RU2325008C2 - Структурированный кремниевый анод - Google Patents
Структурированный кремниевый анод Download PDFInfo
- Publication number
- RU2325008C2 RU2325008C2 RU2005116224/09A RU2005116224A RU2325008C2 RU 2325008 C2 RU2325008 C2 RU 2325008C2 RU 2005116224/09 A RU2005116224/09 A RU 2005116224/09A RU 2005116224 A RU2005116224 A RU 2005116224A RU 2325008 C2 RU2325008 C2 RU 2325008C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- silicon
- electrode according
- rods
- substrate
- lithium
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M10/00—Secondary cells; Manufacture thereof
- H01M10/05—Accumulators with non-aqueous electrolyte
- H01M10/052—Li-accumulators
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M4/00—Electrodes
- H01M4/02—Electrodes composed of, or comprising, active material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M4/00—Electrodes
- H01M4/02—Electrodes composed of, or comprising, active material
- H01M4/13—Electrodes for accumulators with non-aqueous electrolyte, e.g. for lithium-accumulators; Processes of manufacture thereof
- H01M4/134—Electrodes based on metals, Si or alloys
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M4/00—Electrodes
- H01M4/02—Electrodes composed of, or comprising, active material
- H01M4/13—Electrodes for accumulators with non-aqueous electrolyte, e.g. for lithium-accumulators; Processes of manufacture thereof
- H01M4/139—Processes of manufacture
- H01M4/1395—Processes of manufacture of electrodes based on metals, Si or alloys
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M4/00—Electrodes
- H01M4/02—Electrodes composed of, or comprising, active material
- H01M4/36—Selection of substances as active materials, active masses, active liquids
- H01M4/38—Selection of substances as active materials, active masses, active liquids of elements or alloys
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M4/00—Electrodes
- H01M4/02—Electrodes composed of, or comprising, active material
- H01M4/36—Selection of substances as active materials, active masses, active liquids
- H01M4/38—Selection of substances as active materials, active masses, active liquids of elements or alloys
- H01M4/386—Silicon or alloys based on silicon
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M4/00—Electrodes
- H01M4/02—Electrodes composed of, or comprising, active material
- H01M4/64—Carriers or collectors
- H01M4/66—Selection of materials
- H01M4/661—Metal or alloys, e.g. alloy coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M4/00—Electrodes
- H01M4/02—Electrodes composed of, or comprising, active material
- H01M2004/026—Electrodes composed of, or comprising, active material characterised by the polarity
- H01M2004/027—Negative electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M4/00—Electrodes
- H01M4/02—Electrodes composed of, or comprising, active material
- H01M4/04—Processes of manufacture in general
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S438/00—Semiconductor device manufacturing: process
- Y10S438/90—Bulk effect device making
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/70—Nanostructure
- Y10S977/701—Integrated with dissimilar structures on a common substrate
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/70—Nanostructure
- Y10S977/81—Of specified metal or metal alloy composition
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/902—Specified use of nanostructure
- Y10S977/932—Specified use of nanostructure for electronic or optoelectronic application
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/902—Specified use of nanostructure
- Y10S977/932—Specified use of nanostructure for electronic or optoelectronic application
- Y10S977/948—Energy storage/generating using nanostructure, e.g. fuel cell, battery
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49108—Electric battery cell making
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Battery Electrode And Active Subsutance (AREA)
- Secondary Cells (AREA)
- Silicon Compounds (AREA)
Abstract
Изобретение относится к кремниевым анодам для литиевых батарей. Согласно изобретению кремниевый электрод для аккумуляторной батареи содержит кремниевую подложку с закрепленным на ней массивом субмикронных стержней. Техническим результатом изобретения является сохранение структурной целостности электродом во время циклирования. 3 н. и 5 з.п. ф-лы, 6 ил.
Description
Настоящее изобретение относится к структурированным кремниевым анодам, применяемым в литиевых аккумуляторных батареях.
Кремний считается потенциально привлекательным материалом для использования в качестве материала подложки для лития в литиевых аккумуляторных батареях, поскольку он имеет высокую плотность энергии на единицу объема [1]. Попытки реализовать это потенциальное преимущество лишь частично увенчались успехом при использовании нанокомпозитов на основе кремниевого порошка и технического углерода [2]. Оказывается, что основной технической проблемой, возникающей при использовании сочетания «кремний/литий», является потеря механической прочности в результате значительного повторяющегося увеличения объема, которое происходит при образовании сплава [1с, 3]. Сообщается, что металлические и интерметаллические анодные материалы подложки, кроме слоистых материалов, таких как графит, разрушаются после нескольких циклов введения/экстракции [3, 4] лития, кроме случаев, когда они представляют собой тонкодисперсный порошок (в виде частиц субмикронного размера). Поскольку имеется заинтересованность в интегрировании литиевой аккумуляторной батареи в кремниевый кристалл микросхемы, существует потребность в решении проблемы сочетания материалов. Предположительно основной сферой применения литиевых батарей, интегрированных на микросхеме, может оказаться медицина. Таким образом, наработанная практика установки слуховых (cochlea) аппаратов-имплантантов может стать той областью, в которой будут реализованы преимущества интегрированной аккумуляторной батареи.
Таким образом, задачей настоящего изобретения является создание вышеописанной кремниево-литиевой системы с тем, чтобы обеспечить возможность интегрирования литиевой батареи на кремниевой пластине-микросхеме.
Соответственно, согласно настоящему изобретению предложен способ изготовления на кремниевой пластине кремниевых электродов в виде субмикронных структурных элементов. Предпочтительно данные структурные элементы представляют собой стержни.
Для кремниево-литиевой системы схема базовой ячейки может быть представлена как Li|Li+ - электролит |Si. Для данного элемента катодный процесс представляет собой выделение лития на кремние с формированием сплава (зарядка), а анодный процесс - высвобождение лития, или расформирование сплава (разрядка). Данные для электромагнитного поля, представленные в отчете Вена (Wen) и Хаггинса (Huggins) [6] для жидкой системы при температуре 415°С, указаны ниже в скобках, а данные для системы в твердом состоянии при комнатной температуре указаны ниже без скобок. Были получены следующие данные (в мВ относительно Li): Si/Li12Si7 - 582 (332); Li12Si7/Li7Si3 - 520 (288); Li7Si3/Li13Si4 - 428 (158); Li13Si4/Li21Si5 - (44).
Следует отметить, что в результате образования Li12Si7 на месте Si происходит значительное изменение объема (сплав занимает в 2,17 раза больший объем). На традиционной кремниевой пластине, пригодной к использованию в качестве анода литиевой батареи, такое изменении объема приводит к образованию на ней трещин и крошению, тем не менее анодные структуры, выполненные в соответствии с изобретением, благодаря их форме и сверхмалому размеру будут в состоянии выдерживать условия, возникающие при значительных изменениях объема в результате формирования/расформирования сплава с литием.
Во время проведения испытаний структурированные электроды в виде кремниевых стержней субмикронного диаметра сохраняли свою структурную целостность во время циклирования, в то время как в плоских кремниевых электродах происходило образование трещин (размером порядка 2 микрон) после 50 циклов. Таким образом, для получения работоспособных электродов необходимо соответствующее ограничение размера кремниевых стержней таким образом, чтобы доля площади поверхности, занимаемой элементами (F), не превышала ~0,5.
Осуществление изобретения проиллюстрировано далее посредством неограничивающего примера со ссылкой на прилагаемые чертежи, где
На Фиг.1 схематически изображен структурированный электрод.
На Фиг.2 показаны результаты сканирования CV для одной из нескольких серий тестов.
На Фиг.3 показаны результаты серии гальваностатических измерений.
На Фиг.4 представлены фотографии данной структуры.
На Фиг.5 представлены фотографии данной структуры, полученные при помощи сканирующего электронного микроскопа.
На Фиг.6 изображена литиевая батарея согласно настоящему изобретению.
Электрохимическое выделение лития на кремние и последующая химическая реакция приводят к разрушению кристаллической решетки кремния в результате образования аморфной фазы Si/Li [13] и увеличения объема твердого вещества. После этого в системе сразу же образуется новая фаза Li12Si7. Данное соединение и все остальные соединения вплоть до самого Li являются так называемыми фазами Цинтля (Zintl-phase, ZPC) и состоят из простых электроположительных катионов и сложных, связанных ковалентными связями, многозарядных электроотрицательных анионов. Конечно же, термин «заряд», при использовании по отношению к «ионам» чисто условен: фактический заряд (в зависимости от определения) меньше, чем формальная величина, и может быть значительно меньше, и, следовательно, объемная фаза лития будет обозначаться как Li0, а объемная фаза кремния как Sin 0.
Важно также сформировать некоторое представление о механизме литиирования и делитиирования кремния. Предполагается, что при этом происходят следующие процессы:
(i) Выделяющийся литий взаимодействует с кремнием с образованием фазы Цинтля (ZPC) в виде пленки, которая неразрывно связана с кремнием на атомарном уровне.
(ii) Избыток лития (благодаря механизму электронных вакансий) диффундирует сквозь плотную ZPC-пленку (фазу Цинтля) и вступает в реакцию с кремнием на границе Si/ZPC, приводя к утолщению пленки ZPC без образования пустот. Данные процессы могут быть представлены следующим образом: Li+ (el) + е- (твердая фаза)→Li (адс.); Li (адс.) + V (ZPC)→ LiO (ZPC)3; LiО(ZPC)3 → диффузия → LiО(ZPC)ZPC/Si; × LО + ySiО → ZPC (Lix/ySi), где
(Li (адс.) - литий, адсорбированный на ZPC, V - электронная вакансия Li° на ZPC)
(iii) Аморфная [13] ZPC-пленка способна к деформации и, таким образом, не вызывает существенного образования трещин, связанного с возникновением напряжения при изменении объема.
Коэффициент диффузии D для лития Li в кристаллический Si [14] составляет ~10 см2 c-1, при этом ожидается более высокая подвижность Li в ZPC; величина D, равная 10-12 см2c-1 будет достаточной для описания всех процессов, затронутых в настоящем исследовании. Настоящая модель формирования ZPC-пленки во многом аналогична модели формирования слоя SiO2 на кремнии по Дилу и Гроуву (Deal and Grove [15]), тем не менее, существуют и детальные различия, которые будут рассмотрены в другом исследовании.
Модель разложения ZPC, в общем, является повторением в обратной последовательности шагов, описанных выше. Выделение LiO на границе электролита создает электронную вакансию на поверхности ZPC. Локально LiO заполняет вакансию, которая диффундирует обратно на границу ZPC/Si: на границе Sin вновь вступает в фазу Si (где, как утверждается, он имеет поликристаллическую структуру [13]), а вакансии сливаются (коалесцируют) с образованием пустот большего размера. Эти пустоты по мере объединения и увеличения в размерах приводят к возникновению трещиноподобных образований, которые видно на снимках, полученных при помощи электронного сканирующего микроскопа на Фиг.4с, d и Фиг.5. Подобный процесс был описан Бьюле и др. (Beaulieu et al. [16]) на примере высвобождения лития из кремниево-оловянных сплавов.
