JP2011139104A - 露光装置及び洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】露光装置(EX)は、投影光学系(PL)の像面側に液体(LQ)の液浸領域(AR2)を形成し、投影光学系(PL)と液浸領域(AR2)の液体(LQ)とを介して基板(P)を露光するものであって、液浸領域(AR2)を形成するための液体(LQ)の性質及び成分のうち少なくともいずれか一方を計測する計測装置(60)を備えている。
【選択図】図1
Description
本願は、2004年6月9日に出願された特願2004−171115号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
また、露光を行う際には、解像度と同様に焦点深度(DOF)も重要となる。解像度R、及び焦点深度δはそれぞれ以下の式で表される。
R=k1・λ/NA … (1)
δ=±k2・λ/NA2 … (2)
ここで、λは露光波長、NAは投影光学系の開口数、k1、k2はプロセス係数である。(1)式、(2)式より、解像度Rを高めるために、露光波長λを短くして、開口数NAを大きくすると、焦点深度δが狭くなることが分かる。
なお、TOCと液体LQの光透過率との関係は、光計測部600を使った液体LQを介した計測処理により求めることができる。本実施形態においては、露光光ELの光源としてレーザを用いているため、1パルスあたりのエネルギー(光量)を制御する、あるいはパルス数を制御する等の方法を用いて、基板P上での露光量を制御することができる。あるいは、基板Pの走査速度を制御することで、基板P上での露光量を制御することもできる。なお、光計測部600を使った計測動作(ステップSA1)は、露光シーケンス中、所定時間間隔毎あるいは所定処理基板枚数毎に行われ、上述した露光量の補正制御は、上記露光シーケンス中の計測動作間に行われるものであり、計測動作毎にリセットされる。
Claims (33)
- 投影光学系の像面側に液体の液浸領域を形成し、前記投影光学系と前記液浸領域の液体とを介して基板を露光する露光装置において、
前記液浸領域を形成するための液体の性質及び成分のうち少なくともいずれか一方を計測する計測装置を備えたことを特徴とする露光装置。 - 前記液体を供給する液体供給機構を備え、
前記計測装置は、前記液体供給機構により供給される液体を計測することを特徴とする請求項1記載の露光装置。 - 前記液体供給機構は、液体を供給する供給口と、前記供給口に接続する供給流路と、前記供給流路の途中から分岐する分岐流路とを備え、
前記計測装置は、前記分岐流路を流れる液体を計測することを特徴とする請求項2記載の露光装置。 - 前記液体を回収する液体回収機構を備え、
前記計測装置は、前記液体回収機構により回収される液体を計測することを特徴とする請求項1記載の露光装置。 - 前記基板を保持して移動可能な基板ステージを備え、
前記計測装置は、前記基板ステージに設けられていることを特徴とする請求項1記載の露光装置。 - 前記計測装置は、露光動作と並行して、前記液体を計測することを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記計測装置の計測結果を時間経過に対応付けて記憶する記憶装置を備えたことを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記基板上に設定された複数のショット領域が順次露光され、
前記計測装置の計測結果を前記ショット領域に対応付けて記憶する記憶装置を備えたことを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記液体を回収する第1液体回収機構と、
前記第1液体回収機構で回収しきれなかった液体を回収する第2液体回収機構と、
前記第2液体回収機構が液体を回収したか否かを検出する検出装置と、
前記検出装置の検出結果を時間経過に対応付けて記憶する記憶装置とを備えたことを特徴とする1〜6のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記計測装置の計測結果が異常か否かを判別し、該判別結果に基づいて、露光動作を制御する制御装置を備えたことを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記計測装置の計測結果を報知する報知装置を備え、
前記制御装置は、前記計測結果が異常であるとき、前記報知装置で警告を発することを特徴とする請求項10記載の露光装置。 - 前記液体が流れる流路の複数の所定位置のそれぞれに設けられ、前記液体の性質及び成分のうち少なくともいずれか一方を調整可能な複数の調整装置を備え、
前記制御装置は、前記計測装置の計測結果に基づいて、前記複数の調整装置のうちから少なくとも一つの調整装置を特定し、該特定された調整装置に関する情報を前記報知装置で報知することを特徴とする請求項11記載の露光装置。 - 前記計測装置の計測結果に基づいて、前記液体に接触する所定部材を洗浄する洗浄装置を備えたことを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記洗浄装置は、所定の機能を有する機能液を前記所定部材に供給することを特徴とする請求項13記載の露光装置。
