JP2004526984A5 - - Google Patents
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Description
（式中、Ｒ7及びＲ8は、互いに独立して、水素、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ3〜Ｃ8シクロアルキル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3アルキルであるか、又はＲ7及びＲ8は、一緒になってＣ2〜Ｃ5アルキレンであり、そしてＲ9は、非置換若しくはハロゲンで置換されているＣ 1 〜Ｃ 5 アルキル、非置換若しくはハロゲンで置換されているＣ3〜Ｃ8シクロアルキル、又はフェニル−Ｃ1〜Ｃ3アルキルであるか、或いはＲ7及びＲ8が一緒になってＣ2〜Ｃ5アルキレンではない場合、Ｒ9及びＲ8は、一緒になって、−Ｏ−原子又は−Ｓ−原子により中断されていてよいＣ2〜Ｃ5アルキレンであることができる）の基である。
Claims (10)
- （ａ）酸の作用で硬化する化合物、又は酸の作用でその溶解度が増加する化合物；及び
（ｂ）感光性酸供与体として、（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）：
〔式中、
Ｒ1は、１個以上の−Ｏ−若しくは−（ＣＯ）−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ2〜Ｃ12アルケニル、又はＣ4〜Ｃ8シクロアルケニル、又はＣ6〜Ｃ12ビシクロアルケニルであり、
これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−より中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
Ｒ1は、ベンジルであるか；或いは
Ｒ1は、フェニル、又はナフチル、又はアントラシル、又はフェナントリル、又はヘテロアリール基であり、
これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキルで置換されているか、又はＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換され、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2は、基Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及び／若しくはＲ6を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの１個と、５員若しくは６員環を形成し；
ここで、基Ｒ1の全ては、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
Ｒ′1は、Ｃ1〜Ｃ12アルキレン、又は１個以上のＣ3〜Ｃ30シクロアルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ6（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−若しくは−ＯＳＯ2−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキレンであり、場合により基Ｃ1〜Ｃ12アルキレン及びＣ2〜Ｃ12アルキレンは、１個以上のＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
Ｒ′1は、場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断され、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキレンであるか；或いは
Ｒ′1は、フェニレン、ナフチレン、下記式：
ジフェニレン、オキシジフェニレン又は下記式：
であり、これらの基は、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
Ｒ′1は、下記式：
であり；
Ａは、直接結合、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ6（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−又は−ＯＳＯ2−であり；
Ｂは、直接結合、Ｃ1〜Ｃ12アルキレン、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ6（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−若しくは−ＯＳＯ2−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキレンであり、場合により基Ｃ1〜Ｃ12アルキレン及びＣ2〜Ｃ12アルキレンは、１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換され；
Ｒ2は、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルであり；
これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、Ｃ1〜Ｃ4アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−ＮＲ4Ｒ5、Ｃ1〜Ｃ4アルキルチオ、Ｃ2〜Ｃ4アルコキシカルボニル、Ｃ2〜Ｃ4ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ及び／若しくはＣ1〜Ｃ4アルカノイルで置換されているか；或いは
Ｒ2は、水素であり；
Ｒ3は、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ2〜Ｃ18アルカノイル、又はベンゾイル、又はＣ1〜Ｃ18アルキルスルホニルであり、
これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、Ｃ1〜Ｃ4アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−ＮＲ4Ｒ5、Ｃ1〜Ｃ4アルキルチオ、Ｃ2〜Ｃ4アルコキシカルボニル、Ｃ2〜Ｃ4ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ及び／若しくはＣ1〜Ｃ4アルカノイルで置換されているか；或いは
Ｒ3は、水素、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであり；
Ｒ4、Ｒ5及びＲ6は、互いに独立して、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ2〜Ｃ18アルカノイル、又はベンゾイル、又はＣ1〜Ｃ18アルキルスルホニルであり、
これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、Ｃ1〜Ｃ4アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルチオ、Ｃ2〜Ｃ4アルコキシカルボニル、Ｃ2〜Ｃ4ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ及び／若しくはＣ1〜Ｃ4アルカノイルで置換されているか；或いは
Ｒ4、Ｒ5及びＲ6は、互いに独立して、水素、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであるか；或いは
Ｒ4及びＲ5は、それらが結合している窒素原子と一緒になって、場合により−Ｏ−若しくは−ＮＲ6−により中断されている５員、６員又は７員環を形成し；
Ａｒ1及びＡｒ2は、互いに独立して、フェニル、又はナフチル、又はアントラシル、又はフェナントリル、又はヘテロアリールであり、
これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ12アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換され、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2は、基Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及び／若しくはＲ6を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの１個と、５員若しくは６員環を形成するか；或いは
Ａｒ1及びＡｒ2は、適切であれば、Ｃ1〜Ｃ2アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−又は−（ＣＯ）−と一緒になって縮合環を形成し；
ここで、基Ａｒ1及びＡｒ2の全ては、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5は、Ａｒ1及びＡｒ2で示された意味のうちの１個を有するか、或いは
Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5は、互いに独立して、Ｃ1〜Ｃ12アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ 2 〜Ｃ12アルキル、又はＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、又は場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルであり；
これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ12アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
Ａｒ3及びＡｒ4は、適切であれば、Ｃ1〜Ｃ2アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−と一緒になって縮合環を形成するか；或いは
Ａｒ3及びＡｒ4は、適切であれば、Ｃ1〜Ｃ2アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−と一緒になって、５員、６員又は７員環を形成し；
ここで、基Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5の全ては、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
Ａｒ6は、フェニル、又はナフチル、又はアントラシル、又はフェナントリル、又はヘテロアリールであり、
これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキル、又はＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、フェニル、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換され、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2は、基Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及び／若しくはＲ6を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの１個と、５員若しくは６員環を形成し；
Ｘは、フェニレン、又はナフチレン、又は下記式：
又はジフェニレン、又はオキシジフェニレン、又は下記式：
であり、
これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
Ｘは、下記式：
であり；そして
Ｙは、Ｘで示された意味のうちの１個を有するか、又はＣ1〜Ｃ12アルキレン、又は１個以上のＣ3〜Ｃ30シクロアルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ6（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−若しくは−ＯＳＯ2−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキレンであり、ここでＣ1〜Ｃ12アルキレン及びＣ2〜Ｃ12アルキレンは、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
Ｙは、場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断され、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキレンである〕
で示される少なくとも１種の化合物を含む、化学増幅型フォトレジスト組成物。 - （ａ１）酸の存在下で分解して、アルカリ現像水溶液において溶解度を増加させる酸不安定基を有するポリマーの少なくとも１種；及び／又は
（ａ２）酸の存在下で分解して、アルカリ現像水溶液において溶解度を増加させる酸不安定基を有するモノマー又はオリゴマー溶解抑制剤の少なくとも１種；及び／又は
（ａ３）アルカリ可溶性モノマー、オリゴマー又はポリマー化合物の少なくとも１種；並びに
（ｂ）感光性酸供与体として、式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物の少なくとも１種を含む、
請求項１記載の化学増幅型ポジ型レジスト組成物。 - （ａ４）結合剤としてのアルカリ可溶性樹脂；
（ａ５）酸の触媒作用を受けると、それ自体で、及び／又は結合剤と架橋反応を起こす成分；並びに
（ｂ）感光性酸供与体として、式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物の少なくとも１種を含む、
請求項１記載の化学増幅型ネガ型フォトレジスト組成物。 - 成分（ａ）及び（ｂ）、又は成分（ａ１）、（ａ２）、（ａ３）及び（ｂ）、又は成分（ａ４）、（ａ５）及び（ｂ）に加えて、更なる添加剤（ｃ）、更なる感光性酸供与体化合物（ｂ１）、他の光開始剤（ｄ）及び／又は増感剤（ｅ）を含む、請求項１〜３のいずれか１項記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
- （１）基材に請求項１記載の組成物を塗布し；
（２）６０℃〜１６０℃の温度で組成物を塗布後ベーキングし；
（３）波長１５０nm〜１５００nmの光により像様式に照射し；
（４）場合により、６０℃〜１６０℃の温度で組成物を暴露後ベーキングし；そして
（５）溶媒で、又はアルカリ現像水溶液で現像することによる、フォトレジストの製造方法。 - 式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）：
〔式中、
Ｒ1は、１個以上の−Ｏ−若しくは−（ＣＯ）−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ2〜Ｃ12アルケニル、又はＣ4〜Ｃ8シクロアルケニル、又はＣ6〜Ｃ12ビシクロアルケニルであり、
これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
Ｒ1は、ベンジルであるか；或いは
Ｒ1は、フェニル、又はナフチル、又はアントラシル、又はフェナントリル、又はヘテロアリール基であり、
これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキルで置換されているか、又はＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換され、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2は、基Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及び／若しくはＲ6を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの１個と、５員若しくは６員環を形成し；
ここで、基Ｒ1の全ては、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
Ｒ′1は、Ｃ1〜Ｃ12アルキレン、又は１個以上のＣ3〜Ｃ30シクロアルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ6（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−若しくは−ＯＳＯ2−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキレンであり、場合により基Ｃ1〜Ｃ12アルキレン及びＣ2〜Ｃ12アルキレンは、１個以上のＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
Ｒ′1は、場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断され、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキレンであるか；或いは
Ｒ′1は、フェニレン、ナフチレン、下記式：
ジフェニレン、オキシジフェニレン又は下記式：
であり、これらの基は、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
Ｒ′1は、下記式：
であり；
Ａは、直接結合、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ6（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−又は−ＯＳＯ2−であり；
Ｂは、直接結合、Ｃ1〜Ｃ12アルキレン、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ6（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−若しくは−ＯＳＯ2−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキレンであり、場合により基Ｃ1〜Ｃ12アルキレン及びＣ2〜Ｃ12アルキレンは、１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換され；
Ｒ2は、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルであり；
これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、Ｃ1〜Ｃ4アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−ＮＲ4Ｒ5、Ｃ1〜Ｃ4アルキルチオ、Ｃ2〜Ｃ4アルコキシカルボニル、Ｃ2〜Ｃ4ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ及び／若しくはＣ1〜Ｃ4アルカノイルで置換されているか；或いは
Ｒ2は、水素であり；
Ｒ3は、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ2〜Ｃ18アルカノイル、又はベンゾイル、又はＣ1〜Ｃ18アルキルスルホニルであり、
これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、Ｃ1〜Ｃ4アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−ＮＲ4Ｒ5、Ｃ1〜Ｃ4アルキルチオ、Ｃ2〜Ｃ4アルコキシカルボニル、Ｃ2〜Ｃ4ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ及び／若しくはＣ1〜Ｃ4アルカノイルで置換されているか；或いは
Ｒ3は、水素、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであり；
Ｒ4、Ｒ5及びＲ6は、互いに独立して、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ2〜Ｃ18アルカノイル、又はベンゾイル、又はＣ1〜Ｃ18アルキルスルホニルであり、
これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、Ｃ1〜Ｃ4アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルチオ、Ｃ2〜Ｃ4アルコキシカルボニル、Ｃ2〜Ｃ4ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ及び／若しくはＣ1〜Ｃ4アルカノイルで置換されているか；或いは
Ｒ4、Ｒ5及びＲ6は、互いに独立して、水素、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであるか；或いは
Ｒ4及びＲ5は、それらが結合している窒素原子と一緒になって、場合により−Ｏ−若しくは−ＮＲ6−により中断されている５員、６員又は７員環を形成し；
Ａｒ1及びＡｒ2は、互いに独立して、フェニル、又はナフチル、又はアントラシル、又はフェナントリル、又はヘテロアリールであり、
これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ12アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換され、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2は、基Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及び／若しくはＲ6を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの１個と、５員若しくは６員環を形成するか；或いは
Ａｒ1及びＡｒ2は、適切であれば、Ｃ1〜Ｃ2アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−又は−（ＣＯ）−と一緒になって縮合環を形成し；
ここで、基Ａｒ1及びＡｒ2の全ては、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5は、Ａｒ1及びＡｒ2で示された意味のうちの１個を有するか、或いは
Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5は、互いに独立して、Ｃ1〜Ｃ12アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ 2 〜Ｃ12アルキル、又はＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、又は場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルであり；
これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ12アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
Ａｒ3及びＡｒ4は、適切であれば、Ｃ1〜Ｃ2アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−と一緒になって縮合環を形成するか；或いは
Ａｒ3及びＡｒ4は、適切であれば、Ｃ1〜Ｃ2アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−と一緒になって、５員、６員又は７員環を形成し；
ここで、基Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5の全ては、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
Ａｒ6は、フェニル、又はナフチル、又はアントラシル、又はフェナントリル、又はヘテロアリールであり、
これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキル、又はＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、フェニル、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換され、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2は、基Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及び／若しくはＲ6を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの１個と、５員若しくは６員環を形成し；
Ｘは、フェニレン、又はナフチレン、又は下記式：
又はジフェニレン、又はオキシジフェニレン、又は下記式：
であり、
これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
Ｘは、下記式：
であり；そして
Ｙは、Ｘで示された意味のうちの１個を有するか、又はＣ1〜Ｃ12アルキレン、又は１個以上のＣ3〜Ｃ30シクロアルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ6（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−若しくは−ＯＳＯ2−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキレンであり、ここでＣ1〜Ｃ12アルキレン及びＣ2〜Ｃ12アルキレンは、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
Ｙは、場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断され、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキレンである〕
で示される化合物。 - （ａ）酸の作用で硬化する化合物、又は酸の作用でその溶解度が増加する化合物；及び
（ｂ）感光性酸供与体として、請求項６記載の式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物の少なくとも１種を含む組成物。 - 酸の作用下で架橋しうる組成物における感光性酸供与体としての、及び／又は酸の作用下で溶解度が増加する組成物における溶解向上剤としての、請求項６記載の式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物。
- 表面被覆、印刷インク、印刷版、歯科用組成物、カラーフィルタ、レジスト、又は像記録材料若しくはホログラフ像を記録する像記録材料の製造における感光性酸供与体としての、請求項６記載の式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物。
- カラーフィルタ又は化学増幅型レジストの製造における感光性酸供与体としての、請求項１記載の式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物。
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