JP5395460B2 - 不揮発性半導体記憶装置、及びその製造方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 246
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 35
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 498
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 33
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 23
- 230000006870 function Effects 0.000 claims description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 11
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 5
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 claims description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 23
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 23
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 19
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 18
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 17
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 14
- 102100038712 Cap-specific mRNA (nucleoside-2'-O-)-methyltransferase 1 Human genes 0.000 description 6
- 101710203121 Cap-specific mRNA (nucleoside-2'-O-)-methyltransferase 1 Proteins 0.000 description 6
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 5
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 3
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 3
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- -1 phosphorus ions Chemical class 0.000 description 2
- 101100292586 Caenorhabditis elegans mtr-4 gene Proteins 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10B43/00—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators
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- H10B43/23—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by three-dimensional arrangements, e.g. with cells on different height levels with source and drain on different levels, e.g. with sloping channels
- H10B43/27—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by three-dimensional arrangements, e.g. with cells on different height levels with source and drain on different levels, e.g. with sloping channels the channels comprising vertical portions, e.g. U-shaped channels
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
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- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/792—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with charge trapping gate insulator, e.g. MNOS-memory transistors
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/792—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with charge trapping gate insulator, e.g. MNOS-memory transistors
- H01L29/7926—Vertical transistors, i.e. transistors having source and drain not in the same horizontal plane
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- H—ELECTRICITY
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Description
(第1実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置100の構成)
図1は、本発明の第1実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置100の概略図を示す。図1に示すように、第1実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置100は、主として、メモリトランジスタ領域12、ワード線駆動回路13、ソース側選択ゲート線(SGS)駆動回路14、ドレイン側選択ゲート線(SGD)駆動回路15、センスアンプ16、ソース線駆動回路17、及びバックゲートトランジスタ駆動回路18を有する。メモリトランジスタ領域12は、データを記憶するメモリトランジスタを有する。ワード線駆動回路13は、ワード線WLに印加する電圧を制御する。ソース側選択ゲート線(SGS)駆動回路14は、ソース側選択ゲート線SGSに印加する電圧を制御する。ドレイン側選択ゲート線(SGD)駆動回路15は、ドレイン側選択ゲート線(SGD)に印加する電圧を制御する。センスアンプ16は、メモリトランジスタから読み出した電位を増幅する。ソース線駆動回路17は、ソース線SLに印加する電圧を制御する。バックゲートトランジスタ駆動回路18は、バックゲート線BGに印加する電圧を制御する。なお、上記の他、第1実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置100は、ビット線BLに印加する電圧を制御するビット線駆動回路を有する。(図示略)。
次に、図4を参照して、第1実施形態に係る不揮発性半導体装置100の具体的構成について説明する。図4は、第1実施形態に係る不揮発性半導体装置100のメモリトランジスタ領域12の断面図である。
次に、図5〜図21を参照して、第1実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置100の製造方法を説明する。図5〜図21は、第1実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置100の製造工程を示す断面図である。
次に、第1実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置100の効果について説明する。第1実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置100は、上記積層構造に示したように高集積化可能である。
(第2実施形態に係る不揮発性半導体装置の具体的構成)
次に、図22を参照して、第2実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の具体的構成について説明する。図22は、第2実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置のメモリトランジスタ領域の断面図である。なお、第2実施形態において、第1実施形態と同様の構成については、同一符号を付し、その説明を省略する。
次に、図23を参照して、第2実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の製造方法を説明する。図23は、第2実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の製造工程を示す断面図である。
次に、第2実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の効果について説明する。第2実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置は、第1実施形態と略同様の構成を有する。したがって、第2実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置は、第1実施形態と同様の効果を奏する。
(第3実施形態に係る不揮発性半導体装置の具体的構成)
次に、図24を参照して、第3実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の具体的構成について説明する。図24は、第3実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置のメモリトランジスタ領域の断面図である。なお、第3実施形態において、第1及び第2実施形態と同様の構成については、同一符号を付し、その説明を省略する。
次に、第3実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の効果について説明する。第3実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置は、第2実施形態と同様の効果を奏する。
(第4実施形態に係る不揮発性半導体装置の構成)
次に、図25を参照して、第4実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の構成について説明する。図25は、第4実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置のメモリトランジスタ領域の一部の概略斜視図である。なお、第3実施形態において、第1〜第3実施形態と同様の構成については、同一符号を付し、その説明を省略する。
次に、図27を参照して、第4実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の具体的構成について説明する。図27は、第4実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置のメモリトランジスタ領域の断面図である。
次に、第4実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の効果について説明する。第4実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置は、第1実施形態と同様の効果を奏する。
以上、不揮発性半導体記憶装置の一実施形態を説明してきたが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更、追加、置換等が可能である。
Claims (5)
- 電気的に書き換え可能な複数のメモリセルが直列に接続された複数のメモリストリング、及び前記メモリストリングの両端に接続された選択トランジスタを有する不揮発性半導体記憶装置であって、
前記メモリストリングは、
基板に対して垂直方向に延びる一対の柱状部、及び前記一対の柱状部の下端を連結させるように形成された連結部を有する第1半導体層と、
前記柱状部の側面を取り囲むように形成された第1絶縁層と、
前記第1絶縁層の側面を取り囲むように形成された電荷蓄積層と、
前記電荷蓄積層の側面を取り囲むように形成された第2絶縁層と、
前記第2絶縁層の側面を取り囲むように形成され、前記メモリセルの制御電極として機能する第1導電層と
を備え、
前記選択トランジスタは、
前記柱状部の上面から上方に延びる第2半導体層と、
前記第2半導体層の側面を取り囲むように形成された第3絶縁層と、
前記第3絶縁層の側面を取り囲むように形成された第4絶縁層と、
前記第4絶縁層の側面を取り囲むように形成され、前記選択トランジスタの制御電極として機能する第2導電層と
を備え、
前記第1半導体層は、前記第2半導体層と連続して一体に形成され、
前記第1絶縁層は、前記第3絶縁層と連続して一体に形成され、
前記第3絶縁層と前記第4絶縁層とは、接するように形成されている
ことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 前記第2絶縁層は、前記第4絶縁層と連続して一体に形成されている
ことを特徴とする請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記メモリストリングと前記選択トランジスタとの間に設けられたダミートランジスタを備え、
前記ダミートランジスタは、
前記第1半導体層と、
前記第1半導体層の柱状部の側面を取り囲むように形成された絶縁層と、
前記第1導電層と前記第2導電層との間で、前記絶縁層の側面を取り囲むように形成され、前記ダミートランジスタの制御電極として機能する第3導電層とを備えた
ことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記第1半導体層及び前記第2半導体層は、中空を有する
ことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 電気的に書き換え可能な複数のメモリセルが直列に接続された複数のメモリストリング、及び前記メモリストリングの両端に接続された選択トランジスタを有する不揮発性半導体記憶装置の製造方法であって、
第1層間絶縁層に挟まれた複数の第1導電層を堆積させる工程と、
前記第1導電層の上層に第2層間絶縁層に挟まれた第2導電層を堆積させる工程と、
前記複数の第1導電層を、基板と平行な方向からみてU字状に貫いて第1ホールを形成する工程と、
前記第2導電層を貫いて第2ホールを形成する工程と、
前記第1ホールに面する前記第1導電層の側面及び第2ホールに面する前記第2導電層の側面に第1絶縁層を形成する工程と、
前記第1ホール及び前記第2ホールに面する前記第1絶縁層の側面に電荷蓄積層を形成する工程と、
前記第2ホールに面する前記電荷蓄積層を選択的に除去する工程と、
前記第1ホールに面する前記電荷蓄積層の側面及び前記第2ホールに面する前記第1絶縁層の側面に連続して一体に第2絶縁層を形成する工程と、
前記第1ホール及び前記第2ホールを埋めるように、連続して一体に半導体層を形成して、前記第1ホールに対応する位置に前記メモリストリングを形成するとともに前記第2ホールに対応する位置に前記選択トランジスタを形成する工程と
を備え、
前記第2ホールに面する前記第1絶縁層と前記第2絶縁層とは、接するように形成される
ことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009042786A JP5395460B2 (ja) | 2009-02-25 | 2009-02-25 | 不揮発性半導体記憶装置、及びその製造方法 |
US12/708,161 US8247863B2 (en) | 2009-02-25 | 2010-02-18 | Nonvolatile semiconductor memory device and method of manufacturing the same |
KR1020100016563A KR101110512B1 (ko) | 2009-02-25 | 2010-02-24 | 반도체 기억 장치 및 그 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009042786A JP5395460B2 (ja) | 2009-02-25 | 2009-02-25 | 不揮発性半導体記憶装置、及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010199314A JP2010199314A (ja) | 2010-09-09 |
JP5395460B2 true JP5395460B2 (ja) | 2014-01-22 |
Family
ID=42630212
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009042786A Expired - Fee Related JP5395460B2 (ja) | 2009-02-25 | 2009-02-25 | 不揮発性半導体記憶装置、及びその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8247863B2 (ja) |
JP (1) | JP5395460B2 (ja) |
KR (1) | KR101110512B1 (ja) |
Families Citing this family (71)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5142692B2 (ja) * | 2007-12-11 | 2013-02-13 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2010278233A (ja) * | 2009-05-28 | 2010-12-09 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP2011029234A (ja) * | 2009-07-21 | 2011-02-10 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP5380190B2 (ja) * | 2009-07-21 | 2014-01-08 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
KR101660944B1 (ko) | 2009-07-22 | 2016-09-28 | 삼성전자 주식회사 | 수직형의 비휘발성 메모리 소자 및 그 제조 방법 |
KR101624975B1 (ko) | 2009-11-17 | 2016-05-30 | 삼성전자주식회사 | 3차원 반도체 기억 소자 |
JP5504053B2 (ja) * | 2010-05-27 | 2014-05-28 | 株式会社東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
KR20120003351A (ko) * | 2010-07-02 | 2012-01-10 | 삼성전자주식회사 | 3차원 비휘발성 메모리 장치 및 그 동작방법 |
KR101763420B1 (ko) | 2010-09-16 | 2017-08-01 | 삼성전자주식회사 | 3차원 반도체 기억 소자 및 그 제조 방법 |
KR101825539B1 (ko) | 2010-10-05 | 2018-03-22 | 삼성전자주식회사 | 3차원 반도체 장치 및 그 제조 방법 |
US20120086072A1 (en) * | 2010-10-11 | 2012-04-12 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Three-dimensional semiconductor memory device and related method of manufacture |
JP5670704B2 (ja) | 2010-11-10 | 2015-02-18 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP5398766B2 (ja) * | 2011-03-16 | 2014-01-29 | 株式会社東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2012204592A (ja) * | 2011-03-25 | 2012-10-22 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2012204684A (ja) * | 2011-03-25 | 2012-10-22 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
KR101206157B1 (ko) | 2011-04-26 | 2012-11-28 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 3차원 구조의 비휘발성 메모리 소자 및 그 제조 방법 |
KR101826221B1 (ko) | 2011-05-24 | 2018-02-06 | 삼성전자주식회사 | 반도체 메모리 소자 및 그의 제조 방법 |
KR20130005430A (ko) * | 2011-07-06 | 2013-01-16 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 불휘발성 메모리 소자 및 그 제조방법 |
KR20130015428A (ko) * | 2011-08-03 | 2013-02-14 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자 |
JP5593283B2 (ja) * | 2011-08-04 | 2014-09-17 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
US9136128B2 (en) | 2011-08-31 | 2015-09-15 | Micron Technology, Inc. | Methods and apparatuses including memory cells with air gaps and other low dielectric constant materials |
JP2013065636A (ja) * | 2011-09-15 | 2013-04-11 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 |
JP5551132B2 (ja) | 2011-09-16 | 2014-07-16 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置の製造方法および不揮発性半導体記憶装置 |
JP2013069751A (ja) * | 2011-09-21 | 2013-04-18 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置、及びその製造方法 |
WO2013048400A1 (en) * | 2011-09-29 | 2013-04-04 | Intel Corporation | Vertical nand memory |
KR101845511B1 (ko) | 2011-10-11 | 2018-04-05 | 삼성전자주식회사 | 수직 구조의 비휘발성 메모리 소자 제조 방법 |
US8897070B2 (en) * | 2011-11-02 | 2014-11-25 | Sandisk Technologies Inc. | Selective word line erase in 3D non-volatile memory |
JP2013179165A (ja) | 2012-02-28 | 2013-09-09 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
JP2013183086A (ja) * | 2012-03-02 | 2013-09-12 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP5808708B2 (ja) * | 2012-04-10 | 2015-11-10 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
KR101936752B1 (ko) | 2012-05-29 | 2019-01-10 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자 |
KR102005533B1 (ko) * | 2012-10-22 | 2019-07-31 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 메모리 소자 및 그 제조방법 |
KR102021801B1 (ko) | 2012-12-10 | 2019-09-17 | 삼성전자주식회사 | 3차원 반도체 장치 |
CN103904080B (zh) * | 2012-12-28 | 2016-12-28 | 旺宏电子股份有限公司 | 三维存储器结构及其操作方法 |
KR102037847B1 (ko) * | 2013-01-02 | 2019-10-29 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치 및 이의 제조 방법 |
KR102024710B1 (ko) | 2013-01-11 | 2019-09-24 | 삼성전자주식회사 | 3차원 반도체 장치의 스트링 선택 구조 |
KR102046504B1 (ko) * | 2013-01-17 | 2019-11-19 | 삼성전자주식회사 | 수직형 반도체 소자의 패드 구조물 및 배선 구조물 |
KR102045249B1 (ko) * | 2013-01-18 | 2019-11-15 | 삼성전자주식회사 | 3차원 반도체 소자의 배선 구조물 |
US9190490B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-11-17 | Intel Corporation | Local buried channel dielectric for vertical NAND performance enhancement and vertical scaling |
JP2014187321A (ja) * | 2013-03-25 | 2014-10-02 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 |
JP2015028982A (ja) * | 2013-07-30 | 2015-02-12 | 株式会社東芝 | 不揮発性記憶装置およびその製造方法 |
KR20150100325A (ko) * | 2014-02-25 | 2015-09-02 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 장치 및 그 제조방법 |
KR102150253B1 (ko) | 2014-06-24 | 2020-09-02 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치 |
US9324729B2 (en) * | 2014-06-24 | 2016-04-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Non-volatile memory device having a multilayer block insulating film to suppress gate leakage current |
KR20160020210A (ko) * | 2014-08-13 | 2016-02-23 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 장치 및 그 제조 방법 |
US9917096B2 (en) * | 2014-09-10 | 2018-03-13 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor memory device and method for manufacturing same |
US9508739B2 (en) * | 2014-09-11 | 2016-11-29 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor memory device and method for manufacturing the same |
CN105514109B (zh) * | 2014-10-14 | 2018-07-31 | 中国科学院微电子研究所 | Nand存储串及其制造方法、3d nand存储器 |
US9530781B2 (en) * | 2014-12-22 | 2016-12-27 | Sandisk Technologies Llc | Three dimensional NAND memory having improved connection between source line and in-hole channel material as well as reduced damage to in-hole layers |
KR20170002080A (ko) * | 2015-06-29 | 2017-01-06 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 장치 및 그 제조방법 |
US10263008B2 (en) | 2015-07-14 | 2019-04-16 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor memory device and method of manufacturing the same |
KR20170027571A (ko) * | 2015-09-02 | 2017-03-10 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 장치 및 그 제조방법 |
US9679907B1 (en) * | 2016-02-29 | 2017-06-13 | Sandisk Technologies Llc | Three-dimensional memory device with charge-trapping-free gate dielectric for top select gate electrode and method of making thereof |
US9780034B1 (en) * | 2016-03-16 | 2017-10-03 | Sandisk Technologies Llc | Three-dimensional memory device containing annular etch-stop spacer and method of making thereof |
US9768192B1 (en) | 2016-03-16 | 2017-09-19 | Sandisk Technologies Llc | Three-dimensional memory device containing annular etch-stop spacer and method of making thereof |
CN110140204B (zh) | 2016-09-21 | 2023-04-04 | 铠侠股份有限公司 | 半导体装置及其制造方法 |
US10056399B2 (en) | 2016-12-22 | 2018-08-21 | Sandisk Technologies Llc | Three-dimensional memory devices containing inter-tier dummy memory cells and methods of making the same |
US10923492B2 (en) * | 2017-04-24 | 2021-02-16 | Micron Technology, Inc. | Elevationally-extending string of memory cells and methods of forming an elevationally-extending string of memory cells |
US20180331117A1 (en) | 2017-05-12 | 2018-11-15 | Sandisk Technologies Llc | Multilevel memory stack structure with tapered inter-tier joint region and methods of making thereof |