Показано, что повторяющееся связывание и высвобождение Li из пластин Si может протекать без разрушения подложки, ср. Фиг.5. Тем не менее, как было отмечено, процессы связывания и высвобождения ограничены диффузией сквозь слой ZPC. С тем чтобы достичь скоростей зарядки, приемлемых для различных целей, необходимо увеличить площадь границы раздела Si/электролит, что было достигнуто путем формирования стержневой структуры. Предыдущие попытки использования кремниевых частиц не увенчались успехом, потому что межчастичные связи подвержены изменениям и распадаются при циклических процессах [2]. В то же время стержневые структуры оказываются устойчивыми, о чем свидетельствует сохранение плоскостности их верхушек после прохождения 50 циклов, см. Фиг.4.
Коэффициенты полезного действия <100%, указанные здесь, относятся по большей части к реакции с электролитом, возникающей при образовании сплава, и в меньшей степени к изоляции участков ZPC. Приведенные здесь данные свидетельствуют о том, что понижение плотности тока, как при формировании сплава, так и при его расформировании, увеличивает КПД. Предполагается, что данное улучшение возникает как результат уменьшения поверхностной концентрации адсорбированного Li при образовании сплава и доступности всего Li в пленке ZPC при расформировании сплава.
Существуют большие возможности дальнейшего увеличения соотношения «поверхность - объем» стержневых структур. Например, стержни диаметром (d) около 0,3 микрона и высотой (Н) 6 микрон. Объем стержня (v), будет FH при F=0,4, v=2,4×10-4 см3/см2, что эквивалентно в перерасчете на Li12Si7, емкости 3,81×103v=914 мА·ч·см-2. Площадь поверхности такой стержневой структуры равняется ~4 FH/d, что само по себе может служить основой для получения значительно улучшенных показателей.
Для создания структуры в соответствии с настоящим изобретением может быть использован следующий способ, называемый «изолирующая (островная) литография» (Island Lithography), как описано в международной заявке WO 01/13414. Согласно этому способу используют хлорид цезия в качестве резиста на стадии литографии при изготовлении массивов стержневых структур. Сущность этого способа заключается в следующем. На очищенную гидрофильную поверхность кремниевой подложки наносят тонкую пленку CsCl посредством вакуумного напыления. Полученную таким образом систему подвергают воздействию атмосферы с контролируемой относительной влажностью. Полимолекулярный слой воды адсорбируется на поверхности, CsCl растворяется в воде (степень растворимости увеличивается в местах с большим радиусом кривизны). Под воздействием избыточной поверхностной энергии, связанной с поверхностной кривизной CsCl, хлорид цезия (CsCl) перестраивается с образованием массива полусферических изолированных участков (островков). Подобные массивы полезны при создании структур для различного вида исследований наночастиц. В данном случае предпочтительно использовать ионно-лучевое травление химически активными ионами, при котором изолированные области (островки) выступают в качестве Х маски, а удаление незащищенных маской участков кремния приводит к формированию желаемых структур.
Изучение кинетики образования изолированных (островных) массивов проводилось на основе GaAs поверхностей [9]. Более обширные исследования проводились позднее на Si/SiO2 поверхностях, для которых технология и полученные результаты описаны более подробно. Было исследовано влияние следующих переменных процесса: толщины пленки CsCl (L), влажности (RH), времени воздействия (t). Полученный в результате массив островных участков характеризуется нормальным (гауссовым) распределением диаметров, средним диаметром (<d>), стандартным отклонением (±s), площадью поверхности отдельного элемента (F). Следующим шагом после завершения создания массива резиста CsCl является ионно-лучевое травление химически активными ионами (RIE) с образованием соответствующего массива стержней [11]. Переменными ионно-лучевого травления являются следующие: состав подаваемого газа, расход газа, давление в камере, мощность RF-излучения, смещение постоянного тока, время травления. Результаты характеризуются такими показателями, как глубина травления по отношению к высоте стержня (Н), угол стенки, а точнее угол, который образуют стенка стержня и поверхность пластины. В настоящем исследовании величина угла стенки и пластины принимается приблизительно равной 90°. Образцы, описанные в настоящем исследовании, были получены путем травления в устройстве «Oxford Plasmalab 80». Для травления использовалась газовая смесь O2:Ar:CHF3 в соотношении 1:10:20, расход газа 20 см3·сек, давление в камере 50 мПа, мощность излучения (RF, радиочастоты) 73 Вт, смещение постоянного тока 200 В.
Стержневая структура, полученная в результате настоящего исследования (К-группа), характеризовалась следующими параметрами:<d>=580 нм±15 нм; F=0,34; Н=810 нм, она была создана с использованием следующих параметров: L=80 нм; RH=40%; t=17,5 часов. По завершении процесса создания структур образцы кремния были промыты водой. После этого было произведено их травление в течение 20 секунд смесью NH4ОН (28% NH3):Н2O2 (100 v/v):H2O в равных объемных соотношениях. Продукты травления были смыты деионизированной водой и высушены направленным потоком воздуха.
Несомненно, такие структуры могут быть изготовлены при помощи других известных методов, таких как, например, фотолитография, которые позволяют получить упорядоченные массивы структур в отличие от рассеянных структур, которые получаются при использовании изолирующей литографии.
На Фиг.1 представлен схематичный чертеж структурированного электрода в соответствии, настоящим изобретением. Такой электрод используется в экспериментах, описанных ниже. На чертеже представлено аксонометрическое изображение анода с частичным разрезом, на котором стержни 2 отчетливо видны на кремниевой пластине 3.
На Фиг.6 представлено изображение литиевой батареи, представляющей собой типичный пример реализации настоящего изобретения. Аккумуляторная батарея включает: анод 1, катод 4, полимерный электролит 5, первую полосу 6, представляющую собой контур выпрямителя, подсоединенный к обмотке анода с целью подзарядки, вторую полосу 7, представляющую собой выходной контур (работает от батареи) и пару электрических проводников 8 для подсоединения к устройству, приводимому в действие от аккумуляторной батареи.
Электрохимические тесты были проведены в стеклянной ячейке, в которой имеются три электрода, при этом образец Si является рабочим электродом, а металлический Li используется одновременно как противоэлектрод и как электрод сравнения. В качестве электролита использовали 1 М раствор LiClO4 (Merck Selectipura) в смеси этиленкарбонат: диэтилкарбонат (Merck Selectipura), в соотношении 1:1 по массе. Элемент был собран в атмосфере сухого аргона в стерильной камере с перчатками (скафандр). Омический контакт был осуществлен с задней стороны кремниевых электродов с использованием эвтектического сплава 1:1 In-Ga [12]. Участок электрода был отмечен с использованием уплотнительного кольца в ПТФЭ (политетрафторэтилен) держателе. При отсутствии склеивания было получено надежное соединение, предотвращающее воздействие атмосферы на электролит. На ранних этапах исследования было установлено, что использование эпоксидного клея для установки Si-электрода приводит к загрязнению активной поверхности электрода и возникновению паразитных токов при высоких напряжениях (>2В).
Электрохимические свойства полученной ячейки исследовали методами циклической вольтамперометрии (ЦВ) (CV), и гальваностатических измерений (напряжение относительно времени при постоянном токе) с использованием рабочей станции для электрохимических исследований (марки VMP PerkinElmer™ Instruments). Упоминаемая здесь емкость является общим зарядом, наведенный на выступающей поверхности электрода, доступной для электролита в микроАмпер·часах·см-2 (при этом площадь поверхности, возникающую вследствие структурирования, в расчет не принимают).
Были получены следующие результаты.
Измерен отклик ячейки Li|Li+ - электролит |Si, при этом для данного элемента катодным процессом является выделение лития на кремние с формиованием сплава (зарядка), а анодным процессом является выведение лития или расформирование сплава (разрядка). Фиг.2 иллюстрирует в серию опытов, проведенных путем сканирования при постоянном напряжении (CV) (подробные данные в заголовке). Первый цикл и, в значительной степени, второй цикл отличаются от всех последующих. Преположительно эту особенность можно объяснить эффектом «образований» ("формаций"), связанным с образованием пленки на электроде во время первого выделения лития. По завершении первого и второго циклов кривые сканирования приобретают общее сходство и повторяемость формы. Поскольку данные кривые получены в условиях медленного изменения электрического потенциала и, соответственно, низких плотностей тока, омическое падение напряжения или диффузионное перенапряжение отсутствует. Если предположить, что активационное перенапряжение также отсутствует, электродный потенциал будет являться мерой поверхностной активности лития. Первым катодным признаком является быстрое увеличение тока до ~330 мВ, что, в соответствии с результатами, полученными при комнатной температуре7, свидетельствует о присутствии Li12Si7. Самая низкая величина потенциала составляет 25 мВ; предполагается, что это связано с наличием соединений с более высоким содержанием Li, например Li21Si5. В процессе дальнейшего циклирования наблюдали постепенную «активацию» образца, связанную с прогрессирующим разрушением кристаллической решетки кремния (см. обсуждение). Анодная часть кривой постоянного напряжения (CV) связана с постепенным выведением лития из электрода (делитиированием) в соответствии с различными равновесными потенциалами ZPC. При скорости сканирования 1 мВс-1 емкость электродов (260 м·А·ч·см-2) можно приблизительно соотнести с объемом стержней из Li12Si7, в то время как при более низких скоростях сканирования емкость электродов превышает объем стержней. Последнее указывает на участие материала подложки в процессе литиирования/делитиирования.
На Фиг.3 представлены результаты серии гальваностатических измерений структурированного Si при двух различных величинах плотности тока зарядки/разрядки (подробные данные в заголовке).
На Фиг.4 представлена структура кремниевых электродов К-серии, которые были использованы в настоящем исследовании и показано влияние продолжительного циклического гальваностатического воздействия на эту структуру. Структура электродов определенно не претерпела изменений, однако при более высокой плотности тока наблюдается небольшое растрескивание поверхности твердого кремния ниже уровня оснований стержней.
На Фиг.5 представлены микрофотографии структуры плоских (не в виде стержней) кремниевых электродов, полученные при помощи сканирующего электронного микроскопа перед началом цикла и, отдельно, после гальваностатического циклирования. Циклирование при малых плотностях тока приводит к деформации поверхности, но без образования трещин. Циклирование при высоких плотностях тока приводит к образованию широких трещин.
Литература
1. (a): R.A.Sharma and R.N.Seefurth, J. Electrochem. Soc., 123, 1763 (1976); (b): В.A.Boukamp, G.С.Lash and R.A.Huggins, J. Electrochem Soc., 128, 725 (1981); (с): R.A.Huggins, Lithium Alloy Anodes in "Handbook of Battery Materials", J.O.Besenhard Ed, Wiley-VCH, Weinheim, 15 359(1999); (d): S.Bourderau, T.Brousse and D.M.Schleich, J. Power Sources, 233, 81 (1999); (е): О.Z.Zhuo, Во Bao and S.Sinha, US Patent №6334939 B1 Jan 1, 2002: Существует множество других патентов, относящихся к использованию материалов подложки для Li анодов.
