JP2004526984A - オニウム塩及びその潜在的酸としての使用 - Google Patents

オニウム塩及びその潜在的酸としての使用 Download PDF

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Abstract

（ａ）酸の作用で硬化する化合物、又は酸の作用でその溶解度が増加する化合物；及び（ｂ）感光性酸供与体として、（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）〔式中、Ｒ1は、例えば、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12アルケニル、Ｃ4〜Ｃ8シクロアルケニル、Ｃ6〜Ｃ12ビシクロアルケニル、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、又はヘテロアリール基であり；これらの全ては、非置換であるか、又は置換されており；場合により幾つかの置換基は、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの１個と、５員若しくは６員環を形成し；Ｒ′1は、例えば、Ｃ1〜Ｃ12アルキレン、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキレン、フェニレン、ナフチレン、ジフェニレン、又はオキシジフェニレンであり、ここでこれらの基は、非置換であるか、又は置換されており；Ａ及びＢは、例えば、直接結合であり；Ａｒ1及びＡｒ2は、互いに独立して、例えば、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、又はヘテロアリールであり、これらの全ては、非置換であるか、又は置換されており；Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5は、例えば、Ａｒ1及びＡｒ2で示された意味のうちの１個を有し、；Ｙは、例えば、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキレン、フェニレン、ナフチレン、ジフェニレン、又はオキシジフェニレンであり、これらの全ては、非置換であるか、又は置換されている〕で示される少なくとも１種の化合物を含む、化学増幅型フォトレジスト組成物。

Description

【技術分野】
【０００１】
本発明は、新規オニウム塩、前記化合物を含む化学増幅型フォトレジスト組成物、及び化学電磁放射線及び電子ビームを用いる照射により活性化されうる潜在的酸（latent acid）としてのその化合物の使用に関する。
【０００２】
ＢＦ4 -、ＰＦ6 -、ＡｓＦ6 -及びＳｂＦ6 -のような非求核性対陰イオンを有するジアリールヨードニウム塩及びトリアリールスルホニウム塩は、例えば、J. V. CrivelloによりAdvances in Polymer Science 62, 1-48, (1984)に記載されているように、陽イオン重合の適切な光開始剤としてよく知られている。化学増幅型フォトレジストのためのそのようなオニウム塩の使用は、ＥＰ１０２４５０及びPolym.Eng. Sci., 23, 1012 (1983)に記載されている。ＥＰ２４９１３９、Derwent ９０−０７１９３３／１０（ＪＰ−Ａ−２−２５８５０）、Derwent９０−２２１３３７／２９（ＪＰ−Ａ−２−１５０８４８）、ＥＰ５４２５２３及びDerwent ９３−３２３２２４／４１（ＪＰ−Ａ−５−２３２７０５）において、対陰イオンとしてトリフルオロメタンスルホナートを有するヨードニウム及びスルホニウム塩が記載されている。DerwentＮｏ．９０−０７１９３３／１０（ＪＰ−Ａ−２−２５８５０）、Derwent ９０−２２１３３７／２９（ＪＰ−Ａ−２−１５０８４８）、Derwent ９４−０９５２５５／１２（ＪＰ−Ａ−６−４３６５３）及びDerwent９６−３２３５７９／３３（ＪＰ−Ａ−６−１２３９７２）において、対陰イオンとしてトルエンスルホナートを有するヨードニウム及びスルホニウム塩が記載されている。Derwent９４−２６９４０５／３３（ＪＰ−Ａ−６−１９９７７０）及びDerwent ９６−１３６２５６／１４（ＪＰ−Ａ−８−２７０９４）において、ドデシルベンゼンスルホナート、ドデシルスルファート及びペルフルオロオクチルスルホナート陰イオンを有するヨードニウム及びスルホニウム塩が記載されている。
【０００３】
当該技術において、熱的及び化学的に安定であり、光、ＵＶ線、Ｘ線照射又は電子ビームにより活性化した後、種々の酸触媒反応、例えば、重縮合反応、酸触媒解重合反応、酸触媒求電子置換反応又は保護基の酸触媒除去に触媒として使用できる、反応性潜在的酸供与体の必要性が存在する。特に、化学増幅型フォトレジストの分野においては、高い安定性及び良好な溶解度を有し、強酸を生産する潜在的酸触媒への要求が存在する。
【０００４】
驚くべきことに、下記の特定のオニウム塩が、通常のレジスト溶媒に良好に溶解し、上記の酸触媒反応の触媒として特に適していることが、今や見出された。更に、本発明のオニウム塩を含む化学増幅型フォトレジスト組成物は、加工中の高いベーキング温度に対しても熱的に安定であり、高い写真速度を提供する。
【０００５】
したがって、本発明は、
（ａ）酸の作用で硬化する化合物、又は酸の作用でその溶解度が増加する化合物；及び
（ｂ）感光性酸供与体として、（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）：
【０００６】
【化１７】
【０００７】
〔式中、
Ｒ1は、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−若しくは（ＣＯ）−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、又はＣ2〜Ｃ12アルケニル、又はＣ4〜Ｃ8シクロアルケニル、又はＣ6〜Ｃ12ビシクロアルケニルであり、
これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
Ｒ1は、フェニル、又はナフチル、又はアントラシル、又はフェナントリル、又はヘテロアリール基であり、
これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキルで置換されているか、又はＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換され、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2は、基Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及び／若しくはＲ6を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの１個と、５員若しくは６員環を形成し；
ここで、基Ｒ1の全ては、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
Ｒ′1は、Ｃ1〜Ｃ12アルキレン、又は１個以上のＣ3〜Ｃ30シクロアルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ6（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−若しくは−ＯＳＯ2−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキレンであり、場合により基Ｃ1〜Ｃ12アルキレン及びＣ2〜Ｃ12アルキレンは、１個以上のＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
Ｒ′1は、場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断され、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキレンであるか；或いは
Ｒ′1は、フェニレン、ナフチレン、下記式：
【０００８】
【化１８】
【０００９】
ジフェニレン、オキシジフェニレン又は下記式：
【００１０】
【化１９】
【００１１】
であり、これらの基は、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
Ｒ′1は、下記式：
【００１２】
【化２０】
【００１３】
であり；
Ａは、直接結合、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ6（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−又は−ＯＳＯ2−であり；
Ｂは、直接結合、Ｃ1〜Ｃ12アルキレン、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ6（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−若しくは−ＯＳＯ2−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキレンであり、場合により基Ｃ1〜Ｃ12アルキレン及びＣ2〜Ｃ12アルキレンは、１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換され；
Ｒ2は、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルであり；
これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、Ｃ1〜Ｃ4アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−ＮＲ4Ｒ5、Ｃ1〜Ｃ4アルキルチオ、Ｃ2〜Ｃ4アルコキシカルボニル、Ｃ2〜Ｃ4ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ及び／若しくはＣ1〜Ｃ4アルカノイルで置換されているか；或いは
Ｒ2は、水素であり；
Ｒ3は、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ2〜Ｃ18アルカノイル、又はベンゾイル、又はＣ1〜Ｃ18アルキルスルホニルであり、
これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、Ｃ1〜Ｃ4アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−ＮＲ4Ｒ5、Ｃ1〜Ｃ4アルキルチオ、Ｃ2〜Ｃ4アルコキシカルボニル、Ｃ2〜Ｃ4ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ及び／若しくはＣ1〜Ｃ4アルカノイルで置換されているか；或いは
Ｒ3は、水素、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであり；
Ｒ4、Ｒ5及びＲ6は、互いに独立して、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ2〜Ｃ18アルカノイル、又はベンゾイル、又はＣ1〜Ｃ18アルキルスルホニルであり、
これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、Ｃ1〜Ｃ4アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルチオ、Ｃ2〜Ｃ4アルコキシカルボニル、Ｃ2〜Ｃ4ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ及び／若しくはＣ1〜Ｃ4アルカノイルで置換されているか；或いは
Ｒ4、Ｒ5及びＲ6は、互いに独立して、水素、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであるか；或いは
Ｒ4及びＲ5は、それらが結合している窒素原子と一緒になって、場合により−Ｏ−若しくは−ＮＲ6−により中断されている５員、６員又は７員環を形成し；
Ａｒ1及びＡｒ2は、互いに独立して、フェニル、又はナフチル、又はアントラシル、又はフェナントリル、又はヘテロアリールであり、
これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ12アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換され、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2は、基Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及び／若しくはＲ6を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの１個と、５員若しくは６員環を形成するか；或いは
Ａｒ1及びＡｒ2は、適切であれば、Ｃ1〜Ｃ2アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−又は−（ＣＯ）−と一緒になって縮合環を形成し；
ここで、基Ａｒ1及びＡｒ2の全ては、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5は、Ａｒ1及びＡｒ2で示された意味のうちの１個を有するか、或いは
Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5は、互いに独立して、Ｃ1〜Ｃ12アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ1〜Ｃ12アルキル、又はＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、又は場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルであり；
これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ12アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
Ａｒ3及びＡｒ4は、適切であれば、Ｃ1〜Ｃ2アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−と一緒になって縮合環を形成するか；或いは
Ａｒ3及びＡｒ4は、適切であれば、Ｃ1〜Ｃ2アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−と一緒になって、５員、６員又は７員環を形成し；
ここで、基Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5の全ては、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
Ａｒ6は、フェニル、又はナフチル、又はアントラシル、又はフェナントリル、又はヘテロアリールであり、
これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキル、又はＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、フェニル、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換され、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2は、基Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及び／若しくはＲ6を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの１個と、５員若しくは６員環を形成し；
Ｘは、フェニレン、又はナフチレン、又は下記式：
【００１４】
【化２１】
【００１５】
又はジフェニレン、又はオキシジフェニレン、又は下記式：
【００１６】
【化２２】
【００１７】
であり；
これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
Ｘは、下記式：
【００１８】
【化２３】
【００１９】
であり；そして
Ｙは、Ｘで示された意味のうちの１個を有するか、又はＣ1〜Ｃ12アルキレン、又は１個以上のＣ3〜Ｃ30シクロアルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ6（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−若しくは−ＯＳＯ2−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキレンであり、ここでＣ1〜Ｃ12アルキレン及びＣ2〜Ｃ12アルキレンは、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
Ｙは、場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断され、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキレンである〕で示される化合物の少なくとも１種を含む、化学増幅型フォトレジスト組成物に関する。
【００２０】
Ｃ1〜Ｃ12アルキルは、直鎖状又は分岐鎖状であり、例えば、Ｃ1〜Ｃ8−又はＣ1〜Ｃ5アルキルである。例は、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、sec−ブチル、イソブチル、tert−ブチル、ペンチル、ヘキシル、ヘプチル、２，４，４−トリメチルペンチル、２−エチルヘキシル、オクチル、ノニル、デシル、ウンデシル及びドデシルであり、好ましくは、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、例えばメチル、イソプロピル又はブチルである。
【００２１】
−Ｏ−により１回又は数回中断されているＣ2〜Ｃ12アルキルは、非連続の−Ｏ−により、例えば、１〜５回、例えば、１〜３回又は１若しくは２回中断されている。したがって、得られる構造単位は、例えば、−Ｏ（ＣＨ2）2ＯＨ、−Ｏ（ＣＨ2）2ＯＣＨ3、−Ｏ（ＣＨ2ＣＨ2Ｏ）2ＣＨ2ＣＨ3、−ＣＨ2−Ｏ−ＣＨ3、−ＣＨ2ＣＨ2−Ｏ−ＣＨ2ＣＨ3、−〔ＣＨ2ＣＨ2Ｏ〕y−ＣＨ3（ここで、ｙ＝１〜５）、−（ＣＨ2ＣＨ2Ｏ）5ＣＨ2ＣＨ3、−ＣＨ2−ＣＨ（ＣＨ3）−Ｏ−ＣＨ2−ＣＨ2ＣＨ3又は−ＣＨ2−ＣＨ（ＣＨ3）−Ｏ−ＣＨ2−ＣＨ3である。
【００２２】
Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキルは、単又は多環式脂肪族環、例えば、単、二又は三環式脂肪族環であり、例としては、Ｃ3〜Ｃ20−、Ｃ3〜Ｃ18−、Ｃ3〜Ｃ12−、Ｃ3〜Ｃ10シクロアルキルである。単環式環の例は、シクロプロピル、シクロブチル、シクロペンチル、シクロヘキシル又はシクロヘプチルであり、特にシクロペンチル及びシクロヘキシルである。多環式環の例は、ペルヒドロアントラシル、ペルヒドロフェナントリル、ペルヒドロナフチル、ペルヒドロフルオレニル、ペルヒドロクリセニル、ペルヒドロピセニル、アダマンチル、ビシクロ〔１．１．１〕ペンチル、ビシクロ〔４．２．２〕デシル、ビシクロ〔２．２．２〕オクチル、ビシクロ〔３．３．２〕デシル、ビシクロ〔４．３．２〕ウンデシル、ビシクロ〔４．３．３〕ドデシル、ビシクロ〔３．３．３〕ウンデシル、ビシクロ〔４．３．１〕デシル、ビシクロ〔４．２．１〕ノニル、ビシクロ〔３．３．１〕ノニル、ビシクロ〔３．２．１〕オクチル等である。また、「スピロ」シクロアルキル化合物は、本明細書のおける定義Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキルにより網羅され、例えば、スピロ〔５．２〕オクチル、スピロ〔５．４〕デシル、スピロ〔５．５〕ウンデシルである。本発明の化合物それぞれの定義の対象となる多環式シクロアルキル基の更なる例は、ＥＰ８７８７３８、第１１及び１２頁に示され、ここでは、式（１）〜（４６）について、「ｙｌ」を達成するために結合を加えなければならない。当業者はこの事実を認識している。一般的に、脂環式環は、反復構造単位を形成することができる。
【００２３】
１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−、−ＳＣＯ−、−ＮＲ6ＣＯ−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−、−ＯＳＯ2−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルは、１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−、−ＳＣＯ−、−ＮＲ6ＣＯ−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−、−ＯＳＯ2−により中断されている単又は多環式脂肪族環であり、例えば下記である。
【００２４】
【化２４】
【００２５】
Ｃ2〜Ｃ12アルケニル基は、単又は多不飽和、直鎖状又は分岐鎖状であってよく、例えば、Ｃ2〜Ｃ8−、Ｃ2〜Ｃ6−又はＣ2〜Ｃ4アルケニルである。例は、アリル、メタリル、ビニル、１，１−ジメチルアリル、１−ブテニル、３−ブテニル、２−ブテニル、１，３−ペンタジエニル、５−ヘキセニル又は７−オクテニルであり、特にアリル又はビニルである。
【００２６】
Ｃ4〜Ｃ8シクロアルケニルは、１個以上の二重結合を有することができ、例えば、Ｃ4〜Ｃ6シクロアルケニル又はＣ6〜Ｃ8シクロアルケニルである。例は、シクロブテニル、シクロペンテニル、シクロヘキセニル又はシクロオクテニルであり、特にシクロペンテニル及びシクロヘキセニルであり、好ましくはシクロヘキセニルである。
【００２７】
Ｃ6〜Ｃ12ビシクロアルケニルは、１個以上の二重結合を有することができ、二重結合が同じ環に位置するか、又は両方の環に位置してもよい二環式アルケニル基のことをいう。二環に数個の二重結合が存在する場合、二重結合は、共役又は非共役であり、好ましくは二重結合は共役である。例は、ビシクロ〔４．２．４〕ドデカ−３，７−ジエン−５−イル、ビシクロ〔４．２．４〕ドデカ−３−エン−５−イル、ビシクロ〔４．２．４〕ドデカ−４−エン−６−イル、ビシクロ〔４．２．３〕−ノナ−３−エン−５−イル、ビシクロ〔４．２．３〕−ノナ−４−エン−６−イル、ビシクロ〔４．２．３〕−ノナ−７−エン−８−イル、ビシクロ〔４．２．３〕−ノナ−８−エン−７−イルであり、例は下記の番号付けを参照している。
【００２８】
【化２５】
【００２９】
Ｃ2〜Ｃ12アルキレンは、直鎖状又は分岐鎖状であり、例えば、Ｃ2〜Ｃ8−、Ｃ2〜Ｃ6−又はＣ2〜Ｃ4アルキレンである。例は、エチレン、プロピレン、ブチレン、ペンチレン、ヘキシレン、へプチレン、オクチレン、ノニレン、デシレン、ウンデシレン及びドデシレンである。好ましくは、Ｃ1〜Ｃ8アルキレン、特にＣ1〜Ｃ6アルキレン、好ましくはＣ1〜Ｃ4アルキレンであり、例えば、メチレン又はブチレンである。
【００３０】
置換フェニルは、１〜５個、例えば、１、２又は３個、特に１又は２個の置換基をフェニル環に有する。置換は、好ましくはフェニル環の４−、３，４−、３，５−又は３，４，５位においてである。
【００３１】
基ナフチル、フェナントリル、ヘテロアリール及びアントラシルが１個以上の基で置換されている場合、これらは、例えばモノ〜ペンタ置換、例えばモノ、ジ、又はトリ置換、特にモノ又はジ置換されている。
【００３２】
Ｒ1が、ＯＲ3、ＮＲ4Ｒ5及び／又はＳＲ6で置換されているフェニル基であり、置換基ＯＲ3、ＮＲ4Ｒ5及び／又はＳＲ6が、基Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及び／若しくはＲ6を介して、フェニル環の更なる置換基と、又はフェニル環の炭素原子のうちの１個と５員若しくは６員環を形成する場合、例えば下記の構造単位が得られる。
【００３３】
【化２６】
【００３４】
本出願において、用語「ヘテロアリール」は、非置換の基及び置換されている基を意味し、例えば、３−チエニル、２−チエニル、下記式：
【００３５】
【化２７】
【００３６】
（式中、Ｒ4及びＲ5は、上記と同義である）の基、チアントレニル、イソベンゾフラニル、キサンテニル、フェノキサンチイニル、下記式：
【００３７】
【化２８】
【００３８】
（式中、Ｙは、Ｓ、Ｏ又はＮＲ6であり、そしてＲ6は、上記と同義である）の基である。その例は、ピラゾリル、チアゾリル、オキサゾリル、イソチアゾリル又はイソキサゾリルである。また含まれるものは、例えば、フリル、ピロリル、１，２，４−トリアゾリル、下記式：
【００３９】
【化２９】
【００４０】
の基又は縮合芳香族基を有する５員環複素環であり、例えば、ベンゾイミダゾリル、ベンゾチエニル、ベンゾフラニル、ベンゾオキサゾリル及びベンゾチアゾリルである。
【００４１】
「ヘテロアリール」の他の例は、ピリジル、特に３−ピリジル、下記式：
【００４２】
【化３０】
【００４３】
（式中、Ｒ3は、上記と同義である）の基、ピリミジニル、ピラジニル、１，３，５−トリアジニル、２，４−、２，２−若しくは２，３−ジアジニル、インドリジニル、イソインドリル、インドリル、インダゾリル、プリニル、イソキノリル、キノリル、フェノキサジニル又はフェナジニルである。本出願において、用語「ヘテロアリール」は、また、基チオキサンチル、キサンチル、下記式：
【００４４】
【化３１】
【００４５】
（式中、ｍは、０又は１であり、そしてＲ3、Ｒ4、Ｒ5は、上記と同義である）、下記式：
【００４６】
【化３２】
【００４７】
又はアントラキノニルを意味する。ヘテロアリールは、それぞれ上記又は請求項１で定義された置換基を有していてもよい。
【００４８】
Ｃ1〜Ｃ4アルカノイルは、例えば、ホルミル、アセチル、プロピオニル又はブタノイルであり、特にアセチルである。
【００４９】
Ｃ1〜Ｃ4アルコキシは、例えば、メトキシ、エトキシ、プロポキシ及びブトキシであり、２個を超える炭素原子を有するアルコキシ基のアルキル基が、分岐鎖状であることも可能である。
【００５０】
Ｃ1〜Ｃ4アルキルチオは、例えば、メチルチオ、エチルチオ、プロピルチオ及びブチルチオであり、２個を超える炭素原子を有するアルキルチオ基のアルキル基が、分岐鎖状であることも可能である。
【００５１】
Ｃ2〜Ｃ4アルコキシカルボニルは、（Ｃ1〜Ｃ3アルキル）−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−であり、ここでＣ1〜Ｃ3アルキルは、適切な数までの炭素原子をもつ上記で定義されたものである。例は、メトキシカルボニル、エトキシカルボニル又はプロポキシカルボニルであり、２個を超える炭素原子を有するアルコキシ基のアルキル基が、分岐鎖状であることも可能である。
【００５２】
Ｃ1〜Ｃ4ハロアルキルは、ハロゲンでモノ−又はポリ置換されているＣ1〜Ｃ4アルキルであり、Ｃ1〜Ｃ4アルキルは、例えば、上記で定義されたものである。例えば、１〜３個又は１若しくは２個のハロゲン置換基がアルキル基に存在する。例は、クロロメチル、トリクロロメチル、トリフルオロメチル又は２−ブロモプロピルであり、特にトリフルオロメチル又はトリクロロメチルである。
【００５３】
Ｃ2〜Ｃ4ハロアルカノイルは、（Ｃ1−Ｃ3ハロアルキル）−Ｃ（Ｏ）−であり、ここでＣ1−Ｃ3ハロアルキルは、適切な数までの炭素原子をもつ上記で定義されたものである。例は、クロロアセチル、トリクロロアセチル、トリフルオロアセチル、ペンタフルオロプロピオニル又は２−ブロモプロピオニルであり、特にトリフルオロアセチル又はトリクロロアセチルである。
【００５４】
ハロベンゾイルは、ハロゲン及び／若しくはＣ1〜Ｃ5ハロアルキルでモノ−又はポリ置換されているベンゾイルであり、Ｃ1〜Ｃ4ハロアルキルは上記で定義されたものである。例は、ペンタフルオロベンゾイル、トリクロロベンゾイル、トリフルオロメチルベンゾイルであり、特にペンタフルオロベンゾイルである。
【００５５】
ハロゲンは、フッ素、塩素、臭素又はヨウ素であり、特に塩素又はフッ素であり、好ましくはフッ素である。 オキシジフェニレンは、下記式：
【００５６】
【化３３】
【００５７】
の基である。
【００５８】
Ｒ4及びＲ5が、それらが結合している窒素原子と一緒になって、−Ｏ−により又は−ＮＲ6−により中断されていてよい５員、６員若しくは７員環を形成する場合、例えば下記の構造が得られる。
【００５９】
【化３４】
【００６０】
