JP2007317874A - 不揮発性半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】微細化及び積層化が可能な不揮発性半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】NAND型フラシュメモリは、複数の第1のメモリセルに含まれる複数の第1のゲート電極が絶縁層を介して積層された第1の積層体と、複数の第2のメモリセルに含まれる複数の第2のゲート電極が絶縁層を介して積層された第2の積層体と、第1及び第2の積層体の側面上にそれぞれ設けられ、かつ電荷蓄積層14を内部に含む第1及び第2のゲート絶縁膜16と、第1のゲート絶縁膜の側面上に設けられた第1のピラーと、第2のゲート絶縁膜の側面上に設けられかつ第1のピラーに電気的に接続された第2のピラーとを含む第1の半導体層12と、第1のメモリセルに直列に接続され、かつ第1のピラー上に設けられた第1の選択トランジスタSSTと、第2のメモリセルに直列に接続され、かつ第2のピラー上に設けられた第2の選択トランジスタSDTとを具備する。
【選択図】 図3
【解決手段】NAND型フラシュメモリは、複数の第1のメモリセルに含まれる複数の第1のゲート電極が絶縁層を介して積層された第1の積層体と、複数の第2のメモリセルに含まれる複数の第2のゲート電極が絶縁層を介して積層された第2の積層体と、第1及び第2の積層体の側面上にそれぞれ設けられ、かつ電荷蓄積層14を内部に含む第1及び第2のゲート絶縁膜16と、第1のゲート絶縁膜の側面上に設けられた第1のピラーと、第2のゲート絶縁膜の側面上に設けられかつ第1のピラーに電気的に接続された第2のピラーとを含む第1の半導体層12と、第1のメモリセルに直列に接続され、かつ第1のピラー上に設けられた第1の選択トランジスタSSTと、第2のメモリセルに直列に接続され、かつ第2のピラー上に設けられた第2の選択トランジスタSDTとを具備する。
【選択図】 図3
Description
本発明は、不揮発性半導体記憶装置、特に電荷蓄積層とゲート電極とを積層した不揮発性メモリセルを用いた不揮発性半導体記憶装置に関する。
従来、半導体メモリとしては例えばデータの書き込み及び消去を電気的に行う、EEPROM(Electrically Erasable Programmable Read Only Memory)が知られている。さらに、EEPROMの1つとして、高集積化が可能なNAND型フラッシュメモリが知られている。NAND型フラッシュメモリのメモリセルは、電荷蓄積を目的とする層を有し、この電荷蓄積層の電荷量に応じて異なる閾値電圧をデータとして記憶する。
NAND型フラッシュメモリは、複数のメモリセルがソース/ドレイン拡散層を共有して直列接続されてNANDセルユニットを構成する。このようなセルアレイ構成を採用することにより、単位セル面積が小さくでき、したがって大容量化が可能となる。
ところで、通常、メモリセルは単層で形成されている。したがって、単位面積あたりの記録密度を向上させるためには、更なる微細化を進めるか、或いは多値記憶を行なう必要がある。しかし、製造装置に依存する微細化には限界がある。また、多値記憶による記録密度の向上もデータの信頼性の点から限界がある。
また、この種の関連技術としてEEPROMに関する技術が開示されており、具体的には、垂直方向に延在する1つの柱状半導体層にメモリセルが設けられ、このメモリセルの上下に選択トランジスタが設けられた構成が開示されている(特許文献1参照)。
特開2005−85938号公報
本発明は、微細化が可能で、かつ積層化が可能な不揮発性半導体記憶装置を提供する。
本発明の一視点に係る不揮発性半導体記憶装置は、複数の第1のメモリセルに含まれる複数の第1のゲート電極が絶縁層を介して積層された第1の積層体と、前記第1の積層体に離間して配置され、かつ複数の第2のメモリセルに含まれる複数の第2のゲート電極が絶縁層を介して積層された第2の積層体と、前記第1及び第2の積層体の側面上にそれぞれ設けられ、かつ電荷蓄積層を内部に含む第1及び第2のゲート絶縁膜と、前記第1のゲート絶縁膜の側面上に設けられた第1のピラーと、前記第2のゲート絶縁膜の側面上に設けられかつ前記第1のピラーに電気的に接続された第2のピラーとを含み、かつ前記第1及び第2のメモリセルの活性領域としての第1の半導体層と、前記第1のメモリセルに直列に接続され、かつ前記第1のピラー上に設けられた第1の選択トランジスタと、前記第2のメモリセルに直列に接続され、かつ前記第2のピラー上に設けられた第2の選択トランジスタとを具備する。
本発明によれば、微細化が可能で、かつ積層化が可能な不揮発性半導体記憶装置を提供することができる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、以下の説明において、同一の機能及び構成を有する要素については、同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行う。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態に係るNAND型フラッシュメモリの回路図である。データ消去単位である1個のユニットは、直列に接続された複数のメモリセルMC、典型的には8個のメモリセルMCと、その一端(ソース側)に直列に接続された選択トランジスタSSTと、他端(ドレイン側)に直列に接続された選択トランジスタSDTとにより構成されている。
図1は、本発明の第1の実施形態に係るNAND型フラッシュメモリの回路図である。データ消去単位である1個のユニットは、直列に接続された複数のメモリセルMC、典型的には8個のメモリセルMCと、その一端(ソース側)に直列に接続された選択トランジスタSSTと、他端(ドレイン側)に直列に接続された選択トランジスタSDTとにより構成されている。
メモリセルMCとしてのメモリセルトランジスタの制御ゲート端子には、ワード線WLが接続されている。ソース側の選択トランジスタSSTのゲート端子には、選択ゲート線SGSLが接続されている。選択トランジスタSSTのソース端子には、ソース線SLが接続されている。ドレイン側の選択トランジスタSDTのゲート端子には、選択ゲート線SGDLが接続されている。選択トランジスタSDTのドレイン端子には、ビット線BLが接続されている。
選択ゲート線SGSL,SGDLは、選択トランジスタSST,SDTのオン/オフを制御するために設けられている。選択トランジスタSST,SDTは、データ書き込み及びデータ読み出し等の際に、ユニット内のメモリセルMCに所定の電位を供給するためのゲートとして機能する。
このユニットがロウ方向(ワード線の延在方向)に複数個配列されてブロックが構成されている。1個のブロックのうち同じワード線に接続された複数のメモリセルは1ページとして取り扱われ、このページごとにデータ書き込み及びデータ読み出し動作が行われる。
複数のブロックは、カラム方向(ビット線の延在方向)に複数個配列される。また、複数のブロックは、順番に折り返されるように配列される。すなわち、任意のブロックと、この任意のブロックの一方に隣接するブロックとは、ドレイン側の選択トランジスタSDTが向き合うように配置されている。上記任意のブロックとこの任意のブロックの他方に隣接するブロックとは、ソース側の選択トランジスタSSTが向き合うように配置されている。
次に、図1に示したNAND型フラッシュメモリの構造について説明する。図2は、本発明の第1の実施形態に係るNAND型フラッシュメモリの平面図である。図3は、図2に示したIII−III線に沿ったNAND型フラッシュメモリの断面図である。
本実施形態のNAND型フラッシュメモリは、SOI(Silicon On Insulator)構造を有するNAND型フラッシュメモリである。また、本実施形態のメモリセル及び選択トランジスタとしては、縦型メモリセルトランジスタ及び縦型選択トランジスタを用いている。なお、縦型のトランジスタとは、チャネルが縦方向に形成されるトランジスタである。
そして、複数の縦型メモリセルトランジスタを上方向(縦方向)に複数積み重ね、最上段に縦型選択トランジスタSSTを配置する。これを第1の積層体とすると、この第1の積層体に離間して、複数の縦型メモリセルトランジスタと最上段に配置された縦型選択トランジスタSDTとから構成される第2の積層体を配置する。さらに、第1の積層体の最下段のメモリセルトランジスタと、第2の積層体の最下段のメモリセルトランジスタとを直列に接続している。以下に、構造の詳細について説明する。
図2及び図3に示すように、支持層としての絶縁層11上(本実施形態では、後述するゲート絶縁膜16上)には、ピラー状のN−型半導体層12−1が設けられている。また、絶縁層11上には、N−型半導体層12−1からX方向に離間して、ピラー状のN−型半導体層12−2が設けられている。
そして、N−型半導体層12−1とN−型半導体層12−2とが下部で電気的に接続されて、一体のN−型半導体層12が形成されている。すなわち、N−型半導体層12は、X方向の断面形状がU字型になっている。なお、N−型半導体層12−1,12−2は、低濃度のN−型不純物が導入された半導体層により構成される。N−型半導体層12−1とN−型半導体層12−2との間に形成された空間は、絶縁層23で満たされている。
N−型半導体層12−1とN−型半導体層12−2との側面上には、ゲート絶縁膜16が設けられている。本実施形態では、ゲート絶縁膜16は、U字形のN−型半導体層12を外側から覆うように、N−型半導体層12−1とN−型半導体層12−2とに共通して設けられている。
ゲート絶縁膜16は、電荷を捕捉して蓄積する電荷蓄積手段を有する積層構造である。積層構造のゲート絶縁膜16は、N−型半導体層12−1側から順に、第1の絶縁膜13、電荷蓄積層14、第2の絶縁膜15を有している。
第1の絶縁膜13は、電荷蓄積層14にN−型半導体層12−1から電荷を蓄積する際または電荷蓄積層14に蓄積された電荷がN−型半導体層12−1へ拡散する際に電位障壁となる。第1の絶縁膜13としては、例えばシリコン酸化膜が用いられる。シリコン酸化膜は、シリコン窒化膜等よりも絶縁性に優れ、電荷の拡散を防止する機能が好適である。第1の絶縁膜13の膜厚は、4nm程度である。
電荷蓄積層14は、主に電荷蓄積手段を担い、電荷(電子)を捕捉し蓄積する。電荷蓄積層14としては、例えばシリコン窒化膜が用いられる。電荷蓄積層14の膜厚は、8nm程度である。
第2の絶縁膜15は、電荷蓄積層14とゲート電極との間に配置され、電荷蓄積層14に蓄積された電荷のゲート電極への拡散を防止する。第2の絶縁膜15としては、例えばシリコン酸化膜が用いられる。第2の絶縁膜15の膜厚は、4nm程度である。
このように、ゲート絶縁膜16としては、例えばONO膜(酸化膜、窒化膜、酸化膜の積層膜)が用いられる。同様に、N−型半導体層12−2の側面上にも、ONO膜からなるゲート絶縁膜16が設けられている。
N−型半導体層12−1上には、選択トランジスタSSTのチャネル領域として機能するP−型半導体層17が設けられている。P−型半導体層17は、低濃度のP−型不純物が導入された半導体層である。P−型半導体層17上には、選択トランジスタSSTのソース領域として機能するN+型拡散層18が設けられている。N+型拡散層18は、高濃度のN+型不純物が拡散された半導体層である。P−型半導体層17の側面上には、ゲート絶縁膜19が設けられている。
同様に、N−型半導体層12−2上には、選択トランジスタSDTのチャネル領域として機能するP−型半導体層20が設けられている。P−型半導体層20上には、選択トランジスタSDTのドレイン領域として機能するN+型拡散層21が設けられている。P−型半導体層20の側面上には、ゲート絶縁膜22が設けられている。
絶縁層11上には、メモリセルMCの制御ゲート電極CG3、CG2、CG1、CG0、及び選択トランジスタSSTのゲート電極SGSが、層間絶縁層24を介して積層されている。また、ゲート電極CG3、CG2、CG1、CG0は、N−型半導体層12−1の側面上にゲート絶縁膜16を介して設けられている。ゲート電極SGSは、P−型半導体層17上にゲート絶縁膜19を介して設けられている。
同様に、絶縁層11上には、メモリセルMCのゲート電極CG4、CG5、CG6、CG7、及び選択トランジスタSDTのゲート電極SGDが、層間絶縁層24を介して積層されている。また、ゲート電極CG4、CG5、CG6、CG7は、N−型半導体層12−2の側面上にゲート絶縁膜16を介して設けられている。ゲート電極SGDは、P−型半導体層20上にゲート絶縁膜22を介して設けられている。
ゲート電極CG0〜CG7は、図1に示したワード線WL0〜WL7に対応する。ゲート電極SGSは、図1に示した選択ゲート線SGSLに対応する。ゲート電極SGDは、図1に示した選択ゲート線SGDLに対応する。
選択トランジスタのゲート電極SGS,SGDの膜厚(ゲート長)は、メモリセルMCのゲート電極CGの膜厚(ゲート長)に比べて大きく設定されている。これは、選択トランジスタのカットオフ特性を良好なものとするためである。例えば、ゲート電極CGの膜厚(ゲート長)は、30nm程度である。一方、ゲート電極SGS,SGDの膜厚(ゲート長)は、150nm程度である。また、ゲート電極CG間の距離は、例えばゲート長と同じ長さに設定される。
ゲート電極CG3の側面上には、ゲート絶縁膜16を介して、N−型半導体層12が配置される。さらに、ゲート電極CG3の側面に対応するN−型半導体層12の側面の一部には、絶縁層23が配置される。このために、絶縁層11とゲート電極CG3との間の層間絶縁層24の膜厚は、ゲート絶縁膜16とN−型半導体層12との合計膜厚より大きく設定される。これにより、ゲート電極CG3の側面上には、ゲート絶縁膜16を介してN−型半導体層12及び絶縁層23が配置される。ゲート電極CG4についても同様である。
ゲート電極としては、例えばポリシリコンが用いられる。そして、ポリシリコン層の一部をシリサイド化することにより、シリサイド層26を含むようにゲート電極を構成する。このようにすることで、ゲート電極を低抵抗化することが可能となる。また、ゲート電極を低抵抗化するために、タングステン(W)、アルミニウム(Al)、銅(Cu)等の金属を用いてもよい。ゲート電極として金属を用いる場合は、シリサイド層26は必要ない。
N+型拡散層18上には、ソース線SLが設けられている。N+型拡散層21上には、ビット線BLが設けられている。ソース線SLは、X方向に隣接するブロックの対応する選択トランジスタSSTのソース領域にも接続されている。また、ビット線BLは、X方向に隣接するブロックの対応する選択トランジスタSDTのソース領域にも接続されている。ソース線SL及びビット線BLには、例えばコンタクトが形成され、このコンタクトを介して所定の電位が供給される。
このようにして、ソース線SLとビット線BLとの間に、選択トランジスタSST、複数のメモリセルMC、選択トランジスタSDTが順に直列に接続されたユニットが構成される。
ところで、前述したように、本実施形態のメモリセルMCは、ゲート絶縁膜16内にシリコン窒化膜からなる電荷蓄積層14を備えるMONOS(Metal Oxide Nitride Oxide Semiconductor)型メモリセルである。このメモリセルMCでは、電荷蓄積層14を含むゲート絶縁膜16全体が絶縁体であるため、フローティングゲート型メモリセルのように、セル毎にフローティングゲート電極を分離するというプロセスが必要ない。すなわち、ゲート絶縁膜16は、N−型半導体層12の側面全体に形成すればよく、パターニングの必要がないために、容易に縦型メモリセルを縦積みした構造を実現することができる。
MONOS型メモリセルMCは、電荷蓄積層14に電荷(電子)を捕捉し蓄積する。電荷を捕捉する能力は、電荷トラップ密度によって表わすことができ、電荷トラップ密度が大きくなれば電荷をより多く捕捉することができる。
電荷蓄積層14には、チャネル領域から電子が注入される。電荷蓄積層14に注入された電子は、この電荷蓄積層14のトラップに捕捉される。トラップに捕捉された電子は、簡単にはトラップから脱出することができず、そのまま安定することになる。そして、電荷蓄積層14の電荷量に応じてメモリセルMCの閾値電圧が変化するため、この閾値電圧のレベルによってデータ”0”、データ”1”を判定することで、メモリセルMCに情報を記憶する。
ところで、本実施形態の選択トランジスタSST,SDTは、エンハンスメント型MIS(Metal Insulator Semiconductor)である。一方、本実施形態のメモリセルMCは、デプレッション型MISトランジスタである。メモリセルMCのチャネル領域(活性領域)としてのN−型半導体層12内には、N−型半導体層12と導電型の異なるソース拡散層及びドレイン拡散層が形成されていない。すなわち、N−型半導体層12は、メモリセルトランジスタのチャネル領域、ソース領域、及びドレイン領域として機能する。このメモリセルMCは、ゲート電極CGに印加される電位に基づいて、ゲート電極CG直下のN−型半導体層12をほぼ空乏化することでオフ状態を実現している。
図4は、図3に示したメモリセルMCの1つを抜き出して示した断面図である。前述したように、本実施形態のメモリセルMCは、縦型メモリセルである。したがって、ゲート電極CGの膜厚がゲート長(チャネル長)となる。このゲート長をLとする。また、メモリセルMCの活性領域としてのN−型半導体層12の膜厚(図4において、横方向の厚さ)をTSOIとする。ゲート長Lと膜厚TSOIとは、下記の関係式を満たすことが望ましい。
1nm<TSOI<L×0.8
読み出し動作において、ゲート電極CG直下のチャネル領域には、ゲート絶縁膜16との界面から1nm程度の範囲に反転層が形成される。このため、膜厚TSOIが1nmより薄くなると、反転層のキャリア面密度が急激に低下して、ビット線電流が減少する。この結果、データの読み出しが困難となる。
読み出し動作において、ゲート電極CG直下のチャネル領域には、ゲート絶縁膜16との界面から1nm程度の範囲に反転層が形成される。このため、膜厚TSOIが1nmより薄くなると、反転層のキャリア面密度が急激に低下して、ビット線電流が減少する。この結果、データの読み出しが困難となる。
一方、読み出し動作を正常に行なうためには、メモリセルトランジスタのカットオフ特性を良好にする必要がある。このために、膜厚TSOIの上限値が上記関係式を満たすことが望ましい。
次に、このように構成されたNAND型フラッシュメモリのデータ書き込み動作、データ読み出し動作、及びデータ消去動作について説明する。
データ書き込み時には、選択されたメモリセルMC(選択メモリセルMC)のワード線WLに正の書き込み電位Vpgmを印加し、非選択メモリセルMCのワード線WLに正の中間電位Vpass(<Vpgm)を印加する。そして、ドレイン側の選択ゲート線SGDLにVCC(電源電位)を印加して選択トランジスタSDTをオン状態にし、ソース側の選択ゲート線SGSLに0V(接地電位)を印加して選択トランジスタSSTをカットオフ状態にする。そして、選択ビット線BLには、書き込むデータに応じて、0V或いはVCC(例えば3V)を印加する。
こうすることにより、選択トランジスタSDT及びユニット内の非選択メモリセルMCが導通状態となり、選択メモリセルMCのチャネル領域にビット線電位が伝達され、メモリセルMCの閾値電圧がシフトする。
例えば“0”を書き込む場合、ビット線BLに0Vを印加する。すると、メモリセルMCのチャネル領域とゲート電極CGとの間に高電界が発生するため、電荷蓄積層14に電子が注入され、閾値電圧は正方向にシフトする。
一方、“1”書き込みは、メモリセルMCの閾値電圧を変化させずに維持(消去状態を維持)する状態であり、メモリセルMCのゲート電極CGに正の高電位Vpgmが印加されても電荷蓄積層14に電子が注入されないようにする。このため、ビット線BLにVCCを印加する。そして、書き込みの初期にメモリセルMCのチャネル領域にVCCが充電された後、選択ワード線WLにVpgm、非選択ワード線WLにVpassを印加する。
すると、ゲート電極CGとチャネル領域との容量結合によりチャネル電位は上昇するが、ドレイン側の選択ゲート線SGDLはビット線BLとともにVCCであるため選択トランジスタSDTがカットオフ状態となる。すなわち、選択メモリセルMCのチャネル領域は、フローティング状態となる。これにより、メモリセルMCに電子は注入されず、閾値電圧は変化しない。
データ読み出し時には、選択メモリセルMCのワード線WLに例えば0Vを印加し、非選択メモリセルMCのワード線WL及び選択ゲート線SGDL,SGSLにVCC若しくはVCCより少し高い読み出し電位Vreadを印加する。つまり、選択トランジスタSDT,SST及び非選択メモリセルMCは導通状態になるため、選択メモリセルMCの閾値電圧が正か負かでビット線BLの電位は決まり、この電位を検知することでデータ読み出しが可能となる。
データ消去は、ブロック単位で行なわれる。データ消去時には、選択ゲート線SGDL,SGSL及びビット線BLをフローティング状態にし、選択されたブロック内の全てのワード線WLに0Vを印加し、ソース線SLに正の消去電位Veraを印加する。これにより、選択ブロック内の電荷蓄積層14が保持する電子がチャネル領域に放出される。この結果、これらのメモリセルMCの閾値電圧が負方向にシフトする。
一方、非選択ブロック内の全てのワード線WL、選択ゲート線SGDL,SGSL、及びビット線BLは、フローティング状態にする。これにより、非選択ブロックでは、ワード線WLがチャネル領域との容量結合によりVera近くまで上昇するため、消去動作が行われない。
次に、NAND型フラッシュメモリの製造方法の一例について説明する。図5、図6A〜図13A、図14、図15、図16A〜図18Aは、製造方法の一工程を示す平面図である。図6B〜図13B、図16B〜図18Bは、平面図に示したIII−III線に沿った断面図である。
図5に示すように、支持層としての絶縁層11を準備する。絶縁層11としては、例えばシリコン酸化膜が用いられる。そして、絶縁層11上に、層間絶縁層(31、33、35、37、39、41)とゲート電極(32、34、36、38、40)とを交互に積層する。
ゲート電極32は、後の加工によりゲート電極CG3、CG4となる。ゲート電極34は、後の加工によりゲート電極CG2、CG5となる。ゲート電極36は、後の加工によりゲート電極CG1、CG6となる。ゲート電極38は、後の加工によりゲート電極CG0、CG7となる。ゲート電極40は、後の加工によりゲート電極SGS、SGDとなる。また、層間絶縁層31、33、35、37、39、41は、図3に示した層間絶縁層24に対応する。
本実施形態では、ゲート電極として、例えばポリシリコンが用いられる。また、前述したように、ゲート電極を低抵抗化するために、タングステン(W)、アルミニウム(Al)、銅(Cu)等を用いてもよい。層間絶縁層としては、例えばシリコン酸化膜が用いられる。或いは、シリコン酸化膜にホウ素(B)とリン(P)とを含ませたBPSG(Boron Phosphorus Silicate Glass)、BSG(Boron Silicate Glass)、もしくはPSG(Phosphorus Silicate Glass)等を用いてもよい。
次に、図6A及び図6Bに示すように、リソグラフィ法及びRIE(Reactive Ion Etching)法を用いて、層間絶縁層(31、33、35、37、39、41)及びゲート電極(32、34、36、38、40)を選択的にエッチングし、絶縁層11の上面が露出するように積層膜内に開口部42を形成する。
次に、図7A及び図7Bに示すように、開口部42に面した層間絶縁層(31、33、35、37、39、41)及びゲート電極(32、34、36、38、40)の側面上に、第2の絶縁膜15及び電荷蓄積層14を順に堆積する。この際、開口部42に面した絶縁層11上にも第2の絶縁膜15及び電荷蓄積層14が形成されている。
次に、図8A及び図8Bに示すように、開口部42を埋め込むように、電荷蓄積層14上に絶縁層43を堆積する。この際、絶縁層43の上面は、ゲート電極38の上面より高く、かつゲート電極40の底面より低い位置に設定される。次に、絶縁層43の上面より上に形成された第2の絶縁膜15及び電荷蓄積層14をエッチングする。その後、絶縁層43を除去する。
次に、図9A及び図9Bに示すように、電荷蓄積層14上、及びゲート電極40の側面上に、第1の絶縁膜13を堆積する。なお、選択トランジスタSSTのゲート電極SGSの側面上に設けられた絶縁膜13は、選択トランジスタSSTのゲート絶縁膜19(図3を参照)に対応する。また、選択トランジスタSDTのゲート電極SGDの側面上に設けられた絶縁膜13は、選択トランジスタSDTのゲート絶縁膜22(図3を参照)に対応する。
次に、図10A及び図10Bに示すように、第1の絶縁膜13上及び側面上に、N−型半導体層12を堆積する。N−型半導体層12としては、低濃度のN−型不純物(リン(P)、ヒ素(As)等)が導入されたシリコンが用いられる。
次に、図11A及び図11Bに示すように、開口部42を埋め込むように、N−型半導体層12上に絶縁層23−1を堆積する。この際、絶縁層23−1の上面は、ゲート電極40の底面とほぼ同じ位置に設定される。絶縁層23−1としては、例えばシリコン酸化膜が用いられる。
次に、絶縁層23−1の上面より上に形成されたN−型半導体層12内に、低濃度のP−型不純物(ホウ素(B)等)を導入する。これにより、絶縁層23−1の上面より上のN−型半導体層12内に、選択トランジスタSST,SDTのチャネル領域としてのP−型半導体層17,20が形成される。
次に、図12A及び図12Bに示すように、絶縁層23−1上にさらに絶縁層を堆積することにより、N−型半導体層12上に絶縁層23−2を形成する。この際、絶縁層23−2の上面は、ゲート電極40の上面とほぼ同じ位置に設定される。
次に、絶縁層23−2の上面より上に形成されたP−型半導体層17,20内にそれぞれ、高濃度のN+型不純物を導入する。これにより、絶縁層23−2の上面より上のP−型半導体層17内に、選択トランジスタSSTのソース領域としてのN+型拡散層18が形成される。同様に、絶縁層23−2の上面より上のP−型半導体層20内に、選択トランジスタSDTのドレイン領域としてのN+型拡散層21が形成される。
次に、図13A及び図13Bに示すように、絶縁層23−2上にさらに絶縁層を堆積することにより、N−型半導体層12上に絶縁層23を形成する。
次に、図14に示すように、複数のユニットに分離するために、半導体層12(半導体層17,20、拡散層18,21を含む)及び絶縁層23をパターニングする。これにより、隣接するユニット間に、第1の絶縁膜13の上面まで到達する開口部44が形成される。なお、図14に示したIII−III線に沿った断面図は、図13Bと同じである。
次に、図15に示すように、開口部44内に絶縁体を埋め込むことにより、絶縁層23を形成する。このようにして、Y方向に隣接するユニットを電気的に分離する。
次に、図16A及び図16Bに示すように、X方向に隣接するブロックのゲート電極を電気的に分離するために、ゲート電極(32、34、36、38、40)をパターニングする。これにより、ゲート電極の側面及び絶縁層11の上面を露出する開口部45が形成される。
次に、図17A及び図17Bに示すように、ゲート電極40のパターニング工程によりゲート絶縁膜と反対側の側面が露出したゲート電極40をシリサイド化することにより、ゲート電極40の側面内にシリサイド層26を形成する。他のゲート電極についても同様である。なお、ゲート電極が前述した金属により構成されている場合には、ゲート電極のシリサイド工程は必要ない。
