CN102639644A - 用于制备氢化聚锗烷的方法和氢化聚锗烷 - Google Patents

用于制备氢化聚锗烷的方法和氢化聚锗烷 Download PDF

Info

Publication number
CN102639644A
CN102639644A CN2010800551644A CN201080055164A CN102639644A CN 102639644 A CN102639644 A CN 102639644A CN 2010800551644 A CN2010800551644 A CN 2010800551644A CN 201080055164 A CN201080055164 A CN 201080055164A CN 102639644 A CN102639644 A CN 102639644A
Authority
CN
China
Prior art keywords
germane
hydrogenation
gathers
gather
aforesaid right
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN2010800551644A
Other languages
English (en)
Inventor
诺伯特·奥尼尔
克里斯蒂安·鲍赫
斯文·霍尔
鲁门·德尔特舍维
加瓦德·莫赫森尼
格尔德·利波尔德
托拉尔夫·格贝尔
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Spawnt Private SARL
Original Assignee
Spawnt Private SARL
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=43499339&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=CN102639644(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Spawnt Private SARL filed Critical Spawnt Private SARL
Publication of CN102639644A publication Critical patent/CN102639644A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G77/00Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule
    • C08G77/60Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule in which all the silicon atoms are connected by linkages other than oxygen atoms
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/04Hydrides of silicon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01GCOMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
    • C01G17/00Compounds of germanium
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G79/00Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing atoms other than silicon, sulfur, nitrogen, oxygen, and carbon with or without the latter elements in the main chain of the macromolecule
    • C08G79/14Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing atoms other than silicon, sulfur, nitrogen, oxygen, and carbon with or without the latter elements in the main chain of the macromolecule a linkage containing two or more elements other than carbon, oxygen, nitrogen, sulfur and silicon
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P20/00Technologies relating to chemical industry
    • Y02P20/50Improvements relating to the production of bulk chemicals
    • Y02P20/582Recycling of unreacted starting or intermediate materials

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)
  • Silicon Polymers (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
  • Polymers With Sulfur, Phosphorus Or Metals In The Main Chain (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
  • Catalysts (AREA)

