JP2005517026A5 - - Google Patents

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JP2005517026A5
JP2005517026A5 JP2003566624A JP2003566624A JP2005517026A5 JP 2005517026 A5 JP2005517026 A5 JP 2005517026A5 JP 2003566624 A JP2003566624 A JP 2003566624A JP 2003566624 A JP2003566624 A JP 2003566624A JP 2005517026 A5 JP2005517026 A5 JP 2005517026A5
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Claims (11)

  1. (a)酸の作用で硬化する化合物、又はその溶解度が酸の作用で増加する化合物及び;
    (b)感光性酸供与体として、式Ia、Ib、IIa、IIb、IIIa、IIIb、IVa、IVb、Va、Vb又はVIa:
    Figure 2005517026

    〔式中、
    nは、1又は2であり;
    mは、0又は1であり;
    0は、−〔CH2h−X又は−CH=CH2であり;
    hは、2、3、4、5又は6であり;
    nが1の場合、式Ia、IIa、IIIa、IVa、Va及びVIaのR1、並びに式Ib、IIb、IIIb、IVb及びVbのR1は、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリール
    (これらは全て、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−により中断されているC3〜C30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されており、場合により、置換基−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/又は−OSO219は、基R19、R20、R21、R22及び/若しくはR23を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環上の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの1個と、5員、6員若しくは7員環を形成する)であるか;又は
    1は、水素(但しR2は、同時には水素ではない)であるか;又は
    1は、C1〜C18アルキルであるか、又は1個以上のC3〜C30シクロアルキレン、−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−、−S(CO)−、−NR23(CO)−、−SO−、−SO2−若しくは−OSO2−により中断されているC2〜C18アルキル(場合により該基C1〜C18アルキル及びC2〜C18アルキルは、1個以上のC1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    1は、C3〜C30シクロアルキル(場合により1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−により中断され、非置換であるか、又は1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    1は、C1〜C8ハロアルキル、C2〜C12アルケニル、C4〜C30シクロアルケニル、カンホリルであるか;或いは
    mが0の場合、R1は、更に、CN、C2〜C6アルコキシカルボニル又はフェノキシカルボニル(ここで、C2〜C6アルコキシカルボニル及びフェノキシカルボニルは、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−により中断されているC3〜C30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であり;
    nが2の場合、R1は、フェニレン、ナフチレン、下記式:
    Figure 2005517026

    ジフェニレン、オキシジフェニレン又は下記式:
    Figure 2005517026

    (ここで、これらの基は、非置換であるか、又は1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    1は、直接結合、下記式:
    Figure 2005517026

    であり;
    ここで、基R1は全て、水素及び直接結合である場合を除いて、酸の作用で切断される−O−C−結合又は−O−Si−結合を有する基により、更に置換されていることができ;
    1は、直接結合、C1〜C18アルキレン、−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−、−S(CO)−、−NR23(CO)−、−SO−、−SO2−又は−OSO2−であり;
    2は、直接結合、C1〜C18アルキレンであるか、又は1個以上のC3〜C30シクロアルキレン、−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−、−S(CO)−、−NR23(CO)−、−SO−、−SO2−、−OSO2−若しくは−Ar2−により中断されているC2〜C18アルキレン(場合により該基C1〜C18アルキレン及びC2〜C18アルキレンは、1個以上のC1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    2は、C3〜C30シクロアルキレン(場合により1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−により中断され、非置換であるか、又は1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    2は、フェニレン、ナフチレン(ここで、これらの基は、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であり;
    2は、R1の意味のうちの1つを有するか、又はC2〜C18アルカノイルであるか、非置換又は1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されているベンゾイルであるか;又は
    2は、NO2であるか、又はR2は、S(O)p1〜C18アルキル、S(O)p−C6〜C12アリール、SO2O−C1〜C18アルキル、SO2O−C6〜C10アリール、ジフェニル−ホスフィノイル(これらは全て、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−で中断されているC3〜C30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;或いは
    1及びR2は、一緒になって、5員、6員若しくは7員環(これは、非置換であるか、又は1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−で中断されているC3〜C30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されており、前記5員、6員若しくは7員環は、C1〜C18アルキレン、C3〜C30シクロアルキレン、C1〜C8ハロアルキレン、C2〜C12アルケニレン、C4〜C30シクロアルケニレン、フェニレン、ナフタレン、−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−、−NR23(CO)−、−S(CO)−、−SO−、−SO2−又は−OSO2−で更に中断されていてもよく、前記5員、6員若しくは7員環には、場合により1個以上のベンゾ基が縮合している)を形成し;
    pは、1又は2であり;
    Xは、−O(CO)R24、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R24、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、下記式:
    Figure 2005517026

    −SR23、−SOR19、−SO219、−OSO219又は下記式:
    Figure 2005517026

    の基であり;
    X′は、下記式:
    Figure 2005517026

    であり;
    1及びX2は、互いに独立して、−O(CO)−、−O(CO)O−、−O(CO)NR23−、−NR23(CO)−、−NR23(CO)O−、−O−、−NR23−、−S−、−SO−、−SO2−、−OSO2−、下記式:
    Figure 2005517026

    であるか;又は
    1及びX2は、直接結合であるが、但しX1とX2が両方とも同時に直接結合ではなく;
    3は、フェニレン、ナフチレン、下記式:
    Figure 2005517026

    ジフェニレン、オキシジフェニレン又は下記式:
    Figure 2005517026

    (ここで、これらの基は、非置換であるか、又は1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    3は、直接結合、下記式:
    Figure 2005517026

    であり;
    3は、R1で示された意味のうちの1つを有するか、又はR3は、C2〜C18アルカノイルであるか、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されているベンゾイルであるか;又は
    3は、NO2であるか、又はR3は、S(O)p1〜C18アルキル、S(O)p−C6〜C12アリール、SO2O−C1〜C18アルキル、SO2O−C6〜C10アリール、ジフェニル−ホスフィノイル(これらは全て、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−で中断されているC3〜C30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であり;
    4は、R2で示された意味のうちの1つを有するか、又はR3及びR4は、一緒になって、5員、6員若しくは7員環(これは、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−で中断されているC3〜C30シクロアルキルで置換されているか、又は前記5員、6員若しくは7員環は、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されており、前記5員、6員若しくは7員環は、場合によりC1-18アルキレン、C3〜C30シクロアルキレン、C1〜C8ハロアルキレン、C2〜C12アルケニレン、C4〜C30シクロアルケニレン、フェニレン、ナフタレン、−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−、−NR23(CO)−、−S(CO)−、−SO−、−SO2−又は−OSO2−で更に中断されており、場合により1個以上のベンゾ基が、前記5員、6員若しくは7員環に縮合している)を形成し;
    5及びR6は、互いに独立して、水素、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−で中断されているC3〜C30シクロアルキルであるか、又はR5及びR6は、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219であるか;又は
    5及びR6は、一緒になって、−C(R30)=C(R31)−C(R32)=C(R33)−若しくは−(CO)NR23(CO)−であり;
    Gは、−S−、−O−、−NR23−又は式Z1、Z2、Z3若しくはZ4
    Figure 2005517026

