JP4958536B2 - 反射防止膜 - Google Patents
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Description
基板上に設けられ、前記基板と反対側から順に積層された第1層から第10層からなる反射防止膜であって、
第1層、第4層、および第9層は、d線に対して1.35以上1.50以下の屈折率を示す低屈折率材料からなり、
第3層、第5層、第7層、および第10層は、d線に対して1.55以上1.85以下の屈折率を示す中間屈折率材料からなり、
第2層、第6層、および第8層は、d線に対して1.70以上2.50以下の範囲において前記中間屈折率材料よりも高い屈折率を示す高屈折率材料からなり、
以下の条件式(1)〜(10)を全て満足することを特徴とする反射防止膜。
0.25×λ0≦N1・d1≦0.27×λ0 …… (1)
0.48×λ0≦N2・d2≦0.50×λ0 …… (2)
0.20×λ0≦N3・d3≦0.23×λ0 …… (3)
0.08×λ0≦N4・d4≦0.09×λ0 …… (4)
0.27×λ0≦N5・d5≦0.30×λ0 …… (5)
0.41×λ0≦N6・d6≦0.60×λ0 …… (6)
0.03×λ0≦N7・d7≦0.13×λ0 …… (7)
0.05×λ0≦N8・d8≦0.11×λ0 …… (8)
0.08×λ0≦N9・d9≦0.09×λ0 …… (9)
0.09×λ0≦N10・d10≦0.14×λ0 …… (10)
ただし、
λ0:中心波長
N1〜N10:第1層から第10層における中心波長λ0に対する屈折率
d1〜d10:第1層から第10層における物理的膜厚
[2]
前記基板は、d線に対して1.43以上1.58以下の屈折率を示すことを特徴とする[1]に記載の反射防止膜。
[3]
基板上に設けられ、前記基板と反対側から順に積層された第1層から第10層からなる反射防止膜であって、
第1層、第4層、および第9層は、d線に対して1.35以上1.50以下の屈折率を示す低屈折率材料からなり、
第3層、第5層、および第7層は、d線に対して1.55以上1.85以下の屈折率を示す中間屈折率材料からなり、
第2層、第6層、第8層、および第10層は、d線に対して1.70以上2.50以下の範囲において前記中間屈折率材料よりも高い屈折率を示す高屈折率材料からなり、
以下の条件式(1)〜(6)、(11)〜(14)を全て満足することを特徴とする反射防止膜。
0.25×λ0≦N1・d1≦0.27×λ0 …… (1)
0.48×λ0≦N2・d2≦0.50×λ0 …… (2)
0.20×λ0≦N3・d3≦0.23×λ0 …… (3)
0.08×λ0≦N4・d4≦0.09×λ0 …… (4)
0.27×λ0≦N5・d5≦0.30×λ0 …… (5)
0.41×λ0≦N6・d6≦0.60×λ0 …… (6)
0.03×λ0≦N7・d7≦0.04×λ0 …… (11)
0.06×λ0≦N8・d8≦0.11×λ0 …… (12)
0.08×λ0≦N9・d9≦0.14×λ0 …… (13)
0.04×λ0≦N10・d10≦0.10×λ0 …… (14)
ただし、
λ0:中心波長
N1〜N10:第1層から第10層における中心波長λ0に対する屈折率
d1〜d10:第1層から第10層における物理的膜厚
[4]
前記基板は、d線に対して1.43以上1.62以下の屈折率を示すことを特徴とする[3]に記載の反射防止膜。
[5]
基板上に設けられ、前記基板と反対側から順に積層された第1層から第12層からなる反射防止膜であって、
第1層、第4層、第9層、および第11層は、d線に対して1.35以上1.50以下の屈折率を示す低屈折率材料からなり、
第3層、第5層、および第7層は、d線に対して1.55以上1.85以下の屈折率を示す中間屈折率材料からなり、
第2層、第6層、第8層、第10層、および第12層は、d線に対して1.70以上2.50以下の範囲において前記中間屈折率材料よりも高い屈折率を示す高屈折率材料からなり、
以下の条件式(1)〜(6)、(15)〜(20)を全て満足することを特徴とする反射防止膜。
0.25×λ0≦N1・d1≦0.27×λ0 …… (1)
0.48×λ0≦N2・d2≦0.50×λ0 …… (2)
0.20×λ0≦N3・d3≦0.23×λ0 …… (3)
0.08×λ0≦N4・d4≦0.09×λ0 …… (4)
0.27×λ0≦N5・d5≦0.30×λ0 …… (5)
0.41×λ0≦N6・d6≦0.60×λ0 …… (6)
0.03×λ0≦N7・d7≦0.04×λ0 …… (15)
0.10×λ0≦N8・d8≦0.12×λ0 …… (16)
0.10×λ0≦N9・d9≦0.11×λ0 …… (17)
0.10×λ0≦N10・d10≦0.11×λ0 …… (18)
0.13×λ0≦N11・d11≦0.16×λ0 …… (19)
0.04×λ0≦N12・d12≦0.05×λ0 …… (20)
ただし、
λ0:中心波長
N1〜N12:第1層から第12層における中心波長λ0に対する屈折率
d1〜d12:第1層から第12層における物理的膜厚
[6]
前記基板は、d線に対して1.61以上1.67以下の屈折率を示すことを特徴とする[5]に記載の反射防止膜。
[7]
基板上に設けられ、前記基板と反対側から順に積層された第1層から第10層からなる反射防止膜であって、
第1層および第4層は、d線に対して1.35以上1.50以下の屈折率を示す低屈折率材料からなり、
第3層、第5層、第7層、および第9層は、d線に対して1.55以上1.85以下の屈折率を示す中間屈折率材料からなり、
第2層、第6層、第8層、および第10層は、d線に対して1.70以上2.50以下の範囲において前記中間屈折率材料よりも高い屈折率を示す高屈折率材料からなり、
以下の条件式(1)〜(6)、(21)〜(24)を全て満足することを特徴とする反射防止膜。
0.25×λ0≦N1・d1≦0.27×λ0 …… (1)
0.48×λ0≦N2・d2≦0.50×λ0 …… (2)
0.20×λ0≦N3・d3≦0.23×λ0 …… (3)
0.08×λ0≦N4・d4≦0.09×λ0 …… (4)
0.27×λ0≦N5・d5≦0.30×λ0 …… (5)
0.41×λ0≦N6・d6≦0.60×λ0 …… (6)
0.08×λ0≦N7・d7≦0.12×λ0 …… (21)
0.11×λ0≦N8・d8≦0.17×λ0 …… (22)
0.07×λ0≦N9・d9≦0.18×λ0 …… (23)
0.04×λ0≦N10・d10≦0.09×λ0 …… (24)
ただし、
λ0:中心波長
N1〜N10:第1層から第10層における中心波長λ0に対する屈折率
d1〜d10:第1層から第10層における物理的膜厚
[8]
前記基板は、d線に対して1.71以上2.01以下の屈折率を示すことを特徴とする[7]に記載の反射防止膜。
[9]
基板上に設けられ、前記基板と反対側から順に積層された第1層から第9層からなる反射防止膜であって、
第1層および第4層は、d線に対して1.35以上1.50以下の屈折率を示す低屈折率材料からなり、
第3層、第5層、第7層、および第9層は、d線に対して1.55以上1.85以下の屈折率を示す中間屈折率材料からなり、
第2層、第6層、および第8層は、d線に対して1.70以上2.50以下の範囲において前記中間屈折率材料よりも高い屈折率を示す高屈折率材料からなり、
以下の条件式(1)〜(6)、(25)〜(27)を全て満足することを特徴とする反射防止膜。
0.25×λ0≦N1・d1≦0.27×λ0 …… (1)
0.48×λ0≦N2・d2≦0.50×λ0 …… (2)
0.20×λ0≦N3・d3≦0.23×λ0 …… (3)
0.08×λ0≦N4・d4≦0.09×λ0 …… (4)
0.27×λ0≦N5・d5≦0.30×λ0 …… (5)
0.41×λ0≦N6・d6≦0.60×λ0 …… (6)
0.08×λ0≦N7・d7≦0.12×λ0 …… (25)
0.07×λ0≦N8・d8≦0.155×λ0 …… (26)
0.06×λ0≦N9・d9≦0.12×λ0 …… (27)
ただし、
λ0:中心波長
N1〜N9:第1層から第9層における中心波長λ0に対する屈折率
d1〜d9:第1層から第9層における物理的膜厚
[10]
前記基板は、d線に対して1.71以上1.89以下の屈折率を示すことを特徴とする[9]に記載の反射防止膜。
[11]
基板上に設けられ、前記基板と反対側から順に積層された第1層から第8層からなる反射防止膜であって、
第1層および第4層は、d線に対して1.35以上1.50以下の屈折率を示す低屈折率材料からなり、
第3層、第5層、および第7層は、d線に対して1.55以上1.85以下の屈折率を示す中間屈折率材料からなり、
第2層、第6層、および第8層は、d線に対して1.70以上2.50以下の範囲において前記中間屈折率材料よりも高い屈折率を示す高屈折率材料からなり、
以下の条件式(1)〜(6)、(28)、(29)を全て満足することを特徴とする反射防止膜。
0.25×λ0≦N1・d1≦0.27×λ0 …… (1)
0.48×λ0≦N2・d2≦0.50×λ0 …… (2)
0.20×λ0≦N3・d3≦0.23×λ0 …… (3)
0.08×λ0≦N4・d4≦0.09×λ0 …… (4)
0.27×λ0≦N5・d5≦0.30×λ0 …… (5)
0.41×λ0≦N6・d6≦0.60×λ0 …… (6)
0.08×λ0≦N7・d7≦0.11×λ0 …… (28)
0.05×λ0≦N8・d8≦0.07×λ0 …… (29)