Abstract

提出了一种用于制备作为纯化合物或化合物混合物的氢化聚锗烷的方法,其中使卤化聚锗烷氢化。此外,还提出了一种氢化聚锗烷、一种由氢化聚锗烷制备的锗层及其制备方法。

Description

用于制备氢化聚锗烷的方法和氢化聚锗烷
本发明涉及一种用于制备氢化聚锗烷的方法以及作为纯化合物或化合物混合物的氢化聚锗烷。
用于制备聚锗烷的已知方法借助于GeH4作为原材料来实施,由此一方面必须用到危害健康的物质,而另一方面通常只得到低产率。尤其是,至今为止不能有针对性地制备长链化合物。
聚锗烷例如由公开文献US 2007/0078252 A1公开。
本发明的实施形式的任务在于,提供一种用于制备氢化聚锗烷的方法,其相对于已知的方法具有得到改善的产率且避免使用GeH4作为原材料,以及提供具有经改善的特性的氢化聚锗烷。所述任务通过根据权利要求1所述的方法和根据权利要求8所述的氢化聚锗烷来实现。由氢化聚锗烷制备的锗层、用于制备锗层的方法以及用于制备氢化聚锗烷的方法和氢化聚锗烷的其他实施形式是其他权利要求的主题。
提出了一种用于制备作为纯化合物或化合物混合物的氢化聚锗烷的方法,其中使卤化聚锗烷氢化。氢化聚锗烷可理解为例如纯化合物或化合物混合物,其分别具有至少一个在两个锗原子之间的直接键合。氢化聚锗烷可具有:取代基Z,其包含氢;为至少1∶1的Z∶锗的比例;通用式为GeZx,其中x选自1≤x≤3;优选1.5≤x≤3、尤其是2≤x≤3,以及平均链长n,其中2≤n≤100。
下面应这样理解术语“纯化合物”,即纯化合物具有氢化聚锗烷化合物,其在链长上无区别,如果存在的话在氢化聚锗烷化合物的分支和/或其环的数目和类型上也无区别。换言之,在纯化合物中只存在一种氢化聚锗烷馏分。“纯”在此应理解为根据常见的精细化学品的尺度。因此,纯化合物也可能包含低份额的杂质,例如痕量的碳或卤素,或者低份额的不同的氢化聚锗烷馏分。低份额在此是小于0.5mol%,优选小于10ppm。
与此类似,下面应这样理解“化合物混合物”,即氢化聚锗烷具有至少两种馏分,所述氢化聚锗烷在链长上、如果存在的话在其分支上和/或在其环的类型和数目上有区别。
因此,纯化合物的所有分子或者化合物混合物的至少两个馏分的所有分子分别具有至少一个在两个锗原子之间的直接键合。由此提供了一种用于制备氢化聚锗烷的方法,借助该方法尤其是就长链聚锗烷而言相对于已知的制备方法提高了产率。通过由卤化聚锗烷制备氢化聚锗烷,还能够将卤化聚硅烷中存在的结构在很大程度上保留在氢化聚硅烷中,或者与其协调。
“在很大程度上”在这种情况下是至少为50%。但在氢化过程中,也可能出现卤化聚硅烷的已有结构的重排,重排例如在氢化聚硅烷中引起比原材料(卤化聚锗烷)中存在的分支更多的分支。然而,通过所述方法制备的氢化聚锗烷根据由何种卤化聚锗烷来制备而保持可区分。
利用所述方法能够制备完全氢化的聚锗烷的纯化合物或化合物混合物,其通式为GexHy,其中x≥2,x≤y≤2x+2。所述制备通过使通式为GexXy的卤化聚硅烷氢化来进行,其中x≥2,X=F,Cl,Br,I,x≤y≤2x+2。
利用这种方法能够制备氢化聚锗烷以及氢化低聚锗烷。氢化低聚锗烷具有链长n,n选自2≤n≤8的范围。氢化低聚锗烷的总式为GenZ2n+2或混合物的平均总式为GenZ2n,其中Z是取代基且包含氢。氢化聚锗烷具有n>8的链长n,和总式GenZ2n+2或混合物的平均总式GenZ2n。原则上说,2≤n≤6的链长称作短链,而n>6的链长称作长链。“链长”应理解为互相直接键合的锗原子的数目。
卤化聚锗烷可以选自热制备的卤化聚锗烷和等离子体化学制备的卤化聚锗烷。热制备的卤化聚锗烷可以具有与等离子体化学制备的卤化聚锗烷相比份额更高的分支,等离子体化学制备的卤化聚锗烷很大程度上可以不含分支。卤化聚锗烷可以是纯化合物或化合物混合物。
用于制备等离子体化学制备的卤化聚锗烷的方法例如在出版物US 2010/0155219中公开。为此参考所述出版物。
卤化的,特别是高度卤化的聚锗烷能够具有选自F、Cl、Br和I及其混合物的取代基。所述卤素在氢化过程中能够很大程度地完全被作为取代基的H取代。很大程度地完全在此指的是至少到50%。借助于所述方法制备的氢化聚锗烷的卤素含量可小于2原子%,特别是小于1原子%。因此,氢化聚锗烷可以仅具有氢,或者具有氢和作为取代基Z的卤素,例如氯。
化合物或混合物的氯含量,就是说氯化聚锗烷和由其制备的氢化聚锗烷的氯含量在本申请的范围内通过彻底分解样品且随后根据莫尔法滴定氯化物来测定。H含量的测定在使用内标物的情况下通过1H-NMR光谱积分和在已知混合比例的情况下比较所得的积分来进行。借助于凝固点降低法来测定根据本发明的卤化和氢化的聚锗烷的摩尔质量或卤化和氢化的聚锗烷混合物的平均摩尔质量。由所述的参变量可以确定卤素或氢∶锗的比例。
卤化聚锗烷能够与带一个负电荷的氢化剂反应,所述氢化剂选自金属氢化物和/或准金属氢化物。金属氢化物和/或准金属氢化物也应理解为混合的金属或准金属氰化物,即具有不同金属或准金属或金属和有机残基的氢化物。所述氢化剂可以选自MH、MBH4、MBH4-xRx、MAlH4、AlHxR3-x和它们的适合的混合物。例如LiAlH4、DibAlH(二异丁基=Dib)、LiH和HCl。可以优选温和的氢化剂,其实现对卤化聚锗烷的氢化而不改变锗烷骨架。
所述氢化根据一种实施形式可以在选自-60℃至200℃的范围的温度下实施。温度范围优选可以是-30℃至40℃,特别是-10℃至25℃。此外,氢化可以在选自1Pa至2000hPa、优选1hPa至1500hPa、尤其是20hPa至1200hPa的范围的压力下实施。因此在与现有技术比较更低温度和压力的情况下设置温和的氢化条件。由此也能够以良好的产率和高转化率氢化不太稳定的卤化聚锗烷。
所述卤化聚锗烷可以在氢化之前在溶剂中稀释。在此,选择溶剂使得其对卤化聚锗烷是惰性的,不与其发生化学反应。作为惰性溶剂还可以选择烷类或芳烃类,例如笨、甲苯或几万。也可以考虑溶剂的混合物。可替选地,所述氢化还可以利用未溶解的卤化聚硅烷来实施。
利用所述方法于是能够以良好的产率、任意链长和具有危险不大的前体地制备氢化聚锗烷。另外,通过适当地选择前体能够很大程度地预先给定氢化聚锗烷的结构。此外,利用所述方法能够很大程度上实现卤化聚锗烷的完全氢化。
