリコール(メタ)アク
リレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレ
−ト、 1.6ヘキサンジオール(メタ)アクリレート
、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ペ
ンタエリストールトリ(メタ)アクリレートなどが挙げ
られ、商品名KAYARAAD  HX−’220、H
X−620、D−310、0−320、D−330、D
PHA、 R−604、DPCA−20、DPCA−3
0、DPCA−60、DPCA−120C以上、日本化
薬■製)、商品名NにエステルBPE−200、BPE
−500、8PE−1300、A−BPE−4C以上、
新中村化学■製)等で知られるものを使用できる。
■に居する単量体としでは、商品名アロニツクスM−6
100、M−6200、M−6250、M−6300、
M−6400、M−7100、M−8030、M−80
60、M−8100(以上、東亜合成化学■製)などが
挙げられる。■に属し、ポリエステルのウレタン結合含
有するものとしでは、商品名アロニツクスM−1100
、アロニツクスM−1200(以上、東亜合成化学■製
)等として知られるものが挙げられる。
■に属する単量体としては、トリレンジイソシアナート
、インホロンジイソシアナート、ヘキサメチレンジイソ
シアナート、トリメチルへキサメチレンジインシアナー
ト リジンジイソシアナート、ジフェニルメタンジイソ
シアナートなどのポリイソシアナートと水酸基含有アク
リルモノマーとの反応物が挙げられ、商品名スミジュー
ルN(ヘキサメチレンジイソシアナートのビユレット誘
導体)、スミジュールしくトリレンジイソシアナートの
トリメチロールプロパン変性体)(以上、住友バイエル
ウレタン■製)等で知られるポリイソシア犬−ト化合物
に水酸基含有の(メタ)アクリル酸エステルを付加した
反応物などを使用できる。ここで言う水酸基含有アクリ
ルモノマーとしては(メタ)アクリル酸エステルが代表
的なもので、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキ
シエチルメタアクリレート、ヒドロキシプロピルアクリ
レートが好ましい。また、本明細書中のグラフト共重合
高分子の枝鎖に用いられるものとして挙げた水酸基含有
の他のアクリルモノマーも使用することができる。
上記したような2個以上のエチレン性不飽和結合を有す
る単量体の他、これ等と共に例えば以下に列挙するよう
なエチレン性不飽和結合を1個だけ有する単量体も用い
ることができる。そのような1個のエチレン性不飽和結
合を有する単量体を例示すれば、例えばアクリル酸、メ
タアクリル酸などのカルボキシル基含有不飽和モノマー
:グリシジルアクリレート、グリシジルメタアクリレー
トなどのグリシジル基含有不飽和モノマー;ヒドロキシ
エチルアクリレート、ヒドロキシエチルメタアクリレー
ト、ヒドロキシプロピルアクリレート、ヒドロキシエチ
ルメタアクリレート等のアクリル酸またはメタクリル酸
のC2〜C8ヒドロキシアルキルエステル:ポリエチレ
シグリコールモノアクリレート、ポリエチレングリコー
ルモノメタアクリレート、ポリプロピレングリコールモ
ノアクリレート、ポリプロピレングリコールモノメタア
クリレート等のアクリル酸またはメタクリル酸とポリエ
チレングリコ一ルまたはポリプロピレングリコ−ルとの
モノエステル:アクリル酸メ        “チル、
アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸イ
ソプロピル、アクリル酸ブチル、アクリル酸ヘキシル、
アクリル酸オクチル、アクリル酸ラウリル、アクリル酸
シクロヘキシル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エ
チル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸イソプロピ
ル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸ヘキシル、メタ
クリル酸オクチル、メタクリル酸ラウリル、メタクリル
酸シクロヘキシル等のアクリル酸またはメタクリル酸の
C1〜CI2アルキルまたはシクロアルキルエステル、
その他のモノマーとして、例えばスチレン、ビニルトル
エン、メチルスチレン、酢酸ビニル、塩化ビニル、ビニ
ルイソブチルエーテル、アクリロニトリル、アクリルア
ミド、メタクリルアミド、アルキルグリシジルエーテル
のアクリル酸またはメタクリル酸付加物、ビニルピロリ
ドン、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリ
レート、ε−カプロラクトン変性ヒドロキシアルキル(
メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリルアクリレ
ート、フェノキシエチルアクリレートなど:が挙げられ
る。
何れにしても、上記エチレン性不飽和結合を有する単量
体を使用することにより、本発明の組成物に活性エネル
ギー線による硬化性が付与される。
本発明の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の硬化に用
いる活性エネルギー線としでは、既に広く実用化されて
いる紫外線あるいは電子線などが挙げられる。紫外線光
源としでは、波長250nm〜450nmの光を多く含
む高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ等
が挙げられ、実用的に許容されるランプ−被照射物間の
距離においで365nmの近傍の光の強度が1 mW/
 cm2〜I 00mW/cm2程度のものが好ましい
、電子線照射製雪としては、特に限定はないが、0.5
〜20 M Radの範囲の線量を有する装置が実用的
に適している。
本発明の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物は上記のよ
うな活性エネルギー線によって硬化されるが、波長25
0nm〜450nmの活性エネルギー線を用いる場合に
は、光重合開始剤を該樹脂組成物中に添加しておくこと
が好ましい。光重合開始剤としては、光重合に用いられ
る公知の物質を特に限定することなく使用できる。
そのような光重合開始剤を具体的に示せば、ヘンシル 
ベンゾインアルキルエーテル類:ベンゾインイソブチル
エーテル、ヘンゾインインブロビルエーテル、ヘンジイ
ン−n−ブチルエーテル、ヘンジインエチルエーテル、
ヘンジインメチルエーテルなど、ヘンシフエノン類:ベ
ンゾフェノン、4.4′−ビス(+”r、 N−ジエチ
ルアミノ)ベンゾフェノン、ヘンシフエノンメチルエー
テルなど、アントラキノン類:2−エチルアントラキノ
ン、2−tブチルアントラキノンなど、主すントン類、
2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジイソプロ
ピルチオキサントンなど、アセトフエノシ頚:2,2−
ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、α9α−ジ
クロロ−4−フェノキシアセトフェノン、p −ter
t−ブチルトリクロロアセトフェノン、p −tert
−ブチルジクロロアセトフェノン、2,2−ジェトキシ
アセトフェノン、p−ジメチルアミノアセトフェノンな
ど、あるいはヒドロキシシクロへ主シルフェニルケトン
(イルガキュア184  チバ・ガイギー■製)、1−
(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−
メチルプロパン−1−オン(ダロキュア1116  メ
ルク(VERCK)■製)、2−ヒドロキシ−2−メチ
ル−1−フェニル−プロパン−1−オン(ダロキュア1
173  メルク■製)等が好適に用いられるものとし
で挙げられる。これらの光重合開始剤に加えで、光重合
促進剤としてアミノ化合物を添加してもよい。
光重合促進剤に用いられるアミノ化合物としては、エタ
ノールアミノエチル−4−ジメチルアミノベンゾエート
、2−(ジメチルアミノ)エチルベンゾエート、p−ジ
メチルアミノ安忠香酸n−アミルエステル、p−ジメチ
ルアミノ安息香酸イソアミルエステル等が挙げられる。
本発明の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を構成する
前記材料の構成比率は、グラフト共重合高分子20〜8
0重量%、好ましくは20〜50重量%、エチレン性不
飽和結合を有する単量体80〜20重量%、好ましくは
50〜80重量%であり、光重合開始剤を用いる場合に
おいて光重合開始剤は、グラフト共重合高分子およびエ
チレン性不飽和結合を有する単量体より成る樹脂成分1
00重量部に対して0.1〜20重量部、好ましくは1
〜10重量部の範囲である。
本発明の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を溶液状で
用いる際、あるいはドライフィルムとする際のフィルム
基材であるプラスチックフィルム上に塗布する場合など
に用いる溶剤としては、アルコール類、グリコールエー
テル類、グリコールエステル類等の親水性溶剤などが挙
げられる。もちろん、これら親水性溶剤を主体とし、そ
れらに必要に応じてメチルエチルケトン、メチルイソブ
チルケトン等のケトン類、酢酸エチル、酢酸イソブチル
等のエステル類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水
素及びそのハロゲン置換体、塩化メチレン、l、 1.
