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활성 종을 이용하기 위한 가스 분배 어셈블리를 포함한 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
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기판 표면 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조
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고 종횡비 피처를 형성하는 방법
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2020-01-29 |
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
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