ただし、
λ0:中心波長
N1〜N8:第1層から第8層における中心波長λ0に対する屈折率
d1〜d8:第1層から第8層における物理的膜厚
[12]
前記基板は、d線に対して1.66以上1.77以下の屈折率を示すことを特徴とする[11]に記載の反射防止膜。
[13]
基板上に設けられ、前記基板と反対側から順に積層された第1層から第11層からなる反射防止膜であって、
第1層、第4層、および第9層は、d線に対して1.35以上1.50以下の屈折率を示す低屈折率材料からなり、
第3層、第5層、第7層、および第11層は、d線に対して1.55以上1.85以下の屈折率を示す中間屈折率材料からなり、
第2層、第6層、第8層、および第10層は、d線に対して1.70以上2.50以下の範囲において前記中間屈折率材料よりも高い屈折率を示す高屈折率材料からなり、
以下の条件式(1)〜(6)、(30)〜(34)を全て満足することを特徴とする反射防止膜。
0.25×λ0≦N1・d1≦0.27×λ0 …… (1)
0.48×λ0≦N2・d2≦0.50×λ0 …… (2)
0.20×λ0≦N3・d3≦0.23×λ0 …… (3)
0.08×λ0≦N4・d4≦0.09×λ0 …… (4)
0.27×λ0≦N5・d5≦0.30×λ0 …… (5)
0.41×λ0≦N6・d6≦0.60×λ0 …… (6)
0.04×λ0≦N7・d7≦0.05×λ0 …… (30)
0.06×λ0≦N8・d8≦0.12×λ0 …… (31)
0.07×λ0≦N9・d9≦0.12×λ0 …… (32)
0.05×λ0≦N10・d10≦0.06×λ0 …… (33)
0.04×λ0≦N11・d11≦0.26×λ0 …… (34)
ただし、
λ0:中心波長
N1〜N11:第1層から第11層における中心波長λ0に対する屈折率
d1〜d11:第1層から第11層における物理的膜厚
[14]
前記基板は、d線に対して1.61以上1.72以下の屈折率を示すことを特徴とする[13]に記載の反射防止膜。
[15]
基板上に設けられ、前記基板と反対側から順に積層された第1層から第11層からなる反射防止膜であって、
第1層、第4層、第9層、および第11層は、d線に対して1.35以上1.50以下の屈折率を示す低屈折率材料からなり、
第3層、第5層、および第7層は、d線に対して1.55以上1.85以下の屈折率を示す中間屈折率材料からなり、
第2層、第6層、第8層、および第10層は、d線に対して1.70以上2.50以下の範囲において前記中間屈折率材料よりも高い屈折率を示す高屈折率材料からなり、
以下の条件式(1)〜(6)、(35)〜(39)を全て満足することを特徴とする反射防止膜。
0.25×λ0≦N1・d1≦0.27×λ0 …… (1)
0.48×λ0≦N2・d2≦0.50×λ0 …… (2)
0.20×λ0≦N3・d3≦0.23×λ0 …… (3)
0.08×λ0≦N4・d4≦0.09×λ0 …… (4)
0.27×λ0≦N5・d5≦0.30×λ0 …… (5)
0.41×λ0≦N6・d6≦0.60×λ0 …… (6)
0.03×λ0≦N7・d7≦0.04×λ0 …… (35)
0.10×λ0≦N8・d8≦0.12×λ0 …… (36)
0.11×λ0≦N9・d9≦0.12×λ0 …… (37)
0.07×λ0≦N10・d10≦0.09×λ0 …… (38)
0.08×λ0≦N11・d11≦0.09×λ0 …… (39)
ただし、
λ0:中心波長
N1〜N11:第1層から第11層における中心波長λ0に対する屈折率
d1〜d11:第1層から第11層における物理的膜厚
[16]
前記基板は、d線に対して1.61以上1.67以下の屈折率を示すことを特徴とする[15]に記載の反射防止膜。
[17]
前記低屈折率材料は、フッ化マグネシウム(MgF 2 )、二酸化珪素(SiO 2 )およびフッ化アルミニウム(AlF 3 )のうちの少なくとも1種を含むものであり、
前記中間屈折率材料は、酸化アルミニウム(Al 2 O 3 )、酸化ゲルマニウム(GeO 2 )および酸化イットリウム(Y 2 O 3 )のうちの少なくとも1種を含むものであり、
前記高屈折率材料は、チタン酸ランタン(LaTiO 3 )、酸化ジルコニウム(ZrO 2 )、酸化チタン(TiO 2 )、酸化タンタル(Ta 2 O 5 )、酸化ニオブ(Nb 2 O 5 )、酸化ハフニウム(HfO 2 )および酸化セリウム(CeO 2 )のうちの少なくとも1種を含むものである
ことを特徴とする[1]から[16]のいずれか1項に記載の反射防止膜。
なお、本発明は上記〔1〕〜〔17〕に関するものであるが、参考のためその他の事項についても記載した。
本発明の反射防止膜は、基板上に設けられると共に基板と反対側から順に積層された第1層から第8層を少なくとも含むものである。ここで、第1層および第4層がd線に対して1.35以上1.50以下の屈折率を示す低屈折率材料により構成され、第3層および第5層がd線に対して1.55以上1.85以下の屈折率を示す中間屈折率材料により構成され、第2層および第6層がd線に対して1.70以上2.50以下の範囲において中間屈折率材料よりも高い屈折率を示す高屈折率材料により構成されている。
とが望ましい。ただし、λ0は中心波長、N1〜N6は第1層から第6層における中心波長λ0に対する屈折率、d1〜d6は第1層から第6層における物理的膜厚である。
0.25×λ0≦N1・d1≦0.27×λ0 …… (1)
0.48×λ0≦N2・d2≦0.50×λ0 …… (2)
0.20×λ0≦N3・d3≦0.23×λ0 …… (3)
0.08×λ0≦N4・d4≦0.09×λ0 …… (4)
0.27×λ0≦N5・d5≦0.30×λ0 …… (5)
0.41×λ0≦N6・d6≦0.60×λ0 …… (6)
0.03×λ0≦N7・d7≦0.13×λ0 …… (7)
0.05×λ0≦N8・d8≦0.11×λ0 …… (8)
0.08×λ0≦N9・d9≦0.09×λ0 …… (9)
0.09×λ0≦N10・d10≦0.14×λ0 …… (10)
0.03×λ0≦N7・d7≦0.04×λ0 …… (11)
0.06×λ0≦N8・d8≦0.11×λ0 …… (12)
0.08×λ0≦N9・d9≦0.14×λ0 …… (13)
0.04×λ0≦N10・d10≦0.10×λ0 …… (14)
0.03×λ0≦N7・d7≦0.04×λ0 …… (15)
0.10×λ0≦N8・d8≦0.12×λ0 …… (16)
0.10×λ0≦N9・d9≦0.11×λ0 …… (17)
0.10×λ0≦N10・d10≦0.11×λ0 …… (18)
0.13×λ0≦N11・d11≦0.16×λ0 …… (19)
0.04×λ0≦N12・d12≦0.05×λ0 …… (20)
0.08×λ0≦N7・d7≦0.12×λ0 …… (21)
0.11×λ0≦N8・d8≦0.17×λ0 …… (22)
0.07×λ0≦N9・d9≦0.18×λ0 …… (23)
0.04×λ0≦N10・d10≦0.09×λ0 …… (24)
0.08×λ0≦N7・d7≦0.12×λ0 …… (25)
0.07×λ0≦N8・d8≦0.155×λ0 …… (26)
0.06×λ0≦N9・d9≦0.12×λ0 …… (27)
0.08×λ0≦N7・d7≦0.11×λ0 …… (28)
0.05×λ0≦N8・d8≦0.07×λ0 …… (29)
0.04×λ0≦N7・d7≦0.05×λ0 …… (30)
0.06×λ0≦N8・d8≦0.12×λ0 …… (31)
0.07×λ0≦N9・d9≦0.12×λ0 …… (32)
0.05×λ0≦N10・d10≦0.06×λ0 …… (33)
0.04×λ0≦N11・d11≦0.26×λ0 …… (34)
0.03×λ0≦N7・d7≦0.04×λ0 …… (35)
0.10×λ0≦N8・d8≦0.12×λ0 …… (36)
0.11×λ0≦N9・d9≦0.12×λ0 …… (37)
0.07×λ0≦N10・d10≦0.09×λ0 …… (38)
0.08×λ0≦N11・d11≦0.09×λ0 …… (39)
どの撮像装置における光学系に適用した場合には、フレアやゴーストの発生を抑制すると共に、より優れた色度バランス性を得ることができる。
図1は、本発明における第1の実施の形態としての反射防止膜C1の構成を示す概略断面図である。図1の反射防止膜C1は、後述の第1の数値実施例(図9および図10)に対応している。
0.48×λ0≦N2・d2≦0.50×λ0 …… (2)
0.20×λ0≦N3・d3≦0.23×λ0 …… (3)
0.08×λ0≦N4・d4≦0.09×λ0 …… (4)
0.27×λ0≦N5・d5≦0.30×λ0 …… (5)
0.41×λ0≦N6・d6≦0.60×λ0 …… (6)
0.05×λ0≦N8・d8≦0.11×λ0 …… (8)
0.08×λ0≦N9・d9≦0.09×λ0 …… (9)
0.09×λ0≦N10・d10≦0.14×λ0 …… (10)
図2は、本発明における第2の実施の形態としての反射防止膜C2の構成を示す概略断面図である。図2の反射防止膜C2は、後述の第2の数値実施例(図11〜図18)に対応している。
第8層8および第10層10は、d線に対して1.70以上2.50以下、特に1.80以上2.10以下の範囲において中間屈折率材料よりも高い屈折率を示す高屈折率材料からなる高屈折率層である。
0.03×λ0≦N7・d7≦0.04×λ0 …… (11)
0.06×λ0≦N8・d8≦0.11×λ0 …… (12)
0.08×λ0≦N9・d9≦0.14×λ0 …… (13)
0.04×λ0≦N10・d10≦0.10×λ0 …… (14)
図3は、本発明における第3の実施の形態としての反射防止膜C3の構成を示す概略断面図である。図3の反射防止膜C3は、後述の第3の数値実施例(図19,図20)に対応している。
に構成されていることが望ましい。
0.10×λ0≦N8・d8≦0.12×λ0 …… (16)
0.10×λ0≦N9・d9≦0.11×λ0 …… (17)
0.10×λ0≦N10・d10≦0.11×λ0 …… (18)
0.13×λ0≦N11・d11≦0.16×λ0 …… (19)
0.04×λ0≦N12・d12≦0.05×λ0 …… (20)
図4は、本発明における第4の実施の形態としての反射防止膜C4の構成を示す概略断面図である。図4の反射防止膜C4は、後述の第4の数値実施例(図21〜図24)に対応している。
満足することが望ましい。
0.08×λ0≦N7・d7≦0.12×λ0 …… (21)
0.11×λ0≦N8・d8≦0.17×λ0 …… (22)
0.07×λ0≦N9・d9≦0.18×λ0 …… (23)
0.04×λ0≦N10・d10≦0.09×λ0 …… (24)
図5は、本発明における第5の実施の形態としての反射防止膜C5の構成を示す概略断面図である。図5の反射防止膜C5は、後述の第5の数値実施例(図25〜図32)に対応している。
0.08×λ0≦N7・d7≦0.12×λ0 …… (25)
0.07×λ0≦N8・d8≦0.155×λ0 …… (26)
0.06×λ0≦N9・d9≦0.12×λ0 …… (27)
に低減することができる。具体的には、少なくとも300nmの幅をなす波長帯において0.15%以下の反射率に抑えることができる。さらに、各条件式(1)〜(6),(25)〜(27)を満たすことにより光学膜厚N・dの最適化を図るようにしたので、上記の効果をよりいっそう高めることができる。したがって、上記第1の実施の形態の反射防止膜C1と同様の効果が得られる。
図6は、本発明における第6の実施の形態としての反射防止膜C6の構成を示す概略断面図である。図6の反射防止膜C6は、後述の第6の数値実施例(図33〜図35)に対応している。
0.08×λ0≦N7・d7≦0.11×λ0 …… (28)
0.05×λ0≦N8・d8≦0.07×λ0 …… (29)
図7は、本発明における第7の実施の形態としての反射防止膜C7の構成を示す概略断面図である。図7の反射防止膜C7は、後述の第7の数値実施例(図36〜図38)に対応している。
0.04×λ0≦N7・d7≦0.05×λ0 …… (30)
0.06×λ0≦N8・d8≦0.12×λ0 …… (31)
0.07×λ0≦N9・d9≦0.12×λ0 …… (32)
0.05×λ0≦N10・d10≦0.06×λ0 …… (33)
0.04×λ0≦N11・d11≦0.26×λ0 …… (34)
図8は、本発明における第8の実施の形態としての反射防止膜C8の構成を示す概略断面図である。図8の反射防止膜C7は、後述の第8の数値実施例(図39〜図40)に対応している。
反射防止膜C7に関する以下の説明においては、上記反射防止膜C7と実質的に異なる構成要素について主に記載し、同一の構成要素については適宜記載を省略する。
0.03×λ0≦N7・d7≦0.04×λ0 …… (35)
0.10×λ0≦N8・d8≦0.12×λ0 …… (36)
0.11×λ0≦N9・d9≦0.12×λ0 …… (37)
0.07×λ0≦N10・d10≦0.09×λ0 …… (38)
0.08×λ0≦N11・d11≦0.09×λ0 …… (39)
第1の数値実施例(実施例1−1,1−2)を図9,図10に示す。ここで図9(A),および図10(A)が、図1に示した反射防止膜C1に対応する実施例1−1,1−2の基本データをそれぞれ示している。さらに、図9(B)および図10(B)が、実施例1−1,1−2の反射率分布をそれぞれ示している。
)を表している。また光学膜厚N・dの欄に示した中心波長λ0については全て480nmとした。各図から明らかなように、各層の屈折率Nおよび光学膜厚N・dの値は条件式(1)〜(10)を全て満足している。一方、図9(B)および図10(B)では、縦軸を反射率(%)とし、横軸を測定時の波長λ(nm)とし、各実施例における反射率(%)の波長依存性を示している。各図から明らかなように、おおよそ400nmから700nmの波長帯において反射率が0.05%〜0.15%の範囲内に収まっている。
第2の数値実施例(実施例2−1〜2−8)を図11〜図18に示す。
図3に示した反射防止膜C3に対応する第3の数値実施例(実施例3−1,3−2)を図19および図20に示す。
第4の数値実施例(実施例4−1〜4−4)を図21〜図24に示す。
第5の数値実施例(実施例5−1〜5−8)を図25〜図32に示す。
第6の数値実施例(実施例6−1〜6−3)を図33〜図35に示す。
第7の数値実施例(実施例7−1〜7−3)を図36〜図38に示す。
第8の数値実施例(実施例8−1,8−2)を図39および図40に示す。
び光学膜厚N・dの値は条件式(1)〜(6)および(35)〜(39)を全て満足している。
Claims (17)
- 基板上に設けられ、前記基板と反対側から順に積層された第1層から第10層からなる反射防止膜であって、
第1層、第4層、および第9層は、d線に対して1.35以上1.50以下の屈折率を示す低屈折率材料からなり、
第3層、第5層、第7層、および第10層は、d線に対して1.55以上1.85以下の屈折率を示す中間屈折率材料からなり、
第2層、第6層、および第8層は、d線に対して1.70以上2.50以下の範囲において前記中間屈折率材料よりも高い屈折率を示す高屈折率材料からなり、
以下の条件式(1)〜(10)を全て満足することを特徴とする反射防止膜。
0.25×λ0≦N1・d1≦0.27×λ0 …… (1)
0.48×λ0≦N2・d2≦0.50×λ0 …… (2)
0.20×λ0≦N3・d3≦0.23×λ0 …… (3)
0.08×λ0≦N4・d4≦0.09×λ0 …… (4)
0.27×λ0≦N5・d5≦0.30×λ0 …… (5)
0.41×λ0≦N6・d6≦0.60×λ0 …… (6)
0.03×λ0≦N7・d7≦0.13×λ0 …… (7)
0.05×λ0≦N8・d8≦0.11×λ0 …… (8)
0.08×λ0≦N9・d9≦0.09×λ0 …… (9)
0.09×λ0≦N10・d10≦0.14×λ0 …… (10)
ただし、
λ0:中心波長
N1〜N10:第1層から第10層における中心波長λ0に対する屈折率
d1〜d10:第1層から第10層における物理的膜厚 - 前記基板は、d線に対して1.43以上1.58以下の屈折率を示すことを特徴とする請求項1に記載の反射防止膜。
- 基板上に設けられ、前記基板と反対側から順に積層された第1層から第10層からなる反射防止膜であって、
第1層、第4層、および第9層は、d線に対して1.35以上1.50以下の屈折率を示す低屈折率材料からなり、
第3層、第5層、および第7層は、d線に対して1.55以上1.85以下の屈折率を示す中間屈折率材料からなり、
第2層、第6層、第8層、および第10層は、d線に対して1.70以上2.50以下の範囲において前記中間屈折率材料よりも高い屈折率を示す高屈折率材料からなり、
以下の条件式(1)〜(6)、(11)〜(14)を全て満足することを特徴とする反射防止膜。
0.25×λ0≦N1・d1≦0.27×λ0 …… (1)
0.48×λ0≦N2・d2≦0.50×λ0 …… (2)
0.20×λ0≦N3・d3≦0.23×λ0 …… (3)
0.08×λ0≦N4・d4≦0.09×λ0 …… (4)
0.27×λ0≦N5・d5≦0.30×λ0 …… (5)
0.41×λ0≦N6・d6≦0.60×λ0 …… (6)
0.03×λ0≦N7・d7≦0.04×λ0 …… (11)
0.06×λ0≦N8・d8≦0.11×λ0 …… (12)
0.08×λ0≦N9・d9≦0.14×λ0 …… (13)
0.04×λ0≦N10・d10≦0.10×λ0 …… (14)
ただし、
λ0:中心波長
N1〜N10:第1層から第10層における中心波長λ0に対する屈折率
d1〜d10:第1層から第10層における物理的膜厚 - 前記基板は、d線に対して1.43以上1.62以下の屈折率を示すことを特徴とする請求項3に記載の反射防止膜。
- 基板上に設けられ、前記基板と反対側から順に積層された第1層から第12層からなる反射防止膜であって、
第1層、第4層、第9層、および第11層は、d線に対して1.35以上1.50以下の屈折率を示す低屈折率材料からなり、
第3層、第5層、および第7層は、d線に対して1.55以上1.85以下の屈折率を示す中間屈折率材料からなり、
第2層、第6層、第8層、第10層、および第12層は、d線に対して1.70以上2.50以下の範囲において前記中間屈折率材料よりも高い屈折率を示す高屈折率材料からなり、
以下の条件式(1)〜(6)、(15)〜(20)を全て満足することを特徴とする反射防止膜。
0.25×λ0≦N1・d1≦0.27×λ0 …… (1)
0.48×λ0≦N2・d2≦0.50×λ0 …… (2)
0.20×λ0≦N3・d3≦0.23×λ0 …… (3)
0.08×λ0≦N4・d4≦0.09×λ0 …… (4)
0.27×λ0≦N5・d5≦0.30×λ0 …… (5)
0.41×λ0≦N6・d6≦0.60×λ0 …… (6)
0.03×λ0≦N7・d7≦0.04×λ0 …… (15)
0.10×λ0≦N8・d8≦0.12×λ0 …… (16)
0.10×λ0≦N9・d9≦0.11×λ0 …… (17)
0.10×λ0≦N10・d10≦0.11×λ0 …… (18)
0.13×λ0≦N11・d11≦0.16×λ0 …… (19)
0.04×λ0≦N12・d12≦0.05×λ0 …… (20)
ただし、
λ0:中心波長
N1〜N12:第1層から第12層における中心波長λ0に対する屈折率
d1〜d12:第1層から第12層における物理的膜厚 - 前記基板は、d線に対して1.61以上1.67以下の屈折率を示すことを特徴とする請求項5に記載の反射防止膜。
- 基板上に設けられ、前記基板と反対側から順に積層された第1層から第10層からなる反射防止膜であって、
第1層および第4層は、d線に対して1.35以上1.50以下の屈折率を示す低屈折率材料からなり、
第3層、第5層、第7層、および第9層は、d線に対して1.55以上1.85以下の屈折率を示す中間屈折率材料からなり、
第2層、第6層、第8層、および第10層は、d線に対して1.70以上2.50以下の範囲において前記中間屈折率材料よりも高い屈折率を示す高屈折率材料からなり、
以下の条件式(1)〜(6)、(21)〜(24)を全て満足することを特徴とする反射防止膜。
0.25×λ0≦N1・d1≦0.27×λ0 …… (1)
0.48×λ0≦N2・d2≦0.50×λ0 …… (2)
0.20×λ0≦N3・d3≦0.23×λ0 …… (3)
0.08×λ0≦N4・d4≦0.09×λ0 …… (4)
0.27×λ0≦N5・d5≦0.30×λ0 …… (5)
0.41×λ0≦N6・d6≦0.60×λ0 …… (6)
0.08×λ0≦N7・d7≦0.12×λ0 …… (21)
0.11×λ0≦N8・d8≦0.17×λ0 …… (22)
0.07×λ0≦N9・d9≦0.18×λ0 …… (23)
0.04×λ0≦N10・d10≦0.09×λ0 …… (24)
ただし、
λ0:中心波長
N1〜N10:第1層から第10層における中心波長λ0に対する屈折率
d1〜d10:第1層から第10層における物理的膜厚 - 前記基板は、d線に対して1.71以上2.01以下の屈折率を示すことを特徴とする請求項7に記載の反射防止膜。
- 基板上に設けられ、前記基板と反対側から順に積層された第1層から第9層からなる反射防止膜であって、
第1層および第4層は、d線に対して1.35以上1.50以下の屈折率を示す低屈折率材料からなり、
第3層、第5層、第7層、および第9層は、d線に対して1.55以上1.85以下の屈折率を示す中間屈折率材料からなり、
第2層、第6層、および第8層は、d線に対して1.70以上2.50以下の範囲において前記中間屈折率材料よりも高い屈折率を示す高屈折率材料からなり、
以下の条件式(1)〜(6)、(25)〜(27)を全て満足することを特徴とする反射防止膜。
0.25×λ0≦N1・d1≦0.27×λ0 …… (1)
0.48×λ0≦N2・d2≦0.50×λ0 …… (2)
0.20×λ0≦N3・d3≦0.23×λ0 …… (3)
0.08×λ0≦N4・d4≦0.09×λ0 …… (4)
0.27×λ0≦N5・d5≦0.30×λ0 …… (5)
0.41×λ0≦N6・d6≦0.60×λ0 …… (6)
0.08×λ0≦N7・d7≦0.12×λ0 …… (25)
0.07×λ0≦N8・d8≦0.155×λ0 …… (26)
0.06×λ0≦N9・d9≦0.12×λ0 …… (27)
ただし、
λ0:中心波長
N1〜N9:第1層から第9層における中心波長λ0に対する屈折率
d1〜d9:第1層から第9層における物理的膜厚 - 前記基板は、d線に対して1.71以上1.89以下の屈折率を示すことを特徴とする請求項9に記載の反射防止膜。
- 基板上に設けられ、前記基板と反対側から順に積層された第1層から第8層からなる反射防止膜であって、
第1層および第4層は、d線に対して1.35以上1.50以下の屈折率を示す低屈折率材料からなり、
第3層、第5層、および第7層は、d線に対して1.55以上1.85以下の屈折率を示す中間屈折率材料からなり、
第2層、第6層、および第8層は、d線に対して1.70以上2.50以下の範囲において前記中間屈折率材料よりも高い屈折率を示す高屈折率材料からなり、
以下の条件式(1)〜(6)、(28)、(29)を全て満足することを特徴とする反射防止膜。
0.25×λ0≦N1・d1≦0.27×λ0 …… (1)
0.48×λ0≦N2・d2≦0.50×λ0 …… (2)
0.20×λ0≦N3・d3≦0.23×λ0 …… (3)
0.08×λ0≦N4・d4≦0.09×λ0 …… (4)
0.27×λ0≦N5・d5≦0.30×λ0 …… (5)
