JP2013156523A - 基板 - Google Patents

基板 Download PDF

Info

Publication number
JP2013156523A
JP2013156523A JP2012018267A JP2012018267A JP2013156523A JP 2013156523 A JP2013156523 A JP 2013156523A JP 2012018267 A JP2012018267 A JP 2012018267A JP 2012018267 A JP2012018267 A JP 2012018267A JP 2013156523 A JP2013156523 A JP 2013156523A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
substrate
antireflection film
film
refractive index
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2012018267A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroki Fukaya
浩生 深谷
Yoichi Shimamura
洋一 嶋村
Takuro Okubo
拓朗 大久保
Saki Odaka
沙希 小高
Takao Saito
孝朗 齋藤
Tatsuya Kojima
龍也 小嶋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Topcon Corp
Original Assignee
Topcon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Topcon Corp filed Critical Topcon Corp
Priority to JP2012018267A priority Critical patent/JP2013156523A/ja
Priority to CN201210342252.3A priority patent/CN103226211B/zh
Priority to US13/647,875 priority patent/US8882280B2/en
Priority to EP12188115.5A priority patent/EP2624020A1/en
Publication of JP2013156523A publication Critical patent/JP2013156523A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
    • G02B1/11Anti-reflection coatings
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
    • G02B1/11Anti-reflection coatings
    • G02B1/113Anti-reflection coatings using inorganic layer materials only
    • G02B1/115Multilayers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3411Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
    • C03C17/3429Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
    • C03C17/3447Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising a halide
    • C03C17/3452Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising a halide comprising a fluoride
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
    • G02B1/11Anti-reflection coatings
    • G02B1/113Anti-reflection coatings using inorganic layer materials only
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
    • G02B1/14Protective coatings, e.g. hard coatings
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
    • G02B1/18Coatings for keeping optical surfaces clean, e.g. hydrophobic or photo-catalytic films
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/0006Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 with means to keep optical surfaces clean, e.g. by preventing or removing dirt, stains, contamination, condensation
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/28Interference filters
    • G02B5/285Interference filters comprising deposited thin solid films
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/70Properties of coatings
    • C03C2217/73Anti-reflective coatings with specific characteristics
    • C03C2217/734Anti-reflective coatings with specific characteristics comprising an alternation of high and low refractive indexes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

【課題】 入射角度に対する反射色の変化量の少ないカバーガラスなどの基板を提供する。
【解決手段】 ディスプレイ用のカバーガラスなどの基板が、割れ防止のための強化層と、その上に設けられた防眩(アンチグレア)層と、その上に設けられた、色調調整および反射防止膜と、その上に設けられた、指紋付着低減のための防汚層とを有する。反射防止膜が、少なくとも9層からなる。
【選択図】 図1