1−トリクロルエタン等の塩素含有の脂肪族溶剤等を適
宜混合したものを用いることもできる。尚、これら3剤
は、本発明の組成物の現像液として用いることもできる
本発明の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物には、上記
光重合開始剤あるいは湿剤の他、例えば縮合架橋の触媒
、熱重合禁止剤、着色剤(染料及び顔料)、微粒子状充
填剤、密着促進剤、可塑剤等の添加物を必要に応じて含
有させることができる。
縮合架橋触媒としては、パラトルエンスルホン酸に代表
されるスルホン酸、ギ酸などのカルボン酸等が挙げられ
る。熱重合禁止剤としては、ハイドロキノンおよびその
誘導体、バラメトキシフェノール、フェノチアジン等が
挙げられる。着色剤としでは、油溶性染料及び顔料が活
性エネルギー線の透過を実質的に防げない範囲で添加さ
れ得る。充填剤は、塗膜の硬度上昇、着色、密着性、機
械的強度上昇のために、塗料一般で使用される体質顔料
、プラスチック微粒子等が用いられる。
密着促進剤としては、無機質表面改質剤としてのシラン
カップリング剤、低分子界面活性剤が本発明の組成物に
有効である。
本発明の活性ヱネルキー線硬化型樹脂組成物は、ガラス
の保護被覆、接着剤、液晶表示素子の絶縁層、あるいは
ガラス板上への透明着色または不透明着色、防水性付与
、湿水゛け付与、耐汚染′注付与等の表面改質に用いる
ことができる。また。
耐薬品性のすぐれた点を利用しガラスのエツチングまた
は無電解銅メッキ等のメタライジングへのマスキング材
料、プリント配線基板のはんだマスク等に有用である。
また、耐水性を利用した微細な液流路、冷却路、あるい
はノズル、特にインクジェット記録ヘッドにあけるノズ
ルの形成に有用である。更には、水゛i、油性の両方の
インクに用いられるスクリーン印刷版用感光液ないしド
ライフィルムとして他に類例のない耐久性のものを得る
こともできる。
上記の如き各種用途に本発明の活性エネルギー線硬化型
樹脂組成物を供する場合の使用方法を例示すれば、例え
ば以下のようである。
1)本発明の組成物を支持体上に1〜100−の範囲の
所望の厚芒に塗布し、溶剤を蒸発乾燥し、しかる後に活
性エネルギー線を照射する。次いで、熱硬化粧のグラフ
ト共重合高分子を用いた場合等、必要に応して支持体を
少なくとも100℃の温度で5分〜60分程度加熱する
2)本発明の組成物を支持体上に1〜100uの範囲の
所望の厚さに塗布し、溶剤を蒸発乾燥する。
しかる後に活性エネルギー線の透過率が少なくとも1%
以下のマスクパターンを該組成物上に2着し、マスク上
方から活性エネルギー線を照射する。次いで、該組成物
を溶解する現像液で現像し非照射部を除去する。次いで
、必要に応じて基材を少なくとも100°Cの温度で5
分〜60分加熱する。
以上のようにしで得られる硬化膜は、解像度はもとより
、2着性、機械的強度、耐水性および耐薬品性にも優れ
たものである。
〔発明の効果〕                  
    き本発明の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物
は、パターン形成材料としての優れた感度と解像度を賽
しており、高肥度で高解像度のパターンを形成すること
ができる。しかも形成されたパターンは、被覆材として
見るとき、と胃性、機械的強度、耐薬品性にすぐれでい
るので、長期の耐久性を求められる保護被覆ないし構造
部材として使用することが可能である。
また、硬化性を有するグラフト共重合高分子を用いる場
合には、上記と胃性、機械的強度あるいは耐薬品性が特
に優れた活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を得ること
が可能である。
(実施例) 以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。
実施例1 アニオン重合法で得られるリビングポリマー(2−ヒド
ロキシエチルメタアクリレート/ブチルアクリレート(
= 80/20重量比))とp−ビニルヘンシルクロリ
ドとを反応させで、分子鎖の片末端にビニル基を持つ重
量平均分子量約1800のマクロモノマー(p−ビニル
