DE10337309A1 - Verfahren zur Herstellung von Silanen bzw. Organosiliciumhydriden durch Reduktion der entsprechenden Siliciumhalogenide bzw. Organosiliciumhalogenide - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Silanen bzw. Organosiliciumhydriden durch Reduktion der entsprechenden Siliciumhalogenide bzw. Organosiliciumhalogenide Download PDF

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Wilfried Knott
Philipp Tomuschat
Bernd Weyershausen
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Evonik Operations GmbH
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TH Goldschmidt AG
Goldschmidt GmbH
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C07F7/0825—Preparations of compounds not comprising Si-Si or Si-cyano linkages
    • C07F7/083—Syntheses without formation of a Si-C bond

Abstract

Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung von Silanen bzw. Organosiliciumhydriden durch Reduktion der entsprechenden Siliciumhalogenide bzw. Organosiliciumhalogenide mittels Magnesiumhydrid in einem flüssigen Reaktionsmedium, welches dadurch gekennzeichnet ist, dass die Umsetzung in unpolaren Lösungsmitteln unter Verwendung von Magnesiumhydrid-Etherat-Komplexen bzw. der daraus im Verlauf der Reaktion gebildeten korrespondierenden Magnesiumhydridhalogeniden als Hydridüberträgern durchgeführt wird.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006043929A1 (de) * 2006-09-14 2008-03-27 REV Renewable Energy Ventures, Inc., Aloha Feste Polysilan-Mischungen
DE102009056731A1 (de) 2009-12-04 2011-06-09 Rev Renewable Energy Ventures, Inc. Halogenierte Polysilane und Polygermane
US11591448B2 (en) 2020-03-27 2023-02-28 Evonik Operations Gmbh Physical reutilization of siliconized sheets
US11732092B2 (en) 2020-10-19 2023-08-22 Evonik Operations Gmbh Upcycling process for processing silicone wastes
US11795275B2 (en) 2018-12-04 2023-10-24 Evonik Operations Gmbh Reactive siloxanes

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006043929A1 (de) * 2006-09-14 2008-03-27 REV Renewable Energy Ventures, Inc., Aloha Feste Polysilan-Mischungen
US8177943B2 (en) 2006-09-14 2012-05-15 Spawnt Private S.A.R.L. Solid polysilane mixtures
DE102006043929B4 (de) * 2006-09-14 2016-10-06 Spawnt Private S.À.R.L. Verfahren zur Herstellung von festen Polysilanmischungen
DE102009056731A1 (de) 2009-12-04 2011-06-09 Rev Renewable Energy Ventures, Inc. Halogenierte Polysilane und Polygermane
US9040009B2 (en) 2009-12-04 2015-05-26 Spawnt Private S.à.r.1. Kinetically stable chlorinated polysilanes and production thereof
US9139702B2 (en) 2009-12-04 2015-09-22 Spawnt Private S.A.R.L. Method for producing halogenated polysilanes
US9458294B2 (en) 2009-12-04 2016-10-04 Spawnt Private S.À.R.L. Method for removing impurities from silicon
US11795275B2 (en) 2018-12-04 2023-10-24 Evonik Operations Gmbh Reactive siloxanes
US11591448B2 (en) 2020-03-27 2023-02-28 Evonik Operations Gmbh Physical reutilization of siliconized sheets
US11732092B2 (en) 2020-10-19 2023-08-22 Evonik Operations Gmbh Upcycling process for processing silicone wastes

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