    の基であり;
    nが1の場合、式Ia、IIa、IIIa、IVa、Va及びVIaのR7、並びに式Ib、IIb、IIIb、IVb及びVbのR7は、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリール
    (これらは全て、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−により中断されているC3〜C30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されており、場合により置換基−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/又は−OSO219は、基R19、R20、R21、R22及び/若しくはR23を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環上の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの1個と、5員、6員若しくは7員環を形成する)であるか;又は
    7は、C1〜C18アルキルであるか、又は1個以上のC3〜C30シクロアルキレン、−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−、−S(CO)−、−NR23(CO)−、−SO−、−SO2−若しくは−OSO2−により中断されているC2〜C18アルキル(場合により該基C1〜C18アルキル及びC2〜C18アルキルは、1個以上のC1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    7は、C3〜C30シクロアルキル(場合により1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−により中断され、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    7は、水素、C1〜C8ハロアルキル、−OR20、−NR2122、−NR23(CO)R19、−SR23、C2〜C12アルケニル、C4〜C30シクロアルケニル、カンホリルであり;
    nが2の場合、R7は、フェニレン、ナフチレン、下記式:
    Figure 2005517026

    ジフェニレン、オキシジフェニレン又は下記式:
    Figure 2005517026

    (ここで、これらの基は、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    7は、直接結合、下記式:
    Figure 2005517026

