JP6051710B2 - 反射防止膜、それを用いた光学部材、及び光学機器 - Google Patents
反射防止膜、それを用いた光学部材、及び光学機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6051710B2 JP6051710B2 JP2012202386A JP2012202386A JP6051710B2 JP 6051710 B2 JP6051710 B2 JP 6051710B2 JP 2012202386 A JP2012202386 A JP 2012202386A JP 2012202386 A JP2012202386 A JP 2012202386A JP 6051710 B2 JP6051710 B2 JP 6051710B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- refractive index
- layer
- antireflection film
- shows
- reflectance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 61
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 9
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 8
- 229910016569 AlF 3 Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims description 6
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910020156 CeF Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910005690 GdF 3 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910017768 LaF 3 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 121
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 59
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 23
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 10
- 239000012788 optical film Substances 0.000 description 7
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 5
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 5
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 5
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- OHVLMTFVQDZYHP-UHFFFAOYSA-N 1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)-2-[4-[2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]ethanone Chemical compound N1N=NC=2CN(CCC=21)C(CN1CCN(CC1)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)=O OHVLMTFVQDZYHP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YIWGJFPJRAEKMK-UHFFFAOYSA-N 1-(2H-benzotriazol-5-yl)-3-methyl-8-[2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carbonyl]-1,3,8-triazaspiro[4.5]decane-2,4-dione Chemical compound CN1C(=O)N(c2ccc3n[nH]nc3c2)C2(CCN(CC2)C(=O)c2cnc(NCc3cccc(OC(F)(F)F)c3)nc2)C1=O YIWGJFPJRAEKMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HMUNWXXNJPVALC-UHFFFAOYSA-N 1-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]-2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)N1CCN(CC1)C(CN1CC2=C(CC1)NN=N2)=O HMUNWXXNJPVALC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)-N-[3-oxo-3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propyl]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C(=O)NCCC(N1CC2=C(CC1)NN=N2)=O VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LDXJRKWFNNFDSA-UHFFFAOYSA-N 2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)-1-[4-[2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]ethanone Chemical compound C1CN(CC2=NNN=C21)CC(=O)N3CCN(CC3)C4=CN=C(N=C4)NCC5=CC(=CC=C5)OC(F)(F)F LDXJRKWFNNFDSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WZFUQSJFWNHZHM-UHFFFAOYSA-N 