此外,还提出了作为纯化合物或化合物混合物的氢化聚锗烷。所述氢化聚锗烷具有:包含氢的取代基Z;为至少1∶1的Z∶锗的比例;通用式GeZx,其中x选自1≤x≤3,优选1.5≤x≤3,特别优选2≤x≤3;和平均链长n,其中2≤n≤100。氢化聚锗烷例如可以理解为纯化合物或化合物混合物,其分别具有至少一个在两个锗原子之间的直接键合。
就术语“纯化合物”和“化合物混合物”而言,已经在结合方法的所述内容类似地适用。同样,“纯”应理解为根据常见的精细化学品的尺度。因此,纯化合物还可能包含低份额的杂质,例如痕量的碳或卤素。低份额在此是小于0.5mol%,优选小于10ppm。
“链长”应理解为互相直接键合的锗原子的数目。氢化聚锗烷的链长可以特别选自4≤n≤50,尤其是6≤n≤20。
因此,通用式GeZx应这样理解,即氢化聚锗烷中锗原子具有平均1至3个取代基Z。在此,还应考虑线型聚锗烷中的锗原子以及环中或分支的聚锗烷中的锗原子。这类氢化聚锗烷由于其化学特性而适用于很多应用。
氢化聚锗烷可以根据上述实施方案的方法来制备。由此,所述氢化聚锗烷是通过氢化卤化聚锗烷来制备的。通过所述制备方法,氢化聚锗烷的结构于是能够从卤化聚锗烷的结构衍生出来或者与其相协调。
例如,可以通过氢化等离子体化学制备的卤化聚锗烷来获得很大程度线型的氢化聚锗烷,或者通过氢化热制备的卤化聚锗烷来获得具有高份额的分支的氢化聚锗烷。所述氢化能够很大程度地进行完全,使得聚锗烷中取代基Z很大程度上包含氢。“很大程度上”在此应同样理解为取代基中氢的份额为至少50%。然而,所述氢化也能够进行完全,使得份额为100%的氢作为取代基Z存在。
根据一种实施形式,氢化聚锗烷可以具有一部分带有超过3个直接键合的锗原子的聚锗烷分子,其中至少8%,尤其是超过11%的所述锗原子是在分支位置。所述一部分带有超过3个直接键合的锗原子的聚锗烷在此可以是纯化合物,或者在化合物混合物情况下是氢化聚锗烷的馏分。在任何情况下,这种聚锗烷分子都具有n>3的链长。分支位置指的是与超过两个其他锗原子键合的锗原子,即其只具有一个或者不具有取代基。分支位置例如能够借助于1H-NMR光谱来测定。
作为化合物混合物的氢化聚锗烷可以在混合物形式上具有比在该混合物中所包含的至少一种单个化合物更高的溶解性。因此,该混合物的至少一种单组分具有比与该化合物混合物的其他组分结合的单组分更低的溶解性。其原因在于,所述混合物的各种组分彼此起到增溶剂的作用。原则上说,短链分子具有比长链分子更好的溶解性,使得其在化合物混合物方面也改善了长链分子的溶解性。
根据另一种实施形式,所述氢化聚锗烷可以具有一部分带有超过3个直接键合的锗原子的聚锗烷分子,其中所述聚锗烷分子的通用式为GeZx,其中2.2≤x≤2.5。尤其是,x可以选自2.25≤x≤2.4。
此外,氢化聚锗烷可以具有附加包含卤素的取代基Z。因此,所述氢化聚锗烷除了具有氢之外还可以具有卤素作为取代基,例如F、Br、I或Cl或它们的混合物。卤素在氢化聚锗烷中的份额可以小于2原子%,尤其是小于1原子%。因此,提供了很大程度氢化的聚锗烷,其只具有低份额的卤素取代基。
此外,氢化聚锗烷可以具有份额大于50原子%、优选大于60原子%、尤其是大于66原子%的氢。因此,氢化聚锗烷具有非常高的氢的份额,由此在氢含量高的同时制备为至少1∶1的取代基∶锗的比例。
此外,在1H-NMR光谱中,氢化聚锗烷可以在6.5ppm和2.0ppm之间、尤其是在4.0ppm和2.1ppm之间的化学位移范围内具有明显的产品信号。“明显的”在本上下文中指的是,积分大于总积分的1%。此外,在1H-NMR光谱中,氢化聚锗烷可以在3.6ppm到2.9ppm之间的化学位移范围内具有明显产品信号的总积分的至少80%的信号强度。
此外,氢化聚锗烷可以在拉曼光谱中在2250至2000波数和低于330波数的范围内具有明显的产品带。“明显的”在本上下文中指的是,超过最高峰值的强度的10%。
根据一种实施形式,氢化聚锗烷是无色至浅黄色或象牙白的。可以作为无定形或结晶的固体存在。优选不是高粘度的。
此外,氢化聚锗烷在浓度直至10%时在惰性溶剂中至少20%是可溶的。这表示,所述氢化聚锗烷的化合物混合物中的至少一种化合物易溶于惰性溶剂中。惰性溶剂应理解为不与所述氢化聚硅烷反应的溶剂。溶剂例如可以选自苯、甲苯、环己烷、SiCl4和GeCl4
上述化合物混合物的易溶的氢化聚锗烷在降低的压力下超过20%,优选超过80%会不分解地挥发和/或是可蒸馏的。所述降低的压力在此包括优选1Pa至100Pa。因此,所述氢化聚硅烷可以良好地分离。
此外,还提出了一种锗层,所述锗层由根据前述实施方案的氢化聚锗烷来制备。
氢化聚锗烷是在技术尺度上容易提供的用于制备锗层的初始化合物。由于低于500℃、优选低于450℃的低热解温度,氢化聚锗烷是可以在低温下将锗层沉积在基材上的前体。低的热解温度可以实现对用于载体层或基材的材料的更大选择,在所述载体层或基材上涂覆锗层,例如由玻璃构成的载体层。另外,应减少或避免杂质从载体材料向所生成的锗层中扩散。
提出了一种用于在基材上制备锗层的方法,所述方法包括如下方法步骤:A)将根据前述实施方案的固态或溶解的氢化聚锗烷涂覆在基材上,和B)热解所述氢化聚锗烷。所述方法以高产率和高转化率引起由氢化聚锗烷制备的锗层。所述氢化聚锗烷能够以比传统的锗-前体更高的产率和更高的转化率来加工成锗层。在此能够以简单地方式将溶解的或固态的氢化聚锗烷涂覆在基材上。因此不需要CVD-(化学气相沉积)、PVD-(物理气相沉积)或等离子体沉积。由此提供了一种用于制备锗层的简化方法。
也可以考虑氢化聚锗烷在锗化学中的其他应用,例如制备传导性聚合物、发光二极管或其他结构元件。
下面将说明用于制备氢化聚锗烷的实施例。
通过GeCl4与H2的等离子体反应产生的聚氯锗烷(PCG),作为分别是黄色至橙褐色的固体或粘稠的油存在。将8.5g(60mmol GeCl2-当量)PCG与40mL绝对苯混合,并且由此部分溶解。在0℃时,在30分钟的过程中滴加26ml的二异丁基氢化铝(145mmol,约20%过量)。橙色沉积物在约1小时的过程中经反应成为浅黄色的粉末。搅拌反应混合物16小时并且过滤,每次用25ml绝对己烷冲洗两次。在真空中干燥之后分离得到2.1g的氢化聚锗烷。
本发明并不限于依据实施例的说明。更确切地说,本发明包括任意新技术特征以及技术特征的组合,尤其是包含在权利要求中的技术特征的任意组合,即使在权利要求或实施例中没有明确说明这些技术特征及其组合。

