JP2018536177A - 高光線透過性かつ耐擦傷性反射防止物品 - Google Patents

高光線透過性かつ耐擦傷性反射防止物品 Download PDF

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Abstract

光学コーティングを有する物品の実施形態を、本明細書において説明する。一実施形態によると、物品は、大表面を有する基板と、上記大表面上に配置されて反射防止表面を形成する、光学コーティングであって、上記光学コーティングは反射防止コーティングを備える、光学コーティングとを備えてよい。上記物品は、約100nm以上の押込み深さに沿ってバーコビッチ圧子硬度試験によって上記反射防止表面上で測定した場合に、約12GPa以上の最大硬度を呈してよい。上記物品は、約400nm〜約800nmの光波長領域に亘って約8%以下の、上記反射防止表面において測定される単一側面平均光反射率を呈してよい。上記物品は、約400nm〜約800nmの光波長領域に亘って約90%以上の平均光透過率を呈してよい。

Description

関連出願の相互参照
本出願は、米国特許法第119条の下で、2015年9月14日出願の米国仮特許出願第62/218241号の優先権の利益を主張するものであり、上記仮特許出願の内容は信頼できるものであり、参照によりその全体が本出願に援用される。
本開示は、高耐久性かつ耐擦傷性の反射防止物品、及びその作製方法に関し、より詳細には、耐摩耗性、耐擦傷性、低反射率、並びに無色透過率及び/又は反射率を呈する多層反射防止コーティングを備える物品に関する。
カバー物品は、入力及び/又は表示及び/又は多数の他の機能のためのユーザインタフェースを提供するための、電子製品内の重要なデバイスを保護するために、使用されることが多い。このような製品としては、スマートフォン、mp3プレイヤー及びコンピュータタブレットといった移動体デバイスが挙げられる。カバー物品は、建築用物品、輸送用物品(例えば自動車用途、鉄道、航空機、海洋船舶等で使用される物品)、家電物品、又はある程度の透明性、耐擦傷性、耐摩耗性若しくはこれらの組み合わせが必要ないずれの物品も含む。これらの用途は、耐擦傷性、並びに最大光線透過率及び最小反射率に関する優れた光学的性能特性を必要とする場合がある。更に一部のカバー用途は、反射及び/又は透過時に呈する又は感知される色が、視野角の変化に従って明らかには変化しないことを必要とする。ディスプレイ用途では、これは、反射又は透過時の色が視野角と共に明らかな程度まで変化すると、該製品のユーザがディスプレイの色又は明度の変化を知覚することになり、知覚されるディスプレイの品質が低下し得るためである。他の用途では、色の変化は、審美的要件又は他の機能的要件に悪影響を及ぼし得る。
カバー物品の光学的性能は、様々な反射防止コーティングを用いて改善できる;しかしながら公知の反射防止コーティングは、摩滅又は摩耗を受け易い。このような摩耗は、反射防止コーティングによって達成されるいずれの光学的性能の改善を損ない得る。例えば光学フィルタは、光学的に透明な誘電性材料(例えば酸化物、窒化物及びフッ化物)からなる、異なる屈折率を有する多層コーティングからなる場合が多い。このような光学フィルタのために使用される典型的な酸化物の大半は、バンドギャップが広い材料であり、これは、移動体デバイス、建築用物品、輸送用物品又は家電物品における使用のために必要な硬度等の機械的特性を有しない。窒化物及びダイヤモンド様コーティングは、高い硬度値を呈し得るものの、このような材料はこのような用途に必要な透過率を呈さない。
摩耗損傷は、対面する物体(例えば指)からの、反復して摺動する接触を含む場合がある。更に、摩耗損傷は熱を生成する場合があり、これはフィルムの材料の化学的結合を劣化させて、カバーガラスに剥離及び他のタイプの損傷を引き起こし得る。摩耗損傷は、擦傷を引き起こす単一のイベントよりも長期間に亘って発生することが多いため、摩耗損傷を受ける配置されたコーティング材料は酸化する場合もあり、これによりコーティングの耐久性は更に劣化する。
公知の反射防止コーティングは擦傷損傷も受け易く、また多くの場合、上にこのようなコーティングが配置された下層の基板よりも更に擦傷損傷を受け易い。いくつかの例では、このような擦傷損傷の大部分は、微小展延性(microductile)擦傷を含み、これは典型的には、長さが長く深さが約100nm〜約500nmである、材料中の単一の溝を含む。微小展延性擦傷は、表面下割れ、摩擦による割れ、欠け及び/又は摩滅といった、他のタイプの視認可能な損傷を伴う場合もある。このような擦傷及び他の視認可能な損傷の大半は、単一の接触イベント中に発生する鋭い接触によって引き起こされることが、エビデンスによって示唆されている。カバー基板上に相当な擦傷が現れると、この擦傷が光散乱の増加を引き起こし、ディスプレイ上の画像の明度、鮮明度及びコントラストの有意な低下を引き起こし得るため、物品の外見は劣化する。有意な擦傷はまた、タッチ感受性ディスプレイを含む物品の精度及び信頼性にも影響を及ぼし得る。単一イベントの擦傷損傷は、摩耗損傷と対比できる。単一イベントの擦傷損傷は、硬質の対面する物体(例えば砂、砂利及びサンドペーパー)からの、反復して摺動する接触といった、複数の接触イベントによって引き起こされることはなく、また典型的には、フィルムの材料の化学的結合を劣化させて剥離及び他のタイプの損傷を引き起こし得る熱を生成することはない。更に、単一イベントの擦傷は典型的には酸化を引き起こさず、又は摩耗損傷を引き起こす条件と同一の条件を伴わず、従って、摩耗損傷を防止するために利用されることがある解決策は、擦傷も防止することはできない。更に、公知の擦傷及び摩耗損傷の解決策は、光学的特性を損なうことが多い。
従って、耐摩耗性であり、耐擦傷性であり、光学的性能が改善された、新規のカバー物品及びその製造方法が必要とされている。
高耐久性かつ耐擦傷性の反射防止物品の実施形態について説明する。1つ以上の実施形態では、上記物品は、基板と、反射防止表面を形成する、大表面上に配置された光学コーティングとを含む。1つ以上の実施形態では、上記光学コーティングは反射防止コーティングを含む。
上記物品は、本明細書で説明される、上記反射防止表面上での約50nm以上(例えば約100nm以上、約50nm〜約300nm、約50nm〜約400nm、約50nm〜約500nm、約50nm〜約600nm、約50nm〜約1000nm又は約50nm〜約2000nm)の押込み深さに沿ったバーコビッチ圧子硬度試験で測定した場合に約12GPa以上の最大硬度を呈することにより、耐擦傷性を呈する。
上記物品は、本明細書で説明されるテーバー試験を用いた500サイクルの摩耗後に上記反射防止表面上で測定される耐摩耗性を呈する。1つ以上の実施形態では、上記物品は、アパーチャを有するヘイズメータを用いて測定した場合に約1%以下のヘイズを含む(上記反射防止表面上で測定される)耐摩耗性を呈し、ここで上記アパーチャは直径約8mmである。1つ以上の実施形態では、上記物品は、原子間力顕微鏡によって測定した場合に約12nm以下の平均粗度Raを含む(上記反射防止表面上で測定される)耐摩耗性を呈する。1つ以上の実施形態では、上記物品は、波長600nmで2mmのアパーチャを用いた散乱測定のための撮像用球体(imaging sphere)を用いた透過において垂直入射で測定した場合に、約40°以下の極散乱角(polar scattering angle)において約0.05(単位は1/ステラジアン)以下の散乱光強度を含む(上記反射防止表面上で測定される)耐摩耗性を呈する。いくつかの例では、上記物品は、波長600nmで2mmのアパーチャを用いた散乱測定のための撮像用球体を用いた透過において垂直入射で測定した場合に、約20°以下の極散乱角において約0.1(単位は1/ステラジアン)以下の散乱光強度を含む(上記反射防止表面上で測定される)耐摩耗性を呈する。
1つ以上の実施形態の上記物品は、光線透過率及び/又は光線反射率に関して優れた光学的性能を呈する。1つ以上の実施形態では、上記物品は、(例えば約400nm〜約800nm又は約450nm〜約650nmの範囲の)ある光波長領域に亘って約92%以上(例えば約98%以上)の(上記反射防止表面上のみで測定される)平均光線透過率を呈する。いくつかの実施形態では、上記物品は、上記光波長領域に亘って、約2%以下(例えば約1%以下)の(上記反射防止表面上のみで測定される)平均光線反射率を呈する。上記物品は、上記光波長領域に亘って約1%ポイント以下の平均発振振幅を有する平均光線透過率又は平均光線反射率を呈し得る。1つ以上の実施形態では、上記物品は、上記反射防止表面上のみで測定した場合に、垂直入射で約1%以下の平均明所視反射率を呈する。いくつかの実施形態では、上記物品は、上記反射防止表面上のみで垂直入射又は垂直に近い入射(例えば0〜10°)で測定される、約10%未満の片側平均明所視反射率を呈する。いくつかの実施形態では、上記片側平均明所視反射率は約9%以下、約8%以下、約7%以下、約6%以下、約5%以下、約4%以下、約3%以下又は約2%以下である。
いくつかの例では、上記物品は、光源を用いて上記反射防止表面において検視した場合に、基準照明角度から入射照明角度までに約10未満(例えば5以下、4以下、3以下、2以下又は約1以下)の(本明細書で説明される)角度色シフトを呈し、上記入射照明角度は約2°〜約60°である。例示的な光源としては、CIE F2、CIE F10、CIE F11、CIE F12及びCIE D65のうちのいずれが挙げられる。1つ以上の実施形態では、上記物品は、約0〜約60°の全ての入射照明角度で、CIE L*,a*,b*測色システムにおいて約2未満のab*値を呈し得る。あるいは、又は更に、いくつかの実施形態の上記物品は、本明細書中で定義される基準点から約2未満の基準点色シフトを有する、垂直入射で上記反射防止表面において測定された透過色(若しくは透過色座標)及び/又は反射色(若しくは反射色座標)を呈する。1つ以上の実施形態では、上記基準点は、L*a*b*色空間の原点(0,0)(即ち色座標a*=0、b*=0若しくはa*=‐2、b*=‐2)、又は上記基板の透過若しくは反射色座標の原点(0,0)であってよい。本明細書に記載の上記角度色シフト、上記基準点色シフト、並びに上記色座標(a*及び/又はb*)は、D65及び/又はF2光源の下で観察される。いくつかの実施形態では、本明細書に記載の光学的性能は、F2光源の下で観察され、これは、F2光源の鋭いスペクトル特性により、比較的困難であることが知られている。
1つ以上の実施形態では、上記反射防止コーティングは、複数の層を含んでよい。例えば、いくつかの実施形態では、上記反射防止コーティングは、第1の低RI層及び第2の高RI層を備える区間を含む。上記区間は、第1の低RI層、及び上記第1の低RI層上に配置された第2の高RI層を含んでよく、又はその逆であってもよい。いくつかの実施形態では、上記区間は第3の層を含んでよい。上記反射防止コーティングは、上記第1の低RI層及び上記第2の高RI層が交互になるように、複数の区間を含んでよい。上記反射防止コーティングは、最大約10又は20個の区間を含むことができる。
いくつかの実施形態では、上記光学コーティングは耐擦傷性層を含む。耐擦傷性層が含まれている場合、このような層は、上記反射防止コーティング上に配置してよい。他の実施形態では、上記耐擦傷性コーティングは、上記反射防止コーティングと上記基板との間に配置してよい。例示的な耐擦傷性層は、本明細書中で定義されるバーコビッチ圧子硬度試験で測定した場合に、約8GPa〜約50GPaの最大硬度を呈してよい。
上記耐擦傷性層は、上記基板と上記反射防止コーティングとの間に配置してよい。いくつかの実施形態では、上記反射防止コーティングは、第1の部分及び第2の部分を、上記耐擦傷性層が第1の部分と上記第2の部分との間に配置されるように含んでよい。上記耐擦傷性層の厚さは、約200ナノメートル〜約3マイクロメートルであってよい。
いくつかの実施形態では、上記物品は、約1.8超の屈折率を有する層を含んでよい。この層に利用できる材料としては、SiN、SiO、SiAl、AlN、AlO又はこれらの組み合わせが挙げられる。
いくつかの例では、上記物品は、清掃が容易な(easy‐to‐clean)コーティング、ダイヤモンド様炭素(「DLC」)コーティング、耐擦傷性コーティング又はこれらの組み合わせといった追加の層を含んでよい。このようなコーティングは、上記反射防止コーティング上、又は上記反射防止コーティングの層の間に配置してよい。
上記物品の1つ以上の実施形態において利用される上記基板は、非晶質基板又は結晶質基板を含むことができる。非晶質基板は、ソーダライムガラス、アルカリアルミノケイ酸ガラス、アルカリ含有ホウケイ酸ガラス、及びアルカリアルミノホウケイ酸ガラスからなる群から選択され得るガラスを含む。いくつかの実施形態では、上記ガラスは強化されていてよく、また上記強化ガラス内において上記化学強化ガラスの表面から少なくとも約10μmの層深さ(DOL)まで延在する、少なくとも250MPaの表面CSを有する圧縮応力(CS)層を含んでよい。
更なる特徴及び利点は、以下の「発明を実施するための形態」に記載され、またその一部は、当業者には「発明を実施するための形態」から容易に明らかとなるか、又は以下の「発明を実施するための形態」、特許請求の範囲及び添付の図面を含む本明細書に記載された実施形態を実施することによって認識されるだろう。
以上の「発明の概要」及び以下の「発明を実施するための形態」はいずれの単なる例示であり、特許請求の範囲の性質及び特徴を理解するための概観又は枠組みを提供することを意図したものであることを理解されたい。添付の図面は更なる理解を提供するために含まれており、本明細書に組み込まれて本明細書の一部を構成する。これらの図面は1つ以上の実施形態を図示し、本説明と併せて、様々な実施形態の原理及び動作を説明する役割を果たす。
1つ以上の実施形態による物品の側面図 1つ以上の特定の実施形態による物品の側面図 1つ以上の実施形態による物品の側面図 1つ以上の実施形態による物品の側面図 1つ以上の実施形態による物品の側面図 1つ以上の実施形態による物品の側面図 1つ以上の実施形態による物品の側面図 1つ以上の実施形態による物品の側面図 押込み深さ及びコーティング厚さの関数として硬度測定を示すグラフ 異なる複数の視野角において反射防止表面のみから算出された、モデル化実施例1の反射率スペクトル 実施例1の物品の反射色であり、0°〜60°の異なる複数の視野角における、異なる複数の光源下での反射色を示す 異なる複数の視野角において反射防止表面のみから算出された、モデル化実施例2の反射率スペクトル 実施例2の物品の反射色であり、0°〜60°の異なる複数の視野角における、異なる複数の光源下での反射色を示す 異なる複数の視野角において反射防止表面のみから算出された、モデル化実施例3の反射率スペクトル 実施例3の物品の反射色であり、0°〜60°の異なる複数の視野角における、異なる複数の光源下での反射色を示す 異なる複数の視野角において反射防止表面のみから算出された、モデル化実施例4の反射率スペクトル モデル化実施例4の物品の反射色であり、0°〜60°の異なる複数の視野角における、異なる複数の光源下での反射色を示す 異なる複数の視野角において反射防止表面のみから算出された、モデル化実施例5の反射率スペクトル 実施例5の物品の反射色であり、0°〜60°の異なる複数の視野角における、異なる複数の光源下での反射色を示す 異なる複数の視野角において反射防止表面のみから算出された、モデル化実施例6の反射率スペクトル 実施例6の物品の反射色であり、0°〜60°の異なる複数の視野角における、異なる複数の光源下での反射色を示す 異なる複数の視野角において反射防止表面のみから算出された、モデル化実施例7の反射率スペクトル 実施例7の物品の反射色であり、0°〜60°の異なる複数の視野角における、異なる複数の光源下での反射色を示す 異なる複数の視野角において反射防止表面のみから算出された、モデル化実施例8の反射率スペクトル 実施例8の物品の反射色であり、0°〜60°の異なる複数の視野角における、異なる複数の光源下での反射色を示す 異なる複数の視野角において反射防止表面のみから算出された、モデル化実施例9の反射率スペクトル 実施例9の物品の反射色であり、0°〜60°の異なる複数の視野角における、異なる複数の光源下での反射色を示す 異なる複数の視野角において反射防止表面のみから算出された、モデル化実施例10の反射率スペクトル 実施例10の物品の反射色であり、0°〜60°の異なる複数の視野角における、異なる複数の光源下での反射色を示す 異なる複数の視野角において反射防止表面のみから算出された、モデル化実施例11の反射率スペクトル 実施例11の物品の反射色であり、0°〜60°の異なる複数の視野角における、異なる複数の光源下での反射色を示す 異なる複数の視野角において反射防止表面のみから算出された、モデル化実施例12の反射率スペクトル 実施例12の物品の反射色であり、0°〜60°の異なる複数の視野角における、異なる複数の光源下での反射色を示す 本明細書に記載の1つ以上のコーティング済みガラス物品の硬度 本明細書に記載の1つ以上のコーティング済み物品の光透過率 本明細書に記載の1つ以上のコーティング済み物品の光線反射率 本明細書に記載の1つ以上のコーティング済み物品の光透過率 本明細書に記載の1つ以上のコーティング済み物品の光透過率 本明細書に記載の1つ以上のコーティング済み物品の光線反射率 本明細書に記載の1つ以上のコーティング済み物品の反射色 本明細書に記載の1つ以上のコーティング済み物品の反射色 本明細書に記載の1つ以上のコーティング済み物品の光線反射率 本明細書に記載の1つ以上のコーティング済み物品の光線反射率 本明細書に記載の1つ以上のコーティング済み物品の光線反射率 本明細書に記載の1つ以上のコーティング済み物品の光線反射率 本明細書に記載の1つ以上のコーティング済み物品の光線反射率 本明細書に記載の1つ以上のコーティング済み物品の光線反射率 本明細書に記載の1つ以上のコーティング済み物品の硬度 本明細書に記載の1つ以上のコーティング済み物品の光線反射率 本明細書に記載の1つ以上のコーティング済み物品の光線透過率 本明細書に記載の1つ以上のコーティング済み物品の光線透過率 本明細書に記載の1つ以上のコーティング済み物品の反射色 本明細書に記載の1つ以上のコーティング済み物品の透過色 本明細書で開示されている物品のうちのいずれを組み込んだ例示的な電子デバイスの平面図 図54Aの例示的な電子デバイスの斜視図