2-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]-1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)N1CCN(CC1)CC(=O)N1CC2=C(CC1)NN=N2 WZFUQSJFWNHZHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IHCCLXNEEPMSIO-UHFFFAOYSA-N 2-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]piperidin-1-yl]-1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C1CCN(CC1)CC(=O)N1CC2=C(CC1)NN=N2 IHCCLXNEEPMSIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YLZOPXRUQYQQID-UHFFFAOYSA-N 3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)-1-[4-[2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]propan-1-one Chemical compound N1N=NC=2CN(CCC=21)CCC(=O)N1CCN(CC1)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F YLZOPXRUQYQQID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DEXFNLNNUZKHNO-UHFFFAOYSA-N 6-[3-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]piperidin-1-yl]-3-oxopropyl]-3H-1,3-benzoxazol-2-one Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C1CCN(CC1)C(CCC1=CC2=C(NC(O2)=O)C=C1)=O DEXFNLNNUZKHNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101001007743 Homo sapiens Neurexophilin-2 Proteins 0.000 description 1
- MKYBYDHXWVHEJW-UHFFFAOYSA-N N-[1-oxo-1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propan-2-yl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(C(C)NC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 MKYBYDHXWVHEJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N N-[2-oxo-2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(CNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AFCARXCZXQIEQB-UHFFFAOYSA-N N-[3-oxo-3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(CCNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 AFCARXCZXQIEQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VCUFZILGIRCDQQ-KRWDZBQOSA-N N-[[(5S)-2-oxo-3-(2-oxo-3H-1,3-benzoxazol-6-yl)-1,3-oxazolidin-5-yl]methyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C1O[C@H](CN1C1=CC2=C(NC(O2)=O)C=C1)CNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F VCUFZILGIRCDQQ-KRWDZBQOSA-N 0.000 description 1
- 102100027526 Neurexophilin-2 Human genes 0.000 description 1
- 229910009518 YbF Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006094 Zerodur Substances 0.000 description 1
- FHKPLLOSJHHKNU-INIZCTEOSA-N [(3S)-3-[8-(1-ethyl-5-methylpyrazol-4-yl)-9-methylpurin-6-yl]oxypyrrolidin-1-yl]-(oxan-4-yl)methanone Chemical compound C(C)N1N=CC(=C1C)C=1N(C2=NC=NC(=C2N=1)O[C@@H]1CN(CC1)C(=O)C1CCOCC1)C FHKPLLOSJHHKNU-INIZCTEOSA-N 0.000 description 1
- JAWMENYCRQKKJY-UHFFFAOYSA-N [3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-ylmethyl)-1-oxa-2,8-diazaspiro[4.5]dec-2-en-8-yl]-[2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidin-5-yl]methanone Chemical compound N1N=NC=2CN(CCC=21)CC1=NOC2(C1)CCN(CC2)C(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F JAWMENYCRQKKJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101150059062 apln gene Proteins 0.000 description 1
