JP6292830B2 - 光学素子、光学系および光学機器 - Google Patents
光学素子、光学系および光学機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6292830B2 JP6292830B2 JP2013234892A JP2013234892A JP6292830B2 JP 6292830 B2 JP6292830 B2 JP 6292830B2 JP 2013234892 A JP2013234892 A JP 2013234892A JP 2013234892 A JP2013234892 A JP 2013234892A JP 6292830 B2 JP6292830 B2 JP 6292830B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- refractive index
- layer
- thin film
- optical element
- element according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B15/00—Layered products comprising a layer of metal
- B32B15/04—Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/11—Anti-reflection coatings
- G02B1/113—Anti-reflection coatings using inorganic layer materials only
- G02B1/115—Multilayers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
- B32B2307/40—Properties of the layers or laminate having particular optical properties
- B32B2307/418—Refractive
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2551/00—Optical elements
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
- Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
Description
任意の入射角度θ、各波長λで数式(1)なる条件を満たすことにより、広い入射角度範囲で低反射な反射防止膜を実現することができる。
S偏光:ηis=ni/cosθi ・・・(5)
自然光は無偏光光とみなしてよく、斜入射での光学アドミタンスYはP偏光、S偏光の平均値として扱えばよい。但し、射入射では入射角度による光学アドミタンスηip、ηisの変化が異なり、特に、S偏光ではブリュースター角の寄与がなく、入射角度の増大に従って光学アドミタンスが一様に増大する。このため、一般に垂直入射と斜入射、特に高入射角度における反射を同時に抑制することが難しくなる。
Claims (15)
- d線に対して透明な基板と、該基板に形成された反射防止膜と、を有し、
前記反射防止膜は、複数の薄膜層を備え、
前記複数の薄膜層のうち、前記基板から最も離れた最表層のd線に対する屈折率ndは1.20以上1.30以下であり、
前記最表層の厚さは111.50nm以上135.00nm以下であり、
前記基板のd線に対する屈折率は1.60以上2.00以下であり、
前記基板から前記最表層に隣接する薄膜層までを下地層としたとき、該下地層は9層以上の薄膜層を備え、
前記下地層のd線に対する光学アドミタンスをY(θ、λ)とするとき、入射角θが0°以上60°以下であって波長λが420nm以上680nm以下である全ての範囲に対して
nd−0.1≦√Y(θ、λ)≦nd
なる条件を満たすことを特徴とする光学素子。 - 前記最表層はシリカを主成分とし、平均粒径が80nm以下の中空微粒子を有する層であることを特徴とする請求項1に記載の光学素子。
- 前記複数の薄膜層は、d線に対する屈折率が2.00以上2.40以下である高屈折率層を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の光学素子。
- 前記高屈折率層は、チタン、タンタル、ジルコニア、クロム、ニオブ、セリウム、ハフニウム、イットリウムの酸化物の単体または混合物からなることを特徴とする請求項3に記載の光学素子。
- 前記複数の薄膜層は、d線に対する屈折率が1.55以上1.70以下である中屈折率層およびd線に対する屈折率が1.40以上1.52以下である低屈折率層の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載の光学素子。
- 前記中屈折率層は、酸化アルミナの単体またはそれを含む混合物からなることを特徴とする請求項5に記載の光学素子。
- 前記低屈折率層は、シリコン酸化物の単体またはそれを含む混合物からなることを特徴とする請求項5または6に記載の光学素子。
- 前記最表層は、シリコン酸化物の単体またはそれを含む混合物からなることを特徴とする請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載の光学素子。
- 前記複数の薄膜層のうち前記基板に最も近い層は、Al2O3の単体またはそれを含む化合物からなることを特徴とする請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載の光学素子。
- 前記複数の薄膜層は、前記基板の側から順に配置されるd線に対する屈折率が1.55以上1.70以下である中屈折率層とd線に対する屈折率が2.00以上2.40以下である高屈折率層とのペアを一つ以上含み、かつ最も前記最表層に近い前記高屈折率層と前記最表層の間に配置される屈折率が1.40以上1.52以下である低屈折率層を含むことを特徴とする請求項1乃至9のうちいずれか1項に記載の光学素子。
- 前記複数の薄膜層は、前記ペアを複数含み、かつ隣接する二つの前記中屈折率層のいずれよりも厚い前記高屈折率層を含むことを特徴とする請求項10に記載の光学素子。
- 前記複数の薄膜層は、前記最表層よりも厚い前記高屈折率層を含むことを特徴とする請求項10または11に記載の光学素子。
- 前記最表層は、前記複数の薄膜層の中で最も厚いことを特徴とする請求項1乃至12のうちいずれか1項に記載の光学素子。
- 請求項1乃至13のうちいずれか1項に記載の光学素子を有する光学系。
- 請求項14に記載の光学系を有する光学機器。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013234892A JP6292830B2 (ja) | 2013-11-13 | 2013-11-13 | 光学素子、光学系および光学機器 |
US14/527,833 US9302450B2 (en) | 2013-11-13 | 2014-10-30 | Optical element, optical system, and optical apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013234892A JP6292830B2 (ja) | 2013-11-13 | 2013-11-13 | 光学素子、光学系および光学機器 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015094885A JP2015094885A (ja) | 2015-05-18 |
JP2015094885A5 JP2015094885A5 (ja) | 2016-12-15 |
JP6292830B2 true JP6292830B2 (ja) | 2018-03-14 |
Family
ID=53044044
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013234892A Active JP6292830B2 (ja) | 2013-11-13 | 2013-11-13 | 光学素子、光学系および光学機器 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9302450B2 (ja) |
JP (1) | JP6292830B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6549458B2 (ja) * | 2015-09-30 | 2019-07-24 | 株式会社トプコン | 反射防止膜、光学素子、及び眼科装置 |