これより様々な実施形態を詳細に参照する。これらの実施形態の例は、添付の図面に図示されている。
図1を参照すると、1つ以上の実施形態による物品100は、基板110及びこの基板上に配置された光学コーティング120を含んでよい。基板110は、対向する大表面112、114及び対向する小表面116、118を含む。光学コーティング120は図1において、第1の対向する大表面112上に配置されているものとして示されている;しかしながら、光学コーティング120は、第1の対向する大表面112上に配置するのに加えて、又はこれに代えて、第2の対向する大表面114、及び/又は上記対向する小表面のうちの一方若しくは両方の上に配置してよい。光学コーティング120は、反射防止表面122を形成する。
光学コーティング120は、少なくとも1つの材料の少なくとも1つの層を含む。用語「層(layer)」は、単一の層を含んでよく、又は1つ以上の副層を含んでよい。このような副層は、互いに直接接触していてよい。上記副層は、同一の材料、又は2つ以上の異なる材料から形成してよい。1つ以上の代替実施形態では、このような副層は、間に配置された異なる材料の介在層を有してよい。1つ以上の実施形態では、層は、1つ以上の連続する断絶していない層及び/又は1つ以上の不連続な断絶した層(即ち互いに隣接して形成された異なる複数の材料を有する層)を含んでよい。層又は副層は、個別堆積又は連続堆積プロセスを含む、当該技術分野において公知のいずれの方法で形成してよい。1つ以上の実施形態では、層は、連続堆積プロセスのみ、あるいは個別堆積プロセスのみを用いて形成してよい。
光学コーティング120の厚さは約1μm以上であってよいが、それでも依然として、本明細書に記載の光学的特性を呈する物品を提供する。いくつかの例では、光学コーティング120の厚さは、約1μm〜約20μm(例えば約1μm〜約10μm又は約1μm〜約5μm)であってよい。
本明細書中で使用される場合、用語「配置する(dispose)」は、当該技術分野において公知のいずれの方法を用いて、材料を表面上にコーティング、堆積及び/又は形成することを含む。配置された材料は、本明細書において定義されているような層を構成し得る。句「…上に配置された(disposed on)」は、材料を表面上に、上記材料が上記表面に直接接触するように形成する例を含み、また、上記材料が表面上に、堆積される上記材料と上記表面との間に1つ以上の介在材料を伴って形成される例も含む。上記1つ以上の介在材料は、本明細書において定義されているような層を構成し得る。
図2に示すように、光学コーティング120は反射防止コーティング130を含み、これは複数の層(130A、130B)を含んでよい。1つ以上の実施形態では、反射防止コーティング130は、2つ以上の層を含む区間132を含んでよい。1つ以上の実施形態では、上記2つ以上の層は、互いに異なる屈折率を有することを特徴としてよい。一実施形態では、区間132は、及び第1の低RI層130A及び第2の高RI層130Bを含む。上記第1の低RI層と上記第2の高RI層との屈折率の差は、約0.01以上、0.05以上、0.1以上、又は更に0.2以上であってよい。
図2に示すように、反射防止コーティング130は、複数の区間(132)を含んでよい。単一の区間は、複数の区間が設けられる場合に第1の低RI層130A(例示として「L」で表す)及び第2の高RI層130B(例示として「H」で表す)が、以下のような層のシーケンス:L/H/L/H又はH/L/H/Lで交互になるように、1つの第1の低RI層130A及び1つの第2の高RI層130Bを含み、これにより、上記第1の低RI層及び上記第2の高RI層が、反射防止コーティング120の物理的厚さに沿って交互に現れる。図2の例では、反射防止コーティング130は3つの区間を含む。いくつかの実施形態では、反射防止コーティング130は最大25個の区間を含んでよい。例えば反射防止コーティング130は、約2〜約20個の区間、約2〜約15個の区間、約2〜約10個の区間、約2〜約12個の区間、約3〜約8個の区間、約3〜約6個の区間を含んでよい。
図3に示す例では、反射防止コーティング130は追加のキャッピング層131を含んでよく、これは、第2の高RI層130Bより低屈折率の材料を含んでよい。いくつかの実施形態では、図3に示すように、区間132は、1つ以上の第3の層130Cを含んでよい。1つ以上の第3の層130Cは、低いRI、高いRI又は中程度のRIを有してよい。いくつかの実施形態では、1つ以上の第3の層130Cは、第1の低RI層130A又は第2の高RI層130Bと同一のRIを有してよい。他の実施形態では、1つ以上の第3の層130Cは、第1の低RI層130AのRIと第2の高RI層130BのRIとの間の中程度のRIを有してよい。あるいは1つ以上の第3の層130Cは、第2の高RI層130Bを超える屈折率を有してよい。上記第3の層は、反射防止コーティング120中に、以下の例示的構成:L第3の層/H/L/H/L;H第3の層/L/H/L/H;L/H/L/H/L第3の層;H/L/H/L/H第3の層;L第3の層/H/L/H/L/H第3の層;H第3の層/L/H/L/H/L第3の層;L第3の層/L/H/L/H;H第3の層/H/L/H/L;H/L/H/L/L第3の層;L/H/L/H/H第3の層;L第3の層/L/H/L/H/H第3の層;H第3の層/H/L/H/L/L第3の層;L/M第3の層/H/L/M/H;H/M/L/H/M/L;M/L/H/L/M;及び他の組み合わせで設けてよい。これらの構成において、いずれの添字を有しない「L」は第1の低RI層を指し、いずれの添字を有しない「H」は第2の高RI層を指す。「L第3の副層」という言及は、低いRIを有する第3の層を指し、「H第3の副層」という言及は、高いRIを有する第3の層を指し、「M」は、中程度のRIを有する第3の層を指し、これらは全て上記第1の層及び上記第2の層に対してのものである。
本明細書中で使用される場合、用語「低RI、低いRI(low RI)」、「高RI、高いRI(high RI)」及び「中RI、中程度のRI(medium RI)」は、別の1項に対するRIの相対値を指す(例えば低RI<中RI<高RI)。1つ以上の実施形態では、第1の低RI層又は第3の層と共に使用される用語「低RI」は、約1.3〜約1.7又は1.75を含む。1つ以上の実施形態では、第2の高RI層又は第3の層と共に使用される用語「高RI」は、約1.7〜約2.5(例えば約1.85以上)を含む。いくつかの実施形態では、第3の層と共に使用される用語「中RI」は、約1.55〜約1.8を含む。いくつかの例では、低RI、高RI及び中RIに関する範囲は重なり合う場合がある;しかしながらほとんどの場合、反射防止コーティング130の層は、RIに関する一般的な関係:低RI<中RI<高RIを有する。
1つ以上の第3の層130Cは、区間132とは別個の層として設けてよく、図4に示すように、1つ以上の上記区間とキャッピング層131との間に配置してよい。上記1つ以上の第3の層もまた、区間132とは別個の層として設けてよく、図5に示すように、基板110と複数の区間132との間に配置してよい。1つ以上の第3の層130Cは、図6に示すように、追加のコーティング140に加えて、キャッピング層131の代わりに、又は上記キャッピング層に加えて、使用してよい。
反射防止コーティング130中での使用に好適な例示的材料としては:SiO、Al、GeO、SiO、AlOxNy、AlN、SiNx、SiO、SiAl、Ta、Nb、TiO、ZrO、TiN、MgO、MgF、BaF,CaF、SnO、HfO、Y、MoO、DyF、YbF、YF、CeF、ポリマー、フルオロポリマー、プラズマ重合ポリマー、シロキサンポリマー、シルセスキオキサン、ポリイミド、フッ化ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルホン、ポリフェニルスルホン、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、アクリルポリマー、ウレタンポリマー、ポリメチルメタクリレート、耐擦傷性層中での使用に好適なものとして以下に挙げられている材料、及び当該技術分野において公知の他の材料が挙げられる。第1の低RI層中での使用に好適な材料のいくつかの例としては:SiO、Al、GeO、SiO、AlO、SiO、SiAl、MgO、MgAl、MgF、BaF、CaF、DyF、YbF、YF、及びCeFが挙げられる。第1の低RI層中での使用のための上記材料の窒素含有量は、(例えばAl及びMgAl等の材料において)最小化できる。第2の高RI層中での使用に好適な材料のいくつかの例としては:SiAl、Ta、Nb、AlN、Si、AlO、SiO、SiN、SiN:H、HfO、TiO、ZrO、Y、Al、MoO及びダイヤモンド様炭素が挙げられる。複数の例では、高RI層は、高硬度層又は耐擦傷性層であってもよく、また上に列挙した高RI材料は、高い硬度又は耐擦傷性を備えてもよい。第2の高RI層及び/又は耐擦傷性層のための材料の酸素含有量は、特にSiNx又はAlNx材料において最小化できる。AlO材料は、酸素ドープAlNxであると見做すことができ、即ちこれらは、AlNx結晶構造を有してよく(例えばウルツ鉱)、AlON結晶構造を有する必要はない。例示的な好ましいAlO高RI材料は、約0原子%〜約20原子%の酸素、又は約5原子%〜約15原子%の酸素を含んでよく、その一方で30原子%〜約50原子%の窒素を含む。例示的な好ましいSiAl高RI材料は、約10原子%〜約30原子%又は約15原子%〜約25原子%のケイ素、約20原子%〜約40原子%又は約25原子%〜約35原子%のアルミニウム、約0原子%〜約20原子%又は約1原子%〜約20原子%の酸素、及び約30原子%〜約50原子%の窒素を含んでよい。上述の材料は、最大約30重量%まで水素化され得る。中程度の屈折率を有する材料が望ましい場合、いくつかの実施形態はAlN及び/又はSiOを利用してよい。第2の高RI層及び/又は耐擦傷性層の硬度は、具体的に特性決定できる。いくつかの実施形態では、バーコビッチ圧子硬度試験で測定した場合の、第2の高RI層及び/又は耐擦傷性層の最大硬度は、約8GPa以上、約10GPa以上、約12GPa以上、約15GPa以上、約18GPa以上、又は約20GPa以上であってよい。場合によっては、第2の高RI層材料は、単一の層として堆積させてよく、また耐擦傷性層であることを特徴としてよく、この単一の層は、反復可能な硬度決定のために、約500〜2000nmの厚さを有してよい。
1つ以上の実施形態では、反射防止コーティング130の1つ以上の層のうちの少なくとも1つは、ある特定の光学的厚さ範囲を含んでよい。本明細書中で使用される場合、用語「光学的厚さ(optical thickness)」は(n*d)によって決定され、ここで「n」は副層のRIを指し、「d」はこの層の物理的厚さを指す。1つ以上の実施形態では、反射防止コーティング130の複数の層のうちの少なくとも1つは、約2nm〜約200nm、約10nm〜約100nm、約15nm〜約100nm、約15〜約500nm又は約15〜約5000nmの光学的厚さを含んでよい。いくつかの実施形態では、反射防止コーティング130の全ての層はそれぞれ、約2nm〜約200nm、約10nm〜約100nm、約15nm〜約100nm、約15〜約500nm又は約15〜約5000nmの光学的厚さを有してよい。場合によっては、反射防止コーティング130の少なくとも1つの層は、約50nm以上の光学的厚さを有する。場合によっては、第1の低RI層はそれぞれ約2nm〜約200nm、約10nm〜約100nm、約15nm〜約100nm、約15〜約500nm又は約15〜約5000nmの光学的厚さを有する。他の場合には、第2の高RI層はそれぞれ、約2nm〜約200nm、約10nm〜約100nm、約15nm〜約100nm、約15〜約500nm又は約15〜約5000nmの光学的厚さを有する。更に他の場合には、第3の層はそれぞれ、約2nm〜約200nm、約10nm〜約100nm、約15nm〜約100nm、約15〜約500nm又は約15〜約5000nmの光学的厚さを有する。
いくつかの実施形態では、光学コーティング130の複数の層のうちの1つ以上の層の厚さを最小化してよい。1つ以上の実施形態では、1つ以上の高RI層及び/又は1つ以上の中RI層の厚さを、約500nm未満となるように最小化する。1つ以上の実施形態では、1つ以上の高RI層、1つ以上の中RI(層)及び/又は高RI層と中RI層との組み合わせの、複合厚さは、約500nm未満である。
いくつかの実施形態では、上記光学コーティング中の低RI材料の量を最小化してよい。理論によって束縛されるものではないが、低RI材料は典型的には、屈折率及び硬度に同時に影響を及ぼす原子結合及び電子密度の性質により、より低高度の材料であり、よってこのような材料を最小化すると、本明細書に記載の反射率及び色性能を維持しながら、硬度を最大化できる。上記光学コーティングの物理的厚さの画分として表現した場合、低RI材料は、光学コーティングの物理的厚さの約60%未満、約50%未満、約40%未満、約30%未満、約20%未満、約10%又は約5%未満を構成してよい。あるいは、又は更に、低RI材料の量は、光学コーティング中で最も厚い高RI層の上(即ち基板とは反対側、ユーザ側又は空気側)に配置された低RI材料の全ての層の物理的厚さの合計として定量化できる。理論によって束縛されるものではないが、硬度が高いこの厚い高RI層は、下側にある(又はこの厚いRI層と基板との間にある)層を、多くの又は大半の擦傷から効果的にシールドする。従ってこの最も厚い高RI層の上に配置された層は、物品全体の耐擦傷性に対して大きな影響を有し得る。これは、最も厚い高RI層が約400nm超の物理的厚さを有し、かつバーコビッチ圧子硬度試験で測定した場合に約12GPa超の硬度を有する場合に、特に当てはまる。この最も厚い高RI層上(即ち基板とは反対側、ユーザ側又は空気側)に配置される低RI材料の量は、約150nm以下、約120nm以下、約110nm以下、100nm、90nm、80nm、70nm、60nm、50nm、40nm、30nm、25nm、20nm、15nm以下、又は約12nm以下の厚さを有してよい。
いくつかの実施形態では、最上部の空気側層は、モデル化実施例8〜9に示すように、これもまた高い硬度を呈する高RI層を備えてよい。いくつかの実施形態では、追加のコーティング140を、この最上部の空気側高RI層の上に配置してよい(例えばこの追加のコーティングは、低摩擦コーティング、疎油性コーティング、又は清掃が容易なコーティングを含んでよい)。更に、モデル化実施例10によって示されているように、厚さが極めて薄い(例えば約10nm以下、約5nm以下又は約2nm以下)の低RI層の追加は、高RI層を含む最上部の空気側層に追加される場合、光学的性能に対して最小の影響しか有しない。厚さが極めて薄いこの低RI層は、SiO、疎油性若しくは低摩擦層、又はSiOと疎油性材料との組み合わせを含んでよい。例示的な低摩擦層は、ダイヤモンド様炭素を含んでよく、このような材料(又は光学コーティングの1つ以上の層)は、0.4未満、0.3未満、0.2未満又は更には0.1未満の摩擦係数を呈してよい。
1つ以上の実施形態では、反射防止コーティング130は、約800nm以下の物理的厚さを有する。反射防止コーティング130は、約10nm〜約800nm、約50nm〜約800nm、約100nm〜約800nm、約150nm〜約800nm、約200nm〜約800nm、約10nm〜約750nm、約10nm〜約700nm、約10nm〜約650nm、約10nm〜約600nm、約10nm〜約550nm、約10nm〜約500nm、約10nm〜約450nm、約10nm〜約400nm、約10nm〜約350nm、約10nm〜約300nm、約50〜約300、並びにこれらの間の全ての範囲及び部分範囲の、物理的厚さを有してよい。
