JP2011023688A - 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1方向に交互に積層された複数の電極膜WL及び電極間絶縁膜14を有する積層構造体ML、積層構造体を第1方向に貫通する半導体ピラーSP、半導体ピラーどうしを接続する接続部半導体層CP、接続部半導体層に対向する接続部導電層BG、記憶層48、内側絶縁膜42、外側絶縁膜43及び接続部外側絶縁膜44を備える。記憶層は電極膜と半導体ピラーとの間及び接続部導電層と接続部半導体層との間に設けられ、内側絶縁膜は記憶層と半導体ピラーとの間及び記憶層と接続部半導体層との間に設けられ、外側絶縁膜は電極膜と記憶層との間に設けられ、接続部外側絶縁膜は、記憶層と接続部導電層との間に設けられ、半導体ピラーの外側絶縁膜よりも厚い。
【選択図】図1
Description
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比係数などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比係数が異なって表される場合もある。
また、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1は、第1の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の構成を例示する模式的断面図である。
すなわち、同図(b)及び同図(c)は、それぞれ同図(a)のA−A’線断面図及びB−B’線断面図である。
図2は、第1の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の全体構成を例示する模式的断面図である。
図3は、第1の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の構成を例示する模式的斜視図である。
なお、図3においては、図を見易くするために、導電部分のみを示し、絶縁部分は図示を省略している。
図4は、第1の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の電極膜の構成を例示する模式的平面図である。
図5は、第1の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の一部の構成を例示する模式的断面図である。
まず、図2〜図4により、不揮発性半導体記憶装置110の全体の構成の概要を説明する。
すなわち、図2においては、マトリクスメモリセル部MU1として、図3のA−A’断面の一部と、図3のB−B’線断面の一部が例示されている。
図1に表したように、不揮発性半導体記憶装置110は、Z軸方向に交互に積層された複数の電極膜WLと複数の電極間絶縁膜14とを有する積層構造体MLと、積層構造体MLをZ軸方向に貫通する第1半導体ピラーSP1(半導体ピラーSP)と、例えばY軸方向において第1半導体ピラーSP1と隣接し、積層構造体MLをZ軸方向に貫通する第2半導体ピラーSP2(半導体ピラーSP)と、を備える。
なお、ここで、曲率は、上記の界面を近似する円の半径の逆数であり、従って、内側絶縁膜42の曲率半径は、外側絶縁膜43の曲率半径よりも小さい。
ここで、外側絶縁膜43の厚さは、膜厚t1である。
さらに、バックゲートBGは接続部CPに対向して設けられれば良く、例えばバックゲートBGの上に溝を有する層間絶縁膜が設けられ、その溝の内部に、接続部外側絶縁膜44、記憶層48、内側絶縁膜42及び接続部CPが埋め込まれていても良く、すなわち、接続部外側絶縁膜44、記憶層48、内側絶縁膜42及び接続部CPは、バックゲートBGに埋め込まれなくても良い。
具体的には、接続部外側絶縁膜44とバックゲートSGとの間の接続部外側界面48dは、溝CTRの側面CTR1及び底面CTR2に対向する部分において曲率を有さない。さらに、バックゲートBGに対向している内側絶縁膜42と接続部CPとの間の接続部内側界面48cは、溝CTRの側面CTR1及び底面CTR2に対向する部分において曲率を有さない。
一方、外側絶縁膜43は、メモリセルMCのセルトランジスタにおけるブロック絶縁膜として機能する。
電極間絶縁膜14は、電極膜WLどうしを絶縁する層間絶縁膜として機能する。
なお、各消去ブロックに含まれる半導体ピラーのX軸方向及びY軸方向における数は任意である。
なお、第1外側絶縁膜43(外側絶縁膜43)の膜厚は、電極膜WLと第1記憶層48(記憶層48)との間の距離であり、Z軸に対して垂直な方向における第1外側絶縁膜43(外側絶縁膜43)の厚さである。
一方、第1接続部外側絶縁膜44(接続部外側絶縁膜44)の膜厚は、バックゲートWLと第1記憶層48(記憶層48)との間の距離であり、第1接続部外側絶縁膜44の膜厚は、X軸方向の第1接続部外側絶縁膜44の厚さ(膜厚t3)としても良く、また、Z軸方向における第1接続部外側絶縁膜44の厚さ(膜厚t2)としても良い。
ビット線BLは、第1半導体ピラーSP1の第1接続部CP1とは反対の側の第1端部と接続され、Y軸方向に延在する。ソース線SLは、第2半導体ピラーSP2の第1接続部CP1とは反対の側の第2端部と接続され、X軸方向に延在する。
図6は、第1明の実施形態及び比較例の不揮発性半導体記憶装置の特性を例示する模式的断面図である。
すなわち、図6(a)〜(d)は、本実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置110に関する特性を例示し、図6(a)及び(c)は、それぞれ半導体ピラーSP及び接続部CPにおける電界の様子を例示しており、図6(b)及び(d)は、それぞれ、半導体ピラーSP及び接続部CPにおけるエネルギーバンド図を例示している。
比較例の不揮発性半導体記憶装置119においては、接続部CPにおける接続部外側絶縁膜45の厚さ(膜厚t4及び膜厚t5)が、半導体ピラーSPに対向する外側絶縁膜43の厚さ(膜厚t1)と同じに設定されていることを除いて、本実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置110と同じ構成を有している。
図7は、第1の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の製造方法を例示する工程順模式的断面図である。
すなわち、同図は、X−Z平面で接続部CPを切断したときの断面図である。
図8は、第1の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の製造方法を例示する工程順模式的断面図である。
すなわち、同図は、Y−Z平面で半導体ピラーSP及び接続部CPを切断したときの断面図である。
この工程における接続部CP及びその周辺の状態が図7(e)に例示されている。
その後、所定のコンタクト形成及び配線工程を経ることで、図1〜図5に例示した不揮発性半導体記憶装置110が形成される。
すなわち、同図(a)〜(c)は、図1(a)のB−B’線断面に相当する断面図である。
図9(a)に表したように、本実施形態に係る別の不揮発性半導体記憶装置111においては、溝CTRの側面CTR1と底面CTR2とが交差する部分が曲面になっている。この他は、不揮発性半導体記憶装置110と同じである。この場合も、溝CTRの側面CTR1及び底面CTR2は、平面の部分を有しており、少なくともこの部分において、接続部外側絶縁膜44の厚さは、半導体ピラーSPに対向する外側絶縁膜43よりも厚い。すなわち、接続部外側絶縁膜44は、溝CTRの壁面に設けられた絶縁膜44aと、その内側の絶縁膜43fと、の積層膜で形成され、一方、外側絶縁膜43は、絶縁膜43fによって形成される。従って、この場合も、接続部外側絶縁膜44は、絶縁膜44aの厚さ分だけ、外側絶縁膜43よりも厚い。
また、上記の絶縁膜44a及び絶縁膜43fの少なくともいずれかが、複数の膜からなる積層膜であっても良く、また、絶縁膜44a及び絶縁膜43fが、互いに異なる材料を含んでもいても良い。
図10は、第2の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の製造方法を例示するフローチャート図である。
図10に表したように、本実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の製造方法においては、まず、半導体基板11(基板)の主面11a上に設けられた導電層(バックゲートBGとなる導電膜BGf)に溝CTRを形成し、溝CTRの壁面に絶縁膜(絶縁膜44a)を形成した後に溝CTRの残余の空間に犠牲層Sfを埋め込む(ステップS110)。
すなわち、図7(a)〜(c)に関して説明した処理を実施する。
すなわち、図7(d)及び図8(a)に関して説明した処理を実施する。
すなわち、図8(a)に関して説明した処理を実施する。
すなわち、例えば、図8(b)及び(c)に関して説明した処理を実施する。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
Claims (5)
- 第1方向に交互に積層された複数の電極膜と複数の電極間絶縁膜とを有する積層構造体と、
前記積層構造体を前記第1方向に貫通する第1半導体ピラーと、
前記第1方向に対して垂直な第2方向において前記第1半導体ピラーと隣接し、前記積層構造体を前記第1方向に貫通する第2半導体ピラーと、
前記第1半導体ピラーと前記第2半導体ピラーとを前記第1方向における同じ側で電気的に接続し、前記第2方向に延在する接続部半導体層と、
前記接続部半導体層に対向して設けられた接続部導電層と、
前記電極膜のそれぞれと前記第1及び第2半導体ピラーとの間、並びに、前記接続部導電層と前記接続部半導体層との間、に設けられた記憶層と、
前記記憶層と前記第1及び第2半導体ピラーとの間、並びに、前記記憶層と前記接続部半導体層との間、に設けられた内側絶縁膜と、