Claims (24)

1.一种用于制备氢化聚锗烷的方法,所述氢化聚锗烷作为纯化合物或化合物混合物,其中,使卤化聚锗烷氢化。
2.根据上一权利要求所述的方法,其中,所述卤化聚锗烷选自热制备的卤化聚锗烷和等离子体化学制备的卤化聚锗烷。
3.根据上述权利要求之一所述的方法,其中,所述卤化聚锗烷与带一个负电荷的氢化剂反应,所述氢化剂选自金属氢化物和/或准金属氢化物。
4.根据上一权利要求所述的方法,其中,所述氢化剂选自MH、MBH4、MBH4-xRx、MAlH4、AlHxR3-x及其混合物。
5.根据上述权利要求之一所述的方法,其中,所述氢化在选自-60℃至200℃的范围的温度下实施。
6.根据上述权利要求之一所述的方法,其中,所述氢化在选自1Pa至2000hPa的范围的压力下实施。
7.根据上述权利要求之一所述的方法,其中,所述将卤化聚锗烷在氢化之前在溶剂中稀释。
8.一种氢化聚锗烷,其作为纯化合物或化合物混合物,所述氢化聚锗烷具有:
-包含氢的取代基Z,
-为至少1∶1的Z∶锗的比例,
-通用式GeZx,其中x选自1≤x≤3,以及
-平均链长n,其中2≤n≤100。
9.根据上一权利要求所述的氢化聚锗烷,其根据权利要求1至7所述的方法来制备。
10.根据上述权利要求8或9之一所述的氢化聚锗烷,其具有一部分带有超过3个直接键合的锗原子的聚锗烷分子,其中至少8%的所述锗原子是分支位置。
11.根据上述权利要求8至10之一所述的氢化聚锗烷,其是化合物混合物,其中所述混合物的溶解性高于所述混合物中包含的至少一种单个化合物的溶解性。
12.根据上述权利要求8至11之一所述的氢化聚锗烷,其具有一部分带有超过三个直接键合的锗原子的聚锗烷分子,其中所述聚锗烷分子的通用式为GeZx,其中2.2≤x≤2.5。
13.根据上述权利要求8至12之一所述的氢化聚锗烷,其中,Z额外包含卤素。
14.根据前述权利要求所述的氢化聚锗烷,其卤素的份额小于2原子%。
15.根据上述权利要求8至14之一所述的氢化聚锗烷,其中,氢的份额大于50原子%。
16.根据上述权利要求8至15之一所述的氢化聚锗烷,其在1H-NMR光谱中在6.5ppm到2.0ppm之间的化学位移范围内具有明显的产品信号。
17.根据上述权利要求8至16之一所述的氢化聚锗烷,其在1H-NMR光谱中在3.6ppm到2.9ppm之间的化学位移范围内具有明显产品信号的总积分的至少80%的信号强度。
18.根据上述权利要求8至17之一所述的氢化聚锗烷,其在拉曼光谱中在2250至2000波数和330波数以下的范围中具有明显的产品带。
19.根据上述权利要求8至18之一所述的氢化聚锗烷,其是无色至浅黄色或象牙白的。
20.根据上述权利要求8至19之一所述的氢化聚锗烷,其作为无定形或结晶的固体存在。
21.根据上述权利要求8至20之一所述的氢化聚锗烷,其在浓度直至10%时在惰性溶剂中至少20%是可溶的。
22.根据上一权利要求所述的氢化聚锗烷,其中,可溶的氢化聚锗烷在降低的压力下超过20%是不分解地挥发的和/或可蒸馏的。
23.一种锗层,其由根据权利要求8至22所述的氢化聚锗烷来制备。
24.一种用于在基材上制备锗层的方法,其包括下列方法步骤:
A)将根据权利要求8至22所述的、固态或溶解的氢化聚锗烷涂覆在基材上,和
B)热解所述氢化聚锗烷。
CN2010800551644A 2009-12-04 2010-12-06 用于制备氢化聚锗烷的方法和氢化聚锗烷 Pending CN102639644A (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102009056731.3 2009-12-04
DE102009056731A DE102009056731A1 (de) 2009-12-04 2009-12-04 Halogenierte Polysilane und Polygermane
PCT/EP2010/068979 WO2011067411A1 (de) 2009-12-04 2010-12-06 Verfahren zur herstellung von hydriertem polygerman und hydriertes polygerman

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN102639644A true CN102639644A (zh) 2012-08-15

Family

ID=43499339

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2010800551644A Pending CN102639644A (zh) 2009-12-04 2010-12-06 用于制备氢化聚锗烷的方法和氢化聚锗烷
CN201080055163.XA Expired - Fee Related CN102639609B (zh) 2009-12-04 2010-12-06 动力学稳定的氯化聚硅烷及其制备和用途
CN201080054817.7A Expired - Fee Related CN102666381B (zh) 2009-12-04 2010-12-06 制备卤化聚硅烷的方法

Family Applications After (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201080055163.XA Expired - Fee Related CN102639609B (zh) 2009-12-04 2010-12-06 动力学稳定的氯化聚硅烷及其制备和用途
CN201080054817.7A Expired - Fee Related CN102666381B (zh) 2009-12-04 2010-12-06 制备卤化聚硅烷的方法

Country Status (9)

Country Link
US (7) US9139702B2 (zh)
EP (7) EP2507169A1 (zh)
JP (6) JP2013512844A (zh)
CN (3) CN102639644A (zh)
BR (2) BR112012014106A2 (zh)
CA (2) CA2782226A1 (zh)
DE (1) DE102009056731A1 (zh)
TW (7) TW201139283A (zh)
WO (7) WO2011067417A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104619644A (zh) * 2012-08-20 2015-05-13 奥瑟亚新材料股份有限公司 锗烷气体制备装置及利用其制备单锗烷气体的方法