1つ以上の実施形態では、1つ以上の第2の高RI層の複合物理的厚さを特性決定できる。例えば、いくつかの実施形態では、1つ以上の第2の高RI層の複合厚さは、約100nm以上、約150nm以上、約200nm以上、約500nm以上であってよい。上記複合厚さは、1つ以上の低RI層又は1つ以上の他の層が存在する場合であっても、反射防止コーティング130中の複数の高RI層それぞれの厚さの、算出された合計である。いくつかの実施形態では、高硬度材料(例えば窒化物又は酸窒化物)も含んでよい1つ以上の第2の高RI層の複合物理的厚さは、上記反射防止コーティング全体の物理的厚さの30%超であってよい。例えば、1つ以上の第2の高RI層の複合物理的厚さは、上記反射防止コーティング全体の物理的厚さの約40%以上、約50%以上、約60%以上、約70%以上、約75%以上又は約80%以上でさえあってよい。更に、又はあるいは、光学コーティング中に含まれる、高硬度材料でもあり得る高屈折率材料の量は物品又は光学コーティング120の最上部(即ちユーザ側、又は光学コーティングの、基板と反対側)の物理的厚さ500nmの百分率として特性決定できる。物品又は光学コーティングの最上部500nmの百分率として表現した場合、1つ以上の第2の高RI層の複合物理的厚さ(又は高屈折率材料の厚さ)は、約50%以上、約60%以上、約70%以上、約80%以上、又は約90%以上でさえあってよい。いくつかの実施形態では、上記反射防止コーティング内の、比較的高い比率の硬質かつ高屈折率材料を同時に作製することによって、本明細書中の他の箇所で更に説明されるような低い反射率、弱い色及び高い耐摩耗性を呈することもできる。1つ以上の実施形態では、第2の高RI層は、約1.85超の屈折率を有する材料を含んでよく、第1の低RI層は、約1.75未満の屈折率を有する材料を含んでよい。いくつかの実施形態では、第2の高RI層は、窒化物又は酸窒化物材料を含んでよい。いくつかの例では、光学コーティング中の(又は光学コーティングの最も厚い第2の高RI層上に配置された層中の)全ての第1の低RI層の複合厚さは、約200nm以下(例えば約150nm以下、約100nm以下、約75nm以下又は約50nm以下)であってよい。
いくつかの実施形態では、反射防止コーティング130は、反射防止表面122のみにおいて測定した場合に(例えば、物品のコーティングされていない裏面(例えば図1の114)からの反射を、吸収材と結合させた上記裏面上に屈折率適合用オイルを用いることによって、又は他の公知の方法によって、除去した場合に)、上記光波長領域に亘って約9%以下、約8%以下、約7%以下、約6%以下、約5%以下、約4%以下、約3%以下又は約2%以下の平均光線反射率を呈する。平均反射率(これは明視野平均であってよい)は、約0.4%〜約9%、約0.4%〜約8%、約0.4%〜約7%、約0.4%〜約6%又は約0.4%〜約5%、及びこれらの間の全範囲であってよい。いくつかの例では、反射防止コーティング120は、約450nm〜約650nm、約420nm〜約680nm、約420nm〜約700nm、約420nm〜約740nm、約420nm〜約850nm又は約420nm〜約950nmといった他の波長範囲に亘って、このような平均光線反射率を呈してよい。いくつかの実施形態では、反射防止表面122は、上記光波長領域に亘って、約90%以上、92%以上、94%以上、96%以上又は98%以上の平均光透過率を呈する。そうでないことが明記されていない限り、上記平均反射率又は透過率は、約0°〜約10°の入射照明角度において測定される(しかしながらこのような測定は、45°又は60°の入射照明角度において提供される場合もある)。
図6に示すように、物品100は、上記反射防止コーティング上に配置された1つ以上の追加のコーティング140を含んでよい。1つ以上の実施形態では、この追加のコーティングは、清掃が容易なコーティングを含んでよい。好適な清掃が容易なコーティングの例は、2012年11月30日出願の米国特許出願第13/690,904号明細書「PROCESS FOR MAKING OF GLASS ARTICLES WITH OPTICAL AND EASY‐TO‐CLEAN COATINGS」に記載されており、この特許出願は参照によりその全体が本出願に援用される。上記清掃が容易なコーティングは、厚さ約5nm〜約50nmであってよく、またフルオロシラン等の公知の材料を含んでよい。あるいは、又は更に、上記清掃が容易なコーティングは、低摩擦コーティング又は表面処理を含んでよい。例示的な低摩擦コーティング材料としては、ダイヤモンド様炭素、シラン(例えばフルオロシラン)、ホスホネート、アルケン及びアルキンが挙げられる。いくつかの実施形態では、上記清掃が容易なコーティングは、約1nm〜約40nm、約1nm〜約30nm、約1nm〜約25nm、約1nm〜約20nm、約1nm〜約15nm、約1nm〜約10nm、約5nm〜約50nm、約10nm〜約50nm、約15nm〜約50nm、約7nm〜約20nm、約7nm〜約15nm、約7nm〜約12nm又は約7nm〜約10nm、並びにこれらの間の全ての範囲及び部分範囲の厚さを有する。
追加のコーティング140は、1つ以上の耐擦傷性層を含んでよい。いくつかの実施形態では、追加のコーティング140は、清掃が容易な材料と耐擦傷性材料との組み合わせを含む。一例では、この組み合わせは、清掃が容易な材料、及びダイヤモンド様炭素を含む。このような追加のコーティング140は、厚さ約5nm〜約20nmであってよい。追加のコーティング140の成分は、別個の層において提供してよい。例えばダイヤモンド様炭素は第1の層として配置してよく、清掃が容易な層は、ダイヤモンド様炭素の第1の層の上に、第2の層として配置できる。第1の層及び第2の層の厚さは、上記追加のコーティングに関して上で提示した範囲であってよい。例えば、ダイヤモンド様炭素の第1の層は、厚さ約1nm〜約20nm又は約4nm〜約15nm(又はより具体的には約10nm)であってよく、また清掃が容易な層の第2の層は、厚さ約1nm〜約10nm(又はより具体的には約6nm)とすることができる。ダイヤモンド様コーティングは、四面体非晶質炭素(Ta‐C)、Ta‐C:H、及び/又はa‐C‐Hを含んでよい。
本明細書に記載されているように、光学コーティング120は、耐擦傷性層150又は(複数の耐擦傷性層を利用する場合には)コーティングを含んでよく、これは、反射防止コーティング130と基板110との間に配置してよい。いくつかの実施形態では、耐擦傷性層150又はコーティングは、(図7に示されている150のように)反射防止コーティング130の層の間に配置される。反射防止コーティングの2つのセクション(即ち耐擦傷性層150と基板110との間に配置される第1のセクション、及び上記耐擦傷性層上に配置される第2のセクション)は、互いに異なる厚さを有してよく、又は互いに本質的に同一の厚さを有してよい。反射防止コーティングの上記2つのセクションの層は、組成、順序、厚さ及び構成において互いに同一であってよく、又は互いに異なっていてよい。
耐擦傷性層150又はコーティング(又は追加のコーティング140として使用される耐擦傷性/コーティング)に使用される例示的な材料は、無機カーバイド、窒化物、酸化物、ダイヤモンド様材料、又はこれらの組み合わせを含んでよい。耐擦傷性層又はコーティングのために好適な材料の例としては、酸化金属、窒化金属、酸窒化金属、炭化金属、酸炭化金属及び/又はこれらの組み合わせが挙げられる。例示的な金属としては、B、Al、Si、Ti、V、Cr、Y、Zr、Nb、Mo、Sn、Hf、Ta及びWが挙げられる。耐擦傷性層又はコーティングに利用できる材料の具体例としては、Al、AlN、AlO、Si、SiO、SiAl、ダイヤモンド、ダイヤモンド様炭素、Si、Si、ZrO、TiO及びこれらの組み合わせが挙げられる。耐擦傷性層又はコーティングはまた、硬度、靭性又は耐摩耗/摩滅性を改善するために、ナノ複合材料、又は制御された微小構造を有する材料も含んでよい。例えば耐擦傷性層又はコーティングは、約5nm〜約30nmのサイズのナノ微結晶を含んでよい。実施形態では、耐擦傷性層又はコーティングは、変態強化ジルコニア、部分安定化ジルコニア、又はジルコニア‐強化アルミナを含んでよい。実施形態では、耐擦傷性層又はコーティングは、約1MPa√m超の破壊靭性を呈し、また同時に約8Ga超の硬度値を呈する。
耐擦傷性層は、(図7に示すような)単一の層150、又は複数の副層、又は屈折率勾配を呈する複層又は単一の層を含んでよい。複数の層が使用される場合、このような層は耐擦傷性コーティングを形成する。例えば耐擦傷性コーティングは、SiAlの組成勾配を含んでよく、ここでは、Si、Al、O及びNのうちのいずれの1つ以上の濃度が変化することによって、屈折率が増大又は低下する。この屈折率勾配は、多孔性を用いて形成してもよい。このような勾配は、2014年4月28日出願の米国特許出願第14/262224号明細書「Scratch‐Resistant Articles with a Gradient Layer」に更に十分に記載されており、この特許出願は、参照によりその全体が本出願に援用される。
図8に示されている一実施形態では、光学コーティング120は、高RI層として組み込まれた耐擦傷性層150を含んでよく、1つ以上の低RI層130A及び高RI層130Bは、耐擦傷性層150を覆うように位置決めしてよく、任意のキャッピング層131が低RI層130A及び高RI層130Bを覆うように位置決めされ、ここでキャッピング層131は、低RI材料を含む。あるいは耐擦傷性層は、光学コーティング全体の中で、又は物品全体の中で、最も厚い硬質層又は最も厚い高RI層として定義できる。理論によって束縛されるものではないが、比較的少量の材料が耐擦傷性層150を覆うように堆積される場合に、物品100は押込み深さとして増大した硬度を呈し得ると考えられる。しかしながら、耐擦傷性層150の上に低RI及び高RI層を含むことにより、物品100の光学的特性を増強できる。いくつかの実施形態では、比較的少数の層(例えば1、2、3、4又は5層のみ)を、耐擦傷性層150を覆うように位置決めしてよく、これらの各層は比較的薄くてよい(例えば100nm未満、75nm未満、50nm未満、又は25nm未満でさえある)。
実施形態では、耐擦傷性層150を覆うように(即ち耐擦傷性層150の空気側の上に)堆積した層は、約1000nm以下、約500nm以下、約450nm以下、約400nm以下、約350nm以下、約300nm以下、約250nm以下、約225nm以下、約200nm以下、約175nm以下、約150nm以下、約125nm以下、約100nm以下、約90nm以下、約80nm以下、約70nm以下、約60nm以下、又は約50nm以下でさえある合計厚さを有してよい。
実施形態では、耐擦傷性層150を覆うように(即ち耐擦傷性層150の空気側の上に)位置決めされた1つ以上の低RI層の合計厚さ(低RI層が接していない場合であっても、全ての低RI層の厚さの合計)は、約500nm以下、約450nm以下、約400nm以下、約350nm以下、約300nm以下、約250nm以下、約225nm以下、約200nm以下、約175nm以下、約150nm以下、約125nm以下、約100nm以下、約90nm以下、約80nm以下、約70nm以下、約60nm以下、約50nm以下、約40nm以下、約30nm以下、約20nm以下、又は約10nm以下でさえあってよい。
実施形態では、光学コーティング120は、材料の最上部500nmの厚さ百分率又は体積百分率として算出した場合に、厚さの最上部500nm中(即ち光学コーティング120の空気側上において)、高RI(高硬度)材料の少なくとも約50%、少なくとも約55%、少なくとも約60%、少なくとも約65%、少なくとも約70%、少なくとも約75%、少なくとも約80%、少なくとも約85%、少なくとも約90%、又は更に少なくとも約95%を構成してよい。例えば、耐擦傷性層150を覆うように位置決めされた層が比較的薄い場合、硬質材料製であってよい耐擦傷性層150は、光学コーティング120の最上部500nmの大半を構成してよい。実施形態では、光学コーティング120は、厚さの最上部500nm中(即ち光学コーティング120の空気側上において)、低RI(低硬度)材料の約50%未満、約45%未満、約40%未満、約35%未満、約30%未満、約25%未満、約20%未満、約15%未満、約10%未満、又は更に約5%未満を構成してよい。
耐擦傷性層又はコーティングの組成を修正することにより、特定の特性(例えば硬度)を提供できる。1つ以上の実施形態では、耐擦傷性層又はコーティングは、バーコビッチ圧子硬度試験によって耐擦傷性層又はコーティングの大表面上で測定した場合に、約5GPa〜約30GPaの最大硬度を呈する。1つ以上の実施形態では、耐擦傷性層又はコーティングは、約6GPa〜約30GPa、約7GPa〜約30GPa、約8GPa〜約30GPa、約9GPa〜約30GPa、約10GPa〜約30GPa、約12GPa〜約30GPa、約5GPa〜約28GPa、約5GPa〜約26GPa、約5GPa〜約24GPa、約5GPa〜約22GPa、約5GPa〜約20GPa、約12GPa〜約25GPa、約15GPa〜約25GPa、約16GPa〜約24GPa、約18GPa〜約22GPa並びにこれらの間の全ての範囲及び部分範囲である最大硬度を呈する。1つ以上の実施形態では、耐擦傷性コーティングは、15GPa超、20GPa超又は25GPa超の最大硬度を呈してよい。1つ以上の実施形態では、耐擦傷性層は、約15GPa〜約150GPa、約15GPa〜約100GPa又は約18GPa〜約100GPaの最大硬度を呈する。最大硬度は、ある範囲の押込み深さに亘って測定した最高の硬度値である。このような最大硬度値は、約50nm以上又は100nm以上(例えば約100nm〜約300nm、約100nm〜約400nm、約100nm〜約500nm、約100nm〜約600nm、約200nm〜約300nm、約200nm〜約400nm、約200nm〜約500nm又は約200nm〜約600nm)の押込み深さに沿って呈される。
実施形態では、物品100はある硬度プロファイルを備え、これは、複数の押込み深さの組み合わせにおける物品のナノ硬度によって定義できる。例えば上記物品は、物品100が、約100nmの押込み深さにおいて指定された値より大きなナノ硬度、及び/又は約300nmの押込み深さにおいて指定された別の値より大きなナノ硬度、及び/又は約500nmの押込み深さにおいて指定された別の値より大きなナノ硬度、及び/又は約700nmの押込み深さにおいて指定された別の値より大きなナノ硬度を有する場合に、ある硬度プロファイルを呈し得る。例えば2つ以上の押込み深さを選択することによって、硬度プロファイルを確立してよい。より深い押し込み深さまで延在する高い硬度を有することによって、比較的目立つ擦傷をもたらす比較的過酷な擦傷イベントに対する保護が補助される。比較的浅い押し込み深さにおいて比較的高い硬度を維持することによって、比較的過酷でない擦傷イベントに対する保護が補助される。従って、浅い押し込み深さ(例えば表面から最大100nm)において硬度が急速に増大して、可能な限りの深さまで、例えば表面から測定した場合に100nmから最大約700又は800nmまで維持される、硬度プロファイルを有することが望ましい。実施形態では、物品100は、押込み深さ100nmにおいて、少なくとも約5GPa、少なくとも約6GPa、少なくとも約7GPa、少なくとも約8GPa、少なくとも約9GPa、少なくとも約10GPa、少なくとも約11GPa、少なくとも約12GPa、少なくとも約13GPa、少なくとも約14GPa、少なくとも約15GPa、少なくとも約16GPa、少なくとも約17GPa、少なくとも約18GPa、少なくとも約19GPa、少なくとも約20GPa、少なくとも約22GPa、又は少なくとも約25GPaでさえある硬度を備えてよく;また押込み深さ300nmにおいて、少なくとも約5GPa、少なくとも約6GPa、少なくとも約7GPa、少なくとも約8GPa、少なくとも約9GPa、少なくとも約10GPa、少なくとも約11GPa、少なくとも約12GPa、少なくとも約13GPa、少なくとも約14GPa、少なくとも約15GPa、少なくとも約16GPa、少なくとも約17GPa、少なくとも約18GPa、少なくとも約19GPa、少なくとも約20GPa、少なくとも約22GPa、又は少なくとも約25GPaでさえある硬度を備えてよく;押込み深さ500nmにおいて、少なくとも約5GPa、少なくとも約6GPa、少なくとも約7GPa、少なくとも約8GPa、少なくとも約9GPa、少なくとも約10GPa、少なくとも約11GPa、少なくとも約12GPa、少なくとも約13GPa、少なくとも約14GPa、少なくとも約15GPa、少なくとも約16GPa、少なくとも約17GPa、少なくとも約18GPa、少なくとも約19GPa、少なくとも約20GPa、少なくとも約22GPa、又は少なくとも約25GPaでさえある硬度を備えてよく;及び/又は押込み深さ700nmにおいて、少なくとも約5GPa、少なくとも約6GPa、少なくとも約7GPa、少なくとも約8GPa、少なくとも約9GPa、少なくとも約10GPa、少なくとも約11GPa、少なくとも約12GPa、少なくとも約13GPa、少なくとも約14GPa、少なくとも約15GPa、少なくとも約16GPa、少なくとも約17GPa、少なくとも約18GPa、少なくとも約19GPa、少なくとも約20GPa、少なくとも約22GPa、又は少なくとも約25GPaでさえある硬度を備えてよい。例えば本明細書に記載の実施形態は、押込み深さ100nmにおいて少なくとも約12GPaの硬度、押込み深さ300nmにおいて少なくとも約15GPaの硬度、押込み深さ500nmにおいて少なくとも約15GPaの硬度、及び押込み深さ700nmにおいて少なくとも約15GPaの硬度を有してよい。
耐擦傷性コーティング又は層の物理的厚さは、約1nm〜約5μmであってよい。いくつかの実施形態では、耐擦傷性コーティングの物理的厚さは、約1nm〜約3μm、約1nm〜約2.5μm、約1nm〜約2μm、約1nm〜約1.5μm、約1nm〜約1μm、約1nm〜約0.5μm、約1nm〜約0.2μm、約1nm〜約0.1μm、約1nm〜約0.05μm、約5nm〜約0.05μm、約10nm〜約0.05μm、約15nm〜約0.05μm、約20nm〜約0.05μm、約5nm〜約0.05μm、約200nm〜約3μm、約400nm〜約3μm、約800nm〜約3μm、並びにこれらの間の全ての範囲及び部分範囲であってよい。いくつかの実施形態では、耐擦傷性コーティングの物理的厚さは、約1nm〜約25nmであってよい。いくつかの例では、耐擦傷性層は、窒化物又は酸窒化物材料を含んでよく、約200nm以上、500nm以上又は約1000nm以上の厚さを有してよい。