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000002178 crystalline material Substances 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 239000010436 fluorite Substances 0.000 description 1
- 230000009931 harmful effect Effects 0.000 description 1
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 1
- 230000004310 photopic vision Effects 0.000 description 1
- 108091008695 photoreceptors Proteins 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Description
[1] 基材の表面上に、第1層〜第9層を前記基材側からこの順に積層してなる反射防止膜であって、第2層、第4層、第6層及び第8層は波長587.56 nmのd線に対して2.21以上2.70以下の屈折率を示す高屈折率材料により形成された高屈折率層であり、第1層、第3層、第5層及び第7層は前記d線に対して1.40以上1.55未満の屈折率を示す中間屈折率材料により形成された中間屈折率層であり、第9層は前記d線に対して1.35以上1.40未満の屈折率を示す低屈折率材料により形成された低屈折率層であり、前記中間屈折率層と前記高屈折率層との間の屈折率差は0.66超1.30以下であり、可視域の波長帯390〜720 nmの光に対する反射率が0.2%以下であることを特徴とする反射防止膜。
[2] 上記[1] に記載の反射防止膜において、前記高屈折率材料はTiO2、Nb2O5、又はTiO2、Nb2O5、CeO2、Ta2O5、ZnO、ZrO2、In2O3、SnO2及びHfO2の混合物又は化合物であり、前記中間屈折率材料はSiO2、YbF3、YF3、又はSiO2、Al2O3、CeF3、NdF3、GdF3、LaF3、YbF3及びYF3の混合物又は化合物であり、前記低屈折率材料はMgF2、AlF3、又はMgF2、AlF3及びSiO2の混合物又は化合物であることを特徴とする反射防止膜。
[3] 上記[1]又は[2] に記載の反射防止膜において、前記基材は前記d線に対して1.40以上2.10以下の屈折率を有することを特徴とする反射防止膜。
[4] 上記[1]〜[3] のいずれかに記載の反射防止膜を施したことを特徴とする光学部材。
[5] 上記[4] に記載の光学部材を有することを特徴とする光学機器。
図2〜14の表(A) に示すように、高屈折率層22、24、26及び28の成膜材料としてd線に対して屈折率2.46を示すTiO2、中間屈折率層21、23、25及び27の成膜材料としてd線に対して屈折率1.48を示すSiO2、低屈折率層29の成膜材料としてd線に対して屈折率1.39を示すMgF2を使用し、所定の屈折率を有する各基材10に対する最適な各層21〜29の光学膜厚の設計値をシミュレーションにより求めた。λ0は設計波長(550 nm)である。各実施例1-1〜1-13の反射防止膜20に垂直に光を入射させたときの分光反射率をシミュレーションにより求めた。得られた計算結果をそれぞれ図2〜14のグラフ(B) に示す。このとき、基材10及び各層21〜29の屈折率分散を考慮し、基材10の反射防止膜20が形成されていない面での反射はないものとした。
図15〜27の表(A) に示すように、高屈折率層22、24、26及び28の成膜材料としてd線に対して屈折率2.31を示すNb2O5、中間屈折率層21、23、25及び27の成膜材料としてd線に対して屈折率1.48を示すSiO2、低屈折率層29の成膜材料としてd線に対して屈折率1.39を示すMgF2を使用し、所定の屈折率を有する各基材10に対する最適な各層21〜29の光学膜厚の設計値をシミュレーションにより求めた。λ0は設計波長(550 nm)である。各実施例2-1〜2-13の反射防止膜20に垂直に光を入射させたときの分光反射率をシミュレーションにより求めた。得られた計算結果をそれぞれ図15〜27のグラフ(B) に示す。このとき、基材10及び各層21〜29の屈折率分散を考慮し、基材10の反射防止膜20が形成されていない面での反射はないものとした。
図28〜40の表(A) に示すように、高屈折率層22、24、26及び28の成膜材料としてd線に対して屈折率2.21を示すNb2O5+HfO2、中間屈折率層21、23、25及び27の成膜材料としてd線に対して屈折率1.47を示すSiO2、低屈折率層29の成膜材料としてd線に対して屈折率1.39を示すMgF2を使用し、所定の屈折率を有する各基材10に対する最適な各層21〜29の光学膜厚の設計値をシミュレーションにより求めた。λ0は設計波長(550 nm)である。各実施例3-1〜3-13の反射防止膜20に垂直に光を入射させたときの分光反射率をシミュレーションにより求めた。得られた計算結果をそれぞれ図28〜40のグラフ(B) に示す。このとき、基材10及び各層21〜29の屈折率分散を考慮し、基材10の反射防止膜20が形成されていない面での反射はないものとした。
図41〜53の表(A) に示すように、高屈折率層22、24、26及び28の成膜材料としてd線に対して屈折率2.30を示すTiO2、中間屈折率層21、23、25及び27の成膜材料としてd線に対して屈折率1.54を示すAl2O3+SiO2、低屈折率層29の成膜材料としてd線に対して屈折率1.39を示すMgF2を使用し、所定の屈折率を有する各基材10に対する最適な各層21〜29の光学膜厚の設計値をシミュレーションにより求めた。λ0は設計波長(550 nm)である。各実施例4-1〜4-13の反射防止膜20に垂直に光を入射させたときの分光反射率をシミュレーションにより求めた。得られた計算結果をそれぞれ図41〜53のグラフ(B) に示す。このとき、基材10及び各層21〜29の屈折率分散を考慮し、基材10の反射防止膜20が形成されていない面での反射はないものとした。
図54の表(A) に示すように、高屈折率層22、24、26及び28の成膜材料として波長550 nmの光に対して屈折率2.11を示すTiO2、中間屈折率層21、23、25及び27の成膜材料として波長550 nmの光に対して屈折率1.62を示すAl2O3、低屈折率層29の成膜材料として波長550 nmの光に対して屈折率1.38を示すMgF2を使用し、所定の屈折率を有する各基材10に対する最適な各層21〜29の光学膜厚の設計値をシミュレーションにより求めた。比較例1の反射防止膜20に垂直に光を入射させたときの分光反射率をシミュレーションにより求めた。得られた計算結果を図54のグラフ(B) に示す。このとき、基材10及び各層21〜29の屈折率分散を考慮し、基材10の反射防止膜20が形成されていない面での反射はないものとした。