US10593693B2 (en) * | 2017-06-16 | 2020-03-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device |
JP7265475B2 (ja) * | 2017-06-27 | 2023-04-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
DE112018003262T5 (de) | 2017-06-27 | 2020-03-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Halbleitervorrichtung, Halbleiterwafer, Speichervorrichtung und elektronisches Gerät |
KR101985590B1 (ko) * | 2017-07-28 | 2019-06-03 | 한양대학교 산학협력단 | 집적도를 개선시킨 3차원 플래시 메모리 및 그 제조 방법 |
US10680006B2 (en) | 2017-08-11 | 2020-06-09 | Micron Technology, Inc. | Charge trap structure with barrier to blocking region |
US10164009B1 (en) | 2017-08-11 | 2018-12-25 | Micron Technology, Inc. | Memory device including voids between control gates |
US10453855B2 (en) | 2017-08-11 | 2019-10-22 | Micron Technology, Inc. | Void formation in charge trap structures |
US10446572B2 (en) | 2017-08-11 | 2019-10-15 | Micron Technology, Inc. | Void formation for charge trap structures |
JP2020155450A (ja) * | 2019-03-18 | 2020-09-24 | キオクシア株式会社 | 半導体記憶装置 |
CN113169178B (zh) * | 2019-09-06 | 2024-03-05 | 铠侠股份有限公司 | 存储器装置 |
CN111769113A (zh) * | 2020-06-09 | 2020-10-13 | 长江存储科技有限责任公司 | 三维存储器及其制备方法 |
CN113053825B (zh) * | 2021-03-09 | 2022-03-01 | 长鑫存储技术有限公司 | 半导体结构的形成方法及半导体结构 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3963664B2 (ja) * | 2001-06-22 | 2007-08-22 | 富士雄 舛岡 | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP5016832B2 (ja) * | 2006-03-27 | 2012-09-05 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP2007317874A (ja) * | 2006-05-25 | 2007-12-06 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP4772656B2 (ja) * | 2006-12-21 | 2011-09-14 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体メモリ |
JP4945248B2 (ja) * | 2007-01-05 | 2012-06-06 | 株式会社東芝 | メモリシステム、半導体記憶装置及びその駆動方法 |
JP5118347B2 (ja) * | 2007-01-05 | 2013-01-16 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
JP2008277543A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP4455615B2 (ja) * | 2007-06-20 | 2010-04-21 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP5193551B2 (ja) * | 2007-10-05 | 2013-05-08 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置、及びその製造方法 |
JP2009094236A (ja) * | 2007-10-05 | 2009-04-30 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP5148242B2 (ja) * | 2007-10-29 | 2013-02-20 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置、及びその製造方法 |
JP4468433B2 (ja) * | 2007-11-30 | 2010-05-26 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP5142692B2 (ja) * | 2007-12-11 | 2013-02-13 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2009164485A (ja) * | 2008-01-09 | 2009-07-23 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2009212280A (ja) * | 2008-03-04 | 2009-09-17 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置の製造方法 |
JP5086851B2 (ja) * | 2008-03-14 | 2012-11-28 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
US7732891B2 (en) * | 2008-06-03 | 2010-06-08 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device |
KR101551901B1 (ko) * | 2008-12-31 | 2015-09-09 | 삼성전자주식회사 | 반도체 기억 소자 및 그 형성 방법 |
-
2009
- 2009-02-25 JP JP2009042786A patent/JP5395460B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-02-18 US US12/708,161 patent/US8247863B2/en active Active
- 2010-02-24 KR KR1020100016563A patent/KR101110512B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010199314A (ja) | 2010-09-09 |
US8247863B2 (en) | 2012-08-21 |
KR20100097054A (ko) | 2010-09-02 |
US20100213537A1 (en) | 2010-08-26 |
KR101110512B1 (ko) | 2012-01-31 |
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JP2015028966A (ja) | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
RD01 | Notification of change of attorney |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
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|
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