定義Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニルは、スルホニル基（−ＳＯ2−）に結合している、上記で詳細に記載されている対応する基Ｃ1〜Ｃ4アルキル、フェニル及び４−メチルフェニルをいう。
【００６１】
定義Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシは、スルホニルオキシ基：
【００６２】
【化３５】
【００６３】
に結合している、上記で詳細に記載されている対応する基Ｃ1〜Ｃ4アルキル、フェニル及び４−メチルフェニル（Ｒ）をいう。
【００６４】
酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有し、基Ｒ1の置換基である基は、酸と反応した後、アルカリ現像液において式（Ｉａ）、（IIａ）、（Ｉｂ）、（IIｂ）、（Ｉｃ）又は（IIｃ）の化合物の溶解度を増加させる酸開裂基である。この効果は、例えば、ＵＳ４８８３７４０に記載されている。基Ｒ1の置換基として適切な基の例は、例えば、既知のオルトエステル、トリチル及びベンジル基、カルボン酸のtert−ブチルエステル、フェノールのtert−ブチルカルボナート又はフェノールのシリルエーテルであり、例えば、−ＯＳｉ（ＣＨ3）3、下記式：
【００６５】
【化３６】
【００６６】
（式中、Ｒ7及びＲ8は、互いに独立して、水素、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ3〜Ｃ8シクロアルキル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3アルキルであるか、又はＲ7及びＲ8は、一緒になってＣ2〜Ｃ5アルキレンであり、そしてＲ9は、非置換若しくはハロゲンで置換されているＣ3〜Ｃ8アルキル、非置換若しくはハロゲンで置換されているＣ3〜Ｃ8シクロアルキル、又はフェニル−Ｃ1〜Ｃ3アルキルであるか、或いはＲ7及びＲ8が一緒になってＣ2〜Ｃ5アルキレンではない場合、Ｒ9及びＲ8は、一緒になって、−Ｏ−原子又は−Ｓ−原子により中断されていてよいＣ2〜Ｃ5アルキレンであることができる）の基である。
【００６７】
請求項における用語「及び／又は」或いは「又は／及び」は、定義された代替物（置換基）のうちの１個が存在することができるばかりでなく、定義された代替物（置換基）の数個が一緒に、すなわち異なる代替物（置換基）の混合物も存在してもよいことを表すことを意味する。
【００６８】
用語「少なくとも」は、１個又は１個より多く、例えば、１又は２若しくは３個、好ましくは１又は２個を定義することを意味する。用語「場合により」は、「…も可能である」という意味において使用される。
【００６９】
式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）及び（IIｃ）のほとんどの化合物は新規である。したがって本発明は、また、式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）及び（IIｃ）：
【００７０】
【化３７】
【００７１】
〔式中、
Ｒ1は、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−若しくは（ＣＯ）−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、又はＣ2〜Ｃ12アルケニル、又はＣ4〜Ｃ8シクロアルケニル、又はＣ6〜Ｃ12ビシクロアルケニルであり、
これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
Ｒ1は、フェニル、又はナフチル、又はアントラシル、又はフェナントリル、又はヘテロアリール基であり、
これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキルで置換されているか、又はＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換され、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2は、基Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及び／若しくはＲ6を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの１個と、５員若しくは６員環を形成し；
ここで、基Ｒ1の全ては、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
Ｒ′1は、Ｃ1〜Ｃ12アルキレン、又は１個以上のＣ3〜Ｃ30シクロアルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ6（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−若しくは−ＯＳＯ2−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキレンであり、場合により基Ｃ1〜Ｃ12アルキレン及びＣ2〜Ｃ12アルキレンは、１個以上のＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
Ｒ′1は、場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断され、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキレンであるか；或いは
Ｒ′1は、フェニレン、ナフチレン、下記式：
【００７２】
【化３８】
【００７３】
ジフェニレン、オキシジフェニレン又は下記式：
【００７４】
【化３９】
【００７５】
であり、これらの基は、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
Ｒ′1は、下記式：
【００７６】
【化４０】
【００７７】
であり；
Ａは、直接結合、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ6（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−又は−ＯＳＯ2−であり；
Ｂは、直接結合、Ｃ1〜Ｃ12アルキレン、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ6（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−若しくは−ＯＳＯ2−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキレンであり、場合により基Ｃ1〜Ｃ12アルキレン及びＣ2〜Ｃ12アルキレンは、１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換され；
Ｒ2は、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルであり；
これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、Ｃ1〜Ｃ4アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−ＮＲ4Ｒ5、Ｃ1〜Ｃ4アルキルチオ、Ｃ2〜Ｃ4アルコキシカルボニル、Ｃ2〜Ｃ4ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ及び／若しくはＣ1〜Ｃ4アルカノイルで置換されているか；或いは
Ｒ2は、水素であり；
Ｒ3は、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ2〜Ｃ18アルカノイル、又はベンゾイル、又はＣ1〜Ｃ18アルキルスルホニルであり、
これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、Ｃ1〜Ｃ4アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−ＮＲ4Ｒ5、Ｃ1〜Ｃ4アルキルチオ、Ｃ2〜Ｃ4アルコキシカルボニル、Ｃ2〜Ｃ4ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ及び／若しくはＣ1〜Ｃ4アルカノイルで置換されているか；或いは
Ｒ3は、水素、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであり；
Ｒ4、Ｒ5及びＲ6は、互いに独立して、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ2〜Ｃ18アルカノイル、又はベンゾイル、又はＣ1〜Ｃ18アルキルスルホニルであり、
これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、Ｃ1〜Ｃ4アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルチオ、Ｃ2〜Ｃ4アルコキシカルボニル、Ｃ2〜Ｃ4ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ及び／若しくはＣ1〜Ｃ4アルカノイルで置換されているか；或いは
Ｒ4、Ｒ5及びＲ6は、互いに独立して、水素、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであるか；或いは
Ｒ4及びＲ5は、それらが結合している窒素原子と一緒になって、場合により−Ｏ−若しくは−ＮＲ6−により中断されている５員、６員又は７員環を形成し；
Ａｒ1及びＡｒ2は、互いに独立して、フェニル、又はナフチル、又はアントラシル、又はフェナントリル、又はヘテロアリールであり、
これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ12アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換され、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2は、基Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及び／若しくはＲ6を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの１個と、５員若しくは６員環を形成するか；或いは
Ａｒ1及びＡｒ2は、適切であれば、Ｃ1〜Ｃ2アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−又は−（ＣＯ）−と一緒になって縮合環を形成し；
ここで、基Ａｒ1及びＡｒ2の全ては、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5は、Ａｒ1及びＡｒ2で示された意味のうちの１個を有するか、或いは
Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5は、互いに独立して、Ｃ1〜Ｃ12アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ1〜Ｃ12アルキル、又はＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、又は場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルであり；
これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ12アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
Ａｒ3及びＡｒ4は、適切であれば、Ｃ1〜Ｃ2アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−と一緒になって縮合環を形成するか；或いは
Ａｒ3及びＡｒ4は、適切であれば、Ｃ1〜Ｃ2アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−と一緒になって、５員、６員又は７員環を形成し；
ここで、基Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5の全ては、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
Ａｒ6は、フェニル、又はナフチル、又はアントラシル、又はフェナントリル、又はヘテロアリールであり、
これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキル、又はＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、フェニル、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換され、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2は、基Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及び／若しくはＲ6を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの１個と、５員若しくは６員環を形成し；
Ｘは、フェニレン、又はナフチレン、又は下記式：
【００７８】
【化４１】
【００７９】
又はジフェニレン、又はオキシジフェニレン、又は下記式：
【００８０】
【化４２】
【００８１】
であり；
これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
Ｘは、下記式：
【００８２】
【化４３】
【００８３】
であり；そして
Ｙは、Ｘで示された意味のうちの１個を有するか、又はＣ1〜Ｃ12アルキレン、又は１個以上のＣ3〜Ｃ30シクロアルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ6（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−若しくは−ＯＳＯ2−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキレンであり、ここでＣ1〜Ｃ12アルキレン及びＣ2〜Ｃ12アルキレンは、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
Ｙは、場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断され、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキレンであり；
但し、
（ｉ）少なくとも１個のＡｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5がメチルの場合、Ｒ1はメチルではなく、そして
（ｉｉ）少なくとも１個のＡｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5がエチルの場合、Ｒ1はエチルではない〕で示される新規化合物に関する。
【００８４】
オニウム硫酸塩〔式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）及び（IIｃ）〕は、一般的に、例えば所望のオニウム（ヨードニウム及びスルホニウム）の塩化物、臭化物、ヨウ化物、ハイドロジェンスルファート、テトラフルオロボラート、トシラート又はメタンスルホナートと、陽イオンとしてアンモニウム、テトラメチルアンモニウム、ナトリウム、リチウムカリウム、又は銀を有する所望の硫酸塩とのイオン交換反応により製造することができる。
【００８５】
【化４４】
【００８６】
Ｒ1、Ａｒ1及びＡｒ2は、上記と同義である。
こられの反応は、通常、不活性溶媒、例えば、水、メタノール、エタノール、塩化メチレン、アセトン、メチルエチルケトン、クロロホルム、クロロベンゼン、tert−ブチルメチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、酢酸エチル、ヘキサン、トルエン、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）、ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）又はそのような溶媒の混合物中で実施される。溶媒、例えば水と塩化メチレンの組み合わせは、２相系となる。そのような２相系は、イオン交換反応にも適している。これらの反応は当業者に周知であり、一般的に、０〜１２０℃、好ましくは２０〜８０℃の範囲の温度で実施される。
【００８７】
出発物質として必要なオニウム塩は、例えば、J. V. CrivelloによりAdvancesin Polymer Science 62, 1-48, (1984)に記載されている種々の方法により得ることができる。例えば、所望のヨードニウム塩は、２種のアリール化合物を硫酸中、硫酸ヨージルとカップリングさせる、２種のアリール化合物を酢酸／無水酢酸／硫酸中、ヨウ素酸塩とカップリングさせる、２種のアリール化合物を酸の存在下、アシル化ヨウ素（III）とカップリングさせる、アリールヨードソジアセタート又はアリールヨードキシ化合物を、酸の存在下、他のアリール化合物と縮合させることにより製造できる。他の例は、ＪＰ−Ａ−５９−１６３３３０で記載されているように、ヨードアリール化合物をペルオキソジスルファート／硫酸中、他のアリール化合物と縮合させることである。所望のスルホニウム塩は、例えば、アリール化合物を塩素及びルイス酸の存在下、一塩化硫黄と反応させるか、アリールグリニャール試薬をジアリールスルホキシドと反応させるか、ジアリールスルホキシドを酸の存在下、アリール化合物と縮合させるか、又はジアリールスルフィドを銅（II）塩の存在下、ジアリールヨードニウム塩と反応させることにより製造できる。
【００８８】
出発物質として必要な硫酸塩は、標準的な化学の教科書（例えば、ComprehensiveOrganic Chemistry, Vol. 3, Pergamon, 1979）に記載されている種々の方法、例えば、アルケン及びアルコールの硫酸化により得ることができる。硫酸、三塩化硫黄及びそのアミンとエーテル付加物、クロロ硫酸、並びにスルファミン酸が通例の硫酸化試薬である。最も都合の良い方法の一つは、例えば、アルコールを、ＤＭＦ、ＴＨＦ、塩化メチレン、アセトン、メチルエチルケトン、クロロホルム、クロロベンゼン、tert−ブチルメチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、酢酸エチル、ヘキサン、トルエンのような不活性溶媒又はそのような溶媒の混合物中、三塩化硫黄／アミン錯体と反応させることである。これらの反応は、一般的に、０〜１２０℃、好ましくは２０〜８０℃の範囲の温度で実施される。
【００８９】
興味深いものは、式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）及び（IIｃ）
〔式中、
Ａｒ1及びＡｒ2は、互いに独立して、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ12アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているフェニルであり、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2は、基Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及び／若しくはＲ6を介して、フェニル環の更なる置換基と、又はフェニル環の炭素原子のうちの１個と、５員若しくは６員環を形成し；
ここで、基Ａｒ1及びＡｒ2の全ては、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
Ａｒ3 、Ａｒ4及びＡｒ5は、互いに独立して、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ12アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているフェニルであり、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2は、基Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及び／若しくはＲ6を介して、フェニル環の更なる置換基と、又はフェニル環の炭素原子のうちの１個と、５員若しくは６員環を形成し；
ここで、基Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5の全ては、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
Ｘ及びＹは、互いに独立して、フェニレン、下記式：
【００９０】
【化４５】
【００９１】
ジフェニレン、オキシジフェニレン又は下記式：
【００９２】
【化４６】
【００９３】
であり、これらの基は、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換され；そして
他の全ての基は、上記と同義である〕で示される化合物である。
【００９４】
興味深いものは、更に、式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）及び（IIｃ）
〔式中
Ｒ1は、非置換であるか、又は場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ8シクロアルキルの１個以上で置換されているか、又はハロゲン、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3及び／若しくは−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2で置換されているＣ1〜Ｃ5アルキルであるか；或いは
Ｒ1は、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているフェニルであり、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯ2Ｒ2及び／又は−ＯＳＯ2Ｒ2は、基Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及び／若しくはＲ6を介して、フェニル環の更なる置換基と、又はフェニル環の炭素原子のうちの１個と、５員若しくは６員環を形成するか；或いは
Ｒ1は、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、ハロゲン及び／若しくは−ＯＲ3で置換されているナフチルであり；
ここで、基Ｒ1の全ては、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
Ｒ′1は、Ｃ1〜Ｃ12アルキレン、又は１個以上のＣ3〜Ｃ30シクロアルキレン、−Ｏ−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキレンであるか；或いは
Ｒ′1は、場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｏ（ＣＯ）−又は−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキレンであるか；或いは
Ｒ′1は、フェニレン、ナフチレンであり；
Ｒ2は、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキルであり、
これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、Ｃ1〜Ｃ4アルコキシ及び／若しくはフェノキシで置換され；
Ｒ3は、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ2〜Ｃ18アルカノイル、又はベンゾイル、又はＣ1〜Ｃ18アルキルスルホニルであり；
これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン及び／若しくはＣ1〜Ｃ4アルコキシで置換されているか；或いは
Ｒ3は、水素、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル又はナフチルスルホニルであり；
Ｒ4、Ｒ5及びＲ6は、互いに独立して、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ2〜Ｃ18アルカノイル、又はベンゾイル、又はＣ1〜Ｃ18アルキルスルホニルであり、
これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン及び／若しくはＣ1〜Ｃ4アルコキシで置換されているか；或いは
Ｒ4及びＲ5は、互いに独立して、水素、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル又はナフチルスルホニルであるか；或いは
Ｒ4及びＲ5は、それらが結合している窒素原子と一緒になって、場合により−Ｏ−若しくは−ＮＲ6−により中断されている５員、６員又は７員環を形成し；
Ａｒ1、Ａｒ2、Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5は、互いに独立して、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ12アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＯＲ3及び／若しくは−ＳＲ6で置換されているフェニルであり；
ここで、基Ａｒ1、Ａｒ2、Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5の全ては、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
Ａｒ6は、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ12アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＯＲ3及び／若しくは−ＳＲ6で置換されているフェニルであり；そして
Ｘ及びＹは、互いに独立して、フェニレン、下記式：
【００９５】
【化４７】
【００９６】
ジフェニレン、オキシジフェニレン又は下記式：
【００９７】
【化４８】
【００９８】
である〕で示される化合物それ自体、並びに式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）及び（IIｃ）の化合物を含む組成物である。
【００９９】
好ましくは、
Ｒ1が、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキルであり、これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、又は場合により１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルで置換されているか；或いは
Ｒ1が、非置換であるか、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、ハロゲン、−（ＣＯ）Ｒ2若しくは−ＯＲ3で置換されているフェニル若しくはナフチルであり；
Ｒ′1が、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキレン又はフェニレンであり；
Ｒ2が、フェニル、Ｃ1〜Ｃ5アルキル又は水素であり；
Ｒ3が、Ｃ1〜Ｃ5アルキルであり；
Ａｒ1及びＡｒ2が、互いに独立して、非置換であるか、又はＣ1〜Ｃ12アルキルで置換されているフェニルであり；
Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5が、Ａｒ1及びＡｒ2で示された意味のうちの１個を有し；そして
Ａｒ6が、フェニル、ナフチル、アントラシル又はヘテロアリールであり、これらの全ては、非置換であるか、又はＮＯ2、Ｃ1〜Ｃ5アルキル若しくは１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキルで置換されている、式（Ｉａ）、（Ｉｃ）又は（IIａ）の化合物である。
