JPH041725A - 液晶表示装置 - Google Patents
液晶表示装置Info
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- JPH041725A JPH041725A JP2103482A JP10348290A JPH041725A JP H041725 A JPH041725 A JP H041725A JP 2103482 A JP2103482 A JP 2103482A JP 10348290 A JP10348290 A JP 10348290A JP H041725 A JPH041725 A JP H041725A
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 57
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133512—Light shielding layers, e.g. black matrix
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、液晶表示装置に関するものである。
従来の技術
近年、液晶表示装置はＣＲＴに代わるデイスプレィとし
て注目され、より高画質化に向けて改良が進められてい
る。
て注目され、より高画質化に向けて改良が進められてい
る。
以下図面を参照しながら、上述した従来の液晶表示装置
の一例について説明する。第４図は、従来の液晶表示装
置の断面図を示すものである。第４図において、１は第
１の基板、２は透明基板、３は透明電極、６は第２の基
板、７は絵素スイッチ素子、８は走査線、９は絵素電極
、１０は液晶層、１１は遮光膜である。特に遮光膜１１
は、絵素スイッチ素子７，８の走査線の上に被いかぶす
様に配置される。（たとえば、映像情報（１）、１９８
９年９月号２３〜３１ページ）、この遮光膜は従来、例
えばクロム等の金属が多用されている。この遮光膜の主
な役割は大きく分けて３つある。１つは第１の基板１を
透過して第２の基板６に到達する光が絵素スイッチ素子
７には当たらないように遮光する役目がある。絵素スイ
ッチ素子には、例えばアモルファスシリコン薄膜トラン
ジスタが多用されておりこの素子は光の影響を受は易い
。そのため必ず遮光する必要があり遮光膜は必要である
。２つ目の役割は、走査線８と第１の基板ｌとの間に生
じる電界によって液晶層１０が変化するがこの影響を隠
す役割であゐ。３つ目の役割は、隣合う絵素の境界をは
っきりとさせる役割である。
の一例について説明する。第４図は、従来の液晶表示装
置の断面図を示すものである。第４図において、１は第
１の基板、２は透明基板、３は透明電極、６は第２の基
板、７は絵素スイッチ素子、８は走査線、９は絵素電極
、１０は液晶層、１１は遮光膜である。特に遮光膜１１
は、絵素スイッチ素子７，８の走査線の上に被いかぶす
様に配置される。（たとえば、映像情報（１）、１９８
９年９月号２３〜３１ページ）、この遮光膜は従来、例
えばクロム等の金属が多用されている。この遮光膜の主
な役割は大きく分けて３つある。１つは第１の基板１を
透過して第２の基板６に到達する光が絵素スイッチ素子
７には当たらないように遮光する役目がある。絵素スイ
ッチ素子には、例えばアモルファスシリコン薄膜トラン
ジスタが多用されておりこの素子は光の影響を受は易い
。そのため必ず遮光する必要があり遮光膜は必要である
。２つ目の役割は、走査線８と第１の基板ｌとの間に生
じる電界によって液晶層１０が変化するがこの影響を隠
す役割であゐ。３つ目の役割は、隣合う絵素の境界をは
っきりとさせる役割である。
発明が解決しようとする課題
しかしながら上記のような構成では、遮光膜に達した光
の多くが反射されて、その反射光が画像として現われた
り、また別の反射光が絵素スイッチ素子に当たったりし
て十分な黒レベルを創出できなくなるという問題点を有
していた。
の多くが反射されて、その反射光が画像として現われた
り、また別の反射光が絵素スイッチ素子に当たったりし
て十分な黒レベルを創出できなくなるという問題点を有
していた。
本発明は、上記問題点に鑑み、遮光膜からの反射光をな
くし、十分な黒レベルを創出できる液晶表示装置を提供
するものである。
くし、十分な黒レベルを創出できる液晶表示装置を提供
するものである。
課題を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明の液晶表示装置は、
クロム薄膜と酸化クロム薄膜との２層、またはクロム薄
膜の両側を酸化クロム薄膜でサンドインチした３層で構
