KR970007457A - 액정표시장치 및 그 제조방법 - Google Patents

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요시아키 나카요시
노부유키 스즈키
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카나이 쯔또무
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Abstract

본 발명은 TFT를 사용한 액티브매트릭스구동형 액정표시장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 밝고 고콘트라스트이고 크로스토크가 적은 표시화면이 얻어지는 액티브매트릭스방식의 액정표시장치를 제공하는 것과, 제조공정수가 적은데다가 제조수율이 높은 액티브매트릭스방식의 액정표시장치의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 하며, 그 구성에 있어서, 복수의 주사신호선과 복수의 데이터라인과의 교차부에 배치되는 복수의 투명한 화소전극과, 출력전극이 화소전극의 하니에 접속되고, 제어전극이 주사신호선의 하니에 접속되고, 입력전극이 데이터라인의 하니에 접속되는, 화소전극의 하나와 대응해서 형성된 복수의 박막트랜지스터를 구비한 액정표시장치에 있어서, 화소전극과 이것에 인접하는 데이터라인과의 간격을 덮도록 금속막으로 이루어진 차광부재를 배설하는 동시에, 이 차광부재와 절연층을 개재해서 맞포개지는 데이터라인의 부분의 아래쪽에 반도체층을 개재시킨다. 상기 액정표시장치의 제조방법에 있어서, 상기 출력전극쪽에 있는 상기 트랜지스터반도체층의 에칭되는 단부가 상기 출력전극의 단부를 넘어서 뻗도록 상기 트랜지스터반도체층위에 형성된 포토레지스트 마스크를 사용해서 상기 복수의 박막트랜지스터에 있어서의 상기 출력전극 아래쪽의 트랜지스터반도체층을 에칭하는 공정과, 마스크로써 상기 복수의 데이터라인을 구성하는 금속막을 사용해서 상기 복수의 데이터라인 아래쪽의 상기 반도체층의 단부를 에칭하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 것이다.

Description

액정표시장치 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 있어서의 TFT기판의 1화소와 그 주변부의 각 층의 평면패턴도, 제2도는 제1도의 실시예에 있어서의 Ⅱ-Ⅱ단면도.

Claims (4)

  1. 기판상에서, 한쪽방향으로 뻗어있는 복수의 주사신호선과, 이 복수의 주사신호선을 피복하는 제1절연막과, 이 제1절연막위에, 상기 복수의 주사신호선에 교차해서 뻗어있는 복수의 데이터라인과, 상기 복수의 주사 신호선과 상기 복수의 데이터라인의 교차부에 배치되는 복수의 투명한 화소전극과, 출력전극이 상기 복수의 화소전극의 하나에 접속되고, 제어전극이 상기 복수의 주사신호선의 하나에 접속되고, 입력전극이 상기 복수의 데이터라인의 하나에 접속되는, 상기 복수의 화소전극의 하나와 조합된 복수의 박막트랜지스터와, 상기 복수의 화소전극과 복수의 박막트랜지스터와의 사이에 배설되는 제2절연막을 가지고, 상기 기판과 상기 제1절연막과의 사이에, 상기 복수의 화소전극과 이것에 인접하는 상기 복수의 데이터라인과의 간격을 덮도록 금속막으로 이루어진 차광부재가 배설되고, 이 차광부재에 맞포개지는 상기 복수의 데이터라인부분과 상기 제1절연막과의 사이에 반도체층을 개재시켜서 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 차광부재의 폭이, 상기 반도체층의 폭보다 큰 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 복수의 데이터라인의 폭이, 상기 반도체층의 폭보다 큰 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  4. 기판상에, 한쪽방향으로 뻗어있는 복수의 주사신호선과, 이 복수의 주사신호선을 피복하는 제1절연막과, 이 제1절연막위에, 상기 복수의 주사신호선에 교차해서 뻗어있는 복수의 데이터라인과, 상기 복수의 주사 신호선과 상기 복수의 데이터라인의 교차부에 배치되는 복수의 투명한 화소전극과, 출력전극이 상기 복수의 화소전극의 하나에 접속되고, 제어전극이 상기 복수의 주사신호선의 하나에 접속되고, 입력전극이 상기 복수의 데이터라인의 하나에 접속되는, 상기 복수의 화소전극의 하나와 조합된 복수의 박막트랜지스터와, 상기 복수의 화소전극과 복수의 박막트랜지스터와의 사이에 배설되는 제2절연막을 가지고, 상기 기판과 상기 제1절연막과의 사이에서, 상기 복수의 화소전극과 이것에 인접하는 상기 복수의 데이터라인과의 간격을 덮도록 금속막으로 이루어진 차광부재가 배설되고, 이 차광부재에 맞포개지는 상기 복수의 데이터라인부분과 상기 제1절연막과의 사이에 반도체층을 개재시켜서 이루어진 액정표시장치의 제조방법에 있어서, 상기 출력전극쪽에 있는 상기 트랜지스터반도체층의 에칭되는 단부가 상기 출력전극의 단부를 넘어서 뻗도록 상기 트랜지스터 반도체층위에 형성된 포토레지스트마스크를 사용해서 상기 복수의 박막트랜지스터에 있어서의 상기 출력전극 아래쪽의 트랜지스터 반도체층을 에칭하는 공정과, 마스크로써 상기 복수의 데이터라인을 구성하는 금속막을 사용해서 상기 복수의 데이터라인 아래쪽의 상기 반도체층의 단부를 에칭하는 공정으로 이루어진 액정표시장치의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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