前記電極膜のそれぞれと前記記憶層との間に設けられた外側絶縁膜と、
前記記憶層と前記接続部導電層との間に設けられ、前記外側絶縁膜よりも膜厚が厚い接続部外側絶縁膜と、
を備えたことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 前記接続部外側絶縁膜と前記記憶層との間の接続部外側界面は、平面である部分を有していることを特徴とする請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記接続部外側絶縁膜の少なくとも一部は、前記接続部導電層に設けられた溝に埋め込まれており、前記溝の側面及び底面の少なくともいずれかは、平面である部分を有することを特徴とする請求項1または2記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記接続部外側絶縁膜の比誘電率は、前記内側絶縁膜の比誘電率と等しいことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 基板の主面上に設けられた導電層に溝を形成し、溝の壁面に絶縁膜を形成した後に前記溝の残余の空間に犠牲層を埋め込み、
前記導電層、前記絶縁膜及び前記犠牲層の上に、前記主面に対して垂直な第1方向に複数の電極膜と複数の電極間絶縁膜とを交互に積層して前記複数の電極膜及び前記複数の電極間絶縁膜を有する積層構造体を形成し、
前記積層構造体を前記第1方向に貫通し、前記犠牲層に到達し、前記第1方向に対して垂直な第2方向において互いに隣接する第1貫通ホール及び第2貫通ホールを形成し、
前記第1及び第2貫通ホールを介して前記犠牲層を除去して前記絶縁膜を露出させた後、前記第1及び第2貫通ホールと、前記露出した前記絶縁膜と、の壁面に、外側絶縁膜、記憶層及び内側絶縁膜と、を積層し、前記第1及び第2貫通ホールと前記溝との残余の空間に半導体材料を埋め込むことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012204593A (ja) * | 2011-03-25 | 2012-10-22 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
KR20130044706A (ko) * | 2011-10-24 | 2013-05-03 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 3차원 구조의 비휘발성 메모리 소자 및 그 제조 방법 |
JPWO2017099220A1 (ja) * | 2015-12-09 | 2018-10-04 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
Families Citing this family (166)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011009409A (ja) * | 2009-06-25 | 2011-01-13 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP5380190B2 (ja) * | 2009-07-21 | 2014-01-08 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
US10354995B2 (en) | 2009-10-12 | 2019-07-16 | Monolithic 3D Inc. | Semiconductor memory device and structure |
US11374118B2 (en) | 2009-10-12 | 2022-06-28 | Monolithic 3D Inc. | Method to form a 3D integrated circuit |
US11984445B2 (en) | 2009-10-12 | 2024-05-14 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor devices and structures with metal layers |
US10910364B2 (en) | 2009-10-12 | 2021-02-02 | Monolitaic 3D Inc. | 3D semiconductor device |
US12027518B1 (en) | 2009-10-12 | 2024-07-02 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor devices and structures with metal layers |
US11018133B2 (en) | 2009-10-12 | 2021-05-25 | Monolithic 3D Inc. | 3D integrated circuit |
KR101137929B1 (ko) * | 2010-05-31 | 2012-05-09 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 비휘발성 메모리 장치 및 그 제조 방법 |
JP5491982B2 (ja) * | 2010-06-21 | 2014-05-14 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
KR101153642B1 (ko) * | 2010-08-27 | 2012-06-18 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 소자 및 그 제조 방법 |
US11482440B2 (en) | 2010-12-16 | 2022-10-25 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with a built-in test circuit for repairing faulty circuits |
US11024673B1 (en) | 2010-10-11 | 2021-06-01 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure |
US11315980B1 (en) | 2010-10-11 | 2022-04-26 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with transistors |
US11600667B1 (en) | 2010-10-11 | 2023-03-07 | Monolithic 3D Inc. | Method to produce 3D semiconductor devices and structures with memory |
US11257867B1 (en) | 2010-10-11 | 2022-02-22 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with oxide bonds |
US10896931B1 (en) | 2010-10-11 | 2021-01-19 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure |
US11227897B2 (en) | 2010-10-11 | 2022-01-18 | Monolithic 3D Inc. | Method for producing a 3D semiconductor memory device and structure |
US11158674B2 (en) | 2010-10-11 | 2021-10-26 | Monolithic 3D Inc. | Method to produce a 3D semiconductor device and structure |
US11469271B2 (en) | 2010-10-11 | 2022-10-11 | Monolithic 3D Inc. | Method to produce 3D semiconductor devices and structures with memory |
US11018191B1 (en) | 2010-10-11 | 2021-05-25 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure |
US11984438B2 (en) | 2010-10-13 | 2024-05-14 | Monolithic 3D Inc. | Multilevel semiconductor device and structure with oxide bonding |
US10943934B2 (en) | 2010-10-13 | 2021-03-09 | Monolithic 3D Inc. | Multilevel semiconductor device and structure |
US10978501B1 (en) | 2010-10-13 | 2021-04-13 | Monolithic 3D Inc. | Multilevel semiconductor device and structure with waveguides |
US11605663B2 (en) | 2010-10-13 | 2023-03-14 | Monolithic 3D Inc. | Multilevel semiconductor device and structure with image sensors and wafer bonding |