【０１００】
興味深いものは、また、
Ｒ1が、非置換であるか、若しくは−Ａｒ6で置換されているＣ1〜Ｃ5アルキル、又は−（ＣＯ）−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキルであるか；或いは
Ｒ1が、非置換であるか、又はＣ1〜Ｃ5アルキル若しくはハロゲンで置換されているフェニルであり；
Ｒ′1が、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキレン又はフェニレンであり；
Ａｒ1及びＡｒ2が、互いに独立して、非置換であるか、又はＣ1〜Ｃ12アルキルで置換されているフェニルであり；そして
Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5が、Ａｒ1及びＡｒ2で示された意味のうちの１個を有する、式（Ｉａ）、（Ｉｃ）及び（IIａ）の化合物である。
【０１０１】
式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物は、光硬化性組成物において感光性酸供与体として使用することができる。したがって、本発明の主題は、また、
（ａ）酸の作用で硬化する化合物、又は酸の作用でその溶解度が増加する化合物；及び
（ｂ）感光性酸供与体として、上記記載の式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物の少なくとも１種を含む組成物である。
【０１０２】
式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物は、フォトレジストにおいて感光性酸供与体として使用することができる。レジスト系は、式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物を含む系を像様式に照射し、続いて現像工程に付すことにより製造できる。
【０１０３】
化学増幅型フォトレジストは、放射線感受性成分が触媒量の酸を供給し、それが次にレジストの少なくとも１種の酸感受性成分の化学反応に触媒作用を及ぼすレジスト組成物であると理解される。結果として、レジストの照射領域と非照射領域との間に溶解度の差が誘導される。この方法の触媒特性のため、反応性ポリマーマトリックスを通して拡散して、１つの反応部位から次の反応部位へと複数の部位で、１個の酸分子が、あらゆる二次反応により捕捉又は破壊されない限り、反応を引き起こすことができる。したがって、レジストの暴露領域と非暴露領域との間の溶解度に大きな差を誘導するために、少量の酸濃縮物で十分である。そのため、ごく少量の潜在的酸化合物しか必要ではない。その結果、光学結像する暴露波長において高いコントラスト及び高い透明性を有するレジストが配合でき、高い感光性で切り立った垂直の像プロフィールを作り出す。しかし、この触媒処理のため、レジストを保管する間、又は処理の間に酸が発生しないように、潜在的酸触媒が、（照射されない限り）化学的及び熱的に非常に安定であることが必要であり、ほとんどの場合、触媒反応を開始させる又は完了させるために、暴露後ベーキング（post exposure baking）工程が必要となり、結果的に溶解度に差をもたらす。また、マイクロエレクトロニクス製造工程におけるこれらのレジストの適用を妨害するあらゆる粒子の発生を防ぐため、液体レジスト配合物及び固体レジストフィルム中の潜触媒が良好な溶解度を有することが必要である。
【０１０４】
好ましいフォトレジスト組成物は、上記記載の式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）及び（IIｃ）の好ましい化合物を含む。
【０１０５】
特に好ましくは、式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）及び／又は（IIｃ）
〔式中、
Ｒ1は、非置換であるか、又は場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ8シクロアルキルの１個以上で置換されているか、又はハロゲン、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3及び／若しくは−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2で置換されているＣ1〜Ｃ5アルキルであり；或いは
Ｒ1は、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているフェニルであり、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯ2Ｒ2及び／又は−ＯＳＯ2Ｒ2は、基Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及び／若しくはＲ6を介して、フェニル環の更なる置換基と、又はフェニル環の炭素原子のうちの１個と、５員若しくは６員環を形成するか；或いは
Ｒ1は、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、ハロゲン及び／若しくは−ＯＲ3で置換されているナフチルであり；
ここで、基Ｒ1の全ては、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
Ｒ′1は、Ｃ1〜Ｃ12アルキレン、又は１個以上のＣ3〜Ｃ30シクロアルキレン、−Ｏ−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキレンであるか；或いは
Ｒ′1は、場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｏ（ＣＯ）−又は−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキレンであるか；或いは
Ｒ′1は、フェニレン又はナフチレンであり；
Ｒ2は、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキルであり、
これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、Ｃ1〜Ｃ4アルコキシ及び／若しくはフェノキシで置換され；
Ｒ3は、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ2〜Ｃ18アルカノイル、又はベンゾイル、又はＣ1〜Ｃ18アルキルスルホニルであり；
これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン及び／若しくはＣ1〜Ｃ4アルコキシで置換されているか；或いは
Ｒ3は、水素、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル又はナフチルスルホニルであり；
Ｒ4及びＲ5は、互いに独立して、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ2〜Ｃ18アルカノイル、又はベンゾイル、又はＣ1〜Ｃ18アルキルスルホニルであり、
これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン及び／若しくはＣ1〜Ｃ4アルコキシで置換されているか；或いは
Ｒ4及びＲ5は、互いに独立して、水素、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル又はナフチルスルホニルであるか；或いは
Ｒ4及びＲ5は、それらが結合している窒素原子と一緒になって、場合により−Ｏ−若しくは−ＮＲ6−により中断されている５員、６員又は７員環を形成し；
Ｒ6は、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ2〜Ｃ18アルカノイル、又はベンゾイル、又はＣ1〜Ｃ18アルキルスルホニルであり、
これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン及び／若しくはＣ1〜Ｃ4アルコキシで置換されているか；或いは
Ｒ6は、水素、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル又はナフチルスルホニルであり；
Ａｒ1、Ａｒ2、Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5は、互いに独立して、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ12アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＯＲ3及び／若しくは−ＳＲ6で置換されているフェニルであり；
ここで、基Ａｒ1、Ａｒ2、Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5は、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
Ａｒ6は、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ12アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＯＲ3及び／若しくは−ＳＲ6で置換されているフェニルであり；そして
Ｘ及びＹは、互いに独立して、フェニレン、下記式：
【０１０６】
【化４９】
【０１０７】
ジフェニレン、オキシジフェニレン又は下記式：
【０１０８】
【化５０】
【０１０９】
である〕で示される化合物の少なくとも１種を含むフォトレジスト組成物である。
【０１１０】
本発明の他の好ましい組成物では、基Ｒ1、Ａｒ1、Ａｒ2、Ａｒ3、Ａｒ4及び／又はＡｒ5は、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基で置換されている。
【０１１１】
レジストの照射の間又は後で、レジスト材料の酸触媒反応の結果として起こる照射部分と非照射部分のレジストの溶解度の相違は、レジストに存在するいずれかの更なる構成成分に応じて２つのタイプになるであろう。本発明の組成物が、照射後に現像液中で組成物の溶解度を増加させる成分を含む場合、レジストはポジ型である。
したがって、本発明は化学増幅型ポジ型レジストに関する。
【０１１２】
他方、配合物の成分が、照射後に組成物の溶解度を減少させる場合、レジストはネガ型である。
したがって、本発明は化学増幅型ネガ型フォトレジストにも関する。
【０１１３】
レジスト配合物に追加的に存在するアルカリ可溶性結合樹脂の溶解速度を非照射領域において減速させ、そして非照射領域では実質的にアルカリ不溶性であるため、アルカリ溶液で現像した後で非照射領域にレジストフィルムが残留するが、酸の存在下で開裂するか、又は反応生成物がアルカリ現像液中で可溶性になるように転位されうるモノマー若しくはポリマー化合物は、以下、溶解抑制剤という。
【０１１４】
本発明は、特定の実施態様として、
（ａ１）酸の存在下で分解し、照射領域において、アルカリ現像水溶液中でのレジストフィルムの溶解度を増加させる酸不安定基（acid-labile groups）を有するポリマーの少なくとも１種、及び
（ｂ）式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物の少なくとも１種を含む、化学増幅型ポジ型レジスト組成物を含む。
【０１１５】
本発明の更なる実施態様は、
（ａ２）酸の存在下で分解し、アルカリ現像水溶液中において溶解度を増加させる酸不安定基を少なくとも１個有するモノマー又はオリゴマー溶解抑制剤の少なくとも１種と、アルカリ可溶性ポリマーの少なくとも１種、及び
（ｂ）式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の少なくとも１個の化合物を含む、化学増幅型ポジ型レジスト組成物を含む。
【０１１６】
本発明の他の特定の実施態様は、
（ａ１）酸の存在下で分解し、照射領域において、アルカリ現像水溶液中での溶解度を増加させる酸不安定基を有するポリマーの少なくとも１種；
（ａ２）酸の存在下で分解し、照射領域において、アルカリ性溶解度を増加させる酸不安定基を少なくとも１個有するモノマー又はオリゴマー溶解抑制剤；
（ａ３）アルカリ現像液中で、レジストフィルムの非照射領域において実質的に不溶性が依然として保持される濃度のアルカリ可溶性モノマー、オリゴマー又はポリマー化合物、及び
（ｂ）式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物の少なくとも１種を含む、化学増幅型ポジ型レジスト組成物に属する。
【０１１７】
したがって、本発明は、
（ａ１）酸の存在下で分解して、アルカリ現像水溶液において溶解度を増加させる酸不安定基を有するポリマーの少なくとも１種、及び／又は
（ａ２）酸の存在下で分解して、アルカリ現像水溶液において溶解度を増加させる酸不安定基を有するモノマー又はオリゴマー溶解抑制剤の少なくとも１種、及び／又は
（ａ３）アルカリ可溶性モノマー、オリゴマー又はポリマー化合物の少なくとも１種；並びに
（ｂ）感光性酸供与体として、（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物の少なくとも１種を含む、化学増幅型フォトレジスト組成物に関する。
【０１１８】
組成物は、成分（ｂ）に加えて、他の感光性酸供与体及び／又は他の添加剤（ｃ）を含むことができる。
【０１１９】
そのような化学増幅型ポジ型レジスト系は、例えば、E. Reichmanis, F.M. Houlihan, O. Nalamasu, T. X. Neenan, Chem. Mater. 1991, 3, 394;又はC. G.Willson, “Introduction to Microlithography, 2nd. Ed.; L. S. Thompson, C. G.Willson, M. J. Bowden, Eds., Amer. Chem. Soc., Washington DC, 1994, p. 139に記載されている。
【０１２０】
酸の存在下で分解して芳香族ヒドロキシ基、カルボキシル基、ケト基及びアルデヒド基を生じ、アルカリ現像水溶液において溶解度を増加させる酸不安定基の適切な例は、例えば、アルコキシアルキルエーテル基、テトラヒドロフラニルエーテル基、テトラヒドロピラニルエーテル基、tert−アルキルエステル基、トリチルエーテル基、シリルエーテル基、アルキルカルボナート基、例としてはtert−ブチルオキシカルボニルオキシ−、トリチルエステル基、シリルエステル基、アルコキシメチルエステル基、ビニルカルバマート基、第三級アルキルカルバマート基、トリチルアミノ基、クミルエステル基、アセタール基、ケタール基、テトラヒドロピラニルエステル基、テトラフラニルエステル基、第三級アルキルエーテル基、第三級アルキルエステル基等である。
【０１２１】
酸の作用より分解して、このポリマーを含むレジストフィルムの溶解度をアルカリ現像液中で向上させることができる官能基を有するポリマーを、本発明のポジ型レジストに組み込むことができ、その主鎖及び／又は側鎖、好ましくはその側鎖に酸不安定基を有していてもよい。
【０１２２】
本発明における使用に適切な酸不安定基を有するポリマーは、アルカリ可溶性基を部分的に若しくは完全に対応する酸不安定基に変換するか、又は予め酸不安定基が結合しているモノマーを直接（共）重合する、例えば、ＥＰ２５４８５３、ＥＰ８７８７３８、ＥＰ８７７２９３、ＪＰ−Ａ−２−２５８５０、ＪＰ−Ａ−３−２２３８６０及びＪＰ−Ａ−４−２５１２５９の開示と同様の重合反応により得ることができる。
【０１２３】
本発明における、ポリマー主鎖に酸不安定基のペンダント基を有するポリマーは、好ましくは、例えば、相対的に低い暴露後ベーキング温度（典型的には室温から１１０℃）で完全に開裂するシリルエーテル、アセタール、ケタール及びアルコキシアルキルエステル基（「低活性化エネルギーブロッキング基」という）を有するポリマー、並びに、例えば、酸の存在下、脱ブロッキング反応を完了させるためにより高いベーキング温度（典型的には＞１１０℃）を必要とする、エステル結合の酸素原子に隣接して第二級若しくは第三級炭素原子を含むtert−ブチルエステル基、又はtert−ブチルオキシカルボニル（ＴＢＯＣ）基、又は他のエステル基（「高活性化エネルギーブロッキング基」という）を有するポリマーである。ハイブリッド系も適用でき、ここでは、高活性化エネルギーブロッキング基と低活性化エネルギーブロッキング基の両方が、１つのポリマーに存在する。或いはまた、それぞれ化学的に異なるブロッキング基を使用するポリマーのポリマーブレンドを、本発明の感光性ポジ型レジスト組成物に使用することができる。
【０１２４】
酸不安定基を有する好ましいポリマーは、下記の特定のモノマー型を含むポリマー及びコポリマーである：
１）酸の存在下で分解して、アルカリ現像水溶液において溶解度を増加させる酸不安定基を含むモノマー、及び
２）酸不安定基を含まず、アルカリ性溶解度に寄与する基を含まないモノマー、及び／又は
３）ポリマーのアルカリ性溶解度に寄与するモノマー。
【０１２５】
１）型のモノマーの例は下記である：
非環状又は環状第二級及び第三級アルキル（メタ）アクリラート、例えば、ｔ−ブチルアクリラートを含むブチルアクリラート、ｔ−ブチルメタクリラートを含むブチルメタクリラート、３−オキシシクロヘキシル（メタ）アクリラート、テトラヒドロピラニル（メタ）アクリラート、２−メチル−アダマンチル（メタ）アクリラート、シクロヘキシル（メタ）アクリラート、ノルボルニル（メタ）アクリラート、（２−テトラヒドロピラニル）オキシノルボルニルアルコールアクリラート、（２−テトラヒドロピラニル）オキシメチルトリシクロドデカンメタノールメタクリラート、トリメチルシリルメチル（メタ）アクリラート、（２−テトラヒドロピラニル）オキシノルボニルアルコールアクリラート、（２−テトラヒドロピラニル）オキシメチルトリシクロドデカンメタノールメタクリラート、トリメチルシリルメチル（メタ）アクリラート、ｏ−／ｍ−／ｐ−（３−オキソシクロヘキシルオキシ）スチレン、ｏ−／ｍ−／ｐ−（１−メチル−１−フェニルエトキシ）スチレン、ｏ−／ｍ−／ｐ−テトラヒドロピラニルオキシスチレン、ｏ−／ｍ−／ｐ−アダマンチルオキシスチレン、ｏ−／ｍ−／ｐ−シクロヘキシルオキシスチレン、ｏ−／ｍ−／ｐ−ノルボルニルオキシスチレン、非環状又は環状アルコキシカルボニルスチレン、例えば、ｐ−ｔ−ブトキシカルボニルスチレンを含むｏ−／ｍ−／ｐ−ブトキシカルボニルスチレン、ｏ−／ｍ−／ｐ−（３−オキソシクロヘキシルオキシカルボニル）スチレン、ｏ−／ｍ−／ｐ−（１−メチル−１−フェニルエトキシカルボニル）スチレン、ｏ−／ｍ−／ｐ−テトラヒドロピラニルオキシカルボニルスチレン、ｏ−／ｍ−／ｐ−アダマンチルオキシカルボニルスチレン、ｏ−／ｍ−／ｐ−シクロヘキシルオキシカルボニルスチレン、ｏ−／ｍ−／ｐ−ノルボニルオキシカルボニルスチレン、非環状又は環状アルコキシカルボニルオキシスチレン、例えば、ｐ−ｔ−ブトキシカルボニルオキシスチレンを含むｏ−／ｍ−／ｐ−ブトキシカルボニルオキシスチレン、ｏ−／ｍ−／ｐ−（３−オキソシクロヘキシルオキシカルボニルオキシ）スチレン、ｏ−／ｍ−／ｐ−（１−メチル−１−フェニルエトキシカルボニルオキシ）スチレン、ｏ−／ｍ−／ｐ−テトラヒドロピラニルオキシカルボニルオキシスチレン、ｏ−／ｍ−／ｐ−アダマンチルオキシカルボニルオキシスチレン、ｏ−／ｍ−／ｐ−シクロヘキシルオキシカルボニルオキシスチレン、ｏ−／ｍ−／ｐ−ノルボルニルオキシカルボニルオキシスチレン、非環状又は環状アルコキシカルボニルアルコキシスチレン、例えば、ｏ−／ｍ−／ｐ−ブトキシカルボニルメトキシスチレン、ｐ−ｔ−ブトキシカルボニルメトキシスチレン、ｏ−／ｍ−／ｐ−（３−オキソシクロヘキシルオキシカルボニルメトキシ）スチレン、ｏ−／ｍ−／ｐ−（１−メチル−１−フェニルエトキシカルボニルメトキシ）スチレン、ｏ−／ｍ−／ｐ−テトラヒドロピラニルオキシカルボニルメトキシスチレン、ｏ−／ｍ−／ｐ−アダマンチルオキシカルボニルメトキシスチレン、ｏ−／ｍ−／ｐ−シクロヘキシルオキシカルボニルメトキシスチレン、ｏ−／ｍ−／ｐ−ノルボルニルオキシカルボニルメトキシスチレン、トリメチルシロキシスチレン、ジメチル（ブチル）シロキシスチレン、不飽和アルキルアセタート、例えば、イソプロペニルアセタート及びそれらの誘導体。
【０１２６】
低活性化エネルギー酸不安定基を有する１）型のモノマーには、例えば、ｐ−又はｍ−（１−メトキシ−１−メチルエトキシ）−スチレン、ｐ−又はｍ−（１−メトキシ−１−メチルエトキシ）−メチルスチレン、ｐ−又はｍ−（１−メトキシ−１−メチルプロポキシ）スチレン、ｐ−又はｍ−（１−メトキシ−１−メチルプロポキシ）メチルスチレン、ｐ−又はｍ−（１−メトキシエトキシ）−スチレン、ｐ−又はｍ−（１−メトキシエトキシ）−メチルスチレン、ｐ−又はｍ−（１−エトキシ−１−メチルエトキシ）スチレン、ｐ−又はｍ−（１−エトキシ−１−メチルエトキシ）−メチルスチレン、ｐ−又はｍ−（１−エトキシ−１−メチルプロポキシ）スチレン、ｐ−又はｍ−（１−エトキシ−１−メチルプロポキシ）−メチルスチレン、ｐ−又はｍ−（１−エトキシエトキシ）スチレン、ｐ−又はｍ−（１−エトキシエトキシ）−メチルスチレン、ｐ−（１−エトキシフェニル−エトキシ）スチレン、ｐ−又はｍ−（１−ｎ−プロポキシ−１−メチルエトキシ）スチレン、ｐ−又はｍ−（１−ｎ−プロポキシ−１−メチルエトキシ）−メチルスチレン、ｐ−又はｍ−（１−ｎ−プロポキシエトキシ）スチレン、ｐ−又はｍ−（１−ｎ−プロポキシエトキシ）−メチルスチレン、ｐ−又はｍ−（１−イソプロポキシ−１−メチルエトキシ）スチレン、ｐ−又はｍ−（１−イソプロポキシ−１−メチルエトキシ）−メチルスチレン、ｐ−又はｍ−（１−イソプロポキシエトキシ）スチレン、ｐ−又はｍ−（１−イソプロポキシエトキシ）−メチルスチレン、ｐ−又はｍ−（１−イソプロポキシ−１−メチルプロポキシ）スチレン、ｐ−又はｍ−（１−イソプロポキシ−１−メチルプロポキシ）−メチルスチレン、ｐ−又はｍ−（１−イソプロポキシプロポキシ）スチレン、ｐ−又はｍ−（１−イソプロポキシプロポキシ）−メチルスチレン、ｐ−又はｍ−（１−ｎ−ブトキシ−１−メチルエトキシ）スチレン、ｐ−又はｍ−（１−ｎ−ブトキシエトキシ）スチレン、ｐ−又はｍ−（１−イソブトキシ−１−メチルエトキシ）スチレン、ｐ−又はｍ−（１−tert−ブトキシ−１−メチルエトキシ）スチレン、ｐ−又はｍ−（１−ｎ−ペントキシ−１−メチルエトキシ）スチレン、ｐ−又はｍ−（１−イソアミルオキシ−１−メチルエトキシ）スチレン、ｐ−又はｍ−（１−ｎ−ヘキシルオキシ−１−メチルエトキシ）スチレン、ｐ−又はｍ−（１−シクロヘキシルオキシ−１−メチルエトキシ）スチレン、ｐ−又はｍ−（１−トリメチルシリルオキシ−１−メチルエトキシ）スチレン、ｐ−又はｍ−（１−トリメチルシリルオキシ−１−メチルエトキシ）−メチルスチレン、ｐ−又はｍ−（１−ベンジルオキシ−１−メチルエトキシ）スチレン、ｐ−又はｍ−（１−ベンジルオキシ−１−メチルエトキシ）−α−メチルスチレン、ｐ−又はｍ−（１−メトキシ−１−メチルエトキシ）スチレン、ｐ−又はｍ−（１−メトキシ−１−メチルエトキシ）−α−メチルスチレン、ｐ−又はｍ−（１−トリメチルシリルオキシ−１−メチルエトキシ）スチレン、ｐ−又はｍ−（１−トリメチルシリルオキシ−１−メチルエトキシ）−メチルスチレンが含まれる。アルコキシアルキルエステル酸不安定基を有するポリマーの他の例は、ＵＳ５２２５３１６及びＥＰ８２９７６６で示されている。アセタールブロッキング基を有するポリマーの例は、ＵＳ５６７０２９９、ＥＰ７８０７３２、ＵＳ５６２７００６、ＵＳ５５５８９７６、ＵＳ５５５８９７１、ＵＳ５４６８５８９、ＥＰ７０４７６２、ＥＰ７６２２０６、ＥＰ３４２４９８、ＥＰ５５３７３７で示され、ACSSymp. Ser. 614, Microelectronics Technology, pp. 35-55 (1995)及びJ. PhotopolymerSci. Technol. Vol. 10, No. 4 (1997), pp. 571-578、並びにJ. Photopolym. Sci.Technol. Vol. 12, no. 4 (1999), pp. 591-600で記載されている。本発明で使用されるポリマーはこれらに限定されない。
【０１２７】
酸不安定基としてアセタール基を有するポリマーに関して、H.-T. Schacht,P. Falcigno, N. Muenzel, R. Schulz, and A. Medina, ACS Symp. Ser. 706 (Micro-and Nanopatterning Polymers), p. 78-94, 1997; H.-T. Schacht, N. Muenzel, P.Falcigno, H. Holzwarth, and J. Schneider, J. Photopolymer Science andTechnology, Vol.9, (1996), 573-586で記載されているように、酸不安定架橋を組み込むことが可能である。この架橋系は、レジストパターンの耐熱性の観点から好ましい。
【０１２８】
高活性化エネルギー酸不安定基を有するモノマーは、例えば、ｐ−tert−ブトキシカルボニルオキシスチレン、tert−ブチル−アクリラート、tert−ブチル−メタクリラート、２−メチル−２−アダマンチル−メタクリラート、イソボルニル−メタクリラートである。
【０１２９】
２）型のコモノマーの例は下記である：
芳香族ビニルモノマー、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、アセトキシスチレン、α−メチルナフチレン、アセナフチレン、ビニル脂環式化合物、例えば、ビニルノルボルナン、ビニルアダマンタン、ビニルシクロヘキサン、アルキル（メタ）アクリラート、例えば、メチルメタクリラート、アクリロニトリル、ビニルシクロヘキサン、ビニルシクロヘキサノール、並びに無水マレイン酸。
【０１３０】
３）型のコモノマーの例は下記である：
ビニル芳香族化合物、例えば、ヒドロキシスチレン、アクリル酸化合物、例えば、メタクリル酸、エチルカルボニルオキシスチレン及びそれらの誘導体。これらのポリマーは、例えば、ＵＳ５８２７６３４、ＵＳ５６２５０２０、ＵＳ５４９２７９３、ＵＳ５３７２９１２、ＥＰ６６０１８７、ＵＳ５６７９４９５、ＥＰ８１３１１３及びＥＰ８３１３６９に記載されている。本発明で使用されるポリマーはこれらに限定されない。
【０１３１】
ポリマー中の酸不安定モノマーの含有量は、他のコモノマーの量及び脱保護ポリマーのアルカリ性溶解度に応じて広範囲に変更してよい。典型的には、ポリマーにおける酸不安定基を有するモノマーの含有量は５〜６０mol％である。含有量が少なすぎると現像速度が遅くなりすぎ、結果的に照射領域にレジストが残留する。酸不安定基モノマーの含有量が多すぎると、現像後のレジストパターンは不十分にしか画定されず（侵食されている）、狭いフィーチャーはもはや解像できないか、及び／又はレジストは現像の間、基材への付着力を失う。好ましくは、酸不安定基を有するコポリマーは、約３，０００〜約２００，０００、より好ましくは約５，０００〜約５０，０００のＭWを有し、約３以下の分子量分布、より好ましくは約２以下の分子量分布を有する。非フェノール性ポリマー、例えば、ｔ−ブチルアクリラート又はｔ−ブチル−メタクリラートのようなアルキルアクリラートと、ビニルノルボナニル又はビニルシクロヘキサノール化合物のようなビニル脂環式化合物とのコポリマーも、そのようなラジカル重合又は他の既知の手順により製造することができ、適切には、約８，０００〜約５０，０００のＭWを有し、約３以下の分子量分布を有する。
適切には他のコモノマーを、ポリマー等のガラス移転点を制御する目的で適当な量で加えてよい。
【０１３２】
本発明において、酸不安定基を有する２種以上のポリマーの混合物を使用してもよい。例えば、極めて容易に開裂する酸不安定基、例えばアセタール基又はテトラヒドロピラニルオキシ基を有するポリマーと、例えば第三級アルキルエステル基のようなあまり容易には開裂しない酸開裂性基を有するポリマーとの混合物を使用することができる。また、tert−ブチルエステル基と２−メチル−アダマンチル基、又は１−エトキシ−エトキシ基とテトラヒドロピラノイルオキシ基のような異なる酸開裂性基を有する２種以上のポリマーをブレンドすることにより、異なる大きさの酸開裂性基を組み合わせることができる。非架橋樹脂と架橋樹脂の混合物も使用してよい。本発明におけるこれらのポリマーの量は、固形成分の総量に基づき、好ましくは３０〜９９重量％、より好ましくは５０〜９８重量％である。酸不安定基のないアルカリ溶解性樹脂又はモノマー若しくはオリゴマー化合物を、アルカリ溶解度を制御するために組成物に更に混和してもよい。