1つ以上の実施形態の物品は、テーバー試験に従って反射防止表面122に対して少なくとも約500サイクルの研磨を行った後、様々な方法で測定した場合に、耐摩耗性であるものとして説明され得る。Taber Industriesによって供給される摩耗媒体を用いる、ASTM D1044‐99に明記された試験方法等、様々な形態の摩耗試験が当該技術分野において公知である。反復可能かつ測定可能な摩耗又は摩擦痕跡を提供することによって異なる複数の試料の耐摩耗性を有意に識別するために、異なる複数のタイプの摩耗媒体、研磨材ジオメトリ及び運動、圧力等を用いて、ASTM D1044‐99に関連する修正された研磨方法を生成できる。例えば、軟質プラスチックと硬質無機試験試料とには、通常、異なる試験条件が適切となる。本明細書に記載の実施形態を、本明細書において定義されるようなテーバー試験に供した。これは、ASTM D1044‐99の特定の修正バージョンであり、酸化物ガラス及び酸化物又は窒化物コーティングといった硬質無機材料を主に含む異なる試料間における耐久性の明確かつ反復可能な区別を提供する。本明細書中で使用される場合、句「テーバー試験(Taber Test)」は、温度約22℃±3℃及び相対湿度最大約70%を含む環境において、Taber Industriesによって供給されるTaber Linear Abraser 5750(TLA 5750)及びアクセサリを用いる試験方法を指す。TLA 5750は、6.7mm径の研磨装置ヘッドを有するCS‐17研磨装置材料を含む。各試料を、テーバー試験に従って研磨し、摩耗損傷を、複数の方法の中で特に、ヘイズ及び双方向透過率分布関数(CCBTDF)測定を用いて評価した。テーバー試験では、各試料を研磨するための手順は、TLA 5750及び平坦な試料支持体を、剛性の平坦な表面上に配置するステップ、並びにTLA 5750及び試料支持体を上記表面に固定するステップを含む。テーバー試験下で各試料を研磨する前に、ガラスに取り付けられた新しいS‐14リフェース用ストリップを用いて、研磨装置をリフェースする。サイクル速度25サイクル/分、及びストローク長さ1インチ(2.54cm)を用い、追加のおもりを加えずに(即ちリフェース中、研磨装置を保持するスピンドル及びコレットを併せた重量である約350gの合計重量が使用される)、研磨装置を10回のリフェースサイクルに供する。次にこの手順は、25サイクル/分のサイクル速度及び1インチ(2.54cm)のストローク長さ、並びに試料に印加される合計重量が850gとなる(即ちスピンドル及びコレットの複合重量350gに加えて500gの補助おもりが適用される)ようなおもりを用いて、TLA 5750を操作して試料を研磨するステップを含み、ここで試料は、研磨装置ヘッドに接触して研磨装置に印加されるおもりを支持する上記試料支持体に配置される。この手順は、反復性のために、各試料に対して2つの摩滅痕跡を形成するステップ、及び各試料上の2つの摩滅痕跡それぞれにおいて500サイクルカウントに亘り、各試料を研磨するステップを含む。
1つ以上の実施形態では、物品100の反射防止表面122は、上述のテーバー試験に従って研磨され、上記物品は、研磨される側において、BYK GardnerによってHaze‐Gard plus(登録商標)の商標名で提供されるヘイズメータを用いて測定した場合に、約10%以下のヘイズを呈し、上記ヘイズメータはソースポート上のアパーチャを使用し、このアパーチャは直径8mmである。
1つ以上の実施形態の物品100は、(本明細書中で後に説明される追加のコーティング140を含む)いずれの追加のコーティングを用いて又は用いずに、上述のような耐摩耗性を呈する。いくつかの実施形態では、上記ヘイズは、約9%以下、約8%以下、約7%以下、約6%以下、約5%以下、約4%以下、約3%以下、約2%以下、約1%以下、約0.5%以下又は約0.3%以下であってよい。いくつかの具体的な実施形態では、物品100は、約0.1%〜約10%、約0.1%〜約9%、約0.1%〜約8%、約0.1%〜約7%、約0.1%〜約6%、約0.1%〜約5%、約0.1%〜約4%、約0.1%〜約3%、約0.1%〜約2%、約0.1%〜約1%、0.3%〜約10%、約0.5%〜約10%、約1%〜約10%、約2%〜約10%、約3%〜約10%、約4%〜約10%、約5%〜約10%、約6%〜約10%、約7%〜約10%、約1%〜約8%、約2%〜約6%、約3%〜約5%、並びにこれらの間の全ての範囲及び部分範囲であるヘイズを呈する。
ここでは、耐摩耗性を定量化するための代替的な方法も考える。1つ以上の実施形態では、テーバー試験によって反射防止表面122上を研磨した物品100は、(研磨された領域の大部分をサンプリングするために)反射防止表面122の1つの80×80マイクロメートル領域又は複数の80×80マイクロメートル領域に対して実施され得る原子間力顕微鏡(AFM)表面プロファイリングによって測定されるものとしての、ある耐摩耗性を呈し得る。これらのAFM表面走査から、RMS粗度、Ra粗度及び最高点‐最低点間表面高さといった表面粗度統計を評価できる。1つ以上の実施形態では、物品100(又は具体的には反射防止表面122)は、上述のテーバー試験によって研磨した後、約50nm以下、約25nm以下、約12nm以下、約10nm以下又は約5nm以下の平均表面粗度(Ra)値を呈してよい。
1つ以上の実施形態では、物品100は、反射防止表面122をテーバー試験によって研磨した後に、光散乱測定によって測定されるものとしての、ある耐摩耗性を呈し得る。1つ以上の実施形態では、光散乱測定は、Radiant Zemax IS‐SA(商標)機器を用いて実施される。双方向反射率分布関数(BRDF)又は双方向透過率分布関数(BTDF)測定を含む。この機器は、反射において垂直〜約85°の入射、及び透過において垂直〜約85%の入射という入力角度を用いて光散乱を測定しながら、反射又は透過において全ての散乱光出力を2*Piステラジアン(反射又は透過において完全な半球)へと捕捉する、柔軟性を有する。一実施形態では、物品100は、BTDFを用いて垂直な入射において測定し、かつ選択された角度範囲、例えば極角度として約10°〜約80°及びこの範囲内のいずれの角度範囲において透過した散乱光を分析した場合に、ある耐摩耗性を呈する。全方位の角度範囲を分析して統合でき、又は特定の方位の角度区域、例えば方位角的に約0°〜90°を選択できる。直線的な摩耗の場合、光散乱測定のSN比を増大させるために、摩耗方向に略垂直な方位角を選択することが望ましい場合がある。1つ以上の実施形態では、物品100は、反射防止コーティング120において測定した場合に、透過における垂直な入射において、2mmのアパーチャと、600nmの波長に設定されたモノクロメータセットとを備えるRadiant Zemax IS‐SAツールをCCBTDFモードで用い、また約15°〜約60°(例えば具体的には約20°又は約40°)の極散乱角において評価すると、約0.1未満、約0.05以下、約0.03以下、約0.02以下、約0.01以下、約0.005以下又は約0.003以下(単位は1/ステラジアン)の散乱光強度を呈してよい。透過における垂直な入射は、透過においてゼロ度であることが分かっている場合があり、これは機器ソフトウェアでは180°の入射として表すことができる。1つ以上の実施形態では、散乱光強度は、テーバー試験によって研磨された試料の研磨方向に対して略垂直な方位角に沿って測定してよい。一例では、テーバー試験は、約10サイクル〜約1000サイクル、及びその間の全ての値を使用してよい。これらの光強度値はまた、約5°超、約10°超、約30°超又は約45°超の極散乱角へと散乱する入力光強度の約1%未満、約0.5%未満、約0.2%未満又は約0.1%未満に対応し得る。
一般に、本明細書に記載されているように、垂直な入射におけるBTDF試験と、透過ヘイズ測定とは、これらがいずれも、試料(又はこの場合は反射防止コーティング120を研磨した後の物品100)を通る透過において散乱する光の量を測定するという点で、密接に関連する。BTDF測定は、ヘイズ測定に比べて、より高い感度及びより詳細な角度情報を提供する。BTDFにより、異なる複数の極及び方位角への散乱の測定が可能となり、例えば直線的なテーバー試験にける研磨方向に対して略垂直な方位角への散乱を選択的に評価できる(上記方位角は、直線的な研磨からの光の散乱が最大になる角度である)。透過ヘイズは本質的に、垂直入射BTDFによって測定された全ての散乱光を、約+/‐2.5°を超える極角度の完全な半球に組み込んだものである。
光学コーティング120及び物品100について、バーコビッチ圧子硬度試験で測定された硬度に関して説明できる。本明細書中で使用される場合、「バーコビッチ圧子硬度試験(Berkovich Indenter Hardness Test)」は、材料の硬度をその表面において、上記表面をダイヤモンドバーコビッチ圧子で押し込むことによって測定するステップを含む。バーコビッチ圧子硬度試験は、物品の反射防止表面122、又は光学コーティング120の表面(若しくは反射防止コーティング中の複数の層のうちのいずれの1つ以上の表面)を、ダイヤモンドバーコビッチ圧子で、約50nm〜約1000nmの押込み深さ(又は反射防止コーティング若しくは層のうち薄い方の全体の厚さ)まで押し込むステップと、押込み深さ範囲全体又はこの押込み深さの(例えば約100nm〜約600nmの範囲の)あるセグメントに沿ったこの押込みから、一般にはOliver, W.C.; Pharr, G. M. An improved technique for determining hardness and elastic modulus using load and displacement sensing indentation experiments. J. Mater. Res., Vol. 7, No. 6, 1992, 1564‐1583;及び Oliver, W.C.; Pharr, G.M. Measurement of Hardness and Elastic Modulus by Instrument Indentation: Advances in Understanding and Refinements to Methodology. J. Mater. Res., Vol. 19, No. 1, 2004, 3‐20に記載の方法を用いて、最大硬度を測定するステップを含む。本明細書中で使用される場合、硬度は平均硬度ではなく最大硬度を指す。
典型的には、下層の基板より高い硬度を有するコーティングの(バーコビッチ圧子を用いるもの等の)ナノ押込み測定方法では、測定される硬度は、浅い押込み深さにおける可塑性ゾーンの発生により、初めは増大するように見える場合があり、その後増大して、より深い押込み深さにおいて最大値又は平坦域に達する。その後硬度は、下層の基板の影響により、更に深い押込み深さにおいて低下し始める。コーティングより硬度が高い基板を利用している場合、同一の影響を観察できる。しかしながら、硬度は、下層の基板の影響により、更に深い押込み深さにおいて増大する。
押込み深さ範囲、及び1つ以上の特定の押込み深さ範囲における硬度値は、下層の基板の影響なしに、本明細書に記載の光学フィルム構造及びその層の特定の硬度応答を識別できるように選択できる。(光学フィルム構造が基板上に配置されているときに)バーコビッチ圧子で光学フィルム構造の硬度を測定する場合、材料の恒久的変形領域(可塑性ゾーン)は、上記材料の硬度に関連する。押込み中、弾性応力場は、この恒久的変形領域をはるかに超えて延在する。押込み深さが増大するにつれて、見かけの硬度及び弾性率は、下層の基板との応力場の相互作用によって影響を受ける。硬度に対する基板の影響は、比較的深い押込み深さにおいて(即ち典型的には、光学フィルム構造又は層の厚さの約10%超の深さにおいて)発生する。更に、押込みプロセス中に完全な可塑性を発生させるために、硬度応答がある一定の最小負荷を必要とすることが、更なる問題となる。このある一定の最小負荷の前、上記硬度は概ね増大する傾向を示す。
小さい押込み深さ(これは小さい負荷として特性決定することもできる)(例えば最大約50nm)では、材料の見かけの硬度は、押込み深さに対して劇的に増大するように見える。この小さい押込み深さの領域は、硬度の本当の尺度を表すわけではないが、その代わりに上述の可塑性ゾーンの発生を反映しており、これは圧子の有限曲率半径に関係する。中程度の押込み深さでは、見かけの硬度は最大レベルに近づく。より深い押込み深さでは、押込み深さが増大するにつれて基板の影響がより甚大になる。押込み深さが、光学フィルム構造の厚さ又は層の厚さの約30%を超えると、硬度は劇的に低下し始める場合がある。
図9は、押込み深さ及びコーティングの厚さの関数としての、測定された硬度値の変化を示す。図9に示すように、中程度の押込み深さ(硬度が最大レベルに近づいて維持される)、及びより深い押込み深さで測定された硬度は、材料又は層の厚さに左右される。図9は、様々な厚さを有するAlOの異なる4つの層の硬度応答を示す。各層の硬度は、バーコビッチ圧子硬度試験を用いて測定した。500nm厚の層は、押込み深さ約100nm〜180nmにおいてその最大硬度を呈し、これに続いて押込み深さ約180nm〜約200nmにおいて硬度が劇的に低下し、これは基板の硬度が硬度測定に影響を及ぼしていることを示した。1000nm厚の層は、押込み深さ約100nm〜約300nmにおいて最大硬度を呈し、これに続いて押込み深さ約300nm超において硬度が劇的に低下した。1500nm厚の層は、押込み深さ約100nm〜約550nmにおいて最大硬度を呈し、2000nm厚の層は、押込み深さ約100nm〜約600nmにおいて最大硬度を呈した。図9は厚い単一の層を示しているが、より薄いコーティング、及び本明細書に記載の実施形態の反射防止コーティング120等の複数の層を含むものにおいても、同一の挙動が観察される。
いくつかの実施形態では、光学コーティング120は、約8GPa以上、約10GPa以上又は約12GPa以上(例えば14GPa以上、16GPa以上、18GPa以上、20GPa以上)の硬度を呈してよい。光学コーティング120の硬度は、最高約20GPa又は30GPaであってよい。本明細書に記載の反射防止コーティング120及びいずれの追加のコーティングを含む物品100は、反射防止表面122上でバーコビッチ圧子硬度試験によって測定した場合に、約5GPa以上、約8GPa以上、約10GPa以上又は約12GPa以上(例えば14GPa以上、16GPa以上、18GPa以上、20GPa以上)の硬度を呈する。光学コーティング120の硬度は、最大約20GPa又は30GPaであってよい。このような測定された硬度値は、約50nm以上又は約100nm以上(例えば約100nm〜約300nm、約100nm〜約400nm、約100nm〜約500nm、約100nm〜約600nm、約200nm〜約300nm、約200nm〜約400nm、約200nm〜約500nm又は約200nm〜約600nm)の押込み深さに沿って、光学コーティング120及び/又は物品100が呈し得る。1つ以上の実施形態では、上記物品は、(反射防止表面の反対側の表面において測定できる)上記基板の硬度より高い硬度を呈する。
光学コーティング120は、バーコビッチ圧子硬度試験で測定した場合に約12GPa以上、約13GPa以上、約14GPa以上、約15GPa以上、約16GPa以上、約17GPa以上、約18GPa以上、約19GPa以上、約20GPa以上、約22GPa以上、約23GPa以上、約24GPa以上、約25GPa以上、約26GPa以上、又は約27GPa以上(最大約50GPa)の硬度を有する、(このような層の表面、例えば図2の第2の高RI層130Bの表面又は耐擦傷性層の表面で測定される)少なくとも1つの層を有してよい。このような層の硬度は、バーコビッチ圧子硬度試験で測定した場合に、約18GPa〜約21GPaであってよい。このような測定された硬度値は、約50nm以上又は100nm以上(例えば約100nm〜約300nm、約100nm〜約400nm、約100nm〜約500nm、約100nm〜約600nm、約200nm〜約300nm、約200nm〜約400nm、約200nm〜約500nm又は約200nm〜約600nm)の押込み深さに沿って、上記少なくとも1つの層が呈し得る。
1つ以上の実施形態では、光学コーティング120、又は上記光学コーティング内の個々の層は、反射防止表面122上において、バーコビッチ圧子を用いて当該表面を押し込むことによって測定した場合に、約75GPa以上、約80GPa以上又は約85GPa以上の弾性率を呈してよい。これらの弾性率の値は、反射防止表面の極めて近傍で、例えば押込み深さ0nm〜約50nmにおいて測定された弾性率を表してよく、又はより深い押込み深さ、例えば約50nm〜約1000nmで測定された弾性率を表してよい。
耐擦傷性層(反射防止コーティング、例えば図7の150の一部として使用する場合)又は耐擦傷性コーティング(追加のコーティング140として使用する場合)を含む物品の実施形態では、上記物品は、反射防止表面122、又は耐擦傷性コーティングの表面においてバーコビッチ圧子硬度試験で測定した場合に、約12GPa〜約25GPaの最大硬度を呈してよい。このような測定された硬度値は、50nm以上又は100nm以上(例えば約100nm〜約300nm、約100nm〜約400nm、約100nm〜約500nm、約100nm〜約600nm、約200nm〜約300nm、約200nm〜約400nm、約200nm〜約500nm又は約200nm〜約600nm)の押込み深さに沿って呈され得る。この硬度は、(例えば図7及び8に示すように)耐擦傷性層が反射防止表面122に又は反射防止表面122の付近に配置されていない場合でも、呈され得る。
光学コーティング120/空気界面からの反射波と光学コーティング120/基板110界面からの反射波との間の光学的干渉により、スペクトル反射率及び/又は透過率振動がもたらされる場合があり、これは物品100の見かけの色を生成する。本明細書中で使用される場合、用語「透過率(transmittance)」は、材料(例えば物品、基板又は光学フィルム若しくはその一部)を通過する所与の波長範囲内の入射光強度の百分率として定義される。用語「反射率(reflectance)」は同様に、材料(例えば物品、基板又は光学フィルム若しくはその一部)から反射される所与の波長範囲内の入射光強度の百分率として定義される。透過率及び反射率は、ある特定の線幅を用いて測定される。1つ以上の実施形態では、透過率及び反射率の特性決定のスペクトル解像度は、5nm又は0.02eV未満である。色は、反射においてより強くなり得る。角度色は、反射において、入射照明角度によるスペクトル反射率振動のシフトにより、視野角と共にシフトする。視野角による透過における角度色シフトもまた、入射照明角度によるスペクトル透過率振動の同一のシフトによるものである。入射照明角度による観察される色及び角度色シフトは、特に蛍光照明及び一部のLED照明等の鋭いスペクトル特徴を有する照明下において、デバイスのユーザにとって、気が散る原因となる、又は不快なものとなることが多い。透過における角度色シフトはまた、反射における色シフトの因子としても作用する場合があり、その逆もあり得る。透過及び/又は反射における角度色シフトの因子としては、視野角による角度色シフト、又は特定の光源又は試験システムによって定義される(角度とはある程度独立した)材料の吸収によって引き起こされ得る特定の白色点から離れる角度色シフトも挙げられる。
上記振動は、振幅に関して説明できる。本明細書中で使用される場合、「振幅(amplitude)」は、反射率又は透過率の最大値‐最小値間変化を含む。句「平均振幅(average amplitude)」は、複数の振動サイクル、又は光波長領域の波長部分範囲に亘って平均された、反射率又は透過率の最大値‐最小値間変化を含む。本明細書中で使用される場合、「光波長領域(wavelength range)」は、約400nm〜約800nm(及び更に具体的には約450nm〜約650nm)の波長範囲を含む。
本開示の実施形態は、異なる複数の光源下で垂直入射からの入射照明角度を変化させて観察した場合に、無色性及び/又はより小さい角度色シフトという点で、光学的特性の改善を提供するための、反射防止コーティングを含む。
本開示の一態様は、ある光源下で異なる複数の入射照明角度において観察した場合であっても、反射率及び/又は透過率の無色性を呈する物品に関係する。1つ以上の実施形態では、上記物品は、基準照明角度と、本明細書で提供される範囲内のいずれの入射照明角度との間で、約5以下又は約2以下の反射率及び/又は透過率の角度色シフトを呈する。本明細書中で使用される場合、句「色シフト(color shift)」(角度又は基準点)は、反射率及び/又は透過率の、CIE L*,a*,b*測色におけるa*及びb*両方の変化を指す。なお、そうでないことが注記されていない限り、本明細書に記載の物品のL*座標は、いずれの角度又は基準点において同一であり、色シフトに影響を及ぼさない。例えば角度色シフトは、以下の式(1):
(1) √((a*‐a*+(b*‐b*)、
を用いて決定でき、ここでa*及びb*は、入射基準照明角度(垂直入射を含んでよい)において観察した場合の上記物品のa*及びb*座標を表し、a*及びb*は、ある入射照明角度において観察した場合の上記物品のa*及びb*座標を表し、上記入射照明角度は上記基準照明角度とは異なるものとし、場合によっては上記基準照明角度と少なくとも約1°、2°又は約5°だけ異なるものとする。いくつかの例では、ある光源下において基準照明角度からの様々な入射照明角度で観察した場合、上記物品は、約10以下(例えば5以下、4以下、3以下又は2以下)の、反射率及び/又は透過率の角度色シフトを呈する。いくつかの例では、反射率及び/又は透過率の角度色シフトは、約1.9以下、1.8以下、1.7以下、1.6以下、1.5以下、1.4以下、1.3以下、1.2以下、1.1以下、1以下、0.9以下、0.8以下、0.7以下、0.6以下、0.5以下、0.4以下、0.3以下、0.2以下又は0.1以下である。いくつかの実施形態では、角度色シフトは約0であってよい。光源は、CIEによって決定される標準的な光源を含むことができ、これはA光源(タングステンフィラメント照明を表す)、B光源(日光シミュレート光源)、C光源(日光シミュレート光源)、Dシリーズ光源(自然日光を表す)、及びFシリーズ光源(様々なタイプの蛍光照明を表す)を含む。具体例では、上記物品は、CIE F2、F10、F11、F12若しくはD65光源下、又は更に具体的にはCIE F2光源下において、基準照明角度からの入射照明角度で観察した場合に、約2以下の反射率及び/又は透過率の角度色シフトを呈する。
基準照明角度は、垂直入射(即ち約0°〜約10°)、又は垂直入射から5°、垂直入射から10°、垂直入射から15°、垂直入射から20°、垂直入射から25°、垂直入射から30°、垂直入射から35°、垂直入射から40°、垂直入射から50°、垂直入射から55°、垂直入射から60°を含んでよく、ここで入射照明角度と基準照明角度との間の差は、少なくとも約1°、2°又は約5°であるものとする。入射照明角度は、基準照明角度に対して、基準照明角度から約5°〜約80°、約5°〜約70°、約5°〜約65°、約5°〜約60°、約5°〜約55°、約5°〜約50°、約5°〜約45°、約5°〜約40°、約5°〜約35°、約5°〜約30°、約5°〜約25°、約5°〜約20°、約5°〜約15°、並びにこれらの間の全ての範囲及び部分範囲だけ離れてよい。上記物品は、基準照明角度が垂直入射である場合、約2°〜約80°(又は約10°〜約80°若しくは約20°〜約80°)の範囲内の全ての入射照明角度において及びこれに沿って、本明細書に記載の反射率及び/又は透過率の角度色シフトを呈し得る。いくつかの実施形態では、上記物品は、入射照明角度と基準照明角度との差が少なくとも約1°、2°又は約5°である場合、約2°〜約80°(又は約10°〜約80°若しくは約20°〜約80°)の範囲内の全ての入射照明角度において及びこれに沿って、本明細書に記載の反射率及び/又は透過率の角度色シフトを呈し得る。一例では、上記物品は、垂直入射に等しい基準照明角度から約2°〜約60°、約5°〜約60°、又は約10°〜約60°だけ離れるいずれの入射照明角度において、5以下(例えば4以下、3以下又は約2以下)の反射率及び/又は透過率の角度色シフトを呈し得る。他の例では、上記物品は、基準照明角度が10°であり、入射照明角度が基準照明角度から約12°〜約60°、約15°〜約60°又は約20°〜約60°だけ離れるいずれの角度である場合に、5以下(例えば4以下、3以下又は約2以下)の反射率及び/又は透過率の角度色シフトを呈し得る。
いくつかの実施形態では、角度色シフトは、基準照明角度(例えば垂直入射)と、約20°〜約80°である入射照明角度との間のあらゆる角度において測定してよい。換言すれば、角度色シフトは、約0°〜20°、約0°〜約30°、約0°〜約40°、約0°〜約50°、約0°〜約60°又は約0°〜約80°の範囲内のあらゆる角度において測定でき、約5未満又は約2未満となり得る。
1つ以上の実施形態では、上記物品は、ある光源(これはCIEによって決定される標準的な光源を含むことができ、これはA光源(タングステンフィラメント照明を表す)、B光源(日光シミュレート光源)、C光源(日光シミュレート光源)、Dシリーズ光源(自然日光を表す)、及びFシリーズ光源(様々なタイプの蛍光照明を表す)を含む)下で、基準点からの透過色又は反射率座標の間の距離又は基準点色シフトが約5未満又は約2未満となるように、反射率及び/又は透過率において、CIE L*,a*,b*測色系における色シフトを呈する。具体例では、上記物品は、CIE F2、F10、F11、F12若しくはD65光源下において、又は更に具体的にはCIE F2光源下において、基準照明角度からの入射照明角度において観察した場合に、約2以下の反射率及び/又は透過率における色シフトを呈する。換言すれば、上記物品は、本明細書中で定義される基準点から約2未満の基準点色シフトを有する、反射防止表面122において測定された透過色(若しくは透過色座標)及び/又は反射色(若しくは反射色座標)を呈し得る。そうでないことが注記されていない限り、透過色又は透過色座標は、反射防止表面122と、反対側の剥き出しの表面(即ち114)とを含む物品の2つの表面上で測定される。そうでないことが注記されていない限り、反射色又は反射色座標は、物品の反射防止表面122のみにおいて測定される。しかしながら、本明細書に記載の反射色又は反射色座標は、2表面測定(物品の2つの側面からの反射をいずれも含む)又は1表面測定(物品の反射防止表面122からの反射のみを測定する)を用いて、物品の反射防止表面122及び物品の反対側(即ち図1の大表面114)の両方で測定できる。これらのうち、1表面反射率測定は典型的には、反射防止コーティングに関して弱い色又は低い色シフト値を達成するためのより魅力的な計量であり、これは物品の裏面を黒色インク等の光吸収媒体又はLCD若しくはOLEDデバイスに結合させる用途(スマートフォン等)に対して妥当である。
1つ以上の実施形態では、上記基準点は、CIE L*,a*,b*測色系の原点(0,0)(若しくは色座標a*=0、b*=0)、座標(a*=‐2,b*=‐2)、又は基板の透過率若しくは反射色座標であってよい。なお、そうでないことが注記されていない限り、本明細書に記載の物品のL*座標は、上記基準点と同一であり、色シフトに影響を及ぼさない。物品の基準点色シフトが基板に対して定義されている場合、物品の透過色座標を基板の透過色座標と比較し、物品の反射色座標を基板の反射色座標と比較する。
1つ以上の具体的な実施形態では、透過色及び/又は反射色の基準点色シフトは、1未満、又は0.5未満でさえあってよい。1つ以上の具体例な実施形態では、透過色及び/又は反射色に関する基準点色シフトは、1.8、1.6、1.4、1.2、0.8、0.6、0.4、0.2、0並びにこれらの間の全ての範囲及び部分範囲であってよい。基準点が色座標a*=0、b*=0である場合、基準点色シフトは式(2):
(2) 基準点色シフト=√((a*物品+(b*物品
によって算出される。
基準点が色座標a*=‐2、b*=‐2である場合、基準点色シフトは式(3):
(3) 基準点色シフト=√((a*物品+2)+(b*物品+2)
によって算出される。基準点が基板の色座標である場合、基準点色シフトは式(4):
(4) 基準点色シフト=√((a*物品‐a*基板+(b*物品‐b*基板
によって算出される。
いくつかの実施形態では、物品は、基準点が基板の色座標、色座標a*=0、b*=0及び座標a*=‐2、b*=‐2のうちのいずれか1つである場合に基準点色シフトが2未満となるような、透過色(又は透過色座標)及び反射色(又は反射色座標)を呈してよい。
1つ以上の実施形態では、物品は、約0〜約60°(又は約0°〜約40°若しくは約0°〜約30°)の範囲内のあらゆる入射照明角度で、CIE L*,a*,b*測色系において、(反射防止表面のみにおいて測定された)約‐5〜約1、約‐5〜約0、約‐4〜約1又は約‐4〜約0の反射におけるab*値を呈してよい。
1つ以上の実施形態では、物品は、物品は、約0〜約60°(又は約0°〜約40°若しくは約0°〜約30°)の範囲内のあらゆる入射照明角度で、CIE L*,a*,b*測色系において、(物品の反射防止表面及び反対側の剥き出しの表面において測定された)約2未満(又は約1.8以下、約1.6以下、1.5以下、1.4以下、1.2以下若しくは約1以下)の透過におけるab*値を呈してよい。透過におけるb*値の下限は約‐5であってよい。
いくつかの実施形態では、物品は、光源D65、A及びF2下において、約0°〜約60°の入射照明角度で、約‐1.5〜約1.5(例えば‐1.5〜‐1.2、‐1.5〜‐1、‐1.2〜1.2、‐1〜1、‐1〜0.5又は‐1〜0)の、(反射防止表面及び反対側の剥き出しの表面における)透過におけるa*値を呈する。いくつかの実施形態では、物品は、光源D65、A及びF2下において、約0°〜約60°の入射照明角度で、約‐1.5〜約1.5(例えば‐1.5〜‐1.2、‐1.5〜‐1、‐1.2〜1.2、‐1〜1、‐1〜0.5又は‐1〜0)の、(反射防止表面及び反対側の剥き出しの表面における)透過におけるab*値を呈する。
いくつかの実施形態では、物品は、光源D65、A及びF2下において、約0°〜約60°の入射照明角度で、約‐5〜約2(例えば‐4.5〜1.5、‐3〜0、‐2.5〜0.25)の、(反射防止表面のみにおける)反射におけるa*値を呈する。いくつかの実施形態では、物品は、光源D65、A及びF2下において、約0°〜約60°の入射照明角度で、約‐7〜約0の、(反射防止表面のみにおける)透過におけるab*値を呈する。
1つ以上の実施形態の物品、又は1つ以上の物品の反射防止表面122は、約400nm〜約800nmの光波長領域に亘って、約95%以上(例えば約9.5%以上、約96%以上、約96.5%以上、約97%以上、約97.5%以上、約98%以上、約98.5%以上又は約99%以上)の平均光線透過率を呈してよい。いくつかの実施形態では、物品、又は1つ以上の物品の反射防止表面122は、約400nm〜約800nmの光波長領域に亘って、約2%以下(例えば約1.5%以下、約1%以下、約0.75%以下、約0.5%以下又は約0.25%以下)の平均光線反射率を呈してよい。これらの光線透過率及び光線反射率値は、光波長領域全体に亘って、又は光波長領域の選択された範囲(例えば上記光波長領域内の100nm波長範囲、150nm波長範囲、200nm波長範囲、250nm波長範囲、280nm波長範囲若しくは300nm波長範囲)に亘って、観察され得る。いくつかの実施形態では、これらの光線反射率及び透過率値は、(反射防止表面122及び反対側の大表面114両方における反射率若しくは透過率を考慮した)合計反射率若しくは合計透過率であってよく、又は(反対側の表面を考慮せずに)反射防止表面122のみにおいて測定されるものとして、物品の単一側面において観察されてよい。そうでないことが明記されていない限り、平均反射率又は透過率は、約0°〜約10°の入射照明角度で測定される(しかしながら、このような測定を、45°又は60°の入射照明角度において提供してよい)。
いくつかの実施形態では、1つ以上の実施形態の物品、又は1つ以上の物品の反射防止表面122は、光波長領域に亘って、約1%以下、約0.7%以下、約0.5%以下又は約0.45%以下の平均可視明所視反射率を呈してよい。これらの明所視反射率値は、約0°〜約20°、約0°〜約40°又は約0°〜約60°の入射照明角度で呈され得る。本明細書中で使用される場合、「明所視反射率(photopic reflectance)」は、ヒトの眼の感度に従って波長スペクトルに対して反射率を重み付けすることにより、ヒトの眼の応答を模倣する。明所視反射率はまた、CIE色空間の慣習等の公知の慣習に従って、反射光の輝度値又は三刺激Y値として定義してもよい。平均明所視反射率は、眼のスペクトル応答に関連して、式(5)においてスペクトル反射率R(λ)×光源スペクトルI(λ)×CIE色適合関数
として定義される:
いくつかの実施形態では、物品は、反射防止表面のみにおいて垂直の入射又は垂直付近の入射(例えば0〜10°)で測定された、約10%未満の単一側面平均明所視反射率を呈する。いくつかの実施形態では、単一側面平均明所視反射率は、約9%以下、約8%以下、約7%以下、約6%以下、約5%以下、約4%以下、約3%、又は約2%以下である。ある具体的な実施形態では、1つ以上の物品の反射防止表面122は(即ち単一側面測定によって反射防止表面のみを測定する場合)、上述の平均明所視反射率値を呈してよく、その一方で同時に、D65光源及び/又はF2光源を用いて、約5°〜約60°の入射照明角度全体に亘って、約5.0未満、約4.0未満、約3.0未満、約2.0未満、約1.5未満又は約1.25未満の最大反射色シフトを呈する(基準照明角度は垂直入射である)。これらの最大反射色シフト値は、垂直入射から約5°〜約60°のいずれの角度で測定した最低色点値を、同一範囲のいずれの角度で測定した最高色点値から減算したものを表す。この値は、a*値の最大変化(a*最高‐a*最低)、b*値の最大変化(b*最高‐b*最低)、a*及びb*値の最大変化、又は量√((a*最高‐a*最低+(b*最高‐b*最低)の最大変化を表し得る。
基板
基板110は、無機材料を含んでよく、また非晶質基板、結晶質基板又はこれらの組み合わせを含んでよい。基板110は、人工材料並びに/又は天然材料(例えば石英及びポリマー)から形成してよい。例えば、いくつかの例では、基板110は、無機質であることを特徴としてよく、また具体的にはポリマー性であることを特徴としてよい。好適なポリマーの実施例としては、限定するものではないが:ポリスチレン(PS)(スチレンコポリマー及び混合物を含む)、ポリカーボネート(PC)(コポリマー及び混合物を含む)、ポリエステル(ポリエチレンテレフタレート及びポリエチレンテレフタレートコポリマーといったコポリマー及び混合物を含む)、ポリオレフィン(PO)、並びにシクロポリオレフィン(環状PO)を含む、熱可塑性プラスチック;ポリ塩化ビニル(PVC);ポリメチルメタクリレート(PMMA)(コポリマー及び混合物を含む)を含むアクリルポリマー;熱可塑性ウレタン(TPU);ポリエーテルイミド(PEI);並びにこれらのポリマーの混合物が挙げられる。他の例示的なポリマーとしては、エポキシ、スチレン、フェノール、メラミン及びシリコーン樹脂が挙げられる。