US11929372B2 (en) | 2010-10-13 | 2024-03-12 | Monolithic 3D Inc. | Multilevel semiconductor device and structure with image sensors and wafer bonding |
US11063071B1 (en) | 2010-10-13 | 2021-07-13 | Monolithic 3D Inc. | Multilevel semiconductor device and structure with waveguides |
US11869915B2 (en) | 2010-10-13 | 2024-01-09 | Monolithic 3D Inc. | Multilevel semiconductor device and structure with image sensors and wafer bonding |
US11133344B2 (en) | 2010-10-13 | 2021-09-28 | Monolithic 3D Inc. | Multilevel semiconductor device and structure with image sensors |
US10998374B1 (en) | 2010-10-13 | 2021-05-04 | Monolithic 3D Inc. | Multilevel semiconductor device and structure |
US11855114B2 (en) | 2010-10-13 | 2023-12-26 | Monolithic 3D Inc. | Multilevel semiconductor device and structure with image sensors and wafer bonding |
US11163112B2 (en) | 2010-10-13 | 2021-11-02 | Monolithic 3D Inc. | Multilevel semiconductor device and structure with electromagnetic modulators |
US12094892B2 (en) | 2010-10-13 | 2024-09-17 | Monolithic 3D Inc. | 3D micro display device and structure |
US11327227B2 (en) | 2010-10-13 | 2022-05-10 | Monolithic 3D Inc. | Multilevel semiconductor device and structure with electromagnetic modulators |
US12080743B2 (en) | 2010-10-13 | 2024-09-03 | Monolithic 3D Inc. | Multilevel semiconductor device and structure with image sensors and wafer bonding |
US11043523B1 (en) | 2010-10-13 | 2021-06-22 | Monolithic 3D Inc. | Multilevel semiconductor device and structure with image sensors |
US10679977B2 (en) | 2010-10-13 | 2020-06-09 | Monolithic 3D Inc. | 3D microdisplay device and structure |
US11437368B2 (en) | 2010-10-13 | 2022-09-06 | Monolithic 3D Inc. | Multilevel semiconductor device and structure with oxide bonding |
US11694922B2 (en) | 2010-10-13 | 2023-07-04 | Monolithic 3D Inc. | Multilevel semiconductor device and structure with oxide bonding |
US11404466B2 (en) | 2010-10-13 | 2022-08-02 | Monolithic 3D Inc. | Multilevel semiconductor device and structure with image sensors |
US10833108B2 (en) | 2010-10-13 | 2020-11-10 | Monolithic 3D Inc. | 3D microdisplay device and structure |
US11164898B2 (en) | 2010-10-13 | 2021-11-02 | Monolithic 3D Inc. | Multilevel semiconductor device and structure |
US11855100B2 (en) | 2010-10-13 | 2023-12-26 | Monolithic 3D Inc. | Multilevel semiconductor device and structure with oxide bonding |
US12033884B2 (en) | 2010-11-18 | 2024-07-09 | Monolithic 3D Inc. | Methods for producing a 3D semiconductor device and structure with memory cells and multiple metal layers |
US11569117B2 (en) | 2010-11-18 | 2023-01-31 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with single-crystal layers |
US11610802B2 (en) | 2010-11-18 | 2023-03-21 | Monolithic 3D Inc. | Method for producing a 3D semiconductor device and structure with single crystal transistors and metal gate electrodes |
US11094576B1 (en) | 2010-11-18 | 2021-08-17 | Monolithic 3D Inc. | Methods for producing a 3D semiconductor memory device and structure |
US11482438B2 (en) | 2010-11-18 | 2022-10-25 | Monolithic 3D Inc. | Methods for producing a 3D semiconductor memory device and structure |
US11355380B2 (en) | 2010-11-18 | 2022-06-07 | Monolithic 3D Inc. | Methods for producing 3D semiconductor memory device and structure utilizing alignment marks |
US11355381B2 (en) | 2010-11-18 | 2022-06-07 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor memory device and structure |
US12068187B2 (en) | 2010-11-18 | 2024-08-20 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with bonding and DRAM memory cells |
US11804396B2 (en) | 2010-11-18 | 2023-10-31 | Monolithic 3D Inc. | Methods for producing a 3D semiconductor device and structure with memory cells and multiple metal layers |
US11508605B2 (en) | 2010-11-18 | 2022-11-22 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor memory device and structure |
US11495484B2 (en) | 2010-11-18 | 2022-11-08 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor devices and structures with at least two single-crystal layers |
US11018042B1 (en) | 2010-11-18 | 2021-05-25 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor memory device and structure |
US11862503B2 (en) | 2010-11-18 | 2024-01-02 | Monolithic 3D Inc. | Method for producing a 3D semiconductor device and structure with memory cells and multiple metal layers |
US11107721B2 (en) | 2010-11-18 | 2021-08-31 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with NAND logic |