異なる酸不安定基を有するポリマーのポリマーブレンドの例は、ＥＰ７８０７３２、ＥＰ６７９９５１及びＵＳ５８１７４４４に示されている。
【０１３３】
好ましくは、モノマー及びオリゴマー溶解抑制剤（ａ２）が本発明において使用される。
本発明に使用される酸不安定基を有するモノマー又はオリゴマー溶解抑制剤は、分子構造に、酸の存在下で分解して、アルカリ現像水溶液において溶解度を増加させる酸不安定基を少なくとも１個有する化合物である。例は、アルコキシメチルエーテル基、テトラヒドロフラニルエーテル基、テトラヒドロピラニルエーテル基、アルコキシエチルエーテル基、トリチルエーテル基、シリルエーテル基、アルキルカルボナート基、トリチルエステル基、シリルエステル基、アルコキシメチルエステル基、ビニルカルバマート基、第三級アルキルカルバマート基、トリチルアミノ基、クミルエステル基、アセタール基、ケタール基、テトラヒドロピラニルエステル基、テトラフラニルエステル基、第三級アルキルエーテル基、第三級アルキルエステル基等である。本発明に使用される酸分解性溶解抑制化合物の分子量は、３，０００以下、好ましくは１００〜３，０００、より好ましくは２００〜２，５００である。
【０１３４】
酸不安定基を有するモノマー及びオリゴマー溶解抑制剤は、ＥＰ０８３１３６９において式（Ｉ）〜（XVI）として記載されている。酸不安定基を有する他の適切な溶解抑制剤は、ＵＳ５３５６７５２、ＵＳ５０３７７２１、ＵＳ５０１５５５４、ＪＰ−Ａ−１−２８９９４６、ＪＰ−Ａ−１−２８９９４７、ＪＰ−Ａ−２−２５６０、ＪＰ−Ａ−３−１２８９５９、ＪＰ−Ａ−３−１５８８５５、ＪＰ−Ａ−３−１７９３５３、ＪＰ−Ａ−３−１９１３５１、ＪＰ−Ａ−３−２００２５１、ＪＰ−Ａ−３−２００２５２、ＪＰ−Ａ−３−２００２５３、ＪＰ−Ａ−３−２００２５４、ＪＰ−Ａ−３−２００２５５、ＪＰ−Ａ−３−２５９１４９、ＪＡ−３−２７９９５８、ＪＰ−Ａ−３−２７９９５９、ＪＰ−Ａ−４−１６５０、ＪＰ−Ａ−４−１６５１、ＪＰ−Ａ−１１２６０、ＪＰ−Ａ−４−１２３５６、ＪＰ−Ａ−４−１２３５６７、ＪＰ−Ａ−１−２８９９４６、ＪＰ−Ａ−３−１２８９５９、ＪＰ−Ａ−３−１５８８５５、ＪＰ−Ａ−３−１７９３５３、ＪＰ−Ａ−３−１９１３５１、ＪＰ−Ａ−３−２００２５１、ＪＰ−Ａ−３−２００２５２、ＪＰ−Ａ−３−２００２５３、ＪＰ−Ａ−３−２００２５４、ＪＰ−Ａ−３−２００２５５、ＪＰ−Ａ−３−２５９１４９、ＪＡ−３−２７９９５８、ＪＰ−Ａ−３−２７９９５９、ＪＰ−Ａ−４−１６５０、ＪＰ−Ａ−４−１６５１、ＪＰ−Ａ−１１２６０、ＪＰ−Ａ−４−１２３５６、ＪＰ−Ａ−４−１２３５７及び日本国特許出願番号３−３３２２９、３−２３０７９０、３−３２０４３８、４−２５４１５７、４−５２７３２、４−１０３２１５、４−１０４５４２、４−１０７８８５、４−１０７８８９、４−１５２１９５、４−２５４１５７、４−１０３２１５、４−１０４５４２、４−１０７８８５、４−１０７８８９及び４−１５２１９５に示されている。
【０１３５】
組成物は、また、ポリマー溶解抑制剤、例えば、例えばＵＳ５３５４６４３に記載のポリアセタール、又は例えばＵＳ５４９８５０６に記載のポリ−Ｎ，Ｏ−アセタールを、アルカリ可溶性ポリマーと組み合わせて、又は照射後に現像液においてレジストフィルムの溶解度を増加させる酸不安定基を含有するポリマーと組み合わせて、又は両方の種類のポリマーと組み合わせて含有することができる。
【０１３６】
酸不安定基を有する溶解抑制剤が、式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）のオニウム塩、アルカリ可溶性ポリマー及び／又は酸不安定基を有するポリマーと組み合わせて本発明において使用される場合、溶解抑制剤の量は、感光性組成物の全固形成分の総量に基づき、３〜５５重量％、好ましくは５〜４５重量％、最も好ましくは１０〜３５重量％である。
【０１３７】
アルカリ水溶液に可溶性のポリマー（ａ３）は、本発明に好ましく使用される。これらのポリマーの例には、ノボラック樹脂、水素化ノボラック樹脂、アセトン−ピロガロール樹脂、ポリ（ｏ−ヒドロキシスチレン）、ポリ（ｍ−ヒドロキシスチレン）、ポリ（ｐ−ヒドロキシスチレン）、水素化ポリ（ヒドロキシスチレン）、ハロゲン−又はアルキル置換ポリ（ヒドロキシスチレン）、ヒドロキシスチレン／Ｎ置換マレイミドコポリマー、ｏ／ｐ−及びｍ／ｐ−ヒドロキシスチレンコポリマー、部分ｏ−アルキル化ポリ（ヒドロキシスチレン）〔例えば、ヒドロキシル基５〜３０mol％の置換度を有するｏ−メチル化、ｏ−（１−メトキシ）エチル化、ｏ−（１−エトキシ）エチル化、ｏ−２−テトラヒドロピラニル化及びｏ−（ｔ−ブトキシカルボニル）メチル化ポリ（ヒドロキシスチレン）〕、ｏ−アシル化ポリ（ヒドロキシスチレン）〔例えば、ヒドロキシル基５〜３０mol％の置換度を有するｏ−アセチル化及びｏ−（ｔ−ブトキシ）カルボニル化ポリ（ヒドロキシスチレン）〕、スチレン／無水マレイン酸コポリマー、スチレン／ヒドロキシスチレンコポリマー、α−メチルスチレン／ヒドロキシスチレンコポリマー、カルボキシル化メタクリル樹脂及びこれらの誘導体が含まれる。しかし、本発明に使用されるアルカリ可溶性ポリマーは、これらの例に限定されると解釈されるべきではない。
特に好ましいアルカリ可溶性ポリマー（ａ３）は、ノボラック樹脂、ポリ（ｏ−ヒドロキシスチレン）、ポリ（ｍ−ヒドロキシスチレン）、ポリ（ｐ−ヒドロキシスチレン）、それぞれのヒドロキシスチレンモノマーと、例えば、ｐ−ビニルシクロヘキサノール、アルキル置換ポリ（ヒドロキシスチレン）、部分ｏ−又はｍ−アルキル化及びｏ−又はｍ−アシル化ポリ（ヒドロキシスチレン）とのコポリマー、スチレン／ヒドロキシスチレンコポリマー、並びにα−メチルスチレン／ヒドロキシスチレンコポリマーである。ノボラック樹脂は、主成分として１種以上の所定のモノマーを、酸触媒の存在下、１種以上のアルデヒドと付加縮合して得られる。
【０１３８】
アルカリ可溶性樹脂の製造に有用なモノマーの例には、ヒドロキシル化芳香族化合物、例えば、フェノール、クレゾール、すなわちｍ−クレゾール、ｐ−クレゾール及びｏ−クレゾール、キシレノール、例としては２，５−キシレノール、３，５−キシレノール、３，４−キシレノール及び２，３−キシレノール、アルコキシフェノール、例としてはｐ−メトキシフェノール、ｍ−メトキシフェノール、３，５−ジメトキシフェノール、２−メトキシ−４−メチルフェノール、ｍ−エトキシフェノール、ｐ−エトキシフェノール、ｍ−プロポキシフェノール、ｐ−プロポキシフェノール、ｍ−ブトキシフェノール及びｐ−ブトキシフェノール、ジアルキルフェノール、例としては２−メチル−４−イソプロピルフェノール、並びにｍ−クロロフェノール、ｐ−クロロフェノール、ｏ−クロロフェノール、ジヒドロキシビフェニル、ビスフェノールＡ、フェニルフェノール、レゾルシノール及びナフトールを含む他のヒドロキシル化芳香族化合物が含まれる。これらの化合物は、単独で、又は２種以上の混合物として使用してもよい。ノボラック樹脂の主要なモノマーは、上記例に限定されると解釈されるべきではない。
フェノール化合物と重縮合してノボラックを得るアルデヒドの例には、ホルムアルデヒド、ｐ−ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒド、ベンズアルデヒド、フェニルアセトアルデヒド、α−フェニルプロピオンアルデヒド、β−フェニルプロピオンアルデヒド、ｏ−ヒドロキシベンズアルデヒド、ｍ−ヒドロキシベンズアルデヒド、ｐ−ヒドロキシベンズアルデヒド、ｏ−クロロベンズアルデヒド、ｍ−クロロベンズアルデヒド、ｐ−クロロベンズアルデヒド、ｏ−ニトロベンズアルデヒド、ｍ−ニトロベンズアルデヒド、ｏ−メチルベンズアルデヒド、ｍ−メチルベンズアルデヒド、ｐ−メチルベンズアルデヒド、ｐ−エチルベンズアルデヒド，ｐ−ｎ−ブチルベンズアルデヒド、フルフラール、クロロアセトアルデヒド及びこれらのアセタール誘導体、例えば、クロロアセトアルデヒドジエチルアセタールが含まれる。これらのうち好ましくはホルムアルデヒドである。
これらのアルデヒドは、単独で、又は２種以上を組み合わせて使用してもよい。酸触媒の例には，塩酸、硫酸、ギ酸、酢酸及びシュウ酸が含まれる。
【０１３９】
このようにして得られるノボラック樹脂の重量平均分子量は、適切には１，０００〜３０，０００である。重量平均分子量が１，０００より低い場合、現像中の非照射領域での膜減少が大きくなる傾向がある。重量平均分子量が５０，０００を超える場合、現像速度が遅くなりすぎる。ノボラック樹脂の分子量の特に好ましい範囲は、２，０００〜２０，０００である。
ノボラック樹脂以外のアルカリ可溶性ポリマーとして上記で示されたポリ（ヒドロキシスチレン）並びにそれらの誘導体及びコポリマーは、それぞれ２，０００以上、好ましくは４，０００〜２００，０００、より好ましくは５，０００〜５０，０００の重量平均分子量を有する。向上された耐熱性を有するポリマーフィルムを得る観点から、重量平均分子量は、望ましくは、少なくとも５，０００以上である。
本発明における重量平均分子量は、ゲル透過クロマトグラフィーにより測定され、ポリスチレン基準を用いて検量されるものを意味する。
【０１４０】
本発明において、アルカリ可溶性ポリマーをそれらの２種以上の混合物として使用してよい。アルカリ可溶性ポリマーと、酸の作用で分解して、アルカリ現像液において溶解度を向上させる基を有するポリマーとの混合物が使用される場合、アルカリ可溶性ポリマーの添加量は、感光性組成物の総量（溶媒を除く）に基づき、好ましくは８０重量％まで、より好ましくは６０重量％まで、最も好ましくは４０重量％までである。８０重量％を超える量では、レジストパターンの厚さが著しい減少を被り、その結果として劣悪な画像及び低解像度となるため望ましくない。
アルカリ可溶性ポリマーを、酸の作用で分解して、アルカリ現像液において溶解度を向上させる基を有するポリマーのない溶解抑制と共に使用する場合、アルカリ可溶性ポリマーの量は、好ましくは４０〜９０重量％、より好ましくは５０〜８５重量％、最も好ましくは６０〜８０重量％である。その量が４０重量％より少ない場合、感受性の減退のような望ましくない結果が引き起こされる。一方、９０重量％を超えると、レジストパターンが膜厚の著しい減少を被り、その結果として劣悪な解像度及び画像再生となる
【０１４１】
本発明のポジ型レジスト中の式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）のオニウム塩（成分（ｂ））の含有量は、フォトレジストの全固形成分の総量に基づき、好ましくは０．０１〜２０重量％である。
【０１４２】
化学増幅型系における本発明のオニウム塩の使用は、主にポリマーから保護基を除去する働きをし、一般的にポジ型レジストを生成する。ポジ型レジストは、多くの用途において、特にその高い解像度のためネガ型レジストよりも好まれる。しかし、ポジ型レジストの高度な解像度という利点をネガ型レジストの特性と組み合わせるため、ポジ型レジスト構造を使用してネガ型像を作り出すことも興味深い。これは、例えば、ＥＰ３６１９０６に記載のいわゆる画像反転工程（image-reversal step）を導入して達成することができる。このために、像様に照射されたレジスト材料を、現像工程の前に、例えば気体の塩基で処理し、生じた酸をそれにより像様に中和する。次いで全面に２回目の照射及び熱後処理を実施し、次にネガ像を慣用の方法により現像する。
【０１４３】
ネガ型レジストを生成する酸感受性成分は、特に、酸（例えば、式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物の照射の間に酸が形成される）により触媒作用を受けると、それ自体で、及び／又は組成物の１種以上の更なる成分と架橋反応を起こすことができる化合物であることを特徴とする。例えばこの種類の化合物は、例えばアクリル、ポリエステル、アルキド、メラミン、尿素、エポキシ及びフェノール樹脂又はそれらの混合物のような既知の酸硬化性樹脂である。アミノ樹脂、フェノール樹脂及びエポキシ樹脂が極めて適している。この種の酸硬化性樹脂は、一般的に既知であり、例えば、Ullmann'sEncyclopaedie der technischen Chemie” [UllmannsEnceclopedia of Technical Chemistry], 4th Edition, Vol. 15 (1978), p. 613 - 628に記載されている。架橋剤成分は、ネガ型レジスト組成物の全固形分に基づき、２〜４０重量％、好ましくは５〜３０重量％の濃度で存在するべきである。
【０１４４】
したがって本発明は、特別な実施態様として、
（ａ４）結合剤としてアルカリ可溶性樹脂、
（ａ５）酸の触媒作用を受けると、それ自体で、及び／又は結合剤と架橋反応を起こす成分、並びに
（ｂ）感光性酸供与体として、（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）のオニウム塩を含む、アルカリ現像性の化学増幅型ネガ型フォトレジストを含む。
組成物は、成分（ｂ）に加えて、他の感光性酸供与体及び／又は他の添加剤（ｃ）を含んでよい。
【０１４５】
酸硬化性樹脂（ａ５）として特に好ましくは、アミノ樹脂、例えば、非エーテル化若しくはエーテル化メラミン、尿素、グアニジン又はビウレット樹脂、特にメチル化メラミン樹脂又はブチル化メラミン樹脂、対応するグリコールウリル及びウロンである。この文脈において「樹脂」とは、一般的にオリゴマーも含む慣用の技術的な混合物と、純粋及び高純度の化合物の両方であることが理解される。Ｎ，Ｎ′，Ｎ"−ヘキサ（メトキシメチル）メラミン及びテトラメトキシメチルグリコウリル並びにＮ，Ｎ′−ジメトキシメチルウロンは、最も好ましい酸硬化性樹脂である。
【０１４６】
ネガ型レジスト中の式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）化合物の濃度は、一般的に、組成物の全固形分に基づき、０．１〜３０重量％、好ましくは２０重量％までである。１〜１５重量％が特に好ましい。
【０１４７】
適切であれば、ネガ型組成物は、フィルム形成ポリマー結合剤（ａ４）を含んでよい。この結合剤は好ましくは、アルカリ可溶性フェノール樹脂である。このために好適なものは、例えば、アルデヒドから、例としてはアセトアルデヒド又はフルフラルアルデヒドから、特にホルムアルデヒド及びフェノール、例えば、非置換フェノール、モノ−又はジクロロ置換フェノール、例としてはｐ−クロロフェノール、Ｃ1〜Ｃ9アルキルでモノ−又はジ置換されているフェノール、例としてはｏ−、ｍ−若しくはｐ−クレゾール、種々のキシレノール、ｐ−tert−ブチルフェノール、ｐ−ノニルフェノール、ｐ−フェニルフェノール、レゾルシノール、ビス（４−ヒドロキシフェニル）メタン又は２，２−ビス（４−ヒドロキシフェニル）プロパンから誘導されるノボラックである。また適切なものは、エチレン性不飽和フェノールに基づくホモ−及びコポリマーであり、例えば、ｐ−ビニルフェノール又はｐ−（１−プロペニル）フェノールのようなビニル−及び１−プロペニル置換フェノールのホモポリマー、又はこれらのフェノールと、１種以上のエチレン性不飽和物質、例えばスチレン及びスチレン誘導体とのコポリマーである。結合剤の量は、一般的に３０〜９５重量％、好ましくは４０〜８０重量％である。
【０１４８】
特に好ましいネガ型レジスト組成物は、式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）のオニウム塩（成分（ｂ））を０．５〜１５重量％、結合剤としてフェノール樹脂（成分（ａ４））（例えば上記のうちの１種）を４０〜９９重量％、架橋剤としてメラミン樹脂（成分（ａ５））を０．５〜３０重量％含む（％は組成物の固形分に関する）。結合剤としてノボラック、又は特にポリビニルフェノールを用いると、特に良好な特性を有するネガ型レジストが得られる。
【０１４９】
オニウム塩は酸発生剤としても使用でき、例えば、ネガ型レジスト系においてポリ（グリシジル）メタクリラートを酸触媒架橋するために光化学的に活性化できる。そのような架橋反応は、例えば、Chae et al. in Pollimo 1993, 17(3), 292に記載されている。
【０１５０】
ポジ型及びネガ型レジスト組成物は、式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の感光性酸供与体化合物に加えて、更なる感光性酸供与体化合物（ｂ１）、更なる添加剤（ｃ）、他の光開始剤（ｄ）及び／又は増感剤（ｅ）を含むことができる。したがって、本発明の主題は、また、成分（ａ）及び（ｂ）、又は成分（ａ１）、（ａ２）、（ａ３）及び（ｂ）、又は成分（ａ４）、（ａ５）及び（ｂ）に加えて、更なる添加剤（ｃ）、更なる感光性酸供与体化合物（ｂ１）、他の光開始剤（ｄ）及び／又は増感剤（ｅ）を含む、上記の化学増幅型レジスト組成物である。
【０１５１】
ポジ型及びネガ型レジストにおける本発明のオニウム塩は、また、他の既知の光潜在的酸（photolatent acids）（ｂ１）、例えば、オニウム塩、６−ニトロベンジルスルホナート、ビス−スルホニルジアゾメタン化合物、シアノ基含有オキシムスルホナート化合物等と共に使用することができる。化学増幅型レジストのための既知の光潜在的酸の例は、ＵＳ５７３１３６４、ＵＳ５８００９６４、ＥＰ７０４７６２、ＵＳ５４６８５８９、ＵＳ５５５８９７１、ＵＳ５５５８９７６、特にＥＰ７９４４５７及びＥＰ７９５７８６に記載されている。
光潜在的酸の混合物を本発明のレジスト組成物に使用する場合、式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）のオニウム塩と他の光潜在的酸（ｂ１）の混合物中の重量比は、好ましくは１：９９〜９９：１である。
【０１５２】
式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物と混合して使用することに適している光潜在的酸の例は、下記である。
（１）オニウム塩化合物、例えば、
ヨードニウム塩、スルホニウム塩、ホスホニウム塩、ジアゾニウム塩、ピリジニウム塩。好ましくは、ジフェニルヨードニウムトリフラート、ジフェニルヨードニウムピレンスルホナート、ジフェニルヨードニウムドデシルベンゼンスルホナート、トリフェニルスルホニウムトリフラート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモナート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモナート、トリフェニルスルホニウムナフタレンスルホナート、（ヒドロキシフェニル）ベンジルメチルスルホニウムトルエンスルホナート等である。特に好ましくはトリフェニルスルホニウムトリフラート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモナートである。
（２）ハロゲン含有化合物、
ハロアルキル基含有複素環式化合物、ハロアルキル基含有炭化水素化合物等。好ましくは、（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン誘導体、例えば、フェニル−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、メトキシフェニル−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、ナフチル−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン等；１，１−ビス（４−クロロフェニル）２，２，２−トリクロロエタン等である。
（３）スルホン化合物、例えば、
β−ケトスルホン、β−スルホニルスルホン及びそれらのα−ジアゾ誘導体等。好ましくはフェナシルフェニルスルホン、メシチルフェナシルスルホン、ビス（フェニルスルホニル）メタン、ビス（フェニルスルホニル）ジアゾメタンである。
（４）スルホナート化合物、例えば、
アルキルスルホン酸エステル、ハロアルキルスルホン酸エステル、アリールスルホン酸エステル、イミノスルホナート、イミドスルホナート等。好ましいイミドスルホナート化合物は、例えば、Ｎ−（トリフルオロメチルスルホニルオキシ）スクシンイミド、Ｎ−（トリフルオロメチルスルホニルオキシ）フタルイミド、Ｎ−（トリフルオロメチルスルホニルオキシ）ナフチルイミド、Ｎ−（トリフルオロメチルスルホニルオキシ）ジフェニルマレイミド、Ｎ−（トリフルオロメチルスルホニルオキシ）−ビシクロ−〔２，２，１〕−ヘプタ−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（トリフルオロメチルスルホニルオキシ）−７−オキサビシクロ−〔２，２，１〕−ヘプタ−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（トリフルオロメチルスルホニルオキシ）−７−オキサビシクロ−〔２，２，１〕−ヘプタ−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（トリフルオロメチルスルホニルオキシ）−ビシクロ−〔２，２，１〕−ヘプタン−５，６−オキシ−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（カンファニルスルホニルオキシ）スクシンイミド、Ｎ−（カンファニルスルホニルオキシ）フタルイミド、Ｎ−（カンファニルスルホニルオキシ）ナフチルイミド、Ｎ−（カンファニルスルホニルオキシ）ジフェニルマレイミド、Ｎ−（カンファニルスルホニルオキシ）ビシクロ−〔２，２，１〕−ヘプタ−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（カンファニルスルホニルオキシ）−７−オキサビシクロ−〔２，２，１〕−ヘプタ−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（カンファニルスルホニルオキシ）−７−オキサビシクロ−〔２，２，１〕ヘプタ−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（カンファニルスルホニルオキシ）−ビシクロ−〔２，２，１〕−ヘプタン−５，６−オキシ−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（４−メチルフェニルスルホニルオキシ）スクシンイミド、Ｎ−（４−メチルフェニルスルホニルオキシ）フタルイミド、Ｎ−（４−メチルフェニルスルホニルオキシ）ナフチルイミド、Ｎ−（４−メチルフェニルスルホニルオキシ）ナフチルイミド、Ｎ−（４−メチルフェニルスルホニルオキシ）ジフェニルマレイミド、Ｎ−（４−メチルフェニルスルホニルオキシ）−ビシクロ−〔２，２，１〕−ヘプタ−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（４−メチルフェニルスルホニルオキシ）−７−オキサビシクロ−〔２，２，１〕−ヘプタ−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（４−メチルフェニルスルホニルオキシ）−ビシクロ−〔２，２，１〕−ヘプタン−５，６−オキシ−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ）スクシンイミド、Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ）ナフチルイミド、Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ）ジフェニルマレイミド、Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ）−ビシクロ−〔２，２，１〕−ヘプタ−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ）−７−オキサビシクロ−〔２，２，１〕−ヘプタ−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ）−ビシクロ−〔２，２，１〕−ヘプタン−５，６−オキシ−２，３−ジカルボキシイミド等である。
他の適切なスルホナート化合物は、好ましくは、例えば、ベンゾイントシラート、ピロガロールトリストリフラート、ピロガロールメタンスルホン酸トリエステル、ニトロベンジル−９，１０−ジエトキシアントラセン−２−スルホナート、α−（４−トルエン−スルホニルオキシイミノ）−ベンジルシアニド、α−（４−トルエン−スルフォニルオキシイミノ）−４−メトキシベンジルシアニド、α−（４−トルエン−スルホニルオキシイミノ）−２−チエニルメチルシアニド、α−（メタンスルホニルオキシイミノ）−１−シクロヘキセニルアセトニトリル、α−（ブチルスルホニルオキシイミノ）−１−シクロペンテニルアセトニトリル、（４−メチルスルホニルオキシイミノ−シクロヘキサ−２，５−ジエニリデン）−フェニル−アセトニトリル、（５−メチルスルホニルオキシイミノ−５Ｈ−チオフェン−２−イリデン）−フェニル−アセトニトリル、（５−メチルスルホニルオキシイミノ−５Ｈ−チオフェン−２−イリデン）−（２−メチルフェニル）−アセトニトリル、（５−プロピルスルホニルオキシイミノ−５Ｈ−チオフェン−２−イリデン）−（２−メチルフェニル）−アセトニトリル、（５−（４−メチルベンゼンスルホニルオキシイミノ）−５Ｈ−チオフェン−２−イリデン）−（２−メチルフェニル）−アセトニトリル、（５−メチルスルホニルオキシイミノ−５Ｈ−チオフェン−２−イリデン）−（２−クロロフェニル）−アセトニトリル、２，２，２−トリフルオロ−１−（４−メトキシフェニル）−エタノンオキシム−Ｏ−メチルスルホナート、２，２，２−トリフルオロ−１−（４−メトキシフェニル）−エタノンオキシム−Ｏ−プロピルスルホナート、２，２，２−トリフルオロ−１−（４−メトキシフェニル）−エタノンオキシム−Ｏ−（１０−カンホリルスルホナート）、１，３−ビス｛４−（２，２，２−トリフルオロ−１−メチルスルホニルオキシイミノ−エチル）−フェノキシ｝−プロパン、１，３−ビス〔４−（２，２，２−トリフルオロ−１−プロピルスルホニルオキシイミノ−エチル）−フェノキシ〕−プロパン、１，３−ビス〔４−｛２，２，２−トリフルオロ−１−（１０−カンファリルスルホニルオキシ）イミノ−エチル｝−フェノキシ〕−プロパン、１，３−ビス〔４−（２，２，２−トリフルオロ−１−ベンジルスルホニルオキシイミノ−エチル）−フェノキシ〕−プロパン等である。
本発明の放射線感受性組成物において、特に好ましいスルホナート化合物には、ピロガロールメタンスルホン酸トリエステル、Ｎ−（トリフルオロメチルスルホニルオキシ）ビシクロ−〔２，２，１〕−ヘプタ−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（カンファニルスルホニルオキシ）ナフチルイミド、Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ）フタルイミド、Ｎ−（トリフルオロメチルスルホニルオキシ）−ビシクロ−〔２，２，１〕−ヘプタ−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（カンファニルスルホニルオキシ）ナフチルイミド、Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ）フタルイミド等が含まれる。
（５）キノンジアジド化合物、例えば、
ポリヒドロキシ化合物の１，２−キノンジアジドスルホン酸エステル化合物。好ましくは、１，２−キノンジアジドスルホニル基、例えば、１，２−ベンゾキノンジアジド−４−スルホニル基、１，２−ナフトキノンジアジド−４−スルホニル基、１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホニル基、１，２−ナフトキノンジアジド−６−スルホニル基等を有する化合物である。特に好ましくは、１，２−ナフトキノンジアジド−４−スルホニル基又は１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホニル基を有する化合物である。特に適切なものは、２，３，４−トリヒドロキシベンゾフェノン、２，４，６−トリヒドロキシベンゾフェノン、２，３，４，４′−テトラヒドロキシベンゾフェノン、２，２′，３，４−テトラヒドロキシベンゾフェノン、２，３，４，４′−テトラヒドロキシベンゾフェノン、２，２′，４，４′−テトラヒドロキシベンゾフェノン、２，２′，３，４，４′−ペンタヒドロキシベンゾフェノン、２，２′，３，２，６′−ペンタヒドロキシベンゾフェノン、２，３，３′，４，４′，５′−ヘキサヒドロキシベンゾフェノン、２，３′，４，４′，５′，６−ヘキサヒドロキシベンゾフェノン等のような（ポリ）ヒドロキシフェニルアリールケトンの１，２−キノンジアジドスルホン酸エステル；ビス（４−ヒドロキシフェニル）エタン、ビス（２，４−ジヒドロキシフェニル）エタン、２，２−ビス（４−ヒドロキシフェニル）プロパン、２、２−ビス（２，４−ジヒドロキシフェニル）プロパン、２、２−ビス−（２，３，４−トリドロキシフェニル）プロパン等のようなビス〔（ポリ）ヒドロキシフェニル〕アルカンの１，２−キノンジアジドスルホン酸エステル；４，４′−ジヒドロキシトリフェニルメタン、４，４′，４"−トリヒドロキシトリフェニルメタン、４，４′，５，５′−テトラメチル−２，２′，２"−トリヒドロキシトリフェニルメタン、２，２，５，５′−テトラメチル−４，４′，４"−トリヒドロキシトリフェニルメタン、１，１，１−トリス（４−ヒドロキシフェニル）エタン、１、１−ビス（４−ヒドロキシフェニル）−１−フェニルエタン、１，１−ビス（４−ヒドロキシフェニル）−１−｛４−〔１−（ヒドロキシフェニル）−１−メチルエチル〕フェニル｝エタン等のような（ポリ）ヒドロキシフェニルアルカンの１，２−キノンジアジドスルホン酸エステル；２，４，４−トリメチル−２′，４′，７−トリヒドロキシ−２−フェニルフラバン、２，４，４−トリメチル−２′，４′，５′，６，７−ペンタヒドロキシ−２−フェニルフラバン等のような（ポリ）ヒドロキシフェニルフラバンの１，２−キノンジアジドスルホン酸エステルである。
【０１５３】
本発明のポジ型及びネガ型フォトレジスト組成物は、場合によりフォトレジストに慣用的に使用される１種以上の添加剤（ｃ）を当業者に慣用の量で含むことができ、例えば、染料、顔料、可塑剤、界面活性剤、流動性向上剤、湿潤剤、定着剤、チキソトロピー剤、着色剤、充填剤、溶解促進剤、酸増幅剤、光増感剤及び塩基性有機化合物である。
【０１５４】
本発明のレジスト組成物に使用することができる塩基性有機化合物の例は、フェノールよりも強い塩基性の化合物、特に窒素含有塩基性化合物である。これらの化合物は、例えばテトラアルキルアンモニウム塩のようなイオン性、又は非イオン性であってよい。好ましい塩基性有機化合物は、異なる化学環境を有する窒素原子を、１分子当たり２個以上有する窒素含有塩基性化合物である。特に好ましくは、置換又は非置換のアミノ基少なくとも１個と窒素含有環構造の少なくとも１個の両方を含有する化合物、及びアルキルアミノ基の少なくとも１個を有する化合物である。そのような好ましい化合物の例には、グアニジン、アミノピリジン、アミノアルキルピリジン、アミノピロリジン、インダゾール、イミダゾール、ピラゾール、ピラジン、ピリミジン、プリン、イミダゾリン、ピラゾリン、ピペラジン、アミノモルホリン及びアミノアルキルモルホリンが含まれる。適切には、非置換の化合物又は置換されているそれらの誘導体の両方である。好ましい置換基には、アミノ、アミノアルキル基、アルキルアミノ基、アミノアリール基、アリールアミノ基、アルキル基、アルコキシ基、アシル基、アシルオキシ基、アリール基、アリールオキシ基、ニトロ、ヒドロキシ及びシアノが含まれる。特に好ましい塩基性有機化合物の特定の例には、グアニジン、１，１−ジメチルグアニジン、１，１，３，３−テトラメチルグアニジン、２−アミノピリジン、３−アミノピリジン、４−アミノピリジン、２−ジメチルアミノピリジン、４−ジメチルアミノピリジン、２−ジエチルアミノピリジン、２−（アミノメチル）ピリジン、２−アミノ−３−メチルピリジン、２−アミノ−４−メチルピリジン、２−アミノ−５−メチルピリジン、２−アミノ−６−メチルピリジン、３−アミノエチルピリジン、４−アミノエチルピリジン、３−アミノピロリジン、ピペラジン、Ｎ−（２−アミノエチル）ピペラジン、Ｎ−（２−アミノエチル）ピペリジン、４−アミノ−２，２，６，６−テトラメチルピペリジン、４−ピペリジノピペリジン、２−イミモピペリジン、１−（２−アミノエチル）ピロリジン、ピラゾール、３−アミノ−５−メチルピラゾール、５−アミノ−３−メチル−１−ｐ−トリルピラゾール、ピラジン、２−（アミノメチル）−５−メチルピラジン、ピリミジン、２，４−ジアミノピリミジン、４，６−ジヒドロキシピリミジン、２−ピラゾリン、３−ピラゾリン、Ｎ−アミノモルホリン及びＮ−（２−アミノエチル）モルホリンが含まれる。
適切な塩基性有機化合物の他の例は、ＤＥ４４０８３１８、ＵＳ５６０９９８９、ＵＳ５５５６７３４、ＥＰ７６２２０７、ＤＥ４３０６０６９、ＥＰ６１１９９８、ＥＰ ８１３１１３、ＥＰ６１１９９８及びＵＳ５４９８５０６に記載されている。しかし、本発明に適切な塩基性有機化合物は、これらの例に限定されない。
窒素含有塩基性化合物は、単独で、又はその２種以上を組み合わせて使用してよい。窒素含有塩基性化合物の添加量は、感光性樹脂組成物（溶媒を除く）の１００重量部当たり、通常０．００１〜１０重量部、好ましくは０．０１〜５重量部である。その量が０．００１重量部よりも少ない場合、本発明の効果を得ることができない。一方、１０重量部を超える場合、感受性の減少及び非暴露部分の現像性に障害が起きやすくなる。
組成物は、例えば、ＥＰ７１０８８５、ＵＳ５６６３０３５、ＵＳ５５９５８５５、ＵＳ５５２５４５３及びＥＰ６１１９９８に記載されているように、化学線で分解する塩基性有機化合物〔「自殺塩基」("suicidebase")〕を更に含有することができる。
【０１５５】
本発明の組成物に適切な染料（ｃ）の例は、油溶性染料及び塩基性染料、例えば、OilYellow #101、OilYellow #103、OilPink #312、OilGreen BG、OilBlue BOS、OilBlue #603、OilBlack BY、OilBlack BS、OilBlack T-505（全てOrient Chemical Industries Ltd., Japan）、クリスタルバイオレット（ＣＩ４２５５５）、メチルバイオレット、（ＣＩ４２５３５）、ローダミンＢ（ＣＩ４５１７０Ｂ）、マラカイトグリーン（ＣＩ４２０００）及びメチレンブルー（ＣＩ５２０１５）である。
【０１５６】
スペクトル増感剤（ｅ）を更に加えて、遠紫外線よりも長い波長の領域で吸収を示すように光潜在的酸を増感することができ、それにより、本発明の感光性組成物を、例えば、ｉ線又はｇ線放射線に敏感にすることができる。適切なスペクトル増感剤の例には、ベンゾフェノン、ｐ，ｐ′−テトラメチルジアミノベンゾフェノン、ｐ，ｐ′−テトラエチルエチルアミノベンゾフェノン、チオキサントン、２−クロロチオキアントン、４−プロポキシ−２−クロロ−チオキサントン、アントロン、アントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、ピレン、ペリレン、フェノチアジン、ベンジル、アクリジンオレンジ、ベンゾフラビン、セトフラビンＴ、９，１０−ジフェニルアントラセン、９−フルオレノン、アセトフェノン、フェナントレン、２−ニトロフルオレン、５−ニトロアセナフテン、ベンゾキノン、２−クロロ−４−ニトロアニリン、Ｎ−アセチル−ｐ−ニトロアニリン、ｐ−ニトロアニリン、Ｎ−アセチル−４−ニトロ−１−ナフチルアミン、ピクラミド、アントラキノン、２−エチルアントラキノン、２−tert−ブチルアントラキノン、１，２、−ベンズアントラキノン、３−メチル−１，３−ジアザ−１，９−ベンズアントロン、ジベンザルアセトン、１，２−ナフトキノン、３−アシルクマリン誘導体、３，３′−カルボニル−ビス（５，７−ジメトキシカルボニルクマリン）、３−（アロイルメチレン）チアゾリン、エオシン、ローダミン、エリトロシン及びコロネンが含まれる。しかし、適切なスペクトル増感剤は、これらの例に限定されない。
これらのスペクトル増感剤は、光源から放射される遠紫外線を吸収する光吸収剤として使用することもできる。この場合、光吸収剤は、基材からの光の反射を減少させ、レジストフィルム内の多重反射の影響を軽減し、それにより、定常波の影響を減少させる。
【０１５７】
更なる適切な添加剤（ｃ）は、「酸増幅剤（acid-amplifiers）」であり、それは酸形成を加速させるか、又は酸濃度を上昇させる化合物である。そのような化合物は、また、ポジ型若しくはネガ型レジストにおける本発明の式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）のオニウム塩と組み合わせて、又は結像系並びに全ての被覆用途において使用することができる。そのような酸増幅剤は、例えば、Arimitsu, K. et al. J. Photopolym. Sci. Technol. 1995, 8, pp 43;Kudo, K. et al. J. Photopolym. Sci. Technol. 1995, 8, pp 45; Ichimura, K. et al. Chem:Letters 1995, pp 551に記載されている。
【０１５８】
通常、本発明の感光性組成物を基材に塗布するには、組成物を適切な溶媒に溶解する。これらの溶媒の好ましい例には、二塩化エチレン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、２−ヘプタノン、γ−ブチロラクトン、メチルエチルケトン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、２−メトキシエチルアセタート、２−エトキシエチルアセタート、２−エトキシエタノール、ジエチルグリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセタート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセタート、トルエン、酢酸エチル、乳酸メチル、乳酸エチル、メチルメトキシプロピオナート、エチルエトキシプロピオナート、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、Ｎ−メチルピロリドン及びテトラヒドロフランが含まれる。これらの溶媒は単独で、又は混合物として使用することができる。溶媒の好ましい例は、エステル類、例えば、２−メトキシエチルアセタート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセタート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセタート、メチルメトキシプロピオナート、エチルエトキシプロピオナート及び乳酸エチルである。そのような溶媒の使用は、本発明の式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）で表されるオニウム塩が、溶媒と良好な相溶性を有し、溶媒中でより良好な溶解性を有するために有利である。
【０１５９】
界面活性剤を溶媒に加えることができる。適切な界面活性剤の例には、非イオン性界面活性剤、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、例としては、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンアセチルエーテル及びポリオキシエチレンオレイルエーテル；ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、例としてはポリオキシエチレンオクチルフェノールエーテル及びポリオキシエチレンノニルフェノールエーテル；ポリオキシエチレン／ポリオキシプロピレンブロックコポリマー、ソルビタン／脂肪酸エステル、例としてはソルビタンモノラウラート、ソルビタンモノパルミタート、ソルビタンモノステアラート、ソルビタンモノオレアート、ソルビタントリオレアート；フルオロケミカル界面活性剤、例えば、F-topEF301、EF303及びEF352（New Akita ChemicalCompany, Japan）、Megafac F171及びF17.3（Dainippon Ink & Chemicals, Inc,. Japan）, Fluorad FC430及びFC431（Sumitomo #M Ltd.,Japan）、AsahiGuard AG710及びSurflonS-382、SC101、SC102、SC103、SC104、SC105及びSC106 (Asahi Grass Col,Ltd., Japan)；オルガノシロキサンポリマーKP341 (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., Japan); 並びにアクリル又はメタクリル（コ）ポリマーPoly-flowNow.75及びNO.95(Kyoeisha Chemical Co., Ltd., Japan)が含まれる。界面活性剤の添加量は、本発明の組成物の固体成分１００重量部当たり、通常２重量％以下、望ましくは０．１重量部以下である。界面活性剤は、単独で、又はその２種以上を組み合わせて使用することができる。
【０１６０】
溶液は既知の被覆方法、例えば、スピンコート、浸漬、ナイフコート、カーテンコート技術、はけ塗り、スプレー及びロールコートにより基材に均一に塗布される。感光層を仮の可とう性軟質支持体に塗布し、次に被膜の移転（積層）により最終基材を被覆することも可能である。
塗布量（被覆厚）及び基材の性質（被覆基材）は、所望の適用分野により左右される。被覆厚の範囲は、原則的に、約０．０１μmから１００μmを超える値を含むことができる。
【０１６１】
被覆操作の後、一般的に溶媒を加熱して除去し、その結果、基材上にフォトレジストの層を得る。乾燥温度が、レジストの特定の成分が反応又は分解する温度よりも低いことは当然である。一般的に、乾燥温度は６０〜１６０℃の範囲である。
【０１６２】
次にレジスト被覆を、像様式に照射する。表現「像様式に照射する」は、化学線を使用する所定のパターンによる照射、すなわち、所定のパターンを含むマスク、例えば、透明マスク、クロムマスク又は網線を通す照射、及び例えばコンピューター制御によりレジスト表面に直接書き込み、像を作り出すレーザー光線及び電子ビームを使用する照射の両方を含む。パターンを製造する他の方法は、例えばホログラフ用途に使用されるように、２個のビーム又は像を干渉させる方法である。例えば、A.Bertsch; J.Y. Jezequel; J.C. Andre in Journal of Photochemistry and PhotobiologyA: Chemistry 1997, 107 pp. 275-281 and by K. P. Nicolay in Offset Printing1997, 6, pp. 34-37に記載のように、画素を１個ずつアドレスしてデジタル画像を生成できる液晶製のマスクの使用も可能である。
【０１６３】
照射、そして必要であれば熱処理の後、組成物の照射された部位（ポジ型レジストの場合）又は非照射部位（ネガ型レジストの場合）を、現像液を使用してそれ自体既知の方法により除去する。
触媒反応を加速させ、したがって現像液中でレジスト被覆の照射部分と非照射部分の溶解度に十分な差を発生させるために、好ましくは被覆を現像する前に加熱する。加熱は、照射の間に実施又は開始することもできる。６０〜１６０℃の温度が好ましく使用される。時間の長さは加熱方法に左右され、必要であれば最適な長さは、数回の所定の実験によって当業者により容易に決定することができる。一般的に数秒から数分である。例えば、ホットプレートを使用する場合、１０〜３００秒の長さが極めて適切であり、対流式オーブンを使用する場合、１〜３０分の長さが極めて適切である。レジストの非照射部位において、本発明の潜在的酸供与体がこれらの加工条件下で安定であることが重要である。
【０１６４】
次に被覆を現像し、照射後に現像液においてより可溶になった被覆部分を除去する。必要であれば、加工物を僅かに撹拌する、現像液浴中で被膜を穏やかにはけ塗りする、又は噴霧現像すると、この加工工程を加速することができる。レジスト技術に慣用のアルカリ現像水溶液を、例えば現像に使用してよい。そのような現像液には、例えば、水酸化ナトリウム又は水酸化カリウム、対応する炭酸塩、炭酸水素塩、ケイ酸塩又はメタケイ酸塩、好ましくは金属非含有塩基、例えば、アンモニア又はアミン、例としては、エチルアミン、ｎ−プロピルアミン、ジエチルアミン、ジ−ｎ−プロピルアミン、トリエチルアミン、メチルジエチルアミン、アルカノールアミン、例としては、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、第四級水酸化アンモニウム、例としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド又はテトラエチルアンモニウムヒドロキシドが含まれる。現像液は、一般的に０．５Nまでであるが、通常、使用前に適切な方法で希釈される。例えば、約０．１〜０．３の規定度を有する溶液が好適である。現像液の選択は、光硬化性表面被覆の性質、特に使用される結合剤又は得られる光分解生成物の性質に左右される。現像水溶液は、必要であれば比較的少量の湿潤剤及び／又は有機溶媒も含有してよい。現像液に添加できる典型的な有機溶媒は、例えば、シクロヘキサノン、２−エトキシエタノール、トルエン、アセトン、イソプロパノール及びこれらの溶媒２種以上の混合物である。典型的な水性／有機現像液系は、Butylcellosolve（登録商標）／水に基づいている。
【０１６５】
本発明の主題は、また、
（１）基材に上記の組成物を塗布し；
（２）６０℃〜１６０℃の温度で組成物を塗布後ベーキング（post apply baking）し；
（３）波長１５０nm〜１５００nmの光により像様式に照射し；
（４）場合により、６０℃〜１６０℃の温度で組成物を暴露後ベーキングし；及び
（５）溶媒又はアルカリ現像水溶液で現像する、フォトレジストの製造方法である。
【０１６６】
好ましくは、像様式照射が１５７〜４５０nmの範囲、特に１９０〜２６０nmの範囲の波長の単色又は多色照射を用いて実施される方法である。
【０１６７】
フォトレジスト組成物は、全ての基材に、当業者に既知の全ての暴露技術を用いて使用することができる。例えば、ケイ素、ヒ化ガリウム、ゲルマニウム、アンチモン化インジウムのような半導体基板、更に、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、窒化チタン、シロキサンのような酸化物又は窒化物層で覆われた基材、並びに、金属基板及びアルミニウム、銅、タングステン等のような金属による金属被覆基材が使用できる。基材を、フォトレジストによる被覆の前に、ポリマー材料、例えばポリマー材料の有機反射防止被膜、絶縁層及び誘電皮膜により被膜することもできる。
【０１６８】
フォトレジスト層を、直接書き込みのような全ての慣用の技術、すなわち、レーザー光線又は投射リソグラフィーによるステップアンドリピートモード若しくはスキャンモード、又はマスクを通した密着プリンティングにより暴露できる。
【０１６９】
投射リソグラフィーの場合、干渉性、部分的な干渉性又は非干渉性照射のような広範囲の光学的条件が使用できる。これには、軸外照明技術、例えば、レンズの中心を除くレンズの特定の領域のみに放射線を通過させる環状照明及び四極照明が含まれる。
【０１７０】
パターンを複製するために使用されるマスクには、硬質マスク又は軟性マスクが使用できる。マスクは、透明、半透明及び不透明のパターンを含むことができる。パターンの寸法は、投射光学機器の解像限度又はそれより小さく、マスクを通過した後の照射の空中像、強度及び位相変調を変更するような特定の方向でマスク上に設けられたパターンを含むこともできる。これには、位相シフトマスク及びハーフトーン位相シフトマスクが含まれる。
【０１７１】
フォトレジスト組成物のパターン加工は、あらゆる所望の幾何学及び形状、例えば、密集及び分離線、コンタクトホール、溝、点等のパターンを発生させるために使用することができる。
【０１７２】
本発明のフォトレジストは、優れたリソグラフィー特性、特に、高い感受性及び像様式放射のための高いレジスト透明性を有する。
【０１７３】
本発明の組成物の使用に可能な領域は次である。エッチングレジスト、電気めっきレジスト又は半田レジストのような電子光学用フォトレジストとしての使用、集積回路又は薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）レジストの製造、オフセット印刷版又はスクリーン印刷ステンシルのような印刷版の製造、成形品のエッチング又は立体リソグラフィー印刷若しくはホログラフ技術における使用。被覆基材及び加工条件は適宜変更される。
【０１７４】
本発明の組成物は、また、木材、織物、紙、セラミック、ガラス、特に膜の形態のポリエステル、ポリエチレンテレフタラート、ポリオレフィン又は酢酸セルロースのようなプラスチックを含むあらゆる種類の基材の被覆組成物として、しかし、特にＮｉ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｍｇ、Ｃｏ又は特にＣｕ及びＡｌ、また、Ｓｉ、酸化ケイ素及び窒化ケイ素のような金属の被覆に極めて適切であり、それらに像様式照射により像が適用される。
【０１７５】
本発明は、また、酸の作用下で架橋されうる組成物における感光性酸供与体として、及び／又は酸の作用下で溶解度が増加される組成物における溶解向上剤としての、式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物の使用に関する。
更に、本発明の主題は、酸の作用下で架橋されうる化合物を架橋する方法であって、式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）及び／又は（IIｃ）の化合物を上記化合物に加え、波長１５０〜１５００nmを有する光により像様式に、又は全面を照射することを含む方法である。
【０１７６】
本発明は、また、表面被覆、印刷インク、印刷版、歯科組成物、カラーフィルタ、レジスト又は像記録材料若しくはホログラフ像を記録する像記録材料の製造における感光性酸供与体としての式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物の使用、並びに表面被覆、印刷インク、印刷版、歯科組成物、カラーフィルタ、レジスト材料又は像記録材料若しくはホログラフ像を記録する像記録材料の製造方法に関する。
本発明の主題は、また、カラーフィルタ又は化学増幅型レジスト材料の製造における感光性酸供与体としての式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物の使用である。
【０１７７】
既に前述したように、光架橋性組成物において、オニウム塩は、光で照射されると酸を放出し、それが架橋反応に触媒作用を及ぼす、潜硬化触媒として作用する。加えて、放射により放出された酸は、例えば、ポリマー構造からの適切な酸感受性保護基の除去に、又はポリマー主鎖に酸感受性基を含有するポリマーの開裂に触媒作用を及ぼすことができる。他の用途は、例えば、酸感受性保護基で保護されている顔料のｐＨ又は溶解度の変化に基づく、例えば、変色系である。
【０１７８】
本発明のオニウム塩は、また、例えば、ＪＰ 平 ４ ３２８５５２−Ａ又はＵＳ５２３７０５９に記載されているように、化合物が、ｐＨが変化すると色彩が変化する着色剤と共に使用される場合、いわゆる「プリントアウト」画像の生成に使用することができる。そのような変色系は、ＥＰ１９９６７２に従って、また、熱又は放射線に感受性のある製品をモニターするために、使用することができる。
変色に加えて、可溶性顔料分子の酸触媒脱保護（ＥＰ６４８７７０、ＥＰ６４８８１７及びＥＰ７４２２５５に記載されている）の間に顔料結晶を沈殿させることが可能であり、これは、潜顔料前駆体の色彩が、沈殿した顔料結晶の色彩と異なる場合、例えばＥＰ６５４７１１に記載のカラーフィルタの製造に使用できるか、又は印刷画像及び表示器の用途に使用することができる。
【０１７９】
ｐＨ感受性染料又は潜顔料をオニウム塩と組み合わせて使用する組成物は、γ線、電子ビーム、ＵＶ若しくは可視光線のような電磁線の指示器、又は簡単な使い捨て計量計として使用することができる。特に、ＵＶ又はＩＲ光のようなヒトの目に不可視の光には、そのような計量計が興味深い。
【０１８０】
最後に、アルカリ現像水溶液において可溶性が乏しいオニウム塩は、光誘導変換により遊離酸にして現像液に可溶性にすることができ、それにより、これらを適切な膜形成樹脂と組み合わせて溶解性向上剤として使用することができる。
【０１８１】
酸触媒により架橋されうる、したがって式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の光潜在的酸により架橋されうる樹脂は、例えば、多官能価アルコール、又はヒドロキシ基含有アクリル及びポリエステル樹脂、又は部分的に加水分解されているポリビニルアセタール若しくはポリビニルアルコールと多官能価アセタール誘導体との混合物である。特定の条件下、例えば、アセタール官能化樹脂の酸触媒自己縮合も可能である。
【０１８２】
適切な酸硬化性樹脂は、一般的に、その硬化が酸触媒により加速されうる全ての樹脂、例えば、アミノプラスト又はフェノールレゾール樹脂である。これらの樹脂は、例えば、メラミン、尿素、エポキシ、フェノール、アクリル、ポリエステル及びアルキド樹脂であるが、特にアクリル、ポリエステル又はアルキド樹脂とメラミン樹脂の混合物である。また、含まれるものは、変性された表面被覆樹脂、例えば、アクリル変性ポリエステル及びアルキド樹脂である。アクリル、ポリエステル及びアルキド樹脂の表現に網羅される樹脂の個別の種類は、例えば、Wagner, Sarx, Lackkunstharze (Munich, 1971), pp. 86-123 and pp.229-238, 又は Ullmann, Encyclopaedie der techn. Chemie, 4th Ed., Vol. 15 (1978),pp. 613-628, 若しくは Ullmann’s Encyclopedia of Industrial Chemistry, Verlag Chemie, 1991, Vol.18, p. 360 ff., Vol. A19, p. 371 ff.に記載されている。
【０１８３】
被覆用途において、表面被覆は、好ましくはアミノ樹脂を含む。その例は、エーテル化または非エーテル化メラミン、尿素、グアニジン又はビウレット樹脂である。酸触媒は、メチル化又はブチル化メラミン樹脂（Ｎ−メトキシメチル−若しくはＮ−ブトキシメチル−メラミン）又はメチル化／ブチル化グリコールウリルのようなエーテル化アミノ樹脂を含む表面被覆の硬化に特に重要である。他の樹脂組成物の例は、多官能価アルコール、又はヒドロキシ基含有アクリル及びポリエステル樹脂、又は部分的に加水分解されているポリビニルアセタート若しくはポリビニルアルコールと、３，４−ジヒドロ−２Ｈ−ピラン−２−カルボン酸の誘導体ような多官能価ジヒドロプロパニル誘導体との混合物である。ポリシロキサンも、酸触媒を使用して架橋されうる。これらのシロキサン基含有樹脂は、例えば、酸触媒加水分解により自己縮合することができるか、又は多官能価アルコール、ヒドロキシ基含有アクリル若しくはポリエステル樹脂、部分的に加水分解されているポリビニルアセタート若しくはポリビニルアルコールのような第二の成分と架橋できるかのいずれかである。この種のポリシロキサンの重縮合は、例えば、J.J.Lebrun, H. Pode, Comprehensive Polymer Science, Vol. 5, p. 593, Pergamon Press,Oxford, 1989に記載されている。表面被覆の製造に適切な他の陽イオン重合性材料は、陽イオン機構により重合されうるエチレン性不飽和化合物であり、例えば、ビニルエーテル、例としてはメチルビニルエーテル、イソブチルビニルエーテル、トリメチロールプロパントリビニルエーテル、エチレングリコールジビニルエーテル；環状ビニルエーテル、例としては３，４−ジヒドロ−２−ホルミル−２Ｈ−ピラン（二量体アクロレイン）又は２−ヒドロキシメチル−３，４−ジヒドロ−２Ｈ−ピランの３，４−ジヒドロ−２Ｈ−ピラン−２−カルボン酸エステル；ビニルエステル、例としては酢酸ビニル及びステアリン酸ビニル；モノ−及びジオレフィン、例としてはα−メチルスチレン、Ｎ−ビニルピロリドン又はＮ−ビニルカルバゾールである。
【０１８４】
特定の目的のため、重合性不飽和基を含むモノマー又はオリゴマー構成性分を有する樹脂混合物が使用される。そのような表面被覆を、式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物を使用して硬化することもできる。そのために、ラジカル重合開始剤又は光開始剤を追加的に使用することができる。前者は加熱処理の間に不飽和基の重合を開始させ、後者はＵＶ照射の間に重合を開始させる。
【０１８５】
本発明は、また、