2. Hong Li, Xuejie Huang, Liquan Chen, Zhengang Wu and Yong Liang, Electrochem. Solid-State Lett, 2, 547 (1999).
3. J.O.Besenhard, J.Yang and M.Winter, Ж. Power Sources, 68, 87 (1997).
4. L.Y.Beaulieu, D.Larcher, R.A.Dunlap and J.R.Dahn, J. 25 Electrochem. Soc., 47, 3206 (2000).
5. J.К.Niparko (Editor), "Cochlea Implants", Pub., Lippincott Williams and Wilkins, Philadelphia, (2000) 5.
6. С.J.Wen and R.A.Huggins, J. Solid State Chem., 37, 271 (1981).
7. W.J.Weydanz, M.Wohlfahrt-Mehrens and R.A.Huggins, J. Power Sources 81-82, 237(1999).
8. J-P.Colinge, "Silicon-on-lnsulator Technology: Materials to VLSI", Kluwer Acad. Pub, Boston, Chapter 2, (1991).
9. Mino Green, M.Garcia-Parajo, F.Khaleque and R.Murray, Appl. Phys. Lett., 63, 264(1993).
10. Mino Green and Shin Tsuchiya, J. Vac. Sci. & Tech. B, 17, 2074 (1999).
11. Shin Tsuchiya, Mino Green and RRA Syms, Electrochem. Solid-State Lett, 3-44 (2000).
12. L-C.Chen, M.Chen, T-H Tsaur, C.Lien and C-C.Wan, Sensors and Actuators, A49, 115 (1995).
13. H.Li, X.Huang, L.Chen, G.Zhou, Z.Zhang, D.Yu, Y.J.Mo and N.Pei, Solid State lonics, 135, 181 (2000).
14. "Properties of Silicon", Pub. INSPEC, Институт инженеров электротехников, London, (1988): стр.461 о растворимости; стр.455 данные по диффузии.
15. В.Е.Deal and A.S.Grove, J. Appl. Phys., 36, 3770 10 (1965).
16. L.Y.Beaulieu, K.W.Eberman, R.L.Turner, L.J. Krause and J.R.Dahn, Electrochem. Solid-state Lett, 4, A137 (2001).
Claims (8)
1. Кремниевый электрод для батареи, содержащий кремниевую подложку с закрепленным на ней массивом субмикронных кремниевых стержней.
2. Кремниевый электрод по п.1, отличающийся тем, что представляют собой анод, при этом кремниевая подложка изготовлена из кремния n-типа.
3. Кремниевый электрод по п.2, отличающийся тем, что он изготовлен на кремниевой подложке, представляющей собой подложку «кремний-на-диэлектрике».
4. Кремниевый электрод по п.2, отличающийся тем, что кремниевые стержни покрывают не более 0,5 площади поверхности подложки.
5. Кремниевый электрод по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что размер стержней составляет 0,1-1,0 мкм в диаметре (d), и 1-10 мкм в высоту (Н)
6. Кремниевый электрод по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что размер стержней составляет около 0,3 мкм в диаметре (d), и 6 мкм в высоту (Н).
7. Способ получения кремниевого электрода по любому из пп.1-6, включающий следующие операции:
а) нанесение пленки растворимого твердого вещества на гидрофильную поверхность кремниевой подложки;
b) обработка пленки парами растворителя таким образом, что пленка перестраивается с образованием на поверхности массива изолированных полусферических участков;
c) ионно-лучевое травление кремниевой подложки химически активными ионами, при котором изолированные участки растворимого твердого вещества выступают в качестве резиста, так, что происходит удаление кремния с незащищенных участков с образованием стержней, соответствующих изолированным участкам.
8. Литиевая аккумуляторная батарея, содержащая электрод по любому из пп.1-6.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB0225779.8 | 2002-11-05 | ||
GB0225779A GB2395059B (en) | 2002-11-05 | 2002-11-05 | Structured silicon anode |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2005116224A RU2005116224A (ru) | 2006-01-20 |
RU2325008C2 true RU2325008C2 (ru) | 2008-05-20 |
Family
ID=9947238
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2005116224/09A RU2325008C2 (ru) | 2002-11-05 | 2003-11-05 | Структурированный кремниевый анод |
Country Status (12)
Country | Link |
---|---|
US (5) | US7402829B2 (ru) |
EP (2) | EP2363908A1 (ru) |
JP (3) | JP4607594B2 (ru) |
KR (1) | KR100785695B1 (ru) |
CN (1) | CN100399606C (ru) |
AU (1) | AU2003276468A1 (ru) |
CA (1) | CA2504634C (ru) |
GB (1) | GB2395059B (ru) |
HK (1) | HK1086669A1 (ru) |
IL (1) | IL168377A (ru) |
RU (1) | RU2325008C2 (ru) |
WO (1) | WO2004042851A2 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2718707C1 (ru) * | 2019-01-11 | 2020-04-14 | Сергей Николаевич Максимовский | Способ создания наноструктурированного кремниевого анода |
Families Citing this family (138)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2395059B (en) | 2002-11-05 | 2005-03-16 | Imp College Innovations Ltd | Structured silicon anode |
EP1593163B1 (en) * | 2003-01-30 | 2015-06-17 | PST Sensors (Pty) Limited | A thin film semiconductor device and method of manufacturing a thin film semiconductor device |
CN102064102B (zh) * | 2004-06-08 | 2013-10-30 | 桑迪士克公司 | 形成单层纳米结构的方法和器件以及包含这种单层的器件 |
US7776758B2 (en) * | 2004-06-08 | 2010-08-17 | Nanosys, Inc. | Methods and devices for forming nanostructure monolayers and devices including such monolayers |
US7968273B2 (en) | 2004-06-08 | 2011-06-28 | Nanosys, Inc. | Methods and devices for forming nanostructure monolayers and devices including such monolayers |
US8563133B2 (en) | 2004-06-08 | 2013-10-22 | Sandisk Corporation | Compositions and methods for modulation of nanostructure energy levels |
GB0601319D0 (en) * | 2006-01-23 | 2006-03-01 | Imp Innovations Ltd | A method of fabricating pillars composed of silicon-based material |
GB0601318D0 (en) * | 2006-01-23 | 2006-03-01 | Imp Innovations Ltd | Method of etching a silicon-based material |
US8999558B2 (en) | 2007-01-12 | 2015-04-07 | Enovix Corporation | Three-dimensional batteries and methods of manufacturing the same |
US8691450B1 (en) * | 2007-01-12 | 2014-04-08 | Enovix Corporation | Three-dimensional batteries and methods of manufacturing the same |
FR2913011B1 (fr) * | 2007-02-22 | 2010-03-12 | Centre Nat Rech Scient | Nouveaux materiaux comprenant des elements du groupe 14 |
GB0709165D0 (en) * | 2007-05-11 | 2007-06-20 | Nexeon Ltd | A silicon anode for a rechargeable battery |
EP2183089A4 (en) * | 2007-07-12 | 2012-10-31 | Deese Edward | PHOTOVOLTAIC SOLAR STRUCTURE WITH PHOTON-SENSITIVE NANOCELLS |
GB0713895D0 (en) | 2007-07-17 | 2007-08-29 | Nexeon Ltd | Production |
GB0713898D0 (en) | 2007-07-17 | 2007-08-29 | Nexeon Ltd | A method of fabricating structured particles composed of silcon or a silicon-based material and their use in lithium rechargeable batteries |
GB0713896D0 (en) * | 2007-07-17 | 2007-08-29 | Nexeon Ltd | Method |
US7816031B2 (en) * | 2007-08-10 | 2010-10-19 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Nanowire battery methods and arrangements |
US9966197B2 (en) | 2009-02-25 | 2018-05-08 | Cf Traverse Llc | Energy storage devices including support filaments |
US9431181B2 (en) | 2009-02-25 | 2016-08-30 | Catalyst Power Technologies | Energy storage devices including silicon and graphite |
US9705136B2 (en) | 2008-02-25 | 2017-07-11 | Traverse Technologies Corp. | High capacity energy storage |
US8420258B2 (en) | 2008-02-25 | 2013-04-16 | Ronald Anthony Rojeski | High capacity electrodes |
US10056602B2 (en) | 2009-02-25 | 2018-08-21 | Cf Traverse Llc | Hybrid energy storage device production |
US9349544B2 (en) | 2009-02-25 | 2016-05-24 | Ronald A Rojeski | Hybrid energy storage devices including support filaments |
US8481214B2 (en) * | 2008-02-25 | 2013-07-09 | Catalyst Power Technologies | Electrodes including support filament with collar stop |
US9362549B2 (en) | 2011-12-21 | 2016-06-07 | Cpt Ip Holdings, Llc | Lithium-ion battery anode including core-shell heterostructure of silicon coated vertically aligned carbon nanofibers |
US9941709B2 (en) | 2009-02-25 | 2018-04-10 | Cf Traverse Llc | Hybrid energy storage device charging |
US10193142B2 (en) | 2008-02-25 | 2019-01-29 | Cf Traverse Llc | Lithium-ion battery anode including preloaded lithium |
US9412998B2 (en) | 2009-02-25 | 2016-08-09 | Ronald A. Rojeski | Energy storage devices |
US10727481B2 (en) | 2009-02-25 | 2020-07-28 | Cf Traverse Llc | Energy storage devices |
US9917300B2 (en) | 2009-02-25 | 2018-03-13 | Cf Traverse Llc | Hybrid energy storage devices including surface effect dominant sites |
US11233234B2 (en) | 2008-02-25 | 2022-01-25 | Cf Traverse Llc | Energy storage devices |
US9979017B2 (en) | 2009-02-25 | 2018-05-22 | Cf Traverse Llc | Energy storage devices |
US10205166B2 (en) | 2008-02-25 | 2019-02-12 | Cf Traverse Llc | Energy storage devices including stabilized silicon |
WO2010030955A1 (en) * | 2008-09-11 | 2010-03-18 | Lockheed Martin Corporation | Nanostructured anode for high capacity rechargeable batteries |
GB2464157B (en) | 2008-10-10 | 2010-09-01 | Nexeon Ltd | A method of fabricating structured particles composed of silicon or a silicon-based material |
GB2464158B (en) | 2008-10-10 | 2011-04-20 | Nexeon Ltd | A method of fabricating structured particles composed of silicon or a silicon-based material and their use in lithium rechargeable batteries |