成された遮光膜を備えたものである。
クロム薄膜と酸化クロム薄膜との２層、またはクロム薄
膜の両側を酸化クロム薄膜でサンドインチした３層で構
成された遮光膜を備えたものである。
作用
本発明は上記した構成によって、遮光膜に当たった光は
酸化クロム薄膜によって吸収され反射光を軽減できる。
酸化クロム薄膜によって吸収され反射光を軽減できる。
そのため反射光によって画像や絵素スイッチ素子が影響
を受けることが無い。また酸化クロム薄膜だけで遮光膜
を構成すると酸化クロム薄膜を透過する光を十分に軽減
する事ができない。そこでクロム薄膜と酸化クロム薄膜
を併用することで反射光も少なく透過光もない遮光膜を
作ることができる。またクロム薄膜は薄い膜厚で十分な
遮光効果が得られるため凹凸の少ない基板が作れ液晶層
の配向性に及ぼす影響も小さくできる。また反応性スパ
ッタ装置を用いればクロム薄膜と酸化クロム薄膜の両方
を１台の装置で成膜でき、またクロム薄膜と酸化クロム
Ｅｌｆｌのパターニングも同時に行える。そのため２層
あるいは３層と言う構造であっても製造工程は増えない
ため生産性にとても優れている。
を受けることが無い。また酸化クロム薄膜だけで遮光膜
を構成すると酸化クロム薄膜を透過する光を十分に軽減
する事ができない。そこでクロム薄膜と酸化クロム薄膜
を併用することで反射光も少なく透過光もない遮光膜を
作ることができる。またクロム薄膜は薄い膜厚で十分な
遮光効果が得られるため凹凸の少ない基板が作れ液晶層
の配向性に及ぼす影響も小さくできる。また反応性スパ
ッタ装置を用いればクロム薄膜と酸化クロム薄膜の両方
を１台の装置で成膜でき、またクロム薄膜と酸化クロム
Ｅｌｆｌのパターニングも同時に行える。そのため２層
あるいは３層と言う構造であっても製造工程は増えない
ため生産性にとても優れている。
実施例
以下本発明の一実施例の液晶表示装置について、図面を
参照しながら説明する。
参照しながら説明する。
第１図（ａ）、第１図（ｂ）は本発明に第１の実施例に
おける液晶表示装置の断面図を示すものである。
おける液晶表示装置の断面図を示すものである。
第１図において、１は第１の基板、２は透明基板、３は
透明電極、４は酸化クロム薄膜、５はクロム薄膜、６は
第２の基板、７は絵素スイッチ素子、８は走査線、９は
絵素電極、１０は液晶層である。
透明電極、４は酸化クロム薄膜、５はクロム薄膜、６は
第２の基板、７は絵素スイッチ素子、８は走査線、９は
絵素電極、１０は液晶層である。
第１図（ａ）と第１図（ｂ）では３の透明電極と４の酸
化クロム薄膜、５のクロム薄膜との位置関係が違うが同
じ効果が得られる。本実施例では、２の透明基板を透過
して４の酸化クロム薄膜に当たった光を吸収する。第４
図で示したような構造を持つ従来例では、クロム製の遮
光膜に当たった光のうち６０〜７０％の光が反射されて
画像の黒レベルに影響を及ぼしていたが、第１図に示し
た構成の場合、反射光を１０％以下にすることができる
。本実施例は、１の透明基板を透過して４の酸化クロム
薄膜に強い光が当たる場合に有効である。
化クロム薄膜、５のクロム薄膜との位置関係が違うが同
じ効果が得られる。本実施例では、２の透明基板を透過
して４の酸化クロム薄膜に当たった光を吸収する。第４
図で示したような構造を持つ従来例では、クロム製の遮
光膜に当たった光のうち６０〜７０％の光が反射されて
画像の黒レベルに影響を及ぼしていたが、第１図に示し
た構成の場合、反射光を１０％以下にすることができる
。本実施例は、１の透明基板を透過して４の酸化クロム
薄膜に強い光が当たる場合に有効である。
以下本発明の第２の実施例について図面を参照しながら
説明する。
説明する。
第２図（ａ）、第２図（′ｂ）は本発明に第２の実施例
における液晶表示装置の断面図を示すものである。
における液晶表示装置の断面図を示すものである。
第２図において、１は第１の基板、２は透明基板、３は
透明電極、６は第２の基板、７は絵素スイッチ素子、８
は走査線、９は絵素電極、１０は液晶層であり以上は第
１図の構成と同様なものである。
透明電極、６は第２の基板、７は絵素スイッチ素子、８
は走査線、９は絵素電極、１０は液晶層であり以上は第
１図の構成と同様なものである。
第１図の構成と異なるのは４の酸化クロム薄膜と５のク
ロム薄膜の位置関係が逆である点である。
ロム薄膜の位置関係が逆である点である。
本実施例では、１０の液晶層を透過して４の酸化クロム
薄膜に当たった光を吸収する。第２図（ａ）と第２図ら
）では３の透明電極と４の酸化クロム薄膜、５のクロム
薄膜との位置関係が違うが同し効果が得られる。本実施
例は、１０の液晶層を透過して４の酸化クロム薄膜に強
い光が当たる場合に有効である。