いくつかの具体的な実施形態では、基板110は、特にポリマー、プラスチック及び/又は金属基板を含まなくてよい。上記基板は、アルカリ含有基板であることを特徴としてよい(即ち上記基板は1つ以上のアルカリを含む)。1つ以上の実施形態では、上記基板は、約1.45〜約1.55の屈折率を呈する。具体的な実施形態では、基板110は、少なくとも5、少なくとも10、少なくとも15又は少なくとも20個の試料を用いたボール・オン・リング試験を用いて測定した場合に、0.5%以上、0.6%以上、0.7%以上、0.8%以上、0.9%以上、1%以上、1.1%以上、1.2%以上、1.3%以上、1.4%以上1.5%以上又は2%以上でさえある、1つ以上の対向する大表面上のある表面における平均破損歪みを呈してよい。具体的な実施形態では、基板110は、約1.2%、約1.4%、約1.6%、約1.8%、約2.2%、約2.4%、約2.6%、約2.8%又は約3%以上の、1つ以上の対向する大表面上のその表面における平均破損歪みを呈してよい。
好適な基板110は、約30GPa〜約120GPaの弾性率(又はヤング率)を呈してよい。いくつかの例では、基板の弾性率は、約30GPa〜約110GPa、約30GPa〜約100GPa、約30GPa〜約90GPa、約30GPa〜約80GPa、約30GPa〜約70GPa、約40GPa〜約120GPa、約50GPa〜約120GPa、約60GPa〜約120GPa、約70GPa〜約120GPa、並びにこれらの間の全ての範囲及び部分範囲であってよい。
1つ以上の実施形態では、非晶質基板はガラスを含んでよく、これは強化されていてもいなくてもよい。好適なガラスの例としては、ソーダライムガラス、アルカリアルミノケイ酸ガラス、アルカリ含有ホウケイ酸ガラス、及びアルカリアルミノホウケイ酸ガラスが挙げられる。いくつかの変形例では、ガラスは酸化リチウムを含まなくてよい。1つ以上の代替実施形態では、基板110は、(強化されていてもいなくてもよい)ガラスセラミック基板といった結晶質基板を含んでよく、又はサファイアといった単結晶構造を含んでよい。1つ以上の具体的な実施形態では、基板110は、非晶質基材(例えばガラス)並びに結晶質クラッド(例えばサファイア層、多結晶アルミナ層及び/又はスピネル(MgAl)層)を含む。
1つ以上の実施形態の基板110は、(本明細書に記載のバーコビッチ圧子硬度試験で測定した場合に)物品の硬度より低い硬度を有してよい。基板の硬度は、バーコビッチ圧子硬度試験又はビッカース硬度試験を含むがこれらに限定されない、当該技術分野において公知の方法を用いて測定してよい。
基板110は、略平坦であるか又はシート状であってよいが、他の実施形態は、湾曲した、又は他の形状に成形若しくは彫刻された基板を利用してよい。基板110は実質的に、光学的に透明であり、透過性であり、光散乱を発生させないものであってよい。このような実施形態では、基板は、約85%以上、約86%以上、約87%以上、約88%以上、約89%以上、約90%以上、約91%以上又は約92%以上の、光波長領域に亘る平均光透過率を呈してよい。1つ以上の代替実施形態では、基板110は不透明であってよく、又は約10%未満、約9%未満、約8%未満、約7%未満、約6%未満、約5%未満、約4%未満、約3%未満、約2%未満、約1%未満若しくは約0%未満の、光波長領域に亘る平均光透過率を呈してよい。いくつかの実施形態では、これらの光線反射率及び透過率値は、(基板の両方の大表面における反射率若しくは透過率を考慮した)合計反射率若しくは合計透過率であってよく、又は基板の単一側面において(即ち反対側の表面を考慮せず、反射防止表面122のみにおいて)観察されるものであってよい。そうでないことが明記されていない限り、平均反射率又は透過率は、0°の入射照明角度において測定される(しかしながら、このような測定を45°又は60°の入射照明角度において提供してもよい)。基板110は任意に、白色、黒色、赤色、青色、緑色、黄色、橙色等といった色を呈してよい。
更に、又はあるいは、基板110の物理的厚さは、審美的及び/又は機能的な理由により、その寸法のうちの1つ以上に沿って変化してよい。例えば、基板110の縁部は、基板110の比較的中央の領域に比べて厚くてよい。基板110の長さ、幅及び物理的厚さ寸法もまた、物品100の用途又は使用に応じて変化させてよい。
基板110は、多様な異なる複数のプロセスを用いて提供できる。例えば基板110がガラス等の非晶質基板を含む場合、様々な形成方法として、フロートガラスプロセス、並びにフュージョンドロー及びスロットドロー等のダウンドロープロセスが挙げられる。
形成後、基板110を強化して、強化基板を形成してよい。本明細書中で使用される場合、用語「強化基板(strengthened substrate)」は、例えば基板の表面の比較的小さなイオンを比較的大きなイオンでイオン交換することによって、化学強化された基板を指してよい。しかしながら、熱強化、又は基板の複数の部分間の熱膨張係数の不一致を利用して圧縮応力領域及び中央張力領域を生成するステップといった、当該技術分野において公知の他の強化方法を利用して、強化基板を形成してもよい。
イオン交換プロセスで基板を化学強化する場合、基板の表面層のイオンは、同一価又は酸化状態の、より大きなイオンで置換(即ち交換)される。イオン交換プロセスは典型的には、基板中の比較的小さなイオンと交換されることになる比較的大きなイオンを含有する溶融塩浴に基板を浸漬することによって実行される。浴の組成及び温度;浸漬時間;塩浴(又は複数の塩浴)中の基板の浸漬数;複数の塩浴の使用;アニーリングや洗浄といった追加のステップを含むがこれらに限定されない、イオン交換プロセスに関するパラメータは、一般に、
基板の組成及び所望の圧縮応力(CS)、強化作業によって得られる基板の圧縮応力層の深さ(又は層深さ)によって決定されることは、当業者には理解されるだろう。例えばアルカリ金属含有ガラス基板のイオン交換は、限定するものではないが、比較的大きなアルカリ金属イオンの硝酸塩、硫酸塩及び塩化物といった塩を含有する、少なくとも1つの溶融浴中での浸漬によって達成できる。溶融塩浴の温度は典型的には約380℃〜最大約450℃であり、その一方で浸漬時間は約15分〜最大約40時間である。しかしながら、上述のものとは異なる温度及び浸漬時間も使用してよい。
更に、ガラス基板を、浸漬と浸漬の間に洗浄及び/又はアニーリングステップを伴って、複数のイオン交換浴に浸漬させるイオン交換プロセスの非限定的な例は:2008年7月11日出願の米国仮特許出願第61/079,995号明細書からの優先権を主張する、Douglas C. Allan et al.による2009年7月10日出願の米国特許出願第12/500,650号明細書「Glass with Compressive Surface for Consumer Applications」(ここではガラス基板は、濃度が異なる複数の塩浴中での複数回の連続したイオン交換処理における浸漬によって強化される);及び2008年7月29日出願の米国仮特許出願第61/084,398号明細書からの優先権を主張する、Christopher M. Lee et al.による2012年11月20日出願の米国特許第8,312,739号明細書「Dual Stage Ion Exchange for Chemical Strengthening of Glass」(ここではガラス基板は、流出イオンで希釈された第1の浴中でのイオン交換と、それに続く、第1の浴より低濃度の流出イオンを含む第2の浴中での浸漬とによって強化される)に記載されている。米国特許出願第12/500,650号明細書、及び米国特許第8,312,739号明細書の内容は、参照によりその全体が本出願に援用される。
イオン交換によって達成される化学強化の程度は、中央張力(CT)、表面CS及び層深さ(DOL)のパラメータに基づいて定量化できる。表面CSは、表面付近、又は強化ガラス内の様々な深さにおいて測定してよい。最大CS値は、強化基板の表面において測定されるCS(CS)を含んでよい。CT(これはガラス基板内の圧縮応力層に隣接する内部領域に関して計算される)は、CS、物理的厚さt及びDOLから算出できる。CS及びDOLは、当該技術分野において公知の手段を用いて測定される。このような手段としては、株式会社ルケオ(東京、日本)製のFSM‐6000といった市販の機器を用いた表面応力の測定(FSM)が挙げられるが、これらに限定されず、またCS及びDOLの測定方法は、ASTM 1422C‐99「Standard Specification for Chemically Strengthened Flat Glass」及びASTM 1279.19779 「Standard Test Method for Non‐Destructive Photoelastic Measurement of Edge and Surface Stresses in Annealed、Heat‐Strengthened、and Fully‐Tempered Flat Glass」(これらの内容は参照によりその全体が本出願に援用される)に記載されている。表面応力測定は、応力光計数 (SOC)の正確な測定に依存し、これはガラス基板の複屈折に関連する。SOCは、ファイバ及び4点屈曲法(これらは共にASTM規格C770‐98(2008)、「Standard Test Method for Measurement of Glass Stress‐Optical Coefficient」に記載されており、その内容は参照により本出願に援用される)、並びにバルクシリンダ法といった、当該技術分野において公知の方法で測定される。CSとCTとの間の関係は、以下の式(1):
CT=(CS・DOL)/(t‐2DOL) (1)
によって与えられ、ここでtは、ガラス物品の物理的厚さ(μm)である。本開示の様々なセクションにおいて、CT及びCSはメガパスカル(MPa)で表され、物理的厚さtは、マイクロメートル(μm)又はミリメートル(mm)で表され、DOLはマイクロメートル(μm)で表される。
一実施形態では、強化基板110は、250MPa以上、300MPa以上、例えば400MPa以上、450MPa以上、500MPa以上、550MPa以上、600MPa以上、650MPa以上、700MPa以上、750MPa以上又は800MPa以上の表面CSを有することができる。強化基板は、10μm以上、15μm以上、20μm以上(例えば25μm、30μm、35μm、40μm、45μm、50μm以上)のDOL、及び/又は10MPa以上、20MPa以上、30MPa以上、40MPa以上(例えば42MPa、45MPa若しくは50MPa以上)、ただし100MPa未満(例えば95、90、85、80、75、70、65、60、55MPa以下)のCTを有してよい。1つ以上の具体的な実施形態では、強化基板は以下のうちの1つ以上を有する:500MPa超の表面CS、15μm超のDOL及び18MPa超のCT。
基板に使用してよい例示的なガラスは、アルカリアルミノケイ酸ガラス組成物又はアルカリホウケイ酸ガラス組成物を含んでよいが、他のガラス組成物も考えられる。このようなガラス組成物は、イオン交換プロセスによって化学強化できる。ある例示的なガラス組成物は、SiO、B及びNaOを含み、(SiO+B)≧66モル%及びNaO≧9モル%である。ある実施形態では、このガラス組成物は、少なくとも6重量%の酸化アルミニウムを含む。更なる実施形態では、基板は、1つ以上のアルカリ土類酸化物を、このアルカリ土類酸化物の含有量が少なくとも5重量%となるように有する、ガラス組成物を含む。いくつかの実施形態では、好適なガラス組成物は更に、KO、MgO及びCaOのうちの少なくとも1つを含む。ある特定の実施形態では、基板に使用されるガラス組成物は、61〜75モル%のSiO2;7〜15モル%のAl;0〜12モル%のB;9〜21モル%のNaO;0〜4モル%のKO;0〜7モル%のMgO;及び0〜3モル%のCaOを含むことができる。
基板に好適な更なる例示的なガラス組成物は:60〜70モル%のSiO;6〜14モル%のAl;0〜15モル%のB;0〜15モル%のLiO;0〜20モル%のNaO;0〜10モル%のKO;0〜8モル%のMgO;0〜10モル%のCaO;0〜5モル%のZrO;0〜1モル%のSnO;0〜1モル%のCeO;50ppm未満のAs;及び50ppm未満のSbを含み、12モル%≦(LiO+NaO+KO)≦20モル%、及び0モル%≦(MgO+CaO)≦10モル%である。
基板に好適な、また更なる例示的なガラス組成物は:63.5〜66.5モル%のSiO;8〜12モル%のAl;0〜3モル%のB;0〜5モル%のLiO;8〜18モル%のNaO;0〜5モル%のKO;1〜7モル%のMgO;0〜2.5モル%のCaO;0〜3モル%のZrO;0.05〜0.25モル%のSnO;0.05〜0.5モル%のCeO;50ppm未満のAs;及び50ppm未満のSbを含み、14モル%≦(LiO+NaO+KO)≦18モル%、及び2モル%の≦(MgO+CaO)≦7モル%である。
ある特定の実施形態では、基板に好適なアルカリアルミノケイ酸ガラス組成物は、アルミナ、少なくとも1つのアルカリ金属、並びにいくつかの実施形態では、50モル%超のSiO、他の実施形態では少なくとも58モル%のSiO、及び更に他の実施形態少なくとも60モル%のSiOを含み、比(Al+B)/Σ改質剤(即ち改質剤の合計)は1超であり、この比において、組成物はモル%で表され、改質剤はアルカリ金属酸化物である。特定の実施形態では、このガラス組成物は:58〜72モル%のSiO;9〜17モル%のAl;2〜12モル%のB;8〜16モル%のNaO;及び0〜4モル%のKOを含み、(Al+B)/Σ改質剤(即ち改質剤の合計)の比は1超である。
更に別の実施形態では、基板は:64〜68モル%のSiO;12〜16モル%のNaO;8〜12モル%のAl;0〜3モル%のB;2〜5モル%のKO;4〜6モル%のMgO;及び0〜5モル%のCaOを含むアルカリアルミノケイ酸ガラス組成物を含んでよく、ここで:66モル%≦SiO+B+CaO≦69モル%;NaO+KO+B+MgO+CaO+SrO>10モル%;5モル%≦MgO+CaO+SrO≦8モル%;(NaO+B)‐Al≦2モル%;2モル%≦NaO‐Al≦6モル%;及び4モル%≦(NaO+KO)‐Al≦10モル%である。
ある代替実施形態では、基板は:2モル%以上のAl及び/若しくはZrO、又は4モル%以上のAl及び/若しくはZrOを含む、アルカリアルミノケイ酸ガラス組成物を含んでよい。
基板110が結晶質基板を含む場合、この基板は単結晶を含んでよく、上記単結晶はAlを含んでよい。この単結晶基板はサファイアと呼ばれる。結晶質基板のための他の好適な材料は、多結晶質アルミナ層及び/又はスピネル(MgAl)を含む。
任意に、結晶質基板110はガラスセラミック基板を含んでよく、これは強化されていてもいなくてもよい。好適なガラスセラミックの例としては、LiO‐Al‐SiO系(即ちLAS系)ガラスセラミック、MgO‐Al‐SiO系(即ちMAS系)ガラスセラミック、並びに/又はβ石英固溶体、βスポジュメンss、コーディエライト及び二ケイ酸リチウムを含む主要な結晶相を含むガラスセラミックが挙げられる。ガラスセラミック基板は、本明細書で開示されている化学強化プロセスを用いて強化してよい。1つ以上の実施形態では、MAS系ガラスセラミック基板は、LiSO溶融塩中で強化してよく、これにより2LiによるMg2+の交換を発生させることができる。
1つ以上の実施形態による基板110は、約100μm〜約5mmの物理的厚さを有することができる。例示的な基板110の物理的厚さは、約100μm〜約500μm(例えば100、200、300、400又は500μm)である。更なる例示的な基板110の物理的厚さは、約500μm〜約1000μm(例えば500、600、700、800、900又は1000μm)である。基板110は、約1mm超(例えば約2、3、4又は5mm)の物理的厚さを有してよい。1つ以上の具体的な実施形態では、基板110は、2mm以下又は1mm未満の物理的厚さを有してよい。基板110は、酸研磨又は他の方法で処置してよく、これにより表面のきずの影響を除去又は低減できる。
反射防止コーティング
図1に示すように、反射防止コーティング130は、複数の層を、1つ以上の層が基板110の反射防止コーティング130とは反対側の側面上(即ち大表面114上)に配置できる(図1に示されている)ように、含んでよい。
大表面114上に配置された反射防止コーティング130の物理的厚さは、約0.1μm〜約5μmであってよい。いくつかの例では、大表面114上に配置された反射防止コーティング130の物理的厚さは、約0.01μm〜約0.9μm、約0.01μm〜約0.8μm、約0.01μm〜約0.7μm、約0.01μm〜約0.6μm、約0.01μm〜約0.5μm、約0.01μm〜約0.4μm、約0.01μm〜約0.3μm、約0.01μm〜約0.2μm、約0.01μm〜約0.1μm、約0.02μm〜約1μm、約0.03μm〜約1μm、約0.04μm〜約1μm、約0.05μm〜約1μm、約0.06μm〜約1μm、約0.07μm〜約1μm、約0.08μm〜約1μm、約0.09μm〜約1μm、約0.2μm〜約1μm、約0.3μm〜約5μm、約0.4μm〜約3μm、約0.5μm〜約3μm、約0.6μm〜約2μm、約0.7μm〜約1μm、約0.8μm〜約1μm、又は約0.9μm〜約1μm、並びにこれらの間の全ての範囲及び部分範囲であってよい。