ヘンシルポリ−2−ヒドロ主ジエチルメタアクリレート
/ブチルアクリレート)¥!得た。このマクロモノマー
30重量部とメチルメタアクリレート70重量部をメチ
ルセロンルブ中で溶液重合し、重量平均分子量7.OX
 104の熱可塑性のグラフト共重合高分子(これをG
P−1とする)を得た。なおこのGP−1の主鎖を構成
するポリメチルメタクリレート鎖のガラス転移温度は1
00℃である。
このGP−1%用い、下記組成の活性エネルギー線硬化
型樹脂組成物を調製した。
GP−1100重量部 トリメチロールプロパントリアクリレート60〃 エポキシエステル3002M京1    140  n
ベンゾフェノン          10〃ミヒラーの
ケトン         5 〃クリスタルバイオレッ
ト       0.311メチルセロソルブ    
     350〃京1:共末社油脂化学工業■製のエ
ポキシ樹脂のメタクリル酸エステル この組成物を、洗浄液グイフロン(ダイキンエ業■製)
中で超音波清浄処理しノ乾燥させたl0cmX10cm
のパイレックス基板上に、乾燥後の厚さか約50−とな
るようにバーコーターで塗布した。この組成物の表面上
に厚さ16−のポリエチレンテレフタ1ノートフイルム
(ルミラーTタイプ)をラミネートした。次いで解像度
テスト用のマスクを用い、中心波長が365〃m近傍で
光のエネルギーが照射表面で12mW/cm2であるよ
うな超高圧水銀灯を用いた半導体用露光光源[マスクア
ライメント装置MA−10J  (ミカサ■製)によっ
て20秒間露光した。露光?& 1.1.1− トリク
ロルエタンを用いて超音波清浄機中で45秒間の現像を
実施した。現像後の樹脂組成物の解像度は幅50−の線
/間隔のパターンを正確に再現しでいた。
次にこの基板を熱乾燥し、IOJ/cm2の後露光を実
施した。この基板に工業用セロデハンテープを用いたク
ロスカットテープ剥離試験@実施したところ、+00/
+00のと若竹を示し、クロスカットの明瞭な傷以外は
完全に密着していた。
また、この基板をPH= 9.0のNa叶氷水溶液中こ
浸漬し、プレシャークッカーテストヲ121℃、2 a
tom、10時間の粂件で実施した。プレシャークツカ
−テスト後に再度クロスカットテープ剥離試験および5
0−のパターンの部分の剥離試験を実施したが、いづれ
においても剥離、浮き等のと若竹の低下はみられなかっ
た。また、塗膜の白化等の変質も全く認められなかった
実施例2 アニオン重合法で得られるリビングポリマー(N−メチ
ロールメタクリルアミド/2−ヒドロキシエチルメタア
クリレート(=30/70重量比))とp−ビニルベン
ジルクロリドとを反応させて、分子鎖の片末端にビニル
基を持つ重量平均分子量約1500のマクロモノマー(
p−ビニルへシリルポリ−N−メチロールメタクリルア
ミド/2−ヒドロキシエチルメタアクリレート)を得た
このマクロモノマー30重量部とメチルメタアクリレー
ト70重量部をメチルセロソルブ中で溶液重合し、重量
平均分子量?、7X 104で熱架橋性を有するグラフ
ト共重合高分子(これ!GP−2とする)を得た。なお
このG P −2の主鎖を構成するポリメチルメタクリ
レート鎖のガラス転移温度は100℃である。このGP
−2を用い、下記組成の活性エネルギー線硬化型樹脂組
成物を調製した。
G P −2100重量部 ネオペンチルグリコールジアクリレート60〃 エポキシエステル3002M       +40  
Jlヘンシフエノン           10〃ミヒ
ラーのケトン         5 〃クリスタルバイ
オレット       0.3メチルセロソルブ   
     350〃この組成物を用い、IOcmx l
0cmパイレックス基板上に実施例1と同様にして膜厚
40μで50Pの線および間隔のパターンを形成した。
現像液を蒸発乾燥後、同一の光源を使用して10分間の
後露光を実施した。次いで150℃で15分間熱処理実
施した。
このようにして形成された硬化パターン部分する基板を
、PH=9.0のNa叶氷水溶液中浸漬し、121℃、
2 atom、20時間のプレシャーク・ンカーテスト
を実施した。テスト終了?&基板を水洗、乾燥し、クロ
スカットテープ剥離試験およびパターン部分の剥離試験
を実施した。その結果、密着荘は+00/+006よび
パターン部分の剥離はなかった。
実施例3 アニオン重合法で得られるリビングポリマー(3−クロ
ロ−2−ヒドロキシプロとルメタクlル−1−/N−ビ
ニルどロリドン(= 90/ IC1モル比))とアク
リル酸クロリドとを反応させて、分子鎖の片末端にビニ
ル基を持つ重量平均分子量約2500のマクロモノマー
(アクリル酸ポリ−3−クロロ−2−ヒドロキシプロピ
ルメタクリレート/N−ビニルとロリドン)を得た。こ
のマクロモノマー25重量部、メチルメタアクリレート
65重量部およびジメチルアミノエチルメクラリレー8
10重量部をメチルイソブチルケトン中で共重合した(
重量平均分子量6.5 X 10’ )。次いでこの共
重合体100重量部か溶解している重合体溶液中に、ヘ
キサメチレンジインシアネートと2−ヒドロキシエチル
アクリレートとをNCO基当量:囲碁当量=2.0: 
 1.1となるように反応させて得た部分ウレタン化合
物の11重量gB%添加して反応させ、3−クロロ−2
−ヒドロキシプロピルメタクリレート成分の30%をア
クリルウレタン化し、枝鎖に光重合性のアクリルエステ
ル基を有するグラフト共重合高分子(これtGP−3と
する)を得た。なおこのGP−3の主鎖を構成するポリ
メチルメタクリレート鎖とポリジメチルアミノエチルメ
タクリレート鎖の共重合鎖のガラス転移温度は90℃で
ある。このGP−3を用い、下記組成の活性エネルギー
線硬化型樹脂組成物を調製した。
CP −3100重量部 トリメチロールプロパントリアクリレート30〃 NKエステルEPM 800車2        +0
0 11イルガキユア651         11 
 IIクリスタルバイオレット       0.2メ
チルイソブチルケトン     300  n寧2: 
新中村化学(株)製のエポキシ樹脂のメタクリル酸エス
テル 表面に酸化膜SiO2を形成したシリコンウェハ上にこ
の組成物を乾燥後の厚さが50卿となるようバーコータ
ーで塗布した。次いで実施例1と同様にして解像度テス
ト用のパターンを形成した。形成されたパターンは幅5
0鱗の線/間隔のパターンを正確に再現しでいた。次に
このシリコンウェハを熱乾燥し、パターン露光に用いた
のと同一の紫外線光源を用いてIOJ/cm2の後露光
を実施した。
このシリコンウェハにクロスカットテープ剥離試験を実
施したところ、塗膜の剥離は全く認められなかった。
次にこのシリコンウェハを、PH=9.0のNal水溶
液中に浸漬し、 121℃、2 atom、20時間の
ブレシャークツカ−7ストを実施した・テスト終了1&
再度クロスカットテープ剥M試験およびパターン部分の
剥離試験を実施したが、いづれにおいても剥離、浮き等
の密着性の低下(よみられなかつた。
実施例4 アニオン重合法で得られるりピングポリマー(ブトキシ
メチルアクリルアミド/2−ヒドロキシエチルメタアク
リレート(= 70/30重量比))とアクリル酸クロ
リドとを反応させて、分子鎖の片末端にビニル基を持つ
重量平均分子量約3000のマクロモノマー(アクリル
酸ポリ−ブトキシメチルアクリルアミド/2−ヒドロキ
シエチルメタアクリレート)を得た。
このマクロモノマー25重量部、メチルメタアクリレー
ト70重量部およびアクリロニトリル5重量部をメチル
セロソルブ中で重合し、重量平均分子16.8XIO’
の熱架橋性を有するグラフト共重合高分子(これをGP
−4とする)を得た。なおこのGP−4の主鎖ヲ構成す
るポリメチルメタクリレート鎖とポリアクリロニトリル
鎖の共重合鎖のガラス転移温度は105℃である。この
GP−4@用い、下記組成の活性エネルギー線硬化型樹
脂組成物を調製した。
G P −4100重量部 トリメチロールプロパンのトリグリシジルエーテルのア
クリル酸エステル  100〃ウレタンアクリレート 
llR4003*3100  /ノ銅フタロシアニン 
        +5//パラトルエンスルホン酸  
    3 ”イルガキュア651         
 15メチルセロソルブ         300〃*
3:  長潮化成(株)製のウレタンアクリレート 10cmX l0cmのパイしツクスガラス板にチオー
ル基を有するシランカップリング剤γ−メルカプトプロ
ピルトリメトキシシランの1%エタノール湿液をガラス
板上にスピンナーで塗布した。塗布は2500 rpm
にて25秒回転させることによって行なった0次にこの
ガラス板を120°Cで10分、熱処理した。前記樹脂
組成物のミル分散液を16μのポリエチレンテレフタレ
ートフィルムにワイアーバーで塗布し100℃で20分
乾煤することにより、膜厚10uの樹脂組成物層を形成
した。次にこのフィルムを用いラミネータI−IRL−
24(商品名、デュポン(株)製)にて120℃周速1
 m/min下、前記パイレックスガラス板上にラミネ
ートした。以下実施例1と同様にして線および間隔が2
5鱗のブルーに着色された鮮明なパターンを形成するこ
とができた。次いでIOJ / cm2の後露光および
150℃、15分の熱処理を施し、完全硬化をおこなわ
しめた。形成されたパターンを実施例1と同じ条件で、
プレッシャークツカーテストに供し密着性を調べた。プ
レッシャークツカーテスト後におけるクロスカットセロ
テープ剥離試験によって塗膜の剥離は全く得られなかっ
た。
比較例 メチルメククリレートと2−ヒドロキシエチルメタクリ
レートとブチルアクリレート(= 60/30/10モ
ル比)をメチルメソブチルケトン中で重合し重量平均分
子量 8.8xlO’の熱可塑性線状高分子化合物を得
た(これをLP−1とする)。
LP−1を用いた他は実施例1と全く同様にして活性エ
ネルギー線硬化型樹脂組成物を調整しかつパターン形成
を行なった。
得られたパターンは、実施例1と(まぼ同様の解像度を
有しでいた。しかしながら、プレッシャークツカーテス
トにおいては、剥離試験開始前に基板からのパターンの
剥離が生じ、耐水性、密着性の低いものであった。
以上の実施例および比較例から明らかなよう(こ、本発
明の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物は、高解像度の
パターンの形成が可能であると同時に、支持体に対して
高い密@性を、特(こ熱及び光硬化型のグラフト共重合
高分子を用いた場合は高い密着性を有しており、また優
れた機械的強度ならび1こ耐薬品性を有するものである
ことが分る。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)(i)アルキルメタアクリレート、アクリロニトリ
    ルおよびスチレンからなる群より選ばれた一種以上のモ
    ノマーに由来する構造単位を主体とする幹鎖に、(A)
    水酸基含有アクリルモノマー、(B)アミノもしくはア
    ルキルアミノ基含有アクリルモノマー、(C)カルボキ
    シル基含有アクリルもしくはビニルモノマー、(D)N
    −ビニルピロリドンもしくはその誘導体、(E)ビニル
    ピリジンもしくはその誘導体および(F)下記一般式
    I で表わされるアクリルアミド誘導体からなる群より選
    ばれた一種以上のモノマーに由来する構造単位を主体と
    する枝鎖が付加されてなるグラフト共重合高分子と、 ▲数式、化学式、表等があります▼ (ただし、R^1は水素または炭素原子数が1〜3のア
    ルキルもしくはヒドロキシアルキル基、R^2は水素ま
    たは炭素原子数が1〜4のヒドロキシ基を有してもよい
    アルキルもしくはアシル基を表わす。) (ii)エチレン性不飽和結合を有する単量体とを有し
    てなる活性エネルギー線硬化型樹脂組成物。 2)前記(i)のグラフト共重合高分子20〜80重量
    部、および前記(ii)のエチレン性不飽和結合を有す
    る単量体80〜20重量部を含有することを特徴とする
    特許請求の範囲第1項に記載の活性エネルギー線硬化型
    樹脂組成物。 3)前記(i)のグラフト共重合高分子及び前記(ii
    )のエチレン性不飽和結合を有する単量体の合計量10
    0重量部に対して、0.1〜20重量%の光重合開始剤
    を配合して成ることを特徴とする特許請求の範囲第1項
    に記載の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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