JP2010135672A - 半導体記憶装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】電極層間のショートを防ぐことができる半導体記憶装置の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の半導体記憶装置の製造方法は、半導体基板11上に複数の電極層WLと複数の絶縁層17とが交互に積層された積層体を形成する工程と、その積層体に形成したホールの側壁に電荷蓄積層22を含む絶縁膜20を形成する工程と、そのホールの内部に半導体層19を形成し、電極層WLの層数に対応して積層方向に複数接続されて構成されるメモリストリングMSを形成する工程と、積層体におけるメモリストリングMSに近接する部分に溝41を形成する工程と、溝41の側壁に金属膜42を形成する工程と、金属膜42を覆うと共に溝41内を充填するキャップ膜43、44を形成する工程と、キャップ膜43、44が溝41内に充填された状態で熱処理を行い、電極層WLを構成する半導体と金属膜42とを反応させて両者の化合物を形成する工程とを備える。
【選択図】図9
【解決手段】本発明の半導体記憶装置の製造方法は、半導体基板11上に複数の電極層WLと複数の絶縁層17とが交互に積層された積層体を形成する工程と、その積層体に形成したホールの側壁に電荷蓄積層22を含む絶縁膜20を形成する工程と、そのホールの内部に半導体層19を形成し、電極層WLの層数に対応して積層方向に複数接続されて構成されるメモリストリングMSを形成する工程と、積層体におけるメモリストリングMSに近接する部分に溝41を形成する工程と、溝41の側壁に金属膜42を形成する工程と、金属膜42を覆うと共に溝41内を充填するキャップ膜43、44を形成する工程と、キャップ膜43、44が溝41内に充填された状態で熱処理を行い、電極層WLを構成する半導体と金属膜42とを反応させて両者の化合物を形成する工程とを備える。
【選択図】図9
Description
本発明は、半導体記憶装置の製造方法に関する。
従来、積層メモリ技術は、シリコン基板上に通常の平面メモリセルを形成する工程を層数分繰り返して積み上げていくもので、一層あたりの製造工程が多く大容量化には不向きであった。そこで、ワード線電極層と層間絶縁層とを交互に積み重ねた積層構造に、最上層から最下層まで貫通するホールを一度にあけ、そのホール内にチャネルとなるシリコンを柱状に埋め込み、高い製造効率でもって大容量化を図る技術が提案されている(例えば、特許文献1)。これは柱状のシリコンをワード線電極層が一定間隔ごとに覆う構造となり、ワード線電極層とシリコン柱との交差部にデータ保持用の電荷蓄積層を設けることでメモリセルトランジスタが構成される。
また、特許文献1には、シリコン柱の隣に溝を形成してその溝内に電極層(シリコン層)を露出させ、その溝の側壁に金属膜を形成後アニール処理を行うことで、溝に隣接する電極層を金属シリサイド化させて低抵抗化を図ることが開示されている。その場合、アニール処理時に金属シリサイドの体積膨張により、上下の電極層間で金属シリサイドが接触して、電極層間のショートを生じさせてしまう懸念がある。
特開2008−171918号公報
本発明は、電極層間のショートを防ぐことができる半導体記憶装置の製造方法を提供する。
本発明の一態様によれば、半導体基板上に、半導体から構成される複数の電極層と、複数の絶縁層とが交互に積層された積層体を形成する工程と、前記電極層及び前記絶縁層を貫通するホールを前記積層体に形成する工程と、前記ホールの側壁に電荷蓄積層を含む絶縁膜を形成する工程と、前記ホールの内部に前記電極層と前記絶縁層との積層方向に延びる半導体層を形成し、前記電極層と、前記電極層に対向する前記電荷蓄積層と、前記電荷蓄積層に対向する前記半導体層とを含むメモリセルが前記電極層の層数に対応して前記積層方向に複数接続されて構成されるメモリストリングを形成する工程と、前記積層体における前記メモリストリングに近接する部分に、前記電極層及び前記絶縁層を貫通する溝を形成する工程と、前記溝の側壁に金属膜を形成する工程と、前記金属膜を覆うと共に前記溝内を充填するキャップ膜を形成する工程と、前記キャップ膜が前記溝内に充填された状態で熱処理を行い、前記電極層を構成する前記半導体と前記金属膜とを反応させて、前記電極層における前記金属膜が接する部分に前記半導体と前記金属膜との化合物を形成する工程と、前記キャップ膜及び前記金属膜の未反応余剰部を除去する工程と、前記キャップ膜及び前記未反応余剰部が除去された後の前記溝内に絶縁物を設ける工程と、を備えたことを特徴とする半導体記憶装置の製造方法が提供される。