0.41×λ0≦N6・d6≦0.60×λ0 …… (6)
0.08×λ0≦N7・d7≦0.11×λ0 …… (28)
0.05×λ0≦N8・d8≦0.07×λ0 …… (29)
ただし、
λ0:中心波長
N1〜N8:第1層から第8層における中心波長λ0に対する屈折率
d1〜d8:第1層から第8層における物理的膜厚 - 前記基板は、d線に対して1.66以上1.77以下の屈折率を示すことを特徴とする請求項11に記載の反射防止膜。
- 基板上に設けられ、前記基板と反対側から順に積層された第1層から第11層からなる反射防止膜であって、
第1層、第4層、および第9層は、d線に対して1.35以上1.50以下の屈折率を示す低屈折率材料からなり、
第3層、第5層、第7層、および第11層は、d線に対して1.55以上1.85以下の屈折率を示す中間屈折率材料からなり、
第2層、第6層、第8層、および第10層は、d線に対して1.70以上2.50以下の範囲において前記中間屈折率材料よりも高い屈折率を示す高屈折率材料からなり、
以下の条件式(1)〜(6)、(30)〜(34)を全て満足することを特徴とする反射防止膜。
0.25×λ0≦N1・d1≦0.27×λ0 …… (1)
0.48×λ0≦N2・d2≦0.50×λ0 …… (2)
0.20×λ0≦N3・d3≦0.23×λ0 …… (3)
0.08×λ0≦N4・d4≦0.09×λ0 …… (4)
0.27×λ0≦N5・d5≦0.30×λ0 …… (5)
0.41×λ0≦N6・d6≦0.60×λ0 …… (6)
0.04×λ0≦N7・d7≦0.05×λ0 …… (30)
0.06×λ0≦N8・d8≦0.12×λ0 …… (31)
0.07×λ0≦N9・d9≦0.12×λ0 …… (32)
0.05×λ0≦N10・d10≦0.06×λ0 …… (33)
0.04×λ0≦N11・d11≦0.26×λ0 …… (34)
ただし、
λ0:中心波長
N1〜N11:第1層から第11層における中心波長λ0に対する屈折率
d1〜d11:第1層から第11層における物理的膜厚 - 前記基板は、d線に対して1.61以上1.72以下の屈折率を示すことを特徴とする請求項13に記載の反射防止膜。
- 基板上に設けられ、前記基板と反対側から順に積層された第1層から第11層からなる反射防止膜であって、
第1層、第4層、第9層、および第11層は、d線に対して1.35以上1.50以下の屈折率を示す低屈折率材料からなり、
第3層、第5層、および第7層は、d線に対して1.55以上1.85以下の屈折率を示す中間屈折率材料からなり、
第2層、第6層、第8層、および第10層は、d線に対して1.70以上2.50以下の範囲において前記中間屈折率材料よりも高い屈折率を示す高屈折率材料からなり、
以下の条件式(1)〜(6)、(35)〜(39)を全て満足することを特徴とする反射防止膜。
0.25×λ0≦N1・d1≦0.27×λ0 …… (1)
0.48×λ0≦N2・d2≦0.50×λ0 …… (2)
0.20×λ0≦N3・d3≦0.23×λ0 …… (3)
0.08×λ0≦N4・d4≦0.09×λ0 …… (4)
0.27×λ0≦N5・d5≦0.30×λ0 …… (5)
0.41×λ0≦N6・d6≦0.60×λ0 …… (6)
0.03×λ0≦N7・d7≦0.04×λ0 …… (35)
0.10×λ0≦N8・d8≦0.12×λ0 …… (36)
0.11×λ0≦N9・d9≦0.12×λ0 …… (37)
0.07×λ0≦N10・d10≦0.09×λ0 …… (38)
0.08×λ0≦N11・d11≦0.09×λ0 …… (39)
ただし、
λ0:中心波長
N1〜N11:第1層から第11層における中心波長λ0に対する屈折率
d1〜d11:第1層から第11層における物理的膜厚 - 前記基板は、d線に対して1.61以上1.67以下の屈折率を示すことを特徴とする請求項15に記載の反射防止膜。
- 前記低屈折率材料は、フッ化マグネシウム(MgF2)、二酸化珪素(SiO2)およびフッ化アルミニウム(AlF3)のうちの少なくとも1種を含むものであり、
前記中間屈折率材料は、酸化アルミニウム(Al2O3)、酸化ゲルマニウム(GeO2)および酸化イットリウム(Y2O3)のうちの少なくとも1種を含むものであり、
前記高屈折率材料は、チタン酸ランタン(LaTiO3)、酸化ジルコニウム(ZrO2)、酸化チタン(TiO2)、酸化タンタル(Ta2O5)、酸化ニオブ(Nb2O5)、酸化ハフニウム(HfO2)および酸化セリウム(CeO2)のうちの少なくとも1種を含むものである
ことを特徴とする請求項1から請求項16のいずれか1項に記載の反射防止膜。
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