20・・・反射防止膜
Claims (5)
- 基材の表面上に、第1層〜第9層を前記基材側からこの順に積層してなる反射防止膜であって、第2層、第4層、第6層及び第8層は波長587.56 nmのd線に対して2.21以上2.70以下の屈折率を示す高屈折率材料により形成された高屈折率層であり、第1層、第3層、第5層及び第7層は前記d線に対して1.40以上1.55未満の屈折率を示す中間屈折率材料により形成された中間屈折率層であり、第9層は前記d線に対して1.35以上1.40未満の屈折率を示す低屈折率材料により形成された低屈折率層であり、前記中間屈折率層と前記高屈折率層との間の屈折率差は0.66超1.30以下であり、可視域の波長帯390〜720 nmの光に対する反射率が0.2%以下であることを特徴とする反射防止膜。
- 請求項1に記載の反射防止膜において、前記高屈折率材料はTiO2、Nb2O5、又はTiO2、Nb2O5、CeO2、Ta2O5、ZnO、ZrO2、In2O3、SnO2及びHfO2の混合物又は化合物であり、前記中間屈折率材料はSiO2、YbF3、YF3、又はSiO2、Al2O3、CeF3、NdF3、GdF3、LaF3、YbF3及びYF3の混合物又は化合物であり、前記低屈折率材料はMgF2、AlF3、又はMgF2、AlF3及びSiO2の混合物又は化合物であることを特徴とする反射防止膜。
- 請求項1又は2に記載の反射防止膜において、前記基材は前記d線に対して1.40以上2.10以下の屈折率を有することを特徴とする反射防止膜。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の反射防止膜を施したことを特徴とする光学部材。
- 請求項4に記載の光学部材を有することを特徴とする光学機器。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012202386A JP6051710B2 (ja) | 2012-09-14 | 2012-09-14 | 反射防止膜、それを用いた光学部材、及び光学機器 |
US14/019,901 US9201172B2 (en) | 2012-09-14 | 2013-09-06 | Anti-reflection coating, optical member having it, and optical equipment comprising such optical member |
EP13184280.9A EP2708922B1 (en) | 2012-09-14 | 2013-09-13 | Anti-reflection coating, optical member having it, and optical equipment comprising such optical member |
CN201320569682.9U CN203643625U (zh) | 2012-09-14 | 2013-09-13 | 抗反射膜、使用其的光学部件和光学仪器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012202386A JP6051710B2 (ja) | 2012-09-14 | 2012-09-14 | 反射防止膜、それを用いた光学部材、及び光学機器 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016234003A Division JP2017040946A (ja) | 2016-12-01 | 2016-12-01 | 反射防止膜、それを用いた光学部材、及び光学機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014056215A JP2014056215A (ja) | 2014-03-27 |
JP6051710B2 true JP6051710B2 (ja) | 2016-12-27 |
Family
ID=50613540
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012202386A Active JP6051710B2 (ja) | 2012-09-14 | 2012-09-14 | 反射防止膜、それを用いた光学部材、及び光学機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6051710B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9366784B2 (en) | 2013-05-07 | 2016-06-14 | Corning Incorporated | Low-color scratch-resistant articles with a multilayer optical film |
US9110230B2 (en) | 2013-05-07 | 2015-08-18 | Corning Incorporated | Scratch-resistant articles with retained optical properties |
WO2015129129A1 (ja) * | 2014-02-26 | 2015-09-03 | コニカミノルタ株式会社 | 広帯域反射防止膜を有する光学部材 |
US9335444B2 (en) * | 2014-05-12 | 2016-05-10 | Corning Incorporated | Durable and scratch-resistant anti-reflective articles |
US11267973B2 (en) | 2014-05-12 | 2022-03-08 | Corning Incorporated | Durable anti-reflective articles |
US9790593B2 (en) | 2014-08-01 | 2017-10-17 | Corning Incorporated | Scratch-resistant materials and articles including the same |
EP3770649A1 (en) | 2015-09-14 | 2021-01-27 | Corning Incorporated | High light transmission and scratch-resistant anti-reflective articles |
