JP2020190710A - 反射防止膜及びこれを有する光学素子 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 25
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 358
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 64
- 239000012788 optical film Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 70
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 48
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 38
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 claims description 37
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 23
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 12
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N lanthanum(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[La+3].[La+3] MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 8
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 4
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 4
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims description 3
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 74
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 45
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 42
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 42
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 28
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 28
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 20
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 15
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 15
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 15
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 15
- 241000511976 Hoya Species 0.000 description 14
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 14
- 241000239290 Araneae Species 0.000 description 10
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 3
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- -1 placeodym oxide Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000000870 ultraviolet spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000007666 vacuum forming Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
Description
第1層:0.028λ以上、0.811λ以下
第2層:0.040λ以上、0.240λ以下
第3層:0.029λ以上、0.667λ以下
第4層:0.040λ以上、0.565λ以下
第5層:0.049λ以上、0.141λ以下
第6層:0.069λ以上、0.124λ以下
第7層:0.225λ以上、0.313λ以下
第1層:0.028λ以上、0.811λ以下
第2層:0.040λ以上、0.240λ以下
第3層:0.029λ以上、0.667λ以下
第4層:0.040λ以上、0.565λ以下
第5層:0.049λ以上、0.141λ以下
第6層:0.069λ以上、0.124λ以下
第7層:0.225λ以上、0.313λ以下
の範囲であることを特徴とする。
基板 FCD100
膜物質 屈折率 光学膜厚
(@520nm) (nm)
第1層 Al2O3 1.642 0.275λ
第2層 H4 2.044 0.129λ
第3層 Al2O3 1.642 0.033λ
第4層 H4 2.044 0.046λ
第5層 MgF2 1.379 0.068λ
第6層 H4 2.044 0.106λ
第7層 湿式層 1.25 0.276λ
媒質 AIR 1 -
基板 FC5
膜物質 屈折率 光学膜厚