    であり;
    ここで、基R7は全て、水素及び直接結合である場合を除いて、場合により、酸の作用で切断される−O−C−結合又は−O−Si−結合を有する基で更に置換されており;
    4は、直接結合、C1〜C18アルキレン、−O−、−S−又は−NR23−であり;
    8及びR9は、互いに独立して、C1〜C18アルキルであるか、又は1個以上のC3〜C30シクロアルキレン、−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−、−S(CO)−、−NR23(CO)−、−SO−、−SO2−、−OSO2−若しくは−Ar2−により中断されているC2〜C18アルキル(場合により該基C1〜C18アルキル及びC2〜C18アルキルは、1個以上のC1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    8及びR9は、C3〜C30シクロアルキル(場合により1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−により中断され、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    8及びR9は、水素、ハロゲン、C1〜C8ハロアルキル、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219であるか;又は
    8及びR9は、適切であれば、C1〜C4アルキレン、−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−、−NR23(CO)−と一緒になって、5員、6員若しくは7員環を形成するか;或いは
    7及びR8は、適切であれば、C1〜C3アルキレン、−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−、−NR23(CO)−と一緒になって、5員、6員若しくは7員環を形成し;
    10は、R7で示された意味のうちの1つを有し;
    11は、C1〜C18アルキル、又は1個以上のC3〜C30シクロアルキレン、−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−、−S(CO)−、−NR23(CO)−、−SO−、−SO2−、−OSO2−若しくは−Ar2−により中断されているC2〜C18アルキル(場合により該基C1〜C18アルキル及びC2〜C18アルキルは、1個以上のC1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    11は、C3〜C30シクロアルキル(場合により1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−により中断され、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    11は、水素、C1〜C8ハロアルキル、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122又は−SO219であるか;或いは
    10及びR11は、一緒になって、5員、6員若しくは7員環(これは、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−で中断されているC3〜C30シクロアルキルで置換されているか、又は前記5員、6員若しくは7員環は、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されており、前記5員、6員若しくは7員環は、場合によりC1〜C12アルキレン、C3〜C30シクロアルキレン、C1〜C8ハロアルキレン、C2〜C12アルケニレン、C4〜C30シクロアルケニレン、フェニレン、ナフタレン、−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−、−NR23(CO)−、−S(CO)−、−SO−、−SO2−又は−OSO2−で更に中断されており、場合により前記5員、6員若しくは7員環には、1個以上のベンゾ基が縮合している)を形成し;
    12、R13、R14及びR15は、互いに独立して、水素、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−、若しくは−NR23(CO)−で中断されているC3〜C30シクロアルキルであるか、又はR12、R13、R14及びR15は、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219であり、場合により、置換基R12、R13、R14及び/又はR15は、基R12、R13、R14及び/若しくはR15を介して、R12、R13、R14及びR15が結合しているフェニル上の更なる置換基と、又は前記フェニル環の炭素原子のうちの1個と、5員、6員若しくは7員環又は縮合環を形成し;
    ここで、基R12、R13、R14及び/又はR15は全て、水素である場合を除いて、場合により、酸の作用で切断される−O−C−結合又は−O−Si−結合を有する基で更に置換されており;
    16、R17及びR18は、互いに独立して、水素、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−で中断されているC3〜C30シクロアルキルであるか、又はR16、R17及びR18は、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219であり、場合により、置換基R16、R17及び/又はR18は、基R16、R17及び/若しくはR18を介して、R16、R17及びR18が結合しているフェニル環上の更なる置換基と、又は前記フェニル環の炭素原子のうちの1個と、5員、6員若しくは7員環又は縮合環を形成し;
    ここで、基R16、R17及び/又はR18は全て、水素である場合を除いて、場合により、酸の作用で切断される−O−C−結合又は−O−Si−結合を有する基で更に置換されており;
    19は、フェニル、ナフチル、C3〜C30シクロアルキル、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C2〜C12アルケニル、C4〜C30シクロアルケニルであるか、又は1個以上の−O−で中断されているC2〜C18アルキルであるか、又は1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−で中断されているC3〜C30シクロアルキルであるか
    (これらは全て、場合により1個以上のAr1、OH、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、C1〜C12アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−NR2122、C1〜C12アルキルチオ、C2〜C12アルコキシカルボニル、C2〜C8ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、C1〜C12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、(4−メチルフェニル)スルホニル、C1〜C12アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、(4−メチルフェニル)スルホニルオキシ、C2〜C12アルカノイル、C2〜C12アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び/若しくはベンゾイルオキシで置換されている);又は
    19は、水素であり;
    20は、フェニル、ナフチル、C3〜C30シクロアルキル、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C2〜C12アルケニル、C4〜C30シクロアルケニルであるか、又は1個以上の−O−で中断されているC2〜C18アルキルであるか、又は1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−で中断されているC3〜C30シクロアルキルであるか、又はC2〜C18アルカノイルであるか、若しくはベンゾイルであるか、若しくはC1〜C18アルキルスルホニルであるか
    (これらは全て、場合により1個以上のAr1、OH、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、C1〜C12アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−NR2122、C1〜C12アルキルチオ、C2〜C12アルコキシカルボニル、C2〜C8ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、C1〜C12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、(4−メチルフェニル)スルホニル、C1〜C12アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、(4−メチルフェニル)スルホニルオキシ、C2〜C12アルカノイル、C2〜C12アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び/若しくはベンゾイルオキシで置換されている);又は
    20は、水素、フェニルスルホニル、(4−メチルフェニル)スルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであり;
    21、R22及びR23は、互いに独立して、フェニル、ナフチル、C3〜C30シクロアルキル、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C2〜C12アルケニル、C4〜C30シクロアルケニルであるか、又は1個以上の−O−で中断されているC2〜C18アルキルであるか、又は1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−で中断されているC3〜C30シクロアルキルであるか;又はC2〜C18アルカノイル、ベンゾイル若しくはC1〜C18アルキルスルホニルであるか
    (これらは全て、場合により1個以上のAr1、OH、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、C1〜C12アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−NR2122、C1〜C12アルキルチオ、C2〜C12アルコキシカルボニル、C2〜C8ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、C1〜C12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、(4−メチルフェニル)スルホニル、C1〜C12アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、(4−メチルフェニル)スルホニルオキシ、C2〜C12アルカノイル、C2〜C12アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び/若しくはベンゾイルオキシで置換されている);又は
    21、R22及びR23は、互いに独立して、水素、フェニルスルホニル、(4−メチルフェニル)スルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであるか;或いは
    21及びR22は、それらが結合している窒素原子と一緒になって、場合により−O−又は−NR23−により中断されている5員、6員若しくは7員環を形成し;
    24は、フェニル、ナフチル、C3〜C30シクロアルキル、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C4〜C30シクロアルケニルであるか、又は1個以上の−O−で中断されているC2〜C18アルキルであるか、又は1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−で中断されているC3〜C30シクロアルキルであるか
    (これらは全て、非置換であるか、又は1個以上のAr1、OH、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、C1〜C12アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−NR2122、C1〜C12アルキルチオ、C2〜C12アルコキシカルボニル、C2〜C8ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、C1〜C12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、(4−メチルフェニル)スルホニル、C1〜C12アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、(4−メチルフェニル)スルホニルオキシ、C2〜C12アルカノイル、C2〜C12アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び/若しくはベンゾイルオキシで置換されている);又は
    24は、水素であるか;或いは
    23及びR24は、それらが結合しているN原子と一緒になって、5員、6員又は7員環(これは、場合により−O−で中断され、更に、場合により1個以上のベンゾ環と縮合している)を形成し;
    25、R26及びR27は、互いに独立して、水素であるか、又はフェニル若しくはナフチル(これらの両方は、場合により1個以上のAr1、OH、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、C1〜C12アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−NR2122、C1〜C12アルキルチオ、C2〜C12アルコキシカルボニル、C2〜C8ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、C1〜C12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、(4−メチルフェニル)スルホニル、C1〜C12アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、(4−メチルフェニル)スルホニルオキシ、C2〜C12アルカノイル、C2〜C12アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び/若しくはベンゾイルオキシで置換されている)であるか、又はR25、R26及びR27は、C3〜C18アルケニル若しくはC3〜C18アルキニルであるか、又はR25、R26及びR27は、C1〜C18アルキル、1個以上の−O−で中断されているC2〜C18アルキル(ここで、該基C1〜C18アルキル及びC2〜C18アルキルは、場合により1個以上のAr1、OH、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、C1〜C12アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−NR2122、C1〜C12アルキルチオ、C2〜C12アルコキシカルボニル、C2〜C8ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、C1〜C12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、(4−メチルフェニル)スルホニル、C1〜C12アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、(4−メチルフェニル)スルホニルオキシ、C2〜C12アルカノイル、C2〜C12アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び/若しくはベンゾイルオキシで置換されている)であるか、
    又はR25及びR26は、適切であれば、C1〜C2アルキレン、−O−、−S−若しくは−CO−と一緒になって、縮合環を形成するか、又はR25、R26及びR27は、適切であれば、C1〜C2アルキレン、−O−、−S−若しくは−CO−と一緒になって、5員、6員若しくは7員環を形成するか、又はR25、R26及びR27は、それらが結合しているN+原子と一緒になって、下記式:
    Figure 2005517026

    の基を形成し;
    28及びR29は、互いに独立して、フェニル(これは、場合により1個以上のAr1、OH、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、C1〜C12アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−NR2122、C1〜C12アルキルチオ、C2〜C12アルコキシカルボニル、C2〜C8ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、C1〜C12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、(4−メチルフェニル)スルホニル、C1〜C12アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、(4−メチルフェニル)スルホニルオキシ、C2〜C12アルカノイル、C2〜C12アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び/若しくはベンゾイルオキシで置換されている)であるか、又はR28及びR29は、互いに独立して、C1〜C18アルキル、1個以上の−O−で中断されているC2〜C18アルキル(ここで、該基C1〜C18アルキル及びC2〜C18アルキルは、場合により1個以上のAr1、OH、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、C1〜C12アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−NR2122、C1〜C12アルキルチオ、C2〜C12アルコキシカルボニル、C2〜C8ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、C1〜C12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、(4−メチルフェニル)スルホニル、C1〜C12アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、(4−メチルフェニル)スルホニルオキシ、C2〜C12アルカノイル、C2〜C12アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び/若しくはベンゾイルオキシで置換されている)であるか、
    又はR28及びR29は、適切であれば、C1〜C2アルキレン、−O−、−S−若しくは−CO−と一緒になって、縮合環を形成するか、又はR28及びR29は、適切であれば、C1〜C2アルキレン、−O−、−S−若しくは−CO−と一緒になって、5員、6員若しくは7員環を形成し;
    30、R31、R32及びR33は、互いに独立して、水素、ハロゲン、C1〜C18アルキル、C1〜C18アルコキシ、C1〜C8ハロアルキル、CN、NO2、C2〜C18アルカノイル、ベンゾイル、フェニル、−S−フェニル、OR20、SR23、NR2122、C2〜C6アルコキシカルボニル、フェノキシカルボニル、S(O)p1〜C18アルキル、非置換若しくはC1〜C18アルキル置換S(O)p−C6〜C12アリール、SO2O−C1〜C18アルキル、SO2O−C6〜C10アリール又はNHCONH2であり;
    34及びR35は、互いに独立して、R5で示された意味のうちの1つを有するか;又は
    34及びR35は、一緒になって、−CO−NR23CO−であるか;又はR34及びR35は、一緒になって、−C(R30)=C(R31)−C(R32)=C(R33)−であり;
    Ar1は、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリール
    (これらは全て、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−により中断されているC3〜C30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−NO2、−CN、−フェニル、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されており、場合により、置換基−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/又は−OSO219は、基R19、R20、R21、R22及び/若しくはR23を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環上の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの1個と、5員、6員若しくは7員環を形成する)であり;
    Ar2は、フェニレン、ナフチレン、下記式:
    Figure 2005517026