JP2017076081A (ja) * | 2015-10-16 | 2017-04-20 | キヤノン株式会社 | 反射防止膜、光学素子、光学系および光学機器 |
EP3301488A1 (en) | 2016-09-29 | 2018-04-04 | Essilor International | Optical lens comprising an antireflective coating with multiangular efficiency |
DE102019211258A1 (de) * | 2018-08-01 | 2020-03-19 | Schott Ag | Geschichteter optischer verbundwerkstoff mit zwei gruppierungen von beschichtungsschichten und seine augmented-reality-anwendung |
EP3605189A1 (en) | 2018-08-01 | 2020-02-05 | Schott AG | Optical layered composite having a coating thickness below a threshold and its application in augmented reality |
US11650361B2 (en) * | 2018-12-27 | 2023-05-16 | Viavi Solutions Inc. | Optical filter |
CN110007377A (zh) * | 2019-04-15 | 2019-07-12 | 南京波长光电科技股份有限公司 | 一种皮秒激光高功率增透膜及其制备方法 |
CN115202038B (zh) * | 2022-07-22 | 2024-02-20 | 杭州科汀光学技术有限公司 | 一种用三层极薄对称膜取代任意折射率膜的方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1149532A (ja) * | 1997-06-03 | 1999-02-23 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 低反射ガラス物品およびその製造方法 |
US20120009382A1 (en) * | 2010-07-06 | 2012-01-12 | Tosoh F-Tech, Inc. | Guard substrate for optical electromotive force equipment, and its production process |
CN102030483B (zh) * | 2010-10-29 | 2012-07-04 | 浙江大学 | 由纳米聚合物中空粒子组成的多孔防反射薄膜的制备方法 |
JP2012141594A (ja) | 2010-12-14 | 2012-07-26 | Canon Inc | 反射防止膜及び光学素子 |
JP5881096B2 (ja) * | 2011-03-30 | 2016-03-09 | 株式会社タムロン | 反射防止膜及び光学素子 |
JP5712100B2 (ja) * | 2011-09-29 | 2015-05-07 | 富士フイルム株式会社 | 反射防止フィルムの製造方法、反射防止フィルム、塗布組成物 |
WO2013069227A1 (ja) * | 2011-11-09 | 2013-05-16 | パナソニック株式会社 | 回折光学素子ならびにこれを用いた撮像装置および照明装置 |
JP2013152425A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-08-08 | Tamron Co Ltd | 反射防止膜及び光学素子 |
JP2013238709A (ja) * | 2012-05-15 | 2013-11-28 | Sony Corp | 光学積層体、光学素子および投射装置 |
-
2013
- 2013-11-13 JP JP2013234892A patent/JP6292830B2/ja active Active
-
2014
- 2014-10-30 US US14/527,833 patent/US9302450B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20150132554A1 (en) | 2015-05-14 |
US9302450B2 (en) | 2016-04-05 |
JP2015094885A (ja) | 2015-05-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6292830B2 (ja) | 光学素子、光学系および光学機器 | |
TWI432770B (zh) | 光學系統 | |
JP5936444B2 (ja) | 光学素子、それを用いた光学系および光学機器 | |
JP2015004919A (ja) | 反射防止膜及びそれを有する光学素子 | |
JP5885649B2 (ja) | 反射防止膜を有する光学素子、光学系および光学機器 | |
JP2015014631A (ja) | 反射防止膜及びそれを有する光学素子 | |
WO2016031167A1 (ja) | 反射防止膜および反射防止膜を備えた光学部材 | |
JP6053262B2 (ja) | 光学素子、それを用いた光学系および光学機器 | |
JP2017076081A (ja) | 反射防止膜、光学素子、光学系および光学機器 | |
JP5072395B2 (ja) | 反射防止膜及びこれを有する光学部品 | |
JP6124624B2 (ja) | 光学素子およびそれを有する光学系 | |
JP7098129B2 (ja) | 反射防止膜及びこれを有する光学素子 | |
JP6137807B2 (ja) | 反射防止膜を有する光学素子、光学系および光学機器 | |
US20150362632A1 (en) | Antireflection coating and optical element including the same | |
JP6366276B2 (ja) | 光学素子、光学系、光学機器および光学膜の製造方法 | |
JP6385117B2 (ja) | 光学素子及びそれを有する光学系 | |
JP6385108B2 (ja) | 光学素子および光学系、並びに光学素子の製造方法 | |
JP2014174210A (ja) | 反射防止膜およびそれを有する光学素子並びに光学系 | |
JP2016018095A (ja) | 光学素子、光学系、および光学機器 | |
JP2014174207A (ja) | 反射防止膜およびそれを有する光学素子並びに光学系 | |
JP2015084031A (ja) | 反射防止膜、光学素子および光学機器 | |
JP2020056902A (ja) | 光学素子及びそれを有する光学系 | |
JP2014174208A (ja) | 反射防止膜およびそれを有する光学素子並びに光学系 | |
JP2015052657A (ja) | 光学素子、光学系、および光学機器 | |
JP2015203723A5 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161027 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161027 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170711 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170712 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170906 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20170919 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171215 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20171222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180116 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180213 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6292830 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |