JP2009158775A - 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】信頼性が高い不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板2上に、それぞれ複数の絶縁膜3及び電極膜4を交互に積層して積層体5を形成する。次に、積層体5に積層方向に延びる貫通ホール7を形成する。次に、選択窒化処理を施し、貫通ホール7の内面のうち電極膜4に相当する領域に、窒化シリコンからなるチャージ層12を選択的に形成する。次に、高圧酸化処理を行い、チャージ層12と電極膜4との間に、酸化シリコンからなるブロック層13を形成する。次に、貫通ホール7の内側面上に、酸化シリコンからなるトンネル層11を形成する。これにより、チャージ層12が電極膜4ごとに分断されたフラッシュメモリ1が製造される。
【選択図】図1
【解決手段】シリコン基板2上に、それぞれ複数の絶縁膜3及び電極膜4を交互に積層して積層体5を形成する。次に、積層体5に積層方向に延びる貫通ホール7を形成する。次に、選択窒化処理を施し、貫通ホール7の内面のうち電極膜4に相当する領域に、窒化シリコンからなるチャージ層12を選択的に形成する。次に、高圧酸化処理を行い、チャージ層12と電極膜4との間に、酸化シリコンからなるブロック層13を形成する。次に、貫通ホール7の内側面上に、酸化シリコンからなるトンネル層11を形成する。これにより、チャージ層12が電極膜4ごとに分断されたフラッシュメモリ1が製造される。
【選択図】図1
Description
本発明は、不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法に関し、特に、基板上に複数の絶縁膜及び電極膜が交互に積層された不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法に関する。
近年、フラッシュメモリの高密度化を図るために、セルを多層化する技術が開発されている。この技術は、基板上に絶縁膜と電極膜とを交互に積層した後、一括で貫通ホールを形成し、この貫通ホールの内面上に電荷を保持するチャージ層を形成し、貫通ホールの内部に柱状電極を埋め込むというものである。これにより、セル・トランジスタを3次元的に積層したフラッシュメモリを作製することができる(例えば、非特許文献1参照。)。
しかしながら、このようにして作製されたフラッシュメモリは、長期間にわたってデータを保持する際の信頼性が低いという問題がある。
インターネット<URL:http://techon.nikkeibp.co.jp/article/NEWS/20071212/144035/?ST=lsi>、平成19年12月18日検索
本発明の目的は、信頼性が高い不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法を提供することである。
本発明の一態様によれば、基板と、前記基板上に交互に積層され、積層方向に延びる貫通ホールが形成されたそれぞれ複数の絶縁膜及び電極膜と、前記貫通ホールの内側面上に形成され、絶縁材料からなるトンネル層と、前記トンネル層と前記電極膜との間に形成され、前記トンネル層とは異なる材料によって形成されたチャージ層と、前記チャージ層と前記電極膜との間に形成され、前記チャージ層とは異なる絶縁材料によって形成されたブロック層と、前記貫通ホールの内部に埋設された導電体と、を備え、前記チャージ層は、前記電極膜ごとに分断されていることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置が提供される。
本発明の一態様によれば、基板上に、それぞれ複数の絶縁膜及び電極膜が交互に積層され、積層方向に延びる貫通ホールが形成された積層体を形成する工程と、前記貫通ホールの内面のうち、前記電極膜に相当する領域に選択的にチャージ層を形成する工程と、前記チャージ層と前記電極膜との間に、前記チャージ層とは異なる絶縁材料からなるブロック層を形成する工程と、前記貫通ホールの内側面上に、前記チャージ層とは異なる絶縁材料からなるトンネル層を形成する工程と、前記貫通ホールの内部に導電体を埋設する工程と、を備えたことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置の製造方法が提供される。
本発明によれば、信頼性が高い不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法を実現することができる。
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態について説明する。
先ず、本発明の第1の実施形態について説明する。
本実施形態は、不揮発性半導体記憶装置の一種であるフラッシュメモリの実施形態である。
図1は、本実施形態に係るフラッシュメモリを例示する断面図であり、
図2は、図1の一部拡大図である。
先ず、本発明の第1の実施形態について説明する。
本実施形態は、不揮発性半導体記憶装置の一種であるフラッシュメモリの実施形態である。
図1は、本実施形態に係るフラッシュメモリを例示する断面図であり、
図2は、図1の一部拡大図である。
図1に示すように、本実施形態に係るフラッシュメモリ1においては、例えば単結晶シリコンからなるシリコン基板2が設けられている。シリコン基板2上には、例えば酸化シリコン(SiO2)からなる複数の絶縁膜3と、例えば多結晶シリコンからなる複数の電極膜4とが、交互に積層されて、積層体5が形成されている。電極膜4の膜厚は、例えば50ナノメートル(nm)以上である。また、電極膜4の層数は、例えば64層である。なお、図1においては、図示の便宜上、積層体5の積層数は少なく描いている。電極膜4は、図1に示す部分から外れた部分において、コンタクトを介して相互に異なる上層配線に接続されている。積層体5上には上層絶縁膜6が設けられている。
また、上層絶縁膜6の下部から、積層体5を貫通して、シリコン基板2の上層部に到達するように、貫通ホール7が形成されている。貫通ホール7の形状は、例えば、円柱形状であり、その中心軸は、積層体5の積層方向、すなわち、シリコン基板2の上面に対して垂直な方向に延びている。貫通ホール7の直径は、例えば90ナノメートル程度である。更に、上層絶縁膜6の上部であって貫通ホール7の直上域を含む部分には、例えばポリシリコンからなるビット線8が設けられている。ビット線8は図1の紙面に対して垂直な方向に延びている。
そして、図1及び図2に示すように、貫通ホール7の内側面上の全面には、絶縁材料、例えば、酸化シリコンからなるトンネル層11が形成されている。また、トンネル層11と電極膜4との間には、トンネル層11とは異なる材料、例えば、窒化シリコン(SiN)からなるチャージ層12が形成されている。更に、チャージ層12と電極膜4との間には、チャージ層12とは異なる絶縁材料、例えば、酸化シリコンからなるブロック層13が形成されている。
すなわち、貫通ホール7の内側から見て、電極膜4に向かっては、トンネル層11、チャージ層12、ブロック層13及び電極膜4がこの順に配列されている。一方、絶縁膜3に向かっては、トンネル層11及び絶縁膜3がこの順に配列されている。このように、チャージ層12は、トンネル層11と電極膜4との間にのみ形成されており、トンネル層11と絶縁膜3との間には形成されていない。従って、チャージ層12は、電極膜4ごとに分断されている。
例えば、トンネル層11とチャージ層12とは接しており、チャージ層12とブロック層13とは接している。従って、貫通ホール7の内側面における電極膜4に相当する領域においては、トンネル層11、チャージ層12及びブロック層13により、ONO膜(Oxide Nitride Oxide film:酸化物−窒化物−酸化物膜)14が形成されている。トンネル層11、チャージ層12及びブロック層13の各層厚は、例えば、それぞれ3ナノメートル以上である。
また、貫通ホール7の内部には、導電体16が埋設されている。導電体16は、導電材料、例えば多結晶シリコンにより形成されている。例えば、導電体16の形状は円柱形状であり、その外側面はトンネル層11に接している。また、導電体16の上端部はビット線8に接触しており、下端部はシリコン基板2に接触している。なお、シリコン基板2内には、導電体16に接続された電極配線(図示せず)が形成されていてもよい。
次に、本実施形態の動作及び効果について説明する。
図1に示すように、本実施形態に係るフラッシュメモリ1においては、ビット線8を介して導電体16に所定の電位が印加されることにより、導電体16がセレクトゲートとして機能する。一方、各電極膜4は、相互に独立して電位が印加されることにより、コントロールゲートとして機能する。これにより、各電極膜4と導電体16との間に配置された各チャージ層12内に電荷が充放電され、メモリセルとして機能する。