Description

本発明は、タッチパネル等に使用されるディスプレイ用のカバーガラスなどの基板に関し、例えば、ガラス基板に割れ防止のための強化層が設けられ、その上に微細構造体などの防眩(アンチグレア)層を設け、その上に色調調整および低反射防止膜を成膜し、その上に指紋付着低減のための防汚層を有する基板に関する。
従来から、ガラス基板の強化処理を行って強化層を設け、その上に色調調整および低反射防止膜を成膜した表示装置用反射防止機能付きフィルターが知られている。
例えば、特許文献1においては、とくに行番号0039〜0045に示すように、膜厚が107nmの酸窒化スズ膜を第1層としてガラス基板に直接成膜し、さらに、膜厚が72nmの二酸化ケイ素を第2層として成膜し、ガラスの強化処理を行い、導電膜上に色調補正したPET付反射フィルムをアクリル系粘着剤を介して貼り合わせて反射防止フィルターが製作されている。
また、特許文献2においては、行番号0063〜0065と図2に示すように、導電性メッシュ層(B)10の上に、色素を含有する透光性粘着材(D)30を介して機能性フィルム(C)40が設けられ、機能性フィルム(C)40は、近赤外線吸収剤含有層41と、高分子フィルム43と、ハードコート性、静電防止性及び防汚性を有する反射防止層42とが、この順に積層されている。
さらに、特許文献2の行番号0032には、機能性透明層(C)は、外光反射を抑制するための反射防止(AR:アンチリフレクション)性、または、鏡像の映り込みを防止する防眩(AG:アンチグレア)性、またはその両性質を備えた反射防止防眩(ARAG)性のいずれかの機能を有することが望ましい旨記載されている。
特許第4078520号公報 特許第3710721号公報
従来の反射防止機能付きフィルターをそのまま携帯用電子機器、携帯用電気通信機器(例えばスマートフォンなどの携帯電話やiPad(登録商標)などのモバイル)に用いることはできない。なぜなら、これらの機器は、テレビジョンや、パーソナルコンピュータなどの電気電子機器に比べ、携帯用であることから、外部からの入射光が多く、この入射光に対して反射色の変化量が大きく、かつ透過率が不十分であるからである。
また、防汚膜としては、撥水撥油性膜がよく知られているが、本用途のような場合には、磨耗耐久性が高いこと、またこの膜の場合には必ず防塵性を伴うため、防塵性対策が必要であること、さらに反射防止膜の光学特性に影響がない程度に薄膜であることなどが必要であるが同時に満足できるものがない。
そこで、本発明は、入射角度に対する反射色の変化量の少ないカバーガラスなどの基板を提供することを目的とする。特に、本発明は、例えば携帯用電気通信機器に対し外部光を効率よく高透過率で低反射にて取り込めるような反射防止膜を有する基板を提供することを目的とする。
本発明の解決手段を例示すると、特許請求の範囲に記載のとおりである。
(1)割れ防止のための強化層と、その上に設けられた、色調調整および反射防止膜と、その上に設けられた、指紋付着低減のための防汚層とを有し、反射防止膜が少なくとも9層からなることを特徴とする基板。
(2)割れ防止のための強化層と、その上に設けられた防眩(アンチグレア)層と、その上に設けられた、色調調整および反射防止膜と、その上に設けられた、指紋付着低減のための防汚層とを有し、反射防止膜が少なくとも9層からなることを特徴とする基板。
(3)前述の基板において、反射防止膜は、Nb2O5、Ta2O5、TiO2又はZrO2の高屈折率材料、またはこれらの材料を使用した混合材料と、SiO2/MgF2の低屈折率材料からなり、高屈折率材料の屈折率をnh、低屈折率材料の屈折率をnlと定義し、nhとnlの隣接する層同士の屈折率差Δnが下記条件(1)〜(3)を満たすことを特徴とする基板。
(1)nh≧2.0
(2)nl≦1.60
(3)Δn≧0.30
(4)前述の基板において、少なくとも9層の各々の屈折率を媒質側からn1/n2/n3/n4/n5/n6/n7/n8/n9と定義し、各層の光学膜厚を媒質側からd1/d2/d3/d4/d5/d6/d7/d8/d9と定義したときに下記条件を満たすことを特徴とする基板。
(a) n2≦1.40
(b) n3=n5=n7=n9>n1=n4=n6=n8>n2
(c) 0.0225λ0≦d1≦0.0525λ0
(d) 0.1453λ0≦d2≦0.3389λ0
(e) 0.0733λ0≦d3≦0.1710λ0
(f) 0.0307λ0≦d4≦0.0716λ0
(g) 0.2096λ0≦d5≦0.4892λ0
(h) 0.0315λ0≦d6≦0.0735λ0
(i) 0.0810λ0≦d7≦0.1889λ0
(j) 0.0798λ0≦d8≦0.1863λ0
(k) 0.0258λ0≦d9≦0.0602λ0
(5)前述の基板において、
反射防止膜は、最表層及び第2層が酸化ケイ素及びフッ化マグネシウムからなる群から選択される少なくとも1種類を含む層であることを特徴とする基板。
(6)前述の基板において、
反射防止膜は、波長範囲が390〜800nmにある可視光線用に用いられる反射防止膜であることを特徴とする基板。
(7)前述の基板において、
反射防止膜は、390〜800nmにおいて分光反射率が1.0%以下、且つ、400〜780nmにおいて分光反射率が0.5%以下であることを特徴とする基板。
(8)前述の基板において、
反射色に関してCIE LAB座標に対してa及びbの値が、それぞれ、−5<a<5、−5<b<5である反射防止膜が用いられていることを特徴とする基板。
本発明によると、携帯用電子機器、携帯用電気通信機器などで入射角度に対する反射色の変化量が少なく、画面が見やすく、指紋、油汚れ、埃、唾、涙、よだれなどが付着しにくく、外力の作用に強く、頑丈であるという効果を奏することが可能となる。
本発明による基板のカバーガラスの一例を示す概略説明図。 本発明の実施例1における分光特性を示す。 本発明の実施例1における反射色を示す。 本発明の実施例2における分光特性を示す。 本発明の実施例2における反射色を示す。 本発明の実施例3における分光特性を示す。 本発明の実施例3における反射色を示す。 参考例(比較例)1における分光特性を示す。 参考例(比較例)1における反射色を示す。 参考例(比較例)2における分光特性を示す。 参考例(比較例)2における反射色を示す。
本発明の複数の実施形態を説明する。
図1に示されているように、ガラス基板10に対して、割れ防止のための強化処理が施されて、強化層12が設けられている。基板は、カバーガラスなどのガラス基板に限定されず、樹脂、金属、フィルム、パネル、またはガラスと樹脂の混合基板、またはガラスと金属の混合基板などの基板などであってもよい。
強化層12の上にAG(アンチグレア)処理を施して、アンチグレア層14を設ける。
アンチグレア層14の上に少なくとも9層の反射防止膜を設ける。例えば、(Nb2O5−SiO2−)3−Nb2O5−MgF2−SiO2よりなる9層の入射角度に対する反射色の変化量の少ない9層よりなる反射色調整低反射率反射防止膜16(干渉膜)を施す。
反射防止膜16の材料は、高屈折率材料(Nb2O5、Ta2O5、TiO2又はZrO2)、これらの材料を使用した混合材料、低屈折率材料(SiO2又はMgF2)とする。
成膜装置は、真空蒸着法、IAD成膜法、RFイオンプレーティング成膜法、各種スパッタリング法を行うものとする。
反射色に関しては、CIE LAB座標に対してa及びbの値が、それぞれ、−5<a<5、−5<b<5とする。(例としてD65白色光源がある。)
さらに、反射防止膜16の上に、AY(指紋付着防止)膜処理を施して、防汚層18を設ける。
防汚層18には、アルキルシランのようなシリコーン系や、一部のプロトンに変わりフッ素が置換したフッ素系の物質が用いる。これらは非常に分子が小さいため反射防止膜上にコートされてもその光学特性に影響を与えづらいからである。これらの物質は加水分解、シリル化反応など水分との反応が起きやすいことからそれらが起こらないようなコート液を作製する。そして、アルキル基やフッ素基が表面を向いて基盤と反応するようにディップコートなどの手法により被コート基板にコートして密着固定させる。これにより、防汚性能を最大限に発揮させるとともに被コート基盤との密着力を高めることができることから磨耗耐久性も向上する。帯電は下の反射防止膜物質との組み合わせにより回避もできる。
さらに、被コート基盤の反射防止膜表面をコート前にプラズマ洗浄など活性化処理をすることにより、密着力がさらに向上させることが可能なためにも磨耗耐久性が
格段によくなる。