US11784082B2 (en) | 2010-11-18 | 2023-10-10 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with bonding |
US11004719B1 (en) | 2010-11-18 | 2021-05-11 | Monolithic 3D Inc. | Methods for producing a 3D semiconductor memory device and structure |
US11443971B2 (en) | 2010-11-18 | 2022-09-13 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with memory |
US11031275B2 (en) | 2010-11-18 | 2021-06-08 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with memory |
US11164770B1 (en) | 2010-11-18 | 2021-11-02 | Monolithic 3D Inc. | Method for producing a 3D semiconductor memory device and structure |
US11901210B2 (en) | 2010-11-18 | 2024-02-13 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with memory |
US11615977B2 (en) | 2010-11-18 | 2023-03-28 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor memory device and structure |
US11482439B2 (en) | 2010-11-18 | 2022-10-25 | Monolithic 3D Inc. | Methods for producing a 3D semiconductor memory device comprising charge trap junction-less transistors |
US11521888B2 (en) | 2010-11-18 | 2022-12-06 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with high-k metal gate transistors |
US11735462B2 (en) | 2010-11-18 | 2023-08-22 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with single-crystal layers |
US11854857B1 (en) | 2010-11-18 | 2023-12-26 | Monolithic 3D Inc. | Methods for producing a 3D semiconductor device and structure with memory cells and multiple metal layers |
US11923230B1 (en) | 2010-11-18 | 2024-03-05 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with bonding |
US11211279B2 (en) | 2010-11-18 | 2021-12-28 | Monolithic 3D Inc. | Method for processing a 3D integrated circuit and structure |
JP2012204430A (ja) * | 2011-03-24 | 2012-10-22 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP2012204684A (ja) * | 2011-03-25 | 2012-10-22 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
US10388568B2 (en) | 2011-06-28 | 2019-08-20 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and system |
KR20130005436A (ko) * | 2011-07-06 | 2013-01-16 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 3차원 구조의 비휘발성 메모리 소자 및 그 제조 방법 |
KR101865566B1 (ko) * | 2011-09-08 | 2018-06-11 | 삼성전자주식회사 | 수직형 메모리 장치의 제조 방법 |
US8709894B2 (en) | 2011-09-16 | 2014-04-29 | Micron Technology, Inc. | 3D structured memory devices and methods for manufacturing thereof |
KR20130044713A (ko) * | 2011-10-24 | 2013-05-03 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 3차원 불휘발성 메모리 소자와, 이를 포함하는 메모리 시스템과, 그 제조방법 |
US11410912B2 (en) | 2012-04-09 | 2022-08-09 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device with vias and isolation layers |
US11735501B1 (en) | 2012-04-09 | 2023-08-22 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with metal layers and a connective path |
US10600888B2 (en) | 2012-04-09 | 2020-03-24 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device |
US11616004B1 (en) | 2012-04-09 | 2023-03-28 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with metal layers and a connective path |
US11476181B1 (en) | 2012-04-09 | 2022-10-18 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with metal layers |
US11594473B2 (en) | 2012-04-09 | 2023-02-28 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with metal layers and a connective path |
US11881443B2 (en) | 2012-04-09 | 2024-01-23 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with metal layers and a connective path |
US11694944B1 (en) | 2012-04-09 | 2023-07-04 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with metal layers and a connective path |
US11088050B2 (en) | 2012-04-09 | 2021-08-10 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device with isolation layers |
US11164811B2 (en) | 2012-04-09 | 2021-11-02 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device with isolation layers and oxide-to-oxide bonding |
US10367001B2 (en) | 2012-06-04 | 2019-07-30 | SK Hynix Inc. | 3D semiconductor memory device |
USRE49831E1 (en) | 2012-06-04 | 2024-02-06 | SK Hynix Inc. | 3D semiconductor memory device |
KR20130136249A (ko) * | 2012-06-04 | 2013-12-12 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 장치 및 그 제조 방법 |
TWI488265B (zh) * | 2012-07-11 | 2015-06-11 | Powerchip Technology Corp | 立體垂直式記憶體的製作方法 |
KR20140025054A (ko) * | 2012-08-21 | 2014-03-04 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 비휘발성 메모리 장치 및 그 제조 방법 |
JP5752660B2 (ja) | 2012-09-21 | 2015-07-22 | 株式会社東芝 | 半導体装置およびその製造方法 |
KR20140048653A (ko) * | 2012-10-16 | 2014-04-24 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 장치 및 그 제조 방법 |
KR102027133B1 (ko) * | 2012-12-13 | 2019-10-02 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 소자 및 그 제조 방법 |
US11916045B2 (en) | 2012-12-22 | 2024-02-27 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with metal layers |
US11309292B2 (en) | 2012-12-22 | 2022-04-19 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with metal layers |
US11018116B2 (en) | 2012-12-22 | 2021-05-25 | Monolithic 3D Inc. | Method to form a 3D semiconductor device and structure |
US11961827B1 (en) | 2012-12-22 | 2024-04-16 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with metal layers |
US12051674B2 (en) | 2012-12-22 | 2024-07-30 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with metal layers |
US11784169B2 (en) | 2012-12-22 | 2023-10-10 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with metal layers |
US11217565B2 (en) | 2012-12-22 | 2022-01-04 | Monolithic 3D Inc. | Method to form a 3D semiconductor device and structure |
US11967583B2 (en) | 2012-12-22 | 2024-04-23 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with metal layers |
US11063024B1 (en) | 2012-12-22 | 2021-07-13 | Monlithic 3D Inc. | Method to form a 3D semiconductor device and structure |
US11430668B2 (en) | 2012-12-29 | 2022-08-30 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with bonding |
US11087995B1 (en) | 2012-12-29 | 2021-08-10 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure |
US11430667B2 (en) | 2012-12-29 | 2022-08-30 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with bonding |
US11004694B1 (en) | 2012-12-29 | 2021-05-11 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure |
US11177140B2 (en) | 2012-12-29 | 2021-11-16 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure |
US10903089B1 (en) | 2012-12-29 | 2021-01-26 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure |
US11935949B1 (en) | 2013-03-11 | 2024-03-19 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with metal layers and memory cells |
US11869965B2 (en) | 2013-03-11 | 2024-01-09 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with metal layers and memory cells |
US12094965B2 (en) | 2013-03-11 | 2024-09-17 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with metal layers and memory cells |
US8902663B1 (en) | 2013-03-11 | 2014-12-02 | Monolithic 3D Inc. | Method of maintaining a memory state |
US11923374B2 (en) | 2013-03-12 | 2024-03-05 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with metal layers |
US11398569B2 (en) | 2013-03-12 | 2022-07-26 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure |
US11088130B2 (en) | 2014-01-28 | 2021-08-10 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure |
US10840239B2 (en) | 2014-08-26 | 2020-11-17 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure |
JP2014187191A (ja) * | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置の製造方法及び半導体記憶装置 |
US11270055B1 (en) | 2013-04-15 | 2022-03-08 | Monolithic 3D Inc. | Automation for monolithic 3D devices |
US11720736B2 (en) | 2013-04-15 | 2023-08-08 | Monolithic 3D Inc. | Automation methods for 3D integrated circuits and devices |
US11341309B1 (en) | 2013-04-15 | 2022-05-24 | Monolithic 3D Inc. | Automation for monolithic 3D devices |
US11574109B1 (en) | 2013-04-15 | 2023-02-07 | Monolithic 3D Inc | Automation methods for 3D integrated circuits and devices |
US11487928B2 (en) | 2013-04-15 | 2022-11-01 | Monolithic 3D Inc. | Automation for monolithic 3D devices |
JP2015056444A (ja) * | 2013-09-10 | 2015-03-23 | 株式会社東芝 | 不揮発性記憶装置およびその製造方法 |
US11031394B1 (en) | 2014-01-28 | 2021-06-08 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure |
US11107808B1 (en) | 2014-01-28 | 2021-08-31 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure |
US12094829B2 (en) | 2014-01-28 | 2024-09-17 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure |
KR20150139255A (ko) * | 2014-06-03 | 2015-12-11 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 장치 및 그 제조방법 |
US9583505B2 (en) * | 2014-06-05 | 2017-02-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Non-volatile memory device |
KR102234273B1 (ko) | 2014-07-02 | 2021-04-02 | 삼성전자주식회사 | 반도체 메모리 장치 |
US9917096B2 (en) * | 2014-09-10 | 2018-03-13 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor memory device and method for manufacturing same |
KR102264675B1 (ko) * | 2014-12-09 | 2021-06-15 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치 및 그 형성방법 |
US9401369B1 (en) * | 2015-02-17 | 2016-07-26 | Macronix International Co., Ltd. | Memory device and method for fabricating the same |
US11056468B1 (en) | 2015-04-19 | 2021-07-06 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure |
US10825779B2 (en) | 2015-04-19 | 2020-11-03 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure |
US11011507B1 (en) | 2015-04-19 | 2021-05-18 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure |
US9515125B2 (en) * | 2015-04-24 | 2016-12-06 | Sony Corporation | Socket structure for three-dimensional memory |
US11956952B2 (en) | 2015-08-23 | 2024-04-09 | Monolithic 3D Inc. | Semiconductor memory device and structure |
US11978731B2 (en) | 2015-09-21 | 2024-05-07 | Monolithic 3D Inc. | Method to produce a multi-level semiconductor memory device and structure |
US11937422B2 (en) | 2015-11-07 | 2024-03-19 | Monolithic 3D Inc. | Semiconductor memory device and structure |
US11114427B2 (en) | 2015-11-07 | 2021-09-07 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor processor and memory device and structure |
US12035531B2 (en) | 2015-10-24 | 2024-07-09 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with logic and memory |
US10418369B2 (en) | 2015-10-24 | 2019-09-17 | Monolithic 3D Inc. | Multi-level semiconductor memory device and structure |
US11991884B1 (en) | 2015-10-24 | 2024-05-21 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with logic and memory |
US11296115B1 (en) | 2015-10-24 | 2022-04-05 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure |
US10847540B2 (en) | 2015-10-24 | 2020-11-24 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor memory device and structure |
US12016181B2 (en) | 2015-10-24 | 2024-06-18 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure with logic and memory |
US11114464B2 (en) | 2015-10-24 | 2021-09-07 | Monolithic 3D Inc. | 3D semiconductor device and structure |
SG11201802573UA (en) * | 2016-01-13 | 2018-04-27 | Toshiba Memory Corp | Semiconductor memory device |
US9893080B2 (en) * | 2016-03-04 | 2018-02-13 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor device having a diverse shaped columnar portion |
US11869591B2 (en) | 2016-10-10 | 2024-01-09 | Monolithic 3D Inc. | 3D memory devices and structures with control circuits |
US11711928B2 (en) | 2016-10-10 | 2023-07-25 | Monolithic 3D Inc. | 3D memory devices and structures with control circuits |
US11930648B1 (en) | 2016-10-10 | 2024-03-12 | Monolithic 3D Inc. | 3D memory devices and structures with metal layers |
US11812620B2 (en) | 2016-10-10 | 2023-11-07 | Monolithic 3D Inc. | 3D DRAM memory devices and structures with control circuits |
US11251149B2 (en) | 2016-10-10 | 2022-02-15 | Monolithic 3D Inc. | 3D memory device and structure |
US11329059B1 (en) | 2016-10-10 | 2022-05-10 | Monolithic 3D Inc. | 3D memory devices and structures with thinned single crystal substrates |
US9853038B1 (en) * | 2017-01-20 | 2017-12-26 | Sandisk Technologies Llc | Three-dimensional memory device having integrated support and contact structures and method of making thereof |
KR102498250B1 (ko) | 2017-09-11 | 2023-02-10 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 장치 및 그 제조방법 |
CN109786390B (zh) * | 2017-11-13 | 2022-12-20 | 萨摩亚商费洛储存科技股份有限公司 | 三维储存元件及其制造方法 |
KR20200020187A (ko) * | 2018-08-16 | 2020-02-26 | 삼성전자주식회사 | 적층 영역을 포함하는 반도체 소자 |
US11296106B2 (en) | 2019-04-08 | 2022-04-05 | Monolithic 3D Inc. | 3D memory semiconductor devices and structures |
US10892016B1 (en) | 2019-04-08 | 2021-01-12 | Monolithic 3D Inc. | 3D memory semiconductor devices and structures |
US11158652B1 (en) | 2019-04-08 | 2021-10-26 | Monolithic 3D Inc. | 3D memory semiconductor devices and structures |
US11018156B2 (en) | 2019-04-08 | 2021-05-25 | Monolithic 3D Inc. | 3D memory semiconductor devices and structures |
US11763864B2 (en) | 2019-04-08 | 2023-09-19 | Monolithic 3D Inc. | 3D memory semiconductor devices and structures with bit-line pillars |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06112190A (ja) * | 1992-09-24 | 1994-04-22 | Nec Corp | 絶縁膜の形成方法 |