本発明によれば、電極層間のショートを防ぐことができる半導体記憶装置の製造方法が提供される。
以下、図面を参照し、本発明の実施形態について説明する。なお、本実施形態では、半導体としてシリコンを例示するが、シリコン以外の他の半導体を用いてもよい。
本実施形態に係る半導体記憶装置は、複数のメモリセルが3次元配列されたメモリセルアレイと、そのメモリセルアレイの周辺に形成された周辺回路とを有する。
図1は、本実施形態に係る半導体記憶装置におけるメモリセルアレイの構成を例示する模式斜視図である。
図2は、複数のメモリセルが電極層の積層方向に直列接続されて構成される1本(1列)のメモリストリングの模式斜視図である。
図3は、図1におけるYZ方向の要部模式断面図である。
なお、図1及び図2においては、図を見易くするために、導電部分のみを示し、絶縁部分は図示を省略している。
図2は、複数のメモリセルが電極層の積層方向に直列接続されて構成される1本(1列)のメモリストリングの模式斜視図である。
図3は、図1におけるYZ方向の要部模式断面図である。
なお、図1及び図2においては、図を見易くするために、導電部分のみを示し、絶縁部分は図示を省略している。
本明細書においては、説明の便宜上、XYZ直交座標系を導入する。この座標系においては、シリコン基板の上面(主面)に対して平行な方向であって相互に直交する2方向をX方向及びY方向とし、X方向及びY方向の双方に対して直交する方向、すなわち電極層WLの積層方向をZ方向とする。
図3に示すように、シリコン基板11上にセルソース12が設けられている。セルソース12は例えばシリコン層である。セルソース12の上には絶縁層13を介して下部選択ゲートLSGが設けられ、下部選択ゲートLSGの上には絶縁層14が設けられている。絶縁層13、14は例えばシリコン酸化物やシリコン窒化物からなり、下部選択ゲートLSGは例えばシリコン層である。
絶縁層14の上には、例えばシリコン酸化物からなる複数の絶縁層17と、例えば非晶質または多結晶シリコンからなる複数の電極層WLとが交互に積層された積層体が設けられている。電極層WLの層数は任意であるが、本実施形態においては例えば4層の場合を例示する。
最上層の絶縁層17上には、絶縁層24、25、26を介して上部選択ゲートUSGが設けられ、上部選択ゲートUSGの上には絶縁層27、28が設けられている。絶縁層24〜28は例えばシリコン酸化物やシリコン窒化物からなり、上部選択ゲートUSGは例えばシリコン層である。
図1に示すように、電極層WL、下部選択ゲートLSGおよびセルソース12は、XY平面に対して平行な板状に形成されている。上部選択ゲートUSGは、板状の導電層(例えばシリコン層)がY方向に沿って複数に分断されて形成されたものであり、X方向に延びる複数本の配線状の導電部材となっている。なお、下部選択ゲートLSGは上部選択ゲートUSGと同様に複数に分断された構成であってもよい。
前述したシリコン基板11上の積層体には、Z方向に延びる複数本の貫通ホールが形成されている。それら複数本の貫通ホールは、例えばX方向及びY方向に沿ってマトリクス状に配列されている。
各貫通ホールの内部には、柱状の半導体層として下層側から順にシリコンピラー15、19、32が埋め込まれている。シリコンピラー15は下部選択ゲートLSGを貫通し、シリコンピラー19は複数の電極層WLを貫通し、シリコンピラー32は上部選択ゲートUSGを貫通している。シリコンピラー15、19、32は、多結晶シリコン又は非晶質シリコンによって形成されている。シリコンピラー15、19、32の形状は、Z方向に延びる柱状であり、例えば円柱形である。シリコンピラー15の下端はセルソース12に接続されている。シリコンピラー19の下端はシリコンピラー15に接続され、上端はシリコンピラー32に接続されている。
上部選択ゲートUSG上の絶縁層28の上には絶縁層29(図3参照)が設けられ、その絶縁層29上にはY方向に延びる複数本のビット線BLが設けられている。ビット線BLは、例えば金属材料(純金属の他に合金も含む)によって形成されている。
各ビット線BLは、Y方向に沿って配列された各列のシリコンピラー32の直上域を通過するように配列されており、絶縁層29に形成された導電性接続部30を介して、シリコンピラー32の上端に接続されている。
図1に示すように、上部選択ゲートUSGは導電性接続部65を介して上部選択ゲート配線USLと接続されている。セルソース12、下部選択ゲートLSGおよび複数の電極層WLが積層された積層体の端部は階段状に加工され、その部分で、セルソース12は導電性接続部61を介してセルソース配線CSLに接続され、下部選択ゲートLSGは導電性接続部62を介して下部選択ゲート配線LSLに接続され、各電極層WLは導電性接続部63を介してワード線WLLに接続されている。
図3に示すように、電極層WLと絶縁層17との積層体に形成された貫通ホールの内周壁には、例えば、シリコン酸化膜でシリコン窒化膜を挟んだONO(Oxide-Nitride-Oxide)構造の絶縁膜20が形成されている。図4に、その部分の拡大断面を示す。
絶縁膜20は、第1の絶縁膜21と第2の絶縁膜23との間に電荷蓄積層22を挟んだ構造を有する。第2の絶縁膜23の内側にシリコンピラー19が埋め込まれ、第2の絶縁膜23はシリコンピラー19に接している。第1の絶縁膜21は電極層WLに接して設けられ、第1の絶縁膜21と第2の絶縁膜23との間に電荷蓄積層22が設けられている。
電極層WLと絶縁層17との積層体に設けられたシリコンピラー19はチャネルとして機能し、電極層WLはコントロールゲートとして機能し、電荷蓄積層22はシリコンピラー19から注入される電荷を蓄積するデータ記憶層として機能する。すなわち、シリコンピラー19と各電極層WLとの交差部分に、チャネルの周囲をゲート電極が取り囲んだ構造のメモリセルが形成されている。
このメモリセルはチャージトラップ構造のメモリセルであり、電荷蓄積層22は、電荷(電子)を閉じこめるトラップを多数有し、例えばシリコン窒化膜からなる。第2の絶縁膜23は、例えばシリコン酸化膜からなり、電荷蓄積層22にシリコンピラー19から電荷が注入される際、または、電荷蓄積層22に蓄積された電荷がシリコンピラー19へ拡散する際に電位障壁となる。第1の絶縁膜21は、例えばシリコン酸化膜からなり、電荷蓄積層22に蓄積された電荷が、ゲート電極として機能する電極層WLへ拡散するのを防止する。
前述した構造のメモリセルにおいて微細化が進むと、ソース/ドレイン領域となる拡散層を有せずとも、正常な書き込み/読み出し動作を行うことができる。したがって、本実施形態においては、メモリセルはシリコンピラー19内に、導電型の異なるソース/ドレイン領域としての拡散層を有しない。つまり、シリコンピラー19は、メモリセルにおけるチャネル領域、ソース領域およびドレイン領域として機能する。また、各電極層WLに印加する電圧を制御することで、各電極層WLに対向するシリコンピラー19内をほぼ空乏化してオフ状態を実現する。
図2に示すように、1本のシリコンピラー19の周囲には、電極層WLの層数と同数のメモリセルMCがZ方向に直列接続され、1本のメモリストリングMSが構成される。このようなメモリストリングMSがX方向及びY方向にマトリクス状に配列されていることにより、複数のメモリセルMCが、X方向、Y方向、Z方向に3次元的に配列されている。
再び図3を参照すると、下部選択ゲートLSG及びその上下の絶縁層13、14からなる積層体に形成された貫通ホールの内周壁には、ゲート絶縁膜16が筒状に形成され、この内側にシリコンピラー15が埋め込まれている。これにより、その積層体内には、シリコンピラー15をチャネルとし、その周囲の下部選択ゲートLSGをゲート電極とした下部選択トランジスタLSTが設けられている。
また、上部選択ゲートUSG及びその上下の絶縁層25〜28からなる積層体に形成された貫通ホールの内周壁には、ゲート絶縁膜33が筒状に形成され、この内側にシリコンピラー32が埋め込まれている。これにより、その積層体内には、シリコンピラー32をチャネルとし、その周囲の上部選択ゲートUSGをゲート電極とした上部選択トランジスタUSTが設けられている。
上部選択ゲートUSG及び各電極層WLを含む積層体には、後述するようにX方向に沿って延びる溝が形成され、その溝内には絶縁物(例えば酸化シリコンや窒化シリコン等)51が埋め込まれる。図3に示す例では、Y方向で隣り合うメモリストリング間に溝及び絶縁物51が設けられている。上部選択ゲートUSGおよび各電極層WLはシリコンを含む層であるが、それらにおける絶縁物51に隣接する部分は、後述するプロセスにより金属シリサイド化されて低抵抗化されている。
以上説明したメモリセルアレイの周辺には周辺回路が、同じシリコン基板11上に形成されている。周辺回路は、ビット線BLを介してシリコンピラー32の上端部に電位を与えるドライバ回路、セルソース配線CSL及びセルソース12を介してシリコンピラー15の下端部に電位を与えるドライバ回路、上部選択ゲート配線USLを介して上部選択ゲートUSGに電位を与えるドライバ回路、下部選択ゲート配線LSLを介して下部選択ゲートLSGに電位を与えるドライバ回路、ワード線WLLを介して各電極層WLに電位を与えるドライバ回路などを含む。
本実施形態に係る半導体記憶装置は、データの消去・書き込みを電気的に自由に行うことができ、電源を切っても記憶内容を保持することができる不揮発性半導体記憶装置である。
ビット線BLを選択することにより、メモリセルのX座標を選択し、上部選択ゲートUSGを選択して上部選択トランジスタUSTを導通状態又は非導通状態とすることにより、メモリセルのY座標を選択し、ワード線WLLすなわち電極層WLを選択することにより、メモリセルのZ座標を選択する。そして、選択されたメモリセルの電荷蓄積層22に電子を注入することにより情報を記憶する。また、そのメモリセルを通過するシリコンピラー19にセンス電流を流すことにより、そのメモリセルに記憶されたデータを読み出す。
次に、図5〜図9を参照して、本実施形態に係る半導体記憶装置の製造方法について説明する。
まず、図5(a)を参照すると、シリコン基板11上にセルソース12を形成した後、そのセルソース12上に絶縁層13を介して下部選択ゲートLSGとなるシリコン層を形成し、さらにその上に絶縁層14を形成する。このようにして得られた積層体にZ方向に延びセルソース12まで到達する貫通ホールをRIE(Reactive Ion Etching)で形成した後、貫通ホールの側壁にゲート絶縁膜16を形成し、さらにその後シリコンピラー15を埋め込む。これにより、下部選択トランジスタLSTが形成される。
次に、絶縁層(例えば窒化シリコン層)14上に、複数の絶縁層(例えば酸化シリコン層)17と複数の電極層(例えば非晶質もしくは多結晶シリコン層)WLとを交互に積層し、さらに最上層の絶縁層17上に、絶縁層(例えば窒化シリコン層)24を形成する。
次に、それら積層体を貫通しZ方向に延びる貫通ホール18をRIEで形成する(図5(b))。この貫通ホール18は、下層の下部選択トランジスタLSTのシリコンピラー15直上に、そのシリコンピラー15にまで到達して形成される。
次に、貫通ホール18の側壁に、前述した電荷蓄積層22を含む絶縁膜20を形成し、さらにその後シリコンピラー19を埋め込むことで、図6(a)に示す構造が得られる。すなわち、シリコンピラー19と各電極層WLとの交差部分にメモリセルが形成される。
次に、図6(b)に示すように、絶縁層24上に、絶縁層(例えば窒化シリコン層)25、絶縁層(例えば酸化シリコン層)26、上部選択ゲートUSGとなるシリコン層、絶縁層(例えば酸化シリコン層)27、絶縁層(例えば窒化シリコン層)28を形成した後、それらの積層体およびその下層の電極層WLと絶縁層17とを含む積層体を貫通する溝41を形成する。
なお、溝41を形成する工程の前には、図1に示すような電極層WLなどの端部を階段状に加工する工程およびその階段状部分を覆う絶縁層の埋め込みなどが行われる。
溝41は、絶縁層28上に図示しないレジストパターンを形成した後、それをマスクとしたRIEを行うことで形成される。溝41は、メモリストリングMSに近接する部分に形成され、X方向に延びるスリット状に形成される。
以降、1つの溝41の近傍を拡大して示す図7〜図9を参照して説明する。
溝41の形成後、図7に示すように、溝41の側壁に金属膜42を形成する。金属膜42は、例えばCVD(chemical vapor deposition)法で形成され、溝41の側壁以外にも溝41の底部および絶縁層28の表面にも形成される。金属膜42が溝41の側壁を覆うことで、その溝41の側壁に露出している上部選択ゲートUSG及び電極層WLは金属膜42と接する。
溝41の形成後、図7に示すように、溝41の側壁に金属膜42を形成する。金属膜42は、例えばCVD(chemical vapor deposition)法で形成され、溝41の側壁以外にも溝41の底部および絶縁層28の表面にも形成される。金属膜42が溝41の側壁を覆うことで、その溝41の側壁に露出している上部選択ゲートUSG及び電極層WLは金属膜42と接する。
金属膜42は、電極層WLや上部選択ゲートUSGを構成するシリコンと反応して金属シリサイドを形成することが可能な材料を含み、例えば、Co(コバルト)、Ti(チタン)、Ni(ニッケル)、Pt(白金)、Pd(パラジウム)、Er(エルビウム)、Ta(タンタル)の少なくともいずれか1つを含む。
なお、金属膜42の成膜時には、電極層WLや上部選択ゲートUSGとの金属シリサイド化が進行して金属シリサイドの膨張が始まらないように、比較的低温条件のCVD法で成膜される。
金属膜42の形成後、図8に示すように、金属膜42を覆う第1のキャップ膜43を形成する。第1のキャップ膜43は、例えばTiN(窒化チタン)膜である。この第1のキャップ膜43の成膜時においても、電極層WLや上部選択ゲートUSGと、金属膜42との金属シリサイド化が進行して金属シリサイドの膨張が始まらないように、第1のキャップ膜43は比較的低温条件のCVD法で成膜される。
第1のキャップ膜43の形成後、図9に示すように、第1のキャップ膜43を覆い、溝41内を充填する第2のキャップ膜44を形成する。
第2のキャップ膜44は、第1のキャップ膜43とは異なる材料であって、金属シリサイド化を促進させない比較的低温での溝41内の埋め込み性に優れ、また金属シリサイドの膨張を抑えるのに十分な硬さ(大きなヤング率)を有する材料、例えばW(タングステン)、Ta(タンタル)などの高融点金属からなる。第2のキャップ膜44の成膜時においても、電極層WLや上部選択ゲートUSGと、金属膜42との金属シリサイド化が進行して金属シリサイドの膨張が始まらないように、第2のキャップ膜44は比較的低温条件のCVD法で成膜される。
金属膜42、第1のキャップ膜43、第2のキャップ膜44は、スパッタ法により形成してもよいが、特に電極層WLが多層化して溝41のアスペクト比が大きい場合には側壁に対するカバレッジがより優れるCVD法が好ましい。
第1のキャップ膜43は、第2のキャップ膜44を構成する材料や第2のキャップ膜44成膜時の原料が、金属膜42、電極層WL、上部選択ゲートUSGに影響するのを防ぐバリア膜として機能する。これにより、キャップ膜43、44の影響を受けずに、電極層WLや上部選択ゲートUSGに、金属膜42との良好なシリサイドを形成することができる。
前述したようなバリア膜として機能する第1のキャップ膜43を設けることで、第2のキャップ膜44の材料や成膜プロセスを選択するにあたっては、電極層WLや金属膜42などへの影響を考慮に入れた条件制約がなくなり、第2のキャップ膜44としては、溝41内への埋め込み性、ヤング率等の金属シリサイド膨張抑制に効果的なパラメータ、さらには後工程での除去しやすさといったことだけを考慮した材料選択が可能であり、その選択自由度が広がることで、コスト低減や製造効率の向上に有利となる。
また、第2のキャップ膜44として例えばW(タングステン)を用いた場合タングステンシリサイドを形成可能であるので、そのタングステン膜を電極層WLや上部選択ゲートUSGに接触させて形成し、金属シリサイド用の金属膜として兼用させることも考えられる。しかし、タングステン膜のCVDにおける原料としてはWF6がよく用いられるが、そのCVD成膜時に、電極層WLや上部選択ゲートUSGに含まれるSi(シリコン)がF(フッ素)と結合しSiF4として電極層WLや上部選択ゲートUSGから奪われると、電極層WLや上部選択ゲートUSGの膜質を劣化させ、特性変動を生じさせることが懸念される。
また、金属シリサイド用の金属膜のみで溝41内を埋め込んだ場合、その金属膜中から電極層WLや上部選択ゲートUSGへの金属浸潤量を所望に制御することが難しく、過剰な金属が電極層WLや上部選択ゲートUSGに浸潤して、電極層WLや上部選択ゲートUSGをゲート電極とするトランジスタのしきい値変動などの特性変動をまねくことも懸念される。
これに対して本実施形態では、金属シリサイド化用の金属膜42は、そのCVD成膜時の条件設定により膜厚を容易にコントロールでき、よって、電極層WLや上部選択ゲートUSGへの金属浸潤量を所望にコントロールすることができ、トランジスタを所望の特性に設定しやすい。
第1のキャップ膜43及び第2のキャップ膜44が溝41内に充填された後、その状態で熱処理(アニール)が行われる。この熱処理により、金属膜42が電極層WL及び上部選択ゲートUSGに接している部分で金属シリサイド化反応が促進され、電極層WL及び上部選択ゲートUSGが金属膜42に対向している部分に金属シリサイド膜が形成される。これにより、上部選択トランジスタとメモリセルにおけるゲート電極として機能する部分が低抵抗化される。なお、金属膜42が、酸化シリコンや窒化シリコンなどの絶縁層に接している部分では、実質金属シリサイド膜は形成されない。
上記熱処理時、金属膜42における電極層WLや上部選択ゲートUSGと接する面の反対面側にはキャップ膜43、44が溝41内を充填されて設けられているため、金属膜42と、電極層WLや上部選択ゲートUSGとの界面に対してキャップ膜43、44から圧力が作用し、金属シリサイド膜の体積膨張を抑制する。この金属シリサイド膜の体積膨張が抑えられることで、金属シリサイド膜が電極層WLの積層方向に膨出するのも抑制でき、その結果、上下の電極層WL間で金属シリサイド膜を介したショートを防ぐことができる。
上記熱処理による金属シリサイド化処理の後、例えばウェットエッチングで第2のキャップ膜44及び第1のキャップ膜43を除去する。さらに、同じくウェットエッチングで、金属膜42におけるシリコンと未反応の余剰金属を除去する。その後、キャップ膜43、44及び未反応金属が除去された溝41内に、図3に示すように絶縁物(例えばシリコン酸化物やシリコン窒化物)51が埋め込まれる。
その後、図3に示すように、上部選択ゲートUSGを含む積層体に、その積層方向(Z方向)に延び下層のシリコンピラー19の上端にまで到達する貫通ホールをRIEで形成した後、その貫通ホールの側壁にゲート絶縁膜33を形成し、さらに貫通ホール内にシリコンピラー32を埋め込む。これにより、下部選択トランジスタLSTが形成される。さらに、その後ビット線BLなどの配線形成工程が続けられていく。
次に、図10は、本発明の他の実施形態に係る半導体記憶装置の製造方法を示す。図10は、前述した実施形態における図9の断面に対応する。
本実施形態では、溝41内に金属膜42を形成した後、1種類のキャップ膜45だけで、金属膜42を覆い且つ溝41内を充填している。キャップ膜45は、電極層WLや上部選択ゲートUSGを構成するシリコン、および金属膜42に対して非反応であり、金属膜42と電極層WLや上部選択ゲートUSGとの金属シリサイド化に影響を与えない材料からなる。このような点から絶縁物を用いることができる。その中でも、ヤング率が60(GPa)程度と比較的高く、金属シリサイド膜の膨張を抑えるのに十分な硬さを有するTEOS(tetraethoxysilane)が望ましい。