次に、図18A及び図18Bに示すように、開口部45に絶縁体を埋め込むことにより、X方向に隣接するブロックを電気的に分離するための絶縁層25を形成する。
次に、図2及び図3に示すように、選択トランジスタSSTのソース領域(N+型拡散層18)に電気的に接続されたソース線SLを形成する。また、選択トランジスタSDTのドレイン領域(N+型拡散層21)に電気的に接続されたビット線BLを形成する。このようにして、NAND型フラッシュメモリが形成される。
以上詳述したように本実施形態によれば、メモリセルMC及び選択トランジスタを縦型にしてかつ積層しているために、NAND型フラッシュメモリの面積を低減することができる。
また、メモリセルMC及び選択トランジスタを半導体基板上に形成する必要がないため、複数のブロックを縦方向に何層にも積み重ねることができる。これにより、NAND型フラッシュメモリの記憶容量を大きくした場合でも、面積の増加を抑えることができる。すなわち、単位面積あたりの記録密度を向上させることができる。この結果、高集積化が可能なNAND型フラッシュメモリを構成することができる。
また、N−型半導体層12及びP−型半導体層17,21は、絶縁層23の側面上に設けられたSOI層に対応する。したがって、N−型半導体層12及びP−型半導体層17,21の寄生容量を低減することができる。この結果、メモリセルMC及び選択トランジスタの動作速度を高速化することができる。
また、選択トランジスタSDTとビット線BLとを電気的に接続するビット線コンタクトが必要ない。また、選択トランジスタSSTとソース線SLとを電気的に接続するソース線コンタクトが必要ない。すなわち、コンタクトを形成する工程を省略することができるため、製造コストを低減することが可能となる。
また、メモリセルとしてMONOS型メモリセルを用いている。したがって、低電圧書き込み或いは低電圧消去動作が可能である。さらに、電荷蓄積層14を含むゲート絶縁膜16全体が絶縁体であるため、電荷蓄積層14をメモリセル毎に分離する必要がない。すなわち、ゲート絶縁膜16をN−型半導体層12の側面全体に形成すればよく、パターニングの必要がないために、容易に縦型メモリセルを縦積みした構造を実現することができる。
また、メモリセルMCは、ソース領域及びドレイン領域としての拡散層を有していない。すなわち、チャネル領域としての半導体層と異なる導電型の拡散層を有していない。これにより、縦方向の微細化が可能である。さらに、メモリセルMCの活性領域としてN−型半導体層12のみを形成すればよいため、容易に縦型メモリセルを縦積みした構造を実現することができる。
(第2の実施形態)
第2の実施形態は、N−型半導体層12のゲート電極CGが設けられる側と反対側に、絶縁層23を介して導電層51を設ける。そして、この導電層51に供給する電位を制御することで、メモリセルMC及び選択トランジスタの動作特性を向上するようにしている。
第2の実施形態は、N−型半導体層12のゲート電極CGが設けられる側と反対側に、絶縁層23を介して導電層51を設ける。そして、この導電層51に供給する電位を制御することで、メモリセルMC及び選択トランジスタの動作特性を向上するようにしている。
図19は、本発明の第2の実施形態に係るNAND型フラッシュメモリの平面図である。図20は、図19に示したIII−III線に沿ったNAND型フラッシュメモリの断面図である。図21は、図19に示したIV−IV線に沿ったNAND型フラッシュメモリの断面図である。
本実施形態のメモリセルMC及び選択トランジスタとしては、縦型メモリセル及び縦型選択トランジスタを用いている。そして、複数の縦型メモリセルトランジスタを縦方向に複数積み重ね、最上段に縦型選択トランジスタを配置している。さらに、メモリセルの活性領域としてのN−型半導体層12がU字形であり、ユニット内の複数のメモリセルMCが1つのN−型半導体層12を共有して使用している。この構成は、上記第1の実施形態と同じである。
絶縁層23内でN−型半導体層12−1とN−型半導体層12−2との間には、導電層51が設けられている。したがって、絶縁層23は、導電層51とN−型半導体層12との間に設けられたBOX(Buried Oxide)層とみなすことができる。また、導電層51の底面の位置は、最下段のメモリセルMCのゲート電極CG3(或いは、ゲート電極CG4)の底面より低く設定される。なお、導電層51は、例えば、各ユニットに対応して設けられている。そして、複数の導電層51は、上部で電気的に接続されている。
この導電層51には、NAND型フラッシュメモリの動作に応じて、所定の電位が供給される。導電層51に電位を供給することで、メモリセルMC及び選択トランジスタのバックゲート電位を制御することが可能となる。これにより、メモリセルMC及び選択トランジスタの動作特性を向上させることができる。
すなわち、導電層51の電位を制御することで、メモリセルMCのチャネル領域としてのN−型半導体層12の電位を制御することができる。同様に、導電層51の電位を制御することで、選択トランジスタのチャネル領域としてのP−型半導体層17,20の電位を制御することができる。この結果、NAND型フラッシュメモリのデータ書き込み動作、データ読み出し動作、及びデータ消去動作において、書き込み電圧、読み出し電圧、及び消去電圧等を低減することが可能となる。
次に、第2の実施形態に係るNAND型フラッシュメモリの製造方法の一例について説明する。図22A、図23A、図24、図25、図26A及び図27Aは、製造方法の一工程を示す平面図である。図22B、図23B、図26B及び図27Bは、平面図に示したIII−III線に沿った断面図である。なお、図13A及び図13Bまでの製造工程は、上記第1の実施形態と同じである。
図22A及び図22Bに示すように、リソグラフィ法及びRIE法を用いて、絶縁層23内に、ゲート電極32の底面まで到達する開口部52を形成する。また、開口部52は、Y方向に延在するように形成される。
次に、図23A及び図23Bに示すように、開口部52内に導電体を埋め込んで、導電層51を形成する。導電層51としては、例えばポリシリコンが用いられる。
次に、図24に示すように、複数のユニットに分離するために、半導体層12(半導体層17,20、拡散層18,21を含む)、絶縁層23、及び導電層51をパターニングする。これにより、隣接するユニット間に、第1の絶縁膜13の上面まで到達する開口部44を形成する。この際、導電層51は、複数の導電層51−1に分離される。なお、図24に示したIII−III線に沿った断面図は、図23Bと同じである。
次に、図25に示すように、開口部44内に絶縁体を埋め込むことにより、絶縁層23を形成する。このようにして、Y方向に隣接するユニットの半導体層12及び導電層51−1を電気的に分離する。
次に、図26A及び図26Bに示すように、絶縁層23及び複数の導電層51−1内に、Y方向に延在する浅い溝53を形成する。
次に、図27A、27B及び図27C(図27AのIV−IV線に沿った断面図)に示すように、溝53内にポリシリコンを埋め込む。これにより、ユニット毎に設けられた導電層51−1が電気的に接続されて、1つの導電層51が形成される。その後の製造工程は、上記第1の実施形態で説明した図16A及び図16B以下の製造工程と同じである。
以上詳述したように本実施形態によれば、導電層51に印加する電位を制御することで、メモリセルMC及び選択トランジスタの動作特性を向上させることができる。その他の効果は、上記第1の実施形態と同じである。
また、導電層51は、シールドとしても機能する。すなわち、導電層51は、この導電層51の両側に配置されたメモリセル間でノイズ等が伝わるのを防ぐことができる。
(第3の実施形態)
第3の実施形態は、メモリセルMCの活性領域としてのN−型半導体層12を、半導体基板の結晶軸と結晶軸の揃ったエピタキシャル層により構成するようにしている。すなわち、単結晶の半導体基板を用いることで、N−型半導体層12を単結晶層により構成するようにしている。
第3の実施形態は、メモリセルMCの活性領域としてのN−型半導体層12を、半導体基板の結晶軸と結晶軸の揃ったエピタキシャル層により構成するようにしている。すなわち、単結晶の半導体基板を用いることで、N−型半導体層12を単結晶層により構成するようにしている。
図28は、本発明の第3の実施形態に係るNAND型フラッシュメモリの平面図である。図29は、図28に示したIII−III線に沿ったNAND型フラッシュメモリの断面図である。
本実施形態では、絶縁層11に代えて、単結晶からなる半導体基板61(例えば、P型半導体基板)を用いている。半導体基板61としては、例えばシリコンが用いられる。半導体基板61内には、トランジスタ等の半導体素子が形成される複数の素子領域を電気的に分離するために、複数の素子分離領域62が設けられている。この素子分離領域62は、例えばSTI(Shallow Trench Isolation)により構成される。そして、X方向に隣接するユニットは、素子分離領域62により電気的に分離されている。
また、N−型半導体層12は、半導体基板61上に設けられる。例えば、半導体基板61上のゲート絶縁膜16の一部が取り除かれる。そして、この取り除かれた部分に、N−型半導体層12が形成される。
ここで、N−型半導体層12は、単結晶層であり、半導体基板61の結晶軸と結晶軸の揃ったエピタキシャル層により構成される。その他の構成は、上記第1の実施形態と同じである。
次に、第3の実施形態に係るNAND型フラッシュメモリの製造方法の一例について説明する。図30A〜32Aは、製造方法の一工程を示す平面図である。図30B〜32Bは、平面図に示したIII−III線に沿った断面図である。
前述したように、本実施形態では、絶縁層11に代えて半導体基板61を用いている。半導体基板61内には、隣接する素子領域を電気的に分離するために、素子分離領域(STI)62が設けられている。すなわち、リソグラフィ法及びRIE法を用いて半導体基板61に溝を形成し、この溝にシリコン酸化膜等の絶縁体を埋め込むことにより、半導体基板61内にSTI62が形成される。そして、メモリセルMC及び選択トランジスタは、半導体基板61上に形成される。なお、図10A及び図10Bまでの製造工程は、上記第1の実施形態と同じである。
図30A及び図30Bに示すように、異方性エッチング法により、N−型半導体層12及びゲート絶縁膜16(第1の絶縁膜13、電荷蓄積層14、及び第2の絶縁膜15)を選択的にエッチングする。これにより、半導体基板61の上面の一部を露出させる開口部63が形成される。
次に、図31A及び図31Bに示すように、露出された半導体基板61上に、ポリシリコン層64を堆積する。この際、N−型半導体層12上及び側面上にもポリシリコン層64が堆積される。
次に、図32A及び図32Bに示すように、エピタキシャンル成長法を用いて、半導体基板61上に、この半導体基板61の結晶軸と結晶軸の揃ったエピタキシャル層(図32Aに示したN−型半導体層12に対応する)を形成する。これにより、ポリシリコン層64は、N−型半導体層12の一部となる。
その後の製造工程は、上記第1の実施形態の製造工程(図11A及び図11B以降の製造工程)と同じである。
このように構成されたNAND型フラッシュメモリでは、N−型半導体層12は、半導体基板61の結晶軸と結晶軸の揃ったエピタキシャル層により構成される。すなわち、N−型半導体層12は、単結晶層により構成される。また、N−型半導体層12は、半導体基板61と同じ材料により構成され、かつ半導体基板61の一部となっている。換言すると、N−型半導体層12は、半導体基板61から上方向に突出した突出部となっている。
したがって、このN−型半導体層12を活性領域とするメモリセルMC(或いは、P−型半導体層17,20を活性領域とする選択トランジスタ)は、素子特性が向上する。さらに、キャリア(電子)の移動度が向上する。この結果、NAND型フラッシュメモリの動作特性を向上させることができる。
なお、上記第1乃至第3の実施形態において、NANDセルを用いたNAND型フラッシュメモリを一例として説明したが、これに限らず不揮発性メモリセルを用いたEEPROM全般に適用することができる。
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で、構成要素を変形して具体化できる。また、実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を構成することができる。例えば、実施形態に開示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよいし、異なる実施形態の構成要素を適宜組み合わせてもよい。
MC…メモリセル、SST,SDT…選択トランジスタ、WL…ワード線、BL…ビット線、SL…ソース線、SGSL,SGDL…選択ゲート線、SGS,SGD…ゲート電極、CG…制御ゲート電極、11…絶縁層、12…N−型半導体層、13…第1の絶縁膜、14…電荷蓄積層、15…第2の絶縁膜、16…ゲート絶縁膜、17,20…P−型半導体層、18,21…N+型拡散層、19,22…ゲート絶縁膜、23…絶縁層、24…層間絶縁層、25…絶縁層、26…シリサイド層、31,33,35,37,39,41…層間絶縁層、32,34,36,38,40…ゲート電極、42,44,45,52,63…開口部、43…絶縁層、51…導電層、53…溝、61…半導体基板、62…素子分離領域、64…ポリシリコン層。
Claims (5)
- 複数の第1のメモリセルに含まれる複数の第1のゲート電極が絶縁層を介して積層された第1の積層体と、
前記第1の積層体に離間して配置され、かつ複数の第2のメモリセルに含まれる複数の第2のゲート電極が絶縁層を介して積層された第2の積層体と、
前記第1及び第2の積層体の側面上にそれぞれ設けられ、かつ電荷蓄積層を内部に含む第1及び第2のゲート絶縁膜と、
前記第1のゲート絶縁膜の側面上に設けられた第1のピラーと、前記第2のゲート絶縁膜の側面上に設けられかつ前記第1のピラーに電気的に接続された第2のピラーとを含み、かつ前記第1及び第2のメモリセルの活性領域としての第1の半導体層と、
前記第1のメモリセルに直列に接続され、かつ前記第1のピラー上に設けられた第1の選択トランジスタと、
前記第2のメモリセルに直列に接続され、かつ前記第2のピラー上に設けられた第2の選択トランジスタと
を具備することを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 前記第1の選択トランジスタは、前記第1のピラー上に設けられかつチャネル領域としての第2の半導体層と、この第2の半導体層上に設けられた第1の拡散層とを含み、
前記第2の選択トランジスタは、前記第2のピラー上に設けられかつチャネル領域としての第3の半導体層と、この第3の半導体層上に設けられた第2の拡散層とを含むことを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記第1の積層体は、前記第1のゲート電極上に絶縁層を介して設けられかつ前記第1の選択トランジスタに含まれる第3のゲート電極を含み、
前記第2の積層体は、前記第1のゲート電極上に絶縁層を介して設けられかつ前記第2の選択トランジスタに含まれる第4のゲート電極を含み、
前記第1の選択トランジスタは、前記第2の半導体層と前記第3のゲート電極との間に設けられた第3のゲート絶縁膜を含み、
前記第2の選択トランジスタは、前記第3の半導体層と前記第4のゲート電極との間に設けられた第4のゲート絶縁膜を含むことを特徴とする請求項2に記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記第1のピラーと前記第2のピラーとの間に設けられた第1の絶縁層と、
前記第1の絶縁層内に設けられた導電層とをさらに具備することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記第1及び第2の積層体と前記第1の半導体層とは、半導体基板上に設けられ、
前記第1の半導体層は、単結晶層であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の不揮発性半導体記憶装置。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20090804 |