TW569310B - Valve control system for atomic layer deposition chamber - Google Patents
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Description
569310 A7 B7 五、發明説明（） 發明領域i 本發明係關於半導體製程，及更特定地係關於控制 沉積室的設備與方法。 發明背景 半導體元件係被製造於基材上，如梦晶圓或玻璃板 上，用以使用在電腦，監視器，及類此者上。這些元件 可以由一連串的製造步驟來形成，如薄膜沉積，氧化或 氮化，蝕刻，研磨，及熱處理及石版印刷處理β 薄膜沉積典型地是在一低壓處理室中進行的<3在化 學氣相沉積中，一晶圓或其它基材被載入一處理室中且 於一適合一處理氣體的沉積或該處理氣體的一成分的沉 積的條件下被曝露在該處理氣體中用以在該晶圓上形成 一薄膜。 在業界有許多不同的化學氣相沉積處理，其中一種 最新發轉出來的被稱為原子層沉積（ALD)或原子層化學氣 相沉積（ALCVD)»在原子層沉積中，許多薄膜層於一重 覆的處理中被沉積於該晶圓上，在該重覆的處理中晶圓 被交替地曝露於多於一種的處理氣體下。一 ALD處理的 每一循環都涉及開啟或關閉多個閥，該等閥控制著流向 該處理室的處理氣體或沖洗氣體的氣流。因為每一循環 都被重覆數次，所以產生，傳送及執行閥的開啟及關閉 指令所需的時間量在完成一 ALD處理所需的總時間時間 長度上是一很重要的因子。本案發明人已意識到改善ALd 第4頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公楚） I 1**1 I I 暮看‘ I I I ··!!· I 窗 I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、νά 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 56931ο 五 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 發明説明（） 處理的產出率的關鍵繫於闊控制指令的”更新時間”的縮 短上，其中"更新時間，，係指產生，傳送及執行一指令所 需的時間。 登明目的及概述： 依據本發明，一種用於半導體處理室中的閥控制系 統被提供/該閥控制系統包括一系統控制電腦及與該處 理室相關聯之多個電子式控制的閥。該系統更包含一可 程式的邏輯控制器與該系統控制電腦相溝通且可操作地 耦合至該等電子式控制的閥。該可程式的邏輯控制器可 用一小於10毫秒（msec)的更新時間，更佳地是用1毫秒 的更新時間，來控制該等電子式控制的闊。 該閥控制系統可進一步包含一界面板及一驅動電路 其將該可程式的邏輯電路耦合至該等電子式控制的閥。 該界面板可包括固態的繼電器。 該可程式的邏輯控制器可包括一輸出電源供應器其 被設計來從該可程式的邏輯控制器提供一輸出訊號。該 閥控制系統可進一步包括一互鎖電路其可操作地耦合至 該輸出電源供應器且被設計來在一互鎖狀況發生時讓該 輸出電源供應器失能。 該系統控制電腦被可操作地耦合至該可程式的邏輯 控制器的輸出電源供應器且可被設計成在接受到一操作 者的輸入訊號時讓該輸出電源供應器失能。該閥控制系 統可包括一控制面板其可操作地連接至該系統控制電腦 第5頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 鼇· 訂· 569310 A7 B7 五、發明説明（） 且被設計成能夠從一操作者處接收一輸入。 該控制電腦之該等電子式控制的閥可包括一第一 閥’ 一第"一閥及一第二閥。該第一閥可被搞合至一第一 氣體的來源，該第二閥可被耦合至一第二氣體的來源及 該第三閥可被耦合至一沖洗氣體的來源。 依據本發明的另一態樣，一種操作一與半導體處理 室相關連的閥的方法被提供。該方法包括產生該閥的一 操作指令，傳送該被產生的操作指令，及在該閥處執行 該被傳送來的操作指令。該產生，傳送及執行操作指令 的步驟可在一不多於10毫秒的時間長度内被實施。 依據本發明的另一態樣，一種操作一與半導體處理 室相關連的闊的方法被提供。