(@520nm) (nm)
第1層 Al2O3 1.642 0.287λ
第2層 H4 2.044 0.083λ
第3層 Al2O3 1.642 0.033λ
第4層 H4 2.044 0.045λ
第5層 MgF2 1.379 0.086λ
第6層 H4 2.044 0.097λ
第7層 湿式層 1.25 0.276λ
媒質 AIR 1 -
基板 FCD705
膜物質 屈折率 光学膜厚
(@520nm) (nm)
第1層 Al2O3 1.642 0.205λ
第2層 H4 2.044 0.066λ
第3層 Al2O3 1.642 0.067λ
第4層 H4 2.044 0.295λ
第5層 MgF2 1.379 0.056λ
第6層 H4 2.044 0.106λ
第7層 湿式層 1.25 0.261λ
媒質 AIR 1 -
基板 E-FD2
膜物質 屈折率 光学膜厚
(@520nm) (nm)
第1層 Al2O3 1.642 0.147λ
第2層 H4 2.044 0.067λ
第3層 Al2O3 1.642 0.128λ
第4層 H4 2.044 0.203λ
第5層 MgF2 1.379 0.081λ
第6層 H4 2.044 0.113λ
第7層 湿式層 1.25 0.276λ
媒質 AIR 1 -
基板 FF8
膜物質 屈折率 光学膜厚
(@520nm) (nm)
第1層 Al2O3 1.642 0.056λ
第2層 H4 2.044 0.097λ
第3層 Al2O3 1.642 0.066λ
第4層 H4 2.044 0.386λ
第5層 MgF2 1.379 0.055λ
第6層 H4 2.044 0.097λ
第7層 湿式層 1.25 0.26λ
媒質 AIR 1 -
基板 FDS90
膜物質 屈折率 光学膜厚
(@520nm) (nm)
第1層 Al2O3 1.642 0.041λ
第2層 H4 2.044 0.133λ
第3層 Al2O3 1.642 0.047λ
第4層 H4 2.044 0.352λ
第5層 MgF2 1.379 0.06λ
第6層 H4 2.044 0.103λ
第7層 湿式層 1.25 0.265λ
媒質 AIR 1 -
基板 TAFD55
膜物質 屈折率 光学膜厚
(@520nm) (nm)
第1層 Al2O3 1.642 0.033λ
第2層 H4 2.044 0.218λ
第3層 Al2O3 1.642 0.046λ
第4層 H4 2.044 0.28λ
第5層 MgF2 1.379 0.074λ
第6層 H4 2.044 0.108λ
第7層 湿式層 1.25 0.276λ
媒質 AIR 1 -
基板 TAFD65
膜物質 屈折率 光学膜厚
(@520nm) (nm)
第1層 Al2O3 1.642 0.032λ
第2層 H4 2.044 0.198λ
第3層 Al2O3 1.642 0.044λ
第4層 H4 2.044 0.503λ
第5層 MgF2 1.379 0.058λ
第6層 H4 2.044 0.086λ
第7層 湿式層 1.25 0.253λ
媒質 AIR 1 -
基板 FCD1
膜物質 屈折率 光学膜厚
(@520nm) (nm)
第1層 Al2O3 1.642 0.225λ
第2層 H4 2.044 0.093λ
第3層 Al2O3 1.642 0.042λ
第4層 H4 2.044 0.278λ
第5層 MgF2 1.379 0.065λ
第6層 H4 2.044 0.089λ
第7層 湿式層 1.23 0.256λ
媒質 AIR 1 -
基板 E-F5
膜物質 屈折率 光学膜厚
(@520nm) (nm)
第1層 Al2O3 1.642 0.737λ
第2層 H4 2.044 0.067λ
第3層 Al2O3 1.642 0.076λ
第4層 H4 2.044 0.384λ
第5層 MgF2 1.379 0.06λ
第6層 H4 2.044 0.088λ
第7層 湿式層 1.23 0.256λ
媒質 AIR 1 -
基板 E-FD2
膜物質 屈折率 光学膜厚
(@520nm) (nm)
第1層 Al2O3 1.642 0.51λ
第2層 H4 2.044 0.061λ
第3層 Al2O3 1.642 0.085λ
第4層 H4 2.044 0.45λ
第5層 MgF2 1.379 0.065λ
第6層 H4 2.044 0.078λ
第7層 湿式層 1.23 0.25λ
媒質 AIR 1 -
基板 FD225
膜物質 屈折率 光学膜厚
(@520nm) (nm)
第1層 Al2O3 1.642 0.045λ
第2層 H4 2.044 0.112λ
第3層 Al2O3 1.642 0.045λ
第4層 H4 2.044 0.422λ
第5層 MgF2 1.379 0.068λ
第6層 H4 2.044 0.087λ
第7層 湿式層 1.23 0.261λ
媒質 AIR 1 -
基板 TAFD45
膜物質 屈折率 光学膜厚
(@520nm) (nm)
第1層 Al2O3 1.642 0.032λ
第2層 H4 2.044 0.142λ
第3層 Al2O3 1.642 0.036λ
第4層 H4 2.044 0.513λ
第5層 MgF2 1.379 0.072λ
第6層 H4 2.044 0.086λ
第7層 湿式層 1.23 0.263λ
媒質 AIR 1 -
基板 TAFD55
膜物質 屈折率 光学膜厚
(@520nm) (nm)
第1層 Al2O3 1.642 0.061λ
第2層 H4 2.044 0.1λ
第3層 Al2O3 1.642 0.606λ
第4層 H4 2.044 0.109λ
第5層 MgF2 1.379 0.115λ
第6層 H4 2.044 0.092λ
第7層 湿式層 1.23 0.283λ
媒質 AIR 1 -
基板 1.7
屈折率 光学膜厚
(@520nm) (nm)
第1層 2.31 0.076λ
第2層 1.38 0.09λ
第3層 2.31 0.151λ
第4層 1.38 0.12λ
第5層 2.31 0.086λ
第6層 1.25 0.295λ
媒質 1 -
