JP2013520028A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 処理する方法であって、
   露出面を提供することと、
   前記露出面を覆う自己組織化単分子層を吸着するために、第１の分子鎖長を有する第１の有機前駆体を供給することと、
   その上に自己組織化単分子層が吸着されない前記露出面の反応部位上に吸着するために、前記第１の分子鎖長より短い第２の分子鎖長を有する第２の有機前駆体を供給することと、を含む方法。
2. 前記露出面は、反応チャンバの表面である、請求項１に記載の方法。
3. 前記露出面は、パターン化された基板の表面である、請求項１に記載の方法。
4. 前記第１の分子鎖長は、８炭素原子以上の長さであり、前記第２の分子鎖長は、８炭素原子未満の長さである、請求項１に記載の方法。
5. 選択的ＡＬＤ処理を前記反応チャンバ内の前記パターン化された基板上に実行することをさらに含み、わずかな量の材料が、前記選択的ＡＬＤ処理中に前記自己組織化単分子層上に堆積される、請求項３に記載の方法。
6. 前記第１の有機前駆体を導入する前に、水酸化処理を前記露出面上に実行することをさらに含む、請求項１に記載の方法。
7. 前記第１の有機前駆体および前記第２の有機前駆体は、同時に供給される、請求項１に記載の方法。
8. 前記第２の有機前駆体を供給する前に、前記露出面を覆って吸着されない未反応の第１の有機前駆体を除去することをさらに含む、請求項１に記載の方法。
9. 蒸着反応器で処理する方法であって、
   反応器表面の一部を覆って自己組織化単分子層を堆積するために、第１の有機前駆体を供給することと、
   その上に前記自己組織化単分子層が吸着されなかった、前記反応器表面の一部と反応するために、第２の有機前駆体を供給することであって、前記第２の有機前駆体内の分子の前記鎖は、前記第１の有機前駆体内の分子の前記鎖より短い、前駆体を供給することと、を含む方法。
10. 前記反応器内の集積回路構造上のＡＬＤ処理を実行することをさらに含み、１つまたは複数の単分子層は、前記集積回路構造上に堆積され、前記反応器表面上の前記自己組織化単分子層上に堆積されない、請求項９に記載の方法。
11. 前記第１の有機前駆体は、オクタデシルトリクロロシラン（ＯＤＴＳ）、トリデカフルオロ−１，１，２，２−テトラヒドロオクチルトリ−クロロシラン（ＦＯＴＳ）およびテトラデシルトリクロロシラン（ＴＴＳ）からなる群から選択される、請求項１に記載の方法。
12. 前記第２の有機前駆体は、トリクロロメチルシラン（ＴＣＭＳ）、トリメチルクロロシラン（ＴＭＣＳ）およびトリメチルシラノール（ＴＭＳ）からなる群から選択される、請求項１１に記載の方法。
13. 第１の表面および前記第１の露出表面と異なる第２の隣接した表面と、
    前記第２の表面上に形成することなく、前記第１の表面上に吸着された混合疎水性膜であって、前記膜は、複数の第１の鎖有機分子および複数の第２の鎖有機分子を備え、前記第２の鎖有機分子は、前記第１の鎖有機分子より短い、混合疎水性膜と、を備える集積膜構造。
14. 前記第１の露出表面は誘電材料を備え、前記第２の露出表面は半導体材料を備える、請求項１３に記載の集積膜構造。
15. 前記混合疎水性膜は、１００度を超える水接触角を有する、請求項１３に記載の集積膜構造。