（ａ）酸の作用で硬化する化合物、又は酸の作用でその溶解度が増加する化合物；及び
（ｂ）感光性酸供与体として、上記の式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物の少なくとも１種を含む組成物に関する。
【０１８６】
式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物は、それぞれ一般的に、０．１〜３０重量％、例えば、０．５〜１０重量％、特に１〜５重量％の量で組成物に添加される。
【０１８７】
本発明によると、式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物は、更なる感光性酸供与体化合物（ｂ１）、更なる光開始剤（ｄ）、増感剤（ｅ）及び／又は添加剤（ｃ）と共に使用することができる。
適切な感光性酸供与体化合物（ｂ１）、増感剤（ｅ）及び添加剤（ｃ）は上記に記載されている。
【０１８８】
追加の光開始剤（ｄ）の例は、ラジカル光開始剤、例えば、ベンゾフェノン、アセトフェノン誘導体の類からのものであり、例えば、α−ヒドロキシシクロアルキルフェニルケトン、ジアルコキシアセトフェノン、α−ヒドロキシ−若しくはα−アミノ−アセトフェノン、４−アロイル−１，３−ジオキソラン、ベンゾインアルキルエーテル及びベンジルケタール、モノアシルホスフィンオキシド、ビスアシルホスフィンオキシド又はチタノセンである。特に適切な追加の光開始剤の例は次である：１−（４−ドデシルベンゾイル）−１−ヒドロキシ−１−メチル−エタン、１−（４−イソプロピルベンゾイル）−１−ヒドロキシ−１−メチル−エタン、１−ベンゾイル−１−ヒドロキシ−１−メチル−エタン、１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）−ベンゾイル〕−１−ヒドロキシ−１−メチル−エタン、１−〔４−（アクリロイルオキシエトキシ）−ベンゾイル〕−１−ヒドロキシ−１−メチル−エタン、ジフェニルケトン、フェニル−１−ヒドロキシ−シクロヘキシルケトン、（４−モルホリンベンゾイル）−１−ベンジル−１−ジメチルアミノ−プロパン、１−（３，４−ジメトキシフェニル）−２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−ブタン−１−オン、（４−メチルチオベンゾイル）−１−メチル−１−モルホリン−エタン、ベンジルジメチルケタール、ビス（シクロペンタジエニル）−ビス（２，６−ジフルオロ−３−ピリル−フェニル）チタン、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、ビス（２，６−ジメトキシ−ベンゾイル）−（２，４，４−トリメチル−ペンチル）−ホスフィンオキシド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−２，４−ジペンチルオキシフェニル−ホスフィンオキシド又はビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニル−ホスフィンオキシド。更なる適切な追加の光開始剤は、ＵＳ４９５０５８１、第２０欄、３５行目から第２１欄３５行目において見出される。他の例は、トリハロメチルトリアジン誘導体又はヘキサアリールビスイミダゾリル化合物である。追加の光開始剤の更なる例は、例えば、ＵＳ４７７２５３０、ＥＰ７７５７０６、ＧＢ２３０７４７４、ＧＢ２３０７４７３及びＧＢ２３０４４７２に記載されているボラート化合物である。ボラート化合物は、好ましくは、例えば染料陽イオンのような電子受容体化合物又はチオキサントン誘導体と組み合わせて使用される。
【０１８９】
追加の光開始剤の更なる例は、過酸化物化合物、例えば、過酸化ベンゾイル（他の適切な過酸化物はＵＳ４９５０５８１、第１９欄、１７行目から２５行目に記載されている）、又は陽イオン性光開始剤、例えば、芳香族スルホニウム若しくはヨードニウム塩、例えば、ＵＳ４９５０５８１、第１８欄、６０行目から第１９欄、１０行目に見られるもの、又はシクロペンタジエニル−アレーン−鉄（II）錯体塩、例えば、（η6−イソプロピルベンゼン）（η5−シクロペンタジエニル）−鉄（II）ヘキサフルオロホスファートである。
【０１９０】
表面被覆は、有機溶媒又は水中の表面被覆樹脂の溶液又は分散体であってよいが、溶媒なしでもよい。特に興味深いものは、低溶媒含有量を有する表面被覆、いわゆる「ハイソリッド表面被覆」及び粉末被覆組成物である。表面被覆は、例えば、多層コーティング用の仕上ラッカーとして自動車産業に使用されるクリアラッカーであってよい。これらは、また顔料及び／又は充填剤（無機又は有機化合物であってよい）、並びに金属効果仕上用の金属粉末を含むこともできる。
【０１９１】
表面被覆は、また、比較的少量の表面被覆技術に慣用の特別な添加剤、例えば、流動性向上剤、チキソトロピー剤、均展剤、消泡剤、湿潤剤、定着剤、光安定剤、酸化防止剤又は増感剤を含むことができる。
【０１９２】
ＵＶ吸収剤、例えば、ヒドロキシフェニル−ベンゾトリアゾール、ヒドロキシフェニル−ベンゾフェノン、シュウ酸アミド又はヒドロキシフェニル−ｓ−トリアジン型のものを、本発明の組成物に光安定剤として加えることができる。個別の化合物又はそれらの化合物の混合物は、立体障害アミン（ＨＡＬＳ）を加えて、又は加えないで使用することができる。
【０１９３】
そのようなＵＶ吸収剤及び光安定剤の例は下記である。
１．２−（２′−ヒドロキシフェニル）−ベンゾトリアゾール類、例えば、２−（２′−ヒドロキシ−５′−メチルフェニル）−ベンゾトリアゾール、２−（３′，５′−ジ−tert−ブチル−２′−ヒドロキシフェニル）−ベンゾトリアゾール、２−（５′−tert−ブチル−２′−ヒドロキシフェニル）−ベンゾトリアゾール、２−（２′−ヒドロキシ−５′−（１，１，３，３−テトラメチルブチル）フェニル）−ベンゾトリアゾール、２−（３′，５′−ジ−t−ブチル−２′−ヒドロキシフェニル）−５−クロロ−ベンゾトリアゾール、２−（３′−tert−ブチル−２′−ヒドロキシ−５′−メチルフェニル）−５−クロロ−ベンゾトリアゾール、２−（３′−sec−ブチル−５′−tert−ブチル−２′−ヒドロキシフェニル）−ベンゾトリアゾール、２−（２′−ヒドロキシ−４′−オクチルオキシフェニル）−ベンゾトリアゾール、２−（３′，５′−ジ−tert−アミル−２′−ヒドロキシフェニル）−ベンゾトリアゾール、２−（３′，５′−ビス（α，α−ジメチルベンジル）−２′−ヒドロキシフェニル）−ベンゾトリアゾール、２−（３′−tert−ブチル−２′−ヒドロキシ−５′−（２−オクチルオキシカルボニルエチル）フェニル）−５−クロロ−ベンゾトリアゾールと、２−（３′−tert−ブチル−５′−〔２−（２−エチル−ヘキシルオキシ）−カルボニルエチル〕−２′−ヒドロキシフェニル）−５−クロロ−ベンゾトリアゾールと、２−（３′−tert−ブチル−２′−ヒドロキシ−５′−（２−メトキシカルボニルエチル）フェニル）−５−クロロ−ベンゾトリアゾールと、２−（３′−tert−ブチル−２′−ヒドロキシ−５′−（２−メトキシカルボニルエチル）フェニル）−ベンゾトリアゾールと、２−（３′−tert−ブチル−２′−ヒドロキシ−５′−（２−オクチルオキシカルボニルエチル）フェニル）−ベンゾトリアゾールと、２−（３′−tert−ブチル−５′−〔２−（２−エチルヘキシルオキシ）カルボニルエチル〕−２′−ヒドロキシフェニル）−ベンゾトリアゾールと、２−（３′−ドデシル−２′−ヒドロキシ−５′−メチルフェニル）−ベンゾトリアゾールと、２−（３′−tert−ブチル−２′−ヒドロキシ−５′−（２−イソオクチルオキシカルボニルエチル）フェニル−ベンゾトリアゾールとの混合物、２，２′−メチレン−ビス〔４−（１，１，３，３−テトラメチルブチル）−６−ベンゾトリアゾール−２−イル−フェノール〕；２−〔３′−tert−ブチル−５′−（２−メトキシカルボニルエチル）−２′−ヒドロキシ−フェニル〕−ベンゾトリアゾールとポリエチレングリコール３００とのエステル交換生成物；〔Ｒ−ＣＨ2ＣＨ2−ＣＯＯ（ＣＨ2）3〕2−（ここで、Ｒ＝３′−tert−ブチル−４′−ヒドロキシ−５′−２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イルフェニル）。
２．２−ヒドロキシベンゾフェノン類、例えば、４−ヒドロキシ、４−メトキシ、４−オクチルオキシ、４−デシルオキシ、４−ドデシルオキシ、４−ベンジルオキシ、４，２′，４′−トリヒドロキシ又は２′−ヒドロキシ−４，４′−ジメトキシ誘導体。
３．非置換か又は置換されている安息香酸のエステル類、例えば、４−tert−ブチル−フェニルサリチラート、フェニルサリチラート、オクチルフェニルサリチラート、ジベンゾイルレゾルシノール、ビス（４−tert−ブチルベンゾイル）レゾルシノール、ベンゾイルレゾルシノール、３，５−ジ−tert−ブチル−４−ヒドロキシ安息香酸２，４−ジ−tert−ブチルフェニルエステル、３，５−ジ−tert−ブチル−４−ヒドロキシ安息香酸ヘキサデシルエステル、３，５−ジ−tert−ブチル−４−ヒドロキシ安息香酸オクタデシルエステル、３，５−ジ−tert−ブチル−４−ヒドロキシ安息香酸２−メチル−４，６−ジ−tert−ブチルフェニルエステル。
４．アクリラート類、例えば、α−シアノ−β，β−ジフェニルアクリル酸エチルエステル又はイソオクチルエステル、α−カルボメトキシ−ケイ皮酸メチルエステル、α−シアノ−β−メチル−ｐ−メトキシ−ケイ皮酸メチルエステル又はブチルエステル、α−カルボメトキシ−ｐ−メトキシ−ケイ皮酸メチルエステル、Ｎ−（β−カルボメトキシ−β−シアノビニル）−２−メチル−インドリン。
５．立体障害アミン類、例えば、ビス（２，２，６，６−テトラメチル−ピペリジル）セバカート、ビス（２，２，６，６−テトラメチル−ピペリジル）スクシナート、ビス（１，２，２，６，６−ペンタメチルピペリジル）セバカート、ｎ−ブチル−３，５−ジ−tert−ブチル−４−ヒドロキシベンジル−マロン酸ビス（１，２，２，６，６−ペンタメチルピペリジル）エステル、１−ヒドロキシエチル−２，２，６，６−テトラメチル−４−ヒドロキシピペリジンとコハク酸の縮合物、Ｎ，Ｎ′−ビス（２，２，６，６−テトラメチル−４−ピペリジル）ヘキサメチレンジアミンと４−tert−オクチルアミノ−２，６−ジクロロ−１，３，５−ｓ−トリアジンの縮合物、トリス（２，２，６，６−テトラメチル−４−ピペリジル）ニトリロトリアセタート、テトラキス（２，２，６，６−テトラメチル−４−ピペリジル）−１，２，３，４−ブタンテトラオアート、１，１′−（１，２−エタンジイル）−ビス（３，３，５，５−テトラメチル−ピペラジノン）、４−ベンゾイル−２，２，６，６−テトラメチルピペリジン、４−ステアリルオキシ−２，２，６，６−テトラメチルピペリジン、ビス（１，２，２，６，６−ペンタメチルピペリジル）−２−ｎ−ブチル−２−（２−ヒドロキシ−３，５−ジ−tert−ブチルベンジル）マロナート、３−ｎ−オクチル−７，７，９，９−テトラメチル−１，３，８−トリアザスピロ〔４．５〕デカン−２，４−ジオン、ビス（１−オクチルオキシ−２，２，６，６−テトラメチルピペリジル）セバカート、ビス（１−オクチルオキシ−２，２，６，６−テトラメチルピペリジル）スクシナート、Ｎ，Ｎ′−ビス（２，２，６，６−テトラ−メチル−４−ピペリジル）ヘキサメチレンジアミンと４−モルホリノ−２，６−ジクロロ−１，３，５−トリアジンの縮合物、２−クロロ−４，６−ジ（４−ｎ−ブチルアミノ−２，２，６，６−テトラメチルピペリジル）−１，３，５−トリアジンと１，２−ビス（３−アミノプロピルアミノ）エタンの縮合物、２−クロロ−４，６−ジ（４−ｎ−ブチルアミノ−１，２，２，６，６−ペンタメチルピペリジル）−１，３，５−トリアジンと１，２−ビス（３−アミノプロピルアミノ）エタンの縮合物、８−アセチル−３−ドデシル−７，７，９，９−テトラメチル−１，３，８−トリアザスピロ〔４．５〕デカン−２，４−ジオン、３−ドデシル−１−（２，２，６，６−テトラメチル−４−ピペリジル）ピロリジン−２，５−ジオン、３−ドデシル−１−（１，２，２，６，６−ペンタメチル−４−ピペリジル）−ピロリジン−２，５−ジオン。
６．シュウ酸ジアミド類、例えば、４，４′−ジオクチルオキシ−オキサニリド、２，２′−ジエトキシ−オキサニリド、２，２′−ジ−オクチルオキシ−５，５′−ジ−tert−ブチル−オキサニリド、２，２′−ジドデシルオキシ−５，５′−ジ−tert−ブチル−オキサニリド、２−エトキシ−２′−エチル−オキサニリド、Ｎ，Ｎ′−ビス（３−ジメチルアミノプロピル）オキサルアミド、２−エトキシ−５−tert−ブチル−２′−エチルオキサニリド及びこれと２−エトキシ−２′−エチル−５，４′−ジ−tert−ブチル−オキサニリドとの混合物、ｏ−とｐ−メトキシ−及びｏ−とｐ−エトキシ−ジ−置換オキサニリドとの混合物。
７．２−（２−ヒドロキシフェニル）−１，３，５−トリアジン類、例えば、２，４，６−トリス（２−ヒドロキシ−４−オクチルオキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２−（２−ヒドロキシ−４−オクチルオキシフェニル）−４，６−ビス（２，４−ジメチルフェニル）−１，３，５−トリアジン、２−（２，４−ジヒドロキシフェニル）−４，６−ビス（２，４−ジメチルフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（２−ヒドロキシ−４−プロピルオキシフェニル）−６−（２，４−ジメチルフェニル）−１，３，５−トリアジン、２−（２−ヒドロキシ−４−オクチルオキシフェニル）−４，６−ビス（４−メチルフェニル）−１，３，５−トリアジン、２−（２−ヒドロキシ−４−ドデシルオキシフェニル）−４，６−ビス（２，４−ジメチルフェニル）−１，３，５−トリアジン、２−〔２−ヒドロキシ−４−（２−ヒドロキシ−３−ブチルオキシ−プロピルオキシ）フェニル〕−４，６−ビス（２，４−ジメチル−フェニル）−１，３，５−トリアジン、２−〔２−ヒドロキシ−４−（２−ヒドロキシ−３−オクチルオキシ−プロピルオキシ）フェニル〕−４，６−ビス（２，４−ジメチルフェニル）−１，３，５−トリアジン、２−〔４−ドデシル−／トリデシル−オキシ−（２−ヒドロキシプロピル）オキシ−２−ヒドロキシ−フェニル〕−４，６−ビス（２，４−ジメチルフェニル）−１，３，５−トリアジン。
８．ホスファイト類及びホスホナイト類、例えば、トリフェニルホスファイト、ジフェニルアルキルホスファイト、フェニルジアルキルホスファイト、トリス（ノニルフェニル）ホスファイト、トリラウリルホスファイト、トリオクタデシルホスファイト、ジステアリル−ペンタエリトリトールジホスファイト、トリス（２，４−ジ−tert−ブチルフェニル）ホスファイト、ジイソデシルペンタエリトリトールジホスファイト、ビス（２，４−ジ−tert−ブチルフェニル）ペンタエリトリトールジホスファイト、ビス（２，６−ジ−tert−ブチル−４−メチルフェニル）ペンタエリトリトールジホスファイト、ビス−イソデシルオキシ−ペンタエリトリトールジホスファイト、ビス（２，４−ジ−tert−ブチル−６−メチルフェニル）ペンタエリトリトールジホスファイト、ビス−（２，４，６−トリ−tert−ブチルフェニル）ペンタエリトリトールジホスファイト、トリステアリル−ソルビトールトリホスファイト、テトラキス（２，４−ジ−tert−ブチルフェニル）−４，４′−ビフェニレンジホスファイト、６−イソオクチルオキシ−２，４，８，１０−テトラ−tert−ブチル−１２Ｈ−ジベンゾ〔ｄ，ｇ〕−１，３，２−ジオキサホスホチン、６−フルオロ−２，４，８，１０−テトラ−tert−ブチル−１２−メチル−ジベンゾ〔ｄ、ｇ〕−１，３，２−ジオキサホスホチン、ビス（２，４−ジ−tert−ブチル−６−メチルフェニル）メチルホスファイト、ビス（２，４−ジ−tert−ブチル−６−メチルフェニル）エチルホスファイト。
【０１９４】
このような光安定剤を、例えば、隣接する表面被覆層に加えることができ、そこから、保護される焼付ラッカーの層に徐々に拡散する。隣接する表面被覆層は、焼付ラッカーの下の下塗り又は焼付ラッカーの上の仕上ラッカーであってよい。
【０１９５】
スペクトル感受性をシフト又は増加させて、照射時間を減少できるか、及び／又は他の光源を使用できるようにする、光増感剤を樹脂に加えることも可能である。光増感剤の例は、芳香族ケトン又は芳香族アルデヒド（例えば、ＵＳ４０１７６５２に記載されている）、３−アシル−クマリン（例えば、ＵＳ４３６６２２８、ＥＰ７３８９２８、ＥＰ２２１８８に記載されている）、ケト−クマリン（例えば、ＵＳ５５３４６３３、ＥＰ５３８９９７、ＪＰ８２７２０９５−Ａに記載されている）、スチリル−クマリン（例えば、ＥＰ６２４５８０に記載されている）、３−（アロイルメチレン）−チアゾリン、チオキサントン、ペリレンのような縮合芳香族化合物、芳香族アミン（例えば、ＵＳ４０６９９５４又はＷＯ９６／４１２３７に記載されている）、又は陽イオン及び塩基性着色剤（例えば、ＵＳ４０２６７０５に記載されている）、例えばエオシン、ローダニン及びエリトロシン着色剤、並びに例えば、ＪＰ８３２０５５１−Ａ、ＥＰ７４７７７１、ＪＰ７０３６１７９−Ａ、ＥＰ６１９５２０、ＪＰ ６１６１１０９−Ａ、ＪＰ６０４３６４１、ＪＰ６０３５１９８−Ａ、ＷＯ９３／１５４４０、ＥＰ５６８９９３、ＪＰ５００５００５−Ａ、ＪＰ５０２７４３２−Ａ、ＪＰ５３０１９１０−Ａ、ＪＰ４０１４０８３−Ａ、ＪＰ４２９４１４８−Ａ、ＥＰ３５９４３１、ＥＰ１０３２９４、ＵＳ４２８２３０９、ＥＰ３９０２５、ＥＰ５２７４、ＥＰ７２７７１３、ＥＰ７２６４９７又はＤＥ２０２７４６７に記載の染料及び顔料である。
【０１９６】
他の慣用の添加剤は、意図される使用に応じて、蛍光増白剤、充填剤、顔料、着色剤、湿潤剤又は流動性向上剤及び定着剤である。
【０１９７】
厚く、かつ着色された被覆の硬化には、ＵＳ５０１３７６８に記載されているように、マイクロガラスビーズ又は粉末化したガラス繊維を加えることが適切である。
【０１９８】
オニウム塩も、例えば、ハイブリッド系に使用することできる。これらの系は、２つの異なる反応機構により完全に硬化される配合物に基づく。その例は、酸触媒架橋反応又は重合反応を受けることのできる成分を含むが、また、第二の機構により架橋される更なる成分も含む系である。第二の機構の例は、ラジカル完全硬化、酸化架橋又は湿度開始架橋である。第二の硬化機構を、純粋に熱的に、必要であれば適切な触媒を用いて開始してよく、又は第二の光開始剤を使用して光により開始してもよい。適切な追加の光開始剤は、上記に記載されている。
【０１９９】
組成物がラジカル架橋性成分を含む場合、特に、着色された（例えば、二酸化チタンにより）組成物の硬化処理を、熱条件下でラジカル形成する成分、例えば、アゾ化合物、例としては、２，２′−アゾビス（４−メトキシ−２，４−ジメチルバレロニトリル）、トリアジン、ジアゾスルフィド、ペンタアザジエン、又は例えばヒドロペルオキシド若しくはペルオキシカルボナートのようなペルオキシ化合物、例としては、例えばＥＰ２４５６３９に記載のtert−ブチルヒドロペルオキシドを加えることにより補助することもできる。コバルト塩のようなレドックス開始剤を加えると、空気中の酸素を用いる酸化架橋により硬化を補助することができる。
【０２００】
表面被覆は当該技術に慣用の方法のうちの１つ、例えば、噴霧、塗布又は浸漬により適用することができる。適切な表面被覆が使用される場合、例えばアノード電気泳動塗装による電気的塗布も可能である。乾燥させた後、表面被覆膜を照射する。必要であれば、次に表面被覆膜を熱処理により完全に硬化させる。
【０２０１】
式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物は、また、複合材料から作られた成形品の硬化に使用することができる。複合材料は、光硬化配合物で含浸されている自立マトリックス材料、例えば、ガラス繊維布から成る。
【０２０２】
オニウム塩を、光により活性化されうる酸発生剤として、ガラス、アルミニウム及びスチール表面の表面処理及び清浄に適している組成物に使用できることが、ＥＰ５９２１３９により知られている。そのような化合物をオルガノシラン系に使用すると、遊離酸を使用する場合に得られるよりも著しく良好な保存安定性を有する組成物となる。式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物は、この用途にも適切である。
【０２０３】
本発明のオニウム塩は、フォトリソグラフィーにおける使用に必要な特性を有する状態に酸誘導変換されるポリマーを造形するために使用することもできる。例えば、オニウム塩は、例えば、M.L.Renak; C. Bazan; D. Roitman; Advanced materials 1997, 9, 392に記載のパターン結合放射ポリマーに使用することができる。そのようなパターン放射ポリマーは、ディスプレー及びデータ記録媒体の製造に使用できるマイクロスカラーパターン発光ダイオード（ＬＥＤ）の製造に使用することができる。同様に、ポリイミドの前駆体（例えば、現像液において溶解度を変化させる酸不安定保護基を有するポリイミド前駆体）を照射してパターンポリイミド層を形成することができ、それは、マイクロチップ及びプリント回路基板の製造における保護膜、絶縁層及び緩衝層として役立つことができる。
【０２０４】
本発明の配合物は、プリント回路基板のための連続ビルドアップシステム、圧力緩衝層、及び集積回路の製造における使用と同様に、均一被覆、光結像性絶縁層及び誘電体として使用してもよい。
【０２０５】
例えばポリアニリンのような共役ポリマーが、プロトンドープにより半導性から伝導性状態に変換されうることが知られている。本発明のオニウム塩も、絶縁材料（非暴露領域）に埋め込まれた伝導構造（暴露領域）を形成するため、そのような共役ポリマーを含む組成物を像様式に照射することに使用できる。これらの材料は、電気及び電子素子を製造する書き込み部品又は接続部品として使用することができる。
【０２０６】
式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物を含む組成物に適切な放射源は、波長が約１５０〜１５００nm、例えば１８０〜１０００nm、又は好ましくは１９０〜７００nmの放射線を放射する放射線源、並びにｅ−ビーム放射線及び高エネルギー電磁線、例えば、Ｘ線である。点光源及び平面投光器（ランプカーペット）の両方が適切である。例は、カーボンアーク灯、キセノンアーク灯、中圧、高圧及び低圧水銀灯、場合により金属ハロゲン化物でドープされているもの（メタルハライドランプ）、マイクロ波励起金属蒸気灯、エキシマーランプ、超化学線蛍光管、蛍光灯、アルゴン白熱電球、電子閃光電球、写真投光照明、シンクロトロン又はレーザープラズマにより発生する電子ビーム及びＸ線ビームである。放射線源と照射される本発明の基材との距離は、意図される使用及び／又は放射線源の種類と強度により、例えば２cm〜１５０cmに変更することができる。適切な放射線源は、特に、所望であれば放射線から他の波長の輝線を取り除くことのできる水銀蒸気灯、特に中圧及び高圧水銀灯である。これは特に比較的に短い波長の放射線の場合である。しかし、適切な波長範囲で放射できる低エネルギーランプ（例えば、蛍光管）を使用することも可能である。その例は、PhilipsTL03ランプである。使用できる他の種類の放射線源は、小帯域放射源又は大帯域（白色光）源のいずれかとして、全スペクトルを通して異なる波長を放射する発光ダイオード（ＬＥＤ）である。また、適切なものは、レーザー放射線源、例えばエキシマーレーザーであり、例としては、２４８nmで照射するＫｒ−Ｆレーザー、１９３nmで照射するＡｒ−Ｆレーザー又は１５７nmで照射するＦ2レーザーである。可視領域及び赤外領域のレーザーも使用することができる。特に適切なものは、波長３６５、４３６及び４０５nmの水銀ｉ、ｈ及びｇ線の放射線である。適切なレーザー光線源は、例えば、波長４５４、４５８、４６６、４７２、４７８、４８８及び５１４nmで放射線を放射するアルゴンイオンレーザーである。１０６４nmで発光するＮｄ−ＹＡＧレーザー、並びにその第二及び第三高調波（それぞれ５３２nm及び３５５nm）も使用することができる。また、適切なものは、例えば、４４２nmで放射するヘリウム／カドミウムレーザー又はＵＶ領域で放射するレーザーである。この種類の照射では、光重合性被覆と接触してポジ型又はネガ型レジストを製造するフォトマスクの使用は必要不可欠ではなく、制御されたレーザー光線により、被覆に直接書き込むことができる。このため、本発明の材料の高い感受性が非常に有利であり、比較的に低い強度で速い書き込み速度を可能にする。照射すると、表面被覆の照射部分における組成物中のオニウム塩が分解して、酸を形成する。
【０２０７】
高い強度の放射による慣用のＵＶ硬化と対照的に、本発明の化合物を用いると、活性化は比較的に低い強度の放射の作用により達成される。そのような放射には、例えば、昼光（日光）及び昼光と同等の放射線源が含まれる。日光は、ＵＶ硬化に慣用的に使用される人工放射線源の光とスペクトル組成及び強度が異なる。本発明の化合物の吸収特性は、硬化のための天然放射線源としての日光の利用に好適である。本発明の化合物の活性化に使用できる昼光と同等の人工光源は、低強度の投光器、例えば、特定の蛍光灯、例としてはPhilipsTL05特殊蛍光灯又はPhilips TL09特殊蛍光灯であることが理解される。高昼光含有量を有するランプ及び昼光自体は、特に、表面被覆層の表面を十分に不粘着（tack-free）になるように硬化することができる。この場合、高価な硬化装置は不必要であり、組成物は特に外面の仕上げに使用することができる。昼光又は昼光と同等の光源による硬化は、エネルギー節約法であり、外面の塗装において揮発性有機成分の放出を防止する。平面部品に適しているコンベアベルト法に比べて、昼光硬化は、定型の又は固定した物品及び構造物の外面仕上げに使用することもできる。
硬化される表面被覆を、日光又は昼光と同等の光源に直接暴露することができる。しかし硬化は、透明層（例えば、ガラスパネル又はプラスチックシート）越しで実施することもできる。
【０２０８】
下記の実施例は本発明を更に詳細に説明する。記載の残りの部分及び請求項において、部及び％は、特記のない限り重量に関する。炭素原子を３個より多く有するアルキル基が、特定の異性体の記載がなく言及される場合、それぞれの場合でｎ−異性体を意味する。
【０２０９】
実施例１：ジフェニルヨードニウムフェニルスルファート
１．１：ジフェニルヨードニウムハイドロジェンスルファート
ベンゼン５５．５ml（０．６２５mol）及びヨウ素酸カリウム５３．５ｇ（０．２５mol）を、無水酢酸５０mlに加え、反応混合物を氷塩浴で冷却しながら撹拌した。懸濁液に、濃硫酸３５mlと無水酢酸５０mlの冷却溶液を、温度を５℃より低く保持しながら３時間かけて滴加した。反応混合物を一晩撹拌し、反応の間、温度を徐々に室温に上昇させた。反応混合物を氷浴で冷却した後、ジエチルエーテル３００mlを加え、０℃で１時間、室温で更に４時間撹拌した。沈殿物を濾取し、ジエチルエーテルで洗浄した。粗ジフェニルヨードニウムハイドロジェンスルファートを淡いピンク色の固体として得て、更に精製しないで次の工程に使用した。
【０２１０】
１．２：テトラメチルアンモニウムフェニルスルファート
フェノール２５ｇ（０．２６６mol）をジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）１００mlに溶解し、ピリジン／三酸化硫黄錯体４６．５ｇ（０．２９２mol）を溶液に加えた。反応混合物を５０℃で３時間、室温で更に１５時間撹拌した。２６％テトラメチルアンモニウムヒドロクロリド（ＴＭＡＨ）水溶液１００mlを混合物に加え、室温で３０分間撹拌した。ロータリーエバポレーターで溶媒を除去した後、エタノール５０mlを残渣に加え、室温で３０分間撹拌した。固体を濾取し、エタノールで洗浄した。粗テトラメチルアンモニウムフェニルスルファートを白色の固体として得て、更に精製しないで次の工程に使用した。
【０２１１】
１．３：ジフェニルヨードニウムフェニルスルファート
粗ジフェニルヨードニウムハイドロジェンスルファート３ｇを水５０mlに溶解した。溶液に、水１０mlに溶解した粗テトラメチルアンモニウムフェニルスルファート２．３５ｇの溶液を加えた。混合物を室温で７時間撹拌した。生成物を塩化メチレンで抽出し、有機層を水で洗浄し、ＭｇＳＯ4で乾燥させ、濃縮した。残渣を１，２−ジクロロエタンからの再結晶により精製して、ジフェニルヨードニウムフェニルスルファート１．２９ｇを、融点１２９〜１３２℃の白色の固体として得た。構造を1Ｈ−ＮＭＲスペクトル（ＣＤＣｌ3／ＤＭＳＯ−ｄ6）により確認した。[ppm]: 7.08 (t,1H), 7.22-7.30 (m, 4H), 7.42 (t, 4H), 7.58 (t, 2H), 7.92 (d, 4H).