400-700nm 最大反射率 400-700nm 平均反射率
入射角 0° 15° 30° 0° 15° 30°
実施例1 0.14% 0.18% 0.49% 0.03% 0.03% 0.09%
実施例2 0.15% 0.23% 0.58% 0.04% 0.05% 0.13%
実施例3 0.15% 0.2% 0.47% 0.03% 0.04% 0.11%
実施例4 0.15% 0.22% 0.53% 0.03% 0.04% 0.12%
実施例5 0.15% 0.21% 0.5% 0.03% 0.04% 0.12%
実施例6 0.15% 0.22% 0.51% 0.03% 0.04% 0.13%
実施例7 0.17% 0.24% 0.56% 0.04% 0.05% 0.13%
実施例8 0.21% 0.29% 0.64% 0.04% 0.05% 0.14%
実施例9 0.07% 0.1% 0.31% 0.02% 0.03% 0.09%
実施例10 0.05% 0.09% 0.29% 0.02% 0.02% 0.08%
実施例11 0.05% 0.07% 0.24% 0.03% 0.04% 0.1%
実施例12 0.06% 0.1% 0.3% 0.03% 0.03% 0.09%
実施例13 0.06% 0.1% 0.32% 0.03% 0.04% 0.1%
実施例14 0.06% 0.11% 0.42% 0.02% 0.03% 0.09%
比較例 0.06% 0.11% 0.35% 0.03% 0.04% 0.1%
2 第2層
3 第3層
4 第4層
5 第5層
6 第6層
7 第7層
8 基板
Claims (5)
- 基板上に、前記基板側から第1層、第2層、第3層、第4層、第5層、第6層、第7層までこの順に積層してなる反射防止膜であって、
基準波長λ=520nmにおいて
前記基板の屈折率が1.40〜2.10であり、
前記第1層及び前記第3層は屈折率が1.5以上、1.8以下の中間屈折率材料であり、
前記第2層、前記第4層及び前記第6層は屈折率が1.8以上、2.5以下の高屈折率材料であり、
前記第5層は屈折率が1.3以上、1.5以下の低屈折率材料であり、
前記第7層は屈折率が1.15以上、1.3以下の超低屈折率材料であり、
前記第1層から前記第7層の各光学膜厚が、次の範囲であることを特徴とする反射防止膜。
第1層:0.028λ以上、0.811λ以下
第2層:0.040λ以上、0.240λ以下
第3層:0.029λ以上、0.667λ以下
第4層:0.040λ以上、0.565λ以下
第5層:0.049λ以上、0.141λ以下
第6層:0.069λ以上、0.124λ以下
第7層:0.225λ以上、0.313λ以下 - 前記中間屈折率材料は酸化アルミニウム又は酸化アルミニウムを含有する混合物からなり、
前記高屈折率材料は、酸化セリウム、酸化ハフニウム、酸化インジウム、酸化ニオブ、酸化スズ,酸化タンタル、酸化チタン、酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸化亜鉛、酸化ランタン、酸化プラセオジムのいずれか、又は前記酸化物の混合物からなり、
前記低屈折率材料はフッ化マグネシウム、酸化ケイ素のいずれか、又は混合物からなり、
前記超低屈折率材料はフッ化マグネシウム、酸化ケイ素、酸化アルミニウムのいずれか、又は混合物からなる多孔質材料であることを特徴とする請求項1に記載の反射防止膜。 - 前記基板側から最も外側の層は湿式成膜法により形成され、その他の層は真空蒸着法、スパッタ法、CVD法、ALD法のいずれかにより成膜されることを特徴とする請求項1又は2に記載の反射防止膜。
- 入射角0度〜15度で波長400nm〜700nmにおける平均反射率が0.1%以下であり、
入射角30度で波長400nm〜700nmにおける平均反射率が0.2%以下であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の反射防止膜。 - 請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の反射防止膜を有することを特徴とする光学素子。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019092056 | 2019-05-15 | ||
JP2019092056 | 2019-05-15 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020190710A true JP2020190710A (ja) | 2020-11-26 |
JP7405405B2 JP7405405B2 (ja) | 2023-12-26 |
Family
ID=73453703
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019217348A Active JP7405405B2 (ja) | 2019-05-15 | 2019-11-29 | 反射防止膜及びこれを有する光学素子、反射防止膜の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7405405B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4974910B2 (ja) | 2008-01-10 | 2012-07-11 | ペンタックスリコーイメージング株式会社 | 反射防止膜及びこれを有する光学部品、交換レンズ及び撮像装置 |
-
2019
- 2019-11-29 JP JP2019217348A patent/JP7405405B2/ja active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP7405405B2 (ja) | 2023-12-26 |
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