    ジフェニレン、オキシジフェニレン又は下記式:
    Figure 2005517026

    (ここで、これらの基は、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/又は−OSO219で置換されており、場合により置換基−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/又は−OSO219は、基R19、R20、R21、R22及び/若しくはR23を介して、これらの基上の更なる置換基と、又はこれらの基の炭素原子のうちの1個と、5員、6員若しくは7員環を形成する)であり;
    +は、下記式:
    Figure 2005517026

    Li+、Na+、K+、Cs+、1/2Mg2+、1/2Ca2+又は1/2Ba2+であり;
    -は、F-、Cl-、Br-、I-、HSO4 -、1/2SO4 2-、NO3 -、下記式:
    Figure 2005517026

    ClO4 -、BF4 -、PF6 -、AsF6 -、SbF6 -、(R50SO23-又は(R50SO22-であり;
    36、R37、R38及びR39は、R25、R26及びR27で示された意味のうちの1つを有し;
    40、R41及びR42は、R28及びR29で示された意味のうちの1つを有し;
    43及びR44は、互いに独立して、フェニル(これは、場合により1個以上のAr1、OH、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、C1〜C12アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−NR2122、C1〜C12アルキルチオ、C2〜C12アルコキシカルボニル、C2〜C8ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、C1〜C12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、(4−メチルフェニル)スルホニル、C1〜C12アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、(4−メチルフェニル)スルホニルオキシ、C2〜C12アルカノイル、C2〜C12アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び/若しくはベンゾイルオキシで置換されている)であるか、
    又はR43及びR44は、適切であれば、C1〜C2アルキレン、−O−、−S−若しくは−CO−と一緒になって、縮合環を形成し;
    45は、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、カンホリル、フェニル−C1〜C3アルキル、C3〜C30シクロアルキル、C4〜C30シクロアルケニル、フェニル、ナフチル、アントラシル又はフェナントリル(これらは全て、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/又は−OSO219で置換されている)であり;
    46及びR47は、互いに独立して、R5で示された意味のうちの1つを有するか;又はR46及びR47は、一緒になって、−CO−NR23−CO−若しくは−C(R30)=C(R31)−C(R32)=C(R33)−であり;
    48及びR49は、互いに独立して、R5で示された意味のうちの1つを有するか;又はR48及びR49は、一緒になって、−CO−NR23−CO−若しくは−C(R30)=C(R31)−C(R32)=C(R33)−であり;
    50は、C1〜C8ペルフルオロアルキルであり;
    1は、−CR35−又は−N−であり;そして
    2は、−CH2−、−S−、−O−又は−NR23−である〕
    で示される少なくとも1種の化合物
    を含む化学増幅型フォトレジスト組成物。
  2. (a1)酸の存在下で分解して、アルカリ性現像水溶液において溶解度を増加させる酸不安定基を有する少なくとも1種のポリマー;及び/又は
    (a2)酸の存在下で分解して、アルカリ性現像水溶液において溶解度を増加させる酸不安定基を有する少なくとも1種のモノマ−又はオリゴマー溶解抑制剤;及び/又は
    (a3)少なくとも1種のアルカリ可溶性モノマー、オリゴマー又はポリマー化合物;並びに
    (b)感光性酸供与体として、式Ia、Ib、IIa、IIb、IIIa、IIIb、IVa、IVb、Va、Vb及び/又はVIaで示される少なくとも1種の化合物
    を含む、請求項1記載の化学増幅型ポジティブフォトレジスト組成物。
  3. (a4)結合剤として、アルカリ可溶性樹脂;
    (a5)酸の触媒作用を受けると、それ自体及び/又は結合剤と架橋反応を起こす成分;並びに
    (b)感光性酸供与体として、式Ia、Ib、IIa、IIb、IIIa、IIIb、IVa、IVb、Va、Vb及び/又はVIaで示される少なくとも1種の化合物
    を含む、請求項1記載の化学増幅型ネガティブフォトレジスト組成物。
  4. 成分(a)及び(b)、又は成分(a1)、(a2)、(a3)及び(b)、又は成分(a4)、(a5)及び(b)に加えて、更なる添加剤(c)、更なる感光性酸供与体化合物(b1)、他の光開始剤(d)及び/又は増感剤(e)を含む、請求項1〜3のいずれか1項記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
  5. (1)請求項1記載の組成物を基材に塗布すること;
    (2)塗布後、60℃〜160℃の温度で組成物を焼付けすること;
    (3)波長150nm〜1500nmの光により像様式に照射すること;
    (4)場合により、暴露後、60℃〜160℃の温度で組成物を焼付けすること;及び
    (5)溶媒又はアルカリ性現像水溶液で現像すること
    によるフォトレジストの製造方法。
  6. 式Ia、Ib、IIa、IIb、IIIa、IIIb、IVa、IVb、Va、Vb又はVIa:
    Figure 2005517026