該方法包括提供一電子式 控制的闊及從一系統控制電腦處下載一處理程序指令至 一可程式的邏輯控制器。該方法更包含依據該被下載的 處理程序指令在該可程式的邏輯控制器處重覆地產生開 啟及關閉指令。該方法進一步包括的步驟有：將該等開 啟及關閉指令從該可程式的邏輯控制器傳送至該電子式 控制的閥，及依據該等被傳送來的開啟及關閉指令重覆 地開啟及關閉該電子式控制的閥。 依據本發明的此一態樣的方法更包含將一處理氣體 或一沖洗氣體流入該半導體處理室内以回應該電子式控 制的閥的開啟。 當該閥控制系統依據本發明加以安排時，用於處理 氣體或沖洗氣體之該閥的開啟或關閉的指令可在丨毫秒 第6頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐） ——-.....:喔 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂· 0 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 569310 A7 B7 五、發明説明（） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 的更新時間内被產生及執行。因為有此一快速的更新時 間’所以ALD處理所需之許多重覆性的氣體流循環即可 在一有效率的方式T來實施，進而提高產出率。 本發明的諸項態樣亦需要一經由該可程式的邏輯控 制器的輸出電源供應器的硬體互鎖操作，藉以滿足安全 要求《又，依據本發明的一個態樣，固態的繼電器被使 用於將該PLC與該等閥連接起來的界面電路中。使用固 態的繼電器可讓該系統具有一長的操作壽命，縱使該ALD 處理需要許多的開啟-關閉循環。 本發明之進一步的特徵及優點可從以下參照了附圖 之較佳實施例的詳細說明中更完整地瞭解。 圖式簡箪說明： 第1圖為依據本發明的一實施例所提供的一閥控制系統 的示意方塊圖； 第2圖為第1圖中的系統的一部分之一界面板的示意圖； 及 第3圖為一流程圖其顯示一 ALD處理的闊控制操作β 圊號對照說明： 10 閥控制系統 12 閥 14 處理室 16 氣艘源 18 系統控制電腦 20 可程式的邏輯控制器 26 界面板 28 驅動器 第7頁 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) 569310 A7 B7 五、發明説明（） 30 固態繼電器 32 電源供應器 34 互鎖電路 24 控制面板 22 溝通通道 發明詳細銳，明： 一依據本發明的一實施例所提供的一閥控制系統現 將參照第1圖加以說明，該圊為該閥控制系統的示意方 塊圖。在第1圖中，標號10係指該閥控制系統。閥控制 系統1 0是用來控制多個被安裝成與一處理室14相關的 電子式控制的闊12。該處理室14可以是一傳統的化學 氣相沉積室，其被修改用以將ALD處理的產出率最佳化。 對於該處理室14的修改可包括將閥12直接安裝於該處 理室丨4的蓋上，及提供該基材（未示出）一處理位置，該 位置發非常靠進該處理室14的氣體分布件（未示出這 兩項修改是為了將氣體曝露循環時間減至最小。 閥12為電子式控制的閥且最好是NC閥，其可由設 在美國加州Santa Clara市的Fujikin of America公司構 得。每一閥12都被連接至一各自的氣體源16。氣體源16 可包括兩個或更多的氣體源及一沖洗氣體源。 閥控制系統10包括一系統控制電腦1 8及一可程式 的邏輯控制器（PLC)20，其經由一溝通通道22與該系統 控制電腦18相溝通。該系統控制電腦18及該PLC20被 程式化用以依據一主從架構來操作，使得系統控制電腦 18將闕12的控制委派給該PLC20 »詳言之，系統控制 第8頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 569310 A7 B7 五、發明説明（） 器18可將界定一閥操作程序的資料下載至該Plc20，且 該PLC20控制閥12用以執行被下載的閥控制程序。 系統控制器1 8可以是一傳統的個人電腦其被程式化 用以控制該處理室14的操作。除了將處理氣體及沖洗氣 體闊控制功能委派給該PLC20之外，系統控制器18亦 可控制該處理室14的所有其它功能，包括加熱器，升將 機構，幫浦，及不同於被該PLC20所控制的閥12之其 它閥，如排氣閥，等的控制。一被設計來接受操作者輸 入之傳統的控制面板24被連接至該系統控制電腦1 8。 該PLC 20經由一界面板26及驅動器28而被連接至 閥12。驅動器28可由Fujikin公司所販售的23-6C-DR 產品型號所構成。界面板26的配置被示意地示於第2圖 中。第2圊中，界面板26的每一訊號通道都包括一各自 的固態繼電器30。界面板26是用來將PLC20的輸出與 驅動器28隔離開來。 繼續參照第1圖，PLC20可由一傳統的裝置，如Allen
Bradley-MicroLogix 型號 1 500,所構成。該 PLC20 包括 一輸出電源供應器32其經由場效電晶體（Fet)(未示出）提 供電力給PLC20輸出的訊號《—互鎖電路34被麵合至 該PLC20的電源供應器32。依照傳統的實務，該互鎖電 路34係被設計來接收來感應器訊號用以顯示需要立即中 止該處理作業的情況。該情況可被稱為"互鎖狀況”，如 氣搶門（為不出）的開啟。依據本發明，當互鎖電路34接 收到一互所狀況的訊好指示時，該互鎖電路34會讓詨 第9頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) '^* • J——^ ^ I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 569310 A7 _— _B7 五、發明說明（） PLC20的電源供應器32失能，藉以造成任何已打開的閥 1 2之立即的關閉。 為了讓該PLC20的電源供應器32的目的，系統控 制器18亦被耦合至PLC20的電源供應器32，藉以在接 到來自岭一操作者經由控制面板24輸入的停機訊號時， 可將任何已開啟的閥1 2關閉。 系統控制器18可經由溝通通道22將指令下載至 PLC20，包括在一 ALD處理期間之閥操作的程序。又， 該PLC20可經由該溝通通道將資料訊息送至系統控制電 腦18。此等資料訊息可包括如代表正在一執行中的程序 中已被實施的氣體曝露循環次數，或代表一程序已完成 的確認訊息與現況訊息。 在操作時，系統控制電腦18控制著處理室14的構 件用以實施像是將一晶圓載入該處理室1 4以進行處理， 將該晶圓放在該處理室14中的一適當位置以進行處理， 及將該處理室14抽空，等功能。在室14已準備好實施 一原子層沉積處理時，系統控制電腦1 8將閥12的控制 之處理程序資料下載至PLC 20。在該被下載的資料的基 礎上，PLC20經由界面板26及驅動器28將指令訊號輸 出至闊12用以選擇性地打開及關閉閥12，藉此選擇性 地將處理室14内的晶圓曝露在來自於氣體源ι6的氣體 中。 第3囷為一流程圖其顯示與處理室14中實施的一 ALD處理相關之由PLC2〇所啟始的一連串功能。在第3 第10頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 569310 A7
圖的處理中一開始為步驟50，PLC20在該步驟時將一已 在一初始化程序（未示出）中被重置的計數器增加丨。在步 驟50之後的是步驟52，PLC20在該步驟產生及輸出一 指令用以打開閥12中的一第個閥β假設，閥12中的第 一個閥被連接至一第一處理氣體的來源，該第一處理氣 體可以是碎烧（SiHJ或乙硼烷（3#2) »該第一閥然後開啟 以回應來自於該PLC20的指令且該第一處理氣體進入該 處理室14並撞在該晶圓的表面上用以沉積一第一薄膜於 該晶圓上。該第一闊被保持在一打開的狀態達一段預定 的時間，如數十毫秒。然後，依據該程序的一預定的時 間，該PLC20產生及傳送一指令來關閉該第一閥（步驟 54)。第一閥被關閉以回應該關閉指令。同一時間，pLC2〇 發出一指令用以開啟一第二閥（步驟56)，其可被連接至 一沖洗氣體來源，如氬氣來源。沖洗氣體然後流入室1 4。 沖洗持續一段預定的時間’如數百毫秒，然後在一預定 的時間，該PLC20發出一指令（步驟58)將該第二閥關閉， 以終止沖洗。 在步驟58之後為步驟60。在步驟60，PLC20產生 並傳送一指令用以打開闊12中的一第三閥。假設第三閱 係連接至一第二處理氣體來源，如六氟化鎢（WF6)來源3 當該第三閥打開時，第二處理氣體進入到室14且並衝擊 該晶圓用以沉積一第二薄膜於該晶圓上。該第三閥被保 持在一打開的狀態達一段預定的時間，如數十毫秒。然 後，依據該程序的一預定的時間，該PLC20產生及傳送 第11頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) .ΙΛ_^. · 6請先閲讀背面之注意事节再場窝本頁> -訂· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 569310 A7 B7 五 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 發明説明（） 一指令來關閉該第三闊（步驟62)，同時發出一指令來打 開該第二閥（步驟64)以開始另一沖洗處理。該沖洗持續 一段預定的時間，其可與步驟5 6的沖洗時間相同，然後 該沖洗在PLC20發出一指令（步驟66)關閉第二閥時被終 止。 為了要總結在步驟52-66中所發生的，在一第一短 暫的階段中一薄膜在使用一第一處理氣體下被沉積於該 晶圓上，其後接著的是一沖洗階段；然後接著一第二短 暫階段，一薄膜在使用一第二處理氣體下被沉積於該晶 圓上，其後接著的是一第二沖洗階段。這四個階段構成 一循環，且需要四個指令來打開閥及四個指令來關閉閥。 在一態樣中，控制系統1 〇被安排，及閥12被選取用以 讓產生，傳送及執行一闊開啟或閥關閉指令所需的更新 時間少於1 0毫秒。例如，指令的產生及傳送花費不到！ 毫秒的時間，闊執行該指令的時間約3毫秒。如果依據 傳統的方式，每一闊開啟及關閉的閥操作訊號已被系統 控制電腦18所產生且由其被傳送出的話，將不會有上述 的情形。在這方面之傳統的方式每一閥控制訊號的產生 及傳送將需要1秒甚至數秒的時間。本發明所提供之快 速更新時間亦可由上述之閥12及驅動器28的種類的選 擇，以及在界面板26中之固態繼電器26之使用來支持。 步驟66之後接著的是一決定方塊68,在該方塊將 決定該ALD處理的程序是否已經完成。如果不是（即， 仍由其匕的循環待完成）的話’第3圖的步驟將從方塊68 第12頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210x297公楚) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 舞 訂· 569310 Α7
五、發明説明（） 回到步驟50，使得該計數器被增加i且步驟52-66的循 環再次被實施。一典型的ALD處理的程序將需要少則1 〇 至20循環，多則200-33循環或更多。當該程序所需之 循環次數已被實施時，在步驟68即會作出正面的決定且 該ALD處理即被完成（步驟（70)。這將涉及，例如，將該 晶圓從該處理室14中取出。 因為處理氣體及沖洗氣體閥的開啟及關閉指令的更 新循環以本發明之安排來看是很短的，所以ALD處理所 需要之數個閥操作循環可被快速地完成，因而可提高該 ALD處理的產出率。又，本發明的控制系統可被安排成 一硬體互所可藉由該PLC20的輸出電源供應器來提供； 藉此可滿足需要硬體互鎖之安全法規。再者，從PLC20 到該等閥12之訊號路徑可用南速且長壽命的固態繼電器 來實施，使得能夠達到一短的更新時間，且該控制系統 是耐久的，儘管繼電器有非常多重覆性的操作。 再者，本發明之系統所選用的閥亦具有降低系統控 制電腦的負擔的優點，因為ALD處理所需之龐大的重覆 性指令都是由PLC20所產生而非由系統控制電腦18來 產生。 雖然依據第3圊所述之循環式操作模式對於ALD操 作而言是有利的，但亦可在一非循環式的操作模式中來 操作該控制系統10，其中直接開啟或關閉閥12的指令 可由系統控制電腦18來產生且經由PLC20，界面板26 及驅動器28 —個接一個地被傳送。 第13頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .¾. 訂· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 569310 A7 B7 五、發明説明（） 以上的說明只揭示本發明的一較佳實施例，落在本 言施 而實 者的 藝佳 技較 此 1 悉據 熟依 於已 對明 改發 修本 的然 備雖 設 ， 揭此 上因 之。 内的 圍顯 範明 的是 明會 發將 是 的 解 瞭 其 所 圍 範 利 專 請 申 應的 但下 , 以示由 揭之 以明 加發。 例本内 在圍 落範 會與 亦神 例精 施的 實定 的界 它 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .¾. 訂· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 T 4 »1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐)
Claims (1)
- 8 8 88 \ abcd^ 569310 κ、申請專利範圍 1·一種用於一半導體處理家之閥控制系統，該閥控制系 統至少包含： 一系統控制電腦； 多個與該處理室相關聯之電子式控制的閥；及 一可程式的邏輯控制器，其與該系統控制電腦相溝 通且可操作地麵合至該彳式控制的間。 2.如申請專利範圍第1項所述之閥控制系統，其中該可 程式的邏輯控制器用一小纟1〇毫秒的更新時間來控制 該等電子式控制的閥。 3_如申請專利範圍第1項所述之閥控制系統，其進一步 包含一界面板及一驅動電絡其將該可程式的邏輯電路 耦合至該等電子式控制的聞° 4. 如申請專利範圍第3項所述之閥控制系統，其中該界 面板包括固.態的繼電器。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5. 如申請專利範圍第1項所述之閥控制系統，其中該可 程式的邏輯控制器可包栝一輸出電源供應器其被設計 來從該可程式的邏輯控制器提供一輸出訊號；及該闊 控制系統可進一步包括一互鎖電路其可操作地耦合至 該輸出電源供應器且被設計來在一互鎖狀況發生時讓 該輸出電源供應器失能。 第15頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐） 569310 ABCD 六 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 申請專利範圍 6. 如申請專利範圍第5項所述之閥控制系統，其中該系 統控制電腦被可操作地耦合襄該可程式的邏輯控制器 的輸出電源供應器且被設計成在接受到一操作者的輸 入訊號時可讓該輸出電源供應器失能° 7. 如申請專利範圍第6項所述之閥控制系統，其更包含 一控制面板其可操作地連接至該系統控制電腦且被設 計成能夠從一人類操作者處接收一輸入。 8. 如申請專利範圍第1項所述之閥控制系統，其中該等 電子式控制的閥包括一第一闊，一第二閥及一第三閥， 及其中： 該第一閥被耦合至一第一氣體的來源； 該第二閥被耦合至一第二氣體的來源；及 該第三閥被耦合至一沖洗氣體的來源。 9· 一種操作一與半導體處理室相關連的閥的方法，該方 法至少包含以下的步驟： 產生該閥的一操作指令； 傳送該被產生的操作指令；及 在該閥處執行該被傳送來的操作指令； 其中產生，傳送及執行操作指令的步驟可在一不多 於1 0毫秒（msec)的時間範圍内被實施。 第16頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) 569310 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 10. 如申請專利範圍第9項所述之方法，其中該執行步驟 包括打開該閥。 11. 如申請專利範圍第9項所述之方法，其中該執行步驟 包括關閉該閥^ 12. 如申請專利範圍第9項所述之方法，其更包含重覆該 產生，傳送及執行步驟至少10個循環。 13. 如申請專利範圍第12項所述之方法，其中該產生， 傳送及執行步驟被重覆至少2 00個循環。 14. 一種操作一與半導體處理室相關連的閥的方法，該方 法至少包含以下的步驟： 提供一電子式控制的閥； 從一系統控制電腦處下載一處理程序指令至一可程 式的邏輯控制器； 依據該被下載的處理程序指令在該可程式的邏輯控 制器處重覆地產生開啟及關閉指令； 將該等開啟及關閉指令從該可程式的邏輯控制器傳 送至該電子式控制的閥；及 重覆地開啟及關閉該電子式控制的閥以回應該等被 傳送來的開啟及關閉指令。 