また、基板と媒質との界面における光線の反射を低減させるために、基板の光学面上に反射防止膜が形成される。
媒質と接する最表層の屈折率n1が設計中心波長λ0において1.50以下である。
好ましくは、本発明の反射防止膜16は、高屈折率材料の屈折率をnh、低屈折率材料の屈折率をnlと定義し、nhとnlの隣接する層同士の屈折率差Δnが下記条件(1)〜(3)を満たす。
(1)nh≧2.0
(2)nl≦1.60
(3)Δn≧0.30
上記数値限定は、単にシミュレーションの結果によるものではなく、現実に試作した結果、最も適した低反射率を90%以上の確率で実現するものである。
さらに好ましくは、本発明の反射防止膜16は、9層の各々の屈折率を媒質側からn1/n2/n3/n4/n5/n6/n7/n8/n9と定義し、各層の光学膜厚を媒質側からd1/d2/d3/d4/d5/d6/d7/d8/d9と定義したとき、下記条件を満たす。
(a) n2≦1.40
(b) n3=n5=n7=n9>n1=n4=n6=n8>n2
(c) 0.0225λ0≦d1≦0.0525λ0
(d) 0.1453λ0≦d2≦0.3389λ0
(e) 0.0733λ0≦d3≦0.1710λ0
(f) 0.0307λ0≦d4≦0.0716λ0
(g) 0.2096λ0≦d5≦0.4892λ0
(h) 0.0315λ0≦d6≦0.0735λ0
(i) 0.0810λ0≦d7≦0.1889λ0
(j) 0.0798λ0≦d8≦0.1863λ0
(k) 0.0258λ0≦d9≦0.0602λ0
上記の波長範囲は、単にシミュレーションの結果によるものではなく、現実に試作した結果、最も適した低反射率を80〜95%の確率で実現するものである。
さらに好ましくは、本発明の反射防止膜16は、最表層及び第2層が酸化ケイ素及びフッ化マグネシウムからなる群から選択される少なくとも1種類を含む層である。
さらに好ましくは、本発明の反射防止膜16は、波長範囲が390〜800nmにある可視光線用に用いられる。
さらに好ましくは、本発明の反射防止膜16は、390〜800nmにおいて分光反射率が1.0%以下、且つ、400〜780nmにおいて分光反射率が0.5%以下である。この数値限定も、90%以上の確率で実現する範囲に即したものである。
さらに好ましくは、本発明の反射防止膜16は、反射色に関して、CIE LAB座標に対してa及びbの値が、それぞれ、−5<a<5、−5<b<5とする。(例としてD65白色光源がある。)
以下、本発明の実施例1〜3を参考例1及び2と対比して具体的に詳述する。カバーガラスの構造は、実施例1〜3と参考例1〜2のいずれも、図1に示すものであった。
基板10として屈折率1.52である、例えばガラス基板を用いた。
表1に示すような9層構成の反射防止膜16を製造した。なお、ガラス基板10に対して、割れ防止のための強化処理が施されて、強化層が設けられている。
8層より少ない層では反射防止膜16としての波長帯域が狭くなってしまい、外部からの入射光の入射角度に対して反射色の変化量が大きくなってしまった。しかし、9層にすることによって、入射角度に対する反射色の変化量の少なく、各膜物質間の密着性がよくなった。スマートフォンなどの携帯電気通信機器に実施例1の反射防止膜を装着した場合、外光の影響を受けにくくなりギラツキを抑えることが出来る為、表示部が見やすくなった。
反射防止膜16において媒質側から数えて第1層目が最表層である。最表層は酸化ケイ素とした。
また、第2層の膜物質はフッ化マグネシウムとし、第3層、第5層、第7層、第9層の膜物質は酸化ニオブ、第4層、第6層、第8層の膜物質は酸化ケイ素とした。
また、設計中心波長λ0は480nmとした。
媒質側から数えて第1層と第3層から第9層まではイオンアシスト法を採用してそれぞれ成膜した。
第2層については真空蒸着法を用いて成膜した。
具体的には第1層及び第3〜9層は表1に示す光学膜厚を再現良く達成させる為にイオンアシスト装置を用いて成膜した。
さらに、反射防止膜16の上に、AY(指紋付着防止)膜処理を施して、防汚層を設ける。
表1に示す光学膜厚での分光特性及び反射色は、図2、図3に示すとおりである。
この基板は、例えば携帯電気通信機器などの強化ガラスなどに用いられる。