薄膜に当たった光を吸収する。第２図（ａ）と第２図ら
）では３の透明電極と４の酸化クロム薄膜、５のクロム
薄膜との位置関係が違うが同し効果が得られる。本実施
例は、１０の液晶層を透過して４の酸化クロム薄膜に強
い光が当たる場合に有効である。
以下本発明の第３の実施例について図面を参照しながら
説明する。
説明する。
第３図（ａ）、第３図（ｂ）は本発明に第３の実施例に
おける液晶表示装置の断面図を示すものである。
おける液晶表示装置の断面図を示すものである。
第３図において、１は第１の基板、２は透明基板、３は
透明電極、６は第２の基板、７は絵素スイッチ素子、８
は走査線、９は絵素電極、１０は液晶層であり以上は第
１図の構成と同様なものである。
透明電極、６は第２の基板、７は絵素スイッチ素子、８
は走査線、９は絵素電極、１０は液晶層であり以上は第
１図の構成と同様なものである。
第１図の構成と異なるのは５のクロム薄膜の両側を４の
酸化クロム薄膜でサンドインチした３層で構成されてい
る点である。本実施例では、２の透明基板を透過して４
の酸化クロム薄膜に当たった光と１０の液晶層を透過し
て４の酸化クロム薄膜に当たった光との両方を吸収する
。第３図（ａ）と第３図（ｂ）では３の透明電極と４の
酸化クロム薄膜、５のクロム薄膜との位置関係が違うが
同じ効果が得られる。本実施例は、１の透明基板を透過
して４の酸化クロム薄膜に強い光が当たりかつ１０の液
晶層を透過して４の酸化クロム薄膜に強い光が当たる場
合に有効である。
酸化クロム薄膜でサンドインチした３層で構成されてい
る点である。本実施例では、２の透明基板を透過して４
の酸化クロム薄膜に当たった光と１０の液晶層を透過し
て４の酸化クロム薄膜に当たった光との両方を吸収する
。第３図（ａ）と第３図（ｂ）では３の透明電極と４の
酸化クロム薄膜、５のクロム薄膜との位置関係が違うが
同じ効果が得られる。本実施例は、１の透明基板を透過
して４の酸化クロム薄膜に強い光が当たりかつ１０の液
晶層を透過して４の酸化クロム薄膜に強い光が当たる場
合に有効である。
なお、第１の実施例、第２の実施例、第３の実施例、の
いずれの場合でも同じであるが、４の酸化クロム薄膜の
光吸収係数が大きいことが望ましいが酸化クロムは酸素
原子とクロム原子の存在比率、すなわち酸化度によって
光吸収係数が変わる。
いずれの場合でも同じであるが、４の酸化クロム薄膜の
光吸収係数が大きいことが望ましいが酸化クロムは酸素
原子とクロム原子の存在比率、すなわち酸化度によって
光吸収係数が変わる。
しかしこの条件は、次のパターニングの際のエツチング
条件をも変えるので光吸収係数とエツチング条件の両方
を加味して酸化度を決めるべきである。なおここで言う
光吸収係数は、以下のように定義される。光吸収係数を
α、酸化クロム薄膜の厚みをｄ、この膜に入射する光の
強度をＩ。、この膜を透過して出てきた光の強度を１と
するとαは、 α＝ （ｉｎ Ｍ０／Ｉ））／ｄ である。
条件をも変えるので光吸収係数とエツチング条件の両方
を加味して酸化度を決めるべきである。なおここで言う
光吸収係数は、以下のように定義される。光吸収係数を
α、酸化クロム薄膜の厚みをｄ、この膜に入射する光の
強度をＩ。、この膜を透過して出てきた光の強度を１と
するとαは、 α＝ （ｉｎ Ｍ０／Ｉ））／ｄ である。
また第１図、第２図、第３図中に示す９の絵素電極は透
明電極でも不透明電極でもかまわない。
明電極でも不透明電極でもかまわない。
たとえば透明電極としてはＩＴＯｌまた不透明電極とし
てアルミニウムやクロムでもよい。
てアルミニウムやクロムでもよい。
発明の効果
以上のように本発明は、クロム薄膜と酸化クロム薄膜と
の２層、またはクロム薄膜の両側を酸化クロム薄膜でサ
ンドインチした３層で構成された遮光膜を備えることに
より製造工程を増やすことなく十分な黒レベルを創出で
きる液晶表示装置を提供することができる。
の２層、またはクロム薄膜の両側を酸化クロム薄膜でサ
ンドインチした３層で構成された遮光膜を備えることに
より製造工程を増やすことなく十分な黒レベルを創出で
きる液晶表示装置を提供することができる。
第１図は本発明の第１の実施例における液晶表示装置の
断面図、第２図は本発明の第２の実施例における液晶表
示装置の断面図、第３図は本発明の第３の実施例におけ
る液晶表示装置の断面図、第４図は従来の液晶表示装置
の断面図である。 １・・・・・・第１の基板、２・・・・・・透明基板、
３・・・・・・透明電極、４・・・・・・酸化クロム薄
膜、５・・・・・・クロム薄膜、６・・・・・・第２の
基板、７・・・・・・絵素スイッチ素子、８・・・・・
・走査線、９・・・・・・絵素電極、１０・・・・・・