第17頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) 請 先 閲 讀 背 面 之 注 意 事 項 569310 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 及關閉指令；及 將該等打開及關閉指令傳送到至少一電子式控 制的閥用以重覆地打開及關該至少一電子式控 制的閥。 1 9· 一種閥控制系統，I其至少包含： 至少一電子式控制的閥，其與一半導體處理室相關 連； 一可程式的邏輯控制器，其被設計來與一系統控制 電腦及與一半導體處理室相關連的至少一電子式控制 的閥相溝通，該可程式的邏輯控制器更被設計來： 產生一操作指令給至少一閥用；及 將該被產生的操作指令傳送至該至少一閥，用 以在該至少一閥處執行該被傳送的操作指令； 其中產生，傳送及執行操作指令的步驟可在一 不多於10毫秒（msec)的時間範圍内被實施。 (請先«讀背面之注意事項再填寫本頁) 0 I------訂---------· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 20·如申請專利範圍第19項所述之系統，其中該可程式的 邏輯控制器被設計成經由至少一固態的繼電器來與該 至少一電子式控制的閥相溝通。 2 1 · —種闊控制系統，其豈少包含： 至少一電子式控制的閥’其與一半導體處理室相關 連； 第19頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 χ 297公釐）經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 569310 六、申請專利範圍 一可程式的邏輯控制器，其被設計來與一系統控制 電細及與一半導體處理室相關連的至少一電子式控制 的闊相溝通，該可程式的邏輯控制器更被設計來： 從該系統控制電腦下載一處理程序指令； 依據該被下載的處理程序指令重覆地產生打開 及關閉指令；，及 將該等打開及關閉指令傳送到至少一電子式控 制的閥用以重覆地打開及關閉該至少一電子式控 制的閥。 2 · 士申叫專利範圍第2 1項所述之系統，其中該可程式的 邏輯控制器被設計成經由至少一固態的繼電器來與該 至少一電子式控制的閥相溝通。 23 · —種閥控制系統，其至少包含： 多個電子式控制的閥，其與一半導體處理室相關連； 多個驅動器，其被耦合至該等電子式控制的閥； 夕個固態繼電器’其被輕合至該等驅動器； 一可程式的邏輯控制器，其被耦合至該等固態繼電 器且被設計成與一系統控制器及該等電子式控制的閥 相溝通，且對於每一電子式控制的閥而言，該可程式的 邏輯控制器更被設計來·： 產生一操作指令給該閥用；及 將該被產生的操作指令傳送至該閥，用以在該 第20頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公髮） (請先«讀背面之注意事項再填寫本頁) 0 — — — — — — — — — — — —— — — — . 569310 A8 B8 - C8 D8 六、申請專利範圍 閥處執行該被傳送的操作指令； 其中產生，傳送及執行操作指令的步驟可在一 不多於10毫秒（msec)的時間範圍内被實施。 24. —種閥控制系統，其至少包含： 多個電子式控制的閥，其與一半導體處理室相關連； 多個驅動器，其被耦合至該等電子式控制的閥； 多個固態繼電器，其被耦合至該等驅動器； 一可程式的邏輯控制器，其被耦合至該等固態繼電 器且被設計成與一系統控制器及該等電子式控制的閥 相溝通，且對於每一電子式控制的閥而言，該可程式的 邏輯控制器更被設計來： 從該系統控制電腦下載一處理程序指令； 依據該被下載的處理程序指令重覆地產生打開 及關閉指令；及 將該等打開及關閉指令傳送到一或多個電子式 控制的闊用以重覆地打開及關閉該一或多個電子 式控制的閥。 (請先«讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 頃 21 第 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）
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