【０２１２】
実施例２：ジ（４−tert−ブチルフェニル）ヨードニウム４−tert−ブチルフェニルスルファート
２．１：アンモニウム４−tert−ブチルフェニルスルファート
４−tert−ブチルフェノール２５ｇ（０．１６６mol）をＤＭＦ ５０mlに溶解し、ＤＭＦ １００mlに溶解したピリジン／三酸化硫黄錯体３１．７ｇ（０．１９９mol）を溶液に加えた。反応混合物を５０℃で３時間、室温で更に１５時間撹拌した。アンモニア溶液１３mlを混合物に加え、室温で３０分間撹拌した。溶媒をロータリーエバポレーターで除去し、アンモニウム４−tert−ブチルフェニルスルファートをベージュ色の固体として得て、更に精製しないで次の工程に使用した。
【０２１３】
２．２：ジ（４−tert−ブチルフェニル）ヨードニウム４−tert−ブチルフェニルスルファート
tert−ブチルベンゼン１０ｇ（７４．５mmol）及びヨウ素酸カリウム８．６ｇ（４０．２mmol）を無水酢酸１０mlに加え、氷塩浴による冷却下、撹拌した。懸濁液に、濃硫酸６mlと無水酢酸１０mlの冷却溶液を、温度を５℃より低く保持しながら１時間かけて滴加した。反応混合物を一晩撹拌し、反応の間、温度を徐々に室温に上昇させた。反応混合物を氷浴で冷却した後、水３０mlを加えた。溶液に、水２０mlに溶解した粗アンモニウム４−tert−ブチルフェニルスルファート９．２ｇを加え、続いてアンモニア溶液４０mlを加えて、混合物を中和した。混合物を室温で４時間撹拌した後、生成物を塩化メチレンで抽出し、有機層を水で洗浄し、ＭｇＳＯ4で乾燥させ、濃縮した。残渣をトルエン／ヘキサンからの再結晶により精製して、ジ（４−tert−ブチルフェニル）ヨードニウム４−tert−ブチルフェニルスルファート５．５９ｇを、融点１５９〜１６３℃の白色の固体として得た。構造を1Ｈ−ＮＭＲスペクトル（ＣＤＣｌ3）により確認した。[ppm]: 1.25 (s, 9H), 1.28 (s, 18H), 7.19 (d,2H), 7.26 (d, 2H), 7.41 (d, 4H), 7.84 (d, 4H).
【０２１４】
実施例３：ジ（４−tert−アミルフェニル）ヨードニウムフェニルスルファート
３．１：ジ（４−tert−アミルフェニル）ヨードニウムハイドロジェンスルファート
tert−アミルベンゼン１１１．２ml（０．７５mol）及びヨウ素酸カリウム８６．７ｇ（０．４０５mol）を、無水酢酸８６mlに加え、反応混合物を氷塩浴による冷却下、撹拌した。懸濁液に、濃硫酸６０．３mlと無水酢酸８６mlの冷却溶液を、温度を５℃より低く保持しながら４時間かけて滴加した。反応混合物を一晩撹拌し、反応の間、温度を徐々に室温に上昇させた。反応混合物を氷浴で冷却した後、水１００mlを加えた。生成物を塩化メチレンで抽出し、有機層を水で洗浄し、ＭｇＳＯ4で乾燥させ、濃縮して、粗ジ（４−tert−アミルフェニル）ヨードニウムハイドロジェンスルファートを褐色の固体として得た。粗ジ（４−tert−アミルフェニル）ヨードニウムハイドロジェンスルファートを更に精製しないで次の工程に使用した。
【０２１５】
３．２：ジ（４−tert−アミルフェニル）ヨードニウムフェニルスルファート
実施例１．２の方法に従って調製した粗テトラメチルアンモニウムフェニルスルファート３．９ｇを水１０mlに溶解した。溶液に、メタノール５mlに溶解した粗ジ（４−tert−アミルフェニル）ヨードニウムハイドロジェンスルファート６．８ｇを加えた。混合物を室温で３時間撹拌した。塩化メチレン１０mlを溶液に加え、室温で更に２時間撹拌した。生成物を塩化メチレンで抽出し、有機層を水で洗浄し、ＭｇＳＯ4で乾燥させ、濃縮した。tert−ブチルメチルエーテル２００mlを残渣に加え、白色の固体を得た。懸濁液を６０℃で１５分間撹拌した後、沈殿物を濾取し、tert−ブチルメチルエーテルで洗浄して、ジ（４−tert−アミルフェニル）ヨードニウムフェニルスルファート４．３７ｇを、融点１２２〜１２５℃の白色の固体として得た。構造を1Ｈ−ＮＭＲスペクトル（ＣＤＣｌ3）により確認した。[ppm]: 0.64 (t,6H), 1.23 (s, 12H), 1.61 (q, 4H), 7.07 (t, 1H), 7.21-7.29 (m, 4H), 7.34 (d,4H), 7.82 (d, 4H).
【０２１６】
実施例４：ジ（４−tert−アミルフェニル）ヨードニウムプロピルスルファート
４．１：テトラメチルアンモニウムプロピルスルファート
１−プロパノール１０ml（０．１３４mol）をＤＭＦ ４０mlに溶解し、ピリジン／三酸化硫黄錯体２３．４ｇ（０．１４７mol）を溶液に加えた。反応混合物を５０℃で３時間、室温で更に１５時間撹拌した。２６％ＴＭＡＨ水溶液５１．５ｇを混合物に加え、次に室温で３０分間撹拌した。ロータリーエバポレーターで溶媒を除去した後、アセトン５０mlを残渣に加え、室温で３０分間撹拌した。固体を濾取し、アセトンで洗浄した。粗テトラメチルアンモニウムプロピルスルファートを白色の固体として得て、更に精製しないで次の工程に使用した。
【０２１７】
４．２：ジ（４−tert−アミルフェニル）ヨードニウムプロピルスルファート
粗テトラメチルアンモニウムプロピルスルファート３．４ｇを水１０mlに溶解した。溶液に、メタノール５mlに溶解した、実施例３．１の方法に従って調製した粗ジ（４−tert−アミルフェニル）ヨードニウムハイドロジェンスルファート６．８ｇを加えた。混合物を室温で４時間撹拌した。塩化メチレン１０mlを溶液に加え、室温で更に２時間撹拌した。生成物を塩化メチレンで抽出し、有機層を水で洗浄し、ＭｇＳＯ4で乾燥させ、濃縮した。残渣を、溶離剤として塩化メチレン、続いて塩化メチレン及びエタノール（９５：５）を用いるシリカゲルのフラッシュクロマトグラフィーにより精製して、ジ（４−tert−アミルフェニル）ヨードニウムプロピルスルファート３．８６ｇを、融点４８〜５３℃の褐色を帯びた固体として得た。構造を1Ｈ−ＮＭＲスペクトル（ＣＤＣｌ3）により確認した。[ppm]: 0.65 (t,6H), 0.88 (t, 3H), 1.24 (s, 12H), 1.56-1.66 (m, 6H), 3.89 (t, 2H), 7.37 (d,4H), 7.88 (d, 4H).
【０２１８】
実施例５：ジ（４−tert−アミルフェニル）ヨードニウム４−tert−ブチルフェニルスルファート
実施例２．１の方法に従って調製した粗アンモニウム４−tert−ブチルフェニルスルファート７．５ｇを水１０mlに溶解した。メタノール５mlに溶解した粗ジ（４−tert−アミルフェニル）ヨードニウムハイドロジェンスルファート（実施例３．１）１５．６ｇを溶液に加えた。混合物を室温で２時間撹拌した。塩化メチレン１０mlを溶液に加え、室温で更に２時間撹拌した。生成物を塩化メチレンで抽出し、有機層を水で洗浄し、ＭｇＳＯ4で乾燥させ、濃縮した。残渣をシクロヘキサンからの再結晶により精製して、ジ（４−tert−アミルフェニル）ヨードニウム４−tert−ブチルフェニルスルファート６．９６ｇを、融点１２９〜１３３℃の白色の固体として得た。構造を1Ｈ−ＮＭＲスペクトル（ＣＤＣｌ3）により確認した。[ppm]: 0.65 (t,6H), 1.24 (m, 21H), 1.62 (q, 4H), 7.21 (d, 2H), 7.27 (d, 2H), 7.37 (d, 4H),7.83 (d, 4H).
【０２１９】
実施例６：ビス〔ジ（４−tert−アミルフェニル）ヨードニウム〕ｐ−フェニレンジスルファート
６．１：ビス（テトラメチルアンモニウム）ｐ−フェニルレンジスルファート
ｐ−ヒドロキノン１５ｇ（１３６mol）をＤＭＦ １４３mlに溶解し、ピリジン／三酸化硫黄錯体４７．７ｇ（３００mmol）を溶液に加えた。反応混合物を５０℃で３時間、室温で更に１５時間撹拌した。２６％ＴＭＡＨ水溶液１０５ｇを混合物に加え、室温で３０分間撹拌した。ロータリーエバポレーターで溶媒を除去した後、エタノール１００mlを残渣に加え、室温で３０分間撹拌した。固体を濾取し、エタノールで洗浄した。粗ビス（テトラメチルアンモニウム）ｐ−フェニレンジスルファートを白色の固体として得て、更に精製しないで次の工程に使用した。
【０２２０】
６．２：ビス〔ジ（４−tert−アミルフェニル）ヨードニウム〕ｐ−フェニレンジスルファート
粗ビス（テトラメチルアンモニウム）ｐ−フェニレンジスルファート１．９ｇを水１０mlに溶解した。メタノール２mlに溶解した粗ジ（４−tert−アミルフェニル）ヨードニウムハイドロジェンスルファート（実施例３．１に従って得た）３．４ｇを溶液に加えた。混合物を室温で１時間撹拌した。塩化メチレン１０mlを溶液に加え、室温でさらに３時間撹拌した。生成物を塩化メチレンで抽出し、有機層を水で洗浄し、ＭｇＳＯ4で乾燥させ、濃縮した。残渣をトルエンからの再結晶により精製して、ビス〔ジ（４−tert−アミルフェニル）ヨードニウム〕ｐ−フェニレンジスルファート１．９２ｇを、融点１１１〜１１５℃の白色の固体として得た。構造を1Ｈ−ＮＭＲスペクトル（ＣＤＣｌ3）により確認した。[ppm]: 0.63 (t, 12H), 1.23 (s, 24H), 1.60 (q,8H), 7.18 (s, 4H), 7.36 (d, 8H), 7.82 (d, 8H).
【０２２１】
実施例７：（４−メチルフェニル）（４′−イソブチルフェニル）ヨードニウムフェニルスルファート
７．１：（４−メチルフェニル）（４′−イソブチルフェニル）ヨードニウムハイドロジェンスルファート
４−ヨードトルエン１１．９ｇ（５４．８mmol）及びイソブチルベンゼン９．２ｇ（６８．５mmol）を、濃硫酸３５mlと水２２mlの溶液に、氷浴による冷却下、滴加した。ペルオキソ二硫酸アンモニウム２５ｇを、氷塩浴による冷却下、温度を０℃より低く保持しながら１時間かけて少量ずつ溶液に加えた。反応混合物を一晩撹拌し、反応の間、温度を徐々に室温に上昇させた。反応混合物を氷浴で冷却した後、水１１８mlを加えた。生成物を塩化メチレンで抽出し、有機層を水で洗浄し、ＭｇＳＯ4で乾燥させ、濃縮して、（４−メチルフェニル）（４′−イソブチルフェニル）ヨードニウムハイドロジェンスルファートを褐色の固体として得た。粗（４−メチルフェニル）（４′−イソブチルフェニル）ヨードニウムハイドロジェンスルファートを更に精製しないで次の工程に使用した。
【０２２２】
７．２：（４−メチルフェニル）（４′−イソブチルフェニル）ヨードニウムフェニルスルファート
実施例１．２の方法に従って調製した粗テトラメチルアンモニウムフェニルスルファート０．９８ｇを水１０mlに溶解した。メタノール１０mlに溶解した粗（４−メチルフェニル）（４′−イソブチルフェニル）ヨードニウムハイドロジェンスルファート１．４８ｇを溶液に加えた。混合物を室温で１時間撹拌した。塩化メチレン１０mlを溶液に加え、室温で更に３時間撹拌した。生成物を塩化メチレンで抽出し、有機層を水で洗浄し、ＭｇＳＯ4で乾燥させ、濃縮した。残渣を、溶離剤として塩化メチレン、続いて塩化メチレン及びエタノール（９５：５）を用いるシリカゲルのフラッシュクロマトグラフィーにより精製して、（４−メチルフェニル）（４′−イソブチルフェニル）ヨードニウムフェニルスルファート１．５４ｇを淡黄色の樹脂として得た。構造を1Ｈ−ＮＭＲスペクトル（ＣＤＣｌ3）により確認した。[ppm]: 0.87 (d, 6H), 1.78-1.87 (m, 1H), 2.37 (s,3H), 2.47 (d, 2H), 7.08 (t, 1H), 7.13-7.31 (m, 8H), 7.77 (d, 4H).
【０２２３】
実施例８：（４−メチルフェニル）（４′−イソブチルフェニル）ヨードニウム４−フルオロフェニルスルファート
８．１：テトラメチルアンモニウム４−フルオロフェニルスルファート
４−フルオロフェノール１０ｇ（８９mmol）をＤＭＦ ４７mlに溶解し、ピリジン／三酸化硫黄錯体１５．６ｇ（９８mmol）を溶液に加えた。反応混合物を５０℃で３時間、室温で更に１５時間撹拌した。２６％ＴＭＡＨ水溶液３４．４ｇを混合物に加え、室温で３０分間撹拌した。ロータリーエバポレーターで溶媒を除去した後、エタノール５０mlを残渣に加え、室温で３０分間撹拌した。固体を濾取し、エタノールで洗浄した。粗テトラメチルアンモニウム４−フルオロフェニルスルファートを白色の固体として得て、更に精製しないで次の工程に使用した。
【０２２４】
８．２：（４−メチルフェニル）（４′−イソブチルフェニル）ヨードニウム４−フルオロフェニルスルファート
粗テトラメチルアンモニウム４−フルオロフェニルスルファート１．０５ｇを水１０mlに溶解した。メタノール１０mlに溶解した粗（４−メチルフェニル）（４′−イソブチルフェニル）ヨードニウムハイドロジェンスルファート（実施例７．１に従って得た）１．４８ｇを溶液に加えた。混合物を室温で１時間撹拌した。塩化メチレン１０mlを溶液に加え、室温で更に３時間撹拌した。生成物を塩化メチレンで抽出し、有機層を水で洗浄し、ＭｇＳＯ4で乾燥させ、濃縮した。残渣を、溶離剤として塩化メチレン、続いて塩化メチレン及びエタノール（９５：５）を用いるシリカゲルのフラッシュクロマトグラフィーにより精製して、（４−メチルフェニル）（４′−イソブチルフェニル）ヨードニウム４−フルオロフェニルスルファート１．４６ｇを褐色の樹脂として得た。構造を1Ｈ−ＮＭＲスペクトル（ＣＤＣｌ3）により確認した。[ppm]: 0.87 (d, 6H), 1.79-1.86 (m, 1H), 2.38 (s,3H), 2.47 (d, 2H), 6.87 (t, 2H), 7.13-7.22 (m, 6H), 7.78 (d, 4H).
【０２２５】
実施例９：（４−メチルフェニル）（４′−イソブチルフェニル）ヨードニウムフェニルメチルスルファート
９．１：テトラメチルアンモニウムフェニルメチルスルファート
ベンジルアルコール１０ｇ（９２．５mmol）をＤＭＦ ５０mlに溶解し、ピリジン／三酸化硫黄錯体１６．２ｇ（１０２mmol）を溶液に加えた。反応混合物を５０℃で３時間、室温で更に１５時間撹拌した。２６％ＴＭＡＨ水溶液３５．８ｇを混合物に加え、室温で３０分間撹拌した。ロータリーエバポレーターで溶媒を除去した後、アセトン２００mlを残渣に加え、室温で３０分間撹拌した。固体を濾取し、アセトンで洗浄した。粗テトラメチルアンモニウムフェニルメチルスルファートを白色の固体として得て、更に精製しないで次の工程に使用した。
【０２２６】
９．２：（４−メチルフェニル）（４′−イソブチルフェニル）ヨードニウムフェニルメチルスルファート
粗テトラメチルアンモニウムフェニルメチルスルファート１．０３ｇを水１０mlに溶解した。メタノール１０mlに溶解した粗（４−メチルフェニル）（４′−イソブチルフェニル）ヨードニウムハイドロジェンスルファート（実施例７．１に従って得た）１．４８ｇを溶液に加えた。混合物を室温で１時間撹拌した。塩化メチレン１０mlを溶液に加え、室温で更に３時間撹拌した。生成物を塩化メチレンで抽出し、有機層を水で洗浄し、ＭｇＳＯ4で乾燥させ、濃縮した。残渣を、溶離剤として塩化メチレン、続いて塩化メチレン及びエタノール（９５：５）を用いるシリカゲルのフラッシュクロマトグラフィーにより精製して、（４−メチルフェニル）（４′−イソブチルフェニル）ヨードニウムフェニルメチルスルファート１．３１ｇを淡褐色の樹脂として得た。構造を1Ｈ−ＮＭＲスペクトル（ＣＤＣｌ3）により確認した。[ppm]: 0.86 (d, 6H), 1.80-1.85 (m, 1H), 2.36 (s,3H), 2.45 (d, 2H), 4.97 (s, 2H), 7.12-7.37 (m, 9H), 7.77-7.81 (m, 4H).
【０２２７】
実施例１０：ビス〔（４−メチルフェニル）（４′−イソブチルフェニル）ヨードニウム〕ｐ−フェニレンジスルファート
粗ビス（テトラメチルアンモニウム）ｐ−フェニレンジスルファート０．６９ｇを水１０mlに溶解した。メタノール１０mlに溶解した粗（４−メチルフェニル）（４′−イソブチルフェニル）ヨードニウムハイドロジェンスルファート（実施例７．１に従って得た）１．４８ｇを溶液に加えた。混合物を室温で１時間撹拌した。塩化メチレン１０mlを溶液に加え、室温で更に３時間撹拌した。生成物を塩化メチレンで抽出し、有機層を水で洗浄し、ＭｇＳＯ4で乾燥させ、濃縮した。残渣を、溶離剤として塩化メチレン、続いて塩化メチレン及びエタノール（９５：５）を用いるシリカゲルのフラッシュクロマトグラフィーにより精製して、ビス〔（４−メチルフェニル）（４′−イソブチルフェニル）ヨードニウム〕ｐ−フェニレンジスルファート１．０６ｇを白色の固体として得た。構造を1Ｈ−ＮＭＲスペクトル（ＣＤＣｌ3）により確認した。[ppm]: 0.85 (d, 12H), 1.74-1.85 (m, 2H), 2.34(d, 6H), 2.43 (d, 4H), 7.12-7.19 (m, 12H), 7.77-7.82 (m, 8H).