- 投影光学系の像面側に液体の液浸領域を形成し、前記投影光学系と前記液浸領域の液体とを介して基板を露光する露光装置において、
前記液体に接触する所定部材に対して、所定の機能を有する機能液を供給する機能液供給装置を備えたことを特徴とする露光装置。 - 前記機能液は、殺菌作用を有する液体を含むことを特徴とする請求項15記載の露光装置。
- 前記所定部材は、液体を供給する供給口及び液体を回収する回収口のうち少なくともいずれか一方を有するノズル部材、前記ノズル部材に接続する流路形成部材、前記投影光学系のうち最も像面側の光学素子、前記基板を保持して移動可能な基板ステージ、及び基板ステージ上に設けられた光計測部のうち少なくともいずれか一つを含むことを特徴とする請求項15記載の露光装置。
- 前記液浸領域を形成するための液体を供給する流路を有する液体供給機構と、
前記液浸領域の液体を回収する流路を有する液体回収機構とを備え、
前記機能液供給装置は、前記液体供給機構及び前記液体回収機構のそれぞれの流路に前記機能液を供給し、前記機能液からなる液浸領域を前記投影光学系の像面側に形成することを特徴とする請求項15〜17のいずれか一項記載の露光装置。 - 投影光学系の像面側に液体の液浸領域を形成し、前記投影光学系と前記液浸領域の液体とを介して基板上に設定された複数のショット領域を順次露光する露光装置において、
液体を供給する液体供給機構と、
液体を回収する第1液体回収機構と、
前記第1液体回収機構で回収しきれなかった液体を回収する第2液体回収機構と、
前記第2液体回収機構が液体を回収したか否かを検出する検出装置と、
前記検出装置の検出結果を前記ショット領域に対応付けて記憶する記憶装置とを備えたことを特徴とする露光装置。 - 前記記憶装置は、前記検出装置の検出結果を時間経過に対応付けて記憶することを特徴とする請求項19記載の露光装置。
- 前記第1液体回収機構は、前記基板に対向する第1回収口を有し、
前記第2液体回収機構は、前記投影光学系の投影領域に対して前記第1回収口よりも外側に設けられた第2回収口を有し、
前記第2液体回収機構は、液体をその周囲の気体とともに回収することを特徴とする請求項19記載の露光装置。 - 前記検出装置は、第2液体回収機構による単位時間あたりの液体回収量を検出可能であり、
前記記憶装置は、前記液体回収量に関する情報を記憶することを特徴とする請求項19記載の露光装置。 - 前記基板上には前記投影光学系及び前記液浸領域の液体を介して所定のパターンが転写され、 前記記憶装置には、前記第2液体回収機構が液体を回収したときのパターン転写精度に関する情報が予め記憶されており、
前記検出装置の検出結果に基づいて、前記第2液体回収機構が前記液体を回収したときに前記パターンを転写されたショット領域のパターン転写精度を予測する制御装置と、
前記制御装置が予測した結果を報知する報知装置とを備えたことを特徴とする請求項19〜22のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記基板上に設定された複数のショット領域のうち第1のショット領域を露光中に前記検出装置が前記第2液体回収機構による液体回収を検出したとき、
前記検出装置が液体を検出しなくなるまで待った後、前記第1のショット領域の次の第2のショット領域を露光することを特徴とする請求項19〜22のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記液浸領域を形成するための液体の性質及び成分のうち少なくともいずれか一方を計測する計測装置を備え、
前記記憶装置は、前記計測装置の計測結果も記憶することを特徴とする請求項19記載の露光装置。 - 請求項1〜請求項25のいずれか一項記載の露光装置を用いることを特徴とするデバイス製造方法。
- 投影光学系の像面側に液体の液浸領域を形成し、前記投影光学系と前記液浸領域の液体とを介して基板を露光する露光装置のメンテナンス方法であって、
前記液浸領域を形成する液体を、所定の機能を備えた機能液と置換する段階を有するメンテナンス方法。 - 前記液体を供給する液体供給機構を備え、
前記機能液は、前記液体供給機構の少なくとも一部を介して供給される請求項27記載のメンテナンス方法。 - 前記液体を回収する機体回収機構を備え、
前記機能液は、前記液体回収機構の少なくとも一部を介して回収される請求項27記載のメンテナンス方法。 - 前記投影光学系の像面側に配置される物体との間に形成された前記機能液の液浸領域を、前記物体上で移動させる段階を有する請求項27記載のメンテナンス方法。
- 前記物体は、前記基板を載置して移動する基板ステージを含む請求項30記載のメンテナンス方法。
- 前記機能液は、殺菌作用を有する液体を含む請求項27〜31のいずれか一項記載のメンテナンス方法。
- 前記機能液は、導電性を有する液体を含む請求項27〜31のいずれか一項記載のメンテナンス方法。
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