US8940438B2 (en) | 2009-02-16 | 2015-01-27 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Negative electrode including group 14 metal/metalloid nanotubes, lithium battery including the negative electrode, and method of manufacturing the negative electrode |
GB2470056B (en) | 2009-05-07 | 2013-09-11 | Nexeon Ltd | A method of making silicon anode material for rechargeable cells |
US20140370380A9 (en) * | 2009-05-07 | 2014-12-18 | Yi Cui | Core-shell high capacity nanowires for battery electrodes |
US20100285358A1 (en) * | 2009-05-07 | 2010-11-11 | Amprius, Inc. | Electrode Including Nanostructures for Rechargeable Cells |
US11996550B2 (en) | 2009-05-07 | 2024-05-28 | Amprius Technologies, Inc. | Template electrode structures for depositing active materials |
GB2470190B (en) | 2009-05-11 | 2011-07-13 | Nexeon Ltd | A binder for lithium ion rechargeable battery cells |
US9853292B2 (en) | 2009-05-11 | 2017-12-26 | Nexeon Limited | Electrode composition for a secondary battery cell |
JP5882200B2 (ja) | 2009-05-19 | 2016-03-09 | ワンディー マテリアル エルエルシー | 電池に応用するためのナノ構造材料 |
US8450012B2 (en) * | 2009-05-27 | 2013-05-28 | Amprius, Inc. | Interconnected hollow nanostructures containing high capacity active materials for use in rechargeable batteries |
US8658313B2 (en) * | 2009-09-30 | 2014-02-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing electrode, and method for manufacturing power storage device and power generation and storage device having the electrode |
KR101740692B1 (ko) * | 2009-09-30 | 2017-05-26 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 축전 장치용 전극의 제작 방법 및 축전 장치의 제작 방법 |
JP2011108639A (ja) | 2009-10-22 | 2011-06-02 | Ronald Anthony Rojeski | カラーストップを含む電極 |
US9061902B2 (en) | 2009-12-18 | 2015-06-23 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Crystalline-amorphous nanowires for battery electrodes |
US9077029B2 (en) * | 2010-02-23 | 2015-07-07 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Negative active material for rechargeable lithium battery and rechargeable lithium battery including the same |
US9780365B2 (en) | 2010-03-03 | 2017-10-03 | Amprius, Inc. | High-capacity electrodes with active material coatings on multilayered nanostructured templates |
US9172088B2 (en) | 2010-05-24 | 2015-10-27 | Amprius, Inc. | Multidimensional electrochemically active structures for battery electrodes |
KR101906606B1 (ko) | 2010-03-03 | 2018-10-10 | 암프리우스, 인코포레이티드 | 활물질을 증착하기 위한 템플릿 전극 구조체 |
CN102812581B (zh) | 2010-03-26 | 2016-08-31 | 株式会社半导体能源研究所 | 二次电池及二次电池的电极的形成方法 |
GB201005979D0 (en) | 2010-04-09 | 2010-05-26 | Nexeon Ltd | A method of fabricating structured particles composed of silicon or a silicon-based material and their use in lithium rechargeable batteries |
US8513804B2 (en) | 2010-04-13 | 2013-08-20 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Nanotube-based electrodes |
GB201009519D0 (en) | 2010-06-07 | 2010-07-21 | Nexeon Ltd | An additive for lithium ion rechargeable battery cells |
US9190695B2 (en) | 2010-08-05 | 2015-11-17 | Wako Pure Chemical Industries, Ltd. | Nonaqueous electrolyte solution, method for producing same, and nonaqueous electrolyte battery using the electrolyte solution |
WO2012017999A1 (ja) | 2010-08-05 | 2012-02-09 | 和光純薬工業株式会社 | 非水系電解液及びそれを用いた非水系電解液電池 |
GB201014706D0 (en) | 2010-09-03 | 2010-10-20 | Nexeon Ltd | Porous electroactive material |
GB201014707D0 (en) | 2010-09-03 | 2010-10-20 | Nexeon Ltd | Electroactive material |
US9843027B1 (en) | 2010-09-14 | 2017-12-12 | Enovix Corporation | Battery cell having package anode plate in contact with a plurality of dies |
WO2012067943A1 (en) | 2010-11-15 | 2012-05-24 | Amprius, Inc. | Electrolytes for rechargeable batteries |
US9543577B2 (en) | 2010-12-16 | 2017-01-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Active material, electrode including the active material and manufacturing method thereof, and secondary battery |
US20140335415A1 (en) * | 2011-01-31 | 2014-11-13 | Ryo Tamaki | Battery electrode having elongated particles embedded in active medium |
US8399724B2 (en) | 2011-03-25 | 2013-03-19 | Exxonmobil Chemical Patents Inc. | Vinyl terminated higher olefin copolymers and methods to produce thereof |
CN103236395B (zh) * | 2011-05-25 | 2016-09-28 | 新加坡科技研究局 | 在基底上形成纳米结构的方法及其用途 |
GB2492167C (en) | 2011-06-24 | 2018-12-05 | Nexeon Ltd | Structured particles |
JP6250538B2 (ja) | 2011-07-01 | 2017-12-20 | アンプリウス、インコーポレイテッド | 電極および電極の製造方法 |
KR20130024769A (ko) | 2011-08-30 | 2013-03-08 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 축전 장치 |
US9401247B2 (en) | 2011-09-21 | 2016-07-26 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Negative electrode for power storage device and power storage device |
US20130084495A1 (en) * | 2011-09-30 | 2013-04-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Power storage device |
GB201117279D0 (en) | 2011-10-06 | 2011-11-16 | Nexeon Ltd | Etched silicon structures, method of forming etched silicon structures and uses thereof |
CN103030096A (zh) * | 2011-10-09 | 2013-04-10 | 中国科学院高能物理研究所 | 一种具有纳米结构表面的硅材料及其制作方法 |
KR101328148B1 (ko) * | 2011-11-17 | 2013-11-13 | 재단법인대구경북과학기술원 | 다공성 실리콘 구조체 및 이를 포함한 이차전지 |
GB201122315D0 (en) | 2011-12-23 | 2012-02-01 | Nexeon Ltd | Etched silicon structures, method of forming etched silicon structures and uses thereof |
US8841030B2 (en) | 2012-01-24 | 2014-09-23 | Enovix Corporation | Microstructured electrode structures |
JP2015510666A (ja) | 2012-01-30 | 2015-04-09 | ネクソン リミテッドNexeon Limited | Si/C電気活性材料組成物 |
US8592250B2 (en) * | 2012-02-01 | 2013-11-26 | International Business Machines Corporation | Self-aligned process to fabricate a memory cell array with a surrounding-gate access transistor |
GB2499984B (en) | 2012-02-28 | 2014-08-06 | Nexeon Ltd | Composite particles comprising a removable filler |
GB2500611A (en) | 2012-03-26 | 2013-10-02 | Cambridge Entpr Ltd | Powder comprising carbon nanostructures and method of preparation |
GB2502625B (en) | 2012-06-06 | 2015-07-29 | Nexeon Ltd | Method of forming silicon |
JP6416765B2 (ja) | 2012-08-16 | 2018-10-31 | エノビクス・コーポレイションEnovix Corporation | 3次元電池のための電極構造体 |
US10170746B2 (en) | 2012-10-17 | 2019-01-01 | Infineon Technologies Ag | Battery electrode, battery, and method for manufacturing a battery electrode |
GB201300133D0 (en) | 2012-10-25 | 2013-02-20 | Morgan Crucible Co | Laminated materials, methods and apparatus for making same, and uses thereof |
GB2507535B (en) | 2012-11-02 | 2015-07-15 | Nexeon Ltd | Multilayer electrode |
US9088020B1 (en) | 2012-12-07 | 2015-07-21 | Integrated Photovoltaics, Inc. | Structures with sacrificial template |
US9484573B2 (en) | 2012-12-31 | 2016-11-01 | West Virginia University | Composite anode of lithium-ion batteries |
EP2973785B1 (en) | 2013-03-15 | 2019-10-02 | Enovix Corporation | Separators for three-dimensional batteries |
KR20230137493A (ko) | 2013-04-19 | 2023-10-04 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 이차 전지 및 그 제작 방법 |
US20140346618A1 (en) | 2013-05-23 | 2014-11-27 | Nexeon Limited | Surface treated silicon containing active materials for electrochemical cells |
US9905844B2 (en) | 2013-08-28 | 2018-02-27 | Robert Bosch Gmbh | Solid state battery with volume change material |
CA2829605C (en) * | 2013-10-07 | 2016-06-14 | Springpower International Incorporated | A method for mass production of silicon nanowires and/or nanobelts, and lithium batteries and anodes using the silicon nanowires and/or nanobelts |
KR20160070119A (ko) | 2013-10-15 | 2016-06-17 | 넥세온 엘티디 | 전기화학 셀용 보강 집전 기판 조립체 |
KR101567203B1 (ko) | 2014-04-09 | 2015-11-09 | (주)오렌지파워 | 이차 전지용 음극 활물질 및 이의 방법 |
US9755858B2 (en) * | 2014-04-15 | 2017-09-05 | Cisco Technology, Inc. | Programmable infrastructure gateway for enabling hybrid cloud services in a network environment |
KR101604352B1 (ko) | 2014-04-22 | 2016-03-18 | (주)오렌지파워 | 음극 활물질 및 이를 포함하는 리튬 이차 전지 |
WO2015175509A1 (en) | 2014-05-12 | 2015-11-19 | Amprius, Inc. | Structurally controlled deposition of silicon onto nanowires |
US10128496B2 (en) | 2014-08-14 | 2018-11-13 | Giner, Inc. | Three-dimensional, porous anode for use in lithium-ion batteries and method of fabrication thereof |
US10403889B2 (en) | 2014-10-21 | 2019-09-03 | RAMOT AT TEL-AVIV UNlVERSITY LTD. | High-capacity silicon nanowire based anode for lithium-ion batteries |
EP3023385A1 (en) * | 2014-11-19 | 2016-05-25 | Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | System and method for manufacturing a micropillar array |
GB2533161C (en) | 2014-12-12 | 2019-07-24 | Nexeon Ltd | Electrodes for metal-ion batteries |
JP6007994B2 (ja) | 2015-01-23 | 2016-10-19 | セントラル硝子株式会社 | 非水電解液二次電池用電解液及びそれを用いた非水電解液二次電池 |
KR101958880B1 (ko) | 2015-01-23 | 2019-03-15 | 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드 | 비수전해액 전지용 전해액 및 비수전해액 전지 |
US10707526B2 (en) | 2015-03-27 | 2020-07-07 | New Dominion Enterprises Inc. | All-inorganic solvents for electrolytes |
EP3295507B1 (en) | 2015-05-14 | 2020-08-19 | Enovix Corporation | Longitudinal constraints for energy storage devices |
JP6098684B2 (ja) | 2015-08-12 | 2017-03-22 | セントラル硝子株式会社 | 非水電解液二次電池用電解液及びそれを用いた非水電解液二次電池 |
CN113782817B (zh) | 2015-12-22 | 2024-04-12 | 中央硝子株式会社 | 非水电解液电池用电解液和使用其的非水电解液电池 |
JP7059203B2 (ja) | 2016-05-13 | 2022-04-25 | エノビクス・コーポレイション | 3次元電池の寸法的制限 |
JP6245312B2 (ja) | 2016-05-30 | 2017-12-13 | セントラル硝子株式会社 | 非水系電解液二次電池用電解液及びそれを用いた非水系電解液二次電池 |
JP6260735B1 (ja) | 2016-07-06 | 2018-01-17 | セントラル硝子株式会社 | 非水系電解液及びそれを用いた非水系電解液二次電池 |
US10707531B1 (en) | 2016-09-27 | 2020-07-07 | New Dominion Enterprises Inc. | All-inorganic solvents for electrolytes |
WO2018093965A1 (en) | 2016-11-16 | 2018-05-24 | Enovix Corporation | Three-dimensional batteries with compressible cathodes |
JP7128422B2 (ja) | 2017-04-10 | 2022-08-31 | セントラル硝子株式会社 | ホスホリルイミド塩の製造方法、該塩を含む非水電解液の製造方法及び非水二次電池の製造方法 |
JP7172015B2 (ja) | 2017-09-12 | 2022-11-16 | セントラル硝子株式会社 | 非水電解液用添加剤、非水電解液電池用電解液、及び非水電解液電池 |
JP7223221B2 (ja) | 2017-09-12 | 2023-02-16 | セントラル硝子株式会社 | 非水電解液用添加剤、非水電解液、及び非水電解液電池 |
WO2019087187A1 (en) | 2017-10-31 | 2019-05-09 | Technology Innovation Momentum Fund (Israel) Limited Partnership | Nanostructured composite electrodes |
WO2019099642A2 (en) | 2017-11-15 | 2019-05-23 | Enovix Corporation | Electrode assembly, secondary battery, and method of manufacture |
US10256507B1 (en) | 2017-11-15 | 2019-04-09 | Enovix Corporation | Constrained electrode assembly |
WO2019111983A1 (ja) | 2017-12-06 | 2019-06-13 | セントラル硝子株式会社 | 非水電解液電池用電解液及びそれを用いた非水電解液電池 |
WO2019117101A1 (ja) | 2017-12-12 | 2019-06-20 | セントラル硝子株式会社 | 非水電解液電池用電解液及びそれを用いた非水電解液電池 |
JP7299924B2 (ja) * | 2018-07-03 | 2023-06-28 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | 多孔性領域を含むアノード構造を有する充電式リチウムイオン電池 |
US11211639B2 (en) | 2018-08-06 | 2021-12-28 | Enovix Corporation | Electrode assembly manufacture and device |
US20210313624A1 (en) | 2018-08-16 | 2021-10-07 | Central Glass Co., Ltd. | Nonaqueous electrolyte solution and nonaqueous electrolyte secondary battery |
CN113692658B (zh) * | 2019-04-12 | 2024-05-07 | 陈世伟 | 用于锂电池纯硅阳极的锂-硅化合物多晶型及其用途 |
US20220231338A1 (en) | 2019-06-05 | 2022-07-21 | Central Glass Co., Ltd. | Nonaqueous Electrolytic Solution |
US20220231337A1 (en) | 2019-06-05 | 2022-07-21 | Central Glass Co., Ltd. | Nonaqueous Electrolytic Solution |
KR20220017920A (ko) | 2019-06-05 | 2022-02-14 | 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드 | 비수전해액 및 비수전해액 전지 |
EP3993126A1 (en) | 2019-07-08 | 2022-05-04 | Central Glass Co., Ltd. | Nonaqueous electrolyte solution and nonaqueous electrolyte battery using same |
JP7319114B2 (ja) * | 2019-07-09 | 2023-08-01 | ローム株式会社 | 薄膜型全固体電池、電子機器、および薄膜型全固体電池の製造方法 |
EP3993120A4 (en) | 2019-07-09 | 2024-05-29 | Central Glass Co Ltd | ANHYDROUS ELECTROLYTE AND SECONDARY BATTERY WITH ANHYDROUS ELECTROLYTE |
US11367863B2 (en) | 2019-11-15 | 2022-06-21 | International Business Machines Corporation | Porous silicon anode for rechargeable metal halide battery |
CN116097491A (zh) | 2020-09-03 | 2023-05-09 | 中央硝子株式会社 | 非水电解液和非水电解液电池 |
KR20230121994A (ko) | 2020-09-18 | 2023-08-22 | 에노빅스 코오퍼레이션 | 레이저 빔을 사용하여 웹에서 전극 구조의 집합체를 윤곽 형성하기 위한 방법 |
KR20230122050A (ko) | 2020-12-09 | 2023-08-22 | 에노빅스 코오퍼레이션 | 2차 배터리용 전극 조립체의 제조를 위한 방법 및 장치 |
JPWO2022244046A1 (ru) | 2021-05-17 | 2022-11-24 | ||
KR20240058106A (ko) | 2021-09-17 | 2024-05-03 | 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드 | 비수 용액, 보지 방법, 및, 비수 전지 |
GB2622038A (en) | 2022-08-31 | 2024-03-06 | Dyson Technology Ltd | Energy storage devices and components thereof |
Family Cites Families (225)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB980513A (en) | 1961-11-17 | 1965-01-13 | Licentia Gmbh | Improvements relating to the use of silicon in semi-conductor devices |
US3351445A (en) | 1963-08-07 | 1967-11-07 | William S Fielder | Method of making a battery plate |
GB1014706A (en) | 1964-07-30 | 1965-12-31 | Hans Ohl | Improvements in or relating to devices for controlling the dosing of a plurality of different pourable substances for the production of mixtures |
US4002541A (en) | 1972-11-03 | 1977-01-11 | Design Systems, Inc. | Solar energy absorbing article and method of making same |
SU471402A1 (ru) | 1973-03-02 | 1975-05-25 | Предприятие П/Я Г-4671 | Травильный раствор |
SU544019A1 (ru) | 1975-07-22 | 1977-01-25 | Одесский Ордена Трудового Красного Знамени Государственный Университет Им.И.И.Мечникова | Травитель дл полупроводниковых материалов |
US4436796A (en) | 1981-07-30 | 1984-03-13 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | All-solid electrodes with mixed conductor matrix |
JPS63215041A (ja) | 1987-03-04 | 1988-09-07 | Toshiba Corp | 結晶欠陥評価用エツチング液 |
US4950566A (en) | 1988-10-24 | 1990-08-21 | Huggins Robert A | Metal silicide electrode in lithium cells |
JP2717890B2 (ja) | 1991-05-27 | 1998-02-25 | 富士写真フイルム株式会社 | リチウム二次電池 |
JP3259850B2 (ja) * | 1992-09-01 | 2002-02-25 | 株式会社デンソー | リチウム二次電池用負極 |
DE4202454C1 (ru) * | 1992-01-29 | 1993-07-29 | Siemens Ag, 8000 Muenchen, De | |
JPH08255610A (ja) * | 1995-03-17 | 1996-10-01 | Canon Inc | リチウム二次電池 |
US5660948A (en) | 1995-09-26 | 1997-08-26 | Valence Technology, Inc. | Lithium ion electrochemical cell |
US5907899A (en) | 1996-06-11 | 1999-06-01 | Dow Corning Corporation | Method of forming electrodes for lithium ion batteries using polycarbosilanes |
JP3713900B2 (ja) | 1996-07-19 | 2005-11-09 | ソニー株式会社 | 負極材料及びこれを用いた非水電解液二次電池 |
US5691230A (en) | 1996-09-04 | 1997-11-25 | Micron Technology, Inc. | Technique for producing small islands of silicon on insulator |
US6022640A (en) | 1996-09-13 | 2000-02-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Solid state rechargeable lithium battery, stacking battery, and charging method of the same |
JP3296543B2 (ja) | 1996-10-30 | 2002-07-02 | スズキ株式会社 | めっき被覆アルミニウム合金、及びそのシリンダーブロック、めっき処理ライン、めっき方法 |
JP3620559B2 (ja) | 1997-01-17 | 2005-02-16 | 株式会社ユアサコーポレーション | 非水電解質電池 |
US6337156B1 (en) | 1997-12-23 | 2002-01-08 | Sri International | Ion battery using high aspect ratio electrodes |
JP4399881B2 (ja) | 1998-12-02 | 2010-01-20 | パナソニック株式会社 | 非水電解質二次電池 |
WO2000033401A1 (fr) | 1998-12-02 | 2000-06-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Cellule secondaire d'electrolyte du type non aqueux |
JP3624088B2 (ja) | 1998-01-30 | 2005-02-23 | キヤノン株式会社 | 粉末材料、電極構造体、それらの製造方法、及びリチウム二次電池 |
JPH11283603A (ja) | 1998-03-30 | 1999-10-15 | Noritake Co Ltd | 電池用セパレーター及びその製造方法 |
JP4728458B2 (ja) * | 1998-06-12 | 2011-07-20 | 宇部興産株式会社 | 非水二次電池 |
US6235427B1 (en) | 1998-05-13 | 2001-05-22 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Nonaqueous secondary battery containing silicic material |
JP2948205B1 (ja) * | 1998-05-25 | 1999-09-13 | 花王株式会社 | 二次電池用負極の製造方法 |
US6063995A (en) | 1998-07-16 | 2000-05-16 | First Solar, Llc | Recycling silicon photovoltaic modules |
KR100276656B1 (ko) | 1998-09-16 | 2001-04-02 | 박찬구 | 박막형 복합 재료 양극으로 구성된 고체형 이차 전지 |
EP1208002A4 (en) * | 1999-06-03 | 2006-08-02 | Penn State Res Found | MATERIALS WITH NETWORK OF SURFACE POROSITY COLUMNS DEPOSITED IN THIN FILM |
GB9919479D0 (en) | 1999-08-17 | 1999-10-20 | Imperial College | Island arrays |
JP2002083594A (ja) * | 1999-10-22 | 2002-03-22 | Sanyo Electric Co Ltd | リチウム電池用電極並びにこれを用いたリチウム電池及びリチウム二次電池 |
WO2001029913A1 (en) | 1999-10-22 | 2001-04-26 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Method for producing material for electrode for lithium cell |
KR100520872B1 (ko) | 1999-10-22 | 2005-10-12 | 산요덴키가부시키가이샤 | 리튬 전지용 전극 및 리튬 2차전지 |
KR100500344B1 (ko) * | 1999-10-22 | 2005-07-12 | 산요덴키가부시키가이샤 | 리튬 전지용 전극 및 리튬 2차전지 |
WO2001031723A1 (fr) | 1999-10-22 | 2001-05-03 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Electrode pour accumulateur au lithium et accumulateur au lithium |
WO2001035473A1 (en) | 1999-11-08 | 2001-05-17 | Nanogram Corporation | Electrodes including particles of specific sizes |
JP2000348730A (ja) | 2000-01-01 | 2000-12-15 | Seiko Instruments Inc | 非水電解質二次電池 |
US6353317B1 (en) * | 2000-01-19 | 2002-03-05 | Imperial College Of Science, Technology And Medicine | Mesoscopic non-magnetic semiconductor magnetoresistive sensors fabricated with island lithography |
JP2001210315A (ja) * | 2000-01-25 | 2001-08-03 | Sanyo Electric Co Ltd | リチウム二次電池用電極及びこれを用いたリチウム二次電池 |
JP2002162652A (ja) * | 2000-01-31 | 2002-06-07 | Fujitsu Ltd | シート状表示装置、樹脂球状体、及びマイクロカプセル |
US7335603B2 (en) | 2000-02-07 | 2008-02-26 | Vladimir Mancevski | System and method for fabricating logic devices comprising carbon nanotube transistors |
KR100423030B1 (ko) | 2000-03-13 | 2004-03-12 | 캐논 가부시끼가이샤 | 재충전가능한 리튬배터리용 전극재료의 제조방법, 재충전가능한 리튬배터리의 전극구조체, 상기 전극구조체의 제조방법, 상기 전극구조체를 사용한 재충전 가능한 리튬배터리, 및 상기 재충전가능한 리튬배터리의 제조방법 |
JP2001291514A (ja) | 2000-04-06 | 2001-10-19 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 非水電解質二次電池用負極材料とその製造方法 |
JP4231612B2 (ja) * | 2000-04-26 | 2009-03-04 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体集積回路 |
US6399246B1 (en) | 2000-05-05 | 2002-06-04 | Eveready Battery Company, Inc. | Latex binder for non-aqueous battery electrodes |
US6919119B2 (en) * | 2000-05-30 | 2005-07-19 | The Penn State Research Foundation | Electronic and opto-electronic devices fabricated from nanostructured high surface to volume ratio thin films |
US6334939B1 (en) * | 2000-06-15 | 2002-01-01 | The University Of North Carolina At Chapel Hill | Nanostructure-based high energy capacity material |
JP4137350B2 (ja) | 2000-06-16 | 2008-08-20 | 三星エスディアイ株式会社 | リチウム二次電池用の負極材料及びリチウム二次電池用の電極及びリチウム二次電池並びにリチウム二次電池用の負極材料の製造方法 |
NL1015956C2 (nl) * | 2000-08-18 | 2002-02-19 | Univ Delft Tech | Batterij en werkwijze voor het vervaardigen van een dergelijke batterij. |
CN1280930C (zh) | 2000-09-01 | 2006-10-18 | 三洋电机株式会社 | 再充电式锂电池的负电极及其制造方法 |
JP2004510184A (ja) * | 2000-09-25 | 2004-04-02 | ブッカム テクノロジー パブリック リミテッド カンパニー | 人工的に構造化された誘電体材料 |
WO2002047185A2 (en) | 2000-12-06 | 2002-06-13 | Huggins Robert A | Improved electrodes for lithium batteries |
WO2002058182A1 (fr) | 2001-01-18 | 2002-07-25 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Batterie secondaire au lithium |
JP2002279974A (ja) * | 2001-03-19 | 2002-09-27 | Sanyo Electric Co Ltd | 二次電池用電極の製造方法 |
US7141859B2 (en) | 2001-03-29 | 2006-11-28 | Georgia Tech Research Corporation | Porous gas sensors and method of preparation thereof |
JP2002313319A (ja) | 2001-04-09 | 2002-10-25 | Sanyo Electric Co Ltd | リチウム二次電池用電極及びリチウム二次電池 |
US6887623B2 (en) | 2001-04-09 | 2005-05-03 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Electrode for rechargeable lithium battery and rechargeable lithium battery |
EP1258937A1 (en) * | 2001-05-17 | 2002-11-20 | STMicroelectronics S.r.l. | Micro silicon fuel cell, method of fabrication and self-powered semiconductor device integrating a micro fuel cell |
JP4183401B2 (ja) | 2001-06-28 | 2008-11-19 | 三洋電機株式会社 | リチウム二次電池用電極の製造方法及びリチウム二次電池 |
US7070632B1 (en) | 2001-07-25 | 2006-07-04 | Polyplus Battery Company | Electrochemical device separator structures with barrier layer on non-swelling membrane |
KR100382767B1 (ko) | 2001-08-25 | 2003-05-09 | 삼성에스디아이 주식회사 | 리튬 2차 전지용 음극 박막 및 그의 제조방법 |
SE0103818D0 (sv) * | 2001-11-15 | 2001-11-15 | Astrazeneca Ab | Chemical compounds |
EP1313158A3 (en) | 2001-11-20 | 2004-09-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Electrode material for rechargeable lithium battery, electrode comprising said electrode material, rechargeable lithium battery having said electrode , and process for the production thereof |
US7252749B2 (en) | 2001-11-30 | 2007-08-07 | The University Of North Carolina At Chapel Hill | Deposition method for nanostructure materials |
JP4035760B2 (ja) | 2001-12-03 | 2008-01-23 | 株式会社ジーエス・ユアサコーポレーション | 非水電解質二次電池 |
WO2003063271A1 (en) | 2002-01-19 | 2003-07-31 | Huggins Robert A | Improved electrodes for alkali metal batteries |
US20030135989A1 (en) | 2002-01-19 | 2003-07-24 | Huggins Robert A. | Electrodes for alkali metal batteries |
JP4199460B2 (ja) | 2002-01-23 | 2008-12-17 | パナソニック株式会社 | 角形密閉式電池 |
US7147894B2 (en) | 2002-03-25 | 2006-12-12 | The University Of North Carolina At Chapel Hill | Method for assembling nano objects |
US6953566B2 (en) * | 2002-03-29 | 2005-10-11 | Council Of Scientific & Industrial Research | Process for preparing cathode material for lithium batteries |
JP3896025B2 (ja) * | 2002-04-10 | 2007-03-22 | 三洋電機株式会社 | 二次電池用電極 |
US8021778B2 (en) | 2002-08-09 | 2011-09-20 | Infinite Power Solutions, Inc. | Electrochemical apparatus with barrier layer protected substrate |
US20080003496A1 (en) | 2002-08-09 | 2008-01-03 | Neudecker Bernd J | Electrochemical apparatus with barrier layer protected substrate |
US6916679B2 (en) | 2002-08-09 | 2005-07-12 | Infinite Power Solutions, Inc. | Methods of and device for encapsulation and termination of electronic devices |
US8445130B2 (en) | 2002-08-09 | 2013-05-21 | Infinite Power Solutions, Inc. | Hybrid thin-film battery |
US8236443B2 (en) | 2002-08-09 | 2012-08-07 | Infinite Power Solutions, Inc. | Metal film encapsulation |
US20070264564A1 (en) | 2006-03-16 | 2007-11-15 | Infinite Power Solutions, Inc. | Thin film battery on an integrated circuit or circuit board and method thereof |
JP2004095264A (ja) | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Mitsubishi Materials Corp | リチウムイオン二次電池用負極及び該負極を用いて作製したリチウムイオン二次電池 |
US20060154071A1 (en) | 2002-09-05 | 2006-07-13 | Itaru Homma | Carbon fine powder coated with metal oxide, metal nitride or metal carbide, process for producing the sdame, and supercapacitor and secondary battery carbon fine powder |
AU2003266021A1 (en) | 2002-09-10 | 2004-04-30 | California Institute Of Technology | High-capacity nanostructured silicon and lithium alloys thereof |
JP4037229B2 (ja) * | 2002-09-30 | 2008-01-23 | 日立マクセル株式会社 | リチウム二次電池用電極と、これを負極とするリチウム二次電池 |
JP4614625B2 (ja) | 2002-09-30 | 2011-01-19 | 三洋電機株式会社 | リチウム二次電池の製造方法 |
GB2395059B (en) | 2002-11-05 | 2005-03-16 | Imp College Innovations Ltd | Structured silicon anode |
CA2411695A1 (fr) | 2002-11-13 | 2004-05-13 | Hydro-Quebec | Electrode recouverte d'un film obtenu a partir d'une solution aqueuse comportant un liant soluble dans l'eau, son procede de fabrication et ses utilisations |
JP4088957B2 (ja) | 2002-11-19 | 2008-05-21 | ソニー株式会社 | リチウム二次電池 |
JP3664252B2 (ja) | 2002-11-19 | 2005-06-22 | ソニー株式会社 | 負極およびそれを用いた電池 |
JP4025995B2 (ja) | 2002-11-26 | 2007-12-26 | 信越化学工業株式会社 | 非水電解質二次電池負極材及びその製造方法並びにリチウムイオン二次電池 |
WO2004052489A2 (en) | 2002-12-09 | 2004-06-24 | The University Of North Carolina At Chapel Hill | Methods for assembly and sorting of nanostructure-containing materials and related articles |
US7491467B2 (en) | 2002-12-17 | 2009-02-17 | Mitsubishi Chemical Corporation | Negative electrode for nonaqueous electrolyte secondary battery and nonaqueous electrolyte secondary battery using the same |
US8048568B2 (en) | 2003-01-06 | 2011-11-01 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Negative active material for rechargeable lithium battery and rechargeable lithium battery |
JP3827642B2 (ja) | 2003-01-06 | 2006-09-27 | 三星エスディアイ株式会社 | リチウム二次電池用負極活物質及びその製造方法並びにリチウム二次電池 |
CN100452493C (zh) | 2003-01-06 | 2009-01-14 | 三星Sdi株式会社 | 再充电锂电池用的负极活性材料、其制法和再充电锂电池 |
JP2004281317A (ja) | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 非水電解質二次電池用電極材料とその製造方法、ならびにそれを用いた非水電解質二次電池 |
US20040185346A1 (en) | 2003-03-19 | 2004-09-23 | Takeuchi Esther S. | Electrode having metal vanadium oxide nanoparticles for alkali metal-containing electrochemical cells |
US6969690B2 (en) | 2003-03-21 | 2005-11-29 | The University Of North Carolina At Chapel Hill | Methods and apparatus for patterned deposition of nanostructure-containing materials by self-assembly and related articles |
US7378041B2 (en) | 2003-03-26 | 2008-05-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Electrode material for lithium secondary battery, electrode structure comprising the electrode material and secondary battery comprising the electrode structure |
JP4027255B2 (ja) | 2003-03-28 | 2007-12-26 | 三洋電機株式会社 | リチウム二次電池用負極及びその製造方法 |
US20040241548A1 (en) | 2003-04-02 | 2004-12-02 | Takayuki Nakamoto | Negative electrode active material and non-aqueous electrolyte rechargeable battery using the same |
EP1638158A4 (en) | 2003-05-22 | 2010-08-25 | Panasonic Corp | SECONDARY BATTERY WITH A WATER-FREE ELECTROLYTE AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF |
US7094499B1 (en) | 2003-06-10 | 2006-08-22 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Carbon materials metal/metal oxide nanoparticle composite and battery anode composed of the same |
JP4610213B2 (ja) | 2003-06-19 | 2011-01-12 | 三洋電機株式会社 | リチウム二次電池及びその製造方法 |
US7318982B2 (en) | 2003-06-23 | 2008-01-15 | A123 Systems, Inc. | Polymer composition for encapsulation of electrode particles |
JP4095499B2 (ja) | 2003-06-24 | 2008-06-04 | キヤノン株式会社 | リチウム二次電池用の電極材料、電極構造体及びリチウム二次電池 |
JPWO2005006469A1 (ja) | 2003-07-15 | 2007-09-20 | 伊藤忠商事株式会社 | 集電構造体及び電極構造体 |
KR100595896B1 (ko) | 2003-07-29 | 2006-07-03 | 주식회사 엘지화학 | 리튬 이차 전지용 음극 활물질 및 그의 제조 방법 |
KR100496306B1 (ko) | 2003-08-19 | 2005-06-17 | 삼성에스디아이 주식회사 | 리튬 금속 애노드의 제조방법 |
KR100497251B1 (ko) | 2003-08-20 | 2005-06-23 | 삼성에스디아이 주식회사 | 리튬 설퍼 전지용 음극 보호막 조성물 및 이를 사용하여제조된 리튬 설퍼 전지 |
DE10347570B4 (de) | 2003-10-14 | 2015-07-23 | Evonik Degussa Gmbh | Anorganische Separator-Elektroden-Einheit für Lithium-Ionen-Batterien, Verfahren zu deren Herstellung, Verwendung in Lithium-Batterien und Lithium-Batterien mit der anorganischen Separator-Elektroden-Einheit |
JP4497899B2 (ja) | 2003-11-19 | 2010-07-07 | 三洋電機株式会社 | リチウム二次電池 |
US7816032B2 (en) | 2003-11-28 | 2010-10-19 | Panasonic Corporation | Energy device and method for producing the same |
US7468224B2 (en) | 2004-03-16 | 2008-12-23 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Battery having improved positive electrode and method of manufacturing the same |
US7521153B2 (en) | 2004-03-16 | 2009-04-21 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Corrosion protection using protected electron collector |
US7348102B2 (en) | 2004-03-16 | 2008-03-25 | Toyota Motor Corporation | Corrosion protection using carbon coated electron collector for lithium-ion battery with molten salt electrolyte |
US7790316B2 (en) | 2004-03-26 | 2010-09-07 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Silicon composite particles, preparation thereof, and negative electrode material for non-aqueous electrolyte secondary cell |
US8231810B2 (en) | 2004-04-15 | 2012-07-31 | Fmc Corporation | Composite materials of nano-dispersed silicon and tin and methods of making the same |
US7781102B2 (en) | 2004-04-22 | 2010-08-24 | California Institute Of Technology | High-capacity nanostructured germanium-containing materials and lithium alloys thereof |
CN101010780B (zh) | 2004-04-30 | 2012-07-25 | 纳米系统公司 | 纳米线生长和获取的体系和方法 |
US7857868B2 (en) | 2004-05-17 | 2010-12-28 | Lg Chem, Ltd. | Electrode and method for preparing the same using substrate induced coagulation (SIC) |
US20060019115A1 (en) | 2004-05-20 | 2006-01-26 | Liya Wang | Composite material having improved microstructure and method for its fabrication |
TWI351985B (en) | 2004-07-01 | 2011-11-11 | Basf Ag | Preparation of acrolein or acrylic acid or a mixtu |
FR2873854A1 (fr) | 2004-07-30 | 2006-02-03 | Commissariat Energie Atomique | Procede de fabrication d'une electrode lithiee, electrode lithiee susceptible d'etre obtenue par ce procede et ses utilisations |
US20060088767A1 (en) | 2004-09-01 | 2006-04-27 | Wen Li | Battery with molten salt electrolyte and high voltage positive active material |
US20060051670A1 (en) | 2004-09-03 | 2006-03-09 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Non-aqueous electrolyte secondary cell negative electrode material and metallic silicon power therefor |
US7635540B2 (en) | 2004-11-15 | 2009-12-22 | Panasonic Corporation | Negative electrode for non-aqueous electrolyte secondary battery and non-aqueous electrolyte secondary battery comprising the same |
US7955735B2 (en) | 2004-11-15 | 2011-06-07 | Panasonic Corporation | Non-aqueous electrolyte secondary battery |
US7939218B2 (en) | 2004-12-09 | 2011-05-10 | Nanosys, Inc. | Nanowire structures comprising carbon |
JP4824394B2 (ja) | 2004-12-16 | 2011-11-30 | パナソニック株式会社 | リチウムイオン二次電池用負極、その製造方法、およびそれを用いたリチウムイオン二次電池 |
KR100738054B1 (ko) | 2004-12-18 | 2007-07-12 | 삼성에스디아이 주식회사 | 음극 활물질, 그 제조 방법 및 이를 채용한 음극과 리튬전지 |
JP4229062B2 (ja) | 2004-12-22 | 2009-02-25 | ソニー株式会社 | リチウムイオン二次電池 |
CN100511781C (zh) | 2004-12-22 | 2009-07-08 | 松下电器产业株式会社 | 复合负极活性材料及其制备方法以及非水电解质二次电池 |
JP4095621B2 (ja) | 2005-03-28 | 2008-06-04 | アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー株式会社 | 光学画像取得装置、光学画像取得方法、及びマスク検査装置 |
JP2006290938A (ja) | 2005-04-06 | 2006-10-26 | Nippon Brake Kogyo Kk | 摩擦材 |
CA2506104A1 (en) | 2005-05-06 | 2006-11-06 | Michel Gauthier | Surface modified redox compounds and composite electrode obtain from them |
US7569202B2 (en) | 2005-05-09 | 2009-08-04 | Vesta Research, Ltd. | Silicon nanosponge particles |
US20080138710A1 (en) | 2005-05-10 | 2008-06-12 | Ben-Jie Liaw | Electrochemical Composition and Associated Technology |
TWI254031B (en) | 2005-05-10 | 2006-05-01 | Aquire Energy Co Ltd | Manufacturing method of LixMyPO4 compound with olivine structure |
US7700236B2 (en) | 2005-09-09 | 2010-04-20 | Aquire Energy Co., Ltd. | Cathode material for manufacturing a rechargeable battery |
US7799457B2 (en) | 2005-05-10 | 2010-09-21 | Advanced Lithium Electrochemistry Co., Ltd | Ion storage compound of cathode material and method for preparing the same |
US7887954B2 (en) | 2005-05-10 | 2011-02-15 | Advanced Lithium Electrochemistry Co., Ltd. | Electrochemical composition and associated technology |
US7781100B2 (en) | 2005-05-10 | 2010-08-24 | Advanced Lithium Electrochemistry Co., Ltd | Cathode material for manufacturing rechargeable battery |
FR2885734B1 (fr) | 2005-05-13 | 2013-07-05 | Accumulateurs Fixes | Materiau nanocomposite pour anode d'accumulateur au lithium |
JP2006351516A (ja) | 2005-05-16 | 2006-12-28 | Toshiba Corp | 負極活物質及び非水電解質二次電池 |
FR2885913B1 (fr) | 2005-05-18 | 2007-08-10 | Centre Nat Rech Scient | Element composite comprenant un substrat conducteur et un revetement metallique nanostructure. |
JP4603422B2 (ja) | 2005-06-01 | 2010-12-22 | 株式会社タカギセイコー | 樹脂製タンクの表面処理方法 |
KR100911799B1 (ko) | 2005-06-03 | 2009-08-12 | 파나소닉 주식회사 | 비수전해질 이차전지 및 그 음극의 제조방법 |
KR100684733B1 (ko) | 2005-07-07 | 2007-02-20 | 삼성에스디아이 주식회사 | 리튬 이차 전지 |
JP4876468B2 (ja) | 2005-07-27 | 2012-02-15 | パナソニック株式会社 | 非水電解質二次電池 |
US8080334B2 (en) | 2005-08-02 | 2011-12-20 | Panasonic Corporation | Lithium secondary battery |
CN100438157C (zh) | 2005-08-29 | 2008-11-26 | 松下电器产业株式会社 | 用于非水电解质二次电池的负极、其制造方法以及非水电解质二次电池 |
US7524529B2 (en) | 2005-09-09 | 2009-04-28 | Aquire Energy Co., Ltd. | Method for making a lithium mixed metal compound having an olivine structure |
CN100431204C (zh) | 2005-09-22 | 2008-11-05 | 松下电器产业株式会社 | 负极和使用该负极制备的锂离子二次电池 |
JP2007123242A (ja) | 2005-09-28 | 2007-05-17 | Sanyo Electric Co Ltd | 非水電解質二次電池 |
WO2007044315A1 (en) | 2005-10-13 | 2007-04-19 | 3M Innovative Properties Company | Method of using an electrochemical cell |
KR100759556B1 (ko) | 2005-10-17 | 2007-09-18 | 삼성에스디아이 주식회사 | 음극 활물질, 그 제조 방법 및 이를 채용한 음극과 리튬전지 |
KR100749486B1 (ko) | 2005-10-31 | 2007-08-14 | 삼성에스디아이 주식회사 | 리튬 이차 전지용 음극 활물질, 그의 제조 방법 및 그를포함하는 리튬 이차 전지 |
US20070099084A1 (en) | 2005-10-31 | 2007-05-03 | T/J Technologies, Inc. | High capacity electrode and methods for its fabrication and use |
JP2007128766A (ja) | 2005-11-04 | 2007-05-24 | Sony Corp | 負極活物質および電池 |
US20070117018A1 (en) | 2005-11-22 | 2007-05-24 | Huggins Robert A | Silicon and/or boron-based positive electrode |
KR100949330B1 (ko) | 2005-11-29 | 2010-03-26 | 삼성에스디아이 주식회사 | 리튬 이차 전지용 음극 활물질 및 그를 포함하는 리튬 이차전지 |
JP2007165079A (ja) | 2005-12-13 | 2007-06-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 非水電解質二次電池用負極とそれを用いた非水電解質二次電池 |
US7906238B2 (en) | 2005-12-23 | 2011-03-15 | 3M Innovative Properties Company | Silicon-containing alloys useful as electrodes for lithium-ion batteries |
KR100763892B1 (ko) | 2006-01-20 | 2007-10-05 | 삼성에스디아이 주식회사 | 음극 활물질, 그 제조 방법, 및 이를 채용한 음극과 리튬전지 |
GB0601319D0 (en) | 2006-01-23 | 2006-03-01 | Imp Innovations Ltd | A method of fabricating pillars composed of silicon-based material |
US7972731B2 (en) | 2006-03-08 | 2011-07-05 | Enerl, Inc. | Electrode for cell of energy storage device and method of forming the same |
US7717968B2 (en) | 2006-03-08 | 2010-05-18 | Yevgen Kalynushkin | Electrode for energy storage device and method of forming the same |
US7776473B2 (en) | 2006-03-27 | 2010-08-17 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Silicon-silicon oxide-lithium composite, making method, and non-aqueous electrolyte secondary cell negative electrode material |
US9263771B2 (en) | 2006-03-30 | 2016-02-16 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Lithium secondary battery and method of manufacturing the same |
US20070244511A1 (en) * | 2006-04-14 | 2007-10-18 | Ethicon Endo-Surgery, Inc. | Endoscopic device and method of assembly |
KR101328982B1 (ko) | 2006-04-17 | 2013-11-13 | 삼성에스디아이 주식회사 | 음극 활물질 및 그 제조 방법 |
CN100563047C (zh) | 2006-04-25 | 2009-11-25 | 立凯电能科技股份有限公司 | 适用于制作二次电池的正极的复合材料及其所制得的电池 |
KR101483123B1 (ko) | 2006-05-09 | 2015-01-16 | 삼성에스디아이 주식회사 | 금속 나노결정 복합체를 포함하는 음극 활물질, 그 제조방법 및 이를 채용한 음극과 리튬 전지 |
JP2007305546A (ja) | 2006-05-15 | 2007-11-22 | Sony Corp | リチウムイオン電池 |
KR100863733B1 (ko) | 2006-05-15 | 2008-10-16 | 주식회사 엘지화학 | 바인더로서 폴리우레탄을 물리적으로 혼합한폴리아크릴산이 포함되어 있는 전극 합제 및 이를 기반으로하는 리튬 이차전지 |
US20070269718A1 (en) | 2006-05-22 | 2007-11-22 | 3M Innovative Properties Company | Electrode composition, method of making the same, and lithium ion battery including the same |
