JPH11258629A - 液晶表示装置の製造方法 - Google Patents
液晶表示装置の製造方法Info
- Publication number
- JPH11258629A JPH11258629A JP6109098A JP6109098A JPH11258629A JP H11258629 A JPH11258629 A JP H11258629A JP 6109098 A JP6109098 A JP 6109098A JP 6109098 A JP6109098 A JP 6109098A JP H11258629 A JPH11258629 A JP H11258629A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- divided
- boundary line
- liquid crystal
- crystal display
- display device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1343—Electrodes
- G02F1/13439—Electrodes characterised by their electrical, optical, physical properties; materials therefor; method of making
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/13625—Patterning using multi-mask exposure
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】継ぎ目が目立つこなく良好な表示品位を有する
大面積の液晶表示装置を製造可能な液晶表示装置の製造
方法を提供することにある。 【解決手段】液晶表示装置のガラス基板上に形成した導
電体層あるいは誘電体層複数の領域（Ａ、Ｂ、Ｄ、Ｅ）
に分割して露光し各分割領域毎にパターニングする。そ
の際、各分割領域の境界線をジグザグに形成し、隣合う
他の分割領域の境界線と噛み合わせる。分割領域を水平
方向に分割する水平境界線ａと垂直方向に分割する垂直
境界線ｂとが直交する十字部分において、分割領域のジ
グザグの境界線は、対角方向に対向する他の分割領域内
まで延出したパターンを有している。
大面積の液晶表示装置を製造可能な液晶表示装置の製造
方法を提供することにある。 【解決手段】液晶表示装置のガラス基板上に形成した導
電体層あるいは誘電体層複数の領域（Ａ、Ｂ、Ｄ、Ｅ）
に分割して露光し各分割領域毎にパターニングする。そ
の際、各分割領域の境界線をジグザグに形成し、隣合う
他の分割領域の境界線と噛み合わせる。分割領域を水平
方向に分割する水平境界線ａと垂直方向に分割する垂直
境界線ｂとが直交する十字部分において、分割領域のジ
グザグの境界線は、対角方向に対向する他の分割領域内
まで延出したパターンを有している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、アクティブマトリ
クス型液晶表示装置の製造方法に関する。
クス型液晶表示装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置は薄型、軽量であり、消費
電力が少ないなどの特徴から、ノート型パソコンやワー
ブロ、小型ＴＶなどの表示装置として広く使用されてい
る。その中でもアクティブマ卜リクス型の液晶表示装置
は高速応答、高コントラスト、多階調表示も可能である
ことから、大型のＴＶ等としても期待されている。
電力が少ないなどの特徴から、ノート型パソコンやワー
ブロ、小型ＴＶなどの表示装置として広く使用されてい
る。その中でもアクティブマ卜リクス型の液晶表示装置
は高速応答、高コントラスト、多階調表示も可能である
ことから、大型のＴＶ等としても期待されている。
【０００３】液晶表示装置は信号線、走査線などの電極
や薄膜トランジスタなどの素子によって構成されてお
り、製造は薄膜の成膜工程、フォトレジストマスクを形
成するＰＥＰ工程、薄膜の不要部分を除去するエッチン
グエ程をなどを繰り返すことにより行われる。
や薄膜トランジスタなどの素子によって構成されてお
り、製造は薄膜の成膜工程、フォトレジストマスクを形
成するＰＥＰ工程、薄膜の不要部分を除去するエッチン
グエ程をなどを繰り返すことにより行われる。
【０００４】近年、大画面化にともない製造装置にも大
画面に対応するものが要求されている。しかしながら、
フォトレジストの露光については、画面を複数の領域に
分けて露光する分割露光を行うことにより、従来の小型
の露光装置を用いて大画面に対応することができる。
画面に対応するものが要求されている。しかしながら、
フォトレジストの露光については、画面を複数の領域に
分けて露光する分割露光を行うことにより、従来の小型
の露光装置を用いて大画面に対応することができる。
【０００５】一般に、分割露光する場合、分割ラインに
露光時のずれが視認されるときがあり、この対策として
分割ラインを折り返しや島状にした領域で形成し、境界
の特性の変化勾配を緩衝化して継ぎ目を目立たせないよ
うにしている。
露光時のずれが視認されるときがあり、この対策として
分割ラインを折り返しや島状にした領域で形成し、境界
の特性の変化勾配を緩衝化して継ぎ目を目立たせないよ
うにしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】水平垂直分割ラインの
交差部や交わる部分は直線部分で形成するのが一般的で
あるが、境界部を目立たせないように水平垂直分割ライ