JP2007317874A (ja) * | 2006-05-25 | 2007-12-06 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2009094237A (ja) * | 2007-10-05 | 2009-04-30 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2009094236A (ja) * | 2007-10-05 | 2009-04-30 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2009146954A (ja) * | 2007-12-11 | 2009-07-02 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
Family Cites Families (60)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5016832B2 (ja) * | 2006-03-27 | 2012-09-05 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP4768557B2 (ja) * | 2006-09-15 | 2011-09-07 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP2008085178A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP5330376B2 (ja) * | 2007-05-10 | 2013-10-30 | アイピーディーアイエイ | 集積装置及びその製造方法、並びに、システム・イン・パッケージ |
JP2009004510A (ja) * | 2007-06-20 | 2009-01-08 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP4729060B2 (ja) * | 2008-02-26 | 2011-07-20 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置の製造方法 |
JP2010010596A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP5112201B2 (ja) * | 2008-07-11 | 2013-01-09 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2010027870A (ja) * | 2008-07-18 | 2010-02-04 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP5086933B2 (ja) * | 2008-08-06 | 2012-11-28 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置の駆動方法 |
JP5288936B2 (ja) * | 2008-08-12 | 2013-09-11 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP5279403B2 (ja) * | 2008-08-18 | 2013-09-04 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP2010050127A (ja) * | 2008-08-19 | 2010-03-04 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP2010080561A (ja) * | 2008-09-25 | 2010-04-08 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP5364336B2 (ja) * | 2008-11-04 | 2013-12-11 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置 |
JP5300419B2 (ja) * | 2008-11-05 | 2013-09-25 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP5364342B2 (ja) * | 2008-11-10 | 2013-12-11 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置、及びその製造方法 |
JP2010118530A (ja) * | 2008-11-13 | 2010-05-27 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2010135672A (ja) * | 2008-12-08 | 2010-06-17 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置の製造方法 |
JP5356005B2 (ja) * | 2008-12-10 | 2013-12-04 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP5388600B2 (ja) * | 2009-01-22 | 2014-01-15 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置の製造方法 |
JP5376976B2 (ja) * | 2009-02-06 | 2013-12-25 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP5383241B2 (ja) * | 2009-02-16 | 2014-01-08 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP2010192569A (ja) * | 2009-02-17 | 2010-09-02 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP5395460B2 (ja) * | 2009-02-25 | 2014-01-22 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置、及びその製造方法 |
JP5330027B2 (ja) * | 2009-02-25 | 2013-10-30 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置、及びその製造方法 |
JP2010205904A (ja) * | 2009-03-03 | 2010-09-16 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置の製造方法及び不揮発性半導体記憶装置 |
JP2010225918A (ja) * | 2009-03-24 | 2010-10-07 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP4897009B2 (ja) * | 2009-03-24 | 2012-03-14 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置の製造方法 |
JP2011003833A (ja) * | 2009-06-22 | 2011-01-06 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP5398378B2 (ja) * | 2009-06-24 | 2014-01-29 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP2011009409A (ja) * | 2009-06-25 | 2011-01-13 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2011014817A (ja) * | 2009-07-06 | 2011-01-20 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2011023464A (ja) * | 2009-07-14 | 2011-02-03 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
JP2011040706A (ja) * | 2009-07-15 | 2011-02-24 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP5380190B2 (ja) * | 2009-07-21 | 2014-01-08 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP2011023687A (ja) * | 2009-07-21 | 2011-02-03 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2011029234A (ja) * | 2009-07-21 | 2011-02-10 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2011035228A (ja) * | 2009-08-04 | 2011-02-17 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
KR101045073B1 (ko) * | 2009-08-07 | 2011-06-29 | 주식회사 하이닉스반도체 | 수직채널형 비휘발성 메모리 소자 및 그 제조 방법 |
JP2011049206A (ja) * | 2009-08-25 | 2011-03-10 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