液晶層、１１・・・・・・遮光膜。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 はか１名ｑ 遣 ｇ月 冑Ｌ＆ 鷺２の基卑艮 試禿スイッチ素子 定量キ泉 雄索電」五 礒晶層 ｔ＊Ｒ灸 −一−ｌθ
断面図、第２図は本発明の第２の実施例における液晶表
示装置の断面図、第３図は本発明の第３の実施例におけ
る液晶表示装置の断面図、第４図は従来の液晶表示装置
の断面図である。 １・・・・・・第１の基板、２・・・・・・透明基板、
３・・・・・・透明電極、４・・・・・・酸化クロム薄
膜、５・・・・・・クロム薄膜、６・・・・・・第２の
基板、７・・・・・・絵素スイッチ素子、８・・・・・
・走査線、９・・・・・・絵素電極、１０・・・・・・
液晶層、１１・・・・・・遮光膜。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 はか１名ｑ 遣 ｇ月 冑Ｌ＆ 鷺２の基卑艮 試禿スイッチ素子 定量キ泉 雄索電」五 礒晶層 ｔ＊Ｒ灸 −一−ｌθ
Claims (2)
- （１）可視光を透過する透明基板と透明電極と遮光膜と
を含む第１の基板と、絵素スイッチ素子と走査線と前記
絵素スイッチ素子で駆動さるマトリクス状に配置された
絵素電極を含むアクティブマトリクスアレイとが形成さ
れた第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板と
の対向間隙に封入された液晶層と、を具備して成る液晶
表示装置であって、前記遮光膜はクロム薄膜と酸化クロ
ム薄膜との２層で構成されていることを特徴とする液晶
表示装置。 - （２）可視光を透過する透明基板と透明電極と遮光膜と
を含む第１の基板と、絵素スイッチ素子と走査線と前記
絵素スイッチ素子で駆動されるマトリクス状に配置され
た絵素電極を含むアクティブマトリクスアレイとが形成
された第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板
との対向間隙に封入された液晶層と、を具備して成る液
晶表示装置であって、前記遮光膜はクロム薄膜と酸化ク
ロム薄膜から成り、前記クロム薄膜の両側を前記酸化ク
ロム薄膜でサンドイッチした３層で構成されていること
を特徴とする液晶表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2103482A JPH041725A (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 | 液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2103482A JPH041725A (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 | 液晶表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH041725A true JPH041725A (ja) | 1992-01-07 |
Family
ID=14355230
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2103482A Pending JPH041725A (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 | 液晶表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH041725A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| EP0716334A2 (en) * | 1994-12-08 | 1996-06-12 | AT&T Corp. | Antiflector black matrix for use in display devices and method for preparation of same |
| KR100247819B1 (ko) * | 1997-05-23 | 2000-03-15 | 손욱 | 칼라필터의제조방법 |
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-
1990
- 1990-04-19 JP JP2103482A patent/JPH041725A/ja active Pending
Cited By (14)
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