ンの領域を大きくとると、直線部分も大きくなり、この
直線部分でずれが視認されてしまう問題がある。すなわ
ち、隣合う領域同志が噛み合う部分の幅を大きく取った
ほうが継ぎ目は目立たないが、島状分割を行わない直線
部分が認識されるようになってしまう。
交差部や交わる部分は直線部分で形成するのが一般的で
あるが、境界部を目立たせないように水平垂直分割ライ
ンの領域を大きくとると、直線部分も大きくなり、この
直線部分でずれが視認されてしまう問題がある。すなわ
ち、隣合う領域同志が噛み合う部分の幅を大きく取った
ほうが継ぎ目は目立たないが、島状分割を行わない直線
部分が認識されるようになってしまう。
【０００７】この発明は以上の点に鑑みんされたもの
で、その目的は、継ぎ目が目立つこなく良好な表示品位
を有する大面積の液晶表示装置を製造可能な液晶表示装
置の製造方法を提供することにある。
で、その目的は、継ぎ目が目立つこなく良好な表示品位
を有する大面積の液晶表示装置を製造可能な液晶表示装
置の製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明に係る製造方法は、絶縁基板上に形成され
た導電体層および誘電体層の少なくとも１層を、複数の
領域に分割して露光し各分割領域毎にパターニングする
際、各分割領域の境界線をジグザグに形成し、隣合う他
の分割領域の境界線と噛み合わせることにより、所定配
列の画素を形成する液晶表示装置の製造方法において、
上記分割領域を水平方向に分割する水平境界線と垂直方
向に分割する垂直境界線とが交差あるいは連続する部分
において、分割領域のジグザグの境界線は、対角方向に
対向する他の分割領域内まで延出したパターンを有して
いることを特徴としている。
め、この発明に係る製造方法は、絶縁基板上に形成され
た導電体層および誘電体層の少なくとも１層を、複数の
領域に分割して露光し各分割領域毎にパターニングする
際、各分割領域の境界線をジグザグに形成し、隣合う他
の分割領域の境界線と噛み合わせることにより、所定配
列の画素を形成する液晶表示装置の製造方法において、
上記分割領域を水平方向に分割する水平境界線と垂直方
向に分割する垂直境界線とが交差あるいは連続する部分
において、分割領域のジグザグの境界線は、対角方向に
対向する他の分割領域内まで延出したパターンを有して
いることを特徴としている。
【０００９】上記構成によれば、分割露光する際、水平
に分割する境界線と垂直に分割する境界線が交差あるい
は交わる部分についても、この境界領域の光学的な特性
変化の勾配を緩衝化することができる。これにより、分
割領域間の継ぎ目が目立たず、良好な表示品位を有する
液晶表示装置を製造することが可能となる。
に分割する境界線と垂直に分割する境界線が交差あるい
は交わる部分についても、この境界領域の光学的な特性
変化の勾配を緩衝化することができる。これにより、分
割領域間の継ぎ目が目立たず、良好な表示品位を有する
液晶表示装置を製造することが可能となる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、この
発明の実施の形態に係るアクティブマトリクス型液晶表
示装置の製造方法について詳細に説明する。まず、アク
ティブマトリックス型液晶表示装置の一例について説明
する。
発明の実施の形態に係るアクティブマトリクス型液晶表
示装置の製造方法について詳細に説明する。まず、アク
ティブマトリックス型液晶表示装置の一例について説明
する。
【００１１】図１に示すように、アクティブマトリクス
型液晶表示装置１０は、光透過型の液晶表示装置として
構成され、例えば、対角１２．１インチの表示領域３０
を備えている。
型液晶表示装置１０は、光透過型の液晶表示装置として
構成され、例えば、対角１２．１インチの表示領域３０
を備えている。
【００１２】この液晶表示装置１０は、液晶表示パネル
１２、液晶表示パネルを駆動するための信号線駆動回路
基板１４、走査線駆動回路基板１６、各駆動回路基板と
液晶表示パネルとを電気的に接続した複数のテープキャ
リアパッケージ（ＴＣＰと称する）１８を備えている。
１２、液晶表示パネルを駆動するための信号線駆動回路
基板１４、走査線駆動回路基板１６、各駆動回路基板と
液晶表示パネルとを電気的に接続した複数のテープキャ
リアパッケージ（ＴＣＰと称する）１８を備えている。
【００１３】図１ないし図３に示すように、液晶表示パ
ネル１２はアレイ基板２０および対向基板２２を備え、
これら基板は、周縁部を図示しないシール剤によって貼
り合わせることにより、所定のギャップをおいて対向配
置されている。そして、アレイ基板２０と対向基板２２
との間には、それぞれ配向膜２３、２４を介して、光変
調層としての液晶組成物２６が封入されている。アレイ
基板２０および対向基板２２の外表面には、それぞれ偏
光板２８、３０が、その偏光軸が直交するように配置さ
れている。
ネル１２はアレイ基板２０および対向基板２２を備え、
これら基板は、周縁部を図示しないシール剤によって貼
り合わせることにより、所定のギャップをおいて対向配
置されている。そして、アレイ基板２０と対向基板２２
との間には、それぞれ配向膜２３、２４を介して、光変
調層としての液晶組成物２６が封入されている。アレイ
基板２０および対向基板２２の外表面には、それぞれ偏
光板２８、３０が、その偏光軸が直交するように配置さ
れている。
【００１４】アレイ基板２０は絶縁基板としてのガラス
基板３１を有し、このガラス基板上には、配線として多
数の信号線３２と多数の走査線３４とがほぼ直交するよ
うにマトリクス状に設けられている。信号線３２と走査
線３４とで囲まれる領域には、それぞれＩＴＯからなる
画素電極３６が設けられ、各画素電極は、スイッチング