US8080335B2 (en) | 2006-06-09 | 2011-12-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Powder material, electrode structure using the powder material, and energy storage device having the electrode structure |
JP5200339B2 (ja) | 2006-06-16 | 2013-06-05 | パナソニック株式会社 | 非水電解質二次電池 |
JP5398962B2 (ja) | 2006-06-30 | 2014-01-29 | 三洋電機株式会社 | リチウム二次電池及びその製造方法 |
US7964307B2 (en) | 2006-07-24 | 2011-06-21 | Panasonic Corporation | Negative electrode for lithium ion secondary battery, method for producing the same, and lithium ion secondary battery |
JP2008034266A (ja) | 2006-07-28 | 2008-02-14 | Canon Inc | リチウム二次電池用負極材料の製造方法 |
US7722991B2 (en) | 2006-08-09 | 2010-05-25 | Toyota Motor Corporation | High performance anode material for lithium-ion battery |
JPWO2008029502A1 (ja) | 2006-08-29 | 2010-01-21 | ユニチカ株式会社 | 電極形成用バインダー、そのバインダーを用いた電極形成用スラリー、そのスラリーを用いた電極、その電極を用いた二次電池、その電極を用いたキャパシタ |
JP5039956B2 (ja) | 2006-09-07 | 2012-10-03 | トヨタ自動車株式会社 | 負極活物質、負極およびリチウム二次電池 |
WO2008044683A1 (fr) | 2006-10-10 | 2008-04-17 | Panasonic Corporation | Électrode négative pour accumulateur secondaire à électrolyte non aqueux |
US8187754B2 (en) | 2006-10-11 | 2012-05-29 | Panasonic Corporation | Coin-type non-aqueous electrolyte battery |
KR100778450B1 (ko) | 2006-11-22 | 2007-11-28 | 삼성에스디아이 주식회사 | 리튬 이차 전지용 음극 활물질, 이의 제조 방법 및 이를포함하는 리튬 이차 전지 |
KR100814816B1 (ko) | 2006-11-27 | 2008-03-20 | 삼성에스디아이 주식회사 | 리튬 이차 전지용 음극 활물질 및 그를 포함하는 리튬 이차전지 |
JP4501081B2 (ja) | 2006-12-06 | 2010-07-14 | ソニー株式会社 | 電極の形成方法および電池の製造方法 |
JP2008171802A (ja) | 2006-12-13 | 2008-07-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 非水電解質二次電池用負極とその製造方法およびそれを用いた非水電解質二次電池 |
JP4321584B2 (ja) | 2006-12-18 | 2009-08-26 | ソニー株式会社 | 二次電池用負極および二次電池 |
US7709139B2 (en) | 2007-01-22 | 2010-05-04 | Physical Sciences, Inc. | Three dimensional battery |
JP5143437B2 (ja) | 2007-01-30 | 2013-02-13 | 日本カーボン株式会社 | リチウムイオン二次電池用負極活物質の製造方法、負極活物質及び負極 |
JP2010518581A (ja) | 2007-02-06 | 2010-05-27 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 新規結合剤を含む電極、並びにその製造方法及び使用方法 |
US20090053589A1 (en) | 2007-08-22 | 2009-02-26 | 3M Innovative Properties Company | Electrolytes, electrode compositions, and electrochemical cells made therefrom |
US20080206641A1 (en) | 2007-02-27 | 2008-08-28 | 3M Innovative Properties Company | Electrode compositions and electrodes made therefrom |
US20080206631A1 (en) | 2007-02-27 | 2008-08-28 | 3M Innovative Properties Company | Electrolytes, electrode compositions and electrochemical cells made therefrom |
JP2008234988A (ja) | 2007-03-20 | 2008-10-02 | Sony Corp | 負極およびその製造方法、ならびに電池およびその製造方法 |
KR100859687B1 (ko) | 2007-03-21 | 2008-09-23 | 삼성에스디아이 주식회사 | 리튬 이차 전지용 음극 활물질 및 그를 포함하는 리튬 이차전지 |
KR100796664B1 (ko) | 2007-03-21 | 2008-01-22 | 삼성에스디아이 주식회사 | 리튬 이차 전지용 음극 활물질 및 이를 포함하는 리튬 이차전지 |
EP2320512B1 (en) | 2007-03-27 | 2012-09-12 | Hitachi Vehicle Energy, Ltd. | Lithium secondary battery |
US20080241703A1 (en) | 2007-03-28 | 2008-10-02 | Hidekazu Yamamoto | Nonaqueous electrolyte secondary battery |
JP4979432B2 (ja) | 2007-03-28 | 2012-07-18 | 三洋電機株式会社 | 円筒型リチウム二次電池 |
US8096147B2 (en) | 2007-03-28 | 2012-01-17 | Life Bioscience, Inc. | Methods to fabricate a photoactive substrate suitable for shaped glass structures |
JP2008243717A (ja) | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 非水電解液二次電池及びその製造方法 |
JP2008269827A (ja) | 2007-04-17 | 2008-11-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電気化学素子の電極材料およびその製造方法並びにそれを用いた電極極板および電気化学素子 |
GB0709165D0 (en) | 2007-05-11 | 2007-06-20 | Nexeon Ltd | A silicon anode for a rechargeable battery |
JP5338041B2 (ja) | 2007-06-05 | 2013-11-13 | ソニー株式会社 | 二次電池用負極および二次電池 |
US20090087731A1 (en) | 2007-09-27 | 2009-04-02 | Atsushi Fukui | Lithium secondary battery |
CN101442124B (zh) | 2007-11-19 | 2011-09-07 | 比亚迪股份有限公司 | 锂离子电池负极用复合材料的制备方法及负极和电池 |
US20090186267A1 (en) | 2008-01-23 | 2009-07-23 | Tiegs Terry N | Porous silicon particulates for lithium batteries |
US8105718B2 (en) | 2008-03-17 | 2012-01-31 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Non-aqueous electrolyte secondary battery, negative electrode material, and making method |
JP2009252348A (ja) | 2008-04-01 | 2009-10-29 | Panasonic Corp | 非水電解質電池 |
US8034485B2 (en) | 2008-05-29 | 2011-10-11 | 3M Innovative Properties Company | Metal oxide negative electrodes for lithium-ion electrochemical cells and batteries |
US20100085685A1 (en) | 2008-10-06 | 2010-04-08 | Avx Corporation | Capacitor Anode Formed From a Powder Containing Coarse Agglomerates and Fine Agglomerates |
GB2464157B (en) | 2008-10-10 | 2010-09-01 | Nexeon Ltd | A method of fabricating structured particles composed of silicon or a silicon-based material |
GB2464158B (en) | 2008-10-10 | 2011-04-20 | Nexeon Ltd | A method of fabricating structured particles composed of silicon or a silicon-based material and their use in lithium rechargeable batteries |
KR101065778B1 (ko) | 2008-10-14 | 2011-09-20 | 한국과학기술연구원 | 탄소나노튜브 피복 실리콘-구리 복합 입자 및 그 제조 방법과, 이를 이용한 이차전지용 음극 및 이차전지 |
JP4952746B2 (ja) | 2008-11-14 | 2012-06-13 | ソニー株式会社 | リチウムイオン二次電池およびリチウムイオン二次電池用負極 |
CN101740747B (zh) | 2008-11-27 | 2012-09-05 | 比亚迪股份有限公司 | 一种硅负极和含有该硅负极的锂离子电池 |
US20100285358A1 (en) | 2009-05-07 | 2010-11-11 | Amprius, Inc. | Electrode Including Nanostructures for Rechargeable Cells |
GB0908089D0 (en) | 2009-05-11 | 2009-06-24 | Nexeon Ltd | A binder for lithium ion rechargaable battery cells |
GB2470190B (en) | 2009-05-11 | 2011-07-13 | Nexeon Ltd | A binder for lithium ion rechargeable battery cells |
JP5882200B2 (ja) | 2009-05-19 | 2016-03-09 | ワンディー マテリアル エルエルシー | 電池に応用するためのナノ構造材料 |
US20100330419A1 (en) | 2009-06-02 | 2010-12-30 | Yi Cui | Electrospinning to fabricate battery electrodes |
-
2002
- 2002-11-05 GB GB0225779A patent/GB2395059B/en not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-11-05 EP EP20110162330 patent/EP2363908A1/en not_active Ceased
- 2003-11-05 CA CA2504634A patent/CA2504634C/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-11-05 US US10/533,822 patent/US7402829B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-11-05 EP EP03810528A patent/EP1576680B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-11-05 AU AU2003276468A patent/AU2003276468A1/en not_active Abandoned
- 2003-11-05 JP JP2004549349A patent/JP4607594B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2003-11-05 CN CNB2003801028076A patent/CN100399606C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2003-11-05 KR KR1020057007918A patent/KR100785695B1/ko active IP Right Grant
- 2003-11-05 WO PCT/GB2003/004783 patent/WO2004042851A2/en active Application Filing
- 2003-11-05 RU RU2005116224/09A patent/RU2325008C2/ru not_active IP Right Cessation
-
2005
- 2005-05-03 IL IL168377A patent/IL168377A/en not_active IP Right Cessation
-
2006
- 2006-06-08 HK HK06106561.0A patent/HK1086669A1/xx not_active IP Right Cessation
-
2008
- 2008-03-04 US US12/074,642 patent/US7842535B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-12-12 US US12/333,443 patent/US7683359B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-08-31 JP JP2009200060A patent/JP4723665B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2010
- 2010-01-04 JP JP2010000264A patent/JP5603084B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-11-12 US US12/945,079 patent/US8017430B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-08-05 US US13/204,229 patent/US8384058B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2718707C1 (ru) * | 2019-01-11 | 2020-04-14 | Сергей Николаевич Максимовский | Способ создания наноструктурированного кремниевого анода |
Also Published As
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2325008C2 (ru) | Структурированный кремниевый анод | |
JP5563091B2 (ja) | 構造化されたシリコン電池アノード | |
Green et al. | Structured silicon anodes for lithium battery applications | |
KR101688525B1 (ko) | 리튬 이온 배터리용 전극 | |
TWI591874B (zh) | 微結構化電極結構 | |
JP4839381B2 (ja) | シリコン又はシリコンベースの物質で構成される繊維を製造する方法及びリチウム蓄電池におけるそれらの使用 | |
EP3509157B1 (en) | Secondary battery | |
Astrova et al. | Porous silicon based negative electrodes for lithium ion batteries | |
Li et al. | Structural transformation of macroporous silicon anodes as a result of cyclic lithiation processes | |
Ha et al. | Electrochemical properties of electrode comprising of Si nanopowder inserted in an enclosed structure in C-Coated AAO by using a facile method | |
McSweeney et al. | Pseudocapacitive charge storage at nanoscale silicon electrodes | |
West | Chemically Etched Silicon Nanowires as Anodes for Lithium-Ion Batteries | |
EP2301104A1 (de) | Integrierter hydrid-luft akkumulator |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PC4A | Invention patent assignment |
Effective date: 20090430 |
|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20171106 |