JP2016018095A - 光学素子、光学系、および光学機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】中低屈折率材料から構成される基板に対して優れた反射防止効果を維持することが可能な反射防止膜を有する光学素子、光学系および光学機器を提供すること【解決手段】400nmから700nmの使用波長域の光に対して透明なガラスからなる基板110と、該基板に形成された反射防止膜120と、を有する光学素子100を提供する。反射防止膜は、基板側から順に、シリカを主成分とする無機系酸化膜としての第1層122、無機系酸化膜としての第2層124、シリカ微粒子を有する膜としての第3層130が積層されて構成され、d線に対する、基板の屈折率をNk、第1層の屈折率をn1、物理膜厚をd1(nm)、第2層の屈折率をn2、物理膜厚をd2(nm)、第3層の屈折率をn3、物理膜厚をd3(nm)とするとき、所定の条件を満足する。【選択図】図1
Description
本発明は、反射防止膜を有する光学素子、光学系、および光学機器に関する。
近年の小型軽量化の要請から曲率半径が小さい光学素子が使用されており、400nm〜700nmの波長帯域の光に対する屈折率が1.50〜1.73のいわゆる中低屈折率材料から構成される光学素子は曲率半径が小さくても色収差を抑えることができる。そして、このような光学素子の不要な反射に起因するゴーストやフレアを防止する反射防止膜には、中低屈折率材料から構成される基板に対して優れた反射防止効果を維持することが要求される。反射防止効果を維持するためには、優れた成膜特性(密着性や耐擦傷性)が必要である。
高性能な反射防止効果を得るためには、反射防止膜の最表層に用いられる材料には屈折率の低い層が必要である。更に反射率を低く抑えるために、特許文献1は、この屈折率の低い層にゾルゲル法を用いて空隙を形成することによって屈折率を下げることを提案している。特許文献2は、溶媒、酸性触媒、界面活性剤の混合液をエージングしてアルコキシシランを加水分解・重縮合させ、塩基性触媒を添加したゾル液を塗工、乾燥し溶媒を除去し、焼成することによって空隙を形成する別の方法を提案している。
特許文献1は、フッ化マグネシウム微粒子が推積し微粒子間に空隙を持たせて低屈折率を確保しているため、低屈折率化に伴い、微粒子間が粗密になり、形成された低屈折率層の膜強度が弱くなるという課題があった。
そこで、本発明は、中低屈折率材料から構成される基板に対して優れた反射防止効果を維持することが可能な反射防止膜を有する光学素子、光学系および光学機器を提供することを例示的な目的とする。
本発明の光学素子は、400nmから700nmの使用波長域の光に対して透明なガラスからなる基板と、該基板に形成された反射防止膜と、を有し、前記反射防止膜は、基板側から順に、シリカを主成分とする無機系酸化膜としての第1層、無機系酸化膜としての第2層、シリカ微粒子を有する膜としての第3層が積層されて構成され、前記基板のd線に対する屈折率をNk、前記第1層のd線に対する屈折率をn1、物理膜厚をd1(nm)、前記第2層のd線に対する屈折率をn2、物理膜厚をd2(nm)、前記第3層のd線に対する屈折率をn3、物理膜厚をd3(nm)、とするとき、以下の条件を満足することを特徴とする。
1.50≦Nk≦1.73
1.43≦n1≦1.47
42.0nm≦d1≦70.0nm
2.00≦n2≦2.20
3.0nm≦d2≦25.0nm
1.23≦n3≦1.26
110.0nm≦d3≦130.0nm
1.43≦n1≦1.47
42.0nm≦d1≦70.0nm
2.00≦n2≦2.20
3.0nm≦d2≦25.0nm
1.23≦n3≦1.26
110.0nm≦d3≦130.0nm
本発明によれば、中低屈折率材料から構成される基板に対して優れた反射防止効果を維持することが可能な反射防止膜を有する光学素子、光学系および光学機器を提供することができる。
図1は、本実施形態に係る反射防止膜を有する光学素子100の概略断面図である。400nm〜700nmの使用波長域(可視波長域)の光に対して透明な基板110上に、多層膜の反射防止膜120が形成されている。
反射防止膜120は、基板側から順に、第1層122、第2層124および第3層130の3層からなり、各層の薄膜を基板110に積層して構成したものである。反射防止膜120において第1層122は基板110に接する層(膜)であり、空気に接する最上層は第3層130である。第1層は、シリカを主成分とする無機系酸化膜から構成される。第2層は無機系酸化膜から構成される。第3層はシリカ微粒子を有する膜から構成される。
基板110のd線(以下、「d線」は、波長587.6nmを有するものとする)の屈折率をNkとすると、本実施形態はNkを以下の範囲に設定している。本実施形態の基板110はガラス基板である。
1.50≦Nk≦1.73 (1)
このように、基板110は、いわゆる中低屈折率材料から構成されており、基板110から構成される光学素子は曲率半径が小さくても色収差を抑えることができるため、小型軽量化に適する。また、屈折率が1.53よりも小さいガラスでは、三層構成の反射防止膜では良好な反射防止性能が得られない。
このように、基板110は、いわゆる中低屈折率材料から構成されており、基板110から構成される光学素子は曲率半径が小さくても色収差を抑えることができるため、小型軽量化に適する。また、屈折率が1.53よりも小さいガラスでは、三層構成の反射防止膜では良好な反射防止性能が得られない。
第1層122のd線の屈折率をn1、物理膜厚をd1(nm)とすると、本実施形態はn1を以下の範囲に設定している。
1.43≦n1≦1.47 (2)
n1が1.43未満になると、入射角0度で500nm〜600nmの反射率が高くなり特性が悪化し、n1が1.47よりも大きくなると、短波長側400nmの反射が大きくなる。
n1が1.43未満になると、入射角0度で500nm〜600nmの反射率が高くなり特性が悪化し、n1が1.47よりも大きくなると、短波長側400nmの反射が大きくなる。
また、本実施形態はd1を以下の範囲に限定している。
42.0nm≦d1≦70.0nm (3)
d1が42.0nm未満になると、短波長側400nmの反射が大きくなり、d1が70nmよりも大きくなると長波長側700nmの反射が大きくなる。
d1が42.0nm未満になると、短波長側400nmの反射が大きくなり、d1が70nmよりも大きくなると長波長側700nmの反射が大きくなる。
本実施形態の第1層122はシリカを主成分とする無機系酸化膜として構成されている。
第1層122の材料としてはSiO2が望ましい。これにより、基板110の主成分であるシリカとの密着力が高まり、膜の密着強度が増す。
第2層124のd線の屈折率をn2、物理膜厚をd2(nm)とすると、本実施形態はn2、d2を以下の範囲に設定している。
2.00≦n2≦2.20 (4)
n2が2.00よりも小さいと短波長側400nmの反射が大きくなり、n2が2.20よりも大きいと短波長側400nmと長波長側700nmの両方の反射が大きくなる。
n2が2.00よりも小さいと短波長側400nmの反射が大きくなり、n2が2.20よりも大きいと短波長側400nmと長波長側700nmの両方の反射が大きくなる。
3.0nm≦d2≦25.0nm (5)
d2が3.00よりも小さいと短波長側400nmの反射が大きくなり、d2が25.0よりも大きいと波長全域で反射が大きくなる。
d2が3.00よりも小さいと短波長側400nmの反射が大きくなり、d2が25.0よりも大きいと波長全域で反射が大きくなる。
本実施形態の第2層124は無機系酸化膜として構成されている。第2層124は第1層122と第3層130の調整膜であり、屈折率と物理膜厚をこの範囲にすることが望ましい。
第2層124の材料としては酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化タンタル、酸化ニオブ、酸化ハフニウム、酸化ランタン、アルミナ、シリカなどを挙げることができる。またこれらの材料を混合したものを用いてもよい。