JP5052575B2 (ja) * | 2009-09-01 | 2012-10-17 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2011060991A (ja) * | 2009-09-10 | 2011-03-24 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP4975794B2 (ja) * | 2009-09-16 | 2012-07-11 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP5297342B2 (ja) * | 2009-11-02 | 2013-09-25 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP5259552B2 (ja) * | 2009-11-02 | 2013-08-07 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置及びその駆動方法 |
JP5457815B2 (ja) * | 2009-12-17 | 2014-04-02 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP5394270B2 (ja) * | 2010-01-25 | 2014-01-22 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP5378255B2 (ja) * | 2010-02-02 | 2013-12-25 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置および不揮発性半導体記憶装置の駆動方法 |
JP2011159364A (ja) * | 2010-02-02 | 2011-08-18 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置および不揮発性半導体記憶装置の駆動方法 |
JP2011165815A (ja) * | 2010-02-08 | 2011-08-25 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP5144698B2 (ja) * | 2010-03-05 | 2013-02-13 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP5248541B2 (ja) * | 2010-03-05 | 2013-07-31 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置の動作方法 |
JP2011198806A (ja) * | 2010-03-17 | 2011-10-06 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP5072995B2 (ja) * | 2010-03-24 | 2012-11-14 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP5491982B2 (ja) * | 2010-06-21 | 2014-05-14 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP2012009512A (ja) * | 2010-06-22 | 2012-01-12 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP2012009701A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
US8193054B2 (en) * | 2010-06-30 | 2012-06-05 | SanDisk Technologies, Inc. | Ultrahigh density vertical NAND memory device and method of making thereof |
US8349681B2 (en) * | 2010-06-30 | 2013-01-08 | Sandisk Technologies Inc. | Ultrahigh density monolithic, three dimensional vertical NAND memory device |
-
2009
- 2009-07-21 JP JP2009169954A patent/JP5380190B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-03-19 US US12/727,830 patent/US8178919B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06112190A (ja) * | 1992-09-24 | 1994-04-22 | Nec Corp | 絶縁膜の形成方法 |
JP2007317874A (ja) * | 2006-05-25 | 2007-12-06 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2009094237A (ja) * | 2007-10-05 | 2009-04-30 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2009094236A (ja) * | 2007-10-05 | 2009-04-30 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2009146954A (ja) * | 2007-12-11 | 2009-07-02 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012204593A (ja) * | 2011-03-25 | 2012-10-22 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
KR20130044706A (ko) * | 2011-10-24 | 2013-05-03 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 3차원 구조의 비휘발성 메모리 소자 및 그 제조 방법 |
KR101938004B1 (ko) * | 2011-10-24 | 2019-04-10 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 3차원 구조의 비휘발성 메모리 소자 및 그 제조 방법 |
JPWO2017099220A1 (ja) * | 2015-12-09 | 2018-10-04 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
US10658376B2 (en) | 2015-12-09 | 2020-05-19 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor device including a blocking layer having a varying thickness |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5380190B2 (ja) | 2014-01-08 |
US20110018050A1 (en) | 2011-01-27 |
US8178919B2 (en) | 2012-05-15 |
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US8890235B2 (en) | Nonvolatile semiconductor memory device and method for manufacturing same | |
US8791464B2 (en) | Nonvolatile semiconductor memory device and method for manufacturing same | |
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US11444102B2 (en) | Semiconductor device | |
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JP5351201B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 | |
TWI475669B (zh) | Nonvolatile semiconductor memory device | |
US8748971B2 (en) | Three dimensional nonvolatile semiconductor memory having pillars provided inside an oblate through hole | |
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CN112436017A (zh) | 半导体装置及其制造方法 | |
US20230298634A1 (en) | Semiconductor memory device and method for manufacturing semiconductor memory device |
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