JP2018031975A (ja) | 2016-08-26 | 2018-03-01 | 東海光学株式会社 | 光学製品並びにプラスチック眼鏡レンズ及び眼鏡 |
JP2017040946A (ja) * | 2016-12-01 | 2017-02-23 | リコーイメージング株式会社 | 反射防止膜、それを用いた光学部材、及び光学機器 |
JP6251899B1 (ja) * | 2017-03-31 | 2017-12-27 | グンゼ株式会社 | 反射防止フィルム |
CN106946470B (zh) * | 2017-04-26 | 2023-08-01 | 福建福光光电科技有限公司 | 一种耐腐蚀高增透的日夜两视光学玻璃薄膜 |
WO2019151321A1 (ja) * | 2018-01-31 | 2019-08-08 | Agc株式会社 | 反射防止膜付ガラス基板及び光学部品 |
CN114085038A (zh) | 2018-08-17 | 2022-02-25 | 康宁股份有限公司 | 具有薄的耐久性减反射结构的无机氧化物制品 |
CN113278950B (zh) * | 2021-04-30 | 2022-02-15 | 中国建筑材料科学研究总院有限公司 | 渐变折射率减反薄膜及其制备方法和应用 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4786154B2 (ja) * | 2004-08-09 | 2011-10-05 | オリンパス株式会社 | 反射防止膜を設けた光学素子を備えた顕微鏡 |
JP4630916B2 (ja) * | 2008-05-22 | 2011-02-09 | 富士フイルム株式会社 | 反射低減膜、光学部材、光学系 |
JP2010250069A (ja) * | 2009-04-15 | 2010-11-04 | Hoya Corp | 反射防止膜、及びこれを有する光学素子 |
-
2012
- 2012-09-14 JP JP2012202386A patent/JP6051710B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014056215A (ja) | 2014-03-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6051710B2 (ja) | 反射防止膜、それを用いた光学部材、及び光学機器 | |
US9201172B2 (en) | Anti-reflection coating, optical member having it, and optical equipment comprising such optical member | |
JP4958594B2 (ja) | 反射防止膜、光学素子および光学系 | |
US9726797B2 (en) | Near-infrared cut filter | |
US10408981B2 (en) | Near-infrared cut filter | |
US7336421B2 (en) | Optical system with anti-reflection coating | |
TWI509292B (zh) | 鏡片及具有該鏡片的鏡頭模組 | |
US20090290219A1 (en) | Reflection reducing film, optical member and optical system | |
EP1584954A2 (en) | Anti-reflection coating in the visible range for wide incident angles | |
US20150226943A1 (en) | Teleconverter and Image Pickup System Using the Same | |
US9715044B2 (en) | Antireflection film, and optical element and optical system that include the same | |
JP6241102B2 (ja) | 反射防止膜、それを用いた光学部材、及び光学機器 | |
JP2007333806A (ja) | 反射防止膜および光学部材 | |
JP6236776B2 (ja) | 反射防止膜、それを用いた光学部材、及び光学機器 | |
JPWO2017204127A1 (ja) | 投影レンズ | |
JP5292318B2 (ja) | 反射防止膜、及びこれを有する光学部材 | |
KR20090077489A (ko) | 반사 방지 코팅 | |
JP6361095B2 (ja) | 反射防止膜、それを用いた光学部材、及び光学機器 | |
JP6743398B2 (ja) | 観察光学機器及びプリズム | |
JP2017040946A (ja) | 反射防止膜、それを用いた光学部材、及び光学機器 | |
US20150362632A1 (en) | Antireflection coating and optical element including the same | |
US20120200927A1 (en) | Optical element having anti-reflection film | |
JP7332359B2 (ja) | 反射防止膜 | |
JP3113371B2 (ja) | 多層反射防止膜 | |
JP2002014204A (ja) | 反射防止膜及びそれを用いた光学部材 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150707 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160325 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160405 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160519 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161101 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161114 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6051710 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |