JP6385117B2 - 光学素子及びそれを有する光学系 - Google Patents
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Description
前記基板上に形成された反射防止膜を有し、
前記反射防止膜は、前記基板に近い側から順に積層された、第1層乃至第7層からなり、
前記第1層乃至第7層のうち前記第1層乃至第6層はそれぞれ、互いに屈折率が異なる3種類の媒質のいずれかから成り、
前記3種類の媒質の波長550nmの光に対する屈折率の各々をnL、nM、nHとし、前記第7層の屈折率をn7としたとき、
1.35≦nL≦1.50
1.40≦nM≦1.65
1.6≦nH≦2.2
1.1≦n7≦1.3
nL<nM<nH
なる条件式を満足し、
屈折率がnLである媒質からなる層と屈折率がnHである媒質からなる層とは互いに接していないことを特徴としている。
1.35≦nL≦1.50
1.40≦nM≦1.65
1.6≦nH≦2.2
1.1≦n7≦1.3
nL<nM<nH
なる条件式を満足する。
n1=nM、10≦d1≦180
n2=nH、5≦d2≦80
n3=nM、5≦d3≦95
n4=nL、20≦d4≦100
n5=nM、5≦d5≦75
n6=nH、5≦d6≦65
130≦d7≦160
なる条件式を満たす。
[実施例1]
本発明の反射防止膜の実施例1について説明する。実施例1の反射防止膜10は屈折率1.52(以下、屈折率、光学膜厚はλ=550nmの値とする)のガラス基板8上に第1層1乃至第7層7の7つの層が積層された構成よりなっている。
実施例2の反射防止膜10は、屈折率1.85(以下、屈折率、光学膜厚はλ=550nmの値とする)のガラス基板8上に第1層1乃至第7層7の7つの層が積層された構成よりなっている。表2に実施例2の反射防止膜における各層の屈折率と光学膜厚の設計値を示す。図1に示すように基板8上に誘電体薄膜の第1層乃至第6層からなる多層膜層9が配置される。これらの誘電体薄膜は、真空蒸着法により成膜する。
実施例3の反射防止膜10は、屈折率1.52(以下、屈折率、光学膜厚はλ=550nmの値とする)のガラス基板8上に第1層乃至第7層7の7つの層が積層された構成よりなっている。表3に実施例3の反射防止膜における各層の屈折率と光学膜厚の設計値を示す。図1に示すように基板8上に誘電体薄膜の第1層1乃至第6層6からなる多層膜層9が配置される。これらの誘電体薄膜は、真空蒸着法により成膜する。
実施例4の反射防止膜10は、屈折率1.73(以下、屈折率、光学膜厚はλ=550nmの値とする)のガラス基板8上に第1層1乃至第7層7の7つの層が積層された構成よりなっている。表4に実施例3の反射防止膜における各層の屈折率と光学膜厚の設計値を示す。図1に示すように基板8上に誘電体薄膜の第1層1乃至第6層6からなる多層膜層9が配置される。これらの誘電体薄膜は、真空蒸着法により成膜する。
n1=nM、10≦d1≦180
n2=nL、5≦d2≦90
n3=nM、50≦d3≦160
n4=nH、10≦d4≦45
n5=nM、50≦d5≦150
n6=nH、5≦d6≦65
130≦d7≦160
なる条件式を満たす。
[実施例5]
実施例5の反射防止膜10は、屈折率1.81(以下、屈折率、光学膜厚はλ=550nmの値とする)のガラス基板8上に第1層1乃至第7層7の7つの層が積層された構成よりなっている。
実施例6の反射防止膜10は、屈折率1.52(以下、屈折率、光学膜厚はλ=550nmの値とする)のガラス基板8上に、第1層1乃至第7層7の7つの層が積層された構成よりなっている。表6に実施例6の反射防止膜における屈折率と光学膜厚の設計値を示す。図7に示すように基板8上に誘電体薄膜の第1層1乃至第6層6からなる多層膜層9が配置される。これらの誘電体薄膜は、真空蒸着法により成膜する。
表7に本発明の反射防止膜に対する比較例1の反射防止膜における各層の屈折率と光学膜厚の数値を示す。比較例1において第1層乃至第7層は、前述の各実施例と同等の製法で形成される。
表8に本発明の反射防止膜に対する比較例2の反射防止膜の構成における各層の屈折率と光学膜厚の数値を示す。比較例2において第1層乃至第7層は、前述の各実施例と同等の製法で形成される。
6 第6層 7 第7層(超低屈折率層) 8 基板
9 誘電体薄膜からなる多層膜層 10 反射防止膜
11 空洞 12 中空粒子 13 バインダー
Claims (11)
- 基板と、
前記基板上に形成された反射防止膜を有し、
前記反射防止膜は、前記基板に近い側から順に積層された、第1層乃至第7層からなり、
前記第1層乃至第7層のうち前記第1層乃至第6層はそれぞれ、互いに屈折率が異なる3種類の媒質のいずれかから成り、
前記3種類の媒質の波長550nmの光に対する屈折率の各々をnL、nM、nHとし、前記第7層の屈折率をn7としたとき、
1.35≦nL≦1.50
1.40≦nM≦1.65
1.6≦nH≦2.2
1.1≦n7≦1.3
nL<nM<nH
なる条件式を満足し、
屈折率がnLである媒質からなる層と屈折率がnHである媒質からなる層とは互いに接していないことを特徴とする光学素子。 - 前記第1層の媒質の屈折率はnMであることを特徴とする請求項1に記載の光学素子。
- 前記第6層の媒質の屈折率はnHであることを特徴とする請求項2に記載の光学素子。
- 屈折率がnLである媒質からなる層と屈折率がnHである媒質からなる層の間には、屈折率がnMである媒質からなる層が設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光学素子。
- 波長550nmの光に対する前記第1層乃至第6層の媒質の屈折率をn1乃至n6とし、波長550nmの光に対する前記第1層乃至第7層の光学膜厚をd1(nm)乃至d7(nm)としたとき、
n1=nM、10≦d1≦180
n2=nH、5≦d2≦80
n3=nM、5≦d3≦95
n4=nL、20≦d4≦100
n5=nM、5≦d5≦75
n6=nH、5≦d6≦65
130≦d7≦160
なる条件式を満たすことを特徴とする請求項1に記載の光学素子。 - 波長550nmの光に対する前記第1層乃至第6層の媒質の屈折率をn1乃至n6とし、波長550nmの光に対する前記第1層乃至第7層の光学膜厚をd1(nm)乃至d7(nm)としたとき、
n1=nM、10≦d1≦180
n2=nL、5≦d2≦90
n3=nM、50≦d3≦160
n4=nH、10≦d4≦45
n5=nM、50≦d5≦150
n6=nH、5≦d6≦65
130≦d7≦160
なる条件式を満たすことを特徴とする請求項1に記載の光学素子。 - 前記第7層は、複数の中空粒子と該中空粒子同士の空隙に充填されたバインダーとを含むことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の光学素子。
- 前記中空粒子は中空シリカよりなることを特徴とする請求項7に記載の光学素子。
- 前記バインダーはSiO2を主成分とすることを特徴とする請求項7または8に記載の光学素子。
- 前記光学素子の前記反射防止膜が設けられている面に入射角0°で入射する波長430nmから650nmの光に対する反射率は、0.08%以下であることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の光学素子。
- 請求項1乃至10のいずれか1項に記載の光学素子を有することを特徴とする光学系。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014081827A JP6385117B2 (ja) | 2014-04-11 | 2014-04-11 | 光学素子及びそれを有する光学系 |
US14/677,108 US9841597B2 (en) | 2014-04-11 | 2015-04-02 | Anti-reflection film, optical element including the same, and optical system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014081827A JP6385117B2 (ja) | 2014-04-11 | 2014-04-11 | 光学素子及びそれを有する光学系 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015203723A JP2015203723A (ja) | 2015-11-16 |
JP2015203723A5 JP2015203723A5 (ja) | 2017-05-25 |
JP6385117B2 true JP6385117B2 (ja) | 2018-09-05 |
Family
ID=54264948
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014081827A Expired - Fee Related JP6385117B2 (ja) | 2014-04-11 | 2014-04-11 | 光学素子及びそれを有する光学系 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9841597B2 (ja) |
JP (1) | JP6385117B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2019069733A1 (ja) * | 2017-10-06 | 2020-11-26 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像素子、製造方法、および電子機器 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4313647A (en) * | 1975-12-23 | 1982-02-02 | Mamiya Koki Kabushiki Kaisha | Nonreflective coating |
JPS5390316A (en) * | 1977-01-20 | 1978-08-09 | Nippon Chemical Ind | Reflectionnproof film |
US5532871A (en) * | 1992-11-25 | 1996-07-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Two-wavelength antireflection film |
JP3509804B2 (ja) * | 1999-09-30 | 2004-03-22 | 株式会社ニコン | 多層薄膜付き光学素子及びそれを備える露光装置 |
JP4958536B2 (ja) * | 2006-01-12 | 2012-06-20 | 富士フイルム株式会社 | 反射防止膜 |
JP4958594B2 (ja) * | 2007-03-22 | 2012-06-20 | 富士フイルム株式会社 | 反射防止膜、光学素子および光学系 |
JP4974910B2 (ja) | 2008-01-10 | 2012-07-11 | ペンタックスリコーイメージング株式会社 | 反射防止膜及びこれを有する光学部品、交換レンズ及び撮像装置 |
KR20090071417A (ko) * | 2007-12-27 | 2009-07-01 | 호야 가부시키가이샤 | 반사방지막, 광학부품, 교환 렌즈 및 촬상장치 |
JP4951500B2 (ja) * | 2007-12-27 | 2012-06-13 | ペンタックスリコーイメージング株式会社 | 反射防止膜及びこれを有する光学部品、交換レンズ及び撮像装置 |
JP5509616B2 (ja) | 2008-02-28 | 2014-06-04 | リコーイメージング株式会社 | 反射防止膜、光学部品、交換レンズ及び撮像装置 |
JP5313587B2 (ja) * | 2008-07-31 | 2013-10-09 | 学校法人慶應義塾 | 反射防止膜及びこれを有する光学部品、交換レンズ及び撮像装置 |
JP2013152425A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-08-08 | Tamron Co Ltd | 反射防止膜及び光学素子 |
JP2013160799A (ja) * | 2012-02-01 | 2013-08-19 | Asahi Glass Co Ltd | 低反射膜付き物品の製造方法 |
JP6124711B2 (ja) * | 2013-07-03 | 2017-05-10 | キヤノン株式会社 | 反射防止膜及びそれを有する光学素子並びに光学系 |
-
2014
- 2014-04-11 JP JP2014081827A patent/JP6385117B2/ja not_active Expired - Fee Related
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2015
- 2015-04-02 US US14/677,108 patent/US9841597B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20150293267A1 (en) | 2015-10-15 |
JP2015203723A (ja) | 2015-11-16 |
US9841597B2 (en) | 2017-12-12 |
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