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009056731A1 (de) 2009-12-04 2011-06-09 Rev Renewable Energy Ventures, Inc. Halogenierte Polysilane und Polygermane
CN102918684B (zh) 2010-05-28 2016-09-14 巴斯夫欧洲公司 膨胀石墨在锂/硫电池组中的用途
DE102012224202A1 (de) * 2012-12-21 2014-07-10 Evonik Industries Ag Verfahren zum Hydrieren höherer Halogen-haltiger Silanverbindungen
DE102013207444A1 (de) * 2013-04-24 2014-10-30 Evonik Degussa Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Polychlorsilanen
DE102013207447A1 (de) * 2013-04-24 2014-10-30 Evonik Degussa Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Octachlortrisilan
US9174853B2 (en) 2013-12-06 2015-11-03 Gelest Technologies, Inc. Method for producing high purity germane by a continuous or semi-continuous process
DE102014007766A1 (de) * 2014-05-21 2015-11-26 Psc Polysilane Chemicals Gmbh Verfahren zur plasmachemischen Herstellung halogenierter Oligosilane aus Tetrachlorsilan
DE102014007685B4 (de) 2014-05-21 2022-04-07 Sven Holl Verfahren zur Herstellung von Hexachlordisilan
DE102014007767A1 (de) * 2014-05-21 2015-11-26 Psc Polysilane Chemicals Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung halogenierter Oligosilane aus Silicium und Tetrachlorsilan
DE102014007768A1 (de) 2014-05-21 2015-11-26 Psc Polysilane Chemicals Gmbh Verfahren zur Herstellung von Mischungen chlorierter Silane mit erhöhten Anteilen von Si4Cl10 und/oder Si5Cl12
DE102015009129B4 (de) * 2014-07-22 2016-12-15 Norbert Auner Verfahren zur Spaltung von Silicium-Silicium-Bindungen und/oder von Silicium-Chlor-Bindungen in Mono-, Poly- und/oder Oligosilanen
DE102014013250B4 (de) * 2014-09-08 2021-11-25 Christian Bauch Verfahren zur Aufreinigung halogenierter Oligosilane
WO2016095953A1 (de) * 2014-12-15 2016-06-23 Spawnt Private S.À.R.L. Verfahren zur herstellung von chlorierten oligosilanen
DE102016014900A1 (de) * 2016-12-15 2018-06-21 Psc Polysilane Chemicals Gmbh Verfahren zur Erhöhung der Reinheit von Oligosilanen und Oligosilanverbindungen
DE102016225872A1 (de) * 2016-12-21 2018-06-21 Evonik Degussa Gmbh Verfahren zur Trennung von Gemischen höherer Silane
EP3596117A4 (en) 2017-03-17 2021-01-13 The Johns Hopkins University TARGETED EPIGENETIC THERAPY AGAINST THE DISTAL EXPRESSION REGULATORY ELEMENT OF TGFB2
BR112020022309A2 (pt) * 2018-05-02 2021-02-23 Hysilabs, Sas compostos carreadores de hidrogênio
JP7125062B2 (ja) * 2019-01-25 2022-08-24 株式会社東芝 判定方法及び処理方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4778692A (en) * 1985-02-20 1988-10-18 Canon Kabushiki Kaisha Process for forming deposited film
US20070078252A1 (en) * 2005-10-05 2007-04-05 Dioumaev Vladimir K Linear and cross-linked high molecular weight polysilanes, polygermanes, and copolymers thereof, compositions containing the same, and methods of making and using such compounds and compositions
JP2007254593A (ja) * 2006-03-23 2007-10-04 Jsr Corp ゲルマニウムポリマー、その製造法およびゲルマニウム膜の形成方法
WO2008110386A1 (de) * 2007-03-15 2008-09-18 Rev Renewable Energy Ventures, Inc. Plasmagestützte synthese
US7498015B1 (en) * 2004-02-27 2009-03-03 Kovio, Inc. Method of making silane compositions

Family Cites Families (104)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE108077C (zh)
DE1049835B (de) 1959-02-05 Kali-Chemie Aktiengesellschaft, Hannover Verfahren zur Herstellung von Siliciumhydriden
DE340912C (de) 1916-04-15 1921-09-21 Frank Robert Mc Berty Einrichtung fuer Fernsprechanlagen
GB778383A (en) * 1953-10-02 1957-07-03 Standard Telephones Cables Ltd Improvements in or relating to the production of material for semi-conductors
GB793718A (en) 1955-08-16 1958-04-23 Standard Telephones Cables Ltd Improvements in or relating to methods of producing silicon of high purity
GB832333A (en) 1956-09-28 1960-04-06 Standard Telephones Cables Ltd Improvements in methods of producing silane of high purity
DE1034159B (de) 1956-11-03 1958-07-17 Kali Chemie Ag Verfahren zur Herstellung von Siliciumhydriden
DE1061302B (de) 1956-12-12 1959-07-16 Kali Chemie Ag Verfahren zur Herstellung von Wasserstoffverbindungen der Elemente der IV. und V. Gruppe des Periodischen Systems
DE1055511B (de) 1956-12-15 1959-04-23 Kali Chemie Ag Verfahren zur Herstellung von Wasserstoffverbindungen der Elemente der IV. Hauptgruppe des Periodischen Systems mit den Ordnungszahlen 14 bis 50
GB823496A (en) 1957-12-27 1959-11-11 Metal Hydrides Inc Improvements in method of preparing high purity silicon
GB851962A (en) 1958-06-09 1960-10-19 Allied Chem Production of pure silane
DE1098931B (de) 1958-07-03 1961-02-09 Wacker Chemie Gmbh Verfahren zur Reinigung von geschmolzenem Silicium
US3050366A (en) 1959-07-15 1962-08-21 Du Pont Production of silane by the use of a zinc catalyst
DE1096341B (de) 1959-10-15 1961-01-05 Kali Chemie Ag Verfahren zur Herstellung von Monosilan
DE1187614B (de) 1963-07-02 1965-02-25 Bayer Ag Verfahren zur Herstellung von vorzugsweise organisch substituierten Wasserstoffverbindungen der Elemente Bor und Silicium
FR1429930A (fr) 1964-04-17 1966-02-25 Thomson Houston Comp Francaise Perfectionnements aux méthodes de préparation des hydrures
DE1568255A1 (de) 1965-03-03 1970-03-19 Ceskoslovenska Akademie Ved Verfahren zur Reduktion von Halosiliciumverbindungen
US3401183A (en) 1965-12-23 1968-09-10 Gen Electric Method for preparing organo germanium, tin and silicon hydrides
US3704261A (en) 1971-10-18 1972-11-28 Gen Electric Preparation of silicon hydrides
BE794871A (fr) 1972-02-02 1973-08-01 Rhone Poulenc Sa Nouvelles sulfones isopreniques
US3926833A (en) 1973-03-21 1975-12-16 Lithium Corp Preparation of mixed chlorohydrides of aluminum
FR2430917A1 (fr) 1978-07-11 1980-02-08 Comp Generale Electricite Procede et dispositif d'elaboration de silicium polycristallin
US4200621A (en) 1978-07-18 1980-04-29 Motorola, Inc. Sequential purification and crystal growth
US4295986A (en) 1979-05-14 1981-10-20 Gordon Roy G Low temperature catalytic reduction
US4309259A (en) 1980-05-09 1982-01-05 Motorola, Inc. High pressure plasma hydrogenation of silicon tetrachloride
US4312849A (en) 1980-09-09 1982-01-26 Aluminum Company Of America Phosphorous removal in silicon purification
DE3034957C2 (de) 1980-09-17 1983-01-13 Degussa Ag, 6000 Frankfurt Verfahren und Vorrichtung zum Innenbeschichten von Kontaktrohren
US4374111A (en) 1980-11-21 1983-02-15 Allied Corporation Production of silane
EP0054650B1 (de) * 1980-12-24 1986-01-29 Hüls Troisdorf Aktiengesellschaft Verfahren zum Reinigen von Chlorsilanen
US4374110A (en) 1981-06-15 1983-02-15 Motorola, Inc. Purification of silicon source materials
JPS58156522A (ja) 1982-03-11 1983-09-17 Mitsui Toatsu Chem Inc ジシランの製造方法
JPS59500416A (ja) * 1982-03-18 1984-03-15 ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ ハロゲン化けい素の精製法
US4755370A (en) 1982-03-18 1988-07-05 General Electric Company Purification of silicon halides
US4407783A (en) 1982-08-16 1983-10-04 Allied Corporation Producing silane from silicon tetrafluoride
FR2532293A1 (fr) 1982-08-31 1984-03-02 Rhone Poulenc Spec Chim Procede continu de preparation de silane
US4529707A (en) 1982-09-21 1985-07-16 General Electric Company Detection of boron impurities in chlorosilanes
FR2533906A1 (fr) 1982-09-30 1984-04-06 Rhone Poulenc Spec Chim Procede et dispositif pour la preparation de silane pur par reaction de chlorosilanes avec l'hydrure de lithium
CA1225230A (en) 1982-12-13 1987-08-11 Everett M. Marlett Process for the production of silane
US4632816A (en) * 1982-12-13 1986-12-30 Ethyl Corporation Process for production of silane
DE3247362A1 (de) 1982-12-22 1984-06-28 Studiengesellschaft Kohle mbH, 4330 Mülheim Verfahren zur herstellung von silicium-wasserstoff-verbindungen, insbesondere des silans
DE3342496A1 (de) 1983-11-24 1985-06-05 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zum reinigen von mg-silicium
JPS60176915A (ja) 1984-02-21 1985-09-11 Central Glass Co Ltd ジシランの製造法
JPS60221301A (ja) * 1984-04-13 1985-11-06 Mitsui Toatsu Chem Inc 水素化ゲルマニウムの製造方法
FR2576902B1 (fr) 1985-02-04 1987-02-13 Rhone Poulenc Spec Chim Procede de fabrication d'hydrogeno-silanes
JPS61191512A (ja) 1985-02-20 1986-08-26 Toagosei Chem Ind Co Ltd ジシランの製造方法
JPS61191022A (ja) * 1985-02-20 1986-08-25 Canon Inc 堆積膜形成法
JPH0688773B2 (ja) 1985-03-08 1994-11-09 三井東圧化学株式会社 ヘキサクロロジシランの製造方法
EP0316472A1 (en) 1987-11-17 1989-05-24 Ethyl Corporation Silane production from magnesium hydride
US4725419A (en) 1985-05-17 1988-02-16 Ethyl Corporation Silane production from magnesium hydride
JPS6217004A (ja) * 1985-07-12 1987-01-26 Mitsui Toatsu Chem Inc ゲルマン類の製造方法
US4824657A (en) 1985-11-27 1989-04-25 E. I. Du Pont De Nemours And Company Process for reducing silicon, germanium and tin halides
US4777023A (en) 1986-02-18 1988-10-11 Solarex Corporation Preparation of silicon and germanium hydrides containing two different group 4A atoms
US4792460A (en) * 1986-07-15 1988-12-20 Electric Power Research Institute, Inc. Method for production of polysilanes and polygermanes, and deposition of hydrogenated amorphous silicon, alloys thereof, or hydrogenated amorphous germanium
DE3635064A1 (de) 1986-10-15 1988-04-21 Bayer Ag Verfahren zur raffination von silicium und derart gereinigtes silicium
US4762808A (en) 1987-06-22 1988-08-09 Dow Corning Corporation Method of forming semiconducting amorphous silicon films from the thermal decomposition of fluorohydridodisilanes