Figure 2013156523
ガラス基板10として表面にアンチグレア処理をしているものを使用した。なお、ガラス基板10に対して、割れ防止のための強化処理が施されて、強化層が設けられている。
表2に示すような9層構成の反射防止膜16を製造した。
8層より少ない層では反射防止膜としての波長帯域が狭くなってしまい、外部からの入射光の入射角度に対して反射色の変化量が大きくなってしまった。しかし、9層にすることによって、入射角度に対する反射色の変化量が少なく、各膜物質間の密着性がよくなった。スマートフォンなどの携帯電気通信機器に実施例2の反射防止膜を装着した場合、外光の影響を受けにくくなりギラツキを抑えることが出来るため、表示部が見やすくなった。
反射防止膜16において媒質側から数えて第1層目が最表層であり、最表層は酸化ケイ素とした。
また、第2層の膜物質はフッ化マグネシウムとし、第3層、第5層、第7層、第9層の膜物質は、酸化ニオブ、第4層、第6層、第8層の膜物質は酸化ケイ素とした。
また、設計中心波長λ0は480nmとした。
媒質側から数えて第1層と第3層から第9層まではイオンアシスト法を採用してそれぞれ成膜した。
第2層については真空蒸着法を用いて成膜した。
具体的には第1層及び第3〜9層は、表1に示す光学膜厚を再現良く達成させる為にイオンアシスト装置を用いて成膜した。
さらに、反射防止膜16の上に、AY(指紋付着防止)膜処理を施して、防汚層を設ける。
この基板は、例えばパソコンやモバイルなどのタッチパネルや携帯電話のカバーガラスなどに用いられる。

表2に示す光学膜厚での分光特性及び反射色は、図4、図5に示すとおりである。
Figure 2013156523
ガラス基板10として屈折率1.52であるものを使用した。
本実施例のガラス基板10には、表面にアンチグレア処理をされておらず、また割れ防止のための強化処理も施されていない。

表3に示すような10層構成の反射防止膜16を製造した。
8層より少ない層では反射防止膜としての波長帯域が狭くなってしまい、外部からの入射光の入射角度に対して反射色の変化量が大きくなってしまった。しかし、10層にすることによって、入射角度に対する反射色の変化量が少なく、各膜物質間の密着性がよくなった。スマートフォンなどの携帯電気通信機器に実施例3の反射防止膜を装着した場合、外光の影響を受けにくくなりギラツキを抑えることが出来るため、表示部が見やすくなった。
反射防止膜16において媒質側から数えて第1層目が最表層であり、最表層は酸化ケイ素とした。
また、第2層の膜物質はフッ化マグネシウムとし、第3層、第5層、第7層、第9層の膜物質は、酸化ニオブ、第4層、第6層、第8層、第10層の膜物質は酸化ケイ素とした。
また、設計中心波長λ0は480nmとした。
媒質側から数えて第1層と第3層から第10層まではイオンアシスト法を採用してそれぞれ成膜した。
第2層については真空蒸着法を用いて成膜した。
具体的には第1層及び第3〜10層は表3に示す光学膜厚を再現良く達成させる為にイオンアシスト装置を用いて成膜した。
さらに、反射防止膜16の上に、AY(指紋付着防止)膜処理を施して、防汚層を設ける。
この基板は、例えばカーナビゲーションのカバーガラスや通常のガラス板などに用いられる。