本明細書で開示されている物品100は、ディスプレイを備えた物品(即ちディスプレイ物品)(例えば携帯電話、タブレット、コンピュータ、ナビゲーションシステム等を含む消費者向け電子機器)、建築用物品、輸送用物品(例えば自動車、鉄道、航空機、船舶等)、家電物品、又はある程度の透明性、耐擦傷性、耐摩擦性若しくはこれらの組み合わせを必要とするいずれの物品といった、別の物品に組み込むことができる。物品100のいずれの1つを組み込んだ例示的な物品を、図54A及び54Bに示す。具体的には、図54A及び54Bは:前面5104、背面5106及び側面5108を有するハウジング5102;少なくとも部分的に又は全体的に上記ハウジング内にある、少なくともコントローラ、メモリ及びディスプレイ5110を上記ハウジングの前面に又は前面に隣接して含む、電子構成部品(図示せず);並びに上記ハウジングの前面に又は前面全体に亘り、上記ディスプレイを覆うように配置されたカバー基板5112を含む、消費者向け電子デバイス5100を示す。いくつかの実施形態では、カバー基板5112は、本明細書で開示されている物品100のいずれの1つを含んでよい。
本開示の第2の態様は、本明細書に記載の物品を形成するための方法に関係する。一実施形態では、この方法は:コーティングチャンバ内で大表面を有する基板を準備するステップ;上記コーティングチャンバ内に真空を形成するステップ;上記大表面上に、本明細書に記載の耐久性光学コーティングを形成するステップ;任意に、清掃が容易なコーティング及び耐擦傷性コーティングのうちの少なくとも1つを含む追加のコーティングを、光学コーティング上に形成するステップ;及び上記基板を上記コーティングチャンバから取り出すステップを含む。1つ以上の実施形態では、上記光学コーティング及び上記追加のコーティングは、同一のコーティングチャンバ内で、又は別個のコーティングチャンバ内で真空を乱すことなく、形成される。
1つ以上の実施形態では、本方法は、後で上記基板を、上記基板の移動時に真空が保存されるような負荷ロック条件下において異なる複数のコーティングチャンバ内に出入りさせるために使用されるキャリア上に、上記基板を装填するステップを含んでよい。
光学コーティング120及び/又は追加のコーティング140は、例えば化学蒸着(例えばプラズマ強化化学蒸着(PECVD)、低圧化学蒸着、大気圧化学蒸着及びプラズマ強化大気圧化学蒸着)、物理蒸着(例えば反応性若しくは非反応性スパッタリング、若しくはレーザアブレーション)、熱若しくは電子ビーム蒸発、及び/又は原子層堆積といった真空堆積技法等の様々な堆積方法を用いて形成してよい。噴霧、浸漬、スピンコート又は(例えばゾル‐ゲル材料を用いた)スロットコートといった、液体ベースの方法も使用してよい。真空堆積を利用する場合、1回の堆積の試行において光学コーティング120及び/又は追加のコーティング140を形成するために、インラインプロセスを用いてよい。いくつかの例では、真空堆積は、直線状PECVDソースによって行うことができる。
いくつかの実施形態では、本方法は、光学コーティング120及び/又は追加のコーティング140の厚さを、反射防止表面122の面積の少なくとも約80%に沿って、又は基板の面積に沿ったいずれの地点における各層に関する標的厚さから、約4%を超えて変動しないように制御するステップを含んでよい。いくつかの実施形態では、光学コーティング120及び/又は追加のコーティング140の厚さは、反射防止表面122の面積の少なくとも約95%に沿って、約4%を超えて変動しないように制御される。
以下の実施例により、様々な実施形態を更に明らかにする。実施例では、AlO及びSiAlが、提供された標的屈折率分散値及び層厚さ設計を再生成するためにわずかなプロセス調節(これは当業者には明らかなものである)しか必要とせずに、モデル化実施例における高屈折率材料として実質的に相互交換可能であることが分かっていることに留意されたい。更に各実施例に関して、任意のキャッピング層を追加でき、好ましいキャッピング層は、ダイヤモンド様炭素、シラン(例えばフルオロシラン)、リン酸塩、アルケン又はアルキンといった、低摩擦性、疎水性、又は清掃が容易なコーティング又は表面処理である。いくつかの実施形態では、これらのコーティング又は表面処理は、以下で列挙する実施例の上面上に直接追加できる。いくつかの実施形態では、以下に記載の実施例の最上部の(空気側)層を切削する、又は厚さを削減することにより、キャッピング層の光学的影響を解決でき、キャッピング層の最終的な厚さは約0.5〜30nm、有効屈折率は1.3〜1.7となる。実施例では、最も厚い(耐擦傷性)層の厚さは、範囲として列挙されることがある。コーティングは、最も厚い層の厚さの変化に対して光学的にロバストとなるように設計され、上記厚さは、コスト、コーティング時間及び硬度又は耐擦傷性といった様々なパラメータ間のトレードオフを最適化するために調整できる。
モデル化実施例1〜12
モデル化実施例1〜12は、本明細書に記載の耐久性かつ耐擦傷性光学コーティングの実施形態を含む物品の反射率スペクトルを実証するために、モデル化を使用した。モデル化実施例1〜12では、光学コーティングは、AlO及びSiO層、並びに表1〜12に示すように、約58モル%のSiO、17モル%のAl、17モル%のNaO、3モル%のMgO、0.1モル%のSnO、及び6.5モル%のPという公称組成を有する強化アルミノケイ酸ガラス基板を含んでいた。
コーティング材料に関する屈折率分散曲線を決定するために、イオンアシストを用い、約50℃の温度で、ケイ素、アルミニウム、組み合わせた若しくは同時スパッタリングしたケイ素及びアルミニウム、又はフッ化マグネシウム標的(それぞれ)から、DC、RF、又はRF重畳DC反応性スパッタリングによって、各コーティング材料の層を、ケイ素ウェハ上に形成した。いくつかの層の堆積中、ウェハを200℃まで加熱し、また直径3インチ(7.62cm)の標的を使用した。使用した反応性ガスは、窒素、フッ素及び酸素を含み、アルゴンを不活性ガスとして使用した。RF電力をケイ素標的に13.56MHzで供給し、またDC電力をSi標的、Al標的及び他の標的に供給した。
形成された層及びガラス基板それぞれの(波長の関数としての)屈折率を、分光エリプソメトリーを用いて測定した。このようにして測定した屈折率を用いて、モデル化実施例2〜5に関する反射率スペクトルを算出した。これらのモデル化実施例は、これらを説明する表において、利便性のために単一の屈折率値を使用する。これは、約550nmの波長における分散曲線から選択される1点に対応するものである。
図10〜33は、D65及びF2光源に関する、入射視野角8°、20°、40°及び60°に関する反射スペクトル、並びに0°〜60°の角度に関する反射色を示す。図10〜11は、モデル化実施例1の反射防止表面のみに関する、算出された反射率スペクトル及び算出された反射色をそれぞれ示す。図12〜13は、モデル化実施例2の反射防止表面のみに関する、算出された反射率スペクトル及び算出された反射色をそれぞれ示す。図14〜15は、モデル化実施例3の反射防止表面のみに関する、算出された反射率スペクトル及び算出された反射色をそれぞれ示す。図16〜17は、モデル化実施例4の反射防止表面のみに関する、算出された反射率スペクトル及び算出された反射色をそれぞれ示す。図18〜19は、モデル化実施例5の反射防止表面のみに関する、算出された反射率スペクトル及び算出された反射色をそれぞれ示す。図20〜21は、モデル化実施例6の反射防止表面のみに関する、算出された反射率スペクトル及び算出された反射色をそれぞれ示す。図22〜23は、モデル化実施例7の反射防止表面のみに関する、算出された反射率スペクトル及び算出された反射色をそれぞれ示す。図24〜25は、モデル化実施例8の反射防止表面のみに関する、算出された反射率スペクトル及び算出された反射色をそれぞれ示す。図26〜27は、モデル化実施例9の反射防止表面のみに関する、算出された反射率スペクトル及び算出された反射色をそれぞれ示す。図28〜29は、モデル化実施例10の反射防止表面のみに関する、算出された反射率スペクトル及び算出された反射色をそれぞれ示す。図30〜31は、モデル化実施例11の反射防止表面のみに関する、算出された反射率スペクトル及び算出された反射色をそれぞれ示す。図32〜33は、モデル化実施例12の反射防止表面のみに関する、算出された反射率スペクトル及び算出された反射色をそれぞれ示す。
モデル化実施例1〜12の光学的性能を表13にまとめる。
図10、12、14、16、18、20、22、24、26、28、30及び32に示すように、モデル化実施例1〜12は、上記光波長領域に亘って、視野角8°、20°及び40°に関して低い反射率(即ち約10%未満及び約8%未満の値)を呈し、視野角60°に関する反射率はわずかに高い。モデル化実施例10は、視野角8°、20°、40°及び60°に関して極めて低い反射率(例えば最大平均反射率約7%以下)を呈した。視野角8°、20°及び40°では、平均反射率は更に低い(即ち約2%未満)。
図11及び29に示すように、モデル化実施例1及び10は、D65及びF2光源の両方に関して、垂直入射〜60°の視野角において、約2未満の反射色の範囲を呈した。図19及び21に示すように、モデル化実施例5及び6は、D65及びF2光源の両方に関して、垂直入射〜60°の視野角において、約3未満の反射色の範囲を呈した。
モデル化実施例5及び12(表5及び12)の光学コーティングは、光学的特性と機械的特性とのバランスを有する。即ちこれらの実施例は、耐擦傷性と、反射色及び/又は色シフトに関する良好な光学的性能とをバランスさせる。より具体的には、これらの実施例は、(8°〜約40°の入射角において、上記光波長領域に亘って)約4%〜約6%(及びいくつかの例では約10%又は約12%未満‐入射角約60°)の反射率を有し、かつ良好な耐擦傷性を維持する。(より高い、即ち約10%の反射率というトレードオフを有する)耐擦傷性に関して最適化された光学コーティングと比べて、これらの実施例のコーティングは、反射率を(約4%〜約6%の範囲、及びいくつかの例では約10%未満まで)望ましい程度に低減するために、わずかな量の耐擦傷性しか犠牲にしない。低い(即ち約1%の)反射率のために最適化された光学コーティング(これはこの低い反射率のために耐擦傷性を犠牲にすることになる)に比べて、これらの実施形態のコーティングは、耐擦傷性を望ましい程度に増大させるために、わずかな量の反射率しか犠牲にしない(即ち、低い反射率のために最適化されたコーティングに関する約1%の反射率に対して、約4%〜約6%、及びいくつかの例では約10%未満の反射率)。これらの実施例はまた、透過/反射色座標に関する良好な光学特性(即ち弱い色)、及び小さい色シフトを維持する。
モデル化実施例1〜12はまた、バーコビッチ圧子硬度試験で測定した場合に、本明細書に記載の硬度値(及び特に約14GPa〜約21GPaの硬度)を呈すると考えられる。
実施例13及びモデル化実施例14
実施例13及びモデル化実施例14は、本明細書に記載の耐久性かつ耐擦傷性光学コーティングの実施形態を含む物品の反射率スペクトルを実証するために、モデル化を使用した。また、実施例13の光学コーティングを製作して試験した。実施例13及びモデル化実施例14では、光学コーティングは、AlO及びSiO層、並びに表13及び14に示すように、KO浴を用いたイオン交換の前には、約58モル%のSiO、17モル%のAl、17モル%のNaO、3モル%のMgO、0.1モル%のSnO、及び6.5モル%のPという公称組成を有する強化アルミノケイ酸ガラス基板を含んでいた。実施例13及びモデル化実施例14に使用したコーティング材料及び基材に関する屈折率分散曲線を、モデル化実施例1〜12と同様の方法で得た。
実施例13の光学コーティングは、a*=約0.05及びb*=約‐1.7の、反射D65色を有し、またa*=約‐0.05及びb*=約0.8の透過D65色を有していた。更に実施例13の光学コーティングを製作して、実験により分析した。2つの試料を、実施例13の光学コーティングに関して製作した(試料1及び試料2)。試料1を、様々な入射角において、可視光波長領域に亘って、反射率に関して試験した。これを図49に示す。試料1の光学コーティングの光線透過率を図50及び51に示し、図50は、図51より広範囲の光波長に亘る光線透過率を示す。図52及び53はそれぞれ、指定された入射角における試料1及び2に関する反射色及び透過色を示す。
図34は、4つの光学コーティングに関する硬度プロファイル(押込み深さ約0nm〜約1000nmに関するバーコビッチ硬度)を示し、表13の光学コーティングは803として示されており、表14の光学コーティングは802として示されている。
実施例15
AlO及びSiO層を含む光学コーティングを調製し、この調製物をプラズマ処理に供した後、6nmのSiO層と、6.4nmのフルオロシラン材料を含む清掃が容易なコーティングとでキャッピングした。調製した光学コーティングを表15に示す。最上部のSiO層は、電子ビームPVDを用いて堆積させた(対になった実験ではスパッタリングを行った)。
表15の光学コーティングに関して、光学データをシミュレートし、また実験によって収集した。また、最上部のSiO層を4nm及び8nmに変化させて、コーティングの工業的応用において存在し得るSiO層の厚さのわずかな変動を実験によって試験した。図35は、6nmの最上部のSiO層のシミュレーションモデルを示す、実施例15(表16)の光学コーティングの透過率を示し、また他のデータ点は、4nm、6nm及び8nmのSiOコーティングをプラズマ処理後に堆積させた場合の、実施例15(表16)の光学コーティングの測定された透過率を表す。図36は、6nmの最上部のSiO層のシミュレーションモデルを示す、実施例15(表16)の光学コーティングの2側面反射率を示し、また他のデータ点は、0nm(追加のコーティング無し)、4nm、6nm及び8nmのSiOコーティングをプラズマ処理後に堆積させた場合の、表16の光学コーティングの測定された反射率を表す。表17は、実施例15の光学コーティングの透過色(図35に示されている透過色)を示し、表18は、実施例15の光学コーティングの反射色(図36に示されている反射色)を示す。
図37は、実施例15の光学コーティングに関するモデル化された透過率データ及び観察された透過率データを示す。図37では、811は、8°の視野角においてシミュレートした透過率に対応し、812は、8°の視野角において観察した透過率に対応する。表19は、実施例15の光学コーティングに関する反射色データを示す。
実施例15(表16)の光学コーティングは、光学的特性と機械的特性とのバランスを有する。即ちこれらの実施例は、耐擦傷性と、反射色及び/又は色シフトに関する良好な光学的性能とをバランスさせる。より具体的には、この実施例は、(上記光波長領域に亘って)約6%〜約10%(及びいくつかの例では約8%未満)の反射率を有し、かつ良好な耐擦傷性を維持する。(より高い、即ち約10%の反射率というトレードオフを有する)耐擦傷性に関して最適化された光学コーティングと比べて、この実施例のコーティングは、反射率を(約6%〜約10%未満の範囲、及びいくつかの例では約8%未満まで)望ましい程度に低減するために、わずかな量の耐擦傷性しか犠牲にしない。低い(即ち約1%の)反射率のために最適化された光学コーティング(これはこの低い反射率のために耐擦傷性を犠牲にすることになる)に比べて、この実施形態のコーティングは、耐擦傷性を望ましい程度に増大させるために、わずかな量の反射率(即ち、低い反射率のために最適化されたコーティングに関する約1%に対して、約6%〜約10%、及びいくつかの例では約8%未満)しか犠牲にしない。これらの実施例はまた、透過/反射色座標に関する良好な光学特性(即ち弱い色)、及び小さい色シフトを維持する。
実施例15’〜17
実施例15’〜17は、本明細書に記載の耐久性かつ耐擦傷性光学コーティングの実施形態を含む物品の光学特性を実証するために、モデル化及び試験を使用した。また、実施例15’〜17の光学コーティングを製作して試験した。実施例15’〜17では、光学コーティングは、AlO及びSiO層、並びに表20、21及び22に示すように、KO浴を用いたイオン交換の前には、約58モル%のSiO、17モル%のAl、17モル%のNaO、3モル%のMgO、0.1モル%のSnO、及び6.5モル%のPという公称組成を有する強化アルミノケイ酸ガラス基板を含んでいた。実施例15’〜17に使用したコーティング材料及び基材に関する屈折率分散曲線を、モデル化実施例1〜12と同様の方法で得た。
図38は、モデル化された結果及び観察された結果に基づく、表20〜22の光学コーティングに関する透過率を示し、815は、測定された表20のコーティングに対応し、816は、モデル化された表20のコーティングに対応し、817は、測定された表21のコーティングに対応し、818は、モデル化された表21のコーティングに対応し、819は、測定された表22のコーティングに対応し、820は、モデル化された表22のコーティングに対応する。図39は、モデル化された結果及び観察された結果に基づく、表20〜22の光学コーティングに関する反射率を示す。図40は反射色を示し、図41は、測定された及びモデル化された、表20〜22の光学コーティングに関する透過色を示す。図42は、表20の光学コーティングに関する、モデル化された反射率を示す。図43は、表21の光学コーティングに関する、モデル化された反射率を示し、図44は、表22の光学コーティングに関する、モデル化された反射率を示す。図45は、表20の光学コーティングに関する、測定された反射率を示し、図46は、表21の光学コーティングに関する、測定された反射率を示し、図47は、表22の光学コーティングに関する、測定された反射率を示す。モデル化された反射率と、測定された反射率とは、同様であった。図48は、表20〜22の光学コーティングに関するナノ硬度測定値を示し、870は、表20の光学コーティングに対応し、871は、表21の光学コーティングに対応し、872は、表22の光学コーティングに対応する。図48から分かるように、望ましいことに、硬度は、表面から最初の100nm以内において(約17〜20GPaの値まで)迅速に増大し、表面から測定された深さが100nmから約700nm又は約800nmに増大しても、およそ同一の値(約17〜20GPa)に維持される。このような硬度プロファイルは、比較的目立つ擦傷をもたらす比較的過酷な擦傷イベント、及び光学コーティングの表面特性に何らかの影響を及ぼし得る比較的過酷でない擦傷イベントの両方における、擦傷による損傷を低減するにあたって望ましい。