第3層130のd線の屈折率をn3、物理膜厚をd3(nm)とすると、本実施形態はn3、d3を以下の範囲に設定している。
1.23≦n3≦1.26 (6)
この範囲を外れると、短波長側400nmと長波長側700nmの両方の反射が大きくなる。
この範囲を外れると、短波長側400nmと長波長側700nmの両方の反射が大きくなる。
110.0nm≦d3≦130.0nm (7)
この範囲を外れると、波長全域で反射が大きくなる。
この範囲を外れると、波長全域で反射が大きくなる。
本実施形態の第3層130は、複数の中空微粒子131と、複数の中空微粒子131によって形成される空隙に充填されるバインダー136を有する。本実施形態の中空微粒子131はシリカから構成される。第1層122、第2層124は無機系皮膜の酸化物として構成されている。無機系皮膜からなる誘電体反射防止膜は真空蒸着法やスパッタ法により形成することができる。中空微粒子131間の空隙にバインダー136を充填することによって第3層130の膜強度を増し上げることができる。バインダー136による結合によって膜強度を上げることができる。
中空微粒子131は、内部に空孔132を有し、空孔132の外側の周囲にシェル(外殻)133を有する。中空微粒子131は空孔132に含まれる空気(屈折率1.0)によって屈折率を下げることができる。空孔132内に水分や不純物の吸着がないため、耐環境性が良く屈折率の変化のない安定した特性が得られる。空孔132は単孔、多孔どちらでも選択することができる。シェル17は、屈折率の低い材料から構成されることが好ましく、SiO2、MgF2、フッ素,シリコーンなどの有機樹脂が挙げられるが、粒子の製造が容易であるSiO2が好ましい。
中空微粒子131の平均粒径Dは、以下の条件を満足することが好ましい。
20nm≦D≦70nm (8)
中空微粒子131の平均粒径Dが20nm未満になると空孔132の大きさが小さくなり、屈折率を低くすることが難しくなる。また、平均粒径Dが70nmよりも大きくなると粒子間の空隙の大きさが大きくなり、粒子の大きさに伴う散乱が発生する。
中空微粒子131の平均粒径Dが20nm未満になると空孔132の大きさが小さくなり、屈折率を低くすることが難しくなる。また、平均粒径Dが70nmよりも大きくなると粒子間の空隙の大きさが大きくなり、粒子の大きさに伴う散乱が発生する。
数式8は、次式を満足することが更に好ましい。
30nm≦D≦60nm (8’)
中空微粒子溶液とバインダー溶液の比率(固形分比率)は0.7〜0.8であることが望ましい。製法はゾルゲル法である。バインダー溶液の比率が高くなると屈折率が高くなって低反射率特性が得られにくくなる。中空微粒子131の比率が高くなると低屈折率化は実現できるが、膜強度が弱くなる。そのため中空微粒子溶液とバインダー溶液の比率を0.7〜0.8にすることにより、屈折率の低い膜強度の強い層となり、耐擦傷性が保たれる。
中空微粒子溶液とバインダー溶液の比率(固形分比率)は0.7〜0.8であることが望ましい。製法はゾルゲル法である。バインダー溶液の比率が高くなると屈折率が高くなって低反射率特性が得られにくくなる。中空微粒子131の比率が高くなると低屈折率化は実現できるが、膜強度が弱くなる。そのため中空微粒子溶液とバインダー溶液の比率を0.7〜0.8にすることにより、屈折率の低い膜強度の強い層となり、耐擦傷性が保たれる。
塗工に用いる基材11としてはガラスを用いている。またその形状は限定されることはなく、平面、曲面、凹面、凸面、フィルム状であってもよい。塗工方法は特に限定されず、ディップコート法、スピンコート法、スプレーコート法、ロールコート法など液状塗工液の一般的な塗工方法を用いることができる。レンズのような曲面を有する基材へ膜厚を均一に成膜できる観点から、塗料をスピンコートで成膜してもよい。塗工後は乾燥を行う。乾燥は乾燥機、ホットプレート、電気炉などを用いることができる。乾燥条件は、基材に影響を与えず且つ中空粒子内の有機溶媒を蒸発できる程度の温度と時間とする。一般的には300℃以下の温度を用いることが好ましい。塗工回数は通常1回が好ましいが、乾燥と塗工を複数回繰り返してもよい。
光学素子100は、特許文献1のフッ化マグネシウムよりも中空微粒子の表面密度が高く耐擦傷性が高くなり、特許文献2よりも屈折率が高く表面密度が高いため耐擦傷性が高くなる。
本実施形態の光学素子は、カメラの撮影光学系や液晶プロジェクタの投射光学系を構成する光学素子(レンズ、平行平板、プリズムなど)に適用することができる。図2は、本実施形態の光学素子を有する撮像光学系(結像光学系)200を示す。撮像光学系200は、デジタルカメラ、ビデオカメラおよび交換レンズなどの光学機器に用いられる。図2において、240は撮像面であり、CCDセンサ又はCMOSセンサ等の固体撮像素子(光電変換素子)が配置される。230は絞りである。201から211は光学素子としてのレンズである。これらのレンズのうち、少なくとも一面に、本発明の反射防止膜が付与されている。例えば、レンズ201〜211は、デジタルカメラなどの光学機器に使用され、被写体像を形成する撮影光学系を構成し、撮像素子は被写体像を光電変換する。
以下に、本発明の具体的な実施例を示す。但し、これらの実施例は単なる例示であり、本発明を限定するものではない。
実施例1の光学素子は、図1と同様の構成を有する。図1に示すように、光学素子の基板110上に反射防止膜120が形成されている。反射防止膜120は層122、124、130からなる3層構成とした。基板110はd線での屈折率が1.723の透明ガラス基板を用いた。ガラス基板の洗浄後、真空蒸着法にてd線での屈折率が1.46のSiO2からなる第1層122を物理膜厚42.3nmで成膜した。続けて、d線での屈折率が2.11であるTa2O5からなる第2層124を物理膜厚12.0nmで成膜した。次に、第3層130は、d線での屈折率が1.25となるように、中空SiO2含有溶液にバインダー溶液を加え混合調整した液をスピンコーターで塗工した。このとき層130の物理膜厚が120nmになるようにスピンコーターの回転数条件出しを事前に行った。塗工後は100℃〜250℃のクリーンオーブンで1時間焼成を行った。表1は、実施例1の反射防止膜120の構成と物理膜厚を示している。
反射防止膜120が形成された基板110を分光反射率計で測定したところ図3に示す反射率特性であった。横軸は波長(nm)、縦軸は反射率(%)である。波長400nm〜700nmの可視域において入射角0度(実線)で全域に亘って0.3%以下の良好な特性が得られた。更に、入射角45度(破線)においても、400〜650nmの波長での反射率が1%以下、700nmにおいても1.3%以下の低反射率特性が得られた。
また、コットン布クリント(ユニチカ株式会社の商品名)で300g/cm2の荷重をかけ、20回往復させた後、反射防止膜120の表面を確認したところ、傷は観察されなかった。反射防止膜120は3層構成のうち、第1層122と第2層124が無機酸化物であり、物理膜厚も薄く真空蒸着法で簡単に形成することができた。また今回は真空蒸着法で成膜を行ったが、同構成で、スパッタ法で成膜を行うことも可能である。本実施例では、第3層130の中空SiO2の塗工方法としてスピンコート法で行ったがこれに限定されるものではなく、他の方法でもよい。
実施例2の光学素子も、図1と同様の構成を有する。基板110はd線での屈折率が1.603の透明ガラス基板を用いた。ガラス基板の洗浄後、真空蒸着法にてd線での屈折率が1.46のSiO2からなる第1層122を物理膜厚50.0nmで成膜した。続けて、d線での屈折率が2.00の蒸着材料からなる第2層124を物理膜厚9.4nmで成膜した。次に、第3層130は、d線での屈折率が1.25となるように、中空SiO2含有溶液にバインダー溶液を加え混合調整した液をスピンコーターで塗工した。このとき、第3層130の物理膜厚が119.6nmになるようにスピンコーターの回転数条件出しを事前に行った。塗工後は100℃〜250℃のクリーンオーブンで1時間焼成を行った。表2は、実施例2の反射防止膜120の構成と物理膜厚を示している。
反射防止膜120が形成された基板110を分光反射率計で測定したところ図4に示す反射率特性であった。横軸は波長(nm)、縦軸は反射率(%)である。波長400nm〜700nmの可視域において入射角0度(実線)で全域0.4%以下の良好な特性が得られた。更に、入射角45度(破線)においても、400nm〜630nmの波長での反射率が1%以下,700nmにおいても1.3%以下の低反射率特性が得られた。実施例1と同様に反射防止膜120の表面膜強度を確認したところ、傷は観察されなかった。
実施例3の光学素子も、図1と同様の構成を有する。基板110はd線での屈折率が1.52の透明ガラス基板を用いた。ガラス基板の洗浄後、真空蒸着法にてd線での屈折率が1.46のSiO2からなる第1層122を物理膜厚64.3nmで成膜した。続けて、d線での屈折率が2.20の蒸着材料からなる第2層124を物理膜厚4.0nmで成膜した。次に、第3層130は、d線での屈折率が1.25となるように、中空SiO2含有溶液にバインダー溶液を加え混合調整した液をスピンコーターで塗工した。このとき、第3層130の物理膜厚が117.0nmになるようにスピンコーターの回転数条件出しを事前に行った。塗工後は100℃〜250℃のクリーンオーブンで1時間焼成を行った。表3は、実施例3の反射防止膜120の構成と物理膜厚を示している。
反射防止膜120が形成された基板110を分光反射率計で測定したところ図5に示す反射率特性であった。横軸は波長(nm)、縦軸は反射率(%)である。波長420nm〜700nmの可視域において入射角0度(実線)で全域に亘って0.3%以下、400nm,700nmにおいても0.6%の良好な特性が得られた。更に、入射角45度(破線)においても、400〜570nmの波長での反射率が1%以下、700nmにおいても1.6%以下の低反射率特性が得られた。実施例1と同様に反射防止膜120の表面膜強度を確認したところ、傷は観察されなかった。
以上、本実施形態について説明したが、本発明は本実施例に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
本発明の光学素子は、カメラの撮影レンズ、望遠鏡、双眼鏡のレンズ、液晶プロジェクタの投射レンズなどに適用することができる。
100…光学素子、110…基板、120…反射防止膜
Claims (7)
- 400nmから700nmの使用波長域の光に対して透明なガラスからなる基板と、該基板に形成された反射防止膜と、を有し、
前記反射防止膜は、基板側から順に、シリカを主成分とする無機系酸化膜としての第1層、無機系酸化膜としての第2層、シリカ微粒子を有する膜としての第3層が積層されて構成され、
前記基板のd線に対する屈折率をNk、前記第1層のd線に対する屈折率をn1、物理膜厚をd1(nm)、前記第2層のd線に対する屈折率をn2、物理膜厚をd2(nm)、前記第3層のd線に対する屈折率をn3、物理膜厚をd3(nm)、とするとき、以下の条件を満足することを特徴とする光学素子。
1.50≦Nk≦1.73
1.43≦n1≦1.47
42.0nm≦d1≦70.0nm
2.00≦n2≦2.20
3.0nm≦d2≦25.0nm
1.23≦n3≦1.26
110.0nm≦d3≦130.0nm - 前記第3層の前記シリカ微粒子は中空微粒子であることを特徴とする請求項1に記載の光学素子。
- 前記第1層はSiO2から構成されていることを特徴とする請求項1に記載の光学素子。
- 前記中空微粒子の平均粒径をDとするとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項2に記載の光学素子。
20nm≦D≦70nm - 前記中空微粒子はバインダーにより結合されていることを特徴とする請求項2または4に記載の光学素子。
- 請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の光学素子を有することを特徴とする光学系。
- 請求項6に記載の光学系を有することを特徴とする光学機器。
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