本実施形態では、キャップ膜としては1種類の膜だけを用いるため、2種類のキャップ膜を用いる場合に比べて工程数を削減してコスト低減を図れる。
以上、具体例を参照しつつ本発明の実施形態について説明した。しかし、本発明は、それらに限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
シリコンピラーは円柱状に限らず角柱状であってもよい。あるいは、貫通ホール内のすべてを柱状のシリコンで埋め込むことに限らず、電荷蓄積層を含む絶縁膜に接する部分にだけシリコン膜を筒状に形成し、その内側には絶縁体を埋め込んだ構造であってもよい。また、電極層とシリコンピラーとの間の絶縁膜構造はONO(Oxide-Nitride-Oxide)構造に限らず、例えば電荷蓄積層とゲート絶縁膜との2層構造であってもよい。
15,19,32…シリコンピラー、16,33…ゲート絶縁膜、17…絶縁層、22…電荷蓄積層、41…溝、42…金属膜、43…第1のキャップ膜、44…第2のキャップ膜、45…キャップ膜、51…絶縁物、WL…電極層、LSG…下部選択ゲート、LST…下部選択トランジスタ、USG…上部選択ゲート、UST…上部選択トランジスタ、BL…ビット線、MC…メモリセル、MS…メモリストリング
Claims (5)
- 半導体基板上に、半導体から構成される複数の電極層と、複数の絶縁層とが交互に積層された積層体を形成する工程と、
前記電極層及び前記絶縁層を貫通するホールを前記積層体に形成する工程と、
前記ホールの側壁に電荷蓄積層を含む絶縁膜を形成する工程と、
前記ホールの内部に前記電極層と前記絶縁層との積層方向に延びる半導体層を形成し、前記電極層と、前記電極層に対向する前記電荷蓄積層と、前記電荷蓄積層に対向する前記半導体層とを含むメモリセルが前記電極層の層数に対応して前記積層方向に複数接続されて構成されるメモリストリングを形成する工程と、
前記積層体における前記メモリストリングに近接する部分に、前記電極層及び前記絶縁層を貫通する溝を形成する工程と、
前記溝の側壁に金属膜を形成する工程と、
前記金属膜を覆うと共に前記溝内を充填するキャップ膜を形成する工程と、
前記キャップ膜が前記溝内に充填された状態で熱処理を行い、前記電極層を構成する前記半導体と前記金属膜とを反応させて、前記電極層における前記金属膜が接する部分に前記半導体と前記金属膜との化合物を形成する工程と、
前記キャップ膜及び前記金属膜の未反応余剰部を除去する工程と、
前記キャップ膜及び前記未反応余剰部が除去された後の前記溝内に絶縁物を設ける工程と、
を備えたことを特徴とする半導体記憶装置の製造方法。 - 前記キャップ膜は、種類の異なる第1のキャップ膜及び第2のキャップ膜を有し、
前記第1のキャップ膜は前記金属膜の表面を覆い、前記第2のキャップ膜は前記第1のキャップ膜の表面を覆って前記溝内を充填することを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置の製造方法。 - 前記キャップ膜は、前記電極層を構成する前記半導体に対して非反応性を有する1種類の膜からなることを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置の製造方法。
- 前記キャップ膜は、前記電極層を構成する前記半導体と、前記金属膜との反応が進行しない温度下で形成されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体記憶装置の製造方法。
- 前記キャップ膜は、CVD(chemical vapor deposition)法で形成されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体記憶装置の製造方法。
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