【０２２８】
実施例１１：
【０２２９】
【化５１】
【０２３０】
１１．１：ジアンモニウムシクロヘキサン−１，４−ジ（メチレンスルファート）
１，４−シクロヘキサンジメタノール１０ｇ（６９．３mmol）をＤＭＦ ７３mlに溶解し、ピリジン／三酸化硫黄錯体２４．３ｇ（１５２．６mmol）を溶液に加えた。反応混合物を５０℃で３時間、室温で更に１５時間撹拌した。２６％ＴＭＡＨ水溶液５３．５ｇを混合物に加え、室温で３０分間撹拌した。ロータリーエバポレーターで溶媒を除去した後、エタノール５０mlを残渣に加え、室温で３０分間撹拌した。固体を濾取し、エタノールで洗浄した。粗生成物を白色の固体として得て、更に精製しないで次の工程に使用した。
【０２３１】
１１．２：ビス〔（４−メチルフェニル）（４′−イソブチルフェニル）ヨードニウム〕シクロヘキサン−１，４−ジ（メチレンスルファート）
実施例１１．１記載のようにして得られた粗化合物０．７４ｇを水１０mlに溶解した。メタノール１０mlに溶解した粗（４−メチルフェニル）（４′−イソブチルフェニル）ヨードニウムハイドロジェンスルファート（実施例７．１に従って得た）１．４８ｇを溶液に加えた。混合物を室温で１時間撹拌した。塩化メチレン１０mlを溶液に加え、室温で更に３時間撹拌した。生成物を塩化メチレンで抽出し、有機層を水で洗浄し、ＭｇＳＯ4で乾燥させ、濃縮した。残渣を、溶離剤として塩化メチレン、続いて塩化メチレン及びエタノール（２：１）を用いるシリカゲルのフラッシュクロマトグラフィーにより精製して、生成物を融点８１〜８５℃の淡褐色の固体として得た。構造を1Ｈ−ＮＭＲスペクトル（ＣＤＣｌ3）により確認した。[ppm]: 0.87 (d, 12H), 1.35-1.90 (m, 10H), 2.38(s, 6H), 2.47 (d, 4H), 3.70/3.82 (d, 4H), 7.16-7.24 (m, 8H), 7.82-7.88 (m, 8H).
【０２３２】
実施例１２：トリフェニルスルホニウム４−tert−ブチルフェニルスルファート
トリフェニルスルホニウムテトラフルオロボラート１．０ｇを水５０mlに８０℃で溶解した。この溶液に、水１０ml中の粗アンモニウム４−tert−ブチルフェニルスルファート（実施例２．１の記載と同様にして調製した）０．８５ｇの溶液を加え、８０℃で１時間撹拌した。生成物を塩化メチレンで抽出し、有機層を２．５％アンモニア溶液及び水で洗浄し、ＭｇＳＯ4で乾燥させ、濃縮した。残渣を、酢酸エチルからの再結晶により精製して、トリフェニルスルホニウム４−tert−ブチルフェニルスルファート０．７２ｇを、融点１２９〜１３２℃の白色の固体として得た。構造を1Ｈ−ＮＭＲスペクトル（ＣＤＣｌ3）により確認した。[ppm]: 1.24 (s, 9H), 7.21 (d, 2H), 7.28 (d, 2H),7.60-7.79 (m, 15H).
【０２３３】
実施例１３〜５３：
対応する抽出物を使用して、実施例１．３に記載の方法に従って実施例１３〜５３の化合物を得た。構造及び物理データを表１に示す。
【０２３４】
【表１】
【０２３５】
実施例５４：
化学増幅型ポジ型レジスト配合物を、下記の成分を混合して製造した。
樹脂結合剤（スチレン２２mol％、ｐ−ヒドロキシスチレン６９mol％及びｔ−ブチルアクリラート９mol％のコポリマー、Mw９８５０；MaruzenMARUKA LYNCUR PHS/STY/TBA（登録商標）、Maruzen OilCompany, Japan） １００．０部
均展剤（FC-430、3M製） ０．５部
プロピレングリコールメチルエーテルアセタート(ＰＧＭＥＡ)(Tokyo Kasei, Japan) ４７５．０部
試験される光酸発生剤 ４．０部
レジスト配合物を、ヘキサメチルジメチルシランで処理したシリコーンウエハーに１７００rpmで４５秒間スピンコートし、ホットプレートにより１４０℃で９０秒間ソフトベークして、膜厚８００nmを得た。レジストフィルムを、Ushio社製高圧水銀灯UXM-501MD及びマスク調節器CanonPLA-521を使用し、狭帯域干渉フィルタ及び多重密度（multidensity）石英マスクを通して波長２５４nmの深ＵＶ線で暴露した。ホットプレートにより１４０℃で９０秒間暴露後のベーキングに付した後、フィルムを現像した。暴露強度を、Ushio社製UnimeterUIT-150により測定した。１．７９％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド現像水溶液における６０秒間の浸清現像によりレジストフィルムを完全に除去するためにちょうど十分な用量である「除去用量（Dose to Clear）」（Ｅ0）を、R. Dammel, Diazonaphthoquinone-based Resists, SPIE TutorialText Series Vol. TT 11, Optical Engineering Press, p. 10-11 (1993)で記載されているように、測定したコントラスト曲線（特性曲線）から決定した。必要な用量が少ないほどレジスト配合物の感受性が高い。結果を表２にまとめ、本発明の組成物はポジ型レジストの製造に適切であることが示された。
【０２３６】
【表２】
【０２３７】
実施例５５：
化学増幅型ポジ型レジスト配合物を、下記の成分を混合して製造した。
レジスト配合物を、ヘキサメチルジメチルシランで処理したシリコーンウエハーに１８００rpmで４５秒間スピンコートし、ホットプレートにより８０℃で６０秒間ソフトベークして、膜厚８００nmを得た。次にレジストフィルムを、Ushio社製高圧水銀灯UXM-501MD及びマスク調節器CanonPLA-521を使用し、狭帯域干渉フィルタ及び多重密度石英マスクを通して波長２５４nmの深ＵＶ線で暴露した。ホットプレートにより８５℃で６０秒間暴露後のベーキングに付した後、レジストを現像した。暴露強度を、Ushio社製UnimeterUIT-150により測定した。２．３８％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド現像水溶液における６０秒間の浸清現像によりジストフィルムを完全に除去するためにちょうど十分な用量である"除去用量"（Ｅ0）を、測定したコントラスト曲線（特性曲線）から決定した。必要な用量が少ないほどレジスト配合物の感受性が高い。結果を表３にまとめ、組成物はポジ型レジストの製造に適切であることが示された。
【０２３８】
【表３】

Claims (16)

  1. （ａ）酸の作用で硬化する化合物、又は酸の作用でその溶解度が増加する化合物；及び
    （ｂ）感光性酸供与体として、（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）：
    〔式中、
    Ｒ1は、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−若しくは−（ＣＯ）−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、又はＣ2〜Ｃ12アルケニル、又はＣ4〜Ｃ8シクロアルケニル、又はＣ6〜Ｃ12ビシクロアルケニルであり、
    これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−より中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
    Ｒ1は、フェニル、又はナフチル、又はアントラシル、又はフェナントリル、又はヘテロアリール基であり、
    これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキルで置換されているか、又はＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換され、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2は、基Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及び／若しくはＲ6を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの１個と、５員若しくは６員環を形成し；
    ここで、基Ｒ1の全ては、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
    Ｒ′1は、Ｃ1〜Ｃ12アルキレン、又は１個以上のＣ3〜Ｃ30シクロアルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ6（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−若しくは−ＯＳＯ2−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキレンであり、場合により基Ｃ1〜Ｃ12アルキレン及びＣ2〜Ｃ12アルキレンは、１個以上のＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
    Ｒ′1は、場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断され、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキレンであるか；或いは
    Ｒ′1は、フェニレン、ナフチレン、下記式：
    ジフェニレン、オキシジフェニレン又は下記式：
    であり、これらの基は、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
    Ｒ′1は、下記式：
    であり；
    Ａは、直接結合、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ6（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−又は−ＯＳＯ2−であり；
    Ｂは、直接結合、Ｃ1〜Ｃ12アルキレン、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ6（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−若しくは−ＯＳＯ2−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキレンであり、場合により基Ｃ1〜Ｃ12アルキレン及びＣ2〜Ｃ12アルキレンは、１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換され；
    Ｒ2は、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルであり；
    これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、Ｃ1〜Ｃ4アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−ＮＲ4Ｒ5、Ｃ1〜Ｃ4アルキルチオ、Ｃ2〜Ｃ4アルコキシカルボニル、Ｃ2〜Ｃ4ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ及び／若しくはＣ1〜Ｃ4アルカノイルで置換されているか；或いは
    Ｒ2は、水素であり；
    Ｒ3は、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ2〜Ｃ18アルカノイル、又はベンゾイル、又はＣ1〜Ｃ18アルキルスルホニルであり、
    これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、Ｃ1〜Ｃ4アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−ＮＲ4Ｒ5、Ｃ1〜Ｃ4アルキルチオ、Ｃ2〜Ｃ4アルコキシカルボニル、Ｃ2〜Ｃ4ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ及び／若しくはＣ1〜Ｃ4アルカノイルで置換されているか；或いは
    Ｒ3は、水素、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであり；
    Ｒ4、Ｒ5及びＲ6は、互いに独立して、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ2〜Ｃ18アルカノイル、又はベンゾイル、又はＣ1〜Ｃ18アルキルスルホニルであり、
    これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、Ｃ1〜Ｃ4アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルチオ、Ｃ2〜Ｃ4アルコキシカルボニル、Ｃ2〜Ｃ4ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ及び／若しくはＣ1〜Ｃ4アルカノイルで置換されているか；或いは
    Ｒ4、Ｒ5及びＲ6は、互いに独立して、水素、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであるか；或いは
    Ｒ4及びＲ5は、それらが結合している窒素原子と一緒になって、場合により−Ｏ−若しくは−ＮＲ6−により中断されている５員、６員又は７員環を形成し；
    Ａｒ1及びＡｒ2は、互いに独立して、フェニル、又はナフチル、又はアントラシル、又はフェナントリル、又はヘテロアリールであり、
    これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ12アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換され、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2は、基Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及び／若しくはＲ6を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの１個と、５員若しくは６員環を形成するか；或いは
    Ａｒ1及びＡｒ2は、適切であれば、Ｃ1〜Ｃ2アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−又は−（ＣＯ）−と一緒になって縮合環を形成し；
    ここで、基Ａｒ1及びＡｒ2の全ては、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
    Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5は、Ａｒ1及びＡｒ2で示された意味のうちの１個を有するか、或いは
    Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5は、互いに独立して、Ｃ1〜Ｃ12アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ1〜Ｃ12アルキル、又はＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、又は場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルであり；
    これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ12アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
    Ａｒ3及びＡｒ4は、適切であれば、Ｃ1〜Ｃ2アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−と一緒になって縮合環を形成するか；或いは
    Ａｒ3及びＡｒ4は、適切であれば、Ｃ1〜Ｃ2アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−と一緒になって、５員、６員又は７員環を形成し；
    ここで、基Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5の全ては、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
    Ａｒ6は、フェニル、又はナフチル、又はアントラシル、又はフェナントリル、又はヘテロアリールであり、
    これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキル、又はＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、フェニル、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換され、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2は、基Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及び／若しくはＲ6を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの１個と、５員若しくは６員環を形成し；
    Ｘは、フェニレン、又はナフチレン、又は下記式：
    又はジフェニレン、又はオキシジフェニレン、又は下記式：
    であり、
    これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
    Ｘは、下記式：
    であり；そして
    Ｙは、Ｘで示された意味のうちの１個を有するか、又はＣ1〜Ｃ12アルキレン、又は１個以上のＣ3〜Ｃ30シクロアルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ6（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−若しくは−ＯＳＯ2−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキレンであり、ここでＣ1〜Ｃ12アルキレン及びＣ2〜Ｃ12アルキレンは、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
    Ｙは、場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断され、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキレンである〕
    で示される少なくとも１種の化合物を含む、化学増幅型フォトレジスト組成物。
  2. 式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）及び／又は（IIｃ）
    〔式中、
    Ｒ1は、非置換であるか、又は場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ8シクロアルキルの１個以上で置換されているか、又はハロゲン、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3及び／若しくは−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2で置換されているＣ1〜Ｃ5アルキルであり；或いは
    Ｒ1は、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているフェニルであり、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯ2Ｒ2及び／又は−ＯＳＯ2Ｒ2は、基Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及び／若しくはＲ6を介して、フェニル環の更なる置換基と、又はフェニル環の炭素原子のうちの１個と、５員若しくは６員環を形成するか；或いは
    Ｒ1は、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、ハロゲン及び／若しくは−ＯＲ3で置換されているナフチルであり；
    ここで、基Ｒ1の全ては、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
    Ｒ′1は、Ｃ1〜Ｃ12アルキレン、又は１個以上のＣ3〜Ｃ30シクロアルキレン、−Ｏ−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキレンであるか；或いは
    Ｒ′1は、場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｏ（ＣＯ）−又は−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキレンであるか；或いは
    Ｒ′1は、フェニレン、ナフチレンであり；
    Ｒ2は、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキルであり、
    これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、Ｃ1〜Ｃ4アルコキシ及び／若しくはフェノキシで置換され；
    Ｒ3は、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ2〜Ｃ18アルカノイル、又はベンゾイル、又はＣ1〜Ｃ18アルキルスルホニルであり；
    これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン及び／若しくはＣ1〜Ｃ4アルコキシで置換されているか；或いは
    Ｒ3は、水素、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル又はナフチルスルホニルであり；
    Ｒ4、Ｒ5及びＲ6は、互いに独立して、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ2〜Ｃ18アルカノイル、又はベンゾイル、又はＣ1〜Ｃ18アルキルスルホニルであり、
    これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン及び／若しくはＣ1〜Ｃ4アルコキシで置換されているか；或いは
    Ｒ4及びＲ5は、互いに独立して、水素、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル又はナフチルスルホニルであるか；或いは
    Ｒ4及びＲ5は、それらが結合している窒素原子と一緒になって、場合により−Ｏ−若しくは−ＮＲ6−により中断されている５員、６員又は７員環を形成し；
    Ａｒ1、Ａｒ2、Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5は、互いに独立して、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ12アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＯＲ3及び／若しくは−ＳＲ6で置換されているフェニルであり；
    ここで、基Ａｒ1、Ａｒ2、Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5の全ては、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
    Ａｒ6は、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ12アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＯＲ3及び／若しくは−ＳＲ6で置換されているフェニルであり；そして
    Ｘ及びＹは、互いに独立して、フェニレン、下記式：
    ジフェニレン、オキシジフェニレン又は下記式：
    である〕
    で示される化合物を含む、請求項１記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
  3. ポジ型レジストである、請求項１記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
  4. （ａ１）酸の存在下で分解して、アルカリ現像水溶液において溶解度を増加させる酸不安定基を有するポリマーの少なくとも１種；及び／又は
    （ａ２）酸の存在下で分解して、アルカリ現像水溶液において溶解度を増加させる酸不安定基を有するモノマー又はオリゴマー溶解抑制剤の少なくとも１種；及び／又は
    （ａ３）アルカリ可溶性モノマー、オリゴマー又はポリマー化合物の少なくとも１種；並びに
    （ｂ）感光性酸供与体として、式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物の少なくとも１種を含む、
    請求項３記載の化学増幅型ポジ型レジスト組成物。
  5. ネガ型レジストである、請求項１記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
  6. （ａ４）結合剤としてのアルカリ可溶性樹脂；
    （ａ５）酸の触媒作用を受けると、それ自体で、及び／又は結合剤と架橋反応を起こす成分；並びに
    （ｂ）感光性酸供与体として、式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物の少なくとも１種を含む、
    請求項５記載の化学増幅型ネガ型フォトレジスト組成物。
  7. 成分（ａ）及び（ｂ）、又は成分（ａ１）、（ａ２）、（ａ３）及び（ｂ）、又は成分（ａ４）、（ａ５）及び（ｂ）に加えて、更なる添加剤（ｃ）、更なる感光性酸供与体化合物（ｂ１）、他の光開始剤（ｄ）及び／又は増感剤（ｅ）を含む、請求項１〜６のいずれか１項記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
  8. （１）基材に上記の組成物を塗布し；
    （２）６０℃〜１６０℃の温度で組成物に塗布後ベーキングし；
    （３）波長１５０nm〜１５００nmの光により像様式に照射し；
    （４）場合により、６０℃〜１６０℃の温度で組成物を暴露後ベーキングし；そして
    （５）溶媒で、又はアルカリ現像水溶液で現像することによる、フォトレジストの製造方法。
  9. 式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）：
    〔式中、
    Ｒ1は、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−若しくは−（ＣＯ）−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、又はＣ2〜Ｃ12アルケニル、又はＣ4〜Ｃ8シクロアルケニル、又はＣ6〜Ｃ12ビシクロアルケニルであり、
    これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
    Ｒ1は、フェニル、又はナフチル、又はアントラシル、又はフェナントリル、又はヘテロアリール基であり、
    これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキルで置換されているか、又はＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換され、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2は、基Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及び／若しくはＲ6を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの１個と、５員若しくは６員環を形成し；
    ここで、基Ｒ1の全ては、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
    Ｒ′1は、Ｃ1〜Ｃ12アルキレン、又は１個以上のＣ3〜Ｃ30シクロアルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ6（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−若しくは−ＯＳＯ2−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキレンであり、場合により基Ｃ1〜Ｃ12アルキレン及びＣ2〜Ｃ12アルキレンは、１個以上のＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
    Ｒ′1は、場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断され、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキレンであるか；或いは
    Ｒ′1は、フェニレン、ナフチレン、下記式：
    ジフェニレン、オキシジフェニレン又は下記式：
    であり、これらの基は、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
    Ｒ′1は、下記式：
    であり；
    Ａは、直接結合、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ6（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−又は−ＯＳＯ2−であり；
    Ｂは、直接結合、Ｃ1〜Ｃ12アルキレン、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ6（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−若しくは−ＯＳＯ2−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキレンであり、場合により基Ｃ1〜Ｃ12アルキレン及びＣ2〜Ｃ12アルキレンは、１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換され；
    Ｒ2は、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルであり；
    これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、Ｃ1〜Ｃ4アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−ＮＲ4Ｒ5、Ｃ1〜Ｃ4アルキルチオ、Ｃ2〜Ｃ4アルコキシカルボニル、Ｃ2〜Ｃ4ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ及び／若しくはＣ1〜Ｃ4アルカノイルで置換されているか；或いは
    Ｒ2は、水素であり；
    Ｒ3は、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ2〜Ｃ18アルカノイル、又はベンゾイル、又はＣ1〜Ｃ18アルキルスルホニルであり、
    これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、Ｃ1〜Ｃ4アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−ＮＲ4Ｒ5、Ｃ1〜Ｃ4アルキルチオ、Ｃ2〜Ｃ4アルコキシカルボニル、Ｃ2〜Ｃ4ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ及び／若しくはＣ1〜Ｃ4アルカノイルで置換されているか；或いは
    Ｒ3は、水素、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであり；
    Ｒ4、Ｒ5及びＲ6は、互いに独立して、フェニル、又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ5アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキル、又はＣ2〜Ｃ18アルカノイル、又はベンゾイル、又はＣ1〜Ｃ18アルキルスルホニルであり、
    これらの全ては、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、Ｃ1〜Ｃ4アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルチオ、Ｃ2〜Ｃ4アルコキシカルボニル、Ｃ2〜Ｃ4ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ及び／若しくはＣ1〜Ｃ4アルカノイルで置換されているか；或いは
    Ｒ4、Ｒ5及びＲ6は、互いに独立して、水素、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであるか；或いは
    Ｒ4及びＲ5は、それらが結合している窒素原子と一緒になって、場合により−Ｏ−若しくは−ＮＲ6−により中断されている５員、６員又は７員環を形成し；
    Ａｒ1及びＡｒ2は、互いに独立して、フェニル、又はナフチル、又はアントラシル、又はフェナントリル、又はヘテロアリールであり、
    これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ12アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換され、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2は、基Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及び／若しくはＲ6を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの１個と、５員若しくは６員環を形成するか；或いは
    Ａｒ1及びＡｒ2は、適切であれば、Ｃ1〜Ｃ2アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−又は−（ＣＯ）−と一緒になって縮合環を形成し；
    ここで、基Ａｒ1及びＡｒ2の全ては、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
    Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5は、Ａｒ1及びＡｒ2で示された意味のうちの１個を有するか、或いは
    Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5は、互いに独立して、Ｃ1〜Ｃ12アルキル、又は１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ1〜Ｃ12アルキル、又はＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、又は場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルであり；
    これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ12アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
    Ａｒ3及びＡｒ4は、適切であれば、Ｃ1〜Ｃ2アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−と一緒になって縮合環を形成するか；或いは
    Ａｒ3及びＡｒ4は、適切であれば、Ｃ1〜Ｃ2アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−と一緒になって、５員、６員又は７員環を形成し；
    ここで、基Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5の全ては、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
    Ａｒ6は、フェニル、又はナフチル、又はアントラシル、又はフェナントリル、又はヘテロアリールであり、
    これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキル、又はＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、フェニル、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換され、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2は、基Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及び／若しくはＲ6を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの１個と、５員若しくは６員環を形成し；
    Ｘは、フェニレン、又はナフチレン、又は下記式：
    又はジフェニレン、又はオキシジフェニレン、又は下記式：
    であり、
    これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
    Ｘは、下記式：
    であり；そして
    Ｙは、Ｘで示された意味のうちの１個を有するか、又はＣ1〜Ｃ12アルキレン、又は１個以上のＣ3〜Ｃ30シクロアルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ6（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−若しくは−ＯＳＯ2−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキレンであり、ここでＣ1〜Ｃ12アルキレン及びＣ2〜Ｃ12アルキレンは、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているか；或いは
    Ｙは、場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ6−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−若しくは−ＮＲ6（ＣＯ）−により中断され、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、−（ＣＯ）ＯＲ3、−（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ2、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ3、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4Ｒ5、−ＮＲ6（ＣＯ）Ｒ2、−ＮＲ6（ＣＯ）ＯＲ3、−ＯＲ3、−ＮＲ4Ｒ5、−ＳＲ6、−ＳＯＲ2、−ＳＯ2Ｒ2及び／若しくは−ＯＳＯ2Ｒ2で置換されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキレンであり；
    但し、
    （ｉ）少なくとも１個のＡｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5がメチルの場合、Ｒ1はメチルではなく、そして
    （ｉｉ）少なくとも１個のＡｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5がエチルの場合、Ｒ1はエチルではない〕
    で示される化合物。
  10. Ｒ1が、Ｃ1〜Ｃ5アルキル、Ｃ1〜Ｃ5ハロアルキル又はＣ3〜Ｃ30シクロアルキルであり、これらの全ては、非置換であるか、又は１個以上のＣ1〜Ｃ5アルキル、−Ａｒ6、−（ＣＯ）Ｒ2、又は場合により１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ3〜Ｃ30シクロアルキルで置換されているか；或いは
    Ｒ1が、非置換であるか、又はＣ1〜Ｃ5アルキル、ハロゲン、−（ＣＯ）Ｒ2若しくは−ＯＲ3で置換されているフェニル若しくはナフチルであり；
    Ｒ′1が、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキレン又はフェニレンであり；
    Ｒ2が、フェニル、Ｃ1〜Ｃ5アルキル又は水素であり；
    Ｒ3が、Ｃ1〜Ｃ5アルキルであり；
    Ａｒ1及びＡｒ2が、互いに独立して、非置換であるか、又はＣ1〜Ｃ12アルキルで置換されているフェニルであり；
    Ａｒ3、Ａｒ4及びＡｒ5が、Ａｒ1及びＡｒ2で示された意味のうちの１個を有し；そして
    Ａｒ6が、フェニル、ナフチル、アントラシル又はヘテロアリールであり、それらの全ては、非置換であるか、又はＮＯ2、Ｃ1〜Ｃ5アルキルで、若しくは１個以上の−Ｏ−により中断されているＣ2〜Ｃ12アルキルで置換されている、請求項９記載の式（Ｉａ）、（Ｉｃ）又は（IIａ）の化合物。
  11. （ａ）酸の作用で硬化する化合物、又は酸の作用でその溶解度が増加する化合物；及び
    （ｂ）感光性酸供与体として、請求項９記載の式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物の少なくとも１種を含む組成物。
  12. 酸の作用下で架橋しうる組成物における感光性酸供与体として、及び／又は酸の作用下で溶解度が増加する組成物における溶解向上剤としての、請求項９記載の式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物の使用。
  13. 酸の作用下で架橋しうる化合物を架橋する方法であって、請求項９記載の式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）及び／又は（IIｃ）の化合物を上記化合物に加え、波長１５０〜１５００nmを有する光により像様式に、又は全面を照射することを含む方法。
  14. 表面被覆、印刷インク、印刷版、歯科用組成物、カラーフィルタ、レジスト、又は像記録材料若しくはホログラフ像を記録する像記録材料の製造における感光性酸供与体としての、請求項９記載の式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物の使用。
  15. 表面被覆、印刷インク、印刷版、歯科用組成物、カラーフィルタ、レジスト、又は像記録材料若しくはホログラフ像を記録する像記録材料を製造する、請求項１３記載の方法。
  16. カラーフィルタ又は化学増幅型レジストの製造における感光性酸供与体としての、請求項１記載の式（Ｉａ）、（Ｉｂ）、（Ｉｃ）、（IIａ）、（IIｂ）又は（IIｃ）の化合物の使用。
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