実施例15’〜17(表20〜22)の光学コーティングは、光学的特性と機械的特性とのバランスを有する。即ちこれらの実施例は、耐擦傷性と、反射色及び/又は色シフトに関する良好な光学的性能とをバランスさせる。より具体的には、これらの実施例は、(約8°〜約40°に亘る、及びいくつかの例では最大約60°の入射角において測定した場合に)(上記光波長領域に亘って)約1%〜約6%の反射率を有し、かつ良好な耐擦傷性を維持する。(より高い、即ち約10%の反射率というトレードオフを有する)耐擦傷性に関して最適化された光学コーティングと比べて、これらの実施例のコーティングは、反射率を(約1%超〜約6%の範囲の値まで)望ましい程度に低減するために、わずかな量の耐擦傷性しか犠牲にしない。低い反射率(即ち約1%の反射率)のために最適化された光学コーティング(これはこの低い反射率のために耐擦傷性を犠牲にすることになる)に比べて、これらの実施形態のコーティングは、耐擦傷性を望ましい程度に増大させるために、わずかな量の反射率(即ち、低い反射率のために最適化されたコーティングに関する約1%に対して、約1%超〜約6%の値まで)しか犠牲にしない。
本発明の精神又は範囲から逸脱することなく、様々な修正及び変形を行うことができることは、当業者には明らかであろう。
以下、本発明の好ましい実施形態を項分け記載する。
実施形態1
大表面を有する基板;及び
前記大表面上に配置されて反射防止表面を形成する、光学コーティングであって、前記光学コーティングは反射防止コーティングを備える、光学コーティング
を備える、物品であって:
前記物品は、約100nm以上の押込み深さに沿ってバーコビッチ圧子硬度試験によって前記反射防止表面上で測定した場合に、約12GPa以上の最大硬度を呈し;
前記物品は、約400nm〜約800nmの光波長領域に亘って約8%以下の、前記反射防止表面において測定される単一側面平均光反射率を呈し;
前記物品は、約400nm〜約800nmの光波長領域に亘って約90%以上の平均光透過率を呈する、物品。
実施形態2
大表面を有する基板;及び
前記大表面上に配置されて反射防止表面を形成する、光学コーティングであって、前記光学コーティングは反射防止コーティングを備える、光学コーティング
を備える、物品であって、
前記物品は、約0.5マイクロメートル〜約3マイクロメートルの厚さを有する耐擦傷性層と、前記耐擦傷性層を覆うように位置決めされた1つ以上の追加の層とを備え、前記耐擦傷性層を覆うように位置決めされた前記層は、約200nm以下の合計厚さを有する、物品。
実施形態3
前記物品は、約0.5マイクロメートル〜約3マイクロメートルの厚さを有する耐擦傷性層と、前記耐擦傷性層を覆うように位置決めされた1つ以上の追加の層とを備える、実施形態1に記載の物品。
実施形態4
前記耐擦傷性層を覆うように位置決めされた前記層は、約200nm以下の合計厚さを有する、実施形態3に記載の物品。
実施形態5
前記耐擦傷性層は、高RI材料を含み、
前記耐擦傷性層を覆うように位置決めされた前記層のうちの1つ以上は、前記高RI材料を含み、
前記耐擦傷性層を覆うように位置決めされた前記層のうちの1つ以上は、低RI材料を含む、実施形態2〜4のいずれか1つに記載の物品。
実施形態6
前記光学コーティングの、前記反射防止表面から測定した最上部500nmは:
約30%未満の低RI材料;及び
少なくとも約70%の高RI材料
のうちの少なくとも1つを含む、実施形態1〜5のいずれか1つに記載の物品。
実施形態7
前記物品は、バーコビッチ圧子硬度試験によって前記反射防止表面上で測定した場合に、押込み深さ約100nmにおいて約10GPa以上の硬度、及び押込み深さ約500nmにおいて約16GPa以上の硬度を呈する、実施形態1〜6のいずれか1つに記載の物品。
実施形態8
国際照明委員会の光源下での垂直入射における、(L*,a*,b*)測色系での物品透過色座標であって、前記反射防止表面において測定した場合に基準点から約2未満の基準点色シフトを呈し、前記基準点は、色座標(a*=0,b*=0)及び前記基板の透過色座標のうちの少なくとも1つを含む、物品透過色座標;
国際照明委員会の光源下での垂直入射における、(L*,a*,b*)測色系での物品反射色座標であって、前記反射防止表面において測定した場合に基準点から約5未満の基準点色シフトを呈し、前記基準点は、前記色座標(a*=0,b*=0)、色座標(a*=‐2,b*=‐2)及び前記基板の反射色座標のうちの少なくとも1つを含む、物品反射色座標;
のうちの少なくとも1つを有し、
前記基準点が前記色座標(a*=0,b*=0)である場合、前記色シフトは、√((a*物品+(b*物品)によって定義され、
前記基準点が前記色座標(a*=‐2,b*=‐2)である場合、前記色シフトは、√((a*物品+2)+(b*物品+2))によって定義され、
前記基準点が前記基板の前記色座標である場合、前記色シフトは、√((a*物品‐a*基板+(b*物品‐b*基板)によって定義される、実施形態1〜7のいずれか1つに記載の物品。
実施形態9
前記物品は、Aシリーズ光源、Bシリーズ光源、Cシリーズ光源、Dシリーズ光源及びFシリーズ光源から選択された国際照明委員会の光源下で、垂直入射を基準として20°以上である入射照明角度において、約5以下の角度色シフトを呈し、
前記角度色シフトは、式√((a*-a*+(b*-b*)を用いて算出され、a*及びb*は、垂直入射において観察した場合の前記物品の座標を表し、a*及びb*は、前記入射照明角度において観察した場合の前記物品の座標を表す、実施形態1〜8のいずれか1つに記載の物品。
実施形態10
前記物品は、約20°〜約60°の範囲内のあらゆる入射照明角度において、約5以下の角度色シフトを呈する、実施形態9に記載の物品。
実施形態11
前記物品は、前記反射防止表面上において、テーバー試験を用いた500サイクルの摩耗後に:
アパーチャを有するヘイズメータを用いて測定される約1%以下のヘイズであって、前記アパーチャは直径約8mmである、ヘイズ;
原子間力顕微鏡によって測定される約12nm以下の平均粗度Ra;
波長600nmで2mmのアパーチャを用いた散乱測定のための撮像用球体を用いた透過において垂直入射で測定される、約40°以下の極散乱角における約0.05(単位は1/ステラジアン)以下の散乱光強度;及び
波長600nmで2mmのアパーチャを用いた散乱測定のための撮像用球体を用いた透過において垂直入射で測定される、約20°以下の極散乱角における約0.1(単位は1/ステラジアン)以下の散乱光強度
のうちのいずれの1つ以上を含む、耐摩耗性を呈する、実施形態1〜10のいずれか1つに記載の物品。
実施形態12
前記反射防止コーティングは複数の層を備え、
前記複数の層は、第1の低RI層、第2の高RI層、及び任意の第3の層を含み、
更に前記反射防止コーティングは、前記第1の低RI層と前記第2の高RI層が交互になるような、複数の区間を備える、実施形態1〜11のいずれか1つに記載の物品。
実施形態13
前記反射防止コーティングは、第1の部分及び第2の部分を備え、
前記耐擦傷性層は、前記第1の部分と前記第2の部分との間に配置される、実施形態1〜12のいずれか1項に記載の物品。
実施形態14
平均可視明所視反射率は、前記光透過領域に亘って約5%以下である、実施形態1〜13のいずれか1つに記載の物品。
実施形態15
前記光学コーティングは、ある厚さと、窒化物又は酸窒化物材料を含む複数の層とを備え、
窒化物又は酸窒化物材料を含む前記層の複合厚さは、前記光学コーティングの前記厚さの50%以上である、実施形態1〜14のいずれか1つに記載の物品。
実施形態16
前記物品は、約100nm以上の押込み深さに沿ってバーコビッチ圧子硬度試験によって前記反射防止表面上で測定した場合に、約12GPa以上の最大硬度を呈する、実施形態2に記載の物品。
実施形態17
前記物品は:
約400nm〜約800nmの光波長領域に亘って約8%以下の、前記反射防止表面において測定される単一側面平均光反射率;及び
約400nm〜約800nmの光波長領域に亘って約90%以上の平均光透過率
のうちの少なくとも1つを呈する、実施形態2又は16に記載の物品。
実施形態18
前面、背面及び側面を有するハウジング;
少なくとも部分的に前記ハウジング内にある、電子構成部品;
前記ハウジングの前記前面の、又は前記前面に隣接する、ディスプレイ;並びに
前記ディスプレイを覆うように配置された、カバー基板
を備え、
前記カバー基板は、実施形態1〜17のいずれか1項に記載の物品を含む、デバイス。
100 物品
110 基板
112 大表面、第1の対向する大表面
114 大表面、第2の対向する大表面
116 小表面
118 小表面
120 光学コーティング
122 反射防止表面
130 反射防止コーティング
130A 第1の低RI層
130B 第2の高RI層
130C 第3の層
131 キャッピング層
132 区間
140 追加のコーティング
150 耐擦傷性層
5100 消費者向け電子デバイス
5102 ハウジング
5104 前面
5106 背面
5108 側面
5110 ディスプレイ
5112 カバー基板

Claims (18)

  1. 大表面を有する基板;及び
    前記大表面上に配置されて反射防止表面を形成する、光学コーティングであって、前記光学コーティングは反射防止コーティングを備える、光学コーティング
    を備える、物品であって:
    前記物品は、約100nm以上の押込み深さに沿ってバーコビッチ圧子硬度試験によって前記反射防止表面上で測定した場合に、約12GPa以上の最大硬度を呈し;
    前記物品は、約400nm〜約800nmの光波長領域に亘って約8%以下の、前記反射防止表面において測定される単一側面平均光反射率を呈し;
    前記物品は、約400nm〜約800nmの光波長領域に亘って約90%以上の平均光透過率を呈する、物品。
  2. 大表面を有する基板;及び
    前記大表面上に配置されて反射防止表面を形成する、光学コーティングであって、前記光学コーティングは反射防止コーティングを備える、光学コーティング
    を備える、物品であって、
    前記物品は、約0.5マイクロメートル〜約3マイクロメートルの厚さを有する耐擦傷性層と、前記耐擦傷性層を覆うように位置決めされた1つ以上の追加の層とを備え、前記耐擦傷性層を覆うように位置決めされた前記層は、約200nm以下の合計厚さを有する、物品。
  3. 前記物品は、約0.5マイクロメートル〜約3マイクロメートルの厚さを有する耐擦傷性層と、前記耐擦傷性層を覆うように位置決めされた1つ以上の追加の層とを備える、請求項1に記載の物品。
  4. 前記耐擦傷性層を覆うように位置決めされた前記層は、約200nm以下の合計厚さを有する、請求項3に記載の物品。
  5. 前記耐擦傷性層は、高RI材料を含み、
    前記耐擦傷性層を覆うように位置決めされた前記層のうちの1つ以上は、前記高RI材料を含み、
    前記耐擦傷性層を覆うように位置決めされた前記層のうちの1つ以上は、低RI材料を含む、請求項2〜4のいずれか1項に記載の物品。
  6. 前記光学コーティングの、前記反射防止表面から測定した最上部500nmは:
    約30%未満の低RI材料;及び
    少なくとも約70%の高RI材料
    のうちの少なくとも1つを含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の物品。
  7. 前記物品は、バーコビッチ圧子硬度試験によって前記反射防止表面上で測定した場合に、押込み深さ約100nmにおいて約10GPa以上の硬度、及び押込み深さ約500nmにおいて約16GPa以上の硬度を呈する、請求項1〜6のいずれか1項に記載の物品。
  8. 国際照明委員会の光源下での垂直入射における、(L*,a*,b*)測色系での物品透過色座標であって、前記反射防止表面において測定した場合に基準点から約2未満の基準点色シフトを呈し、前記基準点は、色座標(a*=0,b*=0)及び前記基板の透過色座標のうちの少なくとも1つを含む、物品透過色座標;
    国際照明委員会の光源下での垂直入射における、(L*,a*,b*)測色系での物品反射色座標であって、前記反射防止表面において測定した場合に基準点から約5未満の基準点色シフトを呈し、前記基準点は、前記色座標(a*=0,b*=0)、色座標(a*=‐2,b*=‐2)及び前記基板の反射色座標のうちの少なくとも1つを含む、物品反射色座標;
    のうちの少なくとも1つを有し、
    前記基準点が前記色座標(a*=0,b*=0)である場合、前記色シフトは、√((a*物品+(b*物品)によって定義され、
    前記基準点が前記色座標(a*=‐2,b*=‐2)である場合、前記色シフトは、√((a*物品+2)+(b*物品+2))によって定義され、
    前記基準点が前記基板の前記色座標である場合、前記色シフトは、√((a*物品‐a*基板+(b*物品‐b*基板)によって定義される、請求項1〜7のいずれか1項に記載の物品。
  9. 前記物品は、Aシリーズ光源、Bシリーズ光源、Cシリーズ光源、Dシリーズ光源及びFシリーズ光源から選択された国際照明委員会の光源下で、垂直入射を基準として20°以上である入射照明角度において、約5以下の角度色シフトを呈し、
    前記角度色シフトは、式√((a*-a*+(b*-b*)を用いて算出され、a*及びb*は、垂直入射において観察した場合の前記物品の座標を表し、a*及びb*は、前記入射照明角度において観察した場合の前記物品の座標を表す、請求項1〜8のいずれか1項に記載の物品。
  10. 前記物品は、約20°〜約60°の範囲内のあらゆる入射照明角度において、約5以下の角度色シフトを呈する、請求項9に記載の物品。
  11. 前記物品は、前記反射防止表面上において、テーバー試験を用いた500サイクルの摩耗後に:
    アパーチャを有するヘイズメータを用いて測定される約1%以下のヘイズであって、前記アパーチャは直径約8mmである、ヘイズ;
    原子間力顕微鏡によって測定される約12nm以下の平均粗度Ra;
    波長600nmで2mmのアパーチャを用いた散乱測定のための撮像用球体を用いた透過において垂直入射で測定される、約40°以下の極散乱角における約0.05(単位は1/ステラジアン)以下の散乱光強度;及び
    波長600nmで2mmのアパーチャを用いた散乱測定のための撮像用球体を用いた透過において垂直入射で測定される、約20°以下の極散乱角における約0.1(単位は1/ステラジアン)以下の散乱光強度
    のうちのいずれの1つ以上を含む、耐摩耗性を呈する、請求項1〜10のいずれか1項に記載の物品。
  12. 前記反射防止コーティングは複数の層を備え、
    前記複数の層は、第1の低RI層、第2の高RI層、及び任意の第3の層を含み、
    更に前記反射防止コーティングは、前記第1の低RI層と前記第2の高RI層が交互になるような、複数の区間を備える、請求項1〜11のいずれか1項に記載の物品。
  13. 前記反射防止コーティングは、第1の部分及び第2の部分を備え、
    前記耐擦傷性層は、前記第1の部分と前記第2の部分との間に配置される、請求項1〜12のいずれか1項に記載の物品。
  14. 平均可視明所視反射率は、前記光透過領域に亘って約5%以下である、請求項1〜13のいずれか1項に記載の物品。
  15. 前記光学コーティングは、ある厚さと、窒化物又は酸窒化物材料を含む複数の層とを備え、
    窒化物又は酸窒化物材料を含む前記層の複合厚さは、前記光学コーティングの前記厚さの50%以上である、請求項1〜14のいずれか1項に記載の物品。
  16. 前記物品は、約100nm以上の押込み深さに沿ってバーコビッチ圧子硬度試験によって前記反射防止表面上で測定した場合に、約12GPa以上の最大硬度を呈する、請求項2に記載の物品。
  17. 前記物品は:
    約400nm〜約800nmの光波長領域に亘って約8%以下の、前記反射防止表面において測定される単一側面平均光反射率;及び
    約400nm〜約800nmの光波長領域に亘って約90%以上の平均光透過率
    のうちの少なくとも1つを呈する、請求項2又は16に記載の物品。
  18. 前面、背面及び側面を有するハウジング;
    少なくとも部分的に前記ハウジング内にある、電子構成部品;
    前記ハウジングの前記前面の、又は前記前面に隣接する、ディスプレイ;並びに
    前記ディスプレイを覆うように配置された、カバー基板
    を備え、
    前記カバー基板は、請求項1〜17のいずれか1項に記載の物品を含む、デバイス。
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