図1に示すように、本実施形態に係るフラッシュメモリ1においては、ビット線8を介して導電体16に所定の電位が印加されることにより、導電体16がセレクトゲートとして機能する。一方、各電極膜4は、相互に独立して電位が印加されることにより、コントロールゲートとして機能する。これにより、各電極膜4と導電体16との間に配置された各チャージ層12内に電荷が充放電され、メモリセルとして機能する。
そして、図2に示すように、本実施形態においては、チャージ層12が電極膜4ごとに分断されている。このため、チャージ層12内に蓄積された電子eは、そのチャージ層12内に閉じ込められ、そのチャージ層12の外部に漏洩しにくい。従って、電子の拡散によるデータの消失が発生しにくい。この結果、本実施形態に係るフラッシュメモリ1は、データを長時間保持する際の信頼性が高い。
次に、本実施形態の比較例について説明する。
図3は、本実施形態の比較例に係るフラッシュメモリを例示する断面図であり、
図4は、図3の一部拡大図である。
図3は、本実施形態の比較例に係るフラッシュメモリを例示する断面図であり、
図4は、図3の一部拡大図である。
図3に示すように、比較例に係るフラッシュメモリ101においては、貫通ホール7の内側面上の全面に、トンネル層11、チャージ層12及びブロック層13からなるONO膜14が形成されている。すなわち、チャージ層12は電極膜4ごとに分断されておらず、貫通ホール7の内側面全域にわたって連続的に形成されている。本比較例における上記以外の構成は、前述の第1の実施形態と同様である。
図4に示すように、本比較例に係るフラッシュメモリ101においては、チャージ層12が、各電極膜4と導電体16との間の領域間を連通するように連続的に形成されているため、チャージ層12のある電極膜4に対応する部分に蓄積された電子eが、時間の経過と共にこの部分から漏洩し、例えば他の電極膜4に対応する部分に移動してしまう。このため、データを長時間保持する際の信頼性が低い。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。
本実施形態は、前述の第1の実施形態に係るフラッシュメモリの製造方法の実施形態である。
図5(a)〜(c)及び図6(a)〜(c)は、本実施形態に係るフラッシュメモリの製造方法を例示する工程断面図である。
本実施形態は、前述の第1の実施形態に係るフラッシュメモリの製造方法の実施形態である。
図5(a)〜(c)及び図6(a)〜(c)は、本実施形態に係るフラッシュメモリの製造方法を例示する工程断面図である。
先ず、図5(a)に示すように、シリコン基板2を用意する。そして、シリコン基板2上に、例えばCVD法(Chemical Vapor Deposition法:化学気相成長法)によって酸化シリコンを堆積させることにより、絶縁膜3を形成する。次いで、多結晶シリコンを堆積させることにより、電極膜4を形成する。以下同様に、絶縁膜3及び電極膜4を交互に堆積させていく。このとき、電極膜4の膜厚は、例えば50ナノメートル以上とする。これにより、それぞれ複数の絶縁膜及び電極膜が交互に積層された積層体5を形成する。その後、積層体5上に上層絶縁膜6を形成する。
次に、図5(b)に示すように、上層絶縁膜6上にレジスト膜を成膜し、フォトリソグラフィ法によりパターニングする。これにより、開口部21aが形成されたレジストパターン21を形成する。開口部21aの形状は例えば円形とし、その直径は例えば90nmとする。次に、このレジストパターン21をマスクとしてエッチングを行い、上層絶縁膜6及び積層体5における開口部21aの直下域に相当する部分を除去し、シリコン基板2まで到達する貫通ホール7を形成する。その後、レジストパターン21を除去する。これにより、シリコン基板2上に、それぞれ複数の絶縁膜3及び電極膜4が交互に積層され、積層方向に延びる貫通ホール7が形成された積層体5が形成される。なお、エッチングのマスクには、レジストパターン21の替わりに絶縁膜を用いてもよい。
次に、図5(c)に示すように、選択窒化処理を行い、多結晶シリコンからなる電極膜4の表面のみに選択的に窒化シリコン層を形成する。この選択窒化処理は、例えば、圧力が0.5Torr(=67Pa)以上の窒素ガスを接触させることによって行う。これにより、貫通ホール7の内面のうち、電極膜4に相当する領域に選択的にチャージ層12が形成される。チャージ層12の厚さは、例えば3ナノメートル以上とする。なお、このとき、貫通ホール7の底面において露出しているシリコン基板2の上面にも、窒化シリコン層22が形成される。
次に、図6(a)に示すように、高圧酸化処理を行い、電極膜4におけるチャージ層12に接する部分を酸化する。この高圧酸化処理は、例えば、圧力が2気圧(=203kPa)以上の水蒸気(H2O)を接触させることによって行う。これにより、チャージ層12内を酸素が拡散し、チャージ層12と電極膜4との間に、酸化シリコンからなるブロック層13が形成される。ブロック層13の厚さは、例えば3ナノメートル以上とする。なお、このとき、絶縁膜3の表面には新たな酸化シリコン層は形成されない。一方、貫通ホール7の底面に形成された窒化シリコン層22の直下には、酸化シリコン層23が形成される。
次に、図6(b)に示すように、RIE(Reactive Ion Etching:反応性イオンエッチング)等の異方性エッチングを施し、貫通ホール7の底面においてシリコン基板2の上層部分に形成された窒化シリコン層22及び酸化シリコン層23を除去する。
次に、図6(c)に示すように、酸化処理を施して、貫通ホール7の内面上の全面に、酸化シリコン層を形成する。そして、RIE等の異方性エッチングを行い、この酸化シリコン層のうち、貫通ホール7の底面上に形成された部分を除去する。これにより、貫通ホール7の内側面上の全面に、酸化シリコンからなるトンネル層11が形成される。なお、図6(b)に示す工程におけるRIEを省略し、本工程において、窒化シリコン層22及び酸化シリコン層23も併せて除去してもよい。
次に、図1に示すように、貫通ホール7の内部に例えば多結晶シリコンを埋め込むことにより、導電体16を埋設する。その後、導電体16に接続されるように、上層絶縁膜6の上層部分にビット線8を形成する。これにより、第1の実施形態に係るフラッシュメモリ1が製造される。
次に、本実施形態の効果について説明する。
上述の如く、本実施形態においては、図5(c)に示す工程において、選択窒化処理によりチャージ層12を形成し、図6(a)に示す工程において、高圧酸化処理によりブロック層13を形成している。このように、本実施形態においては、チャージ層12及びブロック層13をCVD等の成膜技術ではなく、窒化・酸化処理によって形成しているため、コントロールゲート電極である電極膜4の表面上のみにブロック層13及びチャージ層12を形成し、絶縁膜3の表面上には形成しないことが可能となる。この結果、チャージ層12を電極膜4ごとに分離して形成することができる。また、本実施形態によれば、ブロック層13及びチャージ層12の形成により、貫通ホール7の径が小さくなることがないため、その分、貫通ホール7内に余裕が発生する。
上述の如く、本実施形態においては、図5(c)に示す工程において、選択窒化処理によりチャージ層12を形成し、図6(a)に示す工程において、高圧酸化処理によりブロック層13を形成している。このように、本実施形態においては、チャージ層12及びブロック層13をCVD等の成膜技術ではなく、窒化・酸化処理によって形成しているため、コントロールゲート電極である電極膜4の表面上のみにブロック層13及びチャージ層12を形成し、絶縁膜3の表面上には形成しないことが可能となる。この結果、チャージ層12を電極膜4ごとに分離して形成することができる。また、本実施形態によれば、ブロック層13及びチャージ層12の形成により、貫通ホール7の径が小さくなることがないため、その分、貫通ホール7内に余裕が発生する。
これに対して、図3及び図4に示す比較例に係るフラッシュメモリ101を製造する際には、貫通ホール7を形成した後、CVD法等により、貫通ホール7の内側面上にブロック層13、チャージ層12及びトンネル層11を形成する。このため、どうしてもチャージ層12が連続的に成膜されてしまい、メモリセル間で電子の移動が発生する。
次に、本発明の第3の実施形態について説明する。
本実施形態は、チャージ層をシリコンを含む金属酸化物によって形成した例である。
図7は、本実施形態に係るフラッシュメモリを例示する断面図である。
図7に示すように、本実施形態に係るフラッシュメモリ31は、前述の第1の実施形態に係るフラッシュメモリ1(図1参照)と比較して、窒化シリコンからなるチャージ層12(図1参照)の替わりに、シリコンを含む金属酸化物からなるチャージ層32が設けられている点が異なっている。チャージ層32は、例えば、ハフニウム(Hf)、ジルコニウム(Zr)、タンタル(Ta)、チタン(Ti)又はタングステン(W)等の金属がシリサイド化され酸化された材料によって形成されている。フラッシュメモリ31においては、前述の第1の実施形態と同様に、チャージ層32は電極膜4ごとに分断されている。本実施形態に係るフラッシュメモリの上記以外の構成、動作及び効果は、前述の第1の実施形態と同様である。
本実施形態は、チャージ層をシリコンを含む金属酸化物によって形成した例である。
図7は、本実施形態に係るフラッシュメモリを例示する断面図である。
図7に示すように、本実施形態に係るフラッシュメモリ31は、前述の第1の実施形態に係るフラッシュメモリ1(図1参照)と比較して、窒化シリコンからなるチャージ層12(図1参照)の替わりに、シリコンを含む金属酸化物からなるチャージ層32が設けられている点が異なっている。チャージ層32は、例えば、ハフニウム(Hf)、ジルコニウム(Zr)、タンタル(Ta)、チタン(Ti)又はタングステン(W)等の金属がシリサイド化され酸化された材料によって形成されている。フラッシュメモリ31においては、前述の第1の実施形態と同様に、チャージ層32は電極膜4ごとに分断されている。本実施形態に係るフラッシュメモリの上記以外の構成、動作及び効果は、前述の第1の実施形態と同様である。
次に、本発明の第4の実施形態について説明する。
本実施形態は、前述の第3の実施形態に係るフラッシュメモリの製造方法の実施形態である。
図8(a)〜(c)は、本実施形態に係るフラッシュメモリの製造方法を例示する工程断面図である。なお、図8においては、上層絶縁膜6(図1参照)は図示が省略されている。
本実施形態は、前述の第3の実施形態に係るフラッシュメモリの製造方法の実施形態である。
図8(a)〜(c)は、本実施形態に係るフラッシュメモリの製造方法を例示する工程断面図である。なお、図8においては、上層絶縁膜6(図1参照)は図示が省略されている。
先ず、図5(a)に示すように、シリコン基板2上に積層体5及び上層絶縁膜6を形成する。次に、図5(b)に示すように、積層体5及び上層絶縁膜6に貫通ホール7を形成する。ここまでの工程は、前述の第2の実施形態と同様である。
次に、図8(a)に示すように、例えば、ハフニウム(Hf)、ジルコニウム(Zr)、タンタル(Ta)、チタン(Ti)又はタングステン(W)等の金属をCVD法等によって堆積させることにより、全面に金属膜41を形成する。これにより、貫通ホール7の内面上にも、全面に金属膜41が形成される。その後、アニール処理を行い、金属膜41を形成している金属を電極膜4を形成しているシリコンと反応させ、金属膜41における電極膜4に接している部分をシリサイド化させる。なお、このとき、金属膜41におけるシリコン基板21に接している部分もシリサイド化する。
次に、貫通ホール7の内面を例えばアルカリ性の薬液に接触させることにより、金属膜41におけるシリサイド化していない部分を溶解させて除去する。このとき、金属膜41におけるシリサイド化している部分は、溶解せずに残留する。これにより、貫通ホール7の内側面上における電極膜4に相当する領域のみに、シリサイド化した金属膜41を選択的に残留させることができる。
次に、図8(b)に示すように、酸化処理を施し、シリサイド化された金属膜41を酸化する。これにより、シリコンを含む金属酸化物からなるチャージ層32が形成される。このとき、チャージ層32内を酸素が拡散するため、チャージ層32と電極膜4との界面に、酸化シリコンからなるブロック層13が形成される。このようにして、貫通ホール7の内側面上における電極膜4に相当する領域のみに、チャージ層32及びブロック層13を形成することができる。その後、RIE等の異方性エッチングを行い、貫通ホール7の底面に形成された酸化シリコン層及び金属酸化層を除去する。
次に、図8(c)に示すように、再び酸化処理を施して、貫通ホール7の内面上の全面に、酸化シリコン層を形成する。そして、RIE等の異方性エッチングを行い、この酸化シリコン層のうち、貫通ホール7の底面上に形成された部分を除去する。これにより、貫通ホール7の内側面上の全面に、酸化シリコンからなるトンネル層11が形成される。
以後、前述の第2の実施形態と同様に、貫通ホール7内に導電体16を埋設し、上層絶縁膜6の上層部分にビット線8を形成する。これにより、本実施形態に係るフラッシュメモリが製造される。本実施形態における上記以外の製造方法は、前述の第2の実施形態と同様である。このように、本実施形態によれば、チャージ層がシリコンを含む金属酸化層によって形成されたフラッシュメモリ31を製造することができる。
以上、実施形態を参照して本発明を説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではない。例えば、前述の各実施形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除、設計変更を行ったもの、又は、工程の追加、省略、条件変更を行ったものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含有される。例えば、チャージ層の材料の窒化シリコン及びシリコンを含む金属酸化物には限定されない。また、トンネル層及びブロック層の材料も酸化シリコンには限定されない。更に、導電体の形状は円柱形状には限定されず、例えば、円筒形状であってもよい。
1、31、101 フラッシュメモリ、2 シリコン基板、3 絶縁膜、4 電極膜、5 積層体、6 上層絶縁膜、7 貫通ホール、8 ビット線、11 トンネル層、12、32 チャージ層、13 ブロック層、14 ONO膜、16 導電体、21 レジストパターン、21a 開口部、22 窒化シリコン層、23 酸化シリコン層、41 金属膜、e 電子
Claims (5)
- 基板と、
前記基板上に交互に積層され、積層方向に延びる貫通ホールが形成されたそれぞれ複数の絶縁膜及び電極膜と、
前記貫通ホールの内側面上に形成され、絶縁材料からなるトンネル層と、
前記トンネル層と前記電極膜との間に形成され、前記トンネル層とは異なる材料によって形成されたチャージ層と、
前記チャージ層と前記電極膜との間に形成され、前記チャージ層とは異なる絶縁材料によって形成されたブロック層と、
前記貫通ホールの内部に埋設された導電体と、
を備え、
前記チャージ層は、前記電極膜ごとに分断されていることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 基板上に、それぞれ複数の絶縁膜及び電極膜が交互に積層され、積層方向に延びる貫通ホールが形成された積層体を形成する工程と、
前記貫通ホールの内面のうち、前記電極膜に相当する領域に選択的にチャージ層を形成する工程と、
前記チャージ層と前記電極膜との間に、前記チャージ層とは異なる絶縁材料からなるブロック層を形成する工程と、
前記貫通ホールの内側面上に、前記チャージ層とは異なる絶縁材料からなるトンネル層を形成する工程と、
前記貫通ホールの内部に導電体を埋設する工程と、
を備えたことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置の製造方法。 - 前記積層体を形成する工程において、前記電極膜をシリコンにより形成し、
前記チャージ層を形成する工程は、前記領域に露出しているシリコンを選択的に窒化する工程であり、
前記ブロック層を形成する工程は、前記電極膜における前記チャージ層に接する部分を酸化する工程であり、
前記トンネル層を形成する工程は、前記貫通ホールの内面上に酸化シリコン層を形成する工程である
ことを特徴とする請求項2記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。 - 前記シリコンの選択的な窒化は、圧力が0.5Torr以上の窒素ガスを接触させることによって行い、
前記チャージ層に接する部分の酸化は、圧力が2気圧以上の水蒸気(H2O)を接触させることによって行う
ことを特徴とする請求項3記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。 - 前記積層体を形成する工程において、前記電極膜をシリコンにより形成し、
前記チャージ層を形成する工程は、
前記貫通ホールの内側面上の全面に金属膜を形成する工程と、
前記金属膜を形成している金属を前記電極膜を形成しているシリコンと反応させ、前記金属膜における前記電極膜に接している部分をシリサイド化させる工程と、
前記金属膜におけるシリサイド化していない部分を除去する工程と、
を有し、
前記ブロック層を形成する工程は、前記電極膜における前記チャージ層に接する部分を酸化する工程であり、
前記トンネル層を形成する工程は、前記貫通ホールの内面上に酸化シリコン層を形成する工程である
ことを特徴とする請求項2記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
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