表3に示す光学膜厚での分光特性及び反射色は、図6、図7に示すとおりである。
Figure 2013156523
参考例1
ガラス基板10として屈折率1.52であるものを使用した。
表4に示すような4層構成の反射防止膜16を製造した。
4層にすることで、最も適した反射率に対し60%程度になる。色度を満足させることは可能である。しかし、反射防止膜16としての波長帯域が狭くなってしまい、外部からの入射光の入射角度に対して反射色の変化量が大きくなってしまった。
反射防止膜16において媒質側から数えて第1層目が最表層であり、最表層は酸化ケイ素とした。
また、第2層の膜物質はフッ化マグネシウムとし、第3層はZrO2、第4層をAl2O3とした。
また、設計中心波長λ0は510nmとした。
媒質側から数えて第1層と第3層、第4層はイオンアシスト法を採用してそれぞれ成膜した。
第2層については真空蒸着法を用いて成膜した。
具体的には第1層及び第3、4層は、表4に示す光学膜厚を再現良く達成させるためにイオンアシスト装置を用いて成膜した。
さらに、反射防止膜の上に、AY(指紋付着防止)膜処理を施して、防汚層を設ける。

表4に示す光学膜厚での分光特性及び反射色は、図8、図9に示すとおりである。
Figure 2013156523
参考例2
ガラス基板10として屈折率1.52であるものを使用した。
表5に示すような6層構成の反射防止膜16を製造した。
6層にすることで、最も適した反射率に対し80%程度になる。色度を満足させることは可能である。しかし、反射防止膜16としての波長帯域が狭くなってしまい、外部からの入射光の入射角度に対して反射色の変化量が大きくなってしまった。
反射防止膜16において媒質側から数えて第1層目が最表層であり、最表層は酸化ケイ素とした。
また、第2層の膜物質はフッ化マグネシウムとし、第3層、第5層はZrO2、第4層はTiO2、第6層をAl2O3とした。また、設計中心波長λ0は510nmとした。
媒質側から数えて第1層と第3層から第6層はイオンアシスト法を採用してそれぞれ成膜した。
第2層については真空蒸着法を用いて成膜した。
具体的には第1層及び第3層から第6層は表5に示す光学膜厚を再現良く達成させる為にイオンアシスト装置を用いて成膜した。
さらに、反射防止膜の上に、AY(指紋付着防止)膜処理を施して、防汚層を設ける。

表5に示す光学膜厚での分光特性及び反射色は、図10、図11に示すとおりである。
Figure 2013156523

Claims (10)

  1. 色調調整および反射防止膜と、その上に設けられた、指紋付着低減のための防汚層とを有し、反射防止膜が少なくとも9層からなることを特徴とする基板。
  2. 割れ防止のための強化層と、その上に設けられた、色調調整および反射防止膜と、その上に設けられた、指紋付着低減のための防汚層とを有し、反射防止膜が少なくとも9層からなることを特徴とする基板。
  3. 割れ防止のための強化層と、その上に設けられた防眩(アンチグレア)層と、その上に設けられた、色調調整および反射防止膜と、その上に設けられた、指紋付着低減のための防汚層とを有し、反射防止膜が少なくとも9層からなることを特徴とする基板。
  4. 請求項1ないし3のいずれか1項に記載の基板において、反射防止膜は、Nb2O5、Ta2O5、TiO2又はZrO2の高屈折率材料、またはこれらの材料を使用した混合材料と、SiO2/MgF2の低屈折率材料からなり、高屈折率材料の屈折率をnh、低屈折率材料の屈折率をnlと定義し、nhとnlの隣接する層同士の屈折率差Δnが下記条件(1)〜(3)を満たすことを特徴とする基板。
    (1)nh≧2.0
    (2)nl≦1.60
    (3)Δn≧0.30
  5. 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の基板において、少なくとも9層の各々の屈折率を媒質側からn1/n2/n3/n4/n5/n6/n7/n8/n9と定義し、各層の光学膜厚を媒質側からd1/d2/d3/d4/d5/d6/d7/d8/d9と定義したときに下記条件を満たすことを特徴とする基板。
    (a) n2≦1.40
    (b) n3=n5=n7=n9>n1=n4=n6=n8>n2
    (c) 0.0225λ0≦d1≦0.0525λ0
    (d) 0.1453λ0≦d2≦0.3389λ0
    (e) 0.0733λ0≦d3≦0.1710λ0
    (f) 0.0307λ0≦d4≦0.0716λ0
    (g) 0.2096λ0≦d5≦0.4892λ0
    (h) 0.0315λ0≦d6≦0.0735λ0
    (i) 0.0810λ0≦d7≦0.1889λ0
    (j) 0.0798λ0≦d8≦0.1863λ0
    (k) 0.0258λ0≦d9≦0.0602λ0
  6. 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の基板において、
    反射防止膜は、最表層及び第2層が酸化ケイ素及びフッ化マグネシウムからなる群から選択される少なくとも1種類を含む層であることを特徴とする基板。
  7. 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の基板において、
    反射防止膜は、波長範囲が390〜800nmにある可視光線用に用いられる反射防止膜であることを特徴とする基板。
  8. 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の基板において、
    反射防止膜は、390〜800nmにおいて分光反射率が1.0%以下、且つ、400〜780nmにおいて分光反射率が0.5%以下であることを特徴とする基板。
  9. 請求項1ないし8のいずれか1項に記載の基板において、
    反射色に関してD65白色光源を用いたときにCIE LAB座標に対してa及びbの値が、それぞれ、−5<a<5、−5<b<5である反射防止膜が用いられていることを特徴とする基板。
  10. 請求項1ないし9のいずれか1項に記載の基板において、防汚層は撥水撥油性膜を有することを特徴とする基板。
JP2012018267A 2012-01-31 2012-01-31 基板 Pending JP2013156523A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012018267A JP2013156523A (ja) 2012-01-31 2012-01-31 基板
CN201210342252.3A CN103226211B (zh) 2012-01-31 2012-09-14 光学基板
US13/647,875 US8882280B2 (en) 2012-01-31 2012-10-09 Optical substrate
EP12188115.5A EP2624020A1 (en) 2012-01-31 2012-10-11 Optical substrate

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012018267A JP2013156523A (ja) 2012-01-31 2012-01-31 基板

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2013156523A true JP2013156523A (ja) 2013-08-15

Family

ID=47263038

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012018267A Pending JP2013156523A (ja) 2012-01-31 2012-01-31 基板

Country Status (4)

Country Link
US (1) US8882280B2 (ja)
EP (1) EP2624020A1 (ja)
JP (1) JP2013156523A (ja)
CN (1) CN103226211B (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016021560A1 (ja) * 2014-08-04 2016-02-11 旭硝子株式会社 透光性構造体、その製造方法および物品
WO2016035710A1 (ja) * 2014-09-02 2016-03-10 コニカミノルタ株式会社 プリズムユニット及びプロジェクター
WO2017038868A1 (ja) * 2015-08-31 2017-03-09 旭硝子株式会社 透光性構造体、その製造方法および物品
DE102016118362A1 (de) 2015-09-30 2017-03-30 Topcon Corporation Antireflexionsfilm, optisches Element und augenoptische Vorrichtung
WO2017135261A1 (ja) * 2016-02-01 2017-08-10 旭硝子株式会社 透光性構造体
JP2018083748A (ja) * 2016-11-11 2018-05-31 旭硝子株式会社 低反射膜付き基体およびその製造方法

Families Citing this family (48)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9844898B2 (en) 2011-09-30 2017-12-19 Apple Inc. Mirror feature in devices
CN104583811A (zh) * 2012-08-31 2015-04-29 日本电气硝子株式会社 防眩防反射部件及其制造方法
US9684097B2 (en) 2013-05-07 2017-06-20 Corning Incorporated Scratch-resistant articles with retained optical properties
US9366784B2 (en) 2013-05-07 2016-06-14 Corning Incorporated Low-color scratch-resistant articles with a multilayer optical film
US9703011B2 (en) 2013-05-07 2017-07-11 Corning Incorporated Scratch-resistant articles with a gradient layer
US9110230B2 (en) 2013-05-07 2015-08-18 Corning Incorporated Scratch-resistant articles with retained optical properties
US9359261B2 (en) * 2013-05-07 2016-06-07 Corning Incorporated Low-color scratch-resistant articles with a multilayer optical film
EP4194220A1 (en) 2013-06-09 2023-06-14 Apple Inc. Electronic watch
US9790126B2 (en) 2013-09-05 2017-10-17 Apple Inc. Opaque color stack for electronic device
US9727178B2 (en) * 2013-09-05 2017-08-08 Apple Inc. Opaque white coating with non-conductive mirror
US9629271B1 (en) 2013-09-30 2017-04-18 Apple Inc. Laser texturing of a surface
CN103950248A (zh) * 2014-04-21 2014-07-30 深圳市三鑫精美特玻璃有限公司 一种防眩光减反射抗指纹玻璃及其加工方法
US9335444B2 (en) 2014-05-12 2016-05-10 Corning Incorporated Durable and scratch-resistant anti-reflective articles
US11267973B2 (en) 2014-05-12 2022-03-08 Corning Incorporated Durable anti-reflective articles
JP5935931B2 (ja) * 2014-07-16 2016-06-15 旭硝子株式会社 カバーガラス
US9790593B2 (en) * 2014-08-01 2017-10-17 Corning Incorporated Scratch-resistant materials and articles including the same
CN204694870U (zh) * 2014-08-11 2015-10-07 深圳市康视佳网络科技发展有限公司 一种多功能镜片
CN105445820A (zh) * 2014-08-21 2016-03-30 宸鸿科技(厦门)有限公司 光学膜组件
CN104333629A (zh) * 2014-12-02 2015-02-04 张家港市德力特新材料有限公司 一种手机屏玻璃
CN104503009B (zh) * 2014-12-09 2016-03-23 成都摩卡科技有限责任公司 一种防眩太阳膜及其制备方法
DE102015100091A1 (de) * 2015-01-07 2016-07-07 Rodenstock Gmbh Schichtsystem und optisches Element mit einem Schichtsystem
EP3770649A1 (en) 2015-09-14 2021-01-27 Corning Incorporated High light transmission and scratch-resistant anti-reflective articles
JP2017110979A (ja) * 2015-12-15 2017-06-22 株式会社ミツトヨ 測定器
CN105857209A (zh) * 2016-05-04 2016-08-17 科世达(上海)管理有限公司 一种汽车内饰件及其制造方法
EP3242150B1 (en) * 2016-05-04 2019-01-02 Essilor International Optical article comprising an antireflective coating with a high reflection in the near infrared region (nir)
CN105891914B (zh) * 2016-06-04 2017-12-15 浙江星星科技股份有限公司 一种具有ag+ar+af镀膜的视窗保护面板
CN106086791B (zh) * 2016-06-04 2018-08-10 浙江星星科技股份有限公司 一种具有ag+ar+af镀膜的视窗保护面板的制造方法
WO2018045484A1 (en) 2016-09-06 2018-03-15 Apple Inc. Laser bleach marking of an anodized surface
US10877181B2 (en) * 2016-11-11 2020-12-29 AGC Inc. Substrate with low-reflection property and manufacturing method thereof
KR101926960B1 (ko) * 2017-02-10 2018-12-07 주식회사 케이씨씨 저반사 코팅 유리
CN106918851A (zh) * 2017-04-26 2017-07-04 福建福光光电科技有限公司 一种疏水疏油抗污超硬的光学玻璃膜层
JP6881172B2 (ja) * 2017-09-13 2021-06-02 Agc株式会社 反射防止膜付透明基体、およびそれを用いた表示装置
CN107731874A (zh) * 2017-10-18 2018-02-23 曾胜 一种新型电容屏防眩光解决方案
US11156753B2 (en) 2017-12-18 2021-10-26 Viavi Solutions Inc. Optical filters
MX2023000863A (es) * 2018-01-30 2023-03-01 Viavi Solutions Inc Dispositivo optico que tiene partes opticas y mecanicas.
CN111727178B (zh) * 2018-02-16 2023-08-22 Agc株式会社 玻璃盖片和内嵌式液晶显示装置
JP2019174796A (ja) * 2018-03-13 2019-10-10 ヴァイアヴィ・ソリューションズ・インコーポレイテッドViavi Solutions Inc. 機能処理を施した光学層スタックを備えた光学デバイス
US10919326B2 (en) 2018-07-03 2021-02-16 Apple Inc. Controlled ablation and surface modification for marking an electronic device
WO2020037042A1 (en) 2018-08-17 2020-02-20 Corning Incorporated Inorganic oxide articles with thin, durable anti-reflective structures
DE102018122444A1 (de) * 2018-09-13 2020-03-19 Rodenstock Gmbh Optisches Element mit einem Stapel von Schichtpaketen und Verfahren zur Herstellung des optischen Elements
US11200386B2 (en) 2018-09-27 2021-12-14 Apple Inc. Electronic card having an electronic interface
US11571766B2 (en) 2018-12-10 2023-02-07 Apple Inc. Laser marking of an electronic device through a cover
US11650361B2 (en) * 2018-12-27 2023-05-16 Viavi Solutions Inc. Optical filter
US11299421B2 (en) 2019-05-13 2022-04-12 Apple Inc. Electronic device enclosure with a glass member having an internal encoded marking
CN110415610A (zh) * 2019-07-22 2019-11-05 安徽华米信息科技有限公司 显示面板及其制造方法、显示装置
US10830930B1 (en) * 2019-09-09 2020-11-10 Apple Inc. Antireflective infrared cut filter coatings for electronic devices
CN110976249A (zh) * 2019-12-20 2020-04-10 深圳市佰瑞兴实业有限公司 一种玻璃显示面板的表面处理工艺
CN112209632A (zh) * 2020-09-18 2021-01-12 苏州胜利精密制造科技股份有限公司 一种蓝色触摸板的玻璃盖板及制备方法

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60210857A (ja) 1984-04-03 1985-10-23 Fujitsu Ltd 放射冷却器
JPH078520B2 (ja) 1991-02-28 1995-02-01 株式会社日本製鋼所 射出成形品の色替自動確認方法
JPH10206603A (ja) * 1997-01-20 1998-08-07 Dainippon Printing Co Ltd 反射防止フィルム及びその製造方法
JP3311720B2 (ja) * 1999-01-22 2002-08-05 三井化学株式会社 ディスプレイ用フィルター
JP3710721B2 (ja) 2001-04-25 2005-10-26 三井化学株式会社 ディスプレイ用フィルタの製造方法
CA2448410A1 (en) * 2002-11-06 2004-05-06 Pentax Corporation Anti-relfection spectacle lens and its production method
US7695781B2 (en) * 2004-02-16 2010-04-13 Fujifilm Corporation Antireflective film, polarizing plate including the same, image display unit including the same and method for producing antireflective film
JP2006126233A (ja) * 2004-10-26 2006-05-18 Seiko Epson Corp 反射防止膜付き眼鏡レンズ
US7939576B2 (en) * 2005-11-25 2011-05-10 Fujifilm Corporation Antireflection film, process of producing the same, and polarizing plate and display device including the same
JP2009008901A (ja) * 2007-06-28 2009-01-15 Nikon Corp 反射防止膜、光学素子及び光学系
JP5163231B2 (ja) * 2008-03-31 2013-03-13 日油株式会社 減反射材及びそれを備えた電子画像表示装置
CN101571602A (zh) * 2008-04-29 2009-11-04 智盛全球股份有限公司 用于增加蓝光透光率的抗反射涂层结构及其制作方法
JP2010231171A (ja) * 2009-03-04 2010-10-14 Seiko Epson Corp 光学物品およびその製造方法
JP5588135B2 (ja) * 2009-08-10 2014-09-10 ホーヤ レンズ マニュファクチャリング フィリピン インク 光学物品の製造方法

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016021560A1 (ja) * 2014-08-04 2016-02-11 旭硝子株式会社 透光性構造体、その製造方法および物品
JPWO2016021560A1 (ja) * 2014-08-04 2017-05-25 旭硝子株式会社 透光性構造体
US10416354B2 (en) 2014-08-04 2019-09-17 AGC Inc. Translucent structure
WO2016035710A1 (ja) * 2014-09-02 2016-03-10 コニカミノルタ株式会社 プリズムユニット及びプロジェクター
JPWO2017038868A1 (ja) * 2015-08-31 2018-06-14 旭硝子株式会社 透光性構造体、その製造方法および物品
WO2017038868A1 (ja) * 2015-08-31 2017-03-09 旭硝子株式会社 透光性構造体、その製造方法および物品
US10948633B2 (en) 2015-08-31 2021-03-16 AGC Inc. Translucent structure, method for manufacturing same, and article
JP2017068096A (ja) * 2015-09-30 2017-04-06 株式会社トプコン 反射防止膜、光学素子、及び眼科装置
US10345489B2 (en) 2015-09-30 2019-07-09 Topcon Corporation Antireflection film, optical element and ophthalmology apparatus
DE102016118362A1 (de) 2015-09-30 2017-03-30 Topcon Corporation Antireflexionsfilm, optisches Element und augenoptische Vorrichtung
CN107924003A (zh) * 2016-02-01 2018-04-17 旭硝子株式会社 透光性结构体
JPWO2017135261A1 (ja) * 2016-02-01 2018-12-13 Agc株式会社 透光性構造体
WO2017135261A1 (ja) * 2016-02-01 2017-08-10 旭硝子株式会社 透光性構造体
CN107924003B (zh) * 2016-02-01 2020-08-25 Agc株式会社 透光性结构体
US11772356B2 (en) 2016-02-01 2023-10-03 AGC Inc. Translucent structure
JP2018083748A (ja) * 2016-11-11 2018-05-31 旭硝子株式会社 低反射膜付き基体およびその製造方法
JP2021014399A (ja) * 2016-11-11 2021-02-12 Agc株式会社 低反射膜付き基体およびその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20130271836A1 (en) 2013-10-17
CN103226211A (zh) 2013-07-31
US8882280B2 (en) 2014-11-11
EP2624020A1 (en) 2013-08-07
CN103226211B (zh) 2015-05-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2013156523A (ja) 基板
KR102179361B1 (ko) 내스크래치성 반사 방지 코팅
TWI600918B (zh) 光學膜元件
JP5881096B2 (ja) 反射防止膜及び光学素子
TWI545591B (zh) Transparent conductive film and touch panel
WO2009133833A1 (ja) 光学素子及び反射防止膜
CN113728251B (zh) 光学层叠体和物品
US20170227681A1 (en) Ophthalmic Lens Comprising a Thin Antireflective Coating with a Very Low Reflection in the Visible Region
JP2019053115A (ja) 反射防止膜付透明基体、およびそれを用いた表示装置
JP5160329B2 (ja) 透明導電性フィルム及びタッチパネル
JP2007078780A (ja) 光学物品およびその製造方法
CN111045127A (zh) 可透视覆盖件及其制备方法
JP2004345278A (ja) 透明導電性基材、抵抗膜方式タッチパネルおよび表示素子
WO2014038632A1 (ja) 光学製品及び眼鏡プラスチックレンズ
TWI582469B (zh) 圖案非可見性優異的透明導電性光學片
JP3965732B2 (ja) 反射防止フィルム
CN116368405A (zh) 光学层叠体及物品
KR101565855B1 (ko) 패턴 비시인성이 우수한 투명 전도성 광학시트
JP7276800B2 (ja) 反射防止膜及びこれを有する光学部品
JP2009222851A (ja) 導電性反射防止フィルム
KR102615696B1 (ko) 다층막을 갖는 투명 기체
JP7488671B2 (ja) 反射防止フィルムおよび画像表示装置
JP2001290112A (ja) プラスチック製ミラーコートレンズ
WO2024066880A1 (zh) S偏振光透反膜、挡风窗、显示装置和交通设备
JP2022023332A (ja) カバーガラス