素子としての薄膜トランジスタ（以下ＴＦＴと称する）
３８を介して、信号線３２と走査線３４との交差部に接
続されている。
基板３１を有し、このガラス基板上には、配線として多
数の信号線３２と多数の走査線３４とがほぼ直交するよ
うにマトリクス状に設けられている。信号線３２と走査
線３４とで囲まれる領域には、それぞれＩＴＯからなる
画素電極３６が設けられ、各画素電極は、スイッチング
素子としての薄膜トランジスタ（以下ＴＦＴと称する）
３８を介して、信号線３２と走査線３４との交差部に接
続されている。
【００１５】各画素電極３６はほぼ矩形状に形成され、
１画素を構成している。１画素の寸法は、８０μｍ×２
４０μｍである。信号線３２はアレイ基板２０の長辺側
に引き出され、ＴＣＰ１８を介して信号線駆動回路基板
１４に接続されている。また、走査線３４はアレイ基板
２０の短辺側に引き出され、ＴＣＰ１８を介して走査線
駆動回路１６に接続されている。
１画素を構成している。１画素の寸法は、８０μｍ×２
４０μｍである。信号線３２はアレイ基板２０の長辺側
に引き出され、ＴＣＰ１８を介して信号線駆動回路基板
１４に接続されている。また、走査線３４はアレイ基板
２０の短辺側に引き出され、ＴＣＰ１８を介して走査線
駆動回路１６に接続されている。
【００１６】図２および図３に示すように、各ＴＦＴ３
８は、走査線３４自体をゲート電極４０とし、ゲート電
極上に酸化シリコン、窒化シリコン等の誘電体層からな
るゲート絶縁膜４２が配置され、更に、ゲート絶縁膜４
２上にはａ−Ｓｉ膜からなる半導体膜４３が形成されて
いる。また、半導体膜４３上には、走査線３４に自己整
合されて成るチャネル保護膜４４として窒化シリコン膜
が配置されている。
８は、走査線３４自体をゲート電極４０とし、ゲート電
極上に酸化シリコン、窒化シリコン等の誘電体層からな
るゲート絶縁膜４２が配置され、更に、ゲート絶縁膜４
２上にはａ−Ｓｉ膜からなる半導体膜４３が形成されて
いる。また、半導体膜４３上には、走査線３４に自己整
合されて成るチャネル保護膜４４として窒化シリコン膜
が配置されている。
【００１７】そして、半導体膜４３は、低抵抗半導体膜
４６として配置されたｎ＋型ａ−Ｓｉ膜およびソース電
極４８を介して画素電極３６に電気的に接続されてい
る。また、半導体膜４３は、低抵抗半導体膜４６として
配置されるｎ＋型ａ−Ｓｉ膜および信号線３２から延出
したドレイン電極５０を介して信号線３２に電気的に接
続されている。
４６として配置されたｎ＋型ａ−Ｓｉ膜およびソース電
極４８を介して画素電極３６に電気的に接続されてい
る。また、半導体膜４３は、低抵抗半導体膜４６として
配置されるｎ＋型ａ−Ｓｉ膜および信号線３２から延出
したドレイン電極５０を介して信号線３２に電気的に接
続されている。
【００１８】一方、対向基板２２は透明なガラス基板６
０を備え、このガラス基板上には、クロム（Ｃｒ）の酸
化膜からなる第１遮光層６２、および第１遮光層上に積
層されたクロム（Ｃｒ）から成る第２遮光層６３が形成
されている。これら第１および第２遮光層６２、６３
は、アレイ基板２０上のＴＦＴ３８、信号線３２と画素
電極３６との間隙、および走査線３４と画素電極３６と
の間隙をそれぞれを遮光するように、マトリクス状に形
成されている。また、ガラス基板６０上において、アレ
イ基板２０側の画素電極３６と対向する位置には、赤
（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のカラーフィルタ層６４が
形成されている。
０を備え、このガラス基板上には、クロム（Ｃｒ）の酸
化膜からなる第１遮光層６２、および第１遮光層上に積
層されたクロム（Ｃｒ）から成る第２遮光層６３が形成
されている。これら第１および第２遮光層６２、６３
は、アレイ基板２０上のＴＦＴ３８、信号線３２と画素
電極３６との間隙、および走査線３４と画素電極３６と
の間隙をそれぞれを遮光するように、マトリクス状に形
成されている。また、ガラス基板６０上において、アレ
イ基板２０側の画素電極３６と対向する位置には、赤
（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のカラーフィルタ層６４が
形成されている。
【００１９】上記構成の液晶表示パネル１２において、
アレイ基板２０を製造する場合には、ガラス基板３１上
に複数の導電体層、誘電体層を形成し、各層を所定パタ
ーンにフォトエッチングすることにより、上述した信号
線、走査線、画素電極、ゲート絶縁膜、ＴＦＴ等を形成
している。
アレイ基板２０を製造する場合には、ガラス基板３１上
に複数の導電体層、誘電体層を形成し、各層を所定パタ
ーンにフォトエッチングすることにより、上述した信号
線、走査線、画素電極、ゲート絶縁膜、ＴＦＴ等を形成
している。
【００２０】例えば、画素電極を形成する場合には、ガ
ラス基板３１全面にＩＴＯ層を形成し、その上にレジス
ト層を形成した後、このレジスト層を所定パターンに露
光し、更に、エッチングすることにより形成する。
ラス基板３１全面にＩＴＯ層を形成し、その上にレジス
ト層を形成した後、このレジスト層を所定パターンに露
光し、更に、エッチングすることにより形成する。
【００２１】本実施の形態によれば、レジスト層を露光
する際、ガラス基板３１を複数の領域、例えば、図４に
示すように、６つの領域Ａ〜Ｆに分割して露光を行う。
各領域はほぼ矩形状をなし、隣合う分割領域間の境界領
域７０の中心線は、水平に延びる水平境界線ａおよびこ
れと直交する２本の垂直境界線ｂとで構成されている。
する際、ガラス基板３１を複数の領域、例えば、図４に
示すように、６つの領域Ａ〜Ｆに分割して露光を行う。
各領域はほぼ矩形状をなし、隣合う分割領域間の境界領
域７０の中心線は、水平に延びる水平境界線ａおよびこ
れと直交する２本の垂直境界線ｂとで構成されている。
【００２２】図５に示すように、各分割領域の水平およ
び垂直方向の境界線は、ほぼパルス波形状にジグザグに
形成され、隣合う分割領域の境界線と噛み合って境界領
域７０を構成している。このように各分割領域の境界線
をジグザグに形成し、境界領域７０内で勾配を持たせる
ことにより、境界領域７０の光学的な特性変化の勾配を
緩衝化し、水平および垂直方向の境界線はほとんど視認
できず目立たなくすることができる。
び垂直方向の境界線は、ほぼパルス波形状にジグザグに
形成され、隣合う分割領域の境界線と噛み合って境界領
域７０を構成している。このように各分割領域の境界線
をジグザグに形成し、境界領域７０内で勾配を持たせる
ことにより、境界領域７０の光学的な特性変化の勾配を
緩衝化し、水平および垂直方向の境界線はほとんど視認
できず目立たなくすることができる。
【００２３】また、図６に示すように、水平境界線ａと
垂直境界線ｂとが直交する十字部分において、隣合う４
つの分割領域Ａ、Ｂ、Ｄ、Ｅ（あるいはＢ、Ｃ、Ｅ、
Ｆ）の内、少なくとも１つの分割領域の境界線は、交点
に対して対角方向に隣接する他の分割領域内まで延出し
たパターンを持って形成されている。
垂直境界線ｂとが直交する十字部分において、隣合う４
つの分割領域Ａ、Ｂ、Ｄ、Ｅ（あるいはＢ、Ｃ、Ｅ、
Ｆ）の内、少なくとも１つの分割領域の境界線は、交点
に対して対角方向に隣接する他の分割領域内まで延出し
たパターンを持って形成されている。
【００２４】図６に示す実施の形態によれば、分割領域
Ａの境界線は、水平方向に隣接する分割領域Ｂ、垂直方
向に隣接する分割領域Ｄ、および対角方向に隣接する分
割領域Ｅにも延出したパターンを有している。分割領域
Ｄの境界線は、水平方向に隣接する分割領域Ｅ、垂直方
向に隣接する分割領域Ａ、および対角方向に隣接する分
割領域Ｂにも延出している。更に、分割領域Ｅの境界線
は、水平方向に隣接する分割領域Ｄ、垂直方向に隣接す
る分割領域Ｂ、および対角方向に隣接する分割領域Ａに
も延出したパターンを有している。
Ａの境界線は、水平方向に隣接する分割領域Ｂ、垂直方
向に隣接する分割領域Ｄ、および対角方向に隣接する分
割領域Ｅにも延出したパターンを有している。分割領域
Ｄの境界線は、水平方向に隣接する分割領域Ｅ、垂直方
向に隣接する分割領域Ａ、および対角方向に隣接する分
割領域Ｂにも延出している。更に、分割領域Ｅの境界線
は、水平方向に隣接する分割領域Ｄ、垂直方向に隣接す
る分割領域Ｂ、および対角方向に隣接する分割領域Ａに
も延出したパターンを有している。
【００２５】分割領域の境界線を上記のように形成する
ことにより、水平境界線ａと垂直境界線ｂとが直交する
十字部分においても、分割領域間の継ぎ目を目立たせな
くすることができる。
ことにより、水平境界線ａと垂直境界線ｂとが直交する
十字部分においても、分割領域間の継ぎ目を目立たせな
くすることができる。
【００２６】これまでの実験結果から、従来、分割領域
間の透過率の差が０．５％以上あれば継ぎ目が認識され
たが、本実施の形態に係る液晶表示パネルでは、隣合う
分割領域間に１％の透過率の差があった場合でも、全く
継ぎ目が認識されることはなかった。
間の透過率の差が０．５％以上あれば継ぎ目が認識され
たが、本実施の形態に係る液晶表示パネルでは、隣合う
分割領域間に１％の透過率の差があった場合でも、全く
継ぎ目が認識されることはなかった。
【００２７】以上のように構成された液晶表示装置の製
造方法によれば、アレイ基板２０の導電体層および誘電
体層をそれぞれパターニングする際、複数の領域に分割
して露光するとともに、各分割領域の境界線をジグザグ
に形成し、かつ、水平および垂直境界線が十字状に直交
する部分において、少なくとも１つの分割領域の境界線
を対角方向に隣接した他の分割領域内まで延出させる構
成としたことから、分割領域の継ぎ目を目立たなくし、
良好な表示品位を有する液晶表示装置を製造することが
できる。
造方法によれば、アレイ基板２０の導電体層および誘電
体層をそれぞれパターニングする際、複数の領域に分割
して露光するとともに、各分割領域の境界線をジグザグ
に形成し、かつ、水平および垂直境界線が十字状に直交
する部分において、少なくとも１つの分割領域の境界線
を対角方向に隣接した他の分割領域内まで延出させる構
成としたことから、分割領域の継ぎ目を目立たなくし、
良好な表示品位を有する液晶表示装置を製造することが
できる。
【００２８】なお、この発明は上述した実施の形態に限
定されることなく、この発明の範囲内で種々変形可能で
ある。例えば、上記実施の形態においては、ガラス基板
を６つの領域に分割して露光する構成としたが、分割数
は必要に応じて増減可能である。
定されることなく、この発明の範囲内で種々変形可能で
ある。例えば、上記実施の形態においては、ガラス基板
を６つの領域に分割して露光する構成としたが、分割数
は必要に応じて増減可能である。
【００２９】また、分割領域は、互いに同一の形状およ
び寸法を有している場合に限らず、異なる寸法の分割領
域としてもよい。例えば、図７（ａ）に示すように、水
平分割線ａと垂直分割線ｂとがＴ字状に交わるように、
ガラス基板を５つに分割露光し、あるいは、図７（ｂ）
に示すように、水平分割線ａと垂直分割線ｂとがＬ字状
に交わるように、ガラス基板を２つに分割露光してもよ
い。
び寸法を有している場合に限らず、異なる寸法の分割領
域としてもよい。例えば、図７（ａ）に示すように、水
平分割線ａと垂直分割線ｂとがＴ字状に交わるように、
ガラス基板を５つに分割露光し、あるいは、図７（ｂ）
に示すように、水平分割線ａと垂直分割線ｂとがＬ字状
に交わるように、ガラス基板を２つに分割露光してもよ
い。
【００３０】図７（ａ）に示す分割露光の場合、各分割
領域の水平および垂直境界線をジグザグに形成し境界領
域内で噛み合わせるとともに、Ｔ字状の交差部において
は、図８（ａ）に示すように、水平方向に隣合う少なく
とも１つの分割領域の境界線は、交差部に対して対角方
向にも延出したパターンを有して形成されている。
領域の水平および垂直境界線をジグザグに形成し境界領
域内で噛み合わせるとともに、Ｔ字状の交差部において
は、図８（ａ）に示すように、水平方向に隣合う少なく
とも１つの分割領域の境界線は、交差部に対して対角方
向にも延出したパターンを有して形成されている。
【００３１】図７（ｂ）に示す分割露光の場合、各分割
領域の水平および垂直境界線をジグザグに形成し境界領
域内で噛み合わせるとともに、Ｌ字状の交差部におい
て、図８（ｂ）に示すように、少なくとも一方の分割領
域の境界線は、交差部に対して対角方向にも延出したパ
ターンを有して形成されている。
領域の水平および垂直境界線をジグザグに形成し境界領
域内で噛み合わせるとともに、Ｌ字状の交差部におい
て、図８（ｂ）に示すように、少なくとも一方の分割領
域の境界線は、交差部に対して対角方向にも延出したパ
ターンを有して形成されている。
【００３２】上記図７（ａ）、７（ｂ）、８（ａ）、８
（ｂ）に示す場合においも、前述した実施の形態と同様
に、分割領域間の継ぎ目を目立たなくし、良好な表示品
位を有する液晶表示装置を製造することが可能となる。
（ｂ）に示す場合においも、前述した実施の形態と同様
に、分割領域間の継ぎ目を目立たなくし、良好な表示品
位を有する液晶表示装置を製造することが可能となる。
【００３３】
【発明の効果】以上詳述したように、この発明によれ
ば、分割露光を行なう際、境界中心線が交差する十字部
分、Ｔ字部分、Ｌ字部分においても分割領域間の継ぎ目
を目立たせなくすることができ、表示品位の優れた大面
積の液晶表示装置を製造可能な製造方法を提供すること
ができる。
ば、分割露光を行なう際、境界中心線が交差する十字部
分、Ｔ字部分、Ｌ字部分においても分割領域間の継ぎ目
を目立たせなくすることができ、表示品位の優れた大面
積の液晶表示装置を製造可能な製造方法を提供すること
ができる。
【図１】この発明に係る製造方法によって製造されるア
クティブマトリクス型液晶表示装置の一例を示す斜視
図。
クティブマトリクス型液晶表示装置の一例を示す斜視
図。
【図２】上記アクティブマトリクス型液晶表示装置のア
レイ基板を概略的に示す平面図。
レイ基板を概略的に示す平面図。
【図３】図２の線Ａ−Ａに沿った断面図。
【図４】上記アレイ基板を、この発明の実施の形態に係
る製造方法によって分割露光する際の分割領域を示す平
面図。
る製造方法によって分割露光する際の分割領域を示す平
面図。
【図５】図４における垂直境界領域の一部Ｇを拡大して
示す平面図。
示す平面図。
【図６】図４における十字状交差部Ｈを拡大して模式的
に示す平面図。
に示す平面図。
【図７】この発明の変形例に係る製造方法の分割露光領
域をそれぞれ示す平面図。
域をそれぞれ示す平面図。
【図８】Ｔ字状交差部およびＬ字状交差部をそれぞれ拡
大して模式的に示す平面図。
大して模式的に示す平面図。
１４…液晶表示パネル ２０…アレイ基板 ２２…対向基板 ２６…液晶組成物 ３１…ガラス基板 ３２…信号線 ３４…走査線 ３６…画素電極 ３８…ＴＦＴ ７０…境界領域 ａ…水平境界線 ｂ…垂直境界線 Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ…分割領域
Claims (4)
- 【請求項１】絶縁基板上に形成された導電体層および誘
電体層の少なくとも１層を、複数の領域に分割して露光
し各分割領域毎にパターニングする際、各分割領域の境
界線をジグザグに形成し、隣合う他の分割領域の境界線
と噛み合わせることにより、所定配列の画素を形成する
液晶表示装置の製造方法において、 上記分割領域を水平方向に分割する水平境界線と垂直方
向に分割する垂直境界線とが交差あるいは連続する部分
において、分割領域のジグザグの境界線は、対角方向に
対向する他の分割領域内まで延出したパターンを有して
いることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項２】上記水平境界線と垂直境界線とが直交する
ように分割露光して各分割領域毎にパターニングし、そ
の際、水平境界線と垂直境界線とが直交する十字状の交
差部において、隣合う４つの分割領域の内、少なくとも
１つの分割領域の境界線は、上記交差部を挟んで対角方
向に隣接する他の分割領域内まで延出したパターンを有
していることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装
置の製造方法。 - 【請求項３】上記水平境界線と垂直境界線とがＴ字状に
交わるように分割露光して各分割領域毎にパターニング
し、その際、水平境界線と垂直境界線とのＴ字状の交差
部において、隣合う３つの分割領域の内、少なくとも１
つの分割領域の境界線は、上記交差部を挟んで対角方向
に隣接する他の分割領域内まで延出したパターンを有し
ていることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置
の製造方法。 - 【請求項４】上記水平境界線と垂直境界線とがＬ字状に
交わるように分割露光して各分割領域毎にパターニング
し、その際、水平境界線と垂直境界線とのＬ字状の交差
部において、隣合う２つの分割領域の内、少なくとも一
方の分割領域の境界線は、上記交差部を挟んで対角方向
に他方の分割領域内まで延出したパターンを有している
ことを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造
方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06109098A JP3998317B2 (ja) | 1998-03-12 | 1998-03-12 | 液晶表示装置の製造方法 |
| TW088103675A TW500963B (en) | 1998-03-12 | 1999-03-10 | Method of manufacturing liquid-crystal display device having a plurality of divided regions |
| KR1019990008024A KR100329210B1 (ko) | 1998-03-12 | 1999-03-11 | 액정표시장치의 제조방법 |
| US09/266,801 US6157433A (en) | 1998-03-12 | 1999-03-12 | Method of manufacturing liquid-crystal display device having a plurality of divided regions |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06109098A JP3998317B2 (ja) | 1998-03-12 | 1998-03-12 | 液晶表示装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11258629A true JPH11258629A (ja) | 1999-09-24 |
| JP3998317B2 JP3998317B2 (ja) | 2007-10-24 |
Family
ID=13161047
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06109098A Expired - Fee Related JP3998317B2 (ja) | 1998-03-12 | 1998-03-12 | 液晶表示装置の製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6157433A (ja) |
| JP (1) | JP3998317B2 (ja) |
| KR (1) | KR100329210B1 (ja) |
| TW (1) | TW500963B (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001356328A (ja) * | 2000-06-15 | 2001-12-26 | Toshiba Corp | 基板の製造方法 |
| JP2002107905A (ja) * | 2000-09-27 | 2002-04-10 | Fujitsu Ltd | パターン形成方法、薄膜トランジスタマトリクス基板の製造方法および露光マスク |
| JP2003005218A (ja) * | 2001-06-26 | 2003-01-08 | Toshiba Corp | 液晶表示装置の製造方法及びマスク製造装置 |
| US6606141B2 (en) | 2000-09-21 | 2003-08-12 | International Business Machines Corporation | Liquid crystal display device and a manufacturing method thereof |
| JP2005043898A (ja) * | 2003-07-24 | 2005-02-17 | Samsung Electronics Co Ltd | 液晶表示装置及びこれに含まれる表示板の製造方法 |
| JP2006145663A (ja) * | 2004-11-17 | 2006-06-08 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | 平面表示装置、その設計方法およびそのプログラム |
| JP4662677B2 (ja) * | 2001-01-26 | 2011-03-30 | ゼロックス コーポレイション | ツイストボールを用いたディスプレイ装置 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002357835A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-12-13 | Toshiba Corp | 液晶表示モジュール |
| JP2004219991A (ja) | 2002-12-27 | 2004-08-05 | Sharp Corp | 表示装置用基板およびこれを有する液晶表示装置 |
| TWI225961B (en) * | 2003-11-17 | 2005-01-01 | Au Optronics Corp | Method of fabricating a liquid crystal display |
| WO2006059693A1 (ja) * | 2004-12-02 | 2006-06-08 | Sharp Kabushiki Kaisha | 表示装置の製造方法及び表示装置 |
| KR102661702B1 (ko) * | 2018-12-28 | 2024-05-02 | 삼성디스플레이 주식회사 | 폴더블 표시 장치 및 그의 제조 방법 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4878086A (en) * | 1985-04-01 | 1989-10-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Flat panel display device and manufacturing of the same |
| FR2593632B1 (fr) * | 1986-01-27 | 1988-03-18 | Maurice Francois | Ecran d'affichage a matrice active et procedes de realisation de cet ecran |
| JPH01217325A (ja) * | 1988-02-25 | 1989-08-30 | Sharp Corp | 液晶表示装置 |
| JP2600929B2 (ja) * | 1989-01-27 | 1997-04-16 | 松下電器産業株式会社 | 液晶画像表示装置およびその製造方法 |
| US5162931A (en) * | 1990-11-06 | 1992-11-10 | Honeywell, Inc. | Method of manufacturing flat panel backplanes including redundant gate lines and displays made thereby |
| JPH0519301A (ja) * | 1991-07-12 | 1993-01-29 | Toshiba Corp | アクテイブマトリツクス型液晶表示装置 |
| JP3067362B2 (ja) * | 1991-12-19 | 2000-07-17 | ソニー株式会社 | 液晶パネルの製造方法 |
| JPH05341315A (ja) * | 1992-06-08 | 1993-12-24 | Hitachi Ltd | 薄膜トランジスタ基板、液晶表示パネルおよび液晶表示装置 |
| EP0940710A3 (en) * | 1993-12-07 | 1999-12-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Display device and fabrication method thereof |
| KR970006733B1 (ko) * | 1993-12-14 | 1997-04-29 | 엘지전자 주식회사 | 박막트랜지스터 제조방법 |
| US5916735A (en) * | 1996-11-21 | 1999-06-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for manufacturing fine pattern |
-
1998
- 1998-03-12 JP JP06109098A patent/JP3998317B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-03-10 TW TW088103675A patent/TW500963B/zh active
- 1999-03-11 KR KR1019990008024A patent/KR100329210B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1999-03-12 US US09/266,801 patent/US6157433A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001356328A (ja) * | 2000-06-15 | 2001-12-26 | Toshiba Corp | 基板の製造方法 |
| JP4559590B2 (ja) * | 2000-06-15 | 2010-10-06 | 東芝モバイルディスプレイ株式会社 | 基板の製造方法 |
| US6606141B2 (en) | 2000-09-21 | 2003-08-12 | International Business Machines Corporation | Liquid crystal display device and a manufacturing method thereof |
| JP2002107905A (ja) * | 2000-09-27 | 2002-04-10 | Fujitsu Ltd | パターン形成方法、薄膜トランジスタマトリクス基板の製造方法および露光マスク |
| JP4662677B2 (ja) * | 2001-01-26 | 2011-03-30 | ゼロックス コーポレイション | ツイストボールを用いたディスプレイ装置 |
| JP2003005218A (ja) * | 2001-06-26 | 2003-01-08 | Toshiba Corp | 液晶表示装置の製造方法及びマスク製造装置 |
| JP2005043898A (ja) * | 2003-07-24 | 2005-02-17 | Samsung Electronics Co Ltd | 液晶表示装置及びこれに含まれる表示板の製造方法 |
| JP2006145663A (ja) * | 2004-11-17 | 2006-06-08 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | 平面表示装置、その設計方法およびそのプログラム |
| JP4695382B2 (ja) * | 2004-11-17 | 2011-06-08 | 東芝モバイルディスプレイ株式会社 | 平面表示装置の露光用マスクの設計方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100329210B1 (ko) | 2002-03-21 |