US4847061A (en) 1987-07-20 1989-07-11 Ethyl Corporation Process for preparation of silane
JP2536027B2 (ja) 1988-03-16 1996-09-18 東亞合成株式会社 ジシランの製造方法
US4855120A (en) 1988-10-24 1989-08-08 Ethyl Corporation Production of silane and useful coproducts
DE3926595A1 (de) 1989-08-11 1991-02-14 Degussa Verfahren zur hydrierung halogensubstituierter verbindungen
JPH03205055A (ja) 1990-01-04 1991-09-06 Hara Herusu Kogyo Kk 浴槽の気泡発生装置
US5061470A (en) 1990-08-03 1991-10-29 Ethyl Corporation Silane production from hydridomagnesium chloride
JPH04130010A (ja) 1990-09-20 1992-05-01 Toagosei Chem Ind Co Ltd ジシランの製造方法
JP2965094B2 (ja) * 1991-06-28 1999-10-18 キヤノン株式会社 堆積膜形成方法
DE4239246C1 (de) * 1992-11-21 1993-12-16 Goldschmidt Ag Th Verfahren zur Herstellung von SiH-Gruppen aufweisenden Organopolysiloxanen
DE4306106A1 (de) 1993-02-27 1994-09-01 Thomas Dipl Chem Lobreyer Verfahren zur Herstellung von Silylgermanen
DE4313130C1 (de) 1993-04-22 1994-05-26 Goldschmidt Ag Th Verfahren zur Herstellung von Silanen bzw. Organosiliciumhydriden durch Reduktion der entsprechenden Siliciumhalogenide bzw. Organosiliciumhalogenide
JPH08231949A (ja) * 1995-02-22 1996-09-10 Osaka Gas Co Ltd 有機電界発光素子
US5866471A (en) * 1995-12-26 1999-02-02 Kabushiki Kaisha Toshiba Method of forming semiconductor thin film and method of fabricating solar cell
JPH09237927A (ja) * 1995-12-26 1997-09-09 Toshiba Corp 半導体薄膜形成方法および太陽電池の製造方法
DE19812587C1 (de) 1998-03-23 1999-09-23 Wolfgang Sundermeyer Verfahren zur Hydrierung halogensubstituierter Siliziumverbindungen
JP2002246384A (ja) 2001-02-21 2002-08-30 Jsr Corp シリコン酸化膜の形成方法および形成用組成物
FR2827592B1 (fr) 2001-07-23 2003-08-22 Invensil Silicium metallurgique de haute purete et procede d'elaboration
KR100434698B1 (ko) * 2001-09-05 2004-06-07 주식회사 하이닉스반도체 반도체소자의 선택적 에피성장법
TWI231750B (en) 2002-07-17 2005-05-01 Delta Tooling Co Ltd Seat structure
WO2004114368A2 (en) 2003-06-13 2004-12-29 Arizona Board Of Regents, A Body Corporate Of The State Of Arizona Acting For And On Behalf Of Arizona State University METHOD FOR PREPARING GE1-x-ySnxEy (E=P, As, Sb) SEMICONDUCTORS AND RELATED Si-Ge-Sn-E AND Si-Ge-E ANALOGS
US7879696B2 (en) * 2003-07-08 2011-02-01 Kovio, Inc. Compositions and methods for forming a semiconducting and/or silicon-containing film, and structures formed therefrom
DE10337309A1 (de) 2003-08-14 2005-03-10 Goldschmidt Ag Th Verfahren zur Herstellung von Silanen bzw. Organosiliciumhydriden durch Reduktion der entsprechenden Siliciumhalogenide bzw. Organosiliciumhalogenide
US7314513B1 (en) * 2004-09-24 2008-01-01 Kovio, Inc. Methods of forming a doped semiconductor thin film, doped semiconductor thin film structures, doped silane compositions, and methods of making such compositions
US7485691B1 (en) * 2004-10-08 2009-02-03 Kovio, Inc Polysilane compositions, methods for their synthesis and films formed therefrom
WO2006109427A1 (ja) * 2005-04-07 2006-10-19 Toagosei Co., Ltd. 六塩化二ケイ素の精製方法及び高純度六塩化二ケイ素
DE102005024041A1 (de) 2005-05-25 2006-11-30 City Solar Ag Verfahren zur Herstellung von Silicium aus Halogensilanen
EP1960310B1 (en) 2005-11-23 2013-08-21 THE ARIZONA BOARD OF REGENTS, a body corporate acting on behalf of ARIZONA STATE UNIVERSITY Silicon-germanium hydrides and methods for making and using same
WO2007062096A2 (en) 2005-11-23 2007-05-31 The Arizona Board Of Regents, A Body Corporate Acting On Behalf Of Arizona State University Silicon-germanium hydrides and methods for making and using same
NO326254B1 (no) * 2005-12-22 2008-10-27 Sinvent As Fremgangsmate for fremstilling av silan
KR101269201B1 (ko) * 2006-06-30 2013-05-28 삼성전자주식회사 폐 루프 방식의 다중 안테나 시스템에서 데이터송/수신장치 및 방법
DE102006034061A1 (de) * 2006-07-20 2008-01-24 REV Renewable Energy Ventures, Inc., Aloha Polysilanverarbeitung und Verwendung
AU2007298104A1 (en) 2006-09-29 2008-03-27 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Method for purification of silicon, silicon, and solar cell
EP2069368A4 (en) * 2006-10-06 2011-06-22 Kovio Inc SILICON POLYMERS, METHODS FOR POLYMERIZING SILICON COMPOUNDS, AND METHODS FOR FORMING THIN FILMS OF SILICON POLYMERS
EP2076558B8 (en) 2006-10-24 2018-08-01 Dow Silicones Corporation Composition comprising neopentasilane and method of preparing same
DE102007007874A1 (de) 2007-02-14 2008-08-21 Evonik Degussa Gmbh Verfahren zur Herstellung höherer Silane
KR20100022454A (ko) * 2007-03-30 2010-03-02 레브 리뉴어블 에너지 벤쳐스 인코포레이티드 촉매 수소화 반응
US8530589B2 (en) * 2007-05-04 2013-09-10 Kovio, Inc. Print processing for patterned conductor, semiconductor and dielectric materials
JP4714198B2 (ja) * 2007-09-05 2011-06-29 信越化学工業株式会社 クロロシラン類の精製方法
DE102007000841A1 (de) * 2007-10-09 2009-04-16 Wacker Chemie Ag Verfahren zur Herstellung von hochreinem Hexachlordisilan
DE102008025261B4 (de) 2008-05-27 2010-03-18 Rev Renewable Energy Ventures, Inc. Halogeniertes Polysilan und plasmachemisches Verfahren zu dessen Herstellung
DE102008025263B4 (de) 2008-05-27 2015-08-06 Spawnt Private S.À.R.L. Verfahren zum Aufreinigen von metallurgischem Silicium
DE102008025260B4 (de) 2008-05-27 2010-03-18 Rev Renewable Energy Ventures, Inc. Halogeniertes Polysilan und thermisches Verfahren zu dessen Herstellung
US20110305619A1 (en) 2008-05-27 2011-12-15 Spawnt Private S.A.R.L Silicon Containing Halogenide, Method for Producing the Same, and Use of the Same
DE102008036143A1 (de) 2008-08-01 2010-02-04 Berlinsolar Gmbh Verfahren zum Entfernen von nichtmetallischen Verunreinigungen aus metallurgischem Silicium
EP2328954B1 (de) 2008-09-17 2013-07-03 Spawnt Private S.à.r.l. Verfahren zur herstellung von halogenierten oligomeren und/oder halogenierten polymeren von elementen der iii. bis v. hauptgruppe
JP5206334B2 (ja) 2008-11-07 2013-06-12 東亞合成株式会社 クロロポリシランの製造方法
DE102008054537A1 (de) * 2008-12-11 2010-06-17 Evonik Degussa Gmbh Entfernung von Fremdmetallen aus Siliciumverbindungen durch Adsorption und/oder Filtration
DE102009056437B4 (de) 2009-12-02 2013-06-27 Spawnt Private S.À.R.L. Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von kurzkettigen halogenierten Polysilanen
DE102009056731A1 (de) 2009-12-04 2011-06-09 Rev Renewable Energy Ventures, Inc. Halogenierte Polysilane und Polygermane

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4778692A (en) * 1985-02-20 1988-10-18 Canon Kabushiki Kaisha Process for forming deposited film
US7498015B1 (en) * 2004-02-27 2009-03-03 Kovio, Inc. Method of making silane compositions
US20070078252A1 (en) * 2005-10-05 2007-04-05 Dioumaev Vladimir K Linear and cross-linked high molecular weight polysilanes, polygermanes, and copolymers thereof, compositions containing the same, and methods of making and using such compounds and compositions
JP2007254593A (ja) * 2006-03-23 2007-10-04 Jsr Corp ゲルマニウムポリマー、その製造法およびゲルマニウム膜の形成方法
WO2008110386A1 (de) * 2007-03-15 2008-09-18 Rev Renewable Energy Ventures, Inc. Plasmagestützte synthese

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104619644A (zh) * 2012-08-20 2015-05-13 奥瑟亚新材料股份有限公司 锗烷气体制备装置及利用其制备单锗烷气体的方法
CN104619644B (zh) * 2012-08-20 2016-12-14 爱思开新材料有限公司 锗烷气体制备装置及利用其制备单锗烷气体的方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20130001467A1 (en) 2013-01-03
DE102009056731A1 (de) 2011-06-09
EP2507171A1 (de) 2012-10-10
EP2507169A1 (de) 2012-10-10
TWI580710B (zh) 2017-05-01
TW201134767A (en) 2011-10-16
WO2011067413A2 (de) 2011-06-09
US20130004666A1 (en) 2013-01-03
JP2013512842A (ja) 2013-04-18
JP2016179935A (ja) 2016-10-13
US20130039830A1 (en) 2013-02-14
US20120315392A1 (en) 2012-12-13
EP2507296A1 (de) 2012-10-10
TW201139283A (en) 2011-11-16
EP2507299A2 (de) 2012-10-10
JP2013512841A (ja) 2013-04-18
JP6297778B2 (ja) 2018-03-20
WO2011067418A1 (de) 2011-06-09
TWI561559B (en) 2016-12-11
TW201134764A (en) 2011-10-16
JP5731531B2 (ja) 2015-06-10
US9139702B2 (en) 2015-09-22
TW201132682A (en) 2011-10-01
WO2011067411A1 (de) 2011-06-09
EP2507317A1 (de) 2012-10-10
BR112012013500A2 (pt) 2018-02-06
WO2011067410A1 (de) 2011-06-09
JP2013512845A (ja) 2013-04-18
BR112012014106A2 (pt) 2016-07-05
EP2507174A1 (de) 2012-10-10
TW201130892A (en) 2011-09-16
EP2507172A1 (de) 2012-10-10
TWI589527B (zh) 2017-07-01
CA2782247A1 (en) 2011-06-09
TW201132587A (en) 2011-10-01
CN102666381A (zh) 2012-09-12
WO2011067416A1 (de) 2011-06-09
WO2011067413A3 (de) 2011-09-22
TW201132708A (en) 2011-10-01
US20130043429A1 (en) 2013-02-21
CN102639609A (zh) 2012-08-15
US20120321540A1 (en) 2012-12-20
EP2507296B1 (de) 2013-10-23
CN102666381B (zh) 2014-12-31
CN102639609B (zh) 2014-07-09
US9458294B2 (en) 2016-10-04
US9040009B2 (en) 2015-05-26
WO2011067415A1 (de) 2011-06-09
US20120319041A1 (en) 2012-12-20
WO2011067417A1 (de) 2011-06-09
EP2507174B1 (de) 2013-11-06
JP2013512844A (ja) 2013-04-18
CA2782226A1 (en) 2011-06-09
EP2507172B1 (de) 2015-04-08
JP2013512843A (ja) 2013-04-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102639644A (zh) 用于制备氢化聚锗烷的方法和氢化聚锗烷
JP5658143B2 (ja) ハロゲン化ポリシラン及びこれを製造するためのプラズマ化学処理
DE102009053804B3 (de) Verfahren zur Herstellung von Hydridosilanen
CA2725366C (en) Halogenated polysilane and thermal process for producing the same
EP2651825B1 (de) Verfahren zur herstellung höherer halogen- und hydridosilane
Xu et al. Preparation and thermal properties of aluminum hydride polymorphs
KR101569594B1 (ko) 중간 사슬 길이의 폴리실란 및 그 제조방법
CN107075678A (zh) 产生薄无机膜的方法
Conesa-Egea et al. Cunning defects: emission control by structural point defects on Cu (i) I double chain coordination polymers
DE102009033351B3 (de) Verfahren zur Herstellung von Oligo- und Polysilanen
US20130214243A1 (en) Nanowires made of novel precursors and method for the production thereof
TW201433570A (zh) 製備含碳氫化矽烷之方法
EP3853172B1 (en) Methods for preparing arylphosphine-borane complexes
KR101306812B1 (ko) 신규의 텅스텐 실릴아미드 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법
EP3564339B1 (en) Functionalized semiconductor nanoparticles and method for the manufacture thereof
MACDIARMID 8 CATENATION IN INORGANIC SILICON COMPOUNDS ALAN G. MACDIARMID
CN110483306A (zh) 环丁胺的合成方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20120815