    〔式中、
    nは、1又は2であり;
    mは、0又は1であり;
    0は、−〔CH2h−X又は−CH=CH2であり;
    hは、2、3、4、5又は6であり;
    nが1の場合、式Ia、IIa、IIIa、IVa、Va及びVIaのR1、並びに式Ib、IIb、IIIb、IVb及びVbのR1は、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリール
    (これらは全て、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−により中断されているC3〜C30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されており、場合により置換基−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/又は−OSO219は、基R19、R20、R21、R22及び/若しくはR23を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環上の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの1個と、5員、6員若しくは7員環を形成する)であるか;又は
    1は、水素(但しR2は、同時には水素ではない)であるか;又は
    1は、C1〜C18アルキルであるか、又は1個以上のC3〜C30シクロアルキレン、−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−、−S(CO)−、−NR23(CO)−、−SO−、−SO2−若しくは−OSO2−により中断されているC2〜C18アルキル(場合により該基C1〜C18アルキル及びC2〜C18アルキルは、1個以上のC1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    1は、C3〜C30シクロアルキル(場合により1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−により中断され、非置換であるか、又は1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    1は、C1〜C8ハロアルキル、C2〜C12アルケニル、C4〜C30シクロアルケニル、カンホリルであるか;或いは
    mが0の場合、R1は、更に、CN、C2〜C6アルコキシカルボニル又はフェノキシカルボニル(ここで、C2〜C6アルコキシカルボニル及びフェノキシカルボニルは、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−により中断されているC3〜C30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であり;
    nが2の場合、R1は、フェニレン、ナフチレン、下記式:
    Figure 2005517026

    ジフェニレン、オキシジフェニレン又は下記式:
    Figure 2005517026

    (ここで、これらの基は、非置換であるか、又は1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    1は、直接結合、下記式:
    Figure 2005517026

    であり;
    ここで、基R1は全て、水素及び直接結合である場合を除いて、酸の作用で切断される−O−C−結合又は−O−Si−結合を有する基により、更に置換されていることができ;
    1は、直接結合、C1〜C18アルキレン、−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−、−S(CO)−、−NR23(CO)−、−SO−、−SO2−又は−OSO2−であり;
    2は、直接結合、C1〜C18アルキレンであるか、又は1個以上のC3〜C30シクロアルキレン、−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−、−S(CO)−、−NR23(CO)−、−SO−、−SO2−、−OSO2−若しくは−Ar2−により中断されているC2〜C18アルキレン(場合により該基C1〜C18アルキレン及びC2〜C18アルキレンは、1個以上のC1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    2は、C3〜C30シクロアルキレン(場合により1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−により中断され、非置換であるか、又は1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    2は、フェニレン、ナフチレン(ここで、これらの基は、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であり;
    2は、R1の意味のうちの1つを有するか、又はC2〜C18アルカノイルであるか、非置換であるか、又は1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されているベンゾイルであるか;又は
    2は、NO2であるか、又はR2は、S(O)p1〜C18アルキル、S(O)p−C6〜C12アリール、SO2O−C1〜C18アルキル、SO2O−C6〜C10アリール、ジフェニル−ホスフィノイル(これらは全て、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−で中断されているC3〜C30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;或いは
    1及びR2は、一緒になって、5員、6員若しくは7員環(これは、非置換であるか又は1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−で中断されているC3〜C30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されており、前記5員、6員若しくは7員環は、C1〜C18アルキレン、C3〜C30シクロアルキレン、C1〜C8ハロアルキレン、C2〜C12アルケニレン、C4〜C30シクロアルケニレン、フェニレン、ナフタレン、−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−、−NR23(CO)−、−S(CO)−、−SO−、−SO2−又は−OSO2−で更に中断されていてもよく、前記5員、6員若しくは7員環には、場合により1個以上のベンゾ基が縮合している)を形成し;
    pは、1又は2であり;
    Xは、−O(CO)R24、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R24、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219、−OSO219又は下記式:
    Figure 2005517026

    の基であり;
    X′は、下記式:
    Figure 2005517026

    であり;
    1及びX2は、互いに独立して、−O(CO)−、−O(CO)O−、−O(CO)NR23−、−NR23(CO)−、−NR23(CO)O−、−O−、−NR23−、−S−、−SO−、−SO2−、−OSO2−、下記式:
    Figure 2005517026

    であるか;又は
    1及びX2は、直接結合であるが、但しX1とX2が両方とも同時に直接結合ではなく;
    3は、フェニレン、ナフチレン、下記式:
    Figure 2005517026

    ジフェニレン、オキシジフェニレン又は下記式:
    Figure 2005517026

    (ここで、これらの基は、非置換であるか、又は1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    3は、直接結合、下記式:
    Figure 2005517026

    であり;
    3は、R1で示された意味のうちの1つを有するか、又はR3は、C2〜C18アルカノイルであるか、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されているベンゾイルであるか;又は
    3は、NO2であるか、又はR3は、S(O)p1〜C18アルキル、S(O)p−C6〜C12アリール、SO2O−C1〜C18アルキル、SO2O−C6〜C10アリール、ジフェニル−ホスフィノイル(これらは全て、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−で中断されているC3〜C30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であり;
    4は、R2で示された意味のうちの1つを有するか、又はR3及びR4は、一緒になって、5員、6員若しくは7員環(これは、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−で中断されているC3〜C30シクロアルキルで置換されているか、又は前記5員、6員若しくは7員環は、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されており、前記5員、6員若しくは7員環は、場合によりC1-18アルキレン、C3〜C30シクロアルキレン、C1〜C8ハロアルキレン、C2〜C12アルケニレン、C4〜C30シクロアルケニレン、フェニレン、ナフタレン、−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−、−NR23(CO)−、−S(CO)−、−SO−、−SO2−又は−OSO2−で更に中断されており、場合により1個以上のベンゾ基が、前記5員、6員若しくは7員環に縮合している)を形成し;
    5及びR6は、互いに独立して、水素、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−で中断されているC3〜C30シクロアルキルであるか、又はR5及びR6は、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219であるか;又は
    5及びR6は、一緒になって、−C(R30)=C(R31)−C(R32)=C(R33)−若しくは−(CO)NR23(CO)−であり;
    Gは、−S−、−O−、−NR23−又は式Z1、Z2、Z3若しくはZ4
    Figure 2005517026

    の基であり;
    nが1の場合、式Ia、IIa、IIIa、IVa、Va及びVIaのR7、並びに式Ib、IIb、IIIb、IVb及びVbのR7は、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリール
    (これらは全て、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−により中断されているC3〜C30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されており、場合により置換基−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/又は−OSO219は、基R19、R20、R21、R22及び/若しくはR23を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環上の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの1個と、5員、6員若しくは7員環を形成する)であるか;又は
    7は、C1〜C18アルキルであるか、又は1個以上のC3〜C30シクロアルキレン、−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−、−S(CO)−、−NR23(CO)−、−SO−、−SO2−若しくは−OSO2−により中断されているC2〜C18アルキル(場合により該基C1〜C18アルキル及びC2〜C18アルキルは、1個以上のC1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    7は、C3〜C30シクロアルキル(場合により1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−により中断され、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    7は、水素、C1〜C8ハロアルキル、−OR20、−NR2122、−NR23(CO)R19、−SR23、C2〜C12アルケニル、C4〜C30シクロアルケニル、カンホリルであり;
    nが2の場合、R7は、フェニレン、ナフチレン、下記式:
    Figure 2005517026

    ジフェニレン、オキシジフェニレン又は下記式:
    Figure 2005517026

    (ここで、これらの基は、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    7は、直接結合、下記式:
    Figure 2005517026

    であり;
    ここで、基R7は全て、水素及び直接結合である場合を除いて、場合により、酸の作用で切断される−O−C−結合又は−O−Si−結合を有する基で更に置換されており;
    4は、直接結合、C1〜C18アルキレン、−O−、−S−又は−NR23−であり;
    8及びR9は、互いに独立して、C1〜C18アルキルであるか、又は1個以上のC3〜C30シクロアルキレン、−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−、−S(CO)−、−NR23(CO)−、−SO−、−SO2−、−OSO2−若しくは−Ar2−により中断されているC2〜C18アルキル(場合により該基C1〜C18アルキル及びC2〜C18アルキルは、1個以上のC1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    8及びR9は、C3〜C30シクロアルキル(場合により1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−により中断され、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    8及びR9は、水素、ハロゲン、C1〜C8ハロアルキル、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219であるか;又は
    8及びR9は、適切であれば、C1〜C4アルキレン、−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−、−NR23(CO)−と一緒になって、5員、6員若しくは7員環を形成するか;或いは
    7及びR8は、適切であれば、C1〜C3アルキレン、−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−、−NR23(CO)−と一緒になって、5員、6員若しくは7員環を形成し;
    10は、R7で示された意味のうちの1つを有し;
    11は、C1〜C18アルキルであるか、又は1個以上のC3〜C30シクロアルキレン、−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−、−S(CO)−、−NR23(CO)−、−SO−、−SO2−、−OSO2−若しくは−Ar2−により中断されているC2〜C18アルキル(場合により該基C1〜C18アルキル及びC2〜C18アルキルは、1個以上のC1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    11は、C3〜C30シクロアルキル(場合により1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−により中断され、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されている)であるか;又は
    11は、水素、C1〜C8ハロアルキル、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122又は−SO219であるか;或いは
    10及びR11は、一緒になって、5員、6員若しくは7員環(これは、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−で中断されているC3〜C30シクロアルキルで置換されているか、又は前記5員、6員若しくは7員環は、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されており、前記5員、6員若しくは7員環は、場合によりC1〜C12アルキレン、C3〜C30シクロアルキレン、C1〜C8ハロアルキレン、C2〜C12アルケニレン、C4〜C30シクロアルケニレン、フェニレン、ナフタレン、−O−、−S−、−NR23−、−(CO)−、−O(CO)−、−NR23(CO)−、−S(CO)−、−SO−、−SO2−又は−OSO2−で更に中断されており、場合により前記5員、6員若しくは7員環には、1個以上のベンゾ基が縮合している)を形成するが;
    但し、
    (1)hが2であり、X′が−X1−A3−X2−であり、そしてX1、X2及びA3が全て直接結合ある場合、R10及びR11は、−CO−で中断されている環を形成することはなく;
    (2)X0が−CH=CH2であり、そしてR11がメチルである場合、R10は、フェニル又はナフチルではなく;
    (3)X0が−CH=CH2であるか、又はX0が−〔CH2h−Xであり、XがOR20であり、そしてR20がメチルである場合、R10及びR11は、一緒になって、−CO−で中断されている5員、6員若しくは7員環を形成することはなく;
    12、R13、R14及びR15は、互いに独立して、水素、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−、若しくは−NR23(CO)−で中断されているC3〜C30シクロアルキルであるか、又はR12、R13、R14及びR15は、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219であり、場合により置換基R12、R13、R14及び/又はR15は、基R12、R13、R14及び/若しくはR15を介して、R12、R13、R14及びR15が結合しているフェニル上の更なる置換基と、又は前記フェニル環の炭素原子のうちの1個と、5員、6員若しくは7員環、又は縮合環を形成し;
    ここで、基R12、R13、R14及び/又はR15は全て、水素である場合を除いて、場合により、酸の作用で切断される−O−C−結合又は−O−Si−結合を有する基で更に置換されており;
    16、R17及びR18は、互いに独立して、水素、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−、若しくは−NR23(CO)−で中断されているC3〜C30シクロアルキルであるか、又はR16、R17及びR18は、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219であり、場合により置換基R16、R17及び/又はR18は、基R16、R17及び/若しくはR18を介して、R16、R17及びR18が結合しているフェニル環上の更なる置換基と、又は前記フェニル環の炭素原子のうちの1個と、5員、6員若しくは7員環、又は縮合環を形成し;
    ここで、基R16、R17及び/又はR18は全て、水素である場合を除いて、場合により、酸の作用で切断される−O−C−結合又は−O−Si−結合を有する基で更に置換されているが;
    但し、
    (4)X0が−CH=CH2である場合、R16、R17及びR18は、全て同時に水素ではなく;
    19は、フェニル、ナフチル、C3〜C30シクロアルキル、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C2〜C12アルケニル、C4〜C30シクロアルケニルであるか、又は1個以上の−O−で中断されているC2〜C18アルキルであるか、又は1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−で中断されているC3〜C30シクロアルキルであるか
    (これらは全て、場合により1個以上のAr1、OH、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、C1〜C12アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−NR2122、C1〜C12アルキルチオ、C2〜C12アルコキシカルボニル、C2〜C8ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、C1〜C12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、(4−メチルフェニル)スルホニル、C1〜C12アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、(4−メチルフェニル)スルホニルオキシ、C2〜C12アルカノイル、C2〜C12アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び/若しくはベンゾイルオキシで置換されている);又は
    19は、水素であり;
    20は、フェニル、ナフチル、C3〜C30シクロアルキル、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C2〜C12アルケニル、C4〜C30シクロアルケニルであるか、又は1個以上の−O−で中断されているC2〜C18アルキルであるか、又は1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−で中断されているC3〜C30シクロアルキルであるか、又はC2〜C18アルカノイルであるか、若しくはベンゾイルであるか、若しくはC1〜C18アルキルスルホニルであるか
    (これらは全て、場合により1個以上のAr1、OH、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、C1〜C12アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−NR2122、C1〜C12アルキルチオ、C2〜C12アルコキシカルボニル、C2〜C8ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、C1〜C12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、(4−メチルフェニル)スルホニル、C1〜C12アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、(4−メチルフェニル)スルホニルオキシ、C2〜C12アルカノイル、C2〜C12アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び/若しくはベンゾイルオキシで置換されている);又は
    20は、水素、フェニルスルホニル、(4−メチルフェニル)スルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであり;
    21、R22及びR23は、互いに独立して、フェニル、ナフチル、C3〜C30シクロアルキル、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C2〜C12アルケニル、C4〜C30シクロアルケニルであるか、又は1個以上の−O−で中断されているC2〜C18アルキルであるか、又は1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−で中断されているC3〜C30シクロアルキルであるか、又はC2〜C18アルカノイル、ベンゾイル若しくはC1〜C18アルキルスルホニルであるか
    (これらは全て、場合により1個以上のAr1、OH、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、C1〜C12アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−NR2122、C1〜C12アルキルチオ、C2〜C12アルコキシカルボニル、C2〜C8ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、C1〜C12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、(4−メチルフェニル)スルホニル、C1〜C12アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、(4−メチルフェニル)スルホニルオキシ、C2〜C12アルカノイル、C2〜C12アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び/若しくはベンゾイルオキシで置換されている);又は
    21、R22及びR23は、互いに独立して、水素、フェニルスルホニル、(4−メチルフェニル)スルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであるか;或いは
    21及びR22は、それらが結合している窒素原子と一緒になって、場合により−O−又は−NR23−により中断されている5員、6員若しくは7員環を形成するが;
    但し、
    (5)mが1であり、X0が−〔CH2h−Xであり、Xが、OR20若しくはNR2122であり、そしてR20が水素であるか、又はR21及びR22が両方とも水素である場合、R1及びR2は、両方とも同時にp−トリル又はp−クロロフェニルではなく;
    (6)mが0であり、X0が−〔CH2h−Xであり、XがNR2122であり、そしてR21及びR22が、両方とも同じであって、Oで中断されているアルキルである場合、R1は、チエニルではなく;
    (7)X0が−〔CH2h−Xであり、XがOR20であり、R20がエチルであり、そしてR8及びR9が両方とも水素である場合、R7は、プロピルではなく;
    (8)X0が−CH=CH2であり、R8及びR9が両方とも水素であり、nが1であり、R7がNR2122であり、そしてR21が水素である場合、R22は、n−C37、i−C37又はシクロヘキシルではなく、そしてR21及びR22は、両方とも同時にアルケニルではなく;
    24は、フェニル、ナフチル、C3〜C30シクロアルキル、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C4〜C30シクロアルケニルであるか、又は1個以上の−O−で中断されているC2〜C18アルキルであるか、又は1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−で中断されているC3〜C30シクロアルキルであるか
    (これらは全て、非置換であるか、又は1個以上のAr1、OH、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、C1〜C12アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−NR2122、C1〜C12アルキルチオ、C2〜C12アルコキシカルボニル、C2〜C8ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、C1〜C12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、(4−メチルフェニル)スルホニル、C1〜C12アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、(4−メチルフェニル)スルホニルオキシ、C2〜C12アルカノイル、C2〜C12アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び/若しくはベンゾイルオキシで置換されている);又は
    24は、水素であるか;或いは
    23及びR24は、それらが結合しているN原子と一緒になって、5員、6員又は7員環(これは、場合により−CO−又は−O−で中断され、更に、場合により1個以上のベンゾ環と縮合している)を形成し;
    25、R26及びR27は、互いに独立して、水素であるか、又はフェニル若しくはナフチル(これらの両方は、場合により1個以上のAr1、OH、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、C1〜C12アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−NR2122、C1〜C12アルキルチオ、C2〜C12アルコキシカルボニル、C2〜C8ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、C1〜C12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、(4−メチルフェニル)スルホニル、C1〜C12アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、(4−メチルフェニル)スルホニルオキシ、C2〜C12アルカノイル、C2〜C12アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び/若しくはベンゾイルオキシで置換されている)であるか、又はR25、R26及びR27は、C3〜C18アルケニル若しくはC3〜C18アルキニルであるか、又はR25、R26及びR27は、C1〜C18アルキル、1個以上の−O−で中断されているC2〜C18アルキル(ここで、該基C1〜C18アルキル及びC2〜C18アルキルは、場合により1個以上のAr1、OH、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、C1〜C12アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−NR2122、C1〜C12アルキルチオ、C2〜C12アルコキシカルボニル、C2〜C8ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、C1〜C12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、(4−メチルフェニル)スルホニル、C1〜C12アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、(4−メチルフェニル)スルホニルオキシ、C2〜C12アルカノイル、C2〜C12アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び/若しくはベンゾイルオキシで置換されている)であるか、又は
    25及びR26は、適切であれば、C1〜C2アルキレン、−O−、−S−若しくは−CO−と一緒になって、縮合環を形成するか、又はR25、R26及びR27は、適切であれば、C1〜C2アルキレン、−O−、−S−若しくは−CO−と一緒になって、5員、6員若しくは7員環を形成するか、又はR25、R26及びR27は、それらが結合しているN+原子と一緒になって、下記式:
    Figure 2005517026

    の基を形成し;
    28及びR29は、互いに独立して、フェニル(これは、場合により1個以上のAr1、OH、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、C1〜C12アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−NR2122、C1〜C12アルキルチオ、C2〜C12アルコキシカルボニル、C2〜C8ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、C1〜C12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、(4−メチルフェニル)スルホニル、C1〜C12アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、(4−メチルフェニル)スルホニルオキシ、C2〜C12アルカノイル、C2〜C12アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び/若しくはベンゾイルオキシで置換されている)であるか、又はR28及びR29は、互いに独立して、C1〜C18アルキル、1個以上の−O−で中断されているC2〜C18アルキル(ここで、該基C1〜C18アルキル及びC2〜C18アルキルは、場合により1個以上のAr1、OH、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、C1〜C12アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−NR2122、C1〜C12アルキルチオ、C2〜C12アルコキシカルボニル、C2〜C8ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、C1〜C12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、(4−メチルフェニル)スルホニル、C1〜C12アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、(4−メチルフェニル)スルホニルオキシ、C2〜C12アルカノイル、C2〜C12アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び/若しくはベンゾイルオキシで置換されている)であるか、又はR28及びR29は、適切であれば、C1〜C2アルキレン、−O−、−S−若しくは−CO−と一緒になって、縮合環を形成するか、又はR28及びR29は、適切であれば、C1〜C2アルキレン、−O−、−S−若しくは−CO−と一緒になって、5員、6員若しくは7員環を形成し;
    30、R31、R32及びR33は、互いに独立して、水素、ハロゲン、C1〜C18アルキル、C1〜C18アルコキシ、C1〜C8ハロアルキル、CN、NO2、C2〜C18アルカノイル、ベンゾイル、フェニル、−S−フェニル、OR20、SR23、NR2122、C2〜C6アルコキシカルボニル、フェノキシカルボニル、S(O)p1〜C18アルキル、非置換若しくはC1〜C18アルキル置換S(O)p−C6〜C12アリール、SO2O−C1〜C18アルキル、SO2O−C6〜C10アリール又はNHCONH2であり;
    34及びR35は、互いに独立して、R5で示された意味のうちの1つを有するか;又は
    34及びR35は、一緒になって、−CO−NR23CO−であるか;又はR34及びR35は、一緒になって、−C(R30)=C(R31)−C(R32)=C(R33)−であり;
    Ar1は、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリール
    (これらは全て、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、1個以上の−O−、−S−、−NR23−、−O(CO)−若しくは−NR23(CO)−により中断されているC3〜C30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−NO2、−CN、−フェニル、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/若しくは−OSO219で置換されており、場合により置換基−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/又は−OSO219は、基R19、R20、R21、R22及び/若しくはR23を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環上の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの1個と、5員、6員若しくは7員環を形成する)であり;
    Ar2は、フェニレン、ナフチレン、下記式:
    Figure 2005517026

    ジフェニレン、オキシジフェニレン又は下記式:
    Figure 2005517026

    (ここで、これらの基は、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/又は−OSO219で置換されており、場合により置換基−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/又は−OSO219は、基R19、R20、R21、R22及び/若しくはR23を介して、これらの基上の更なる置換基と、又はこれらの基の炭素原子のうちの1個と、5員、6員若しくは7員環を形成する)であり;
    +は、下記式:
    Figure 2005517026

    Li+、Na+、K+、Cs+、1/2Mg2+、1/2Ca2+又は1/2Ba2+であり;
    -は、F-、Cl-、Br-、I-、HSO4 -、1/2SO4 2-、NO3 -、下記式:
    Figure 2005517026

    ClO4 -、BF4 -、PF6 -、AsF6 -、SbF6 -、(R50SO23-又は(R50SO22-であり;
    36、R37、R38及びR39は、R25、R26及びR27で示された意味のうちの1つを有し;
    40、R41及びR42は、R28及びR29で示された意味のうちの1つを有し;
    43及びR44は、互いに独立して、フェニル(これは、場合により1個以上のAr1、OH、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、C1〜C12アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−NR2122、C1〜C12アルキルチオ、C2〜C12アルコキシカルボニル、C2〜C8ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、C1〜C12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、(4−メチルフェニル)スルホニル、C1〜C12アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、(4−メチルフェニル)スルホニルオキシ、C2〜C12アルカノイル、C2〜C12アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び/若しくはベンゾイルオキシで置換されている)であるか、又は
    43及びR44は、適切であれば、C1〜C2アルキレン、−O−、−S−若しくは−CO−と一緒になって、縮合環を形成し;
    45は、C1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、カンホリル、フェニル−C1〜C3アルキル、C3〜C30シクロアルキル、C4〜C30シクロアルケニル、フェニル、ナフチル、アントラシル又はフェナントリル(これらは全て、場合により1個以上のC1〜C18アルキル、C1〜C8ハロアルキル、C3〜C30シクロアルキル、ハロゲン、−NO2、−CN、−Ar1、−(CO)R19、−(CO)OR20、−(CO)NR2122、−O(CO)R19、−O(CO)OR20、−O(CO)NR2122、−NR23(CO)R19、−NR23(CO)OR20、−OR20、−NR2122、−SR23、−SOR19、−SO219及び/又は−OSO219で置換されている)であり;
    46及びR47は、互いに独立して、R5で示された意味のうちの1つを有するか;又はR46及びR47は、一緒になって、−CO−NR23−CO−若しくは−C(R30)=C(R31)−C(R32)=C(R33)−であり;
    48及びR49は、互いに独立して、R5で示された意味のうちの1つを有するか;又はR48及びR49は、一緒になって、−CO−NR23−CO−若しくは−C(R30)=C(R31)−C(R32)=C(R33)−であり;
    50は、C1〜C8ペルフルオロアルキルであり;
    1は、−CR35−又は−N−であり;そして
    2は、−CH2−、−S−、−O−又は−NR23−である〕
    で示される化合物。
  7. (a)酸の作用で硬化する化合物、又はその溶解度が酸の作用で増加する化合物;及び
    (b)感光性酸供与体として、請求項6記載の式Ia、Ib、IIa、IIb、IIIa、IIIb、IVa、IVb、Va、Vb又はVIaで示される少なくとも1種の化合物
    を含む組成物。
  8. 酸の作用下で架橋され得る組成物における感光性酸供与体として、及び/又は溶解度が酸の作用下で増加される組成物における溶解向上剤としての、請求項6記載の式Ia、Ib、IIa、IIb、IIIa、IIIb、IVa、IVb、Va、Vb又はVIaで示される化合物。
  9. 表面被覆、プリントインク、印刷版、歯科用組成物、カラーフィルタ、レジスト又は画像記録材料若しくはホログラフ像を記録する画像記録材料の製造における感光性酸供与体としての、請求項6記載の式Ia、Ib、IIa、IIb、IIIa、IIIb、IVa、IVb、Va、Vb又はVIaで示される化合物。
  10. カラーフィルタ又は化学増幅型レジストの製造における感光性酸供与体としての、請求項1記載の式Ia、Ib、IIa、IIb、IIIa、IIIb、IVa、IVb、Va、Vb又はVIaで示される化合物。
  11. 塩基の存在下、2−ニトロチオフェンをR−CH−CN(ここで、Rは請求項1で定義されている。)、特に、2−メチルベンジルシアニドと反応させ、遊離オキシムを得、該遊離オキシムを、
    (a)塩基の存在下、クロロアルキルスルホニルクロリド、Cl−SO−(CH−Clと反応させ、続いて、求核剤、X−H、X−Na、X−K、H−X’−Hと反応させるか(ここで、h、X及びX’は請求項1で定義されている。)、又は
    (b)塩基の存在下、スルホニルクロリド、Cl−SO−(CH−X 又は Cl−SO−(CH−X’−(CH−SO−Clと反応させる(ここで、h、X及びX’は請求項1で定義されている。)
    ことにより得られうる生成物。
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