| US6157433A (en) | 2000-12-05 |
| KR19990077763A (ko) | 1999-10-25 |
| TW500963B (en) | 2002-09-01 |
| JP3998317B2 (ja) | 2007-10-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4733844B2 (ja) | 液晶表示装置用薄膜トランジスタ基板及びその修理方法 | |
| KR100422567B1 (ko) | 액정표시장치 | |
| JP3289099B2 (ja) | アクティブマトリクス型液晶表示装置およびその製造方法 | |
| JPH0736058A (ja) | アクティブマトリックス型液晶表示装置 | |
| JP2005018079A (ja) | 薄膜トランジスタ表示板及びこれを含む液晶表示装置 | |
| JP2002296615A (ja) | 液晶表示装置 | |
| JPH08201853A (ja) | 電極基板および平面表示装置 | |
| JP3998317B2 (ja) | 液晶表示装置の製造方法 | |
| US6337726B1 (en) | Array substrate for liquid crystal display element | |
| JPH10319428A (ja) | アクティブマトリクス型液晶表示装置 | |
| JP3777201B2 (ja) | アクティブマトリクス型表示装置及びその製造方法 | |
| JPH11153798A (ja) | アクティブマトリクス型液晶表示装置 | |
| KR100586245B1 (ko) | 액정 표시 장치 제조 방법 | |
| JPH1031230A (ja) | 表示装置用アレイ基板の製造方法 | |
| KR100324913B1 (ko) | 표시장치용 어레이 기판 및 그 제조방법 | |
| JP2870075B2 (ja) | 薄膜トランジスタパネル及び液晶表示装置 | |
| KR101333594B1 (ko) | 액정표시장치 및 그 제조방법 | |
| JP3105183B2 (ja) | アクティブマトリクス型液晶表示装置 | |
| JPH09101541A (ja) | 表示装置用アレイ基板及びその製造方法 | |
| JP3853946B2 (ja) | アクティブマトリクス型液晶表示装置 | |
| JP3282542B2 (ja) | アクティブマトリックス型液晶表示装置 | |
| JPH08122801A (ja) | 液晶表示素子 | |
| JPH04184323A (ja) | 液晶表示装置 | |
| JP2851305B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
| KR101622180B1 (ko) | 횡전계방식 액정표시장치 및 그 제조방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050302 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070216 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070306 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070501 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20070514 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070731 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070807 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100817 Year of fee payment: 3 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100817 Year of fee payment: 3 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100817 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110817 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120817 Year of fee payment: 5 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120817 Year of fee payment: 5 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120817 Year of fee payment: 5 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120817 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130817 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |